JP2781233B2 - Lead frame mold forming method and mold forming apparatus - Google Patents
Lead frame mold forming method and mold forming apparatusInfo
- Publication number
- JP2781233B2 JP2781233B2 JP1339796A JP33979689A JP2781233B2 JP 2781233 B2 JP2781233 B2 JP 2781233B2 JP 1339796 A JP1339796 A JP 1339796A JP 33979689 A JP33979689 A JP 33979689A JP 2781233 B2 JP2781233 B2 JP 2781233B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- lead frame
- lead
- bending
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はリードフレームの樹脂封止とフォーミング加
工を行うモールド・フォーミング加工方法及びモールド
・フォーミング装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a mold forming method and a mold forming apparatus for performing resin molding and forming of a lead frame.
(従来の技術) リードフレームのアウターリードは基板等に実装する
ため所要形状に曲げ加工して製品化されるが、通常の製
造工程では、リードフレームに半導体チップを搭載して
樹脂封止した後、後工程でフォーミング加工している。(Prior art) Outer leads of a lead frame are bent into a required shape to be mounted on a substrate or the like, and are commercialized. In a normal manufacturing process, a semiconductor chip is mounted on a lead frame and sealed with a resin. , Forming process in the post process.
しかしながら、樹脂封止後にアウターリードを曲げ加
工する場合は、アウターリードを曲げる際の引っ張り力
などによる変形歪みによって、アウターリードと樹脂封
止部分との境界にマイクロギャップがはいったり、場合
によっては封止樹脂内の半導体チップ部分に影響を与え
て断線させる等の不良を発生させることがある。However, when bending the outer lead after resin sealing, a micro gap may be formed at the boundary between the outer lead and the resin sealing part due to deformation distortion due to tensile force or the like when bending the outer lead. A defect such as disconnection may be caused by affecting the semiconductor chip portion in the resin.
樹脂封止部とアウターリードとの境界にマイクロギャ
ップがはいったりすると半導体装置の耐湿性に大きな悪
影響を与えるから、これを避けるため、上記方法とは別
に、樹脂封止前にあらかじめリードフレームを曲げ加工
しておき、この曲げ加工したリードフレームに対して樹
脂封止する方法も行われている。If a micro gap enters the boundary between the resin sealing portion and the outer lead, it has a significant adverse effect on the moisture resistance of the semiconductor device.To avoid this, separately from the above method, bend the lead frame before resin sealing. A method of processing the lead frame and sealing the lead frame with a resin is also performed.
(発明が解決しようとする課題) 上記のリードフレームを曲げ加工した後に樹脂封止す
る方法の場合は、曲げ加工時の力が封止樹脂に加わらな
いから封止樹脂にマイクロギャップがはいったりしない
という利点はあるが、あらかじめ曲げ加工したリードフ
レームをモールド金型にセットしなければならないか
ら、リードフレームの曲げ精度が重要な問題となる。す
なわち、リードフレームの曲げ加工精度はスプリングバ
ックなどによってモールド金型の精度にくらべてはるか
に低い。したがって、曲げ加工したリードフレームをモ
ールド金型に正確にセットすることはきわめて困難であ
り、モールド時にモールド金型を傷めたり、精度誤差に
よってモールドフラッシュが出やすくなるといった問題
点があった。(Problems to be Solved by the Invention) In the case of the above-described method in which the resin is sealed after bending the lead frame, a micro gap is not inserted in the sealing resin because the force at the time of bending is not applied to the sealing resin. However, since the lead frame that has been bent in advance must be set in a mold, bending accuracy of the lead frame is an important issue. That is, the bending accuracy of the lead frame is much lower than the accuracy of the mold due to springback or the like. Therefore, it is extremely difficult to accurately set the bent lead frame in the mold, and there has been a problem that the mold is damaged at the time of molding, and mold flash is likely to occur due to an error in accuracy.
そこで、本発明は上述した樹脂封止後にアウターリー
ドを曲げ加工する際の問題点、及びあらかじめ曲げ加工
してから樹脂封止する際の問題点を解消する方法として
なされたものであり、封止樹脂にマイクロギャップを発
生させたりすることなく曲げ加工できるリードフレーム
のモールド・フォーミング方法及びモールド・フォーミ
ング装置を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been made as a method for solving the problems of bending the outer lead after the resin sealing described above and the problem of bending the resin after bending the resin in advance. An object of the present invention is to provide a lead frame mold forming method and a mold forming apparatus which can be bent without generating a micro gap in a resin.
(課題を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するため次の構成をそなえ
る。(Means for Solving the Problems) The present invention has the following configuration to achieve the above object.
すなわち、樹脂封止用のキャビティと、該キャビティ
の周囲部分にダムバーレスのリードフレームを樹脂封止
すべく設けられた金型ダムと、型締め時に前記キャビテ
ィの周囲で前記リードフレームのアウターリードの基部
を挟圧して支持するための挟圧部と、前記リードフレー
ムを位置決めするためのガイドピンとを備えたモールド
金型と、前記モールド金型の外側面でガイドされ前記ア
ウターリードに対し接離動することにより、前記アウタ
ーリードをフォーミング加工する曲げ金型とを用いるリ
ードフレームのモールド・フォーミング方法であって、
前記モールド金型にリードフレームをセットし、前記モ
ールド金型を型締めして前記挟圧部で前記アウターリー
ドを基部位置で挟圧支持し、前記曲げ金型を駆動して前
記アウターリードを曲げ加工開始した後、前記キャビテ
ィ内に溶融樹脂を充填することにより、樹脂封止及びア
ウターリードの曲げ加工が施されたパッケージを得るこ
とを特徴とする。That is, a cavity for resin sealing, a mold dam provided around the cavity to resin seal a dam barless lead frame, and a base of an outer lead of the lead frame around the cavity at the time of mold clamping. And a guide die for positioning the lead frame. The mold is guided by the outer surface of the mold and moves toward and away from the outer lead. By this, a mold forming method of a lead frame using a bending die for forming the outer lead,
A lead frame is set in the mold die, the mold die is clamped, the outer lead is pinched and supported at the base by the pinch portion, and the outer lead is bent by driving the bending die. After the processing is started, the cavity is filled with a molten resin to obtain a package in which resin sealing and outer lead bending have been performed.
また、樹脂封止用のキャビティと、該キャビティの周
囲部分にダムバーレスのリードフレームを樹脂封止すべ
く設けられた金型ダムと、型締め時に前記キャビティの
周囲で前記リードフレームのアウターリードの基部を挟
圧して支持するための挟圧部と、前記リードフレームを
位置決めするためのガイドピンとを備えたモールド金型
と、該モールド金型の型締めにより前記挟圧部で前記ア
ウターリードが基部位置で挟圧支持され、前記キャビテ
ィ内に溶融樹脂が充填開始される前に、前記モールド金
型の外側面でガイドされて前記アウターリードに対し接
離動開始することにより前記アウターリードをフォーミ
ング加工する曲げ金型とを設けたことを特徴とする。A cavity for resin sealing; a mold dam provided around the cavity for resin sealing a lead frame without a dam bar; And a guide pin for positioning the lead frame, and the outer lead is positioned at the base position by the clamping unit by clamping the mold. Before the cavity is filled with the molten resin, the outer lead is guided by the outer surface of the mold and starts moving toward and away from the outer lead, thereby forming the outer lead. A bending die is provided.
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明する。Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第1図は本発明に係るリードフレームのモールド・フ
ォーミング方法を適用したモールド・フォーミング装置
の一実施例を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a mold forming apparatus to which a mold forming method for a lead frame according to the present invention is applied.
このモールド・フォーミング装置は半導体チップを樹
脂封止するためのモールド金型と、このモールド金型に
隣接して設けられる曲げ金型とを有する。曲げ金型はリ
ードフレームのアウターリードを曲げ加工するためのも
のである。The mold forming apparatus includes a mold for sealing a semiconductor chip with a resin, and a bending mold provided adjacent to the mold. The bending mold is for bending the outer lead of the lead frame.
モールド金型は樹脂封止用のキャビティ10が形成され
た上金型12および下金型14とを有し、上金型12および下
金型14はそれぞれベース16、18に固設される。ベース16
および上金型12、ベース18および下金型14にはこれらを
貫通してエジェクタピン20、22がそれぞれ設置される。The mold has an upper mold 12 and a lower mold 14 in which a cavity 10 for resin sealing is formed, and the upper mold 12 and the lower mold 14 are fixed to bases 16 and 18, respectively. Base 16
Ejector pins 20 and 22 are respectively installed in the upper mold 12, the base 18 and the lower mold 14 so as to penetrate them.
曲げ金型は上記上金型12および下金型14の側方に隣接
して設置するもので、実施例では曲げ金型の上型30を上
金型12の片側の側方で上下動可能に設け、下金型14の側
部には曲げ金型の下型32を一体に形成する。上記上型30
は上金型12と下金型14の型締めシリンダとは別駆動され
るシリンダに連繋する押動ピン34に連結され、押動ピン
34によって押動されて上金型12の側面にそってスライド
移動する。The bending die is installed adjacent to the side of the upper die 12 and the lower die 14, and in the embodiment, the upper die 30 of the bending die can be moved up and down on one side of the upper die 12. And a lower mold 32 of a bending mold is integrally formed on the side of the lower mold 14. Upper die 30 above
Is connected to a pushing pin 34 linked to a cylinder driven separately from the mold clamping cylinders of the upper mold 12 and the lower mold 14, and the pushing pin
It is pushed by 34 and slides along the side surface of the upper mold 12.
上型30および下型32はアウターリードの曲げ形状にし
たがって形成されるもので、実施例はZ形に曲げフォー
ミングする例である。The upper die 30 and the lower die 32 are formed in accordance with the bent shape of the outer lead.
なお、上金型12および下金型14と曲げ金型との接続部
はリードフレームのアウターリードの基部を挟圧する挟
圧部15となっている。すなわち、上金型12と下金型14と
を型締めした際、この挟圧部15でアウターリードの基部
を挟圧支持する。The connection between the upper mold 12 and the lower mold 14 and the bending mold is a clamping portion 15 for clamping the base of the outer lead of the lead frame. That is, when the upper mold 12 and the lower mold 14 are clamped, the clamping portion 15 clamps and supports the base of the outer lead.
36はモールド金型にリードフレームをセットする際に
リードフレームを位置決めするためのガイドピンであ
る。ガイドピン36はシリンダ38等に連繋され上下に駆動
される。36 is a guide pin for positioning the lead frame when setting the lead frame in the mold. The guide pin 36 is connected to a cylinder 38 or the like and is driven up and down.
続いて、上記実施例のモールド・フォーミング装置を
用いて樹脂封止およびアウターリードのフォーミング加
工を行う方法について説明する。Next, a method of performing resin sealing and forming of outer leads using the mold forming apparatus of the above embodiment will be described.
使用するリードフレーム40の形状はとくに限定されな
いが、ここでは第2図に示すようなフレームの片側にア
ウターリード42が設けられたリードフレームについて説
明する。このリードフレーム40はフレームの片側のみフ
ォーミング加工すればよい。44は樹脂封止部分である。
ここで、樹脂封止は金型ダム45によって行う。金型ダム
45はリードの形状にならってリードフレームの板厚分だ
け突出させ、ダムバーを用いずに所定範囲内で樹脂封止
するためのものである。Although the shape of the lead frame 40 to be used is not particularly limited, a lead frame in which the outer leads 42 are provided on one side of the frame as shown in FIG. 2 will be described. The lead frame 40 may be formed only on one side of the frame. 44 is a resin sealing portion.
Here, the resin sealing is performed by the mold dam 45. Mold dam
Numeral 45 is for projecting by the thickness of the lead frame according to the shape of the lead, and for sealing the resin within a predetermined range without using a dam bar.
まず、第1図(a)に示すように、モールド金型を型
開きした状態で、下金型14上にリードフレーム40をセッ
トする。50は半導体チップである。ここで、リードフレ
ーム40のアウターリード42は図のように曲げ金型の上型
30と下型32との間から延出させ、ガイドピン36とリード
フレーム40のガイドホール46に挿通してリードフレーム
40を位置決めする。なお、リードフレーム40の他方側の
側縁にもガイドホール47を設けて下金型14にセットする
ようにしてもよい。First, as shown in FIG. 1 (a), the lead frame 40 is set on the lower mold 14 with the mold opened. 50 is a semiconductor chip. Here, the outer lead 42 of the lead frame 40 is the upper die of the bending mold as shown in the figure.
30 and the lower die 32, and inserted through the guide pins 36 and the guide holes 46 of the lead frame 40 so that the lead frame
Position 40. Note that a guide hole 47 may also be provided on the other side edge of the lead frame 40 and set on the lower mold 14.
次に、上金型12と下金型14を型締めし挟圧部15でリー
ドフレームのアウターリード42の基部を挟圧支持し、上
型30を下降させて下型32との間でプレスしてアウターリ
ード42を曲げ加工する。このときアウターリード42と共
にリードフレーム40の側縁部分も曲げられる。Next, the upper mold 12 and the lower mold 14 are clamped, the clamping unit 15 clamps and supports the base of the outer lead 42 of the lead frame, and the upper mold 30 is lowered and pressed between the lower mold 32 and the lower mold 32. And the outer lead 42 is bent. At this time, the side edges of the lead frame 40 are bent together with the outer leads 42.
曲げ加工時にはガイドピン36は下動してガイドホール
46から外れ、これによって曲げ加工を可能にしている。
なお、第2図に示すようにガイドホール46を幅方向に長
穴に形成して、ガイドピン36を突出させたまま曲げ加工
できるようにすることもできる。During bending, the guide pin 36 moves down and guide holes
It deviates from 46, which enables bending.
In addition, as shown in FIG. 2, the guide hole 46 may be formed in an elongated hole in the width direction so that the bending can be performed while the guide pin 36 is projected.
ガイドホールを長穴に形成する方法をリードフレーム
の両側縁を曲げ加工する場合に適用するときは、両側縁
のガイドホールをともに長穴に形成し、リードフレーム
を金型にセットした際にガイドピンを長穴の内側に当接
させるようにする。これによって、リードフレームをガ
タなく位置決めでき、かつ曲げ加工の際の逃げとするこ
とができる。When applying the method of forming the guide hole to the long hole when bending both side edges of the lead frame, both the guide holes on both side edges are formed in the long hole, and the guide is set when the lead frame is set in the mold. Make sure the pin abuts inside the slot. Thus, the lead frame can be positioned without play and can be used as a relief during bending.
曲げ加工が終了したら、リードフレーム40を挟圧支持
したままキャビティ10内に溶融樹脂を充填して樹脂封止
する。60はモールド樹脂である。樹脂封止の際には上金
型12および下金型14はしばらくの時間型閉じして樹脂を
硬化させるが、この間、上型30および下型32も型閉じし
てアウターリード42を成形させる。When the bending process is completed, the cavity 10 is filled with a molten resin and sealed with the resin while the lead frame 40 is held by the pressure. 60 is a mold resin. At the time of resin sealing, the upper mold 12 and the lower mold 14 close the mold for a while to cure the resin, and during this time, the upper mold 30 and the lower mold 32 also close to form the outer leads 42. .
樹脂封止完了後、曲げ金型の上型30を上動させて元位
置に復帰させ、続いて上金型12と下金型14とを型開き
し、エジェクタピン20、22を用いてパッケージを離型さ
せる。パッケージを離型させた後、次回のリードフレー
ムのセッティングのためにガイドピン36を上動させる。After resin sealing is completed, the upper mold 30 of the bending mold is moved upward to return to the original position, and then the upper mold 12 and the lower mold 14 are opened, and the package is ejected using the ejector pins 20 and 22. Release the mold. After releasing the package, the guide pins 36 are moved up for the next lead frame setting.
こうして、樹脂封止とアウターリードの曲げ加工が施
されたパッケージを得ることができる。得られたパッケ
ージはこの後、レール部分等の不要部分を除去して製品
化される。Thus, a package in which the resin sealing and the outer lead bending process are performed can be obtained. The obtained package is thereafter commercialized by removing unnecessary parts such as rails.
上記例はモールド部分の片側をフォーミング加工する
例であるが、モールド部分の両側をフォーミング加工す
る例を第3図に示す。この例では、上金型12の両側方に
隣接させて切り曲げパンチ70を上下動するように設け、
さらに切り曲げパンチ70の側方にフレーム押え板72を設
ける。フレーム押え板72は吊りボルト74に固定されて上
下に押動される。フレーム押え板72の下面には固定ガイ
ドピン76の突端部が嵌入する嵌合穴78を凹設する。The above example is an example in which one side of the mold portion is formed. FIG. 3 shows an example in which both sides of the mold portion are formed. In this example, the cutting and bending punch 70 is provided to move up and down adjacent to both sides of the upper mold 12,
Further, a frame holding plate 72 is provided on the side of the cutting / bending punch 70. The frame holding plate 72 is fixed to the suspension bolt 74 and is pushed up and down. A fitting hole 78 into which the protruding end of the fixed guide pin 76 fits is formed in the lower surface of the frame holding plate 72.
下金型14には上記例と同様に樹脂封止用のキャビティ
を設け、リードフレーム80を挟圧支持する挟圧部15を設
ける。また、下金型14には上記切り曲げパンチ70に対応
してリードを曲げフォーミングする下型32と、リードフ
レーム80をシアオフするためのダイ82を設ける。前記固
定ガイドピン76は下金型14に固設しリードフレーム80を
位置決めする。The lower mold 14 is provided with a cavity for resin sealing in the same manner as in the above example, and is provided with a clamping portion 15 for clamping and supporting the lead frame 80. Further, the lower die 14 is provided with a lower die 32 for bending and forming a lead corresponding to the cutting and bending punch 70, and a die 82 for shearing off the lead frame 80. The fixed guide pin 76 is fixed to the lower mold 14 and positions the lead frame 80.
第4図は上記構成のフォーミング金型で用いるリード
フレームの例を示す。このリードフレーム80はモールド
部の両サイドからリードが延出するもので、上記構成の
フォーミング金型を用いてフォーミング及び樹脂封止さ
れる。例示したリードフレーム80は2列のモールド部を
有するマトリクスフレームであるが、もちろん1列の通
常のリードフレームの場合でも、3列以上のマトリクス
フレームの場合でも同様である。FIG. 4 shows an example of a lead frame used in a forming mold having the above configuration. The lead frame 80 has leads extending from both sides of the molded portion, and is formed and resin-sealed using the forming die having the above-described configuration. Although the illustrated lead frame 80 is a matrix frame having two rows of molded parts, the same applies to a case of a normal lead frame of one row or a matrix frame of three or more rows.
図のA位置は前記切り曲げパンチ70とダイ82によって
シアオフする部分である。リード先端を連結する連結片
83の両端をシアオフすることによりリードはその先端を
連結したままフォーミングされる。The position A in the figure is a portion which is sheared off by the cutting and bending punch 70 and the die 82. Connecting piece for connecting the tip of the lead
By shearing off both ends of 83, the lead is formed while its tip is connected.
なお、樹脂封止は金型ダムによって行う。金型ダム84
は樹脂封止時にモールド樹脂がリード間に漏出しないよ
うにするため金型側に設けるダムで、リード形状にした
がってリードフレームの材厚分だけ突出させて設ける。
金型ダム84は第4図で二点鎖線で示す。86はレールに設
けたガイドホールである。The resin sealing is performed by a mold dam. Mold Dam 84
Is a dam provided on the mold side in order to prevent the mold resin from leaking between the leads during resin sealing, and is provided so as to protrude by the thickness of the lead frame according to the lead shape.
The mold dam 84 is indicated by a two-dot chain line in FIG. 86 is a guide hole provided on the rail.
第3図に示す金型装置によってモールド・フォーミン
グする場合は次のようにして行う。まず、ガイドホール
86と固定ガイドピン76とを位置合わせしてリードフレー
ム80を上金型12と下金型14で挟圧保持し、フレーム押え
板72と下金型14との間でリードフレーム80を挟圧保持す
る。フレーム押え板72によってリードフレームをおさえ
たまま、第3図(b)に示すように、切り曲げパンチ70
を下動させ、連結片83の両端のA部分をシアオフし、次
いで下型32との間で挟圧してリードを曲げ加工する。曲
げ加工後、キャビティに樹脂を充填してモールドする。
モールド後、エジェクタピン20、22によってリードフォ
ーミングおよび樹脂封止された製品を離型する。When the mold forming is performed by the mold apparatus shown in FIG. 3, it is performed as follows. First, the guide hole
The lead frame 80 is pinched and held between the upper mold 12 and the lower mold 14 by aligning the 86 and the fixed guide pin 76, and the lead frame 80 is clamped between the frame holding plate 72 and the lower mold 14. Hold. With the lead frame held down by the frame holding plate 72, as shown in FIG.
Is moved downward, the portions A at both ends of the connecting piece 83 are sheared off, and then the lead is bent by being pressed against the lower mold 32. After bending, the cavity is filled with resin and molded.
After the molding, the products that have been lead-formed and resin-sealed by the ejector pins 20 and 22 are released.
なお、第4図に示すマトリクスフレームの場合はマト
リクスフレームの配置に合わせてモールド・フォーミン
グ部は幅方向に2セット設ける。In the case of the matrix frame shown in FIG. 4, two sets of mold forming sections are provided in the width direction in accordance with the arrangement of the matrix frame.
上記第3図に示すモールド・フォーミング装置による
場合は、モールド部の両サイドからリードが延出するタ
イプのリードフレームについてモールド・フォーミング
が可能であること、リードフレームのシアオフとリード
の曲げ加工を同一の金型内で行うことができること、リ
ードの曲げ加工の際にはリード先端を連結片83で連結し
たまま成形するからリードがばらけたりせず精度のよい
曲げ成形ができること、連結片83はリードに連結して排
出されるから金型内に切りくずが残ったりしないという
利点がある。In the case of the mold forming apparatus shown in FIG. 3, the mold forming can be performed on the lead frame of the type in which the leads extend from both sides of the mold portion, and the shear-off of the lead frame and the bending of the leads are the same. Can be performed in the mold, and when forming the lead, the lead tip is formed while being connected with the connecting piece 83, so that the lead can be bent accurately without being separated, and the connecting piece 83 There is an advantage that chips are not left in the mold because they are discharged in connection with the lead.
第5図は上記成形で用いられるリードフレームの他の
例を示す。このリードフレームは中心線を挟んだ両側に
アウターリード90が延在し、矩形状のフレーム92にアウ
ターリードの先端が支持され、連結部94によって隣接す
るフレーム92が連結される。ガイドホール96は連結部94
に設けられる。このリードフレームの場合はガイドホー
ル96がアウターリード90の曲げ位置よりも内側にあるか
ら曲げ加工の妨げとはならず、ガイドピンを上下動させ
たりする必要はない。樹脂封止する際は上記各例と同様
に金型ダム98を用いる方法による。FIG. 5 shows another example of a lead frame used in the above molding. In this lead frame, outer leads 90 extend on both sides of the center line, the ends of the outer leads are supported by a rectangular frame 92, and adjacent frames 92 are connected by connecting portions 94. The guide hole 96 is a connecting part 94
Is provided. In the case of this lead frame, since the guide hole 96 is inside the bending position of the outer lead 90, it does not hinder the bending process, and there is no need to move the guide pin up and down. When sealing with resin, a method using a mold dam 98 is used in the same manner as in each of the above examples.
以上のように、本発明に係るモールド・フォーミング
装置によればリードの曲げ加工と半導体チップの樹脂封
止を同一装置において行うことができこれによって、以
下のような利点を有する。As described above, according to the mold forming apparatus of the present invention, the bending of the lead and the resin sealing of the semiconductor chip can be performed in the same apparatus, which has the following advantages.
リードフレームは曲げ加工する前の状態でモールド金
型にセットするから、曲げ加工後にモールド金型にセッ
トする場合と比較してはるかにセットが容易である。ま
た、曲げ加工によって生じる精度誤差を心配する必要が
ない。Since the lead frame is set in the mold before bending, the setting is much easier than in the case where the lead frame is set in the mold after bending. Further, there is no need to worry about an accuracy error caused by bending.
ガイドピン36等でリードフレームを位置決めすること
によってモールド金型および曲げ金型上で正確にリード
フレームをセットすることができる。これによって樹脂
封止時にモールドフラッシュが出ることを減らすことが
でき、フォーミング加工時に正確な加工ができる。By positioning the lead frame with the guide pins 36 and the like, the lead frame can be accurately set on the mold and the bending mold. As a result, the occurrence of mold flash during resin sealing can be reduced, and accurate processing can be performed during forming processing.
モールド金型は樹脂封止するために180℃程度に熱せ
られているから、この熱によってリードフレームは比較
的高温下でフォーミング加工できる。高温下でフォーミ
ング加工することによりリードフレームのスプリングバ
ックを少なくすることができフォーミング精度を向上さ
せることができる。Since the mold is heated to about 180 ° C. to seal the resin, the lead frame can be formed at a relatively high temperature by this heat. By performing the forming process at a high temperature, the spring back of the lead frame can be reduced, and the forming accuracy can be improved.
アウターリードのフォーミング加工を先に行ってから
樹脂封止するから、封止樹脂にアウターリードを曲げ加
工する際にマイクロギャップが生じたりする悪影響をな
くすことができる。Since the outer lead is formed first and then sealed with the resin, it is possible to eliminate the adverse effect of forming a micro gap when bending the outer lead in the sealing resin.
なお、上記実施例においては、リードのフォーミング
加工後に樹脂封止を行ったが、リードのフォーミング加
工を開始したときから若干タイミングを遅らせて樹脂封
止を開始するようにしてもよい。リードフレームは上金
型と下金型とで型締めされて保持されているし、樹脂成
形の際はしばらくの時間型締めしていることが必要だか
らである。このようにすれば製造能率を上げることがで
きる。In the above embodiment, the resin sealing is performed after the lead forming process. However, the resin sealing may be started with a slightly delayed timing from when the lead forming process is started. This is because the lead frame is clamped and held by the upper mold and the lower mold, and it is necessary to clamp the mold for a while during resin molding. In this way, the production efficiency can be increased.
以上、本発明について好適な実施例を挙げて種々説明
したが、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、種々のタイプのリードフレーム等に適用できるもの
であって、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変
を施し得るのはもちろんのことである。As described above, the present invention has been described variously with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be applied to various types of lead frames and the like. Of course, many modifications can be made without departing from the scope of the invention.
(発明の効果) 本発明に係るリードフレームのモールド・フォーング
方法およびモールド・フォーミング装置によれば、上述
したように、リードフレームを正確にモールド金型にセ
ットすることができて精度のよい曲げ加工および樹脂封
止ができる。また、樹脂封止前にアウターリードの曲げ
加工をするから封止樹脂とアウターリードとの境界部に
マイクロギャップが生じる等の問題点を解消することが
できる。また、アウターリードの曲げ加工と樹脂封止と
を同一工程で済ませることができるから作業工程を短縮
化でき製造効率を高めることができる等の著効を奏す
る。(Effect of the Invention) According to the lead frame mold forming method and the mold forming apparatus according to the present invention, as described above, the lead frame can be accurately set in the mold and the bending process can be performed accurately. And resin sealing. In addition, since the outer lead is bent before the resin is sealed, problems such as generation of a micro gap at the boundary between the sealing resin and the outer lead can be solved. Also, since the bending of the outer leads and the resin sealing can be performed in the same step, the working steps can be shortened, and the production efficiency can be improved, and so on.
第1図(a)、(b)、(c)は本発明に係るモールド
・フォーミング装置の動作を示す説明図、第2図はリー
ドフレームを示す説明図、第3図はモールド・フォーミ
ング装置の他の例およびその動作を示す説明図、第4図
はリードフレームの他の例を示す説明図、第5図はリー
ドフレームのさらに他の例を示す説明図である。 10……キャビティ、12……上金型、14……下金型、15…
…挟圧部、16、18……ベース、20、22……エジェクタピ
ン、30……上型、32……下型、34……押動ピン、36……
ガイドピン、40……リードフレーム、42……アウターリ
ード、44……モールド部、46、47……ガイドホール、50
……半導体チップ、60……モールド樹脂、70……切り曲
げパンチ、72……フレーム押え板、76……固定ガイドピ
ン、80……リードフレーム、82……ダイ、84、98……金
型ダム。1 (a), 1 (b) and 1 (c) are explanatory views showing the operation of a mold forming apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing a lead frame, and FIG. FIG. 4 is an explanatory view showing another example and operation of the lead frame, FIG. 4 is an explanatory view showing another example of the lead frame, and FIG. 5 is an explanatory view showing still another example of the lead frame. 10 …… cavity, 12 …… upper mold, 14 …… lower mold, 15…
… Nipping part, 16, 18… Base, 20, 22… Ejector pin, 30… Upper die, 32… Lower die, 34… Pushing pin, 36…
Guide pin, 40: Lead frame, 42: Outer lead, 44: Mold part, 46, 47… Guide hole, 50
…… Semiconductor chip, 60 …… Mold resin, 70 …… Cutting punch, 72 …… Frame holding plate, 76 …… Fixed guide pin, 80 …… Lead frame, 82 …… Die, 84, 98 …… Die dam.
Claims (2)
の周囲部分にダムバーレスのリードフレームを樹脂封止
すべく設けられた金型ダムと、型締め時に前記キャビテ
ィの周囲で前記リードフレームのアウターリードの基部
を挟圧して支持するための挟圧部と、前記リードフレー
ムを位置決めするためのガイドピンとを備えたモールド
金型と、 前記モールド金型の外側面でガイドされ前記アウターリ
ードに対し接離動することにより、前記アウターリード
をフォーミング加工する曲げ金型とを用いるリードフレ
ームのモールド・フォーミング方法であって、 前記モールド金型にリードフレームをセットし、 前記モールド金型を型締めして前記挟圧部で前記アウタ
ーリードを基部位置で挟圧支持し、 前記曲げ金型を駆動して前記アウターリードを曲げ加工
開始した後、前記キャビティ内に溶融樹脂を充填するこ
とにより、 樹脂封止及びアウターリードの曲げ加工が施されたパッ
ケージを得ることを特徴とするリードフレームのモール
ド・フォーミング方法。1. A cavity for resin sealing, a mold dam provided around a peripheral portion of the cavity to resin seal a dam-barless lead frame, and an outer part of the lead frame around the cavity at the time of mold clamping. A molding die having a pressing portion for pressing and supporting the base of the lead, and a guide pin for positioning the lead frame; a mold guided by an outer surface of the molding die and in contact with the outer lead; A method of forming and molding a lead frame using a bending mold for forming the outer leads by moving apart, wherein a lead frame is set in the mold, and the mold is closed. The outer lead is squeezed and supported at the base position by the squeezing portion, and the outer die is driven by driving the bending mold. And forming a package in which resin sealing and outer lead bending have been performed by filling the cavity with a molten resin after starting bending of the lead frame.
の周囲部分にダムバーレスのリードフレームを樹脂封止
すべく設けられた金型ダムと、型締め時に前記キャビテ
ィの周囲で前記リードフレームのアウターリードの基部
を挟圧して支持するための挟圧部と、前記リードフレー
ムを位置決めするためのガイドピンとを備えたモールド
金型と、 該モールド金型の型締めにより前記挟圧部で前記アウタ
ーリードが基部位置で挟圧支持され、前記キャビティ内
に溶融樹脂が充填開始される前に、前記モールド金型の
外側面でガイドされて前記アウターリードに対し接離動
開始することにより前記アウターリードをフォーミング
加工する曲げ金型とを設けたことを特徴とするリードフ
レームのモールド・フォーミング装置。2. A cavity for resin sealing, a mold dam provided around the cavity for resin sealing a dam-barless lead frame, and an outer part of the lead frame around the cavity at the time of mold clamping. A molding die having a pressing portion for pressing and supporting the base of the lead, and a guide pin for positioning the lead frame; and an outer lead formed by the pressing portion by clamping the mold. Is squeezed and supported at the base position, and before the molten resin starts to be filled into the cavity, the outer lead is guided by the outer surface of the mold and starts to move toward and away from the outer lead. A lead frame mold / forming apparatus, comprising: a bending die for forming.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1339796A JP2781233B2 (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Lead frame mold forming method and mold forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1339796A JP2781233B2 (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Lead frame mold forming method and mold forming apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03198352A JPH03198352A (en) | 1991-08-29 |
JP2781233B2 true JP2781233B2 (en) | 1998-07-30 |
Family
ID=18330892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1339796A Expired - Fee Related JP2781233B2 (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Lead frame mold forming method and mold forming apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2781233B2 (en) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5198966A (en) * | 1975-02-26 | 1976-08-31 | ||
JPS60180126A (en) * | 1984-02-28 | 1985-09-13 | Toshiba Corp | Manufacture of semiconductor device |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP1339796A patent/JP2781233B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03198352A (en) | 1991-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2547894B2 (en) | Mold mechanism for semiconductor resin encapsulation | |
JPH11274196A (en) | Manufacture of semiconductor device, molding system and the semiconductor device | |
JP2781233B2 (en) | Lead frame mold forming method and mold forming apparatus | |
US6224810B1 (en) | Method of plastic molding | |
JP3129660B2 (en) | Resin sealing method and resin sealing device for SON package | |
JP2004103823A (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
CN108140583B (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
KR101979519B1 (en) | Lead frame and method for manufacturing semiconductor deⅵce | |
JP3348972B2 (en) | Transfer molding equipment for thermosetting synthetic resin | |
JP3128976B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
JPH06252188A (en) | Method and device for manufacturing resin-encapsulated semiconductor chip | |
JPH09239787A (en) | Mold and production of semiconductor device | |
JP2001185671A (en) | Method of manufacturing for semiconductor device and method of manufacturing for lead frame used for the same | |
JP2772489B2 (en) | Resin encapsulation molding device for electronic parts and jig for pushing ejector pin | |
JPH11274193A (en) | Resin encapsulated molding die, resin encapsulated molding apparatus, manufacture of resin encapsulated semiconductor device, and the resin encapsulated semiconductor device | |
JP2772486B2 (en) | Mold for resin molding of electronic parts | |
JPS62193815A (en) | Resin molding apparatus for electronic device | |
JP3182302B2 (en) | Method for manufacturing resin-encapsulated semiconductor device | |
JPH08323798A (en) | Resin molding apparatus | |
JP3127104B2 (en) | Mold for sealing resin-encapsulated semiconductor device and manufacturing method using the same | |
JPS60138949A (en) | Lead frame for semiconductor device | |
JPH11330112A (en) | Manufacture of semiconductor device and transfer mold device thereof | |
JP2833838B2 (en) | Lead frame molding method and mold used therefor | |
JP2934373B2 (en) | Resin sealing device for semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device | |
JPH0642336Y2 (en) | Semiconductor element resin sealing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |