JP3022195B2 - セラミック成形体の焼成法およびそれに用いる燃焼装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、その燃焼出力が高出力
と低出力とを交互に繰り返すバーナを単数または複数有
する焼成炉（以下、パルス式焼成炉とも呼ぶ）における
セラミック成形体の焼成法およびそれに用いる燃焼装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミック成形体は、バーナを有
する焼成炉等でそのバーナの燃焼が連続的である比例式
焼成法によって焼成されていた。しかし、この比例式焼
成法では以下に述べるような問題点があった。 （１）設定温度に対してオーバーシュートしてしまう。 （２）１種類のバーナで室温から１５００℃のような高
温まで加熱する場合、バーナのターンダウン比のため、
設定温度が低温の場合や昇温速度が遅い場合には、大量
の過剰空気を供給することでそれらを補っていたため、
燃料を余分に使わなければならなかった。 （３）有機物等のバインダーを含んだセラミック成形体
を焼成する場合、バインダーの燃焼温度域において、上
記（２）項で述べた過剰空気のため酸素濃度が高くなっ
てしまい、成形体中心部のバインダー燃焼が促進され、
成形体の外側と中心部で温度差が生じクラックが発生し
ていた。

【０００３】また、 （４）バインダーが燃焼するとき臭気を伴った白煙を発
生するため、煙道のバーナでその白煙を燃焼させている
が、上記（２）項で述べた過剰空気のため、バーナで加
熱しなければならない白煙が大量になり、燃料使用量が
非常に大きくなっていた。 （５）上記（３）項のクラック発生を抑制するために、
バインダーが燃焼域の昇温速度を非常に遅いものにしな
ければならず、その結果焼成時間が非常に長くなってい
た。従って、比例式焼成法では思い通りの焼成ヒートカ
ーブを得ることは困難であり、またエネルギー効率も悪
く、さらに焼成時間が長くなってしまうため、生産効率
が非常に悪かった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記問題を解消するた
めに、溶鉱炉等でしばしば用いられている、その燃焼出
力が高出力と低出力とを交互に繰り返すバーナを単数ま
たは複数有する焼成炉を、セラミック成形体の焼成に適
用することが考えられる。このパルス式焼成炉による焼
成は、高効率の燃焼を達成できるため、空気比はほぼ１
すなわち過剰空気率がほぼ０％であり、上記問題を解消
できるものと考えられる。しかしながら、このパルス式
焼成炉による焼成は、上述した従来の比例式焼成法に比
べ窯内の温度分布が悪くまた燃焼が間欠的であるため、
これをそのままセラミック成形体の焼成に適用した場合
は、以下のような問題が発生していた。

【０００５】すなわち、 （１）原料粉体のみでは射出成形や押し出し成形などの
成形が困難であり、成形助剤や可塑剤として有機物を添
加して成形性を得るもの、粘土などの有機物を含む天然
原料を用いるもの、また、造孔剤として有機物を添加し
たものなどのセラミック成形体においては、焼成によっ
て上記バインダー等の有機物が燃焼するとき、急激な温
度変化は成形体にクラックを発生させる。 （２）バインダーの脱離後、成形体の強度は著しく低下
するため、このときの急激な温度変化が成形体にクラッ
クを発生させる。 （３）セラミック原料に結晶水を含む化合物、ハロゲン
化物及び炭酸塩等を用いる場合、一般に約９００℃まで
にこれらの原料から水、ハロゲン及び炭酸が脱離し、こ
の現象を強熱減量と呼ぶ。この強熱減量の進行とともに
結晶構造の変化が起こり、この変化が終了するとセラミ
ック成形体はある程度の強度を有するようになるが、こ
の反応進行中の急激な温度変化が成形体にクラックの発
生や変形をもたらす。

【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
パルス式焼成炉でセラミック成形体の焼成を行っても成
形体にクラックの発生や変形のないセラミック成形体の
焼成法およびそれに用いる装置を提供しようとするもの
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のセラミック成形
体の焼成法は、その燃焼出力が高出力と低出力とを交互
に繰り返すバーナを単数または複数有する焼成炉におけ
るセラミック成形体の焼成法において、焼成の対象とな
るセラミック成形体がハニカム構造体であり、バインダ
ー燃焼開始温度から原料の強熱減量終了温度までの温度
域でのバーナの空気比が３以上であることを特徴とする
ものである。

【０００８】また、本発明の燃焼装置は、焼成炉と、こ
の焼成炉に単数または複数設けた、その燃焼出力が高出
力と低出力とを交互に繰り返すバーナと、このバーナの
燃焼状態を上記所定の焼成法に従って制御する制御装置
とからなることを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】上述した構成において、バインダー燃焼開始温
度から原料の強熱減量終了温度までの温度域でのバーナ
の空気比を３以上とすることで、その燃焼出力が高出力
と低出力とを交互に繰り返すバーナを単数または複数有
する焼成炉でセラミック成形体を焼成しても、その温度
域における温度変化を緩やかにすることができ、セラミ
ック成形体のクラックの発生を防止できる。

【００１０】また、上記温度域以外の温度域では、通常
のパルス式焼成炉と同様に空気比ほぼ１の状態で焼成で
きるため、従来の比例式焼成炉と比較して、使用する燃
料を大幅に減らすことができ、省エネ効果を達成するこ
とができる。なお、本発明において、バインダー燃焼開
始温度から原料の強熱減量終了温度までの温度域でのバ
ーナの空気比の上限は特に設けないが、従来の比例式焼
成炉での空気比が１０程度であることから、１０以上で
あるとこの温度域での省エネ効果を得られなくなるた
め、上限を１０とすることが好ましい。

【００１１】さらに、バーナの燃焼を制御する際、高燃
焼時間を１〜１０秒とし、低燃焼時間を１〜１０秒と
し、高出力の時間を高出力の時間と低出力の時間の和で
除した値（以下、パルス出力とも呼ぶ）を３０〜９０％
とすると、特にハニカム構造体の焼成に使用した場合
に、窯内の温度分布及び製品の特性ばらつきを少なくで
きるため好ましい。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明のセラミック成形体の焼成法
を実施する燃焼装置の一例として、単独窯からなる燃焼
装置の例を示す図である。図１に示す例において、燃焼
装置１は、基台２と、基台２上に設けた、密閉空間（図
示しない扉を有する）を形成するための側壁３および天
井４と、側壁３に単数または複数（本例では３個）設け
たバーナ５と、各バーナ５の燃焼状態を制御する制御装
置６とから構成される。そして、棚板７上に被焼成物で
あるセラミック焼成体８を載置した状態で各バーナ５を
燃焼させて焼成を行っている。

【００１３】本発明で重要なのは、制御装置６の制御の
もと、各バーナ５を、その燃焼出力が高出力と低出力と
を交互に繰り返すよう制御して、通常は空気比（燃焼に
使用した空気の容積／理論燃焼空気量（容積）をほぼ１
として焼成を行うとともに、バインダー燃焼開始温度か
ら減量の強熱減量終了温度までの温度域でのバーナの空
気比を３以上にすることである。さらに、バーナ５の燃
焼を、制御装置６の制御のもと、バーナ５の高出力時の
高燃焼時間を１〜１０秒とし、バーナ５の低出力時の低
燃焼時間を１〜１０秒とし、パルス出力を３０〜９０％
の範囲で変化させると好ましい。

【００１４】図２〜図４はそれぞれ本発明の燃焼装置に
おけるバーナ５の制御装置６の構成の一例を示す図であ
る。図２に示す例において、１１はＬＮＧ等の燃料ガス
の元配管、１２は空気の元配管で、燃料ガスの元配管１
１とバーナ５との間を配管１３で接続し、空気の元配管
１２とバーナ５との間を配管１４で接続し、さらに配管
１３と配管１４との間にバイパス管１５を設けている。

【００１５】配管１３には、手動バルブ１６、流量計１
８、レギュレータバルブ１９、コントロールモータ２０
により駆動するバルブ２１、手動バルブ２２、電磁弁２
３を順に設けている。配管１４には、コントロールモー
タ２４により駆動するバルブ２５、電磁弁２６、手動バ
ルブ２７を設けている。バイパス管１５には、手動バル
ブ２８およびレギュレータ２９を設けている。さらに、
電磁弁２３、２６、コントロールモータ２０、２４、流
量計１８およびバーナ５の失火状態を測定するＵＶディ
テクタ３０を制御するための制御部３１を設けている。

【００１６】上述した例において、電磁弁２６は、バー
ナ５の燃焼出力を高出力と低出力とに変化させるため
に、制御部３１の制御により同時に一定時間ごとにオン
／オフ動作を行う。流量計１８は、燃料ガスの供給量を
監視して、バーナ５に供給する燃料ガスおよび空気の空
気比を所定の値にするために使用される。レギュレータ
２９は、上記電磁弁２６のオン／オフ動作がさらに確実
になるよう動作する。コントロールモータ２０は、バル
ブ２１により燃料ガスの供給量をコントロールしてい
る。コントロールモータ２４は、バルブ２５により燃焼
用の空気の供給量をコントロールしている。手動バルブ
１６、２２、２７、２８は、各配管を流れる燃料ガス等
の流量を微調整するために使用される。電磁弁２３は、
ＵＶディテクタ３０がバーナ５の失火状態を検知した場
合に、燃料ガスがバーナ５へ流れないようにしている。
なお、バイパス管１５は、レギュレータ２９内でバイパ
スオリフィスを形成することにより構成することができ
る。

【００１７】図３に示す例では、燃焼用の空気を、コン
バッションエア配管４１とディフュージョンエア配管４
２とからバーナ５に供給するとともに、バーナ５の燃焼
出力の高出力と低出力との交互の繰り返しを、コンバッ
ションエア配管４１に設けたバルブ４３と、ディフュー
ジョンエア配管４２に設けたバルブ４４と、燃料ガス配
管４５に設けたバルブ４６とを、コントロールモータ４
７により同時に開閉することにより行うよう構成してい
る。また、燃焼用の空気および燃料ガスの空気比の制御
は、コンバッションエア配管４１に設けたバルブ４８と
燃料ガス配管４５に設けたバルブ４９との開閉状態を、
コントロールモータ５０により制御してコンバッション
エア配管４１から空気比が１に近い一定量のエアを供給
した状態で、ディフュージョンエア配管４２に設けたバ
ルブ５１をコントロールモータ５２により制御すること
により行っている。燃焼用の空気を、コンバッションエ
ア配管４１とディフュージョンエア配管４２とに分けた
のは、バーナ５の失火を防ぐためである。

【００１８】図４に示す例では、エア配管６１からバー
ナ５への配管６２に、電磁弁６３およびバルブ６４を設
けるとともに、燃料ガス配管６５からバーナ５への配管
６６に、電磁弁６７およびバルブ６８を設けている。そ
して、バーナ５の燃焼出力の高出力と低出力との交互の
繰り返しを、図示しない制御装置により電磁弁６３、６
７を同時に開閉させることにより実施している。また、
燃焼用の空気および燃料ガスの空気比の制御は、バルブ
６４とバルブ６８の開閉状態を、コントロールモータ６
９、７０により制御することにより行っている。

【００１９】図５および図６は、図２において示したＵ
Ｖディテクタ３０のバーナ５に対する取付位置を示す図
である。パルス式焼成炉を使用する焼成方法における低
燃焼時では、バーナ５内の炎が非常に小さく不安定とな
るため、取付位置によっては炎監視装置としてのＵＶデ
ィテクタ３０が誤動作しやすい。そのため、図５および
図６に示す位置にＵＶディテクタ３０を取り付けること
が望ましい。また、図６に示すような、旋回羽根、ガス
円筒式真管を組み合わせたバーナでは、図６（ｂ）に示
すように、柚火孔７２を有した保炎板７１にＵＶディテ
クタ３０の監視孔７３を設けることが好ましい。

【００２０】以下、実際の例について説明する。実施例１ タルク、カオリン、アルミナおよび他のコージェライト
化原料を調合し、混合し、この混合物に成形助剤および
／または造孔剤として有機物および水を加えて押し出し
成形可能に可塑化し、ハニカム構造体に押出成形後乾燥
し、その後図１に示す構造の単独窯を使用し、図７に示
す焼成スケジュールで焼成してコージェライト質ハニカ
ム構造体を得た。また、従来例として、同様のコージェ
ライトハニカム成形体に対して、従来の比例式焼成炉で
同様の焼成スケジュールで焼成して、ハニカム構造体を
得た。

【００２１】その際、バインダーが燃焼し始める温度で
ある１５０℃と、カオリンの脱水反応が終了する温度で
ある６００℃とを境にして、以下の表１に示すように空
気比を変化させた。また、本発明例および比較例の、燃
焼出力が高出力と低出力とを交互に繰り返すバーナによ
る焼成では、燃焼出力の制御を、高出力の時間が、高出
力の時間と低出力の時間の和で除した値が３０〜９０％
の範囲内となるようにするとともに、高出力時の高燃焼
時間が１〜１０秒の範囲に、また低出力時の低燃焼時間
が１〜１０秒の範囲に入るようにした。

【００２２】得られた本発明例、比較例、従来例のハニ
カム構造体に対して、縦切れ発生率、端面切れ発生率、
従来例に対するガス量削減率および電力量削減率を求め
た。結果を以下の表１に示す。

【００２３】

【表１】

【００２４】表１の結果から、本発明例は従来例と同等
の特性が得られる一方、従来例と比べて大幅にガス使用
量および電力使用量を削減できることがわかる。また、
バインダー焼成開始温度（１５０℃）から強熱減量終了
温度（６００℃）までの温度域での空気比を３以上にし
た本発明例は、その温度域での空気比が３未満である比
較例と比べて、縦切れ発生率等の特性において良好であ
ることがわかる。また、従来の比例式焼成法に比べ空気
比が低いため、バインダー燃焼域における酸素濃度が低
く、ハニカム成形体中心部のバインダー燃焼を抑制する
ことができるので、この温度域の昇温速度を比例式焼成
法より速くしても、クラック発生率は比例式焼成法と同
等のレベルを得ることができる。

【００２５】本発明を碍子および電子部品に応用した実
施例について説明する。 実施例２ （ａ）碍子 陶石：４０重量％、長石：３０重量％、カオリン：３０
重量％からなる原料を湿式粉砕し、フィルタープレスに
より脱水してケーキを作製した。このケーキを土練した
ものをプルダウン成形して乾燥し、その後図８に示すよ
うなヒートカーブで実施例１と同様に焼成した。焼成中
の５５０〜７５０℃の温度域では、原料中の結晶水の脱
水が起こって製品温度の内外差が大きくなり、また製品
中の粘土の急激な収縮が起こる（実施例１のバインダー
燃焼開始温度から原料の強熱減量終了温度に対応す
る）。この温度域で、空気比を変化させたパルス式焼成
法の実施例および従来例として実施例１と同様な比例式
焼成法による例の切れ発生率を以下の表２に示す。

【００２６】

【表２】

【００２７】表２の結果から、５５０〜７５０℃での空
気比を３以上とした本発明例は、比例式焼成法を用いた
従来例と同等の切れ発生率を得ることができることがわ
かる。また、碍子の焼成で用いられる還元炎焼成では、
従来の比例式焼成法を利用した場合でも燃焼ガス量が少
ないため、窯内温度分布の良化は困難であったが、燃焼
ガス量を比例式焼成法に比べて十分に増加させ、パルス
出力が３０〜９０％の範囲のパルス焼成法を用いること
により、窯内温度分布の良化が可能となった。

【００２８】（ｂ）電子部品 電子機器用のセラミック基板、ＩＣ用のセラミックパッ
ケージ、多層セラミックパッケージ、多層セラミック回
路基板、セラミックコンデンサー等の電子部品は、ドク
ターブレード法やカレンダ法等によってテープ成形され
る。このテープ成形では、セラミック原料粉体にセルロ
ースアセテート、ポリアクリレート、ポリメタクリレー
ト、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールなど
のバインダーおよび／またはサクローズアセテートイソ
ブチレート、グリセリン、ジブチルフタレート、ジイソ
デシルフタラールなどの可塑剤、そして溶剤を加えたス
ラリーを使用する。

【００２９】そこで、同一のバインダー等を含んだテー
プに対して、実施例１と同様に、バインダー燃焼開始温
度から原料の強熱減量終了温度までの１００〜６００℃
の温度域での空気比を変えて焼成を行い、クラック発生
率を調べた。なお、１００〜６００℃の昇温速度は３℃
/HR と一定にするとともに、従来例として比例式焼成法
により焼成した例についてもクラック発生率を調べた。
結果を以下の表３に示す。

【００３０】

【表３】

【００３１】表３の結果から、１００〜６００℃での空
気比を３以上とした本発明例は、比例式焼成法を用いた
従来例と同等の切れ発生率を得ることができるのに対
し、その間の空気比を３未満にした比較例ではクラック
発生率が高くなることがわかる。

【００３２】次に、本発明例のなかでも好ましい例を求
めた。実施例３ 実施例１と同様の対象に対して、本発明例におけるパル
ス出力、高出力時の高燃焼時間、低出力時の低燃焼時間
を変化させて、それぞれの好ましい範囲を求めた。な
お、パルス出力についての表４では、図１に示す構造の
単独窯において、計２４箇所の温度を熱電対でサンプリ
ングした。なお、設定温度は２００℃であった。高燃焼
時間についての表５および低燃焼時間についての表６で
は、製品表面温度の変動幅を測定した。結果を表４、表
５、表６にそれぞれ示す。

【００３３】

【表４】

【００３４】

【表５】

【００３５】

【表６】

【００３６】以上の結果から、まず、高出力の時間を、
高出力の時間と低出力の時間の和で除した値であるパル
ス出力については、本発明のなかでも３０〜９０の範囲
にすると、各部の温度の差を従来例と同様とできる一
方、ガス使用量を改善できるため好ましいことがわか
る。また、高燃焼時間および低燃焼時間については、そ
れぞれ１〜１０秒であると、表面温度変動幅が少なくな
るため好ましいことがわかる。

【００３７】次に、本発明の適用方法で好ましい例を求
めた。実施例４ 実施例１と同様の対象に対して、外囲いの効果、パルス
式焼成法の適用温度範囲、高燃焼のタイミング、窯内圧
力の制御方法について、本発明を適用するうえで好まし
い範囲を調べた。 （１）外囲いの効果 ハニカム構造体の焼成において、図９に示すように、ハ
ニカム構造体８１の周りにハニカム構造体８１と同じ高
さもしくはそれ以上の高さのムライトやアルミナからな
る外囲い８２を、バーナ８３を設けた側壁８４の間に設
置して本発明の焼成法を実施したところ、以下の表７に
示すように、切れ発生率を減少させることができた。

【００３８】

【表７】

【００３９】（２）パルス式焼成法の適用温度範囲 ハニカム構造体において、リブ（ハニカム形状の貫通孔
を形成する壁）が通常製品の６ｍｉｌに比べ４ｍｉｌと
薄い製品が近年開発されてきているが、これらの製品は
バインダー燃焼後から結晶化までの構造体の強度が弱い
ために、通常品よりも焼成によるクラックが発生しやす
い。そこで、パルス式焼成法適用温度範囲を室温からバ
インダー燃焼完了の３５０℃までとし、３５０℃以降は
比例式焼成法により焼成を行った場合（Ａ）と、室温か
ら最高温度までパルス式焼成法を適用した場合（Ｂ）と
で焼成を行い、クラック発生率を比較した。結果を表８
に示す。

【００４０】

【表８】

【００４１】表８の結果から、パルス式焼成法から比例
式焼成法に切り替えた（Ａ）は、パルス式焼成法のみを
行った（Ｂ）に比べて、クラック発生率を減少させるこ
とができた。なお、このパルス式焼成法から比例式焼成
法への切り替え焼成は、図２〜図４に示した装置によっ
て可能となる。パルス式焼成法から比例式焼成法への切
り替えの際に、パルス出力を急激に１００％に増加させ
ることは、窯内の温度や圧力を急激に変化させることと
なるため、パルス出力１％あたり１００秒の速度で、パ
ルス出力を１００％まで増加させ、それに伴いバーナの
燃焼出力を減少させることによって、窯内の温度や圧力
の急激な変化を抑制した。

【００４２】（３）高燃焼のタイミング 図１に示すように、同一平面内にある３基のバーナ５を
１つのゾーンとみなし。３基のバーナ５が図１０のよう
に順次高燃焼を行うことによって、窯内空気のサーキュ
レーションを引き起こした。これにより、窯内温度分布
を良化することができた。

【００４３】（４）窯内圧力（炉圧）の制御方法 パルス式焼成法では、時間によってバーナから窯内に供
給される風量が大きく変化するために、炉圧の変動が大
きい。炉圧が負になってしまうと窯の外から冷却空気を
吸い込み、温度分布が悪化してしまうので、炉圧変動の
下限が正になるように炉圧を設定し、排気ファンの回転
数および排気ダンパの開度を調節した。このとき、パル
スの周期による短時間の炉圧変化を許容し、排ガス量に
応じた炉圧変化のみに排気ファンの回転数や排気ダンパ
開度が追従する目的で、炉圧発振器の入力に一時遅れ演
算器（１０〜４０秒）を設け、入力を平均化して炉圧を
制御した。こうすることによって、炉圧の瞬間的な変化
で排気ファンの回転数や排気ダンパの開度が変化して、
炉圧がドタバタすることを防止できた。

【００４４】なお、上述した例では単独窯の例を示した
が、トンネル窯やその他の窯においての本発明の焼成法
を好適に実施することができる。例えば、トンネル窯で
は、低温のバインダー燃焼域のバーナに本発明の焼成方
法を導入することによって、酸素濃度を下げ、製品のク
ラック発生率を減少させることができ、さらにこの部分
の昇温速度を速くしても、クラック発生率を従来と同じ
レベルにすることができる。

【００４５】さらに、上述した例では、コージェライト
組成を例にとって説明したが、他の組成のセラミック成
形体に本発明を適用しても、同様な結果を得ることがで
きた。また、本発明のように燃焼装置の高出力と低出力
とを繰り返す場合、バーナの失化を防止するためには、
高出力から低出力へ、または高出力から低出力への変化
時間は、０．５秒以上が好ましい。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明に
よれば、バインダー燃焼開始温度から原料の強熱減量終
了温度までの温度域でのバーナの空気比を３以上として
いるため、その燃焼出力が高出力と低出力とを交互に繰
り返すバーナを単数または複数有する焼成炉でセラミッ
ク成形体を焼成しても、その温度域における温度変化を
緩やかにすることができ、セラミック成形体の焼成時の
クラックの発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のセラミック成形体の焼成法を実施する
燃焼装置の一例を示す図である。

【図２】本発明の燃焼装置におけるバーナの制御装置の
一例の構成を示す図である。

【図３】本発明の燃焼装置におけるバーナの制御装置の
他の例の構成を示す図である。

【図４】本発明の燃焼装置におけるバーナの制御装置の
さらに他の例の構成を示す図である。

【図５】図２の例におけるＵＶディテクタのバーナに対
する取付位置の一例を示す図である。

【図６】図２の例におけるＵＶディテクタのバーナに対
する取付位置の他の例を示す図である。

【図７】実施例における焼成スケジュールを示す図であ
る。

【図８】同じく実施例における焼成スケジュールを示す
図である。

【図９】実施例における外囲いの様子を示す図である。

【図１０】実施例における高燃焼のタイミングを示す図
である。

【符号の説明】

１ 燃焼装置、２ 基台、３ 側壁、４ 天井、５ バ
ーナ、６ 制御装置

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】その燃焼出力が高出力と低出力とを交互に
   繰り返すバーナを単数または複数有する焼成炉における
   セラミック成形体の焼成法において、焼成の対象となる
   セラミック成形体がハニカム構造体であり、バインダー
   燃焼開始温度から原料の強熱減量終了温度までの温度域
   でのバーナの空気比が３以上であることを特徴とするセ
   ラミック成形体の焼成法。
2. 【請求項２】前記バーナの高出力時の高燃焼時間が１〜
   １０秒である請求項１記載のセラミック成形体の焼成
   法。
3. 【請求項３】前記バーナの低出力時の低燃焼時間が１〜
   １０秒である請求項１記載のセラミック成形体の焼成
   法。
4. 【請求項４】前記高出力の時間を、高出力の時間と低出
   力の時間の和で除した値が３０〜９０％の範囲内である
   請求項１記載のセラミック成形体の焼成法。
5. 【請求項５】焼成炉と、この焼成炉に単数または複数設
   けた、その燃焼出力が高出力と低出力とを交互に繰り返
   すバーナと、このバーナの燃焼状態を請求項１記載の焼
   成法に従って制御する制御装置とからなることを特徴と
   するセラミック成形体の焼成法に用いる燃焼装置。