JP3095487B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- JP3095487B2 JP3095487B2 JP03307898A JP30789891A JP3095487B2 JP 3095487 B2 JP3095487 B2 JP 3095487B2 JP 03307898 A JP03307898 A JP 03307898A JP 30789891 A JP30789891 A JP 30789891A JP 3095487 B2 JP3095487 B2 JP 3095487B2
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- Japan
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- magnetic bearing
- rotating body
- control device
- magnetic
- floating
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上対象物、例えばタ
ーボ分子ポンプ、コンプレッサ、タービン、工作機械用
スピンドル等の高速回転体に適用する磁気軸受装置に関
するものである。
ーボ分子ポンプ、コンプレッサ、タービン、工作機械用
スピンドル等の高速回転体に適用する磁気軸受装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速回転体を浮上保持する手段として、
電磁石を用いた磁気軸受がある。その従来例を図５によ
り説明すると、４が回転体、５ａ、５ｂが同回転体４を
回転可能に支持する一対の磁気軸受（ジャーナル軸
受）、６ａ、６ｂが上記回転体４の浮上位置を検出する
位置センサである。
電磁石を用いた磁気軸受がある。その従来例を図５によ
り説明すると、４が回転体、５ａ、５ｂが同回転体４を
回転可能に支持する一対の磁気軸受（ジャーナル軸
受）、６ａ、６ｂが上記回転体４の浮上位置を検出する
位置センサである。
【０００３】回転体４の浮上位置を位置センサ６ａ、６
ｂにより検出し、そのとき得られる検出信号に基づいて
磁気軸受５ａ、５ｂに設けた電磁石（図示せず）に流す
電流値を決めて、電磁石に発生する磁力の大きさを制御
して、回転体４の浮上位置を設定するようにしている。
図６は、上記磁気軸受制御装置のブロック図である。同
図６において、１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有
する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限す
る部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）
調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０が
フィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石である。
ｂにより検出し、そのとき得られる検出信号に基づいて
磁気軸受５ａ、５ｂに設けた電磁石（図示せず）に流す
電流値を決めて、電磁石に発生する磁力の大きさを制御
して、回転体４の浮上位置を設定するようにしている。
図６は、上記磁気軸受制御装置のブロック図である。同
図６において、１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有
する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限す
る部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）
調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０が
フィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石である。
【０００４】上記中心位置（オフセット）調整器８は、
位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上保持
中心の機械的ずれを、電気的に補正調節するものであ
り、この調節値は、磁気軸受を持つ機器一品毎に異な
る。上記位置フィードバックゲイン調節器９は、位置セ
ンサ７の出力電圧値を回転体４の浮上中心からの変位量
に換算するものであり、位置センサ７の一点毎の異なる
感度を補正する機能を含んでいる。
位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上保持
中心の機械的ずれを、電気的に補正調節するものであ
り、この調節値は、磁気軸受を持つ機器一品毎に異な
る。上記位置フィードバックゲイン調節器９は、位置セ
ンサ７の出力電圧値を回転体４の浮上中心からの変位量
に換算するものであり、位置センサ７の一点毎の異なる
感度を補正する機能を含んでいる。
【０００５】上記フィルタ１０は、磁気軸受の高周波数
領域での高ゲイン及び位相遅れによる低減衰能力で発生
する、高周波ハンチング（回転体曲げモード固有振動）
を制振させ、回転安定性を確保するものであり、このフ
ィルタ１０の中心周波数の設定値は、回転体４の固有振
動数に合わせるため、磁気軸受を持つ機器一品毎に異な
る。
領域での高ゲイン及び位相遅れによる低減衰能力で発生
する、高周波ハンチング（回転体曲げモード固有振動）
を制振させ、回転安定性を確保するものであり、このフ
ィルタ１０の中心周波数の設定値は、回転体４の固有振
動数に合わせるため、磁気軸受を持つ機器一品毎に異な
る。
【０００６】上記制御回路１１は、回転体４の浮上中心
からの偏差量に対する位置制御と、回転体４の剛体モー
ド固有値の発振を減衰させるべく設計されたゲインと位
相を確保できるよう一般的に比例要素、積分要素、微分
要素（ＰＩＤ要素）で構成されている。通常、中心位置
（オフセット）調整器８、位置フィードバックゲイン調
節器９、フィルタ１０、及び制御回路１１は、磁気軸受
制御装置１内に組み込まれ、また位置センサ７、及び電
磁石１２は、回転体を有する構造物２内に組み込まれて
いる。
からの偏差量に対する位置制御と、回転体４の剛体モー
ド固有値の発振を減衰させるべく設計されたゲインと位
相を確保できるよう一般的に比例要素、積分要素、微分
要素（ＰＩＤ要素）で構成されている。通常、中心位置
（オフセット）調整器８、位置フィードバックゲイン調
節器９、フィルタ１０、及び制御回路１１は、磁気軸受
制御装置１内に組み込まれ、また位置センサ７、及び電
磁石１２は、回転体を有する構造物２内に組み込まれて
いる。
【０００７】
（１）一般に磁気軸受を有する機器は、回転体を有する
構造物と回転体を浮上制御する磁気軸受制御装置との２
つのユニツトからなる。勿論、磁気軸受制御装置内に
は、回転体を高速回転させるためのインバータも含まれ
ている。上記２つのユニツトは、磁気軸受制御用ケーブ
ルとモータ駆動用ケーブルとで接続されている。 （２）磁気軸受制御装置内には、回転体を有する構造物
の個性により調整または設定される部分を有する。例え
ば、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上
中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調
整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心
からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節
器９、及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させる
フィルタ１０とがそれに当たる。
構造物と回転体を浮上制御する磁気軸受制御装置との２
つのユニツトからなる。勿論、磁気軸受制御装置内に
は、回転体を高速回転させるためのインバータも含まれ
ている。上記２つのユニツトは、磁気軸受制御用ケーブ
ルとモータ駆動用ケーブルとで接続されている。 （２）磁気軸受制御装置内には、回転体を有する構造物
の個性により調整または設定される部分を有する。例え
ば、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上
中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調
整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心
からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節
器９、及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させる
フィルタ１０とがそれに当たる。
【０００８】これらの調節値及び設定値は、回転体を有
する構造物一品毎に異なり、磁気軸受制御装置と回転体
とを有する構造物は、一対一の組み合わせとなる。 （３）磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物とは、
一対一の組み合わせになるため、その組み合わせを変え
ると、磁気軸受制御が正規の機能を失って、安定回転が
保証できなくなる。 （４）この一対一の組み合わせを変更できないこと、即
ち、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間に
互換性がないことは、磁気軸受を有する機器の量産性を
著しく低下させる。またアフターサービス上の管理及び
トラブルの対応等に対して好ましくない。
する構造物一品毎に異なり、磁気軸受制御装置と回転体
とを有する構造物は、一対一の組み合わせとなる。 （３）磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物とは、
一対一の組み合わせになるため、その組み合わせを変え
ると、磁気軸受制御が正規の機能を失って、安定回転が
保証できなくなる。 （４）この一対一の組み合わせを変更できないこと、即
ち、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間に
互換性がないことは、磁気軸受を有する機器の量産性を
著しく低下させる。またアフターサービス上の管理及び
トラブルの対応等に対して好ましくない。
【０００９】本発明は前記の問題点に鑑み提案するもの
であり、その目的とする処は、磁気軸受を有する機器製
造時の量産性を向上できる。また磁気軸受制御装置また
は回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方
の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のア
フタサービスを簡便化できる磁気軸受装置を提供しよう
とする点にある。
であり、その目的とする処は、磁気軸受を有する機器製
造時の量産性を向上できる。また磁気軸受制御装置また
は回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方
の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のア
フタサービスを簡便化できる磁気軸受装置を提供しよう
とする点にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する
位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁
気軸受とを有する構造物と、中心位置調整及び位置フィ
ードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有
振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の
前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして
前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸
受装置において、前記磁気軸受制御装置と構造物との間
の互換性を制限する部分を該磁気軸受制御装置外に設置
している。
めに、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する
位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁
気軸受とを有する構造物と、中心位置調整及び位置フィ
ードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有
振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の
前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして
前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸
受装置において、前記磁気軸受制御装置と構造物との間
の互換性を制限する部分を該磁気軸受制御装置外に設置
している。
【００１１】
【作用】本発明の磁気軸受装置は前記のように前記磁気
軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分を
磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置
と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している
要因が解消されることになり、磁気軸受装置及び回転体
を有する構造物（例えばケーシング）が個別に生産され
るようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性
が向上する。また磁気軸受制御装置又は回転体を有する
構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理
で済んで、磁気軸受を有する機器のアフターサービスが
簡便化される。
軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分を
磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置
と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している
要因が解消されることになり、磁気軸受装置及び回転体
を有する構造物（例えばケーシング）が個別に生産され
るようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性
が向上する。また磁気軸受制御装置又は回転体を有する
構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理
で済んで、磁気軸受を有する機器のアフターサービスが
簡便化される。
【００１２】
（第１実施例）次に本発明の磁気軸受装置を図１及び図
２に示す第１実施例により説明する。図１の１が磁気軸
受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシ
ング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、
８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィード
バックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回
路、１２が電磁石であり、以上の図１は、互換性を制限
している部分３を、回転体を有する構造物（例えばケー
シング）２内に組み込んだ場合のブロツク線図を示して
いる。
２に示す第１実施例により説明する。図１の１が磁気軸
受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシ
ング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、
８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィード
バックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回
路、１２が電磁石であり、以上の図１は、互換性を制限
している部分３を、回転体を有する構造物（例えばケー
シング）２内に組み込んだ場合のブロツク線図を示して
いる。
【００１３】図２は、同磁気軸受装置をターボ分子ポン
プに適用した適用例である。位置センサ７の出力を、中
心位置（オフセット）調整器（位置センサ７の設置によ
る回転体４の軸中心位置ずれを補正する中心位置調整
器）８、及び位置センサ７自身が持つ出力値のバラツキ
を補正するフィードバックゲイン調節器９により調整
し、これを回転体４の固有振動数にチユーニングされた
フィルタ１０を通過させた後、ＰＩＤと位相補償による
制御回路１１により、電磁石１２の磁力を制御して、同
磁力により回転体４を浮上、保持する。
プに適用した適用例である。位置センサ７の出力を、中
心位置（オフセット）調整器（位置センサ７の設置によ
る回転体４の軸中心位置ずれを補正する中心位置調整
器）８、及び位置センサ７自身が持つ出力値のバラツキ
を補正するフィードバックゲイン調節器９により調整
し、これを回転体４の固有振動数にチユーニングされた
フィルタ１０を通過させた後、ＰＩＤと位相補償による
制御回路１１により、電磁石１２の磁力を制御して、同
磁力により回転体４を浮上、保持する。
【００１４】このターボ分子ポンプ本体の特性により、
調整または調節される互換性を制限する部分３、即ち、
中心位置（オフセット）調整器８、フィードバックゲイ
ン調節器９、フィルタ１０を１つのユニツトにして、タ
ーボ分子ポンプ本体に組み込む。 （第２実施例）次に本発明の磁気軸受装置を図３及び図
４に示す第１実施例により説明する。図３の１が磁気軸
受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシ
ング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、
８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィード
バックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回
路、１２が電磁石であり、以上の図３は、互換性を制限
している部分３を、１つのユニツトとして磁気軸受制御
装置１から切り離して、回転体を有する構造物（例えば
ケーシング）２外に設置した場合のブロツク線図を示し
ている。
調整または調節される互換性を制限する部分３、即ち、
中心位置（オフセット）調整器８、フィードバックゲイ
ン調節器９、フィルタ１０を１つのユニツトにして、タ
ーボ分子ポンプ本体に組み込む。 （第２実施例）次に本発明の磁気軸受装置を図３及び図
４に示す第１実施例により説明する。図３の１が磁気軸
受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシ
ング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、
８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィード
バックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回
路、１２が電磁石であり、以上の図３は、互換性を制限
している部分３を、１つのユニツトとして磁気軸受制御
装置１から切り離して、回転体を有する構造物（例えば
ケーシング）２外に設置した場合のブロツク線図を示し
ている。
【００１５】図４は、同磁気軸受装置をターボ分子ポン
プに適用した適用例である。その作用は，図２に示すタ
ーボ分子ポンプと同様である。
プに適用した適用例である。その作用は，図２に示すタ
ーボ分子ポンプと同様である。
【００１６】
【発明の効果】本発明の磁気軸受装置は前記のように磁
気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置
外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する
構造物との間の互換性を制限している要因を解消するこ
とになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例
えばケーシング）を個別に生産できるようになって、磁
気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。
気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置
外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する
構造物との間の互換性を制限している要因を解消するこ
とになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例
えばケーシング）を個別に生産できるようになって、磁
気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。
【００１７】また磁気軸受制御装置または回転体を有す
る構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修
理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを
簡便化できる。
る構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修
理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを
簡便化できる。
【図１】本発明の磁気軸受装置の第１実施例を示すブロ
ツク線図である。
ツク線図である。
【図２】同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した
縦断側面図である。
縦断側面図である。
【図３】本発明の磁気軸受装置の第２実施例を示すブロ
ツク線図である。
ツク線図である。
【図４】同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した
縦断側面図である。
縦断側面図である。
【図５】従来の磁気軸受装置を示す側面図である。
【図６】同磁気軸受装置のブロツク線図である。
１ 磁気軸受制御装置 ２ 回転体を有する構造物（例えばケーシング） ３ 互換性を制限する部分 ４ 回転体 ７ 位置センサ ８ 中心位置（オフセット）調整器 ９ 位置フィードバックゲイン調節器 １０ フィルタ １１ 制御回路 １２ 電磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 浮上保持対象物の浮上位置を検出する位
置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気
軸受とを有する構造物と、 中心位置調整及び位置フィードバックゲイン調節を行っ
て、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされた
フィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信
号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受
制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記磁気軸
受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分を該
磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸
受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03307898A JP3095487B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03307898A JP3095487B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149337A JPH05149337A (ja) | 1993-06-15 |
| JP3095487B2 true JP3095487B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=17974502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03307898A Expired - Fee Related JP3095487B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3095487B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006083924A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受制御装置 |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP03307898A patent/JP3095487B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05149337A (ja) | 1993-06-15 |
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Legal Events
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