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JP3198909B2 - 2次元面発光レーザビームスキャナおよびレーザビーム記録装置 - Google Patents

2次元面発光レーザビームスキャナおよびレーザビーム記録装置

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Publication number
JP3198909B2
JP3198909B2 JP00887896A JP887896A JP3198909B2 JP 3198909 B2 JP3198909 B2 JP 3198909B2 JP 00887896 A JP00887896 A JP 00887896A JP 887896 A JP887896 A JP 887896A JP 3198909 B2 JP3198909 B2 JP 3198909B2
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JP
Japan
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laser
lasers
dimensional surface
scanning direction
magnification
Prior art date
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JP00887896A
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泉 岩佐
茂行 大竹
朗 坂本
将央 山本
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Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Fujifilm Business Innovation Corp
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/42Arrays of surface emitting lasers
    • H01S5/423Arrays of surface emitting lasers having a vertical cavity
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/435Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は2次元面発光レーザ
ビームスキャナおよびレーザビーム記録装置に関し、特
に、密接配置されるレーザスポットを画像形成面、主と
して感光体上に高精度で形成することができる2次元面
発光レーザビームスキャナおよびレーザビーム記録装
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の2次元面発光レーザアレイとし
て、例えば、米国特許第5,325,386号明細書に
記載されているものがある。この2次元面発光レーザア
レイは、半導体基板上に複数のレーザを所定のパターン
で2次元に配置し、必要に応じて各レーザ上にマイクロ
レンズを形成して構成されている。
【0003】この2次元面発光レーザは画像信号に応じ
て各レーザが駆動され、各レーザから出射されるレーザ
光を走査ミラーによって主走査方向、あるいは主走査方
向および副走査方向に走査することによって2次元の視
認可能な画像パターンを生成している。
【0004】一方、従来の半導体レーザビームスキャナ
として、例えば、特開平1−152683号公報に示さ
れるものがある。この半導体レーザビームスキャナは、
複数のレーザが1次元に配列された半導体レーザアレイ
と、この半導体レーザアレイから出射されるレーザ光を
露光位置に集光するレンズ系を有し、その露光位置にバ
ーコード等の結像面を配置してスキャナを構成してい
る。
【0005】また、従来のレーザビームプリンタとし
て、例えば、特開昭64−42667号公報に示される
ものがある。このレーザビームプリンタは、複数の半導
体基板を張り合わせて構成され、記録体の主走査方向の
幅にわたって複数のレーザを配列した半導体レーザアレ
イと、この半導体レーザアレイに近接して配置され、各
レーザのレーザ光によって直接露光される感光体より構
成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、米国特許第
5,325,386号明細書に記載された2次元面発光
レーザアレイによると、走査ミラーによってレーザ光を
走査するので、走査ミラー系に故障が生じ易く、また、
騒音が発生する。一方、そのレーザ光によって直接感光
体を露光すると、各レーザ間に間隔があるので、画素間
に間隔を有しない高画質の画像記録を行うことができな
い。
【0007】また、特開平1−152683号公報に示
された半導体レーザビームスキャナによると、半導体レ
ーザアレイの各レーザは半導体基板上に間隔を有して配
置されているので、感光体上に結像した画素間に間隔が
生じて画質の向上に限界が生じる。
【0008】更に、特開昭64−42667号公報に示
されたレーザビームプリンタによると、上述した画素間
の間隔の問題に加え、複数の半導体基板を張り合わせて
半導体レーザアレイを構成しているので、画素アレイの
位置精度が低下する。
【0009】従って、本発明の目的は故障発生を抑え、
騒音のない2次元面発光レーザビームスキャナおよびレ
ーザビーム記録装置を提供することにある。
【0010】本発明の他の目的は画素間に間隔がない画
像を形成することができる2次元面発光レーザビームス
キャナおよびレーザビーム記録装置を提供することにあ
る。
【0011】本発明の更に他の目的は高い位置精度を有
た2次元面発光レーザビームスキャナおよびレーザビ
ーム記録装置を提供することにある。
【0012】
【0013】
【課題を解決するための手段】 本発明の第の特徴によ
ると、上記の目的を実現するため、半導体基板上に2次
元に配置された複数のレーザを有した2次元面発光レー
ザアレイと、前記2次元面発光レーザアレイのレーザ光
の出射側に配置され、前記複数のレーザから出射される
全てのレーザ光を受光する口径を有したレンズ系と、前
記2次元面発光レーザアレイの前記複数のレーザを指定
された走査パターンで駆動する駆動回路を備え、前記レ
ンズ系は、前記複数のレーザから出射されるレーザ光を
主走査方向で第1の倍率で拡大する第1のレンズ系と、
前記複数のレーザから出射されるレーザ光を副走査方向
で前記第1の倍率より小さい第2の倍率で拡大するか、
あるいは縮小する第2のレンズ系を含むことを特徴とす
る2次元面発光レーザビームスキャナを提供する。
【0014】本発明の第の特徴によると、上記の目的
を実現するため、半導体基板上に2次元に配置された複
数のレーザを有した2次元面発光レーザアレイと、前記
2次元面発光レーザアレイのレーザ光の出射側に配置さ
れ、前記複数のレーザから出射される全てのレーザ光を
受光する口径を有したレンズ系と、前記2次元面発光レ
ーザアレイの前記複数のレーザを指定された走査パター
ンで駆動する駆動回路と、副走査方向に所定の速度で回
転し、前記レンズ系を透過した前記レーザ光によって露
光されて静電潜像を形成する感光体と、前記静電潜像に
基づいて画像記録を実行する記録手段を備え、前記レン
ズ系は、前記複数のレーザから出射されるレーザ光を主
走査方向で第1の倍率で拡大する第1のレンズ系と、前
記複数のレーザから出射されるレーザ光を副走査方向で
前記第1の倍率より小さい第2の倍率で拡大するか、あ
るいは縮小する第2のレンズ系を含むことを特徴とする
レーザビーム記録装置を提供する。
【0015】発明の第の特徴によると、上記目的を
実現するため、2次元状に配置された複数のレーザを有
したレーザアレイと、前記複数のレーザから出射される
複数のレーザ光を主走査方向で第1の倍率で拡大すると
ともに、副走査方向で前記第1の倍率より小さい第2の
倍率で拡大あるいは縮小する変倍光学系と、前記副走査
方向に移動するとともに、前記変倍光学系を透過した前
記複数のレーザ光によって露光されて静電潜像を形成す
る感光体とを備えたことを特徴とするレーザビーム記録
装置を提供する。
【0016】
【発明を実施する形態】図1は本発明の2次元面発光レ
ーザビーム記録装置の第1の形態を示し、画素信号をス
トアしたメモリ11と、メモリ11から読み出された画
像信号を処理して記録パターンに応じた記録信号を出力
する信号処理部12と、信号処理部12から記録信号を
入力して2次元面発光レーザアレイ(以下、単にレーザ
アレイという)10を駆動する駆動信号を出力する駆動
回路13と、レーザアレイ10から出射されるレーザ光
を主走査方向と副走査方向に拡大する光学系14と、支
持ロール16、17(少なくとも1つは駆動ロール)に
よって回転的に支持され、静電的に帯電を受けた後光学
系14を介してレーザアレイ10からレーザ光を受けて
露光されることによって表面に静電潜像を形成する感光
体ベルト15を有する。感光体ベルト15の周囲には、
帯電器、現像機、転写器等が設けられ、転写器の前段に
は、給紙部が設けられ、また、その後段には、定着器、
排紙部等が設けられている。これらの各ユニットは、説
明上、図示されていない。
【0017】図2は図1のレーザアレイ10を構成する
レーザの1素子を示し、n-GaAsの半導体基板100と、
Al0.15Ga0.85AsとAlAsを交互に多層に積層したn型反射
鏡110と、GaAs量子井戸層を上下のAl0.3Ga0.7Asで挾
み込んで形成された発光層を含むキャビティ領域120
と、Al0.15Ga0.85AsとAlAsを交互に多層に積層したP型
反射鏡層130と、プロトンを注入した高抵抗領域14
0と、半導体基板100の裏面に形成されたn型電極1
50と、P型反射鏡層130の表面に形成されたP型電
極160を有し、P型電極160はレーザ光180を面
発光状態で出射する開口170を形成されている。
【0018】図3はレーザアレイ10の1部を示し、配
線190によって電源(図示せず)に接続されたP型電
極160が所定のパターンで配置されており、P型電極
160には、レーザ光を出射する開口170が形成され
ている。
【0019】図4はレーザアレイ10の開口170のパ
ターンを示し、主走査方向の基線N(第1の基線)と、
この基線Nに対して角度θを有し基線N上のレーザ上を
通る基線(第2の基線)Mによって開口170のパター
ンが定義されている。基線Mはn個のレーザに対してn
本定義できるが1本のみ図示した。開口170のみを図
示している各レーザは単一の半導体基板上に形成されて
おり、基線Nに沿って等間隔にn個、基線Mに沿って等
間隔にm個合計n×m個のレーザが2次元に配置されて
いる。各レーザの開口170は直径dを有し、各開口1
70は基線Mに沿って間隔aを有し、基線Nに沿って間
隔bを有する。引用数字51 〜512は副走査線を示し、
副走査線51 〜512の間隔はa cosθで表される。開口
170は直径dが、d≧a cosθを満足するように形成
されており、副走査線51 〜512上には、少なくとも1
つの開口170が形成されている。開口170の主走査
方向の間隔bは、b=ma cosθで表される。
【0020】図5は図1の駆動回路13を示し、レーザ
アレイ10に抵抗Rを介して接続されている。レーザア
レイ10は単一の半導体基板に2次元に形成された複数
のレーザを有し、各レーザはセクション1〜セクション
q(例えば、q=14)に分割されており、各セクショ
ンにはp(例えば、p=1000)のレーザが形成され
ている。qおよびpは前述したnおよびmとの関係にお
いて、q×p=n×mが成立する。各セクションはクロ
ック発生回路61のクロックに基づいて信号処理回路1
2からシリアルの記録信号を入力してパラレルに出力す
るシフトレジスタ62と、シフトレジスタ62からパラ
レルの記録信号を入力してラッチ信号発生回路69から
のラッチ信号によってラッチするラッチ回路64と、ク
ロック発生回路61から入力したクロックに基づいて転
送信号発生回路70からの転送信号を1ビットずつシフ
トしそのビットに対応するAND回路65をスルー状態
にするシフトレジスタ66と、オンになったAND回路
65を介してラッチ回路64から記録信号を入力して電
源Vccに基づいてレーザアレイ10を駆動するドライバ
ー67を有している。
【0021】以上の構成において、図6のタイミングチ
ャートに基づいて動作を説明する。先ず、メモリ11か
ら画像信号が読み出され、、信号処理回路12で信号処
理されて記録パターンに応じた記録信号が生成される。
クロック信号発生回路61から出力されるクロックに基
づいて信号処理回路12から記録信号(データ)が各セ
クションのシフトレジスタ62へシリアルに出力され、
その内部を1ビットずつシフトさせられる。シフトレジ
スタ62の各ビットに記録信号が入力すると、ラッチ信
号発生回路69からラッチ信号がラッチ回路64に出力
され、シフトレジスタ62の記録信号がパラレルにラッ
チ回路64に転送されてそこにラッチされる。次に転送
信号発生回路70からシフトレジスタ66へ転送信号が
供給されれると、この転送信号がクロックに基づいてシ
フトレジスタ66を1ビットずつシフトし、各ビット毎
にAND回路65をスルー状態にする。AND回路65
がスルー状態になると、ラッチ回路64にラッチされて
いる記録信号がドライバー67に供給され、それによっ
てレーザアレイ10の各レーザが記録信号に応じて駆動
される。
【0022】レーザアレイ10の各レーザはn型電極1
50とp型電極160の間に電源電圧Vccに基づく駆動
電圧を受けると、高抵抗領域140によって包囲された
キャビティ領域120にキャリアが集中し、GaAs量
子井戸層が光を発生して、p型およびn型の反射鏡層1
10および130の間でキャビティ現象が発生し、開口
170からレーザ光180を出射する。
【0023】レーザアレイ10の開口170から出射し
たレーザ光はレンズ系14によって主走査方向および副
走査方向で所定の倍率で拡大されて感光体ベルト15を
露光する。
【0024】図7(a) は図5のセクション1〜qの各配
線1〜pに接続されたレーザの駆動によって出射された
レーザ光により一回露光された感光体ベルト15の画素
(レーザスポット)を示し、図示されている基線N’お
よびM’は前述した基線NおよびMに対応し、画素直径
d’、画素間隔a’およびb’は開口170の直径d、
開口170の間隔aおよびbをレンズ系14によって所
定の倍率で拡大した値に等しい。転送信号70の1周期
の間にすべてのレーザが1回駆動される。この間に感光
体ベルト15は所定の距離だけ移動する。転送信号70
の次の周期においてすべてのレーザが再び駆動される。
【0025】図7(b) はその状態を示し、画素72は先
の転送信号70の周期に主走査線6 1 上に形成された画
素71に接して次の転送信号70の周期に形成されたも
のであり、このようにして主走査線61 、62 、63
4 ・・・・・と副走査線5 1 、52 、53 、54 、・
・・・・の交点に次々に画素が形成される。この結果、
感光体15の表面には隣接画素との間に間隔を有しない
画素によって記録信号に応じた静電潜像が形成される。
この静電潜像はトナーによって現像されることによりト
ナー像にされ、トナー像は記録体に転写され、転写像は
定着処理を受けて記録体上に定着する。このようにして
画像記録が実行される。
【0026】以上の説明から明らかなように、等間隔で
密に並び、かつ、隣接する画素間に間隔を有しない画素
によって形成される品質の高い画像を得ることができ
る。また、レーザアレイ10は単一の半導体基板上に形
成されているので、各レーザの位置精度が高くなり、そ
の結果、画質の低下を防ぐことができる。
【0027】図8(a) 、(b) は本発明の2次元面発光レ
ーザビーム記録装置の第2の形態を示し、記録信号に応
じて駆動されることによりレーザ光を出射するレーザア
レイ10と、レーザ光を主走査方向に所定の倍率で拡大
する拡大レンズ81と、主走査方向に拡大されたレーザ
光を副走査方向で所定の縮小率で縮小する縮小ミラー8
2と、主走査方向で拡大され、副走査方向で縮小された
レーザ光で露光される感光体ドラム15を有する。感光
体ドラム15の周囲には、帯電器、現像機、転写器等が
配置されているが、図示上省略されている。
【0028】以上の構成において、レーザアレイ10が
記録信号に応じて駆動されると、レーザアレイ10から
レーザ光が出射する。そのレーザ光は拡大レンズ81で
拡大され、縮小ミラー82で縮小されて感光体ドラム1
5を露光する。この露光によってドラム15に記録信号
に応じた静電潜像が形成され、第1の形態において述べ
たようにして記録体に画像が形成される。
【0029】図9(a) は図7(a) に対応するものであ
り、感光体ドラム15上に形成される画素を示してい
る。即ち、主走査線61 、62 ・・・・・と副走査線5
1 、52・・・・・の交点に主走査方向に拡大され、副
走査方向に縮小された画素が形成される。
【0030】図9(b) は図7(b) に対応するものであ
り、先の転送信号の周期に形成された画素71と、次の
転送信号の周期に形成された画素72を示している。
【0031】第2の形態によると、レーザアレイを感光
体上に投影した像の副走査方向の幅が小さくなるので、
感光体ドラム15が小さな曲率半径を有する場合であっ
ても歪みの小さな画像を得ることができる。また、第1
の形態と同じように品質の高い画像を得ることができ
る。更に、レーザの点灯時間を変えることにより画素の
副走査方向の大きさを変えることができる。
【0032】図10(a) 、(b) は本発明の2次元面発光
レーザビーム記録装置の第3の形態を示し、記録信号に
応じて駆動されるレーザアレイ10と、主走査方向にお
いてレーザアレイ10から出射されるレーザ光を拡大す
る主走査・副走査拡大光学系21と、主走査方向および
副走査方向で拡大されたレーザ光を反射する反射鏡23
と、反射鏡23からのレーザ光を副走査方向で拡大ある
いは縮小する副走査拡大光学系22と、レーザ光によっ
て露光される感光体ドラム15を有している。
【0033】以上の第3の形態では、球面レンズより成
る主走査・副走査拡大光学系21でレーザ光を主走査方
向および副走査方向に拡大し、非球面レンズより成る副
走査拡大光学系22で副走査方向に拡大あるいは縮小す
る。副走査拡大光学系22は主走査拡大光学系によって
置換されても良い。
【0034】図11(a) 、(b) は本発明の2次元面発光
レーザビーム記録装置の第4の形態を示し、記録信号に
応じて駆動されるレーザアレイ10と、レーザアレイ1
0から出射されたレーザ光を主走査方向で拡大する主走
査拡大光学系21と、主走査方向で拡大されたレーザ光
を副走査方向で拡大する副走査拡大光学系22と、主走
査方向および副走査方向で拡大されたレーザ光で露光さ
れる感光体ドラム15を有している。
【0035】以下、本発明の2次元面発光レーザアレイ
各種のパターンを説明する。 (イ) 基本配置(縦10スポット) 図12は基本配置(縦10スポット)を示し、図示され
た基線を含んで主走査方向に伸びる10本の基線を想定
する。図示された基線上には図示された間隔でレーザ開
口170が形成されることにより第1のレーザアレイが
設けられている。図示された基線に平行に伸びる次の基
線(図示せず)には、例えば、開口170の外径に等し
い距離だけ主走査方向にシフトして形成されたレーザの
開口170が設けられている。これより第2のレーザア
レイが形成されている。以下同じように、第3より第1
0のレーザアレイが形成されることにより2次元面発光
レーザアレイ10が得られる。この2次元面発光レーザ
アレイ10を、例えば、各基線単位で駆動し、感光体
(図示せず)を各基線単位の駆動タイミングに応じた速
度で副走査方向に移動(回転)させると、感光体上に
は、引用数字50で示したように、主走査方向に間隔を
有しない密接配置された画素アレイが得られる。画素ア
レイ50は、説明上、主走査方向および副走査方向とも
に等倍で図示されているが、前述したように、主走査方
向は第1の所定の倍率で拡大され、副走査方向は第1の
所定の倍率より小さい第2の所定の倍率で拡大される
か、あるいは縮小されることが好ましい。この基本配置
のレーザアレイ10のパターンによると、各レーザ開口
170の間隔が等しいので、パターンが単純になって製
造が容易である。 (ロ) 正方格子の組み合わせ 図13は正方格子の組み合わせに基づく2次元面発光レ
ーザアレイ10を示しており、各レーザの開口170
は、6×6の正方格子をユニットとし、複数のユニット
を基線に対して所定の角度傾けることによって2次元面
発光レーザアレイにされている。下方に示した引用数字
50は、感光体上に形成される画素アレイ50を示して
いる、このレーザアレイ10のパターンによると、正方
格子をユニットしているので、パターンが最も単純であ
り、精度良く製造される。 (ハ) 位置合わせスポット(その1) 図14は複数の位置合わせ用レーザの開口170aを画
像形成用レーザの開口170の上下に配置した2次元面
発光レーザアレイ10を示す。図中、基線MおよびN、
レーザの開口数mおよびn、基線Mの基線Nに対する角
度θ、レーザ開口170の間隔aおよびb、およびレー
ザ開口170の外径dは図4の説明等において述べたの
で、ここでは省略する。この2次元面発光レーザアレイ
10によると、感光体等との相対的な傾斜等の検出が可
能になり、品質の高い画像記録を得ることができる。 (ニ) 位置合わせスポット(その2) 図15は図14の2次元面発光レーザアレイ10に比較
して位置合わせ用レーザの開口170aの個数を減らし
ながらその間隔を大にした2次元面発光レーザアレイ1
0を示している。 (ホ) 位置合わせスポット(その3) 図16は図15の2次元面発光レーザアレイ10よりも
更に位置合わせ用レーザアレイの開口170aの個数を
減らした2次元面発光レーザアレイ10を示している。
この2次元面発光レーザアレイ10では1つの位置合わ
せ用レーザの開口170aが基線N上にあって画像形成
用レーザの開口170と並んで配置されている。 (ヘ) 1行の予備スポット 図17は主走査方向に関して10個の画像形成用レーザ
の開口170が配置される周期で1個の予備レーザの開
口170bを配置したものであり、図12の基本配置パ
ターンに1行の予備レーザの開口170bを設けた2次
元面発光レーザアレイ10が構成されている。この2次
元面発光レーザアレイ10によると、1つのレーザが不
良になっても対応する予備レーザを駆動タイミングを制
御して駆動することによって不良レーザに基づく画素抜
けを防止することができる。また、予備レーザ170b
は位置合わせスポットとして使用することができる。 (ト) 2次元配置の予備スポット 図18は各画像形成用レーザの開口170に隣接して予
備レーザの開口170bを設けた2次元面発光レーザア
レイ10を示している。不良レーザと予備レーザの対応
関係は副走査線5を基準にして決定される。即ち、1つ
のレーザが不良になると、同一の副走査線5上に位置す
る予備レーザが駆動タイミングを制御されて駆動され
る。これにより、不良レーザの開口170からレーザ光
が出射されたように動作する。このようにして不良レー
ザに基づく画素抜けを防止することができる。 (チ) 折り返しパターン 図19は画像形成用レーザの開口170が主走査方向に
対して所定の周期で折り返すパターンで形成された2次
元面発光レーザアレイ10を示している。このレーザア
レイ10によると、レーザアレイ10が所定の取り付け
位置に対して傾斜あるいは回転していたとしても、感光
体上に形成される画素の所定の走査線からの変位を小さ
く抑えることができる。 (リ) シフト付折り返しパターン(その1) 図20は、図19の折り返しパターンの2次元面発光レ
ーザアレイ10において、折り返し点以降の画像形成用
レーザの開口170cを位置的にシフトして配置した2
次元面発光レーザアレイ10を示している。このレーザ
アレイ10によると、図19のレーザアレイ10による
効果に加えて、折り返し点において開口170が接近す
るのを防止している。これによって、レーザアレイ10
の製造が困難になるのを防止している。 (ヌ) シフト付折り返しパターン(その2) 図21は、図20のシフト付折り返しパターンの2次元
面発光レーザアレイ10において、折り返し点以降の画
像形成用レーザの開口170c1 、170c2の位置的
なシフト量を増加した2次元面発光レーザアレイ10を
示している。図20のレーザアレイ10と同じ効果が得
られる。 (ル) 2スポットパターン(その1) 図22は各副走査線につき2個の画像形成用レーザの開
口170を形成した2次元面発光レーザアレイ10を示
している。このレーザアレイ10によると、画像形成速
度を2倍にすることができる。一方、画像形成速度の2
倍化を行なわないときは、予備スポットとして使用して
も良い。 (オ) 2スポットパターン(その2) 図23は各走査線上に2個の画像形成用レーザの開口1
70を隣接して配置した2次元面発光レーザアレイ10
を示している。このレーザアレイ10によると、図22
のレーザアレイ10の効果に加えて、1つを予備レーザ
の開口として使用したときに、切替時の回転誤差を小さ
くすることができる。 (ワ) 位置合わせスポットを有したシフト付折り返しパタ
ーン 図24は位置合わせスポット170aを有したシフト付
折り返しパターンに基づく2次元面発光レーザアレイ1
0を示している。170cは前述したシフト付き開口で
ある。このレーザアレイ10によると、前述した位置合
わせ、シフト、および折り返しのそれぞれの効果を同時
に得ることができる。 (カ) 2スポットを有するシフト付折り返しパターン 図25は各副走査線上に画像形成用レーザの2個の開口
170を形成し、折り返しパターンにおいて折り返し点
以降において位置的にシフトした開口170cを有した
2次元面発光レーザアレイ10を示している。このレー
ザアレイ10によると、前述した2スポット、シフトお
よび折り返しのそれぞれの効果を同時に得ることができ
る。
【0036】
【実施例】以上説明した2次元面発光レーザアレイを使
用した2次元面発光レーザビーム記録装置を以下の条件
で実施した。 (1) 光学系における主走査方向と副走査方向の倍率を等
倍にしたときの実施例
【表1】 (2) 光学系における主走査方向倍率よりも副走査方向の
倍率を小にするか、あるいは副走査方向で縮小したとき
の実施例
【表2】
【0037】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によると、以
下の効果を奏することができる。 (1) 走査ミラーを不要にしたので、故障発生を抑え、騒
音を防止することができる。 (2) 少なくとも2本の主走査線上に等間隔で配置された
複数のレーザを半導体基板上に形成し、この複数のレー
ザにより出射されるレーザ光を主走査方向で拡大し、副
走査方向で拡大あるいは縮小するようにしたので、少な
くとも主走査方向において間隔のない画素アレイに基づ
く画像記録を行なうことができる。 (3) 2次元面発光レーザアレイを単一の半導体基板上に
形成して複数の半導体基板を組み合わせる必要性をなく
したので、高い位置精度で画素アレイを形成することが
できる。(4) 複数の面発光レーザを、レーザの中心を通り副走査
方向に伸びる副走査線が等間隔でかつレーザ開口が副走
査線の間隔以上の径を有するように単一の半導体基板上
の配置したので、画素間に間隔を有しない高画質な画像
を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態を示す説明図
【図2】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態における2次元面発光レーザアレイの
レーザを示す断面図
【図3】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態における2次元面発光レーザアレイの
レーザ光出射用開口と配線の関係を示す説明図
【図4】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態における2次元面発光レーザアレイの
レーザ光出射用開口の配置パターンを示す説明図
【図5】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態におけるレーザアレイ駆動回路を示す
ブロック図
【図6】本発明の2次元面発光レーザビーム記録装置の
第1の実施の形態におけるレーザアレイ駆動を示すタイ
ミングチャート
【図7】(a) は本発明の2次元面発光レーザビーム記録
装置の第1の実施の形態における感光体ベルト上の画素
パターンの説明図 (b) は(a) と同じく画素パターンの説明図
【図8】(a) は本発明の2次元面発光レーザビーム記録
装置の第2の実施の形態を示す斜視図 (b) は(a) と同じく第2の実施の形態を示す側面図
【図9】(a) は本発明の2次元面発光レーザビーム記録
装置の第2の実施の形態における感光体ドラム上の画素
パターンの説明図 (b) は(a) と同じく画素パターンの説明図
【図10】(a) は本発明の2次元面発光レーザビーム記
録装置の第3の実施の形態を示す上面図 (b) は(a) と同じく第3の実施の形態を示す側面図
【図11】(a) は本発明の2次元面発光レーザビーム記
録装置の第4の実施の形態を示す上面図 (b) は(a) と同じく第4の実施の形態を示す側面的説明
【図12】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図13】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図14】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図15】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図16】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図17】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図18】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図19】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図20】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図21】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図22】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図23】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図24】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【図25】本発明の2次元面発光レーザアレイのレーザ
光出射用開口パターンの他の実施の形態を示す説明図
【符号の説明】
1 ,52 ,53 副走査線 61 ,62 ,63 主走査線 10 2次元面発光レーザアレイ 11 画像メモリ 12 信号処理回路 13 駆動回路 14 光学系 15 感光体ベルトあるいは感光体ドラム 16,17 支持ロール 21,22 拡大光学系 50 等間隔で間隔のない画素ライン 61 クロック発生回路 62,66 シフトレジスタ 64 ラッチ信号発生回路 65 AND回路 67 トライバ 69 ラッチ信号発生回路 70 転送信号発生回路 71,72 画素(レーザスポット) 100 半導体基板 110,130 反射鏡層 140 高抵抗領域 150 n型電極 160 p型電極 170 レーザ光出射用開口 180 レーザ光 190 配線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 将央 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (56)参考文献 特開 平8−72306(JP,A) 特開 昭54−38130(JP,A) 特開 平6−47954(JP,A) 特開 平7−111559(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04N 1/024 - 1/036 B41J 2/44

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体基板上に2次元に配置された複数の
    レーザを有した2次元面発光レーザアレイと、 前記2次元面発光レーザアレイのレーザ光の出射側に配
    置され、前記複数のレーザから出射される全てのレーザ
    光を受光する口径を有したレンズ系と、 前記2次元面発光レーザアレイの前記複数のレーザを指
    定された走査パターンで駆動する駆動回路を備え 前記レンズ系は、前記複数のレーザから出射されるレー
    ザ光を主走査方向で第1の倍率で拡大する第1のレンズ
    系と、前記複数のレーザから出射されるレーザ光を副走
    査方向で前記第1の倍率より小さい第2の倍率で拡大す
    るか、あるいは縮小する第2のレンズ系を含む ことを特
    徴とする2次元面発光レーザビームスキャナ。
  2. 【請求項2】半導体基板上に2次元に配置された複数の
    レーザを有した2次元面発光レーザアレイと、 前記2次元面発光レーザアレイのレーザ光の出射側に配
    置され、前記複数のレーザから出射される全てのレーザ
    光を受光する口径を有したレンズ系と、 前記2次元面発光レーザアレイの前記複数のレーザを指
    定された走査パターンで駆動する駆動回路と、 副走査方向に所定の速度で回転し、前記レンズ系を透過
    した前記レーザ光によって露光されて静電潜像を形成す
    る感光体と、 前記静電潜像に基づいて画像記録を実行する記録手段を
    備え 前記レンズ系は、前記複数のレーザから出射されるレー
    ザ光を主走査方向で第1の倍率で拡大する第1のレンズ
    系と、前記複数のレーザから出射されるレーザ光を副走
    査方向で前記第1の倍率より小さい第2の倍率で拡大す
    るか、あるいは縮小する第2のレンズ系を含む ことを特
    徴とするレーザビーム記録装置。
  3. 【請求項3】2次元状に配置された複数のレーザを有し
    たレーザアレイと、 前記複数のレーザから出射される複数のレーザ光を主走
    査方向で第1の倍率で拡大するとともに、副走査方向で
    前記第1の倍率より小さい第2の倍率で拡大あるいは縮
    小する変倍光学系と、 前記副走査方向に移動するとともに、前記変倍光学系を
    透過した前記複数のレーザ光によって露光されて静電潜
    像を形成する感光体とを備えたことを特徴とするレーザ
    ビーム記録装置。
  4. 【請求項4】前記レーザアレイは、前記主走査方向に伸
    びる基線上に所定の間隔で配置された第1の複数のレー
    ザと、前記基線と所定の角度を有して伸びる複数の傾斜
    線上にそれぞれ所定の間隔で配置された第2の複数のレ
    ーザを有し、 前記第1および第2の複数のレーザは、前記基線の方向
    において等間隔でかつ間隙を有しないように配置されて
    いる構成を有することを特徴とする請求項記載のレー
    ザビーム記録装置。
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