JP3029485B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気光学効果を利用し
てレーザー光などにより情報の記録・再生を行なう光磁
気記録媒体に関し、特に良好な垂直磁気異方性と高い保
磁力を実現できる人工格子膜系の光磁気記録媒体に関す
る。
てレーザー光などにより情報の記録・再生を行なう光磁
気記録媒体に関し、特に良好な垂直磁気異方性と高い保
磁力を実現できる人工格子膜系の光磁気記録媒体に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、書き換え可能な高密度記録方法と
して半導体レーザー光などにより記録・再生を行う光磁
気記録媒体が注目されている。
して半導体レーザー光などにより記録・再生を行う光磁
気記録媒体が注目されている。
【０００３】従来、光磁気記録媒体に使用される磁性材
料としては、Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙなどの希土類元素とＦｅ,
Ｃｏなどの遷移金属元素とを組合わせた非晶質合金が用
いられてきた。しかし、これらの非晶質合金を構成する
希土類元素やＦｅは酸化されやすく、高温多湿の環境下
では腐食が起こりやすいという欠点がある。
料としては、Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙなどの希土類元素とＦｅ,
Ｃｏなどの遷移金属元素とを組合わせた非晶質合金が用
いられてきた。しかし、これらの非晶質合金を構成する
希土類元素やＦｅは酸化されやすく、高温多湿の環境下
では腐食が起こりやすいという欠点がある。
【０００４】一方、希土類元素の代わりにＰｔ,Ｐｄな
どの白金族金属を使用したＣｏ−Ｐｔ系、あるいはＣｏ
−Ｐｄ系の記録材料は耐食性に優れたものであり、これ
らの系を人工格子膜として保磁力を高めた技術が、特開
平1-98144号、特開平1-162257号の各公報などに開示さ
れている。これらによれば、２００Å程度の極めて薄い
膜厚の範囲において、Ｃｏ−Ｐｔ系の人工格子膜では１
００〜２００Ｏｅ、Ｃｏ−Ｐｄ系の人工格子膜では５０
０〜２０００Ｏｅ程度の保磁力が得られ、垂直磁気膜と
なる。ここで人工格子膜とは、いわゆる超格子膜や変調
構造膜のことであって、異なる成分からなり厚さが数十
原子層以下である複数の層が、それぞれ所定の厚さで規
則正しく繰り返し積層されたもののことである。
どの白金族金属を使用したＣｏ−Ｐｔ系、あるいはＣｏ
−Ｐｄ系の記録材料は耐食性に優れたものであり、これ
らの系を人工格子膜として保磁力を高めた技術が、特開
平1-98144号、特開平1-162257号の各公報などに開示さ
れている。これらによれば、２００Å程度の極めて薄い
膜厚の範囲において、Ｃｏ−Ｐｔ系の人工格子膜では１
００〜２００Ｏｅ、Ｃｏ−Ｐｄ系の人工格子膜では５０
０〜２０００Ｏｅ程度の保磁力が得られ、垂直磁気膜と
なる。ここで人工格子膜とは、いわゆる超格子膜や変調
構造膜のことであって、異なる成分からなり厚さが数十
原子層以下である複数の層が、それぞれ所定の厚さで規
則正しく繰り返し積層されたもののことである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
人工格子膜を記録層の用いた従来の光磁気記録媒体は、
その記録層の保磁力の大きさと垂直磁気異方性の大きさ
が光磁気記録を安定して行なうにはまだ不十分であると
いう問題点がある。
人工格子膜を記録層の用いた従来の光磁気記録媒体は、
その記録層の保磁力の大きさと垂直磁気異方性の大きさ
が光磁気記録を安定して行なうにはまだ不十分であると
いう問題点がある。
【０００６】本発明の目的は、記録層として使用される
人工格子膜の保磁力と垂直磁気異方性が十分大きく、か
つより広い成膜条件の下で製造することができる光磁気
記録媒体を提供することにある。
人工格子膜の保磁力と垂直磁気異方性が十分大きく、か
つより広い成膜条件の下で製造することができる光磁気
記録媒体を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、Ｃｏからなる第１のＣｏ層と、Ｐｔ,ＰｄおよびＰ
ｔ−Ｐｄ合金の中から選ばれた金属からなる白金族層
と、Ｃｏからなる第２のＣｏ層と、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐ
ｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から
選ばれた少なくとも１種以上の元素からなる希土類層と
が順次積層されたものを基本単位とし、該基本単位を繰
り返し積層させた人工格子膜を記録層とする。
は、Ｃｏからなる第１のＣｏ層と、Ｐｔ,ＰｄおよびＰ
ｔ−Ｐｄ合金の中から選ばれた金属からなる白金族層
と、Ｃｏからなる第２のＣｏ層と、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐ
ｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から
選ばれた少なくとも１種以上の元素からなる希土類層と
が順次積層されたものを基本単位とし、該基本単位を繰
り返し積層させた人工格子膜を記録層とする。
【０００８】以下、本発明の光磁気記録媒体について詳
しく説明する。
しく説明する。
【０００９】図１は、本発明に基づく光磁気記録媒体の
一例の断面図である。ここに示された光磁気記録媒体
は、Ｃｏからなる第１のＣｏ層２とＰｔ,ＰｄおよびＰ
ｔ−Ｐｄ合金の中から選ばれた金属からなる白金族層３
とＣｏからなる第２のＣｏ層４と希土類層５とが順次積
層されたものを基本単位６として、この基本単位６を規
則正しく多数回くり返し積層した構成の人工格子膜を記
録層とするものである。この記録層は、ガラスやプラス
チックなどからなる基板１の上に設けられている。希土
類層５は、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｇｄ,Ｔｂ,
Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から選ばれた少なくとも１種
以上の元素からなる。
一例の断面図である。ここに示された光磁気記録媒体
は、Ｃｏからなる第１のＣｏ層２とＰｔ,ＰｄおよびＰ
ｔ−Ｐｄ合金の中から選ばれた金属からなる白金族層３
とＣｏからなる第２のＣｏ層４と希土類層５とが順次積
層されたものを基本単位６として、この基本単位６を規
則正しく多数回くり返し積層した構成の人工格子膜を記
録層とするものである。この記録層は、ガラスやプラス
チックなどからなる基板１の上に設けられている。希土
類層５は、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｇｄ,Ｔｂ,
Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から選ばれた少なくとも１種
以上の元素からなる。
【００１０】ここで第１および第２のＣｏ層２,４の層
厚は２〜３０Å程度とするのが望ましく、白金族層３の
層厚は３〜４０Å程度とすることが望ましく、希土類層
５の層厚は２〜３０Åとするのが望ましい。最終的に積
層された人工格子膜すなわち記録層の厚さは、５０〜８
００Å程度とすることが望ましい。
厚は２〜３０Å程度とするのが望ましく、白金族層３の
層厚は３〜４０Å程度とすることが望ましく、希土類層
５の層厚は２〜３０Åとするのが望ましい。最終的に積
層された人工格子膜すなわち記録層の厚さは、５０〜８
００Å程度とすることが望ましい。
【００１１】上述の人工格子膜を構成する各界面、すな
わち第１および第２のＣｏ層２,４と白金族層３との界
面、第１および第２のＣｏ層２,４と希土類層との界面
は、両側の層の原子が互いに入り乱れず平坦であること
が望ましいが、界面にやや乱れを生じながらも全体とし
ては一定の周期を保って組成が変動する組成変調構造で
あってもよい。上述の人工格子膜は、スパッタリング、
真空蒸着、あるいは分子線エピタキシー（ＭＢＥ）など
によって形成することができる。
わち第１および第２のＣｏ層２,４と白金族層３との界
面、第１および第２のＣｏ層２,４と希土類層との界面
は、両側の層の原子が互いに入り乱れず平坦であること
が望ましいが、界面にやや乱れを生じながらも全体とし
ては一定の周期を保って組成が変動する組成変調構造で
あってもよい。上述の人工格子膜は、スパッタリング、
真空蒸着、あるいは分子線エピタキシー（ＭＢＥ）など
によって形成することができる。
【００１２】また熱安定性を高めたりキュリー温度を変
化させるなどの目的で各種元素を添加してもよい。例え
ば各Ｃｏ層に添加する元素としては、Ｂ,Ｃ,Ａｌ,Ｓｉ,
Ｐ,Ｔｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｎｉ,Ｃｕ,Ｇａ,Ｇｅ,Ｚｒ,Ｎｂ,Ｍ
ｏ,Ｉｎ,Ｓｎ,Ｓｂの少なくとも一種であることが好ま
しい。白金族層に添加する元素としては、各Ｃｏ層と同
様の元素のほか、Ｃｒ,Ｍｎ,Ｃｏ,Ｚｎ,Ｙ,Ｒｈ,Ａｇ,
Ｌａ,Ｎｄ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｈｏ,Ｈｆ,Ｗ,Ｉｒ,Ａｕ,Ｐｂ,Ｂ
ｉなどが挙げられる。
化させるなどの目的で各種元素を添加してもよい。例え
ば各Ｃｏ層に添加する元素としては、Ｂ,Ｃ,Ａｌ,Ｓｉ,
Ｐ,Ｔｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｎｉ,Ｃｕ,Ｇａ,Ｇｅ,Ｚｒ,Ｎｂ,Ｍ
ｏ,Ｉｎ,Ｓｎ,Ｓｂの少なくとも一種であることが好ま
しい。白金族層に添加する元素としては、各Ｃｏ層と同
様の元素のほか、Ｃｒ,Ｍｎ,Ｃｏ,Ｚｎ,Ｙ,Ｒｈ,Ａｇ,
Ｌａ,Ｎｄ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｈｏ,Ｈｆ,Ｗ,Ｉｒ,Ａｕ,Ｐｂ,Ｂ
ｉなどが挙げられる。
【００１３】上述の人工格子膜を光磁気記録媒体の記録
層として使用する場合、この記録層は一般的に、透明な
基板の上に形成される。この場合、この記録層の両側
に、金属、半金属や半導体あるいは誘電体を使用した保
護層を設けることが可能である。保護層として金属材料
を用いる場合には、面心立方構造を有するＣｕ,Ｒｈ,Ｐ
ｄ,Ａｇ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ａｕおよび体心立方構造を有するＷ
などを５〜５００Åの膜厚にて設けるとよい。誘電体を
用いる場合には、Ａｌ2Ｏ3,Ｔａ2Ｏ5,ＭｇＯ,ＳｉＯ2,
Ｆｅ2Ｏ3,ＺｒＯ2,Ｂｉ2Ｏ3などの酸化物系化合物、あ
るいはＺｒＮ,ＴｉＮ,Ｓｉ3Ｎ4,ＡｌＮ,ＡｌＳｉＮ,Ｂ
Ｎ,ＴａＮ,ＮｂＮなどの窒化物系化合物などを５〜５０
００Åの膜厚にて設けるとよい。また半金属あるいは半
導体を用いる場合には、Ｓｉ,Ｇｅ,ＺｎＳｅ,ＳｉＣ,Ｚ
ｎＳなどを５〜５０００Åの膜厚にて設けるとよい。
層として使用する場合、この記録層は一般的に、透明な
基板の上に形成される。この場合、この記録層の両側
に、金属、半金属や半導体あるいは誘電体を使用した保
護層を設けることが可能である。保護層として金属材料
を用いる場合には、面心立方構造を有するＣｕ,Ｒｈ,Ｐ
ｄ,Ａｇ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ａｕおよび体心立方構造を有するＷ
などを５〜５００Åの膜厚にて設けるとよい。誘電体を
用いる場合には、Ａｌ2Ｏ3,Ｔａ2Ｏ5,ＭｇＯ,ＳｉＯ2,
Ｆｅ2Ｏ3,ＺｒＯ2,Ｂｉ2Ｏ3などの酸化物系化合物、あ
るいはＺｒＮ,ＴｉＮ,Ｓｉ3Ｎ4,ＡｌＮ,ＡｌＳｉＮ,Ｂ
Ｎ,ＴａＮ,ＮｂＮなどの窒化物系化合物などを５〜５０
００Åの膜厚にて設けるとよい。また半金属あるいは半
導体を用いる場合には、Ｓｉ,Ｇｅ,ＺｎＳｅ,ＳｉＣ,Ｚ
ｎＳなどを５〜５０００Åの膜厚にて設けるとよい。
【００１４】さらに上記記録層と保護層の他に、高い反
射率を有する層を設けることも可能である。例えば、記
録層を２００Å以下の極薄膜にすると、入射光の多く
は、記録層を透過することになる。一般に記録および読
み出しのための光は、透明な材料からなる基板側から入
射するから、基板側から見て、記録層の反対側に反射層
を設けることにより、記録層を透過する光の磁気光学効
果を充分に利用できるようになる。この反射層として
は、適宜の金属を使用することができる。
射率を有する層を設けることも可能である。例えば、記
録層を２００Å以下の極薄膜にすると、入射光の多く
は、記録層を透過することになる。一般に記録および読
み出しのための光は、透明な材料からなる基板側から入
射するから、基板側から見て、記録層の反対側に反射層
を設けることにより、記録層を透過する光の磁気光学効
果を充分に利用できるようになる。この反射層として
は、適宜の金属を使用することができる。
【００１５】
【作用】第１のＣｏ層、白金族層、第２のＣｏ層、希土
類層を順次積層させたものを基本単位とし、この基本単
位を積層させて形成された人工格子膜を用いた光磁気記
録媒体は、後述の実施例で明らかになるように、広い成
膜範囲の下で、従来のＰｔ−Ｃｏ系あるいはＰｄ−Ｃｏ
系の人工格子膜と比べてより大きい保磁力とより大きい
垂直磁気異方性とを有する。
類層を順次積層させたものを基本単位とし、この基本単
位を積層させて形成された人工格子膜を用いた光磁気記
録媒体は、後述の実施例で明らかになるように、広い成
膜範囲の下で、従来のＰｔ−Ｃｏ系あるいはＰｄ−Ｃｏ
系の人工格子膜と比べてより大きい保磁力とより大きい
垂直磁気異方性とを有する。
【００１６】
【実施例】次に本発明の実施例について、比較例と数値
を参照しながら説明する。 ［実施例１］直径３インチのＣｏ,ＰｔおよびＴｂの各
ターゲットを、マグネトロンスパッタリング装置内にそ
れぞれ設置した。これらのターゲットと対向する位置
に、スライドガラス基板を置き、Ａｒ分圧下、ガス圧が
８ｍTorrであるような条件でスパッタリングを行なっ
て、以下に示すように、スライドガラス基板の上に人工
格子膜からなる記録層を形成し、光磁気記録媒体の試料
（実施例１−１〜４）を作成した。
を参照しながら説明する。 ［実施例１］直径３インチのＣｏ,ＰｔおよびＴｂの各
ターゲットを、マグネトロンスパッタリング装置内にそ
れぞれ設置した。これらのターゲットと対向する位置
に、スライドガラス基板を置き、Ａｒ分圧下、ガス圧が
８ｍTorrであるような条件でスパッタリングを行なっ
て、以下に示すように、スライドガラス基板の上に人工
格子膜からなる記録層を形成し、光磁気記録媒体の試料
（実施例１−１〜４）を作成した。
【００１７】Ｃｏのターゲット（第１のターゲット）に
は０.１Ａ−３００Ｖの直流電力が印加され、Ｐｔのタ
ーゲット（第２のターゲット）には０.１５Ａ−３００
Ｖの直流電力が印加され、Ｔｂのターゲット（第３のタ
ーゲット）には２５Ｗの高周波電力が印加されるような
条件で同時スパッタリングを行ない、これら各ターゲッ
トの上に設けたシャッター板を交互に開閉することによ
り、スライドガラス基板の上に、第１の層から第４の層
までからなるものを基本単位とする人工格子膜を形成し
た。第１の層が第１のＣｏ層に、第２の層が白金族層
に、第３の層が第２のＣｏ層に、第４の層が希土類層に
それぞれ対応することになる。これら各層の膜厚および
人工格子膜全体としての総膜厚は、表１に示す通りであ
る。
は０.１Ａ−３００Ｖの直流電力が印加され、Ｐｔのタ
ーゲット（第２のターゲット）には０.１５Ａ−３００
Ｖの直流電力が印加され、Ｔｂのターゲット（第３のタ
ーゲット）には２５Ｗの高周波電力が印加されるような
条件で同時スパッタリングを行ない、これら各ターゲッ
トの上に設けたシャッター板を交互に開閉することによ
り、スライドガラス基板の上に、第１の層から第４の層
までからなるものを基本単位とする人工格子膜を形成し
た。第１の層が第１のＣｏ層に、第２の層が白金族層
に、第３の層が第２のＣｏ層に、第４の層が希土類層に
それぞれ対応することになる。これら各層の膜厚および
人工格子膜全体としての総膜厚は、表１に示す通りであ
る。
【００１８】次に試料振動型磁化測定器（ＶＳＭ）と、
８３０ｎｍの波長のレーザー光を使用したカー効果測定
器とにより、得られた試料それぞれの飽和磁化（ｅｍｕ
／ｃｃ）、保磁力（ｋＯｅ）、膜面垂直方向に磁化飽和
させるために必要な磁界（ｋＯｅ）、人工格子膜面から
のカー回転角（°）を測定した。 ［比較例１］基本単位が第１の層および第２の層のみか
らなる人工格子膜を作成して、光磁気記録媒体の試料を
作成し、比較例１−１〜３とした。これは従来のＣｏ−
Ｐｔ系の人工格子膜（基本単位が２層構成）からなる光
磁気記録媒体を作成したことになる。この比較例１−１
〜３についても同様に各種磁気特性を測定した。その結
果を表１に示す。
８３０ｎｍの波長のレーザー光を使用したカー効果測定
器とにより、得られた試料それぞれの飽和磁化（ｅｍｕ
／ｃｃ）、保磁力（ｋＯｅ）、膜面垂直方向に磁化飽和
させるために必要な磁界（ｋＯｅ）、人工格子膜面から
のカー回転角（°）を測定した。 ［比較例１］基本単位が第１の層および第２の層のみか
らなる人工格子膜を作成して、光磁気記録媒体の試料を
作成し、比較例１−１〜３とした。これは従来のＣｏ−
Ｐｔ系の人工格子膜（基本単位が２層構成）からなる光
磁気記録媒体を作成したことになる。この比較例１−１
〜３についても同様に各種磁気特性を測定した。その結
果を表１に示す。
【００１９】以上の実施例１−１〜４、比較例１−１〜
２の結果から、各比較例すなわち従来のＣｏ−Ｐｔ系の
試料は、保磁力がいずれも０.１〜０.２ｋＯｅと小さ
く、また面内方向の磁化成分が大きく、良好な垂直磁化
膜であるとはいえないものである。これに対して実施例
１−１〜４の試料は、いずれも保磁力が大きく、面内磁
化成分が減少し、良好な垂直磁化膜となっていることが
わかる。
２の結果から、各比較例すなわち従来のＣｏ−Ｐｔ系の
試料は、保磁力がいずれも０.１〜０.２ｋＯｅと小さ
く、また面内方向の磁化成分が大きく、良好な垂直磁化
膜であるとはいえないものである。これに対して実施例
１−１〜４の試料は、いずれも保磁力が大きく、面内磁
化成分が減少し、良好な垂直磁化膜となっていることが
わかる。
【００２０】
【表１】 ［実施例２、比較例２］各ターゲットのそれぞれに配置
する材料、各層の膜厚などをそれぞれ表２に示すように
変えながら、実施例１、比較例１と同様にして、試料
（実施例２−１,２、比較例２−１〜７）を作成した。
また、作成した試料の評価も、上述の実施例１や比較例
１と同様に行った。その結果も表２に示す。なお、表２
の備考欄の「面内」は、面内磁気異方性の膜となってし
まったことを表わしている。ここで実施例２−１,２は
いずれも基本単位が４層構成であって、本発明の光磁気
記録媒体の構成になっているのに対し、比較例２−１〜
７の各試料はいずれも基本単位が２層あるいは３層構成
となっていて、本発明の範疇に属さないものである。
する材料、各層の膜厚などをそれぞれ表２に示すように
変えながら、実施例１、比較例１と同様にして、試料
（実施例２−１,２、比較例２−１〜７）を作成した。
また、作成した試料の評価も、上述の実施例１や比較例
１と同様に行った。その結果も表２に示す。なお、表２
の備考欄の「面内」は、面内磁気異方性の膜となってし
まったことを表わしている。ここで実施例２−１,２は
いずれも基本単位が４層構成であって、本発明の光磁気
記録媒体の構成になっているのに対し、比較例２−１〜
７の各試料はいずれも基本単位が２層あるいは３層構成
となっていて、本発明の範疇に属さないものである。
【００２１】実施例２−１,２は、これと対応する比較
例２−１,２に比べ、保磁力が増大し、面内方向の磁化
成分が減少し、すなわち垂直磁気異方性が向上している
ことがわかる。また比較例２−３,４は、従来のＣｏ−
Ｐｄ系の人工格子膜のＣｏ層に本発明で使用される希土
類を添加したものであるが、面内異方性の膜となってし
まった。比較例２−５,６は、従来のＣｏ−Ｐｄ系の人
工格子膜のＰｄ層に本発明で使用される希土類を添加し
たものであるが、面内異方性の膜となってしまった。比
較例２−７は、人工格子膜の基本単位を、Ｃｏ層、白金
族層、希土類層が順次積層された３層構成としたもので
あるが、この構成ではやはり面内磁気異方性の膜となっ
てしまった。
例２−１,２に比べ、保磁力が増大し、面内方向の磁化
成分が減少し、すなわち垂直磁気異方性が向上している
ことがわかる。また比較例２−３,４は、従来のＣｏ−
Ｐｄ系の人工格子膜のＣｏ層に本発明で使用される希土
類を添加したものであるが、面内異方性の膜となってし
まった。比較例２−５,６は、従来のＣｏ−Ｐｄ系の人
工格子膜のＰｄ層に本発明で使用される希土類を添加し
たものであるが、面内異方性の膜となってしまった。比
較例２−７は、人工格子膜の基本単位を、Ｃｏ層、白金
族層、希土類層が順次積層された３層構成としたもので
あるが、この構成ではやはり面内磁気異方性の膜となっ
てしまった。
【００２２】
【表２】 従来のＣｏ−Ｐｔ系やＣｏ−Ｐｄ系の人工格子膜が垂直
磁気異方性を示すのは、Ｃｏ層とＰｔあるいはＰｄ層と
の界面における、それぞれの原子間の結合あるいはこの
界面での応力歪みなどの影響力に起因していることが知
られている。ここで、従来のＣｏ−Ｐｔ系やＣｏ−Ｐｄ
系の人工格子膜を構成するいずれかの層に希土類元素を
混入させると、あるいは希土類からなる中間層をＣｏ層
とＰｔあるいはＰｄ層との間に挿入すると、この垂直磁
気異方性が消失することも知られている。上述した各比
較例の結果からもこれらのことが示されている。一方、
Ｃｏ層と希土類原子層からなる超薄多層膜は、上述と同
様の原子間の結合により、良好な垂直磁気異方性を示す
ことも知られている。
磁気異方性を示すのは、Ｃｏ層とＰｔあるいはＰｄ層と
の界面における、それぞれの原子間の結合あるいはこの
界面での応力歪みなどの影響力に起因していることが知
られている。ここで、従来のＣｏ−Ｐｔ系やＣｏ−Ｐｄ
系の人工格子膜を構成するいずれかの層に希土類元素を
混入させると、あるいは希土類からなる中間層をＣｏ層
とＰｔあるいはＰｄ層との間に挿入すると、この垂直磁
気異方性が消失することも知られている。上述した各比
較例の結果からもこれらのことが示されている。一方、
Ｃｏ層と希土類原子層からなる超薄多層膜は、上述と同
様の原子間の結合により、良好な垂直磁気異方性を示す
ことも知られている。
【００２３】第１のＣｏ層とＰｔ,ＰｄあるいはＰｔ−
Ｐｄ合金からなる白金族層と第２のＣｏ層と希土類層と
が積層された４層からなる基本単位を採用した本発明の
ような構成とすることにより、一方のＣｏ層と白金族
層、他方のＣｏ層と希土類層とがそれぞれ対をなすこと
になり、それぞれの対が有する垂直磁気異方性を阻害す
ることなくなって良好な垂直磁気異方性が得られること
が期待されるが、上記の各実施例に示されるように、実
際に良好な垂直磁気異方性を得ることができた。
Ｐｄ合金からなる白金族層と第２のＣｏ層と希土類層と
が積層された４層からなる基本単位を採用した本発明の
ような構成とすることにより、一方のＣｏ層と白金族
層、他方のＣｏ層と希土類層とがそれぞれ対をなすこと
になり、それぞれの対が有する垂直磁気異方性を阻害す
ることなくなって良好な垂直磁気異方性が得られること
が期待されるが、上記の各実施例に示されるように、実
際に良好な垂直磁気異方性を得ることができた。
【００２４】また、本発明の各実施例の試料について、
０.１ｍｏｌ／ｌの食塩水に３時間浸漬するテストおよ
び７０℃９０％相対湿度の環境下に１週間放置するテス
トを行った結果、これらのテスト後においても保磁力、
飽和磁化、カー回転角などにほとんど変化がみられず、
本発明にかかる光磁気記録媒体において良好な耐食性、
保存性が期待できることがわかった。なお、これらのテ
ストは、保護層などを設けずに、基板の上に人工格子膜
がむき出しのままとなっているものについて実行した。
０.１ｍｏｌ／ｌの食塩水に３時間浸漬するテストおよ
び７０℃９０％相対湿度の環境下に１週間放置するテス
トを行った結果、これらのテスト後においても保磁力、
飽和磁化、カー回転角などにほとんど変化がみられず、
本発明にかかる光磁気記録媒体において良好な耐食性、
保存性が期待できることがわかった。なお、これらのテ
ストは、保護層などを設けずに、基板の上に人工格子膜
がむき出しのままとなっているものについて実行した。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明したように本発明は、Ｃｏか
らなる第１のＣｏ層と、Ｐｔ,ＰｄおよびＰｔ−Ｐｄ合
金の中から選ばれた金属からなる白金族層と、Ｃｏから
なる第２のＣｏ層と、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,
Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から選ばれた少な
くとも１種以上の元素からなる希土類層とが順次積層さ
れたものを基本単位とし、該基本単位を繰り返し積層さ
せた人工格子膜を記録層とすることにより、保磁力と垂
直磁気異方性が向上し、安定した特性を有する光磁気記
録媒体が得られるようになるという効果がある。
らなる第１のＣｏ層と、Ｐｔ,ＰｄおよびＰｔ−Ｐｄ合
金の中から選ばれた金属からなる白金族層と、Ｃｏから
なる第２のＣｏ層と、Ｃｅ,Ｐｒ,Ｎｄ,Ｐｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,
Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒの中から選ばれた少な
くとも１種以上の元素からなる希土類層とが順次積層さ
れたものを基本単位とし、該基本単位を繰り返し積層さ
せた人工格子膜を記録層とすることにより、保磁力と垂
直磁気異方性が向上し、安定した特性を有する光磁気記
録媒体が得られるようになるという効果がある。
【図１】本発明に基づく光磁気磁気媒体の一例の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
１ 基板 ２ 第１のＣｏ層 ３ 白金族層 ４ 第２のＣｏ層 ５ 希土類層 ６ 基本単位
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｃｏからなる第１のＣｏ層と、Ｐｔ,Ｐ
ｄおよびＰｔ−Ｐｄ合金の中から選ばれた金属からなる
白金族層と、Ｃｏからなる第２のＣｏ層と、Ｃｅ,Ｐｒ,
Ｎｄ,Ｐｍ,Ｓｍ,Ｅｕ,Ｇｄ,Ｔｂ,Ｄｙ,ＨｏおよびＥｒ
の中から選ばれた少なくとも１種以上の元素からなる希
土類層とが順次積層されたものを基本単位とし、該基本
単位を繰り返し積層させた人工格子膜を記録層とする光
磁気記録媒体。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP3181046A JP3029485B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 光磁気記録媒体 |
| EP92306650A EP0529795B1 (en) | 1991-07-22 | 1992-07-21 | Magnetooptic recording medium |
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| US07/915,601 US5370945A (en) | 1991-07-22 | 1992-07-21 | Magnetooptic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181046A JP3029485B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 光磁気記録媒体 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0528552A JPH0528552A (ja) | 1993-02-05 |
| JP3029485B2 true JP3029485B2 (ja) | 2000-04-04 |
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ID=16093827
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP3181046A Expired - Fee Related JP3029485B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 光磁気記録媒体 |
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| US (1) | US5370945A (ja) |
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| JP (1) | JP3029485B2 (ja) |
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| KR0183938B1 (ko) * | 1995-10-28 | 1999-04-15 | 삼성전자주식회사 | 비정질 경희토류-천이금속과 반금속의 합금,이로부터 형성되는 광자기 기록막 및 이 기록막을 채용한 광자기 디스크 |
| US6893542B1 (en) | 1999-09-10 | 2005-05-17 | Seagate Technology Llc | Sputtered multilayer magnetic recording media with ultra-high coercivity |
| JP5479720B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2014-04-23 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 熱アシスト磁気記録媒体 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4675767A (en) * | 1983-12-12 | 1987-06-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Opto-magnetic recording medium |
| JPS60209942A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-22 | Canon Inc | 熱磁気記録媒体 |
| US4587176A (en) * | 1985-01-14 | 1986-05-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Layered coherent structures for magnetic recording |
| US4678721A (en) * | 1986-04-07 | 1987-07-07 | U.S. Philips Corporation | Magnetic recording medium |
| JPS62264463A (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| ATE216528T1 (de) * | 1986-07-08 | 2002-05-15 | Canon Kk | Gerät und system zur aufzeichnung auf einem magnetooptischen aufzeichnungsmedium |
| JPS63107008A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-05-12 | Res Dev Corp Of Japan | 高カ−回転角を有する薄膜及びその製造方法 |
| JP2561655B2 (ja) * | 1987-01-29 | 1996-12-11 | 株式会社日立製作所 | 面内磁気記録媒体 |
| JPH0198144A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH01162257A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| DE3803000A1 (de) * | 1988-02-02 | 1989-08-10 | Basf Ag | Flaechenfoermiges, mehrschichtiges magneto-optisches aufzeichnungsmaterial |
| JP2561130B2 (ja) * | 1988-06-27 | 1996-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 光磁気記録媒体 |
| EP0367685A3 (en) * | 1988-10-31 | 1991-08-07 | Eastman Kodak Company | Magnetooptical recording element |
| NL8803168A (nl) * | 1988-12-24 | 1990-07-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het thermomagnetisch registreren van informatie en het optisch uitlezen van de geregistreerde informatie alsmede een registratie-element dat geschikt is voor toepassing in deze werkwijze. |
| CA2017284C (en) * | 1989-07-04 | 1995-10-03 | Kazutomi Suzuki | Optical recording medium |
| JPH03134833A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-07 | Hitachi Ltd | 情報記録媒体の構造 |
| JPH03157838A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nikon Corp | 光磁気記録媒体 |
| US5106703A (en) * | 1989-11-27 | 1992-04-21 | Carcia Peter F | Platinum/cobalt multilayer film for magneto-optical recording |
| US5082749A (en) * | 1990-03-15 | 1992-01-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Platinum or palladium/cobalt multilayer on a zinc oxide or indium oxide layer for magneto-optical recording |
| JPH0453044A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH056820A (ja) * | 1990-12-28 | 1993-01-14 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3181046A patent/JP3029485B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-07-21 EP EP92306650A patent/EP0529795B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-07-21 US US07/915,601 patent/US5370945A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-21 DE DE69224947T patent/DE69224947T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0528552A (ja) | 1993-02-05 |
| DE69224947D1 (de) | 1998-05-07 |
| EP0529795A1 (en) | 1993-03-03 |
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| EP0529795B1 (en) | 1998-04-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |