JP2779143B2 - 半導体ウェーハ収納容器 - Google Patents
半導体ウェーハ収納容器Info
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- JP2779143B2 JP2779143B2 JP5844195A JP5844195A JP2779143B2 JP 2779143 B2 JP2779143 B2 JP 2779143B2 JP 5844195 A JP5844195 A JP 5844195A JP 5844195 A JP5844195 A JP 5844195A JP 2779143 B2 JP2779143 B2 JP 2779143B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハ（以下、
ウェーハとする）を損傷、汚染から防いで安全に輸送し
保管し取り扱うのに有用なウェーハ収納容器に関するも
のである。
ウェーハとする）を損傷、汚染から防いで安全に輸送し
保管し取り扱うのに有用なウェーハ収納容器に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】半導体単結晶棒をスライスしたウェーハ
は集積回路を作るためにユーザーに向けて大量に輸送す
る場合が多く、このとき薄くて脆いウェーハを損傷、汚
染から守るために十分な配慮が必要とされる。そこでウ
ェーハ収納容器として、例えば、特開昭48-21466号、実
開昭52−148043号および同58−175627号各公報に記載の
ように、容器本体の内側面に複数枚のウェーハを一定間
隔で分離配列するためのガイド手段を設けると共に、ウ
ェーハと容器本体および／または蓋体との間にフォーム
板、弾性緩衝板またはゴム状弾性棒状体等を、ガイド手
段を横切る方向に設けたものが提案された。これらの収
納容器は構造的に簡単な反面、外部の振動等によるウェ
ーハの損傷、汚染に対して完全なものとはいえず、また
ウェーハの収納容器への挿脱の自動化が困難である。
は集積回路を作るためにユーザーに向けて大量に輸送す
る場合が多く、このとき薄くて脆いウェーハを損傷、汚
染から守るために十分な配慮が必要とされる。そこでウ
ェーハ収納容器として、例えば、特開昭48-21466号、実
開昭52−148043号および同58−175627号各公報に記載の
ように、容器本体の内側面に複数枚のウェーハを一定間
隔で分離配列するためのガイド手段を設けると共に、ウ
ェーハと容器本体および／または蓋体との間にフォーム
板、弾性緩衝板またはゴム状弾性棒状体等を、ガイド手
段を横切る方向に設けたものが提案された。これらの収
納容器は構造的に簡単な反面、外部の振動等によるウェ
ーハの損傷、汚染に対して完全なものとはいえず、また
ウェーハの収納容器への挿脱の自動化が困難である。
【０００３】このため、最近は図４に示されるような構
造の収納容器、すなわち収納する多数のウェーハＷを周
側縁で支持するひだ状の側壁ａを備えた内箱ｂと、内箱
ｂの内側底部に装着されてウェーハＷの下縁を支持する
下部緩衝板（受け台）ｃと、内箱ｂを所定の場所に収容
・係止する容器本体ｄと、パッキンｅを介して容器本体
ｄと係合し、この上面を被覆すると共に、内面に装着さ
れた上部緩衝板（ウェーハ抑え）ｆにより内箱ｂに収納
されたウェーハＷの上縁を保持する蓋体ｇとからなるも
のが広く使用されるようになってきている。
造の収納容器、すなわち収納する多数のウェーハＷを周
側縁で支持するひだ状の側壁ａを備えた内箱ｂと、内箱
ｂの内側底部に装着されてウェーハＷの下縁を支持する
下部緩衝板（受け台）ｃと、内箱ｂを所定の場所に収容
・係止する容器本体ｄと、パッキンｅを介して容器本体
ｄと係合し、この上面を被覆すると共に、内面に装着さ
れた上部緩衝板（ウェーハ抑え）ｆにより内箱ｂに収納
されたウェーハＷの上縁を保持する蓋体ｇとからなるも
のが広く使用されるようになってきている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記緩衝板には、上記
のほか円筒状、衝立状、三角柱状、蛇腹状等、種々の形
状のものが提案されているが、いずれもウェーハの直径
方向にかかる振動・衝撃に対しては緩衝能力を発揮する
ものの、ウェーハの厚み方向にかかる振動・衝撃に対し
ては不完全で、ウェーハの破損や微粒子の生成を抑制で
きず、ウェーハの清浄性を保持しながら安全に輸送する
には不十分であった。また、ウェーハの形状には、基準
位置を示す方式として、頂部の一部にだけ切り欠きのあ
るノッチ式と、上部がフラットになったオリフラ式とが
あるため、上部緩衝板の形状によっては両方式の保持力
に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェーハの回
転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題があっ
た。
のほか円筒状、衝立状、三角柱状、蛇腹状等、種々の形
状のものが提案されているが、いずれもウェーハの直径
方向にかかる振動・衝撃に対しては緩衝能力を発揮する
ものの、ウェーハの厚み方向にかかる振動・衝撃に対し
ては不完全で、ウェーハの破損や微粒子の生成を抑制で
きず、ウェーハの清浄性を保持しながら安全に輸送する
には不十分であった。また、ウェーハの形状には、基準
位置を示す方式として、頂部の一部にだけ切り欠きのあ
るノッチ式と、上部がフラットになったオリフラ式とが
あるため、上部緩衝板の形状によっては両方式の保持力
に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェーハの回
転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題があっ
た。
【０００５】 したがって、本発明の目的は、ウェーハの
形状が変わっても保持力や作業性に影響を与えることが
なく、輸送中に受けるあらゆる方向からの振動・衝撃を
吸収してウェーハの清浄性を保持しながら安全に輸送す
ることのできる、ウェーハ収納容器を提供するものであ
る。
形状が変わっても保持力や作業性に影響を与えることが
なく、輸送中に受けるあらゆる方向からの振動・衝撃を
吸収してウェーハの清浄性を保持しながら安全に輸送す
ることのできる、ウェーハ収納容器を提供するものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
の解決のため鋭意研究の結果、半導体ウェーハ収納容器
を構成する上蓋と容体のそれぞれに、ウェーハを汚染か
ら守って保持固定するのに十分な強度、伸度を有する材
料からなる伸縮性膜を設け、半導体ウェーハを周縁部で
保持するようにすれば、輸送中に受けるあらゆる方向か
らの振動、衝撃を吸収してウェーハを破損や汚染から保
護し、安全に輸送できることを見出し、本発明に到達し
たものである。
の解決のため鋭意研究の結果、半導体ウェーハ収納容器
を構成する上蓋と容体のそれぞれに、ウェーハを汚染か
ら守って保持固定するのに十分な強度、伸度を有する材
料からなる伸縮性膜を設け、半導体ウェーハを周縁部で
保持するようにすれば、輸送中に受けるあらゆる方向か
らの振動、衝撃を吸収してウェーハを破損や汚染から保
護し、安全に輸送できることを見出し、本発明に到達し
たものである。
【０００７】 すなわち、本発明によるウェーハ収納容器
は、上蓋と容体とがそれぞれの開口縁で係合・閉止する
ウェーハ収納容器であって、上蓋と容体のそれぞれのウ
ェーハの幅方向の内側壁間に伸縮性膜を張設し、この２
枚の伸縮性膜によりウェーハの周側縁を上下両方向から
保持してウェーハを収納可能としてなることを特徴とす
る。
は、上蓋と容体とがそれぞれの開口縁で係合・閉止する
ウェーハ収納容器であって、上蓋と容体のそれぞれのウ
ェーハの幅方向の内側壁間に伸縮性膜を張設し、この２
枚の伸縮性膜によりウェーハの周側縁を上下両方向から
保持してウェーハを収納可能としてなることを特徴とす
る。
【０００８】
また、上記と同様のウェーハ収納容器の、
同様に張設された２枚の伸縮性膜の間に、ウェーハを収
納する内箱、ウェーハの上縁または下縁を支持する上部
緩衝板または下部緩衝板の内の少なくとも１個の部材を
配設し、これと共にウェーハを収納可能としてなること
を特徴とする。
同様に張設された２枚の伸縮性膜の間に、ウェーハを収
納する内箱、ウェーハの上縁または下縁を支持する上部
緩衝板または下部緩衝板の内の少なくとも１個の部材を
配設し、これと共にウェーハを収納可能としてなること
を特徴とする。
【０００９】
さらに、上記と同様のウェーハ収納容器で
あって、上蓋と容体のそれぞれのウェーハの幅方向の内
側壁間に伸縮性膜の張設された枠体を配設し、それぞれ
の枠体の伸縮性膜によりウェーハの周側縁を上下両方向
から保持してウェーハを収納可能としてなることを特徴
とする。
あって、上蓋と容体のそれぞれのウェーハの幅方向の内
側壁間に伸縮性膜の張設された枠体を配設し、それぞれ
の枠体の伸縮性膜によりウェーハの周側縁を上下両方向
から保持してウェーハを収納可能としてなることを特徴
とする。
【００１０】以下、本発明のウェーハ収納容器の一実施
態様を示した図１（ａ）〜（ｂ）に基づいて説明する。
このウェーハ収納容器は上蓋１と容体２とから構成さ
れ、上蓋１と容体２はそれぞれの開口周縁で互いに係合
・閉止できるようになっている。上蓋１と容体２のそれ
ぞれの幅方向の内側壁間の適宜の位置、図では開口端部
には、伸縮性膜３ａ、３ｂが上下に張設され、この２枚
の伸縮性膜３ａ、３ｂでウェーハＷの周側縁を上下両方
向から保持してウェーハＷを収納可能としている。これ
は構造も簡単で、特に１枚入り等、少数のウェーハを収
納する容器として適している。
態様を示した図１（ａ）〜（ｂ）に基づいて説明する。
このウェーハ収納容器は上蓋１と容体２とから構成さ
れ、上蓋１と容体２はそれぞれの開口周縁で互いに係合
・閉止できるようになっている。上蓋１と容体２のそれ
ぞれの幅方向の内側壁間の適宜の位置、図では開口端部
には、伸縮性膜３ａ、３ｂが上下に張設され、この２枚
の伸縮性膜３ａ、３ｂでウェーハＷの周側縁を上下両方
向から保持してウェーハＷを収納可能としている。これ
は構造も簡単で、特に１枚入り等、少数のウェーハを収
納する容器として適している。
【００１１】本発明のウェーハ収納容器では、従来のウ
ェーハ収納容器に用いられる既存部品への伸縮性膜の応
用例として、上蓋１または容体２の内部に伸縮性膜３を
介してウェーハＷの周側縁を支持する既存部品、すなわ
ち多数のウェーハを周側縁で支持するひだ状の側壁を備
えた内箱、内箱の底部に装着されてウェーハの下縁を支
持する下部緩衝板（受け台）および上蓋１の裏面に装着
されて内箱ｂに収納されたウェーハの上縁を保持する上
部緩衝板（ウェーハ抑え）を配設することもできる。
ェーハ収納容器に用いられる既存部品への伸縮性膜の応
用例として、上蓋１または容体２の内部に伸縮性膜３を
介してウェーハＷの周側縁を支持する既存部品、すなわ
ち多数のウェーハを周側縁で支持するひだ状の側壁を備
えた内箱、内箱の底部に装着されてウェーハの下縁を支
持する下部緩衝板（受け台）および上蓋１の裏面に装着
されて内箱ｂに収納されたウェーハの上縁を保持する上
部緩衝板（ウェーハ抑え）を配設することもできる。
【００１２】 図２（ａ）は上蓋１および容体２の開口縁
にそれぞれ伸縮性膜３ａ、３ｂを張設した後、ウェーハ
Ｗを収納した内箱11を、容体２の伸縮性膜３ｂ面より、
これを介して押し込み、上蓋１をすることで、ウェーハ
Ｗの周側縁を伸縮性膜３ａ、３ｂで上下両方向から抑え
て保持するようにしたものである。なお、この内箱11は
幅方向の縦断面が椀状をしていて、その内側壁にはウェ
ーハＷの配列方向に多数のひだが互いに対称に設けられ
ていて、それぞれの隣接するひだ間に各ウェーハＷをそ
の左右両側縁で個別に収容・支持し得る構造になってい
る。
にそれぞれ伸縮性膜３ａ、３ｂを張設した後、ウェーハ
Ｗを収納した内箱11を、容体２の伸縮性膜３ｂ面より、
これを介して押し込み、上蓋１をすることで、ウェーハ
Ｗの周側縁を伸縮性膜３ａ、３ｂで上下両方向から抑え
て保持するようにしたものである。なお、この内箱11は
幅方向の縦断面が椀状をしていて、その内側壁にはウェ
ーハＷの配列方向に多数のひだが互いに対称に設けられ
ていて、それぞれの隣接するひだ間に各ウェーハＷをそ
の左右両側縁で個別に収容・支持し得る構造になってい
る。
【００１３】 図２（ｂ）は同様の上蓋１に上部緩衝板12
を、容体２にウェーハＷを収納した内箱３を、それぞれ
伸縮性膜３ａ、３ｂを介して押し込み、ウェーハＷの上
面に上部緩衝板12を載置した後、容体２に上蓋１をする
ことで、ウェーハＷの周側縁を上部緩衝板12と内箱11を
介して伸縮性膜３ａ、３ｂで上下両方向から保持するよ
うにしたものである。
を、容体２にウェーハＷを収納した内箱３を、それぞれ
伸縮性膜３ａ、３ｂを介して押し込み、ウェーハＷの上
面に上部緩衝板12を載置した後、容体２に上蓋１をする
ことで、ウェーハＷの周側縁を上部緩衝板12と内箱11を
介して伸縮性膜３ａ、３ｂで上下両方向から保持するよ
うにしたものである。
【００１４】図示されていないが、図２（ａ）で用いた
のと同じ上蓋１および／または容体２に、ウェーハＷと
前述した上部緩衝板および／または下部緩衝板を、伸縮
性膜３ａおよび／または３ｂを介して押し込み、容体２
に上蓋１をすることで、ウェーハＷの周側縁を、上部緩
衝板および／または下部緩衝板を介して、伸縮性膜３
ａ、３ｂで上下両方向から保持するようにすることもで
きる。
のと同じ上蓋１および／または容体２に、ウェーハＷと
前述した上部緩衝板および／または下部緩衝板を、伸縮
性膜３ａおよび／または３ｂを介して押し込み、容体２
に上蓋１をすることで、ウェーハＷの周側縁を、上部緩
衝板および／または下部緩衝板を介して、伸縮性膜３
ａ、３ｂで上下両方向から保持するようにすることもで
きる。
【００１５】このほか、容器にウェーハを個別に収納す
る方式として、図３（ａ）に示す細長い枠20に伸縮性膜
３を張った緩衝板21を、上蓋１および容体２のそれぞれ
の両側壁に取り付け、この２個の緩衝板21ａ、21ｂの伸
縮性膜３ａ、３ｂ間にウェーハＷを介在させて保持する
こともできる［図３（ｂ）参照］。図３（ｃ）〜（ｄ）
は細長い枠の側面形状をウェーハＷと近似する曲率の半
円部分を備えた旭日状や三角形状とした緩衝板22、23を
用いた場合であり、これによればウェーハＷに対し局部
的にストレスをかけることなく外周にわたって比較的均
一な荷重で保持することができる。このような枠20をウ
ェーハの厚み方向に必要数、重積・整列させた構造の緩
衝板24［図３（ｅ）参照］を用いれば、同時に多くのウ
ェーハを収納することもできる。
る方式として、図３（ａ）に示す細長い枠20に伸縮性膜
３を張った緩衝板21を、上蓋１および容体２のそれぞれ
の両側壁に取り付け、この２個の緩衝板21ａ、21ｂの伸
縮性膜３ａ、３ｂ間にウェーハＷを介在させて保持する
こともできる［図３（ｂ）参照］。図３（ｃ）〜（ｄ）
は細長い枠の側面形状をウェーハＷと近似する曲率の半
円部分を備えた旭日状や三角形状とした緩衝板22、23を
用いた場合であり、これによればウェーハＷに対し局部
的にストレスをかけることなく外周にわたって比較的均
一な荷重で保持することができる。このような枠20をウ
ェーハの厚み方向に必要数、重積・整列させた構造の緩
衝板24［図３（ｅ）参照］を用いれば、同時に多くのウ
ェーハを収納することもできる。
【００１６】図１〜図３に示した各態様を要約すれば次
の通りである。 １）上蓋および容体の各々の内側壁間に伸縮性膜が張設
され、２枚の伸縮性膜の間に半導体ウェーハを収納可能
とした半導体ウェーハ収納容器（図１）。 ２）半導体ウェーハを、内箱、上部緩衝板および下部緩
衝板の内の少なくとも１個の部材と共に収納可能とした
上記１）記載の半導体ウェーハ収納容器（図２）。 ３）上蓋および容体の各々の側壁間に長方形状の枠体が
取り付けられ、両枠体の少なくとも両側に伸縮性膜が張
設されて、２枚の伸縮性膜の間に半導体ウェーハ を収納
可能とした半導体ウェーハ収納容器（図３ｂ）。 ４）長方形状の枠体が、半導体ウェーハと近似する曲率
の半円部を備えた旭日状の側面形状を呈する上記４）記
載の半導体ウェーハ収納容器（図３ｃ）。 ５）長方形状の枠体が、Ｖ字状の側面形状を呈する上記
４）記載の半導体ウェーハ収納容器（図３ｄ）。 ６）長方形状の枠体が、多数整列して柵状を呈し、各細
溝に伸縮性膜が張設されている上記４）記載の半導体ウ
ェーハ収納容器（図３ｅ）。
の通りである。 １）上蓋および容体の各々の内側壁間に伸縮性膜が張設
され、２枚の伸縮性膜の間に半導体ウェーハを収納可能
とした半導体ウェーハ収納容器（図１）。 ２）半導体ウェーハを、内箱、上部緩衝板および下部緩
衝板の内の少なくとも１個の部材と共に収納可能とした
上記１）記載の半導体ウェーハ収納容器（図２）。 ３）上蓋および容体の各々の側壁間に長方形状の枠体が
取り付けられ、両枠体の少なくとも両側に伸縮性膜が張
設されて、２枚の伸縮性膜の間に半導体ウェーハ を収納
可能とした半導体ウェーハ収納容器（図３ｂ）。 ４）長方形状の枠体が、半導体ウェーハと近似する曲率
の半円部を備えた旭日状の側面形状を呈する上記４）記
載の半導体ウェーハ収納容器（図３ｃ）。 ５）長方形状の枠体が、Ｖ字状の側面形状を呈する上記
４）記載の半導体ウェーハ収納容器（図３ｄ）。 ６）長方形状の枠体が、多数整列して柵状を呈し、各細
溝に伸縮性膜が張設されている上記４）記載の半導体ウ
ェーハ収納容器（図３ｅ）。
【００１７】これらの本発明で使用される伸縮性膜の材
質としては、例えば、ＰＥ、ＰＰ、セルロースアセテー
ト、フッ化エチレン、ポリカーボネート、ナイロン、ポ
リビニルアルコール、塩化ビニル、ポリスチレン、アイ
オノマー、ポリイミド、ポリウレタン等の熱可塑性プラ
スチック材料、シリコーンゴムをはじめとする各種ゴム
材料等の熱硬化性プラスチック材料等が挙げられる。こ
れらの内では、長時間の保持による変形や歪みが少ない
ものとして、特にウレタン、アイオノマーの膜（フィル
ム）が好ましい。これらは透明性もあるので、上蓋や容
体も透明材料とすれば、収納するウェーハを外部から透
視することもできる。また、外部からの振動、衝撃を吸
収するのに十分な柔軟性と強度を満たすための機械的特
性として、引っ張り強さが 100kg/cm2以上、とくには 3
00kg/cm2以上、破断伸びが 100％以上、とくには 300％
以上、引き裂き伝播が 10gm/25μm 以上、とくには 30g
m/25μm 以上、引き裂き強さが１kg/mm 以上、とくには
10kg/mm 以上、耐折強さが1,000 回以上、とくには10,0
00回以上のものが望ましい。
質としては、例えば、ＰＥ、ＰＰ、セルロースアセテー
ト、フッ化エチレン、ポリカーボネート、ナイロン、ポ
リビニルアルコール、塩化ビニル、ポリスチレン、アイ
オノマー、ポリイミド、ポリウレタン等の熱可塑性プラ
スチック材料、シリコーンゴムをはじめとする各種ゴム
材料等の熱硬化性プラスチック材料等が挙げられる。こ
れらの内では、長時間の保持による変形や歪みが少ない
ものとして、特にウレタン、アイオノマーの膜（フィル
ム）が好ましい。これらは透明性もあるので、上蓋や容
体も透明材料とすれば、収納するウェーハを外部から透
視することもできる。また、外部からの振動、衝撃を吸
収するのに十分な柔軟性と強度を満たすための機械的特
性として、引っ張り強さが 100kg/cm2以上、とくには 3
00kg/cm2以上、破断伸びが 100％以上、とくには 300％
以上、引き裂き伝播が 10gm/25μm 以上、とくには 30g
m/25μm 以上、引き裂き強さが１kg/mm 以上、とくには
10kg/mm 以上、耐折強さが1,000 回以上、とくには10,0
00回以上のものが望ましい。
【００１８】ここで、引っ張り強さが 100kg/cm2未満の
ものでは、ウェーハを直接保持したり、内箱等の構成部
分を介して保持する場合に、それらの保持力や荷重が伸
縮性膜の強度を超えて破断する恐れがある。破断伸びが
100％未満のものでは、ウェーハや構成部品を保持する
際に、十分な伸びのストロークが得られないために接触
面積が減り、保持が不十分となったり、外部から受ける
振動や衝撃を十分に吸収することができない。また、引
き裂き伝播が 10gm/25μm 未満では何らかの原因で伸縮
性膜に亀裂が生じた場合にウェーハを支える保持力や構
成部品を支持する荷重によって亀裂が伝播し、収納する
ウェーハを破壊する恐れがある。引き裂き強さが１kg/m
m 未満では、例えばウェーハのエッジ等鋭利な部分に接
した場合に伸縮性膜に亀裂を生じてしまうし、耐折強さ
が 1,000回未満では繰り返しの使用に対しての実用性が
低い。
ものでは、ウェーハを直接保持したり、内箱等の構成部
分を介して保持する場合に、それらの保持力や荷重が伸
縮性膜の強度を超えて破断する恐れがある。破断伸びが
100％未満のものでは、ウェーハや構成部品を保持する
際に、十分な伸びのストロークが得られないために接触
面積が減り、保持が不十分となったり、外部から受ける
振動や衝撃を十分に吸収することができない。また、引
き裂き伝播が 10gm/25μm 未満では何らかの原因で伸縮
性膜に亀裂が生じた場合にウェーハを支える保持力や構
成部品を支持する荷重によって亀裂が伝播し、収納する
ウェーハを破壊する恐れがある。引き裂き強さが１kg/m
m 未満では、例えばウェーハのエッジ等鋭利な部分に接
した場合に伸縮性膜に亀裂を生じてしまうし、耐折強さ
が 1,000回未満では繰り返しの使用に対しての実用性が
低い。
【００１９】伸縮性膜の製造に当たっては、材料の純度
をできるだけ高め、ウェーハに与える影響を最小にする
のが望ましい。伸縮性膜の成膜には、押出し、キャステ
ィング、ブロー、延伸等のいずれの方法でもよい。伸縮
性膜の容器の各構成部品における固定方法としては、熱
溶着や超音波溶着のほか、接着剤の使用、各種の機械的
方法等が挙げられる。伸縮性膜の緊張度はウェーハまた
は構成部品の装着に際して受ける荷重に応じて調整され
る。より大きな荷重が必要とされるときは、伸縮性膜に
細孔を穿ち、伸縮性膜内外のガスの流通を保ったり、伸
縮性膜を介する一方の領域に加圧流体を挿入する等の手
段を講ずることもできる。本発明のウェーハ収納容器に
用いられる伸縮性膜以外の上蓋、容体等の構成部材は、
内外圧の変化や衝撃等に対応できるよう、必要に応じて
リブを備えた強靭な構造体とし、その製作には内容物が
透視可能なポリカーボネート、ポリプロピレンまたはア
クリル等の樹脂からなる剛性の高い材質のものが一般に
採用される。
をできるだけ高め、ウェーハに与える影響を最小にする
のが望ましい。伸縮性膜の成膜には、押出し、キャステ
ィング、ブロー、延伸等のいずれの方法でもよい。伸縮
性膜の容器の各構成部品における固定方法としては、熱
溶着や超音波溶着のほか、接着剤の使用、各種の機械的
方法等が挙げられる。伸縮性膜の緊張度はウェーハまた
は構成部品の装着に際して受ける荷重に応じて調整され
る。より大きな荷重が必要とされるときは、伸縮性膜に
細孔を穿ち、伸縮性膜内外のガスの流通を保ったり、伸
縮性膜を介する一方の領域に加圧流体を挿入する等の手
段を講ずることもできる。本発明のウェーハ収納容器に
用いられる伸縮性膜以外の上蓋、容体等の構成部材は、
内外圧の変化や衝撃等に対応できるよう、必要に応じて
リブを備えた強靭な構造体とし、その製作には内容物が
透視可能なポリカーボネート、ポリプロピレンまたはア
クリル等の樹脂からなる剛性の高い材質のものが一般に
採用される。
【００２０】
【作用】本発明のウェーハ収納容器によれば、 伸縮性膜が、すべての方向の衝撃、振動を吸収するサ
スペンションの機能を果たし、ウェーハを安全に保持、
固定する。また、ウェーハと面接触となるため、ウェー
ハと伸縮性膜との相対的移動が少なくなるほかウェーハ
との接触面積が増加する。このため、単位面積当たりの
接触圧力が低下して凝集・摩耗が抑制され、微粒子の発
生量が低減する。 伸縮性膜はウェーハやその他の部品のどの部分の形状
にも追随するため、複雑な寸法、形状設計が不要な上、
位置決めが容易である。
スペンションの機能を果たし、ウェーハを安全に保持、
固定する。また、ウェーハと面接触となるため、ウェー
ハと伸縮性膜との相対的移動が少なくなるほかウェーハ
との接触面積が増加する。このため、単位面積当たりの
接触圧力が低下して凝集・摩耗が抑制され、微粒子の発
生量が低減する。 伸縮性膜はウェーハやその他の部品のどの部分の形状
にも追随するため、複雑な寸法、形状設計が不要な上、
位置決めが容易である。
【００２１】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器は、 伸縮性膜でウェーハを直接保持する構造としたことに
より、輸送中に受けるあらゆる方向からの振動・衝撃を
吸収してウェーハを破損や汚染から保護し、安全に輸送
できる。 ウェーハを伸縮性膜により直接接触保持するため、ウ
ェーハ収納時の伸縮性膜とウェーハとの相対的移動によ
る微粒子の発生を最小限に抑え、汚染の低減に寄与す
る。 ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、比
較的簡単な構造でウェーハを確実に保持・固定・輸送す
ることができる。 外部からの振動、衝撃に対する抵抗力が大きいため、
外部包装を簡略化することが可能となり、輸送コストの
低減に寄与する。
より、輸送中に受けるあらゆる方向からの振動・衝撃を
吸収してウェーハを破損や汚染から保護し、安全に輸送
できる。 ウェーハを伸縮性膜により直接接触保持するため、ウ
ェーハ収納時の伸縮性膜とウェーハとの相対的移動によ
る微粒子の発生を最小限に抑え、汚染の低減に寄与す
る。 ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、比
較的簡単な構造でウェーハを確実に保持・固定・輸送す
ることができる。 外部からの振動、衝撃に対する抵抗力が大きいため、
外部包装を簡略化することが可能となり、輸送コストの
低減に寄与する。
【図１】本発明のウェーハ収納容器の一実施態様に係
り、図（ａ）は縦断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ
線における横断面図である。
り、図（ａ）は縦断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ
線における横断面図である。
【図２】それぞれ本発明のウェーハ収納容器の異なる実
施態様に係り、図（ａ）および図（ｂ）は縦断面図であ
る。
施態様に係り、図（ａ）および図（ｂ）は縦断面図であ
る。
【図３】図（ａ）は本発明のウェーハ収納容器における
部材の一例についての平面図、図（ｂ）〜（ｄ）はそれ
ぞれ本発明のウェーハ収納容器の他の異なる実施態様に
ついての縦断面図、図（ｅ）はさらに他の異なる部材に
ついての平面図である。
部材の一例についての平面図、図（ｂ）〜（ｄ）はそれ
ぞれ本発明のウェーハ収納容器の他の異なる実施態様に
ついての縦断面図、図（ｅ）はさらに他の異なる部材に
ついての平面図である。
【図４】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
１‥上蓋、 ２‥容体、
３‥伸縮性膜、 11‥ 内箱、 12‥上部緩衝板、
20‥枠、 21、22、23、24‥緩衝板、 Ｗ‥ウェー
ハ。
３‥伸縮性膜、 11‥ 内箱、 12‥上部緩衝板、
20‥枠、 21、22、23、24‥緩衝板、 Ｗ‥ウェー
ハ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−18053（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86
Claims (3)
- 【請求項１】上蓋と容体とがそれぞれの開口縁で係合・
閉止する半導体ウェーハ収納容器であって、上蓋と容体
のそれぞれの半導体ウェーハの幅方向の内側壁間に伸縮
性膜を張設し、この２枚の伸縮性膜により半導体ウェー
ハの周側縁を上下両方向から保持して半導体ウェーハを
収納可能としてなることを特徴とする半導体ウェーハ収
納容器。 - 【請求項２】上蓋と容体とをそれぞれの開口縁で係合・
閉止する半導体ウェーハ収納容器であって、上蓋と容体
のそれぞれの半導体ウェーハの幅方向の内側壁間に伸縮
性膜を張設し、この２枚の伸縮性膜の間に、半導体ウェ
ーハを収納する内箱、半導体ウェーハの上縁または下縁
を支持する上部緩衝板または下部緩衝板の内の少なくと
も１個の部材を配設し、これと共に半導体ウェーハを収
納可能としてなることを特徴とする半導体ウェーハ収納
容器。 - 【請求項３】上蓋と容体とをそれぞれの開口縁で係合・
閉止する半導体ウェーハ収納容器であって、上蓋と容体
のそれぞれの半導体ウェーハの幅方向の内側壁間に伸縮
性膜の張設された枠体を配設し、それぞれの枠体の伸縮
性膜により半導体ウェーハの周側縁を上下両方向から保
持して半導体ウェーハを収納可能としてなることを特徴
とする半導体ウェーハ収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5844195A JP2779143B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 半導体ウェーハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5844195A JP2779143B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 半導体ウェーハ収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08255826A JPH08255826A (ja) | 1996-10-01 |
| JP2779143B2 true JP2779143B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=13084490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5844195A Expired - Lifetime JP2779143B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 半導体ウェーハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2779143B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3476052B2 (ja) * | 1997-09-01 | 2003-12-10 | 信越ポリマー株式会社 | 輸送容器 |
| JP4330761B2 (ja) * | 2000-04-17 | 2009-09-16 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ輸送容器のサポート具 |
| JP3938293B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2007-06-27 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
| JP4681221B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2011-05-11 | ミライアル株式会社 | 薄板支持容器 |
| JP4667769B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP4485963B2 (ja) * | 2005-01-14 | 2010-06-23 | 信越ポリマー株式会社 | 板状物収納容器 |
| JP4647417B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-03-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
| JP4947410B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2012-06-06 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | カセットケース梱包用緩衝体 |
| JP5268142B2 (ja) * | 2008-09-27 | 2013-08-21 | Ｈｏｙａ株式会社 | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 |
| DE102012201486B4 (de) | 2012-02-02 | 2020-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Dämpfungsvorrichtung für eine mikromechanische Sensoreinrichtung |
| JP6258069B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2018-01-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP6375577B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2018-08-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP2020152415A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 住友金属鉱山株式会社 | ウェハケースの梱包方法およびウェハケース用梱包資材 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4834481A (ja) * | 1971-09-06 | 1973-05-18 | ||
| JPS5518053A (en) * | 1978-07-26 | 1980-02-07 | Mitsubishi Metal Corp | Packing of method semiconductor wafer |
| JPS59185826U (ja) * | 1983-05-11 | 1984-12-10 | クリ−ンサアフエイス技術株式会社 | フオトマスク基板用ケ−ス |
| JPS6161836U (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-25 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP5844195A patent/JP2779143B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08255826A (ja) | 1996-10-01 |
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