JP3171058B2 - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents
過酸化水素水の精製方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、過酸化水素水の精製方
法に関するものでである。更に詳しくは、本発明は、不
純物である金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体
の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素
水を得ることができる過酸化水素水の精製方法に関する
ものである。
法に関するものでである。更に詳しくは、本発明は、不
純物である金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体
の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素
水を得ることができる過酸化水素水の精製方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造プロセスにおいて、ウエハ
ーの洗浄液の一成分として過酸化水素水が用いられる。
ここで用いられる過酸化水素水は、高度に清浄で純粋で
あることが要求される。特に、過酸化水素水に鉄、アル
ミニウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなど
の金属成分が存在すると、得られる半導体の信頼性を著
しく低下させる。一方、半導体の信頼性に対する要求水
準は、近年一層高度なものとなりつつあり、そのために
は各金属成分の濃度を一層低い水準に制御された高純度
の過酸化水素水が必要とされている。
ーの洗浄液の一成分として過酸化水素水が用いられる。
ここで用いられる過酸化水素水は、高度に清浄で純粋で
あることが要求される。特に、過酸化水素水に鉄、アル
ミニウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなど
の金属成分が存在すると、得られる半導体の信頼性を著
しく低下させる。一方、半導体の信頼性に対する要求水
準は、近年一層高度なものとなりつつあり、そのために
は各金属成分の濃度を一層低い水準に制御された高純度
の過酸化水素水が必要とされている。
【０００３】ところで、過酸化水素水の精製方法とし
て、過酸化水素水をイオン交換樹脂と接触させ、不純物
を吸着除去する方法が知られている。しかしながら、従
来の方法により得られる過酸化水素水は、上記の高度な
要求水準に照らすとき、必ずしも満足し得るものとはい
い難いものであった。
て、過酸化水素水をイオン交換樹脂と接触させ、不純物
を吸着除去する方法が知られている。しかしながら、従
来の方法により得られる過酸化水素水は、上記の高度な
要求水準に照らすとき、必ずしも満足し得るものとはい
い難いものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状において、
本発明が解決しようとする課題は、不純物である金属成
分の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに
最適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることがで
きる過酸化水素水の精製方法に存するものである。
本発明が解決しようとする課題は、不純物である金属成
分の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに
最適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることがで
きる過酸化水素水の精製方法に存するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、不
純物としての金属成分を含有する粗過酸化水素水をイオ
ン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度過酸化
水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金属成
分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱酸水溶液
と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以
下である超純水と接触させることにより前処理したイオ
ン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法に係るもの
である。
純物としての金属成分を含有する粗過酸化水素水をイオ
ン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度過酸化
水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金属成
分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱酸水溶液
と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以
下である超純水と接触させることにより前処理したイオ
ン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法に係るもの
である。
【０００６】以下、詳細に説明する。
【０００７】本発明で精製に付される粗過酸化水素水と
しては、工業的に製造されているアントラキノン法など
により製造される過酸化水素水を用いることができる。
また、いわゆる電子工業用といわれる純度の高い過酸化
水素を用いてもよい。過酸化水素水の濃度については、
特に制限はないが、通常は１〜６５重量％、好ましくは
１〜４０重量％である。
しては、工業的に製造されているアントラキノン法など
により製造される過酸化水素水を用いることができる。
また、いわゆる電子工業用といわれる純度の高い過酸化
水素を用いてもよい。過酸化水素水の濃度については、
特に制限はないが、通常は１〜６５重量％、好ましくは
１〜４０重量％である。
【０００８】本発明で用いられるイオン交換樹脂として
は、カチオン交換樹脂及びアニオン交換樹脂をあげるこ
とができる。カチオン交換樹脂としては、スチレン系強
酸性型のものが好ましい。アニオン交換樹脂としては、
スチレン系強塩基性Ｉ型、同II型、スチレン系弱塩基型
など、過酸化水素水に溶解しないアニオン交換樹脂であ
ればいずれを用いてもよいが、特に好ましいのはスチレ
ン系強塩基性Ｉ型アニオン交換樹脂である。なお、イオ
ン交換樹脂としては、カチオン交換樹脂又はアニオン交
換樹脂の一方のみを用いてもよく、又はその両方を用い
てもよい。
は、カチオン交換樹脂及びアニオン交換樹脂をあげるこ
とができる。カチオン交換樹脂としては、スチレン系強
酸性型のものが好ましい。アニオン交換樹脂としては、
スチレン系強塩基性Ｉ型、同II型、スチレン系弱塩基型
など、過酸化水素水に溶解しないアニオン交換樹脂であ
ればいずれを用いてもよいが、特に好ましいのはスチレ
ン系強塩基性Ｉ型アニオン交換樹脂である。なお、イオ
ン交換樹脂としては、カチオン交換樹脂又はアニオン交
換樹脂の一方のみを用いてもよく、又はその両方を用い
てもよい。
【０００９】本発明は、不純物としての金属成分を含有
する粗過酸化水素水をイオン交換樹脂との接触処理に付
すことにより高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精
製方法であり、いわゆる吸着法に属するものであるが、
該接触処理に先立ち、用いるイオン交換樹脂について、
各金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱
酸水溶液と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量
ｐｐｂ以下である超純水と接触させることにより前処理
したイオン交換樹脂を用いる必要がある。かかる特徴的
な前処理を施したイオン交換樹脂を用いることにより、
不純物である金属成分の含有量が極めて低い高純度の過
酸化水素水を得ることができるのである。
する粗過酸化水素水をイオン交換樹脂との接触処理に付
すことにより高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精
製方法であり、いわゆる吸着法に属するものであるが、
該接触処理に先立ち、用いるイオン交換樹脂について、
各金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱
酸水溶液と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量
ｐｐｂ以下である超純水と接触させることにより前処理
したイオン交換樹脂を用いる必要がある。かかる特徴的
な前処理を施したイオン交換樹脂を用いることにより、
不純物である金属成分の含有量が極めて低い高純度の過
酸化水素水を得ることができるのである。
【００１０】前処理で用いる鉱酸水溶液としては、塩酸
水溶液、硫酸水溶液などをあげることができる。鉱酸水
溶液は、そのなかに含有される各金属成分濃度が０．１
重量ｐｐｂ以下のものを用いる必要がある。金属成分と
しては、通常、鉄、アルミニウム、ナトリウム、カルシ
ウム、マグネシウムなどがあげられる。ここで用いられ
る高純度の鉱酸水溶液を得る方法としては、市販の高純
度鉱酸を更に単蒸留することにより精製した鉱酸を超純
水で希釈する方法をあげることができる。なお、鉱酸水
溶液としては、濃度３〜９重量％の塩酸が好ましい。
水溶液、硫酸水溶液などをあげることができる。鉱酸水
溶液は、そのなかに含有される各金属成分濃度が０．１
重量ｐｐｂ以下のものを用いる必要がある。金属成分と
しては、通常、鉄、アルミニウム、ナトリウム、カルシ
ウム、マグネシウムなどがあげられる。ここで用いられ
る高純度の鉱酸水溶液を得る方法としては、市販の高純
度鉱酸を更に単蒸留することにより精製した鉱酸を超純
水で希釈する方法をあげることができる。なお、鉱酸水
溶液としては、濃度３〜９重量％の塩酸が好ましい。
【００１１】前処理で用いる超純水は、各金属成分濃度
が０．１重量ｐｐｂ以下のものであり、市販の超純水装
置のものを用いることができる。
が０．１重量ｐｐｂ以下のものであり、市販の超純水装
置のものを用いることができる。
【００１２】前処理は、イオン交換樹脂について、各金
属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱酸水
溶液と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量ｐｐ
ｂ以下である超純水と接触させることにより行われる。
前処理時のイオン交換樹脂と高純度鉱酸水溶液及び超純
水との各接触は、次のとおり行われる。接触はバッチ法
又はカラム通液法のいずれでもよいが、作業効率の観点
からカラム通液法が好ましい。カラム通液法をとる場
合、前処理に使用する高純度鉱酸又は超純水の通液速度
は、空間速度（以下、「ＳＶ」と記す。）で通常０．１
〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは１〜１０ｈｒ-1
である。前処理に用いられる高純度鉱酸の量は、イオン
交換樹脂の量の５０倍以上が好ましく、更に好ましくは
１００倍以上である。また、前処理に用いられる超純水
の量は、イオン交換樹脂の量の１０倍以上が好ましく、
更に好ましくは５０倍以上である。接触温度は、通常０
〜８０℃であり、好ましくは１０〜３０℃である。
属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である高純度鉱酸水
溶液と接触させ、更に各金属成分濃度が０．１重量ｐｐ
ｂ以下である超純水と接触させることにより行われる。
前処理時のイオン交換樹脂と高純度鉱酸水溶液及び超純
水との各接触は、次のとおり行われる。接触はバッチ法
又はカラム通液法のいずれでもよいが、作業効率の観点
からカラム通液法が好ましい。カラム通液法をとる場
合、前処理に使用する高純度鉱酸又は超純水の通液速度
は、空間速度（以下、「ＳＶ」と記す。）で通常０．１
〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは１〜１０ｈｒ-1
である。前処理に用いられる高純度鉱酸の量は、イオン
交換樹脂の量の５０倍以上が好ましく、更に好ましくは
１００倍以上である。また、前処理に用いられる超純水
の量は、イオン交換樹脂の量の１０倍以上が好ましく、
更に好ましくは５０倍以上である。接触温度は、通常０
〜８０℃であり、好ましくは１０〜３０℃である。
【００１３】不純物としての金属成分を含有する粗過酸
化水素水と前処理が施されたイオン交換樹脂との接触処
理は次のとおり行われる。接触はバッチ法及びカラム通
液法いずれでもよいが、作業効率の観点からカラム通液
法が好ましい。カラム通液法をとる場合の通液速度は、
通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは１〜
１０ｈｒ-1である。接触温度は、通常３０℃以下であ
り、好ましくは１０℃以下である。
化水素水と前処理が施されたイオン交換樹脂との接触処
理は次のとおり行われる。接触はバッチ法及びカラム通
液法いずれでもよいが、作業効率の観点からカラム通液
法が好ましい。カラム通液法をとる場合の通液速度は、
通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは１〜
１０ｈｒ-1である。接触温度は、通常３０℃以下であ
り、好ましくは１０℃以下である。
【００１４】本発明は、前記のとおり、カチオン交換樹
脂及びアニオン交換樹脂のいずれを用いる場合において
も適用できるが、各樹脂毎の具体的実施方法の例につい
て、以下説明する。
脂及びアニオン交換樹脂のいずれを用いる場合において
も適用できるが、各樹脂毎の具体的実施方法の例につい
て、以下説明する。
【００１５】カチオン交換樹脂を用いる場合、本発明の
前処理を行うことにより水素型のカチオン交換樹脂と
し、その後本発明の接触処理を行えばよい。接触処理の
進行に伴い、樹脂の金属吸着能力が低下するので、再度
本発明の前処理を行い、続いて接触処理を行う。
前処理を行うことにより水素型のカチオン交換樹脂と
し、その後本発明の接触処理を行えばよい。接触処理の
進行に伴い、樹脂の金属吸着能力が低下するので、再度
本発明の前処理を行い、続いて接触処理を行う。
【００１６】アニオン交換樹脂を用いる場合、前処理の
うちの高純度鉱酸水溶液を用いる接触を行い、次に水酸
化ナトリウム水溶液などのアルカリ水溶液を用いる接触
を行う、更に炭酸水素ナトリウムなどの重炭酸塩水溶液
又は炭酸ナトリウムなどの炭酸水溶液又を用いる接触を
行うことにより炭酸水素型又は炭酸型とし、その後本発
明の前処理のうちの超純水を用いる接触を行う。かくし
て得られたアニオン交換樹脂を用いて本発明の接触処理
を行えばよい。
うちの高純度鉱酸水溶液を用いる接触を行い、次に水酸
化ナトリウム水溶液などのアルカリ水溶液を用いる接触
を行う、更に炭酸水素ナトリウムなどの重炭酸塩水溶液
又は炭酸ナトリウムなどの炭酸水溶液又を用いる接触を
行うことにより炭酸水素型又は炭酸型とし、その後本発
明の前処理のうちの超純水を用いる接触を行う。かくし
て得られたアニオン交換樹脂を用いて本発明の接触処理
を行えばよい。
【００１７】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例により説明
する。なお、金属成分の分析は、ＩＣＰ−ＭＳ法及びフ
レームレス原子吸光法で行った。
する。なお、金属成分の分析は、ＩＣＰ−ＭＳ法及びフ
レームレス原子吸光法で行った。
【００１８】実施例１ 強酸性カチオン交換樹脂であるＩＲ１２０Ｂ（オルガノ
製、Ｎａ型）１６０ｍｌを、内径１６ｍｍ、長さ１２０
０ｍｍのテフロン製カラムに充填し、まず各金属成分濃
度が０．１重量ｐｐｂ以下の超純水でＳＶ＝１０ｈｒ-1
で１時間、上昇流で水洗した。次に、各金属成分濃度が
０．１重量ｐｐｂ以下の６重量％の高純度塩酸水溶液を
下降流ＳＶ＝１．２ｈｒ-1で２５０時間（樹脂量の３０
０倍量）通液した。次いで、樹脂量の１００倍量の超純
水を用いて下降流で水洗し、該カチオン交換樹脂を水素
型に変換した。粗過酸化水素水として、ナトリウム１．
０重量ｐｐｂ、カルシウム１．１重量ｐｐｂ及びマグネ
シウム１．４重量ｐｐｂを含む３１重量％粗過酸化水素
を用い、下降流でＳＶ＝４ｈｒ-1で通液した。カラムか
ら流出する過酸化水素水を捕集し、この中に含まれる金
属成分を分析した結果、ナトリウム１３重量ｐｐｔ、カ
ルシウム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム２重量ｐｐｔ
であった。
製、Ｎａ型）１６０ｍｌを、内径１６ｍｍ、長さ１２０
０ｍｍのテフロン製カラムに充填し、まず各金属成分濃
度が０．１重量ｐｐｂ以下の超純水でＳＶ＝１０ｈｒ-1
で１時間、上昇流で水洗した。次に、各金属成分濃度が
０．１重量ｐｐｂ以下の６重量％の高純度塩酸水溶液を
下降流ＳＶ＝１．２ｈｒ-1で２５０時間（樹脂量の３０
０倍量）通液した。次いで、樹脂量の１００倍量の超純
水を用いて下降流で水洗し、該カチオン交換樹脂を水素
型に変換した。粗過酸化水素水として、ナトリウム１．
０重量ｐｐｂ、カルシウム１．１重量ｐｐｂ及びマグネ
シウム１．４重量ｐｐｂを含む３１重量％粗過酸化水素
を用い、下降流でＳＶ＝４ｈｒ-1で通液した。カラムか
ら流出する過酸化水素水を捕集し、この中に含まれる金
属成分を分析した結果、ナトリウム１３重量ｐｐｔ、カ
ルシウム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム２重量ｐｐｔ
であった。
【００１９】実施例２ 強塩基製アニオン交換樹脂であるＳＡ１０Ａ（三菱化学
製、４級アンモニウムＩ型、塩素型）１２０ｍｌを、内
径４０ｍｍ、長さ２５０ｍｍのテフロン製カラムに充填
し、まずＳＶ＝１０ｈｒ-1で１時間、各金属成分濃度が
０．１重量ｐｐｂ以下である超純水で水洗し、次いで各
金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である６重量％塩
酸水溶液をＳＶ＝５ｈｒ-1で２時間通液し超純水で置換
し、更に２Ｎ水酸化ナトリウム水溶液をＳＶ＝５ｈｒ-1
で３時間通液し、水酸型に変換した。再び超純水で置換
してから０．７Ｎ重炭酸ナトリウム水溶液をＳＶ＝５で
２時間通液し、最後に樹脂量の５０倍量の超純水で水洗
し、該アニオン交換樹脂を重炭酸型に変換した。ここま
での通液はすべて上昇流で行った。原料として、鉄３．
６重量ｐｐｂ及びアルミニウム４３重量ｐｐｂを含む３
１重量％粗過酸化水素水を上昇流でＳＶ＝５ｈｒ-1で通
液した。カラムから流出する過酸化水素水を捕集し、こ
の中に含まれる金属成分を分析した結果、鉄２１重量ｐ
ｐｔ及びアルミニウム３２重量ｐｐｔであった。
製、４級アンモニウムＩ型、塩素型）１２０ｍｌを、内
径４０ｍｍ、長さ２５０ｍｍのテフロン製カラムに充填
し、まずＳＶ＝１０ｈｒ-1で１時間、各金属成分濃度が
０．１重量ｐｐｂ以下である超純水で水洗し、次いで各
金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である６重量％塩
酸水溶液をＳＶ＝５ｈｒ-1で２時間通液し超純水で置換
し、更に２Ｎ水酸化ナトリウム水溶液をＳＶ＝５ｈｒ-1
で３時間通液し、水酸型に変換した。再び超純水で置換
してから０．７Ｎ重炭酸ナトリウム水溶液をＳＶ＝５で
２時間通液し、最後に樹脂量の５０倍量の超純水で水洗
し、該アニオン交換樹脂を重炭酸型に変換した。ここま
での通液はすべて上昇流で行った。原料として、鉄３．
６重量ｐｐｂ及びアルミニウム４３重量ｐｐｂを含む３
１重量％粗過酸化水素水を上昇流でＳＶ＝５ｈｒ-1で通
液した。カラムから流出する過酸化水素水を捕集し、こ
の中に含まれる金属成分を分析した結果、鉄２１重量ｐ
ｐｔ及びアルミニウム３２重量ｐｐｔであった。
【００２０】比較例１ アルミニウム３．９重量ｐｐｂ、鉄０．６重量ｐｐｂ、
マグネシウム０．６重量ｐｐｂ及びその他の金属成分
０．３重量ｐｐｂ以下を含んだ塩酸水溶液及びナトリウ
ム０．３重量ｐｐｂ、カルシウム０．１重量ｐｐｂ、そ
の他の金属成分０．１重量ｐｐｂ以下を含んだ純水を用
いた他は、実施例１と同様に行った。その結果、流出液
中の金属成分は、ナトリウム１１５重量ｐｐｔ、カルシ
ウム９５重量ｐｐｔ及びマグネシウム２５重量ｐｐｔで
あった。
マグネシウム０．６重量ｐｐｂ及びその他の金属成分
０．３重量ｐｐｂ以下を含んだ塩酸水溶液及びナトリウ
ム０．３重量ｐｐｂ、カルシウム０．１重量ｐｐｂ、そ
の他の金属成分０．１重量ｐｐｂ以下を含んだ純水を用
いた他は、実施例１と同様に行った。その結果、流出液
中の金属成分は、ナトリウム１１５重量ｐｐｔ、カルシ
ウム９５重量ｐｐｔ及びマグネシウム２５重量ｐｐｔで
あった。
【００２１】比較例２ 比較例１で用いた塩酸と純水を用いた他は、実施例２と
同様にして実施例２で用いたのと同じ粗過酸化水素水の
通液を行った。その結果、流出液中の金属成分は、鉄１
４０重量ｐｐｔ及びアルミニウム１７０重量ｐｐｔであ
った。
同様にして実施例２で用いたのと同じ粗過酸化水素水の
通液を行った。その結果、流出液中の金属成分は、鉄１
４０重量ｐｐｔ及びアルミニウム１７０重量ｐｐｔであ
った。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、不
純物である金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体
の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素
水を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供す
ることができた。
純物である金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体
の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素
水を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供す
ることができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−172805（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−187616（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−143303（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C01B 15/013 ＣＡ（ＳＴＮ)
Claims (2)
- 【請求項１】 不純物としての金属成分を含有する粗過
酸化水素水をイオン交換樹脂との接触処理に付すことに
より高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法で
あって、各金属成分濃度が０．１重量ｐｐｂ以下である
高純度鉱酸水溶液と接触させ、更に各金属成分濃度が
０．１重量ｐｐｂ以下である超純水と接触させることに
より前処理したイオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の
精製方法。 - 【請求項２】 イオン交換樹脂が、強酸性カチオン交換
樹脂及び／又は強塩基性アニオン交換樹脂である請求項
１記載の精製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14903295A JP3171058B2 (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 過酸化水素水の精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14903295A JP3171058B2 (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 過酸化水素水の精製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08337405A JPH08337405A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3171058B2 true JP3171058B2 (ja) | 2001-05-28 |
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ID=15466182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14903295A Expired - Fee Related JP3171058B2 (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 過酸化水素水の精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3171058B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210052679A (ko) | 2019-10-30 | 2021-05-11 | 주식회사 삼양사 | 음이온 교환수지와 양이온 교환수지를 포함하는 혼상형 이온 교환수지, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 과산화수소수의 정제 방법 |
| KR20210052674A (ko) * | 2019-10-30 | 2021-05-11 | 주식회사 삼양사 | 금속 불순물 함량이 감소된 이온 교환수지의 제조방법 |
| KR20210052740A (ko) * | 2019-10-31 | 2021-05-11 | 주식회사 삼양사 | 아크릴계 이온 교환수지 및 스티렌계 이온 교환수지를 이용한 당 함유 용액의 정제 방법 |
| KR20220056308A (ko) * | 2020-10-27 | 2022-05-06 | 주식회사 삼양사 | 금속 불순물의 함량이 감소된 이온 교환수지의 제조방법 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000228387A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-08-15 | Tadahiro Omi | ウエット洗浄装置 |
| FR2800366B1 (fr) * | 1999-10-27 | 2002-05-24 | Air Liquide | Procede de purification de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogene |
| JP4056695B2 (ja) | 2000-06-21 | 2008-03-05 | 三徳化学工業株式会社 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
| JP5364450B2 (ja) * | 2009-06-01 | 2013-12-11 | オルガノ株式会社 | 燃料電池の水処理装置 |
| CN104402142B (zh) * | 2014-11-26 | 2016-06-01 | 柳州化工股份有限公司 | 一种蒽醌法生产双氧水工业中污水预处理的方法 |
| KR102068477B1 (ko) * | 2017-12-28 | 2020-01-21 | 주식회사 삼양사 | 음이온 교환수지와 양이온 교환수지를 이용한 과산화수소수의 정제 방법 |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP14903295A patent/JP3171058B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR20210052679A (ko) | 2019-10-30 | 2021-05-11 | 주식회사 삼양사 | 음이온 교환수지와 양이온 교환수지를 포함하는 혼상형 이온 교환수지, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 과산화수소수의 정제 방법 |
| KR20210052674A (ko) * | 2019-10-30 | 2021-05-11 | 주식회사 삼양사 | 금속 불순물 함량이 감소된 이온 교환수지의 제조방법 |
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