JP2973884B2 - 生産制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は生産制御装置に関し、特
に連続して作業することが望まれる複数設備群からなる
インライン作業ブロックのロットフローを制御する生産
制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数の設備群から構成される生産ライン
においては、或る工程の設備群に到着し作業の済んだロ
ットは、次工程の設備群に搬送される。搬送先の設備群
の能力が充分ある場合、その設備群で直ちに作業が開始
される。他方、搬送先の設備群の能力が不足している場
合には、搬送されてきたロットはその設備群の前に作業
待ちの行列を形成して処理を待つことになる。この為、
各設備群の前にはそれらの設備能力とロット投入計画と
の関係によっては然るべき待ちロットが発生することが
ある。これらの待ちロットを格納するために、一般的な
生産ラインにおいては各設備群には大小の保管棚、即ち
バッファストレージが設けられている。

【０００３】しかし、半導体の製造を行う生産ラインで
は、生産ラインの一部のブロック、例えば拡散工程を行
うブロックにおいて、作業待ち時間中に環境からのロッ
ト汚染が進むのを防止するために、作業の開始を待つこ
となく連続して異なる作業を実施することが製造技術上
必要になる。このように連続して作業することが望まれ
る複数設備群からなる連続作業ブロックは、インライン
作業ブロックと呼ばれる。従って、インライン作業ブロ
ック内の設備群の間には、原則としてバッファストレー
ジは用意されない。

【０００４】図１１にインライン作業ブロックの例を示
す。この例のインライン作業ブロックは４つの設備群か
ら構成されており、工程手順１，工程手順２という複数
の工程で共用されている。工程手順１では、４つの設備
群を全て使用し、各設備群での標準作業時間はそれぞれ
１０分，３０分，２０分，３０分である。工程手順２で
は、１番目，３番目，４番目の設備群を使用し、各設備
群での標準作業時間はそれぞれ１０分，５分，１０分で
ある。何れの工程手順においても、作業の開始を待つこ
となく、連続して各設備群での作業を行うことが望まれ
るため、各設備群の間には原則としてバッファストレー
ジは用意されていない。なお、同じ設備群であっても工
程手順によっては標準作業時間が相違することがある。

【０００５】このようにインライン作業ブロックにおい
ては、先頭設備群での作業を一旦開始した後は最後の設
備群まで連続して作業を進めることが望まれるため、イ
ンライン作業ブロックの入口にバッファストレージを設
け、状況に応じたロットフロー制御を実施する必要があ
る。

【０００６】従来、生産ラインのロットフロー制御の自
動化については、例えば特開平５−１２２９８号公報等
において種々の技術が提案されているが、その何れも非
インライン作業ブロック、つまり各設備群の前にバッフ
ァストレージを設けた生産ラインを前提とし、各設備群
の前で作業待ちロットが発生することを許容しつつロッ
トフローを制御している。従って、既存のロットフロー
制御をインライン作業ブロックに適用した場合には、イ
ンライン作業ブロック内の各設備群での待ちロットの発
生を抑えることは困難である。このため、インライン作
業ブロックにおけるロットフロー制御は自動化に頼らず
に人手で実施されているのが現状であり、作業員自身
が、その時点の仕掛ロット数等を考慮して作業着手の判
断を行っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インラ
イン作業ブロックでは、図１１で説明したように連続し
て作業するための複数の設備群が含まれ、使用する設備
群や各設備群での標準作業時間の相違する複数の工程手
順で共用されることが多いので、例えば投入するロット
の先頭工程設備群が使用可能であっても即着手できると
は限らないといった難しい問題をかかえている。このた
め、人手によるロットフロー制御では、豊富な知識と経
験、それに鋭い勘の働く作業員が必要であり、また、そ
のような作業員であっても投入したロットがインライン
作業ブロック内で作業待ちにならないようにロットフロ
ー制御することは極めて困難であった。

【０００８】例えば図１２に示すように、インライン作
業ブロックの設備群＃１，＃２，＃３を使用するロット
ａと、設備群＃２，＃３を使用するロットｂとがある場
合、ロットａを設備群＃１で作業着手させた時刻ｔ１に
おいて、ロットｂがインライン作業ブロックの入口のバ
ッファストレージに到着した場合、その時点では設備群
＃２が空いているので時刻ｔ２でロットｂを設備群＃２
で作業着手させると、若し、ロットｂの設備群＃２での
作業終了時刻ｔ４がロットａの設備群＃１での作業終了
時刻ｔ３より遅いと、ロットａ，ｂが設備群＃２で衝突
することになり、作業待ちロットが生じてしまう。

【０００９】このようなことから実際には、人手による
ロットフロー制御ではインライン作業ブロック内で作業
待ちロットを発生させてしまっているのが現状である。
この為、設備群の前に一時的にロット保管棚を用意し待
ちロットを保管したり、待ちロットの発生時に作業員が
ロットを保管する場所を都合する等の応急措置をとらざ
るを得ず、待ちロットの保管，ロット搬送作業といった
余分な作業が必要となり、更にはロットの作業待ち時間
中に環境からのロット汚染が進むといった問題を招いて
いた。

【００１０】そこで本発明の目的は、インライン作業ブ
ロック内での作業待ちロットの発生を抑え、待ち時間発
生によるロットへの製造プロセス上の悪影響を防止し得
る生産制御装置を提供することにある。

【００１１】また、インライン作業ブロックのロットフ
ロー制御を行うに際して、インライン作業ブロックの入
口のバッファストレージ中で作業を待つロットのみをス
ケジューリング対象ロットとしてロットフローを制御す
ると、処理優先度として高い優先度を付与されたロット
をそれより低い処理優先度を持つロットより優先的に処
理することが困難になる。何故なら、インライン作業ブ
ロックの前工程設備群で作業中のロットを考慮していな
いからである。

【００１２】そこで本発明の別の目的は、スケジューリ
ング時点においてバッファストレージに未到着なロット
であっても既に到着済のロットをインライン作業ブロッ
ク内の何れかの設備群で追い越すか、または作業時間帯
が重複する可能性のあるロットをもスケジューリング対
象ロットに加えることにより、処理優先度として高い優
先度を付与されたロットをそれより低い処理優先度を持
つロットより優先的に処理することを可能にすることに
ある。

【００１３】なお、特開平５−１２２９８号公報におい
ても、現スケジューリング時点において或る設備群の前
のバッファストレージ中に存在する待ちロット以外に、
現スケジューリング時点ではそのバッファストレージに
未到着であるが、後に当該設備群による作業が必要とな
るロットをも当該設備群に関するスケジューリング対象
ロットに加え、このスケジューリング対象中のロットの
処理優先度に基づき優先度合いが大きいロットから順に
設備群による作業を着手するようにしている。しかし、
この従来技術では、スケジューリング対象に加えるロッ
トの範囲は、当該設備群の１つ前の設備群，あるいは更
にその１つ前の設備群で作業中のロットというように、
予め定められた範囲の前設備群で作業中のロットとして
いる。従って、この従来技術を本発明が対象とするよう
なインライン作業ブロックのロットフロー制御に適用し
た場合、スケジューリング時点においてバッファストレ
ージに未到着な或る前設備群範囲内のロットであれば、
到着済のロットをインライン作業ブロック内で追い越す
可能性がないロットや、到着済ロットと作業時間帯が重
複しないロットであっても、ロットの処理優先度によっ
ては最も早くに作業着手されるべくスケジューリングさ
れることになる。このため、そのロットのバッファスト
レージに到着する時刻が遅い場合、その間に作業を終了
し得るロットがバッファストレージ到着ロット中に存在
してもその作業着手が後回しにされ、その間だけインラ
イン作業ブロック内の各設備群が未使用状態となってス
ループットが低下することになる。

【００１４】そこで本発明では、前述したように、スケ
ジューリング時点においてバッファストレージに未到着
なロットであって且つ到着済のロットをインライン作業
ブロック内の何れかの設備群で追い越すか、または作業
時間帯が重複する可能性のあるロットをスケジューリン
グ対象ロットに加えることで、上述の如きスループット
の低下を防止している。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の生産制御装置は
以下のような構成を備えている。 （１）インライン作業ブロック内の各工程の標準作業時
間を記述したタイムテーブルを参照して、インライン作
業ブロックの入口に設けられたバッファストレージに到
着したロットについて、即着手した場合のインライン作
業ブロック内におけるそのロットで使用される全ての設
備群での作業時間帯を予測する作業時刻予測手段と、イ
ンライン作業ブロック内の各設備群の確定している作業
時間帯を作業確定スケジュールで、各設備群の稼働停止
予定を稼働停止スケジュールで、それぞれ管理し、イン
ライン作業ブロックで次に処理すべきロットについて、
前記作業時刻予測手段でそのロットについて予測された
インライン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と
前記作業確定スケジュールおよび前記稼働停止スケジュ
ールの内容とから、即着手した場合にインライン作業ブ
ロック内の各設備群で作業待ちが生じないか否かを調査
し、作業待ちが生じないことを条件に、前記ロットのイ
ンライン作業ブロックでの作業を着手させる設備作業ス
ケジュール管理手段とを備える構成。

【００１６】（２）インライン作業ブロック内の各工程
の標準作業時間およびインライン作業ブロック前工程か
らインライン作業ブロックの入口に設けられたバッファ
ストレージへの到着に要する標準時間を記述したタイム
テーブルを参照して、前記バッファストレージに到着し
たロットについて、即着手した場合のインライン作業ブ
ロック内におけるそのロットで使用される全ての設備群
での作業時間帯を予測すると共に、前記バッファストレ
ージに未到着のロットについて、前記バッファストレー
ジへの到着時刻および到着後に即着手した場合のインラ
イン作業ブロック内におけるそのロットで使用される全
ての設備群での作業時間帯を予測する作業時刻予測手段
と、インライン作業ブロック前工程から前記バッファス
トレージへのロット到着時および要求された時刻にスケ
ジューリングイベントを発行するイベント管理手段と、
前記スケジューリングイベントの発行時点において前記
バッファストレージに未到着のロットの中で、インライ
ン作業ブロックに到着済のロットをインライン作業ブロ
ック内の何れかの設備群において追い越すか、または該
到着済ロットと作業時間帯が重複する可能性のあるロッ
トを前記作業時刻予測手段の各ロットの予測結果に基づ
いて求め、該求めたロットと前記バッファストレージに
到着済のロットとの集合をスケジューリング対象ロット
とするスケジューリング対象ロット管理手段と、前記ス
ケジューリングイベントの発行時点に前記スケジューリ
ング対象ロット管理手段で求められたスケジューリング
対象ロット中のロットの処理順序を決定するディスパッ
チング制御手段と、インライン作業ブロック内の各設備
群の確定している作業時間帯を作業確定スケジュール
で、各設備群の稼働停止予定を稼働停止スケジュール
で、即時に着手できなかったロットについての予定作業
時間帯を作業予定スケジュールで、それぞれ管理し、前
記スケジューリングイベントの発行時毎に、前記作業予
定スケジュールを一旦クリアし、前記ディスパッチング
制御手段で決定されたロットの処理順序に従って、１ロ
ットずつ、そのロットが前記バッファストレージに到着
済のロットの場合は、前記作業時刻予測手段でそのロッ
トについて予測されたインライン作業ブロック内の各設
備群での作業時間帯と前記作業確定スケジュール，前記
稼働停止スケジュールおよび前記作業予定スケジュール
の内容とから、そのロットを即着手した場合にインライ
ン作業ブロック内の各設備群で作業待ちが生じないか否
かを調査し、作業待ちが生じないことを条件に、そのロ
ットの作業時間帯を前記作業確定スケジュールに登録し
てそのロットのインライン作業ブロックでの作業を着手
させ、作業待ちが生じる場合は、作業着手できる予定の
作業時間帯を、前記作業時刻予測手段でそのロットにつ
いて予測されたインライン作業ブロック内の各設備群で
の作業時間帯と前記作業確定スケジュール，前記稼働停
止スケジュールおよび前記作業予定スケジュールの内容
とに基づいて決定して、前記作業予定スケジュールに登
録すると共にその作業着手可能予定時刻にスケジューリ
ングイベントを発行するように前記イベント管理手段に
要求を出し、前記バッファストレージに未到着なロット
の場合は、作業着手できる予定の作業時間帯を、前記作
業時刻予測手段でそのロットについて予測された到着時
刻およびインライン作業ブロック内の各設備群での作業
時間帯と前記作業確定スケジュール，前記稼働停止スケ
ジュールおよび前記作業予定スケジュールの内容とに基
づいて決定して前記作業予定スケジュールに登録する設
備作業スケジュール管理手段とを備える構成。

【００１７】なお、前記ディスパッチング制御手段は、
例えば、各ロットに付与された優先度と予め定められた
優先処理ロット判定基準とに基づいて、前記スケジュー
リング対象ロット中のロットの処理順序を決定する。

【００１８】

【作用】構成（１）の生産制御装置においては、作業時
刻予測手段が、インライン作業ブロック内の各工程の標
準作業時間を記述したタイムテーブルを参照して、イン
ライン作業ブロックの入口に設けられたバッファストレ
ージに到着したロットについて、即着手した場合のイン
ライン作業ブロック内におけるそのロットで使用される
全ての設備群での作業時間帯を予測し、設備作業スケジ
ュール管理手段が、インライン作業ブロック内の各設備
群で確定している作業時間帯を作業確定スケジュール
で、各設備群の稼働停止予定を稼働停止スケジュール
で、それぞれ管理し、インライン作業ブロックで次に処
理すべきロットについて、前記作業時刻予測手段でその
ロットについて予測されたインライン作業ブロック内の
各設備群での作業時間帯と前記作業確定スケジュールお
よび前記稼働停止スケジュールの内容とから、即着手し
た場合にインライン作業ブロック内の各設備群で作業待
ちが生じないか否かを調査し、作業待ちが生じないこと
を条件に、前記ロットのインライン作業ブロックでの作
業を着手させることにより、インライン作業ブロック内
での作業待ちロットの発生を抑え、待ち時間発生による
ロットへの製造プロセス上の悪影響を防止する。

【００１９】（２）の構成の生産制御装置においては、
作業時刻予測手段が、インライン作業ブロック内の各工
程の標準作業時間およびインライン作業ブロック前工程
からインライン作業ブロックの入口に設けられたバッフ
ァストレージへの到着に要する標準時間を記述したタイ
ムテーブルを参照して、バッファストレージに到着した
ロットについて、即着手した場合のインライン作業ブロ
ック内におけるそのロットで使用される全ての設備群で
の作業時間帯を予測すると共に、バッファストレージに
未到着のロットについて、バッファストレージへの到着
時刻および到着後に即着手した場合のインライン作業ブ
ロック内におけるそのロットで使用される全ての設備群
での作業時間帯を予測し、インライン作業ブロック前工
程からバッファストレージへのロット到着時にイベント
管理手段がスケジューリングイベントを発行し、このス
ケジューリングイベント発行時点において、スケジュー
リング対象ロット管理手段が、インライン作業ブロック
の先頭工程設備群の前段に設けられたバッファストレー
ジに未到着のロットの中で、インライン作業ブロックに
到着済のロットをインライン作業ブロック内の何れかの
設備群で追い越すか、または該到着済ロットと作業時間
帯が重複する可能性のあるロットを作業時刻予測手段の
各ロットの予測結果に基づいて求め、該求めたロットと
バッファストレージに到着済のロットとの集合をスケジ
ューリング対象ロットとし、ディスパッチング制御手段
が、そのスケジューリング対象ロット中のロットの処理
順序を決定する。

【００２０】そして、設備作業スケジュール管理手段
が、インライン作業ブロック内の各設備群の確定してい
る作業時間帯を作業確定スケジュールで、各設備群の稼
働停止予定を稼働停止スケジュールで、即時に着手でき
なかったロットについての予定作業時間帯を作業予定ス
ケジュールで、それぞれ管理し、スケジューリングイベ
ントの発行時毎に、作業予定スケジュールを一旦クリア
し、ディスパッチング制御手段で決定されたロットの処
理順序に従って、スケジューリング対象ロット中のロッ
トを１ロットずつ、そのロットがバッファストレージに
到着済のロットの場合は、そのロットについて、作業時
刻予測手段でそのロットについて予測されたインライン
作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と、作業確定
スケジュール，稼働停止スケジュールおよび作業予定ス
ケジュールの内容とから、即着手した場合にインライン
作業ブロック内の各設備群で作業待ちが生じないか否か
を調査し、作業待ちが生じないことを条件に、そのロッ
トの作業時間帯を前記作業確定スケジュールに登録して
そのロットのインライン作業ブロックでの作業を着手さ
せることにより、インライン作業ブロック内での作業待
ちロットの発生を抑え、待ち時間発生によるロットへの
製造プロセス上の悪影響を防止する。

【００２１】他方、作業待ちが生じる場合は、作業着手
できる予定の作業時間帯を、作業時刻予測手段でそのロ
ットについて予測されたインライン作業ブロック内の各
設備群での作業時間帯と、作業確定スケジュール，稼働
停止スケジュールおよび作業予定スケジュールの内容と
に基づいて決定して、作業予定スケジュールに登録する
と共に、その作業着手可能予定時刻にスケジューリング
イベントを発行するようにイベント管理手段に要求を出
す。従って、その予定時刻が到来すると、イベント管理
手段からスケジューリングイベントが発行され、上述し
た動作が繰り返される。

【００２２】更に、バッファストレージに未到着なロッ
トの場合は、作業着手できる予定の作業時間帯を、作業
時刻予測手段でそのロットについて予測された到着時刻
およびインライン作業ブロック内の各設備群での作業時
間帯と、作業確定スケジュール，稼働停止スケジュール
および作業予定スケジュールの内容とに基づいて決定し
て作業予定スケジュールに登録する。

【００２３】こうして、スケジューリング時点において
バッファストレージに未到着なロットであっても既に到
着済のロットをインライン作業ブロック内の何れかの設
備群で追い越すか、または作業時間帯が重複する可能性
のあるロットについてはスケジューリング対象ロットに
加えることにより、インライン作業ブロックのスループ
ットの低下を抑えつつ、処理優先度として高い優先度を
付与されたロットをそれより低い処理優先度を持つロッ
トより優先的に処理することを可能にしている。

【００２４】

【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
詳細に説明する。

【００２５】図１を参照すると、本発明の一実施例の生
産制御装置１は、図示しない外部装置との間で種々の情
報の入出力を行う入出力部１０と、計算機の主記憶ある
いは補助記憶で構成され、生産制御に必要な一切の情報
を保持する記憶部２０と、作業時刻の予測やスケジュー
ル対象ロットの選択等を実行する予測部３０と、制御対
象となるインライン作業ブロック内の各設備群へのロッ
トの割り当て順序等を決定するスケジューリング部４０
とで構成されている。

【００２６】また、予測部３０には、インライン作業ブ
ロックの前工程設備群の直前に設けられたバッファスト
レージ（以下、単にバッファストレージと称す）に到着
したロットについて即着手した場合のインライン作業ブ
ロック内の各設備群での作業時間帯を予測すると共に、
バッファストレージに未到着なロットについてバッファ
ストレージへの到着時刻および到着後に即着手した場合
のインライン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯
を予測する作業時刻予測手段３０１と、バッファストレ
ージに未到着のロットの中で、インライン作業ブロック
に到着済のロットをインライン作業ブロック内の何れか
の設備群において追い越すか、またはその到着済ロット
と作業時間帯が重複する可能性のあるロットを作業時刻
予測手段３０１の各ロットの予測結果に基づいてスケジ
ューリング時点で列挙し、バッファストレージ到着済の
ロットと共にスケジューリング対象ロットとするスケジ
ューリング対象ロット管理手段３０２とが含まれてい
る。

【００２７】更に、スケジューリング部４０には、イン
ライン作業ブロック前工程からバッファストレージへの
ロット到着時および要求された時刻にスケジューリング
イベントを発行するイベント管理手段４０１と、このス
ケジューリングイベントの発行時点にスケジューリング
対象ロット管理手段３０２で求められたスケジューリン
グ対象ロット中のロットの処理順序を決定するディスパ
ッチング制御手段４０２と、インライン作業ブロック内
の各設備群の現在および将来の作業状況を管理し、ディ
スパッチング制御手段４０２で決定された処理順序に従
って、処理順序の先頭のロットから最後のロットまで、
各ロットについてのインライン作業ブロックでの即作業
着手の可否判定を実施し、即着手可能ロットのインライ
ン作業ブロック内での作業を順次開始させる等の処理を
司る設備作業スケジュール管理手段４０３とが含まれて
いる。

【００２８】なお、図１中に示される符号Ｓ１〜Ｓ６は
入出力部１０を通じて生産制御装置１と外部装置との間
で授受される信号の例を示し、Ｓ１は当該生産制御装置
１が制御対象とするインライン作業ブロックのバッファ
ストレージへロットが到着したことを報告するバッファ
ストレージ到着信号、Ｓ２はインライン作業ブロックの
前工程の設備群あるいはインライン作業ブロック内の各
設備群から通知されるロットに関する作業進捗報告信
号、Ｓ５は作業予定や設備稼働予定等の変更があったと
きに外部装置から通知される予定変更要求信号であり、
これらは生産制御装置１ヘの入力情報となる。また、Ｓ
３，Ｓ４，Ｓ６は生産制御装置１の出力情報となるもの
で、Ｓ３はインライン作業ブロックの各設備群に出され
る作業開始指示制御信号、Ｓ４はインライン作業ブロッ
クの各設備群に出される作業開始保留制御信号、Ｓ６は
予定変更要求信号Ｓ５の応答としての予定変更制御信号
であり、装置外部に変更スケジュール内容を伝えるもの
である。尚、入出力部１０を通じて他の各種の情報が入
出力されるが、図では省略してある。

【００２９】以下本実施例の生産制御装置１の全体の動
作および各部の機能を説明する。

【００３０】生産制御装置１が制御対象とするインライ
ン作業ブロックを含む生産ラインにおいては、ロット
は、生産ラインの先頭の設備群において作業が行われ、
次々と後段の設備群によって作業が進められ、インライ
ン作業ブロック直前の前工程設備群における作業が終了
した時点で、インライン作業ブロックの入口にあるバッ
ファストレージに蓄えられる。生産制御装置１では、バ
ッファストレージに未到着なロットであっても、バッフ
ァストレージ到着済のロットをインライン作業ブロック
内の何れかの設備群で追い越すか、またはそのロットと
作業時間帯が重複する可能性のあるロットについてはス
ケジューリング対象ロットに含めるため、後のスケジュ
ーリング対象ロット管理手段３０２によるスケジューリ
ング対象ロットの抽出処理に備えて、作業時刻予測手段
３０１は、入出力部１０を通じてインライン作業ブロッ
クの前工程設備群からロットに関する作業進捗報告信号
Ｓ２を受け取る毎に、そのロットについて、バッファス
トレージへの到着時刻を予測し、且つインライン作業ブ
ロック内の各設備群での作業時間帯を予測して、各ロッ
ト毎に記憶部２０に記録する。なお、同一ロットについ
て前回の作業進捗報告時に予測した予測結果が存在する
場合にはそれを新たな予測結果で更新する。

【００３１】図２は作業時刻予測手段３０１がバッファ
ストレージへの到着時刻の予測およびインライン作業ブ
ロック内の各設備群での作業時間帯の予測に使用するタ
イムテーブル２００の一例を示す。このようなタイムテ
ーブル２００は記憶部２０に格納されている。図２のタ
イムテーブル２００は、インライン作業ブロック前工程
からインライン作業ブロックのバッファストレージへの
到着に要する標準時間を記述したテーブル２０１と、イ
ンライン作業ブロック内の各工程の標準作業時間を記述
した各工程手順別のテーブル２０２−１〜２０２−４と
から構成されている。なお、テーブル２０２−１〜２０
２−４中の各工程における「到着」はバッファストレー
ジから当該工程の設備群に到着するまでに要する標準的
な時間を、「開始」は当該工程の設備群で作業が開始さ
れるまでにかかる標準的な時間を、「終了」は当該工程
の設備群での作業が終了するまでにかかる標準的な時間
をそれぞれ示す。

【００３２】作業時刻予測手段３０１は、図２に示した
ようなタイムテーブル２００を参照して、インライン作
業ブロックの前工程設備群からロットに関する作業進捗
報告信号Ｓ２を受け取る毎に、そのロットについて、バ
ッファストレージへの到着時刻および到着後に即着手し
た場合のインライン作業ブロック内の各設備群での作業
時間帯を予測する。例えば図３に示すように、インライ
ン作業ブロックの直前の設備群＃Ｌ−１から時刻２００
にロットｊ３が作業終了した旨の作業進捗報告信号Ｓ２
を受けると、図２のテーブル２０１を参照してバッファ
ストレージへの到着時刻として時刻２１０を予測する。
また、ロットｊ３の工程手順に対応するテーブルが図２
のテーブル２０２−１であったとすると、そのテーブル
２０２−１を参照して、ロットｊ３をバッファストレー
ジ到着後に即着手した場合のインライン作業ブロック内
の設備群＃Ｌ，＃Ｌ＋１の作業開始時刻，作業終了時刻
として各々図示する如き時刻を予測する。

【００３３】なお、本生産制御装置１の動作開始時に、
インライン作業ブロックの前工程設備群に仕掛ロットが
存在する場合には、作業時刻予測手段３０１はその仕掛
ロットに関する情報を入出力部１０を介して外部より得
て、それらロットのバッファストレージへの到着時刻と
インライン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と
を予測して、記憶部２０に記憶するといった初期動作を
行うものである。

【００３４】さて、インライン作業ブロックの前工程で
の作業が順調に進み、ロットがインライン作業ブロック
の入口のバッファストレージに到着すると、外部から入
出力部１０を通じてバッファストレージ到着信号Ｓ１が
スケジューリング部４０のイベント管理手段４０１に入
力される。イベント管理手段４０１は、バッファストレ
ージ到着信号Ｓ１を検出すると、それを契機にスケジュ
ーリングイベントを発行する。これにより、ディスパッ
チング制御手段４０２が起動される。

【００３５】ディスパッチング制御手段４０２は、先
ず、予測部３０のスケジューリング対象ロット管理手段
３０２に対して、スケジューリング対象ロットを要求す
る。

【００３６】スケジューリング対象ロット管理手段３０
２はディスパッチング制御手段４０２からスケジューリ
ング対象ロットが要求されると、以下のような処理を実
行する。先ず、作業時刻予測手段３０１に対して、バッ
ファストレージに今回到着したロットを即着手した場合
のインライン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯
の予測を要求する。

【００３７】作業時刻予測手段３０１はこの要求に応
じ、バッファストレージに今回到着したロットについ
て、図２のタイムテーブル２００中の当該ロットの工程
手順に対応する標準作業時間を参照して、到着後直ちに
作業着手した場合のインライン作業ブロック内の各設備
群での作業時間帯を予測し、記憶部２０に格納されてい
る当該ロットについて作業時間帯（作業進捗報告時に予
測したもの）を更新すると共に、スケジューリング対象
ロット管理手段３０２に通知する。例えば、図４に示す
ように、バッファストレージに時刻３０で到着したロッ
トｊ１の工程手順に対応するテーブルが図２のテーブル
２０２−１であったとすると、そのテーブル２０２−１
を参照して、ロットｊ１を即着手した場合のインライン
作業ブロック内の設備群＃Ｌ，＃Ｌ＋１の作業開始時
刻，作業終了時刻として各々図示する如き時刻を予測す
る。

【００３８】スケジューリング対象ロット管理手段３０
２は、作業時刻予測手段３０１から今回バッファストレ
ージに到着したロットについてのインライン作業ブロッ
ク内の各設備群での作業時間帯が通知されると、記憶部
２０において保持管理しているインライン作業ブロック
内の各設備群毎の最遅作業終了時刻と比較し、今回のロ
ットの方がより作業終了時刻が遅い場合には更新する。
この処理は、バッファストレージに現在到着している全
ロットについて、インライン作業ブロック内の各設備毎
に最も遅く作業が終了する時刻を求める処理と等価であ
る。

【００３９】次にスケジューリング対象ロット管理手段
３０２は、作業時刻予測手段３０１によって予測されて
記憶部２０に記憶されているバッファストレージ未到着
ロットのインライン作業ブロック内の各設備群での作業
開始予定時刻と、記憶部２０に保持管理しているインラ
イン作業ブロック内の各設備群毎の最遅作業終了時刻と
に基づいて、バッファストレージに未到着のロットの中
で、インライン作業ブロック内の何れかの設備群におい
て、インライン作業ブロックに到着済のロットを追い越
すか、または該到着済のロットと作業時間帯が重複する
可能性のあるロットを選択する。例えば、図５に示すよ
うに、インライン作業ブロックの設備群＃１，＃２，＃
３の最遅作業終了時刻がそれぞれ１９０，２４０，３０
０であり、バッファストレージ未到着ロットとしてロッ
トｊ２，ｊ３，ｊ４，ｊ５，ｊ６の５個のロットが存在
し、各々のインライン作業ブロック内の各設備群での作
業開始予定時刻が図示する時刻である場合、ロットｊ６
を除くロットｊ２，ｊ３，ｊ４，ｊ５の４個のロット
は、バッファストレージに到着済のロット（図示の場合
はロットｊ１だけであるが、２以上のロットが存在する
場合もある）の何れかをインライン作業ブロック内の何
れかの設備群で追い越すか、または作業時間帯が重複す
る可能性があるため、それら４個のロットｊ２，ｊ３，
ｊ４，ｊ５をスケジューリング対象ロットに加えるべく
選択する。

【００４０】そして、スケジューリング対象ロット管理
手段３０２は、上述のようにして選択したロットと、バ
ッファストレージ到着済のロットとの集合をスケジュー
リング対象ロットとして記憶部２０を介してディスパッ
チング制御手段４０２に通知する。従って、図５に示す
例においては、ロットｊ１，ｊ２，ｊ３，ｊ４，ｊ５の
５個のロットの集合がスケジューリング対象ロットとな
る。

【００４１】ディスパッチング制御手段４０２は、記憶
部２０を介してスケジューリング対象ロット管理手段３
０２からスケジューリング対象ロットを受け取ると、そ
のスケジューリング対象ロットの中のロットの処理順序
を決定し、設備作業スケジュール管理手段４０３に通知
する。ここで、ディスパッチング制御手段４０２は、各
ロットに付与された処理優先度と予め定められた優先処
理ロット判定基準（これは記憶部２０に記憶されてい
る）とに基づいて、ロットの処理順序を決定する。な
お、優先処理ロット判定基準は、処理優先度の高いロッ
トを優先的に処理しつつインライン作業ブロックでのス
ループットを高めるために、例えば、処理優先度の高い
ロットを優先し、同じ優先度の場合にはバッファストレ
ージ到着ロットを優先するという基準にすることができ
る。

【００４２】さて、設備作業スケジュール管理手段４０
３は、インライン作業ブロック内の各設備群の確定して
いる作業時間帯を作業確定スケジュールで、各設備群の
稼働停止予定を稼働停止スケジュールで、即時に着手で
きなかったロットについての予定作業時間帯を作業予定
スケジュールで、それぞれ管理している。これらの各ス
ケジュールは記憶部２０に保持されている。設備作業ス
ケジュール管理手段４０３は、スケジューリングイベン
トの発行時毎に、作業予定スケジュールを一旦クリア
し、ディスパッチング制御手段４０２で決定されたロッ
トの処理順序に従って、その処理順序の先頭のロットか
ら最後のロットまで以下のような処理を順次に実行す
る。

【００４３】（Ａ）そのロットがバッファストレージに
到着済のロットか否かを判別する。

【００４４】（Ｂ）バッファストレージ到着済ロットの
場合は、そのロットをインライン作業ブロックで即着手
できるか否かを判定する。この判定は、作業時刻予測手
段３０１でそのロットについて予測されたインライン作
業ブロック内の各設備群での作業時間帯と、作業確定ス
ケジュールの内容と、稼働停止スケジュールの内容と、
作業予定スケジュールの内容とから、即着手した場合に
インライン作業ブロック内の各設備群で作業待ちが生じ
ないか否かを調査することで行い、作業時間帯の競合が
無く且つ作業待ちが生じない場合に即着手可能と判定す
る。なお、作業予定スケジュールは各スケジューリング
時点で一旦クリアされるので、処理順序が１番のロット
を処理する時点では作業予定スケジュール中には１つも
作業予定時間は存在しない。しかし、２番目以降のロッ
トについては、それより前に処理したロット中に即着手
できないロットが存在した場合には、そのロットの作業
予定時間帯が登録されている為、その登録されている作
業予定時間帯と競合すると即着手できないことになる。

【００４５】（Ｂ−１）即着手可能と判定したロットに
ついては、そのロットの作業時間帯を作業確定スケジュ
ールに登録してそのロットのインライン作業ブロックで
の作業を着手させるべく入出力部１０を通じて外部装置
に当該ロットの作業を開始する制御信号Ｓ３を出力す
る。

【００４６】（Ｂ−２）他方、そのロットを即着手した
場合に、そのロットの作業時間帯が、作業確定スケジュ
ールに登録されている何れかの作業時間帯と競合する
か、稼働停止スケジュールに登録されている稼働停止期
間と競合するか、作業予定スケジュールに登録されてい
る先行するロットの作業予定時間帯と競合する場合に
は、作業待ちが生じる可能性があるので、即着手不可と
判定する。そして、この場合は、そのロットを最も早く
作業着手できる予定の作業時間帯を、作業時刻予測手段
３０１でそのロットについて予測されたインライン作業
ブロック内の各設備群での作業時間帯と、作業確定スケ
ジュールの内容と、稼働停止スケジュールの内容と、作
業予定スケジュールの内容とに基づいて決定し、作業予
定スケジュールに登録し、且つ、そのロットの識別子を
通知してその作業着手可能予定時刻にスケジューリング
イベントを発行するようにイベント管理手段４０１に要
求を出す。

【００４７】例えば図６に示すように、バッファストレ
ージに到着したロットについて作業着手の可否が検査さ
れ、そのロットが最初に使用するインライン作業ブロッ
ク内の設備群＃２が時刻Ｔｘまで利用不可能であるため
に即着手できなかった場合、作業着手可能な時刻を求
め、その時刻が例えば時刻Ｔｘであったとすると、時刻
Ｔｘにスケジューリングイベントが発生するように、イ
ベントキューにスケジューリングイベントを登録する。
この結果、図７に示すように時刻Ｔｘになると、イベン
ト管理手段４０１はスケジューリングイベントを発行
し、ディスパッチング制御手段４０２を起動することに
なる。この結果、スケジューリングイベントの発生要因
となったロットを含むスケジューリング対象ロットにつ
いて、時刻Ｔｘに再びスケジューリング処理が行われる
ことになる。

【００４８】なお、イベント管理手段４０１は、イベン
トキュー内にスケジューリングイベントを登録する際、
ロットの識別子を併せて登録しておき、新たに要求され
たスケジューリングイベントと同一ロットに関するスケ
ジューリングイベントがイベントキュー内に既に登録さ
れていた場合には、今回のスケジューリングイベントの
登録を行わないか、或いは既に登録されているスケジュ
ーリングイベントを削除して今回のスケジューリングイ
ベントを登録する。

【００４９】また、設備作業スケジュール管理手段４０
３は、上記（Ｂ−２）おいて、入出力部１０を介して当
該ロットの作業が予定されている設備群に対して当該ロ
ットの作業開始予定時刻を含む作業開始保留制御信号Ｓ
４を出す。このような制御信号Ｓ４を出すのは、各設備
群において稼働すべき時刻を把握することにより、不要
な稼働停止時間の発生を抑えるためである。

【００５０】（Ｃ）一方、バッファストレージに未到着
なロットの場合は、最も早く作業着手できる予定の作業
時間帯を、作業時刻予測手段３０１でそのロットについ
て予測されたバッファストレージ到着時刻およびインラ
イン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と、作業
確定スケジュールの内容と、稼働停止スケジュールの内
容と、作業予定スケジュールの内容とに基づいて決定
し、作業予定スケジュールに登録する。なお、バッファ
ストレージに未到着なロットの場合、それがバッファス
トレージに到着した時点でスケジューリングイベントが
発生するので、本実施例では（Ｂ−２）のようにその作
業着手可能予定時刻にスケジューリングイベントを発行
するような制御は行わない。

【００５１】設備作業スケジュール管理手段４０３は、
今回のスケジューリングイベントの発行時点で、ディス
パッチング制御手段４０２で決定されたロットの処理順
序に従って、今回のスケジューリング対象ロット中の全
ロットについて前述した処理を終了すると、今回のスケ
ジューリング処理を終了する。

【００５２】以上のように本実施例の生産制御装置１で
は、バッファストレージへのロット到着時刻および作業
開始可能予定時刻の各時点において、スケジューリング
対象ロットの抽出，スケジューリング対象ロット中のロ
ットの処理順序付け，即作業着手の可否判断等を繰り返
すことで、全体としてのスケジューリングを実現してい
る。

【００５３】なお、インライン作業ブロックでロットの
作業が着手された場合、順調に進めば、設備作業スケジ
ュール管理手段４０３でその作業着手時に作業確定スケ
ジュールに登録された作業時間通りに作業が進められ
る。しかしながら、作業確定スケジュールに登録した作
業時間帯はあくまでも予測した時間帯であるため、実際
の作業時間とは必ずしも一致しない。作業確定スケジュ
ールが実際の作業時間と相違していると、後刻の作業着
手可否の判定に誤差が生じるため、設備作業スケジュー
ル管理手段４０３は、インライン作業ブロック内に存在
するロットに関しての作業進捗報告信号Ｓ２を入出力部
１０を介して受け取る毎に、実際の作業状況に合致する
ように以下のようにして作業確定スケジュールを更新す
る。

【００５４】先ず設備作業スケジュール管理手段４０３
は、インライン作業ブロック内に存在する或るロットに
関しての作業進捗報告信号Ｓ２を受け取ると、記憶部２
０中の作業確定スケジュール中から当該ロットの作業時
間帯（作業開始時刻および作業終了時刻）を取得し、こ
の作業時間帯と作業進捗報告信号Ｓ２で報告された作業
開始時刻あるいは作業終了時刻とを比較する。一致して
いる場合は問題がないので処理を終了する。異なる場合
には、該当ロットの該当報告以後に発生する作業に関し
て、報告された作業時刻を基準に作業時刻予測手段３０
１により新たに作業予定時間帯を予測するように要求す
る。

【００５５】作業時刻予測手段３０１は、報告された作
業時刻と図２のタイムテーブルとを参照して、以後に発
生する作業の時間帯を予測する。例えば、図８に示すよ
うに、インライン作業ブロックの或る設備群＃Ｍから時
刻１２０にロットｊ２が作業終了した旨の作業進捗報告
信号Ｓ２を受けた場合、ロットｊ２の工程手順に対応す
るテーブルが図２のテーブル２０２−２であったとする
と、そのテーブル２０２−２を参照して、ロットｊ２の
設備群＃Ｍ以降の設備群＃Ｍ＋１，＃Ｍ＋２における作
業開始時刻，作業終了時刻として各々図示する如き時刻
を予測し、記憶部２０を通じて設備作業スケジュール管
理手段４０３に通知する。

【００５６】設備作業スケジュール管理手段４０３は、
この通知された予測結果に応じて作業確定スケジュール
を更新する。

【００５７】また、インライン作業ブロック内の各設備
群における突発的な故障の発生等によって各設備群の稼
働停止予定が変更になった場合、稼働停止スケジュール
を更新する必要があると共に、作業確定スケジュールも
変更する必要がある。このため、設備作業スケジュール
管理手段４０３は、入出力部１０を介して外部装置から
インライン作業ブロック内の或る設備群に関する故障等
による作業予定の変更や設備停止予定の変更に関する予
定変更要求信号Ｓ５が与えられると、稼働停止スケジュ
ールおよび作業確定スケジュールを更新する。即ち、予
定変更要求信号Ｓ５からどの設備群がどの期間だけ稼働
停止予定となるかのスケジュールを得て、それに合致す
るように稼働停止スケジュールを更新した後、稼働停止
スケジュールで稼働停止する時間帯と作業確定スケジュ
ール上の作業時間帯とが重ならないように、作業確定ス
ケジュール上の作業時間帯を移動する。このとき、同一
設備群について２以上の作業時間帯が登録されていると
きは、それらが互いに重ならないように調整する。そし
て、予定変更制御信号Ｓ６を発行して、入出力部１０に
より変更スケジュール内容を装置外部に伝える。

【００５８】例えば図９に示すように、インライン作業
ブロックの設備群＃２で故障が発生した為に設備群＃２
での先頭の作業時間帯を同図のｃｈａｎｇｅｄ ｗ／ｔ
に示すように変更しなければならない予定変更要求信号
Ｓ５があった場合、図１０に示すように設備群＃２での
先頭の作業時間帯を変更すると共にそれに続く別ロット
の作業時間帯も重複しないように変更し、更に次工程作
業予定も延期すべく設備＃３の作業時間帯を同じく互い
に重複しないように変更する。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
のような効果を得ることができる。

【００６０】バッファストレージに存在するロットを即
着手した場合のインライン作業ブロック内の各設備群で
の作業時間帯を予測し、作業確定スケジュールおよび稼
働停止スケジュールで管理しているインライン作業ブロ
ック内の各設備群の現在および将来の状況に照らして、
ロットを即着手した場合にインライン作業ブロック内の
各設備群で作業待ちが生じないことを確認してロットの
作業を着手するため、連続して作業することが望まれる
複数の設備群からなるインライン作業ブロック内での作
業待ちロットの発生を抑えることができ、従って半導体
拡散ライン等のインライン作業ブロックにおける待ち時
間発生によるロットへの製造プロセス上の悪影響を防止
することができる。

【００６１】バッファストレージに存在するロットを即
着手した場合のインライン作業ブロック内の各設備群で
の作業時間帯に加えて、バッファストレージ未到着ロッ
トのバッファストレージへの到着時刻および到着後即着
手した場合のインライン作業ブロック内の各設備群での
作業時間帯を予測し、現スケジューリング時点において
バッファストレージ未到着ロットの中で、インライン作
業ブロック内の何れかの設備群において既到着ロットを
インライン作業ブロック内で追い越すか、または既到着
ロットと作業時間帯が重複する可能性のあるロットを求
め、この求めたロットとバッファストレージ到着済ロッ
トとの集合をスケジューリング対象ロットとしたことに
より、インライン作業ブロックのスループットの低下を
抑えつつ、処理優先度として高い優先度を付与されたロ
ットをそれより低い処理優先度を持つロットより優先的
に処理することができる。

【００６２】バッファストレージへのロット到着時にス
ケジューリングイベントを発行すると共に、インライン
作業ブロック内の各設備群の現在あるいは将来の作業状
況から即着手した場合にインライン作業ブロック内の各
設備群で作業待ちが生じると判断されたロットについ
て、作業着手できる予定の時刻を求め、その予定時刻に
スケジューリングイベントを発行するようにした為、即
着手できなかったロットについても事後に作業着手する
ことを保証することができる。また、バッファストレー
ジへのロット到着時刻および作業開始可能予定時刻の各
時点において、スケジューリング対象ロットの抽出，ス
ケジューリング対象ロット中のロットの処理順序付け，
即作業着手の可否判断等を繰り返して全体としてスケジ
ューリングを行う構成をとっているため、フロー制御実
施時点の状況に応じてリアルタイムにスケジューリング
を実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産制御装置の一実施例のブロック図
である。

【図２】作業時刻予測手段が使用するタイムテーブルの
一例を示す図である。

【図３】インライン作業ブロックの前工程に存在するロ
ットについてのバッファストレージへの到着時刻および
即着手した場合のインライン作業ブロック内の各設備群
での作業時間帯を予測する動作の説明図である。

【図４】バッファストレージ到着ロットを即着手した場
合のインライン作業ブロック内の各設備群での作業時間
帯を予測する動作の説明図である。

【図５】スケジューリング対象ロット管理手段がスケジ
ューリング対象ロットを求める動作の説明図である。

【図６】インライン作業ブロック内の設備群が他のロッ
トで利用されている為にスケジューリング対象ロットを
即着手できなかった場合に行われるスケジューリングイ
ベントの登録動作の説明図である。

【図７】登録されたスケジューリングイベントの発行に
よりスケジューリングが開始される様子を示す図であ
る。

【図８】インライン作業ブロック内の各設備群からロッ
トの作業進捗報告信号が出された際に行われるインライ
ン作業ブロック内の各設備群の作業時間帯の予測動作の
説明図である。

【図９】インライン作業ブロック内の設備群の故障時に
おける作業確定スケジュールに登録された作業時間帯の
変更の必要性の説明図である。

【図１０】インライン作業ブロック内の設備群の故障時
に作業確定スケジュールに登録された作業時間帯を変更
する動作の説明図である。

【図１１】インライン作業ブロックの構成例を示す図で
ある。

【図１２】インライン作業ブロック内で作業時間帯の衝
突が生じる例を示す図である。

【符号の説明】

１…生産制御装置 １０…入出力部 ２０…記憶部 ３０…予測部 ３０１…作業時刻予測手段 ３０２…スケジューリング対象ロット管理手段 ４０…スケジューリング部 ４０１…イベント管理手段 ４０２…ディスパッチング制御手段 ４０３…設備作業スケジュール管理手段 Ｓ１…バッファストレージ到着信号 Ｓ２…作業進捗報告信号 Ｓ３…作業開始指示制御信号 Ｓ４…作業開始保留制御信号 Ｓ５…予定変更要求信号 Ｓ６…予定変更制御信号

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続して作業することが望まれる複数の
   設備群からなるインライン作業ブロックのロットフロー
   を制御する生産制御装置であって、 インライン作業ブロック内の各工程の標準作業時間を記
   述したタイムテーブルを参照して、インライン作業ブロ
   ックの入口に設けられたバッファストレージに到着した
   ロットについて、即着手した場合のインライン作業ブロ
   ック内におけるそのロットで使用される全ての設備群で
   の作業時間帯を予測する作業時刻予測手段と、 インライン作業ブロック内の各設備群の確定している作
   業時間帯を作業確定スケジュールで、各設備群の稼働停
   止予定を稼働停止スケジュールで、それぞれ管理し、イ
   ンライン作業ブロックで次に処理すべきロットについ
   て、前記作業時刻予測手段でそのロットについて予測さ
   れたインライン作業ブロック内の各設備群での作業時間
   帯と前記作業確定スケジュールおよび前記稼働停止スケ
   ジュールの内容とから、即着手した場合にインライン作
   業ブロック内の各設備群で作業待ちが生じないか否かを
   調査し、作業待ちが生じないことを条件に、前記ロット
   のインライン作業ブロックでの作業を着手させる設備作
   業スケジュール管理手段とを備えることを特徴とする生
   産制御装置。
2. 【請求項２】 連続して作業することが望まれる複数の
   設備群からなるインライン作業ブロックのロットフロー
   を制御する生産制御装置であって、 インライン作業ブロック内の各工程の標準作業時間およ
   びインライン作業ブロック前工程からインライン作業ブ
   ロックの入口に設けられたバッファストレージへの到着
   に要する標準時間を記述したタイムテーブルを参照し
   て、前記バッファストレージに到着したロットについ
   て、即着手した場合のインライン作業ブロック内におけ
   るそのロットで使用される全ての設備群での作業時間帯
   を予測すると共に、前記バッファストレージに未到着の
   ロットについて、前記バッファストレージへの到着時刻
   および到着後に即着手した場合のインライン作業ブロッ
   ク内におけるそのロットで使用される全ての設備群での
   作業時間帯を予測する作業時刻予測手段と、 インライン作業ブロック前工程から前記バッファストレ
   ージへのロット到着時および要求された時刻にスケジュ
   ーリングイベントを発行するイベント管理手段と、 前記スケジューリングイベントの発行時点において前記
   バッファストレージに未到着のロットの中で、インライ
   ン作業ブロックに到着済のロットをインライン作業ブロ
   ック内の何れかの設備群において追い越すか、または該
   到着済のロットと作業時間帯が重複する可能性のあるロ
   ットを前記作業時刻予測手段の各ロットの予測結果に基
   づいて求め、該求めたロットと前記バッファストレージ
   に到着済のロットとの集合をスケジューリング対象ロッ
   トとするスケジューリング対象ロット管理手段と、 前記スケジューリングイベントの発行時点に前記スケジ
   ューリング対象ロット管理手段で求められたスケジュー
   リング対象ロット中のロットの処理順序を決定するディ
   スパッチング制御手段と、 インライン作業ブロック内の各設備群の確定している作
   業時間帯を作業確定スケジュールで、各設備群の稼働停
   止予定を稼働停止スケジュールで、即時に着手できなか
   ったロットについての予定作業時間帯を作業予定スケジ
   ュールで、それぞれ管理し、前記スケジューリングイベ
   ントの発行時毎に、前記作業予定スケジュールを一旦ク
   リアし、前記ディスパッチング制御手段で決定されたロ
   ットの処理順序に従って、１ロットずつ、そのロットが
   前記バッファストレージに到着済のロットの場合は、前
   記作業時刻予測手段でそのロットについて予測されたイ
   ンライン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と前
   記作業確定スケジュール，前記稼働停止スケジュールお
   よび前記作業予定スケジュールの内容とから、そのロッ
   トを即着手した場合にインライン作業ブロック内の各設
   備群で作業待ちが生じないか否かを調査し、作業待ちが
   生じないことを条件に、そのロットの作業時間帯を前記
   作業確定スケジュールに登録してそのロットのインライ
   ン作業ブロックでの作業を着手させ、作業待ちが生じる
   場合は、作業着手できる予定の作業時間帯を、前記作業
   時刻予測手段でそのロットについて予測されたインライ
   ン作業ブロック内の各設備群での作業時間帯と前記作業
   確定スケジュール，前記稼働停止スケジュールおよび前
   記作業予定スケジュールの内容とに基づいて決定して、
   前記作業予定スケジュールに登録すると共にその作業着
   手可能予定時刻にスケジューリングイベントを発行する
   ように前記イベント管理手段に要求を出し、前記バッフ
   ァストレージに未到着なロットの場合は、作業着手でき
   る予定の作業時間帯を、前記作業時刻予測手段でそのロ
   ットについて予測された到着時刻およびインライン作業
   ブロック内の各設備群での作業時間帯と、前記作業確定
   スケジュール，前記稼働停止スケジュールおよび前記作
   業予定スケジュールの内容とに基づいて決定して前記作
   業予定スケジュールに登録する設備作業スケジュール管
   理手段とを備えることを特徴とする生産制御装置。
3. 【請求項３】 前記ディスパッチング制御手段は、各ロ
   ットに付与された優先度と予め定められた優先処理ロッ
   ト判定基準とに基づいて、前記スケジューリング対象ロ
   ット中のロットの処理順序を決定することを特徴とする
   請求項２記載の生産制御装置。