JP3067738B2

JP3067738B2 - 検査システムおよび検査方法

Info

Publication number: JP3067738B2
Application number: JP10166598A
Authority: JP
Inventors: 誠二石川
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1998-06-15
Filing date: 1998-06-15
Publication date: 2000-07-24
Anticipated expiration: 2015-07-24
Also published as: JPH10326812A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ上に
付着した異物等を検出し、分析する検査システムおよび
検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造においてはウェハに付着する
異物が歩留り低下の重大な要因になる。そこでウェハに
付着した異物を計数して、異物発生量管理をしたり、ウ
ェハに付着した異物を分析して異物発生源を解析したり
していた。

【０００３】従来半導体ウェハに付着した異物を分析す
るとき、ウェハの異物の付着している部分を切断して小
片にして、分析装置にかけていた。しかし、ウェハを切
断する手間がかかること、切断の際、ウェハの切り粉が
表面に付着してしまう等の不都合があった。そこで、ウ
ェハ上の異物を検出する機能とそのままウェハを切断せ
ずに付着異物を分析する機能の２つの機能を合わせ持つ
装置が開発された（特開昭６０−２１８８４５）。前記
発明の装置では異物を検出し、その座標を記録し、該座
標の異物を分析していた。該装置により異物を切断する
手間が省け、切り粉が表面に付着しなくなったことによ
り、誤って切り粉を分析することがなくなった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来分析した
異物は成分情報のみを利用して、その位置情報を利用し
ていなかったので、どんな成分の異物がウェハ上でどの
ように分布していたか判らなかった。

【０００５】本発明の目的は、どんな成分の異物がウェ
ハ上でどのように分布しているか明らかにするものであ
る。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一
目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易
になる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、ウェハを検査する検査装置と、該検査装
置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用い
て該ウェハを分析する分析装置と、該検査装置が検査し
て得た検査結果の情報と該分析装置が分析して得た分析
結果の情報とを処理する解析装置とを備え、該検査装置
が、ウェハ上の異物を検出して得た検査結果の情報をウ
エハを識別する情報とともに該解析装置に送信するデー
タ送信手段を有し、該分析装置が、該検査装置で検出し
て得た異物の座標データを用いて前記検査装置で検出し
た異物を分析し、その分析して得た分析結果の情報をウ
エハを識別する情報とともに該解析装置に送信するデー
タ送信手段を有し、該解析装置が、受信した検査結果の
情報と分析結果の情報のうち同一の識別情報を有する情
報を用いて、該検査装置が検出したウエハ内の異物の位
置情報とその異物に対応した分析結果の情報とを出力す
る出力手段を有するものである。

【０００７】また、ウェハの外観上の欠陥を検出する欠
陥検出装置と、該欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥
の前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥
の詳細な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを備
え、該出力装置が、前記欠陥検出装置で得た前記外観上
の欠陥の検出結果の情報をウエハを識別する情報ととも
に受信する手段と、前記詳細解析装置で得た前記外観上
の欠陥の詳細な情報をウエハを識別する情報とともに受
信する手段と、受信した前記欠陥の検出結果の情報と前
記欠陥の詳細な情報のうち同一の識別情報を有する情報
を用いて、前記欠陥の前記ウェハ上での位置情報とその
欠陥に対応した詳細な情報とを出力する出力手段とを有
するものである。

【０００８】また、前記外観上の欠陥が前記ウェハに付
着した異物欠陥であるものである。

【０００９】また、前記詳細解析装置が、ＳＥＭを有
し、該ＳＥＭで前記欠陥検出装置で検出した外観上の欠
陥を分析して、該外観上の欠陥を分析して得た情報を該
外観上の欠陥の位置の情報と共に、記号で出力するもの
である。

【００１０】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
複数のカテゴリーに分類して出力するものである。

【００１１】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
該欠陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に
記号化して表示するものである。

【００１２】また、ウェハを検査する検査装置と、該検
査装置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを
用いて該ウェハを分析する分析装置と、該検査装置が検
査して得た検査結果の情報と該分析装置が分析して得た
分析結果の情報とを処理する解析装置と用いた検査方法
であって、該検査装置が、ウェハ上の異物を検出して得
た検査結果の情報をウエハを識別する情報とともに該解
析装置に送信するステップと、該分析装置が、該検査装
置で検出して得た異物の座標データを用いて前記検査装
置で検出した異物を分析し、その分析して得た分析結果
の情報をウエハを識別する情報とともに該解析装置に送
信するステップと、該解析装置が、受信した検査結果の
情報と分析結果の情報のうち同一の識別情報を有する情
報を用いて、該検査装置が検出したウエハ内の異物の位
置情報とその異物に対応した分析結果の情報とを出力す
るステップとを有するものである。

【００１３】また、ウェハの外観上の欠陥を検出する欠
陥検出装置と、該欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥
の前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥
の詳細な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを用い
た検査方法であって、前記欠陥検出装置で得た前記外観
上の欠陥の検出結果の情報をウエハを識別する情報とと
もに該出力装置が受信するステップと、前記詳細解析装
置で得た前記外観上の欠陥の詳細な情報をウエハを識別
する情報とともに該出力装置が受信するステップと、受
信した前記欠陥の検出結果の情報と前記欠陥の詳細な情
報のうち同一の識別情報を有する情報を用いて、前記欠
陥の前記ウェハ上での位置情報とその欠陥に対応した詳
細な情報とを出力するステップとを有するものである。

【００１４】また、前記外観上の欠陥が前記ウェハに付
着した異物欠陥であるものである。

【００１５】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
複数のカテゴリーに分類して出力するものである。

【００１６】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
該欠陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に
記号化して表示するものである。

【００１７】また、検査装置が検査して得た検査結果に
含まれる座標データを用いてウェハを分析する分析装置
と、該検査装置が検査して得た検査結果の情報と該分析
装置が分析して得た分析結果の情報とを処理する解析装
置とを備え、該分析装置が、該検査装置で検出して得た
異物の座標データを用いて前記検査装置で検出した異物
を分析し、その分析して得た分析結果の情報をウエハを
識別する情報とともに該解析装置に送信するデータ送信
手段を有し、該解析装置が、該検査装置がウェハ上の異
物を検出して得た検査結果の情報をウエハを識別する情
報とともに受信する受信手段と、該分析装置が分析して
得た分析結果の情報をウエハを識別する情報とともに受
信する受信手段と、受信した検査結果の情報と分析結果
の情報のうち同一の識別情報を有する情報を用いて、検
査装置が検出したウエハ内の異物の位置情報とその異物
に対応した分析結果の情報と出力する出力手段とを有す
るものである。

【００１８】また、欠陥検出装置で検出した外観上の欠
陥の前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠
陥の詳細な情報を得る詳細解析装置と、前記欠陥検出装
置で得た前記外観上の欠陥の検出結果の情報をウエハを
識別する情報とともに受信する手段と、前記詳細解析装
置で得た前記外観上の欠陥の詳細な情報をウエハを識別
する情報とともに受信する手段と、受信した前記欠陥の
検出結果の情報と前記欠陥の詳細な情報のうちの同一の
識別情報を有する情報を用いて、前記欠陥の前記ウェハ
上での位置情報とその欠陥に対応した詳細な情報とを出
力する出力手段とを有する出力装置とを備えたものであ
る。

【００１９】また、前記外観上の欠陥が前記ウェハに付
着した異物欠陥であるものである。

【００２０】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
複数のカテゴリーに分類して出力するものである。

【００２１】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
該欠陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に
記号化して表示するものである。

【００２２】また、欠陥検出装置で検出した外観上の欠
陥の前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠
陥の詳細な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを用
いた検査方法であって、該出力装置が、前記欠陥検出装
置で得た前記外観上の欠陥の検出結果の情報をウエハを
識別する情報とともに受信するステップと、前記詳細解
析装置で得た前記外観上の欠陥の詳細な情報をウエハを
識別する情報とともに受信するステップと、受信した前
記欠陥の検出結果の情報と前記欠陥の詳細な情報のうち
同一の識別情報を有する情報を用いて、前記欠陥の前記
ウェハ上での位置情報とその欠陥に対応した詳細な情報
とを出力するステップとを有するものである。

【００２３】また、前記外観上の欠陥が前記ウェハに付
着した異物欠陥であるものである。

【００２４】また、前記外観上の欠陥の詳細な情報を、
該欠陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に
記号化して表示するものである。

【００２５】

【００２６】

【００２７】

【００２８】これによって特定の成分の異物分布を知る
ことができるようになり、例えば成分ごとの分布の形状
から、発塵の原因となった治具、装置等が判明する。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面と共に説明
する。

【００３０】実施例１本実施例において本発明に必要な機器構成を説明する。
図１を説明する。検査装置１はウェハ上の異物を検出す
ることができる異物検査装置であって、検出した異物の
ウェハ上の座標を出力できる装置であればよい。該検査
装置として、日立電子エンジニアリング（株）社製ＩＳ
−１０１０が利用できる。分析装置２はウェハを切断せ
ずに異物を分析できる分析装置であって、検査装置１の
座標データをもとに異物を分析できる装置であればよ
い。分析装置２では検査装置１で検出した順に全て異物
を分析する。該分析装置としては多数の装置が市販され
ている。ワークステーション３は異物座標データと異物
分析データを記録し、該２つのデータを突き合わせる機
能と突き合わせた結果を表示できる機能があればよい。
データ転送手段４は異物座標データを検査装置１から分
析装置２に渡す手段であって、検査装置１でプリントア
ウトされたデータを作業者が分析装置２に入力してもよ
いし、フロッピディスクやメモリカード等軽可能な記憶
媒体で渡してもよいし、ネットワークを介してデータを
渡してもよい。データ転送手段５は分析装置２からワー
クステーション３に異物座標データと異物分析データを
渡す手段であって、実現方法はデータ転送手段４と同じ
である。表示手段２００に異物座標データと異物分析デ
ータを合わせたものを表示する。

【００３１】実施例２ここでは実施例１の代案を示す。図２における異物解析
装置１００は異物を検出し、更に該異物を分析できる機
能を有した装置で、例えば先に述べた特開昭６０−２１
８８４５に記載した装置で実現できる。ワークステーシ
ョン６はワークステーション３と同じ役割を果たす。デ
ータ転送手段７はデータ転送手段５と同じ役割を果た
す。表示手段２００に異物座標データと異物分析データ
を合わせたものを表示する。

【００３２】実施例３ここでは実施例１の代案を示す。図３における検査装置
８は検査装置１と同じ機能を有するが、異物の座標デー
タを分析装置９とワークステーション１０に転送する。
分析装置９は分析装置２と同じ機能を有する。ワークス
テーション１０はワークステーション３と同じ機能を有
する。データ転送手段１１はデータ転送手段４と同じも
のである。データ転送手段１２は異物検査装置８からワ
ークステーション１０に異物座標データを転送する手段
で、実現方法はデータ転送手段４と同じものである。デ
ータ転送手段１４は分析装置９からワークステーション
１０に異物の分析データを転送する手段で、実現方法は
データ転送手段４と同じである。表示手段２００に異物
座標データと異物分析データを合わせたものを表示す
る。

【００３３】実施例４ワークステーション３の中の処理を説明する。本実施例
は実施例１と実施例２の機器構成に対応する。図１にお
いて分析装置からワークステーション３は異物の座標デ
ータと分析データを受取り、データテーブル１５を作成
する。データテーブル１５のフォーマットを図４に示
す。データテーブル１５は少なくとも異物座標データ１
６と異物分析データ１７からなる。必要に応じて異物ご
との異物ＩＤ１８、付帯情報１９を持たせる。図４では
付帯情報１９の例として異物の大きさに関する情報を挙
げている。ここでは異物の粒径を３つに分類して大きい
順にＬ，Ｍ，Ｓとして記述している。データテーブル１
５は分析したウェハ毎に１つ作成し、それぞれにウェハ
の識別子２０を割り付けて区別する。異物ＩＤの付け方
としてウェハ識別子の後にデータが送られてきた順に通
し番号を付ける方法がある。ワークステーション３は、
作業者がウェハ識別子を入力すると該識別子が一致する
データテーブル１５を検索し、該当するデータを表示手
段２００に表示する。

【００３４】実施例５実施例４の代案を説明する。本実施例は実施例３で説明
した機器構成に対応する。図３においてワークステーシ
ョン１０は検査装置８から異物の座標データを受取り、
座標データテーブル２１を作成する。座標データテーブ
ルのフォーマットを図５で示す。座標データテーブル２
１はウェハ識別子２２、異物ＩＤ２３、異物座標データ
２４からなる。必要に応じて付帯情報２５を加えても良
い。付帯情報２５は実施例４で示したように異物粒径を
示す情報等がある。またワークステーション１０は分析
装置９から異物分析データを受取り、分析データテーブ
ル２６を作成する。分析データテーブルのフォーマット
を図６に示す。分析データテーブル２６はウェハ識別子
２７、異物ＩＤ２８、異物分析データ２９からなる。

【００３５】分析装置９においては検査装置８から送ら
れてきた座標データの順に全て異物を分析する。その結
果を分析装置９はワークステーション１０に送る。ワー
クステーションがウェハ毎にデータが送られてきた順に
それぞれ通し番号を付けることによって異物ＩＤ２３、
異物ＩＤ２８は、一致する。

【００３６】ワークステーション１０は座標データテー
ブル２１と分析データテーブル２６から異物ＩＤを介し
て、実施例４に示したデータテーブル１５を作成する。
結果を表示手段２００に表示する。

【００３７】実施例６本実施例においてデータテーブル１５の内容の表示方法
の実施例を示す。まず、分析結果をいくつかのカテゴリ
に分ける。例を図７に示す。カテゴリ１としてＮａおよ
びＣｌを含むもの、カテゴリ２としてＦｅを含むもの、
カテゴリ３としてＳｉを含むもの、カテゴリ４としてＣ
を含むもの、カテゴリ５としてその他と分類する。も
し、複数のカテゴリに属するものがあればカテゴリ番号
の小さいものに優先的に属させる。

【００３８】ワークステーションはＣＲＴに表示したウ
ェハ上に異物座標データに基づいて異物の検出箇所にプ
ロットを行う（図８、３０）。プロットする際の記号と
して、各異物が属する前述のカテゴリ番号を用いる。例
を図８に示す。ここではＮａＣｌ（塩分）とＣ（炭素化
合物）が右下すみに楕円上に付着しているのが判る。こ
れから作業者が誤って指を触れてしまったものであるこ
とが判る。

【００３９】実施例７本実施例においては分析装置３または異物解析装置１０
０または分析装置９の分析能力に対して記載する。本発
明で用いる前記装置は、有機分析を行うものでも、無機
分析を行うものであってもよい。有機分析を行うものの
場合、実施例６に掲げた分類カテゴリを有機物質または
有機物質を構成する基にすればよい。

【００４０】

【発明の効果】本発明の実施により、ウェハ上の異物の
分布状況と各異物の成分が一目で判る。異物の分布状況
から治具、装置等の形状が推定できる。また異物成分か
ら発塵源となっている治具、装置、プロセス等に用いて
いる材料、材質が容易に解析できるようになった。この
ため、従来に比して格段に異物発生源を解析する作業が
容易になり、製造ラインの異物水準を引下げ、製品の歩
留りを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を示すブロック図である。

【図２】図１の代案を示す図である。

【図３】図１の代案を示す図である。

【図４】データテーブル１５のフォーマットを示す図で
ある。

【図５】座標データテーブル２１のフォーマットを示す
図である。

【図６】分析データテーブルのフォーマットを示す図で
ある。

【図７】出力例を示す図である。

【図８】ウェハ上の異物検出箇所を示す図である。

【符号の説明】

１…検査装置２…分析装置３…ワークステーション４…データ転送手段５…データ転送手段６…ワークステーション７…データ転送手段８…検査装置９…分析装置１０…ワークステーション１１…データ転送手段１２…データ転送手段１４…データ転送手段１５…データテーブル１６…異物座標データ１７…異物分析データ１８…異物ＩＤ１９…付帯情報２０…ウェハ識別子２１…座標データテーブル２２…ウェハ識別子２３…異物ＩＤ２４…異物座標データ２５…付帯情報２６…分析データテーブル２７…ウェハ識別子２７…異物ＩＤ２９…異物分析データ３０…異物を示すプロット１００…異物解析装置２００…表示手段

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェハを検査する検査装置と、該検査装置
が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて
該ウェハを分析する分析装置と、該検査装置が検査して
得た検査結果の情報と該分析装置が分析して得た分析結
果の情報とを処理する解析装置とを備え、該検査装置が、ウェハ上の異物を検出して得た検査結果
の情報をウエハを識別する情報とともに該解析装置に送
信するデータ送信手段を有し、該分析装置が、該検査装置で検出して得た異物の座標デ
ータを用いて前記検査装置で検出した異物を分析し、そ
の分析して得た分析結果の情報をウエハを識別する情報
とともに該解析装置に送信するデータ送信手段を有し、該解析装置が、受信した検査結果の情報と分析結果の情
報のうち同一の識別情報を有する情報を用いて、該検査
装置が検出したウエハ内の異物の位置情報とその異物に
対応した分析結果の情報とを出力する出力手段を有する
ことを特徴とする検査システム。
【請求項２】ウェハの外観上の欠陥を検出する欠陥検出
装置と、該欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥の前記
ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥の詳細
な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを備え、該出力装置が、前記欠陥検出装置で得た前記外観上の欠
陥の検出結果の情報をウエハを識別する情報とともに受
信する手段と、前記詳細解析装置で得た前記外観上の欠
陥の詳細な情報をウエハを識別する情報とともに受信す
る手段と、受信した前記欠陥の検出結果の情報と前記欠
陥の詳細な情報のうち同一の識別情報を有する情報を用
いて、前記欠陥の前記ウェハ上での位置情報とその欠陥
に対応した詳細な情報とを出力する出力手段とを有する
ことを特徴とする検査システム。
【請求項３】前記外観上の欠陥が前記ウェハに付着した
異物欠陥であることを特徴とする請求項２記載の検査シ
ステム。
【請求項４】前記詳細解析装置が、ＳＥＭを有し、該Ｓ
ＥＭで前記欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥を分析
して、該外観上の欠陥を分析して得た情報を該外観上の
欠陥の位置の情報と共に、記号で出力することを特徴と
する請求項２記載の検査システム。
【請求項５】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、複数の
カテゴリーに分類して出力することを特徴とする請求項
２記載の検査システム。
【請求項６】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、該欠陥
の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に記号化
して表示することを特徴とする請求項２記載の検査シス
テム。
【請求項７】ウェハを検査する検査装置と、該検査装置
が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて
該ウェハを分析する分析装置と、該検査装置が検査して
得た検査結果の情報と該分析装置が分析して得た分析結
果の情報とを処理する解析装置と用いた検査方法であっ
て、該検査装置が、ウェハ上の異物を検出して得た検査結果
の情報をウエハを識別する情報とともに該解析装置に送
信するステップと、該分析装置が、該検査装置で検出して得た異物の座標デ
ータを用いて前記検査装置で検出した異物を分析し、そ
の分析して得た分析結果の情報をウエハを識別する情報
とともに該解析装置に送信するステップと、該解析装置が、受信した検査結果の情報と分析結果の情
報のうち同一の識別情報を有する情報を用いて、該検査
装置が検出したウエハ内の異物の位置情報とその異物に
対応した分析結果の情報とを出力するステップとを有す
ることを特徴とする検査方法。
【請求項８】ウェハの外観上の欠陥を検出する欠陥検出
装置と、該欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥の前記
ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥の詳細
な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを用いた検査
方法であって、前記欠陥検出装置で得た前記外観上の欠陥の検出結果の
情報をウエハを識別する情報とともに該出力装置が受信
するステップと、前記詳細解析装置で得た前記外観上の欠陥の詳細な情報
をウエハを識別する情報とともに該出力装置が受信する
ステップと、受信した前記欠陥の検出結果の情報と前記欠陥の詳細な
情報のうち同一の識別情報を有する情報を用いて、前記
欠陥の前記ウェハ上での位置情報とその欠陥に対応した
詳細な情報とを出力するステップとを有することを特徴
とする検査方法。
【請求項９】前記外観上の欠陥が前記ウェハに付着した
異物欠陥であることを特徴とする請求項８記載の検査方
法。
【請求項１０】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、複数
のカテゴリーに分類して出力することを特徴とする請求
項８記載の検査方法。
【請求項１１】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、該欠
陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に記号
化して表示することを特徴とする請求項８記載の検査方
法。
【請求項１２】検査装置が検査して得た検査結果に含ま
れる座標データを用いてウェハを分析する分析装置と、
該検査装置が検査して得た検査結果の情報と該分析装置
が分析して得た分析結果の情報とを処理する解析装置と
を備え、該分析装置が、該検査装置で検出して得た異物の座標デ
ータを用いて前記検査装置で検出した異物を分析し、そ
の分析して得た分析結果の情報をウエハを識別する情報
とともに該解析装置に送信するデータ送信手段を有し、該解析装置が、該検査装置がウェハ上の異物を検出して
得た検査結果の情報をウエハを識別する情報とともに受
信する受信手段と、該分析装置が分析して得た分析結果
の情報をウエハを識別する情報とともに受信する受信手
段と、受信した検査結果の情報と分析結果の情報のうち
同一の識別情報を有する情報を用いて、検査装置が検出
したウエハ内の異物の位置情報とその異物に対応した分
析結果の情報と出力する出力手段とを有することを特徴
とする検査システム。
【請求項１３】欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥の
前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥の
詳細な情報を得る詳細解析装置と、前記欠陥検出装置で得た前記外観上の欠陥の検出結果の
情報をウエハを識別する情報とともに受信する手段と、
前記詳細解析装置で得た前記外観上の欠陥の詳細な情報
をウエハを識別する情報とともに受信する手段と、受信
した前記欠陥の検出結果の情報と前記欠陥の詳細な情報
のうちの同一の識別情報を有する情報を用いて、前記欠
陥の前記ウェハ上での位置情報とその欠陥に対応した詳
細な情報とを出力する出力手段とを有する出力装置とを
備えたことを特徴とする検査システム。
【請求項１４】前記外観上の欠陥が前記ウェハに付着し
た異物欠陥であることを特徴とする請求項１３記載の検
査システム。
【請求項１５】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、複数
のカテゴリーに分類して出力することを特徴とする請求
項１３記載の検査システム。
【請求項１６】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、該欠
陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に記号
化して表示することを特徴とする請求項１３記載の検査
システム。
【請求項１７】欠陥検出装置で検出した外観上の欠陥の
前記ウェハ上での位置情報を用いて前記外観上の欠陥の
詳細な情報を得る詳細解析装置と、出力装置とを用いた
検査方法であって、該出力装置が、前記欠陥検出装置で得た前記外観上の欠
陥の検出結果の情報をウエハを識別する情報とともに受
信するステップと、前記詳細解析装置で得た前記外観上
の欠陥の詳細な情報をウエハを識別する情報とともに受
信するステップと、受信した前記欠陥の検出結果の情報
と前記欠陥の詳細な情報のうち同一の識別情報を有する
情報を用いて、前記欠陥の前記ウェハ上での位置情報と
その欠陥に対応した詳細な情報とを出力するステップと
を有することを特徴とする検査方法。
【請求項１８】前記外観上の欠陥が前記ウェハに付着し
た異物欠陥であることを特徴とする請求項１７記載の検
査方法。
【請求項１９】前記外観上の欠陥の詳細な情報を、該欠
陥の前記ウェハ上での位置に対応させて、画面上に記号
化して表示することを特徴とする請求項１７記載の検査
方法。