JP2943259B2 - 金属板のエッチング方法 - Google Patents
金属板のエッチング方法Info
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- JP2943259B2 JP2943259B2 JP17678290A JP17678290A JP2943259B2 JP 2943259 B2 JP2943259 B2 JP 2943259B2 JP 17678290 A JP17678290 A JP 17678290A JP 17678290 A JP17678290 A JP 17678290A JP 2943259 B2 JP2943259 B2 JP 2943259B2
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- Japan
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- metal plate
- etching
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- etching method
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
本発明は、金属板のエッチング方法に関するものであ
る。
る。
液晶ディスプー用カラーフィルターは、凹板オフセッ
ト印刷等の印刷手法によって現在盛んに製造されてい
る。この様にフィルターを印刷手法によって製造するた
めには、微細なストライプ状の画線溝を多数繰り返し形
成した印刷版が必要であり、現在この画線溝は主にエッ
チング手法によって刻設されている。
ト印刷等の印刷手法によって現在盛んに製造されてい
る。この様にフィルターを印刷手法によって製造するた
めには、微細なストライプ状の画線溝を多数繰り返し形
成した印刷版が必要であり、現在この画線溝は主にエッ
チング手法によって刻設されている。
金属板１の表面にレジスト２を所望のパターン状に残
存形成させ、例えば窓状露出部11をエッチングして画線
溝12を形成する際には、金属板１はエッチング液との接
触面に垂直にエッチングされるため、板厚方向のエッチ
ングと共に幅方向にもエッチングが同時進行するので、
レジスト２によって被覆されている下側にもエッチング
が及ぶ。したがって、エッチングの進行と共に画線溝12
は幅が広がり、またこのために両サイド程浅く形成され
る。この様な形状の画線溝からは、精度の高い画線を印
刷形成することは困難であり、また幅方向にはインキむ
らが生じて濃淡のあるカラーフィルターしか製造するこ
とが出来ないと云う問題点があった。このため、可能な
限り幅の増加が少なく、深さも出来る限り均一な画線溝
を刻設することが出来るエッチング方法の開発が強く望
まれていた。
存形成させ、例えば窓状露出部11をエッチングして画線
溝12を形成する際には、金属板１はエッチング液との接
触面に垂直にエッチングされるため、板厚方向のエッチ
ングと共に幅方向にもエッチングが同時進行するので、
レジスト２によって被覆されている下側にもエッチング
が及ぶ。したがって、エッチングの進行と共に画線溝12
は幅が広がり、またこのために両サイド程浅く形成され
る。この様な形状の画線溝からは、精度の高い画線を印
刷形成することは困難であり、また幅方向にはインキむ
らが生じて濃淡のあるカラーフィルターしか製造するこ
とが出来ないと云う問題点があった。このため、可能な
限り幅の増加が少なく、深さも出来る限り均一な画線溝
を刻設することが出来るエッチング方法の開発が強く望
まれていた。
本発明は上記した従来技術の課題を解決するためにな
されたもので、レジストがパターン状に残存形成された
金属板表面に、47゜Be′を越える濃度の塩化第二鉄液を
60℃を越える温度で15cmより短い距離から2Kgf/cm2を越
える圧力でスプレー噴射することを特徴とする金属板の
エッチング方法を提供するものである。
されたもので、レジストがパターン状に残存形成された
金属板表面に、47゜Be′を越える濃度の塩化第二鉄液を
60℃を越える温度で15cmより短い距離から2Kgf/cm2を越
える圧力でスプレー噴射することを特徴とする金属板の
エッチング方法を提供するものである。
本発明のエッチング方法は、従来のエッチング法に比
べてエッチング液を高濃度、高温にして近距離から高圧
で吹き付けるため、エッチングが幅方向よりも板厚方向
に大きく進行する。このため、画線溝は幅方向にはそれ
程拡大せず、板厚方向に深く形成される。
べてエッチング液を高濃度、高温にして近距離から高圧
で吹き付けるため、エッチングが幅方向よりも板厚方向
に大きく進行する。このため、画線溝は幅方向にはそれ
程拡大せず、板厚方向に深く形成される。
つぎに、本発明を比較例との関連で詳細に説明する。 金属板１として板厚が100μｍのステンレス鋼鈑を用
い、この片面に適宜のレジスト（例えばカゼイン）２を
10μｍの厚さで均一に塗膜し、従来周知のホトリソグラ
フィの手法によってマスク露光させ、例えば露光部を40
μｍ幅に除去して金属板１の中央部に窓状露出部11を形
成した。 前記窓状露出部11を上に向けて金属板１を水平に設置
し、上方からエッチング液の塩化大二鉄液３を表−１に
示した条件でスプレー噴射し、金属板１の窓状露出部11
に対応して刻設された深さ50μｍの画線溝12の形状を比
較した。 エッチング状況の優劣は、画線溝の深さ、幅等を単独
で比較するのではなく、第４図に示す様に窓状露出部11
の幅をW1、実際に刻設された画線溝12の深さをＤ、幅を
W2としたとき、次式によって定義されるエッチファクタ
ーE.Fを求め、この値をパラメーターとして比較した。
なお、このエッチファクターE.Fは定義から分る様に値
が大きい程、加工精度の観点から好ましい。 比較結果を示す第１図から明らかな様に、本発明の実
験番号15と16は、他の実験番号のエッチファクターE.F
より高い。したがって、幅方向より、深さ方向にエッチ
ングが効果的に進行したことが分かる。これは、実験番
号16によって刻設された画線溝12の断面形状（第2a図）
と、実験番号１により得られた画線溝12の断面形状（第
2b図）の比較からも明らかである。この様に、本発明の
エッチング方法によれば、従来と同一の深さの画線溝12
を形成する際にも、溝幅の増加が少ないので、予め適宜
の幅に窓状露出部11を形成しておくと、この幅から大き
く拡がることがないため、溝幅の精度を高めることが出
来る。そして、画線溝12の両サイドも従前の技術と比較
すると、浅くなる程度が大幅に解消されているので、カ
ラーフィルター等の印刷形成に用いた場合に、幅精度が
高く、しかも幅方向に濃淡の安定した画線が容易に形成
される。 なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない
ので、金属板１としては銅板のほかにも黄銅、ニッケ
ル、鉄／ニッケル合金、SUS−304等のステンレス鋼、キ
ュープロニッケル等であって良いし、レジスト２につい
ても所望の精度でエッチングすべき部分のみを露出する
ことが出来るものであれば、材質等は問うものではない
し、露出させる形状、大きさ、個数等についても限定さ
れるものではない。また、塩化第二鉄液を吹き付ける方
法についても、金属板１の露出表面に一様な圧力で吹き
付けることの出来る方法であれば何れの方法であっても
構わない。
い、この片面に適宜のレジスト（例えばカゼイン）２を
10μｍの厚さで均一に塗膜し、従来周知のホトリソグラ
フィの手法によってマスク露光させ、例えば露光部を40
μｍ幅に除去して金属板１の中央部に窓状露出部11を形
成した。 前記窓状露出部11を上に向けて金属板１を水平に設置
し、上方からエッチング液の塩化大二鉄液３を表−１に
示した条件でスプレー噴射し、金属板１の窓状露出部11
に対応して刻設された深さ50μｍの画線溝12の形状を比
較した。 エッチング状況の優劣は、画線溝の深さ、幅等を単独
で比較するのではなく、第４図に示す様に窓状露出部11
の幅をW1、実際に刻設された画線溝12の深さをＤ、幅を
W2としたとき、次式によって定義されるエッチファクタ
ーE.Fを求め、この値をパラメーターとして比較した。
なお、このエッチファクターE.Fは定義から分る様に値
が大きい程、加工精度の観点から好ましい。 比較結果を示す第１図から明らかな様に、本発明の実
験番号15と16は、他の実験番号のエッチファクターE.F
より高い。したがって、幅方向より、深さ方向にエッチ
ングが効果的に進行したことが分かる。これは、実験番
号16によって刻設された画線溝12の断面形状（第2a図）
と、実験番号１により得られた画線溝12の断面形状（第
2b図）の比較からも明らかである。この様に、本発明の
エッチング方法によれば、従来と同一の深さの画線溝12
を形成する際にも、溝幅の増加が少ないので、予め適宜
の幅に窓状露出部11を形成しておくと、この幅から大き
く拡がることがないため、溝幅の精度を高めることが出
来る。そして、画線溝12の両サイドも従前の技術と比較
すると、浅くなる程度が大幅に解消されているので、カ
ラーフィルター等の印刷形成に用いた場合に、幅精度が
高く、しかも幅方向に濃淡の安定した画線が容易に形成
される。 なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない
ので、金属板１としては銅板のほかにも黄銅、ニッケ
ル、鉄／ニッケル合金、SUS−304等のステンレス鋼、キ
ュープロニッケル等であって良いし、レジスト２につい
ても所望の精度でエッチングすべき部分のみを露出する
ことが出来るものであれば、材質等は問うものではない
し、露出させる形状、大きさ、個数等についても限定さ
れるものではない。また、塩化第二鉄液を吹き付ける方
法についても、金属板１の露出表面に一様な圧力で吹き
付けることの出来る方法であれば何れの方法であっても
構わない。
以上説明した様に従来のエッチング法に比べてエッチ
ング液を高濃度、高温にして近距離から高圧で吹き付け
る本発明の金属板のエッチング方法は、エッチングが幅
方向よりも板厚方向に大きく進行するので、画線溝は幅
方向にはそれ程拡大せず、板厚方向に深く形成される。
したがって、両サイドが殆ど浅くなっていない形状の画
線溝が高い精度で刻設されるため、液晶ディスプー用カ
ラーフィルター等の印刷版を製造する上で極めて有効な
エッチング方法である。
ング液を高濃度、高温にして近距離から高圧で吹き付け
る本発明の金属板のエッチング方法は、エッチングが幅
方向よりも板厚方向に大きく進行するので、画線溝は幅
方向にはそれ程拡大せず、板厚方向に深く形成される。
したがって、両サイドが殆ど浅くなっていない形状の画
線溝が高い精度で刻設されるため、液晶ディスプー用カ
ラーフィルター等の印刷版を製造する上で極めて有効な
エッチング方法である。
第１図は本発明の実施例と比較例の実験結果を示す説明
図、第2a図と第2b図は各々実験番号16と１による画線溝
の断面形状を示す図、第３図はエッチング要領を示す説
明図、第４図は形状測定例を示す説明図である。 １……金属板 11……窓状露出部 12……画線溝 ２……レジスト ３……塩化第二鉄液
図、第2a図と第2b図は各々実験番号16と１による画線溝
の断面形状を示す図、第３図はエッチング要領を示す説
明図、第４図は形状測定例を示す説明図である。 １……金属板 11……窓状露出部 12……画線溝 ２……レジスト ３……塩化第二鉄液
Claims (1)
- 【請求項１】レジストがパターン状に残存形成された金
属板表面に、47゜Be′を越える濃度の塩化第二鉄液を60
℃を越える温度で15cmより短い距離から2Kgf/cm2を越え
る圧力でスプレー噴射することを特徴とする金属板のエ
ッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17678290A JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17678290A JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466680A JPH0466680A (ja) | 1992-03-03 |
| JP2943259B2 true JP2943259B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=16019750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17678290A Expired - Lifetime JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2943259B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356793A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 電鋳メタルとその製造方法 |
-
1990
- 1990-07-04 JP JP17678290A patent/JP2943259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0466680A (ja) | 1992-03-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080625 Year of fee payment: 9 |
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