JP3115755B2 - インクジェット記録ヘッド、その製造方法およびインクジェット記録装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微細な吐出口から液滴
を吐出して記録を行なうためのインクジェット記録ヘッ
ドと、このインクジェット記録ヘッドを使用したインク
ジェット記録装置とに関する。

【０００２】

【従来の技術】微細な吐出口から記録媒体に液滴（イン
ク）を吐出させることによって記録を行なうインクジェ
ット記録方法が注目を浴びている。インクジェット記録
方法は、ノンインパクト型の記録方法であるので騒音の
おそれがなく、特別の処理を行なうことなく普通紙への
記録が行なえ、高速、高精細記録が可能であり、さらに
複数色のインクを用いることによってカラー記録が可能
となるなどの長所を有する。インクジェット記録方法に
よる記録装置（インクジェット記録装置）では、一般
に、インクに吐出エネルギーを与えるための吐出エネル
ギー発生素子と吐出口とを一体化させたインクジェット
記録ヘッドが使用される。図８は、従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す概略斜視図である。

【０００３】このインクジェット記録ヘッド９００は、
複数の吐出口９０９と、各吐出口９０９ごとに設けられ
吐出口９０９に連通するインク流路と、各インク流路に
インクを供給するためインク流路に共通に設けられた液
室と、各インク流路に配置された吐出エネルギ発生素子
とを有している。ここで吐出エネルギ発生素子は、シリ
コンなどからなる基板（ヒータボード）９０１の表面
に、半導体製造技術を用いて配置されている。一方、イ
ンク流路および液室は溝付天板９０２に刻まれた溝部お
よび凹部として一体的に構成され、吐出口９０９は、溝
部が溝付天板９０２の側面に露出する部分として形成さ
れている。この場合、隣接するインク流路を分離する流
路壁は、溝付天板９０２の溝部間の線状突起として形成
されている。そして、このインクジェット記録ヘッド９
００は、各部品を構築してインクジェット記録ヘッドを
構成するための支持部材９０３上に、基板９０１を配置
し、基板９０１と溝付天板９０２とをバネ製板状部材９
０４によって圧着接合することによって、完成させられ
る。バネ製板状部材９０４は、略Ｍ字状の部材であっ
て、中央部９０４ｃによって溝付天板９０２に押圧力を
与え、側面部９０４ｄによって溝付天板９０２がずれる
ことを防ぐようになっており、脚部９０４ｅが支持部材
９０３に設けられた貫通孔９０３ｂに挿入されている。

【０００４】このようなインクジェット記録ヘッドで
は、基板（ヒータボード）と溝付天板とがバネ製板状部
材の押圧力によって圧着接合されているだけなので、基
板と溝付天板の少なくとも一方の平面度が悪いと、溝付
天板と基板との間に隙間が生じることがある。そこでこ
の隙間からインクがもれることを防止するために、基板
と溝付天板の接合部外周は封止剤により封止される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述のインクジェット
記録ヘッドでカラー記録を行なおうとする場合は、各イ
ンクの色ごとに液室を分離するように予め溝付天板を成
型することで対応することが可能である。しかしながら
このような形態のインクジェット記録ヘッドの場合、各
液室を分離する分離壁が溝付天板に一体に形成されるた
め、上述したようにこの分離壁の部分において溝付天板
と基板との間に隙間が生じるおそれがあり、このような
隙間があるとこの隙間を介して各液室内のインクが浸透
・拡散することとなり、インクの混色が生じ、記録画像
の品位の劣化などをもたらす。

【０００６】この分離壁部の隙間に、基板と溝付天板の
接合部外周と同様に封止剤を設けることも考えられる
が、封止剤の量が多すぎると隣接する流路に封止剤がは
みだしてしまい、また少なすぎると分離壁部の封止が完
全にはなされないため、封止剤の量の制御が困難で、隣
接する液室間の分離を確実に行なうことができなかっ
た。

【０００７】本発明の目的は、各液室間の分離が確実に
行なわれ、インクの混色が生じないインクジェット記録
ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを利用したイ
ンクジェット記録装置とを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、インクを供給するための複数の液室にそ
れぞれ対応する分離された複数の凹部と前記凹部に接続
し流路に対応する溝部と前記溝部の先端であって吐出口
面に露出した吐出口形成部位とが一体的に形成された第
１の部材と、インクに吐出エネルギを与える吐出エネル
ギ発生素子が前記流路に対応して設けられている第２の
部材とを有し、前記第１および第２の部材を圧接するこ
とで形成されるインクジェット記録ヘッドにおいて、前
記複数の凹部を分離するために前記第１の部材に形成さ
れている壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けられ
ている。

【０００９】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、インクを供給するための分離した複数の液室と
前記液室に連通する流路と前記流路の先端部に形成され
吐出口面に露出した吐出口と前記流路に対応して設けら
れインクに吐出エネルギを与える吐出エネルギ発生素子
とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であっ
て、前記液室にそれぞれ対応する複数の凹部と前記流路
に対応する溝部と前記吐出口に対応する吐出口形成部位
と前記複数の凹部を分離するための壁状部と外周部に連
通するように前記壁状部に設けられた分離溝とが一体的
に形成された第１の部材と、前記吐出エネルギ発生素子
が設けられた第２の部材を使用し、前記第１および第２
の部材を圧接し、そののち、前記分離溝に封止剤を注入
する。

【００１０】本発明のインクジェット記録装置は、本発
明のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記
録ヘッドを載置する載置手段とを有する。

【００１１】

【作用】第１の部材（溝付天板）において、液室に対応
する凹部間を分離する壁状部に、外周部に連通する分離
溝が設けられているので、第１の部材と第２の部材との
圧接後にこの分離溝内に封止剤を注入したり、あるいは
第２の部材側にこの分離溝に嵌合するリブ部を設けてお
いたりすることにより、液室相互間でのインクの浸透・
拡散を防止することが可能となり、インクの混色を防ぐ
ことができる。

【００１２】分離溝は、隣接する凹部間に１本ないし複
数本配置されるようにする。また、第２の部材にリブ部
を設ける場合には、感光性樹脂を用いてこのリブ部を構
成するとよい。

【００１３】

【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。

【００１４】《実施例１》図１は本発明の実施例１のイ
ンクジェット記録ヘッドの構成を示す分解斜視図であ
る。

【００１５】ヒータボード１００は、インク流路ごとに
設けられる電気熱変換体（不図示）が表面に配置された
ものであって、典型的には、シリコン基板に半導体製造
技術を適用することによって形成されている。各電気熱
変換体に通電するための配線部分（不図示）も、ヒータ
ボード１００上に形成されている。配線基板２００の一
端はヒータボード１００の配線部分とボンディングワイ
ヤ（不図示）によって接続されており、さらに配線基板
２００の他端部には、インクジェット記録装置の本体装
置からの電気信号を受けるための複数個のパッド（不図
示）が設けられている。各パッドは、それぞれ各電気熱
変換体に対応している。このような構成により、本体装
置からの電気信号は、それぞれの電気熱変換体に供給さ
れるようになる。

【００１６】このインクジェット記録ヘッドには、イン
クを吐出するための微細な吐出口と、吐出口に連通する
インク流路と、インク流路にインクを供給するための４
個の液室とが設けられている。各液室は、相互に独立
し、かつそれぞれ複数の吐出口に対応している。具体的
には、図２に示すように、各インク流路に対応する多数
の溝部１０１と、各液室に対応する凹部１１０ａ〜１１
０ｄと、吐出口面を構成するオリフィスプレート部１４
０とを溝付天板１３０として一体的に形成し、この溝付
天板１３０をヒータボード１００に対して圧接すること
により、各インク流路及び各液室が完成するようになっ
ている。オリフィスプレート部１４０には、吐出口１０
９が設けられており、各吐出口１０９はそれぞれ溝部１
０１に連通している。各凹部１１０ａ〜１１０ｄの間
は、それぞれ、壁１１１ａ〜１１１ｃによって仕切られ
ている。壁１１１ａ〜１１１ｃの図示上面、すなわちヒ
ータボード１００との圧接面には、それぞれ分離溝１１
３ａ〜１１３ｃが刻まれている。分離溝１１３ａ〜１１
３ｃは、いずれも溝付天板１３０の外周部にまで延びて
設けられている。さらに、凹部１１０ａ〜１１０ｄの図
示底部には、対応する液室にインクを供給するための供
給口１１５ａ〜１１５ｄが形成されている。溝付天板１
３０の材質は、例えば、ポリサルフォンである。

【００１７】ヒータボード１００および配線基板２００
の裏面を平面で支持する金属製の支持体３００は、この
インクジェット記録ヘッドの底板となるべきものであ
る。溝付天板１３０をヒータボード１００に圧接するた
めの押えバネ５００が設けられている。押えバネ５００
は、溝付天板１３０の吐出口１０９近傍の領域に対して
線状かつ弾性的に押し圧を作用させるために断面略Ｕ字
形状に折り曲げ形成した部分と、支持体３００に設けた
逃げ穴３０５を利用して引っかける爪部５００ａと、バ
ネに作用する力を支持体３００で受けるための一対の後
脚部５００ｂとを有している。また、支持体３００の吐
出口面側の先端部には、溝３１０が形成されている。支
持体３００に対する配線基板２００の取り付けは、接着
剤等による貼着によって行なわれる。

【００１８】溝付天板１３０の凹部１１０ａ〜１１０ｄ
（共通液室）にインクを供給するためのインク供給部材
６００が設けられている。インク供給部材６００の内部
には、それぞれ供給口１１５ａ〜１１５ｄに連通する４
本のインク供給管６２０が設けられており、インク供給
管６２０の端部にはそれぞれフィルタ７００が設けられ
ている。インク供給部材６００の固定は、溝付天板１３
０の供給口１１５ａ〜１１５ｄ側の突起部１５０にイン
ク供給部材６００を嵌合させるとともに、インク供給部
材６００の裏面側の２本のピン（不図示）を支持体の穴
１９１,１９２にそれぞれ貫通突出させ、これを熱融着
させることにより、簡単に行なわれる。

【００１９】インク供給部材６００の取付けは、押えバ
ネ５００によって溝付天板１３０をヒータボード１００
に圧接した後に行なわれるが、この際、溝付天板１３０
のオリフィスプレート部１４０とインク供給部材６００
との間に均一な隙間が形成されるようにする。そして、
インク供給部材６００の上部に設けられている封止剤注
入口（不図示）から封止剤を注入し、ボンディングワイ
ヤを封止するとともにオリフィスプレート部１４０とイ
ンク供給部材６００との間の隙間を封止し、さらに、支
持板３００に設けられた溝３１０を介してオリフィスプ
レート部１４０と支持板３００の前端面との間の隙間を
完全に封止する。このとき封止剤１２０は、分離溝１１
３ａ〜１１３ｃに沿って浸透し、溝付天板１３０とヒー
タボード１００との間の隙間を埋めて行く。これによ
り、封止剤の量の制御が容易に行なえるだけでなく、基
板と溝付天板の密着力を向上させることもできるため、
液室間の分離が確実に行なわれるようになり、各液室に
異なったインクを供給することができ、複数色のインク
を用いてカラー記録を行なう場合におけるインクの混色
を防止することができる。図３はオリフィスプレート部
１４０側から見たインクジェット記録ヘッドの正面図で
あり、図４は液室部分でインク流路に対して垂直方向に
切った場合の断面図である。

【００２０】本実施例では、ポリサルフォンに対する接
着力がありワイヤボンディング封止が可能な封止剤とし
て、東芝シリコーン社製のＴＳＥ３９９（商品名）を使
用した。また、各分離溝１１３ａ〜１１３ｃの構造は、
概略寸法として、長さ２ｍｍ、幅および高さ各０.２ｍ
ｍとした。この分離溝の構造は、使用する封止剤や天板
部材の物性や目的に応じて適宜変更されるものである。

【００２１】《実施例２》例えば、溝付天板１３０にお
いて、隣接する凹部間を隔てる壁に設ける分離溝の数に
おいても各１本には限られるものではなく、図５に示し
たものでは、溝付天板１３０の各壁１１１ａ〜１１１ｃ
ごとに、それぞれ２本の分離溝１１６が設けられてお
り、これら分離溝１１６の内部には、封止剤１２０が浸
透している。この場合、実施例１のものに比べ、分離壁
部における封止剤の密着性が向上し、長期にわたる信頼
性を向上することができる。

【００２２】《実施例３》さらに図６に示したもので
は、溝付天板１３０の各壁１１１ａ〜１１１ｃに設けら
れている分離溝１１３ａ〜１１３ｃに対応して、ヒータ
ボード１００の表面にリブ部１２５ａ〜１２５ｃが形成
されている。リブ部１２５ａ〜１２５ｃは、好ましくは
感光性樹脂で形成することができる。このリブ部を設け
た上で分離溝内に封止剤を導入することも可能である
が、リブ部１２５ａ〜１２５ｃと分離溝１１３ａ〜１１
３ｃが嵌合するような構成とすることにより、封止剤を
導入しなくても各液室からのインクの浸透・拡散を防止
することが可能となり、各液室間の分離が完全なものと
なって、複数色のインクを用いてカラー記録を行なう場
合の混色の問題を解決することができる。さらにはこの
リブ部により、基板と溝付天板との位置決めも確実に行
なえるものである。

【００２３】《インクジェット記録装置の実施例》次
に、上述したようなインクジェット記録ヘッドを用いた
インクジェット記録装置について、説明する。図７は本
発明により得られたインクジェット記録ヘッドをインク
ジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装着した
インクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示す外観
斜視図である。

【００２４】図７において、２０はプラテン２４上に送
紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。

【００２５】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行う。このヘッド回復装置２
６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピン
グに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜の
吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイン
ク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送を
行い、インクを吐出口より強制的に排出させることによ
りノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理を
行う。また、記録終了時等にキャッピングを施すことに
よりＩＪＣが保護される。

【００２６】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３０はブレード保持部材３０
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３０をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴ってＩＪＣ２０の吐出面
における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるものであ
る。

【００２７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式のインクジェット記録
ヘッド、インクジェット記録装置において、優れた効果
をもたらすものである。

【００２８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4,723,129号明細書、同第4,740,796号明
細書に開示されており、本発明はこれらの基本的な原理
を用いて行うものが好ましい。この記録方式はいわゆる
オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用
可能である。

【００２９】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じるよ
うな急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆
動信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。こ
のように液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆
動信号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオ
ンデマンド型の記録法には有効である。この気泡の成
長、収縮により吐出孔を介して液体（インク）を吐出さ
せて、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号を
パルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行わ
れるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が
達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号と
しては、米国特許第4,463,359号明細書、同第4,345,262
号明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4,313,124号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行うことができる。

【００３０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路または直角液流
路）の他に、米国特許第4,558,333号明細書、米国特許
第4,459,600号明細書に開示されているように、熱作用
部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発明
に含まれる。

【００３１】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭59-123670号公報や熱エネルギーの圧力波
を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特
開昭59-138461号公報に基づいた構成においても本発明
は有効である。

【００３２】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００３３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００３４】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子、あるいはこれらの組み合わせによ
る予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モー
ドを行う手段を付加することも安定した記録を行うため
に有効である。

【００３５】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００３６】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するかまたは、インクの蒸発防止を目的として放置
状態で固化するインクを用いることもできる。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化してインク液状として吐出するものや記録媒
体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００３７】このようなインクは、特開昭54-56847号公
報あるいは特開昭60-71260号公報に記載されるような、
多孔質シートの凹部または貫通孔に液状または固形物と
して保持された状態で、電気熱変換体に対して対向する
ような形態としても良い。

【００３８】本発明において、上述した各インクに対し
て最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するも
のである。

【００３９】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、第１の部
材（溝付天板）において液室に対応する凹部間を分離す
る壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けることによ
り、第１の部材と第２の部材との圧接後にこの分離溝内
に封止剤を注入したり、あるいは第２の部材側にこの分
離溝に嵌合するリブ部を設けておいたりすることによ
り、液室間でのインクの浸透・拡散を防止することが可
能となり、液室間の分離が完全に行なわれるようになる
という効果がある。これにより、複数色のインクを使用
してカラー記録を行なう場合において、インクの混色を
防ぐことができ、各インクの鮮明な色を再現できるよう
になって高品位の記録を行なえるようになるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１のインクジェット記録ヘッドの構成を
示す分解斜視図である。

【図２】ヒータボード側から見た溝付天板の斜視図であ
る。

【図３】図１のインクジェット記録ヘッドをオリフィス
プレート部側から見た場合の概略正面図である。

【図４】図１のインクジェット記録ヘッドの要部断面図
である。

【図５】実施例２のインクジェット記録ヘッドの要部断
面図である。

【図６】実施例３のインクジェット記録ヘッドの要部断
面図である。

【図７】本発明のインクジェット記録ヘッドを使用した
インクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。

【図８】従来のインクジェット記録ヘッドの構成を示す
概略斜視図である。

【符号の説明】

１６ キャリッジ １７ 駆動モータ １８ 駆動ベルト １９Ａ，１９Ｂ ガイドシャフト ２０ インクジェットヘッドカートリッジ ２２ クリーニング用モータ ２３ 伝動機構 ２４ プラテン ２６ ヘッド回復装置 ２６Ａ キャップ部 ３０ ブレード ３０Ａ ブレード保持部材 １００ ヒ−タボード １０１ 溝部 １０９ 吐出口 １１０ａ〜１１０ｄ 凹部 １１１ａ〜１１１ｃ 壁 １１３ａ〜１１３ｃ，１１６ 分離溝 １１５ａ〜１１５ｄ 供給口 １２０ 封止剤 １２５ａ〜１２５ｃ リブ部 １３０ 溝付天板 １４０ オリフィスプレート ２００ 配線基板 ３００ 支持板 ５００ 押えバネ ６００ インク供給部材 ７００ フィルタ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−8443（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを供給するための複数の液室にそ
   れぞれ対応する分離された複数の凹部と前記凹部に接続
   し流路に対応する溝部と前記溝部の先端であって吐出口
   面に露出した吐出口形成部位とが一体的に形成された第
   １の部材と、インクに吐出エネルギを与える吐出エネル
   ギ発生素子が前記流路に対応して設けられている第２の
   部材とを有し、前記第１および第２の部材を圧接するこ
   とで形成されるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記複数の凹部を分離するために前記第１の部材に形成
   されている壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けら
   れていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 隣接する前記凹部間に複数本の前記分離
   溝が設けられている請求項１に記載のインクジェット記
   録ヘッド。
3. 【請求項３】 前記分離溝に封止剤が注入されている請
   求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 前記分離溝に嵌合するリブ部が前記第２
   の部材の表面に設けられている請求項１または２に記載
   のインクジェット記録ヘッド。
5. 【請求項５】 前記分離溝に対応するリブ部が前記第２
   の部材の表面に設けられている請求項１ないし３いずれ
   か１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 【請求項６】 前記リブ部が感光性樹脂を用いて形成さ
   れている請求項４または５に記載のインクジェット記録
   ヘッド。
7. 【請求項７】 前記吐出エネルギ発生素子がインク吐出
   用の熱エネルギを発生する電気熱変換体である請求項１
   ないし６いずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッ
   ド。
8. 【請求項８】 前記電気熱変換体によって印加される熱
   エネルギによりインクに生じる膜沸騰を利用して前記吐
   出口からインクを吐出させる請求項１ないし７いずれか
   １項に記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 【請求項９】 インクを供給するための分離した複数の
   液室と前記液室に連通する流路と前記流路の先端部に形
   成され吐出口面に露出した吐出口と前記流路に対応して
   設けられインクに吐出エネルギを与える吐出エネルギ発
   生素子とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法
   であって、 前記液室にそれぞれ対応する複数の凹部と前記流路に対
   応する溝部と前記吐出口に対応する吐出口形成部位と前
   記複数の凹部を分離するための壁状部と外周部に連通す
   るように前記壁状部に設けられた分離溝とが一体的に形
   成された第１の部材と、前記吐出エネルギ発生素子が設
   けられた第２の部材を使用し、前記第１および第２の部
   材を圧接し、そののち、前記分離溝に封止剤を注入する
   インクジェット記録ヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】 隣接する前記凹部間に複数本の前記分
    離溝が設けられた前記第１の部材を使用する請求項９に
    記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項１ないし８いずれか１項に記載
    のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録
    ヘッドを載置する載置手段とを有するインクジェット記
    録装置。
12. 【請求項１２】 記録媒体と前記載置手段とを相対的に
    移動させる移動手段をさらに有する請求項１１に記載の
    インクジェット記録装置。