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JP2740590B2 - Thermoconductive adhesive film - Google Patents

Thermoconductive adhesive film

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Publication number
JP2740590B2
JP2740590B2 JP3287915A JP28791591A JP2740590B2 JP 2740590 B2 JP2740590 B2 JP 2740590B2 JP 3287915 A JP3287915 A JP 3287915A JP 28791591 A JP28791591 A JP 28791591A JP 2740590 B2 JP2740590 B2 JP 2740590B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
acid
adhesive
dianhydride
less
Prior art date
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JP3287915A
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Japanese (ja)
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JPH05125336A (en
Inventor
直滋 竹田
敏郎 竹田
有史 坂本
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Bakelite Co Ltd filed Critical Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、導電性及び耐熱性に優
れ、熱圧着して用いることのできるフィルム状接着剤に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film adhesive which has excellent conductivity and heat resistance and can be used by thermocompression bonding.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、耐熱性の熱圧着可能なフィルム状
接着剤はいくつか知られている。例えば、特開平1-2822
83号公報には、ポリアミドイミド系やポリアミド系のホ
ットメルト接着剤、特開昭58-157190号公報には、ポリ
イミド系接着剤によるフレキシブル印刷回路基板の製造
法、特開昭62-235382号及び特開昭62-235383号公報に
は、熱硬化性のポリイミド系フィルム状接着剤に関する
記述がなされている。ところが、ポリアミド系やポリア
ミドイミド系樹脂は、アミド基の親水性のために吸水率
が大きくなるという欠点を有し、信頼性を必要とするエ
レクトロニクス用途としての接着剤に用いるには限界が
あった。またその他の公報に記載されているフィルム状
接着剤の熱圧着条件は、275℃、50kgf/cm2、30分間が
標準であり、熱や圧力に鋭敏な電子部品や、量産性を必
要とされる用途のフィルム状接着剤としては必ずしも有
利であるとは言えなかった。
2. Description of the Related Art Heretofore, some heat-resistant thermocompression-bondable film adhesives have been known. For example, JP-A 1-2822
No. 83, polyamide-imide or polyamide hot melt adhesive, JP-A-58-157190, a method of manufacturing a flexible printed circuit board with a polyimide-based adhesive, JP-A-62-235382 and JP-A-62-235383 describes a thermosetting polyimide film adhesive. However, polyamide-based or polyamide-imide-based resins have the disadvantage that the water absorption is increased due to the hydrophilic nature of the amide group, and there is a limit to using them as adhesives for electronics applications requiring reliability. . In addition, the standard conditions for thermocompression bonding of film adhesives described in other publications are 275 ° C, 50 kgf / cm 2 , and 30 minutes, which require electronic components sensitive to heat and pressure and mass productivity. However, it was not necessarily advantageous as a film adhesive for various uses.

【0003】一方で、従来用いられているエポキシ系、
フェノール系、アクリル系等の接着剤は、比較的低温、
低圧で熱圧着できるという利点を有するが、熱硬化型で
あるため、ある程度硬化時間を長く設ける必要があっ
た。また熱可塑性樹脂をホットメルト型接着剤として用
いることもよく行なわれるが、耐熱性に乏しい欠点を有
している。
On the other hand, conventionally used epoxy resins,
Adhesives such as phenolic and acrylic are relatively low temperature,
Although it has the advantage that it can be thermocompression bonded at a low pressure, it has to be provided with a somewhat long curing time because it is a thermosetting type. Although a thermoplastic resin is often used as a hot-melt adhesive, it has a disadvantage of poor heat resistance.

【0004】また一方で、IC、LSI等の半導体チッ
プとリードフレームとの接合には、従来Au−Si共晶
が用いられていたが、Auが高価なため、最近では導電
性樹脂ペーストが主流になってきた。この種の導電性樹
脂ペーストとしては、特開昭55-25482号又は52-107036
号公報に開示されているように、通常エポキシ樹脂をバ
インダーとし、これに銀粉を混合した銀ペーストが作業
性や接着性が良いため、主に使用されてきた。しかしな
がら、このようなペースト状接着剤は、塗布量を厳密
にコントロールしないと厚み制御ができないこと、チ
ップ側面へのペーストの這い上がりのあること、表面
加工したリードフレームに均一に塗布できない、等の不
具合があり、これらを解決する方法として導電性並びに
耐熱性を有するフィルム状接着剤が望まれていた。
On the other hand, Au-Si eutectic has conventionally been used for joining a semiconductor chip such as an IC or an LSI to a lead frame. However, since Au is expensive, conductive resin paste has recently become the mainstream. It has become As this kind of conductive resin paste, JP-A-55-25482 or 52-107036
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H10-209, a silver paste in which an epoxy resin is generally used as a binder and silver powder is mixed with the binder has been mainly used because of good workability and adhesiveness. However, such a paste-like adhesive cannot control the thickness without strictly controlling the amount of application, there is creeping up of the paste on the chip side surface, and it cannot be uniformly applied to the surface-processed lead frame. There is a problem, and a film adhesive having conductivity and heat resistance has been desired as a method for solving these problems.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、耐熱性
に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着可能な導電性フィ
ルム状接着剤を得んとして鋭意研究を重ねた結果、特定
の構造を有するポリイミドシロキサンに、導電性フィラ
ーを必要量分散させフィルム化した接着剤が上記の目標
を達成し得ることが判り、本発明を完成するに至ったも
のである。その目的とするところは、導電性、耐熱性と
熱圧着作業性を両立させたフィルム状接着剤を提供する
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have conducted intensive studies to obtain a conductive film adhesive having excellent heat resistance and capable of thermocompression bonding at a low temperature, a low pressure and in a short time. It has been found that an adhesive formed into a film by dispersing a necessary amount of a conductive filler in polyimide siloxane having a structure can achieve the above-mentioned target, and the present invention has been completed. It is an object of the present invention to provide a film adhesive having both conductivity, heat resistance and workability of thermocompression bonding.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、式(1)又は
(2)で示される酸末端シリコーン化合物Aモル
According to the present invention, there is provided the following formula (1):
A mole of the acid-terminated silicone compound A represented by (2)

【0007】[0007]

【化1】 Embedded image

【0008】及び他の酸二無水物成分として、4,4'-オ
キシジフタル酸二無水物及び/又は3,3',4,4'-ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物Bモルからなる酸成分
(但し、0.09≦A/(A+B)≦0.33)と、
(3)で示されるジアミノシリコーン化合物Cモル
And 4,4′-O as another acid dianhydride component
Xydiphthalic dianhydride and / or 3,3 ', 4,4'-benzofu
Acid component consisting of B mol of enonetetracarboxylic dianhydride
(However, 0.09 ≦ A / (A + B) ≦ 0.33) and the expression
C mole of diaminosilicone compound represented by (3)

【0009】[0009]

【化2】 Embedded image

【0010】及び他のジアミン成分として1,3-ビス(3-
アミノフェノキシ)ベンゼン及び/又は2,4-ジアミノト
ルエンDモルからなるアミン成分(但し、0.4≦C/
(C+D)≦0.7)とを、(A+B)/(C+D)が
0.8〜1.2の範囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミ
ド化されているポリイミドシロキサンと、ポリイミドシ
ロキサンに対して50〜900wt%の導電性フィラーとから
なる熱圧着可能な導電性フィルム状接着剤である。
[0010] 1,3-bis (3-
Aminophenoxy) benzene and / or 2,4-diaminot
Amine component consisting of D moles of ruene (provided that 0.4 ≦ C /
(C + D) ≦ 0.7) and ( A + B) / (C + D)
Reaction is carried out in the range of 0.8 to 1.2, and at least 80% or more of polyimide imide is imidized, and a conductive filler of 50 to 900 wt% with respect to polyimide siloxane is used. is there.

【0011】本発明において用いられる酸二無水物は、
酸末端シリコーン化合物、4,4'-オキシジフタル酸二無
水物(以下ODPAと略す)及び3,3',4,4'-ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物(以下BTDAと略す)
である。
The acid dianhydride used in the present invention is
Acid-terminated silicone compound , 4,4'-oxydiphthalic acid
Water (hereinafter abbreviated as ODPA) and 3,3 ', 4,4'-benzophene
Non-tetracarboxylic dianhydride (hereinafter abbreviated as BTDA)
It is.

【0012】本発明において用いられる酸末端シリコー
ン化合物は、下記の式(1)で示されるフタル酸無水物
末端シリコーン化合物又は式(2)で示されるナジック
酸無水物末端シリコーン化合物である。
The acid-terminated silicone compound used in the present invention is a phthalic anhydride represented by the following formula (1):
Terminal silicone compound or Nagic represented by formula (2)
It is an acid anhydride terminated silicone compound.

【0013】[0013]

【化1】 Embedded image

【0014】本発明において用いられるジアミン成分
は、式(3)で示されるジアミノシリコーン化合物及び
他のジアミン成分である。他のジアミンは1,3-ビス(3-
アミノフェノキシ)ベンゼン及び/又は2,4-ジアミノト
ルエンである。
The diamine component used in the present invention is a diaminosilicone compound represented by the formula (3) and other diamine components. Other diamines are 1,3-bis (3-
Aminophenoxy) benzene and / or 2,4-diaminot
Ruen.

【0015】本発明における酸二無水物とジアミンの反
応は、公知の方法で行なうことができる。予め、酸二無
水物成分あるいはジアミン成分の何れか一方を有機溶剤
中に溶解あるいは懸濁させておき、他方の成分を粉末又
は液状あるいは有機溶剤に溶解した状態で徐々に添加す
る。反応は発熱を伴うため、望ましくは冷却しながら反
応系の温度を室温付近に保って実施する。
The reaction between the acid dianhydride and the diamine in the present invention can be carried out by a known method. One of the acid dianhydride component and the diamine component is dissolved or suspended in an organic solvent in advance, and the other component is gradually added in a state of powder, liquid or dissolved in an organic solvent. Since the reaction is exothermic, the reaction is preferably carried out while cooling and keeping the temperature of the reaction system near room temperature.

【0016】酸二無水物成分とジアミン成分のモル比
(A+B)/(C+D)は、当量付近、特に0.8〜1.2の
範囲にあるのが望ましい。何れか一方が多くなり過ぎる
と、分子量が高くならず、耐熱性、機械特性が低下する
ので好ましくない。室温付近で反応させ、ポリアミド酸
を合成した後、加熱あるいは無水酢酸/ピリジン系触媒
を用いる等公知の方法によりイミド化を実施することが
できる。イミド化率は少なくとも80%以上であることが
望ましい。イミド化率が80%よりも低いと後にフィルム
化して熱圧着する際にイミド化が進行して水分が発生
し、ボイドの原因となって接着強度の低下を招くので好
ましくない。
The molar ratio (A + B) / (C + D) between the acid dianhydride component and the diamine component is preferably in the vicinity of an equivalent, particularly in the range of 0.8 to 1.2. If either one is too large, the molecular weight does not increase, and the heat resistance and mechanical properties deteriorate, which is not preferable. After reacting at around room temperature to synthesize polyamic acid, imidization can be carried out by a known method such as heating or using an acetic anhydride / pyridine-based catalyst. It is desirable that the imidization ratio is at least 80% or more. When the imidation ratio is lower than 80%, imidization proceeds during the subsequent film formation and thermocompression bonding to generate moisture, which causes voids and lowers the adhesive strength, which is not preferable.

【0017】A/(A+B)の値は0.09以上0.3
3以下であることが必要であり、C/(C+D)の値は
0.4以上0.7以下であることが必要である。A/
(A+B)の値が0.09未満、又はC/(C+D)の
値が0.4未満であると、熱溶融性が低下してしまい、
少なくとも300℃以上、あるいは50kgf/cm2以上の
熱圧着条件が必要となり、量産性の点で好ましくない。
また、A/(A+B)の値が0.33を越えるか、又は
C/(C+D)の値が0.7を越えると、熱溶融性が高
くなりすぎ量産性の点でやはり好ましくない。A/(A
+B)の値が0.09以上0.33以下、かつC/(C
+D)の値が0.4以上0.7以下であれば、250℃
以下の温度で、しかも20kgf/cm2以下の圧力下、10
分以内の短時間で熱圧着でき、良好な接着強度を達成す
ることができる。
The value of A / (A + B) is 0.09 or more and 0.3
3 or less, and the value of C / (C + D) is
It is necessary to be 0.4 or more and 0.7 or less. A /
The value of (A + B) is less than 0.09 or C / (C + D)
If the value is less than 0.4, the heat fusibility decreases,
A thermocompression bonding condition of at least 300 ° C. or more or 50 kgf / cm 2 or more is required, which is not preferable in terms of mass productivity.
Also, the value of A / (A + B) exceeds 0.33, or
When the value of C / (C + D) exceeds 0.7, the heat fusibility is high.
It is too unfavorable in terms of mass productivity. A / (A
+ B) is 0.09 or more and 0.33 or less and C / (C
+ D) is 0.4 ° C. or more and 0.7 or less, 250 ° C.
At the following temperature and under a pressure of 20 kgf / cm 2 or less.
Thermocompression bonding can be performed in a short time of less than one minute, and good adhesive strength can be achieved.

【0018】[0018]

【0019】本発明において用いられる有機溶剤は特に
限定されるものではないが、均一溶解可能なものなら
ば、一種類或いは二種類以上を併用した混合溶媒であっ
ても差し支えない。この種の溶媒として代表的なもの
は、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトア
ミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセト
アミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチル
スルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-メチル
-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラ
メチルスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、γ
-ブチロラクトン、ジグライム、テトラヒドロフラン、
塩化メチレン、ジオキサン、シクロヘキサノン等があ
り、均一に溶解できる範囲で貧溶媒を揮散調節剤、皮膜
平滑剤などとして使用することもできる。
The organic solvent used in the present invention is not particularly limited, but may be a single solvent or a mixed solvent of two or more solvents as long as it can be uniformly dissolved. Typical solvents of this type are N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylformamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, dimethylsulfoxide, Hexamethylphosphoamide, N-methyl
-2-pyrrolidone, pyridine, dimethyl sulfone, tetramethyl sulfone, dimethyltetramethylene sulfone, γ
-Butyrolactone, diglyme, tetrahydrofuran,
There are methylene chloride, dioxane, cyclohexanone, and the like, and a poor solvent can be used as a volatilization regulator, a film smoothing agent, and the like as long as the solvent can be uniformly dissolved.

【0020】本発明において用いられる導電性フィラー
は、特に限定されるものではないが、通常好ましく用い
られるものとして例を挙げると、金、銀、銅、ニッケ
ル、アルミニウム等であり、使用目的に応じてこれらを
単独又は混合して用いることができる。通常、このよう
な導電性フィラーの添加量は、樹脂に対して50〜900%
となるように用いるのが好ましい。50wt%未満では得ら
れるフィルム状接着層の導電性が発揮されないので好ま
しくなく、900wt%を越えるとバインダーである樹脂分
が少なくなるために、充分な接着強度が得られなくなる
ので好ましくない。形状は、特に制限されず、例えばフ
レーク状、樹枝状や球状等のものがあり、これらの金属
粉末の一種又は二種以上を混合して用いてもよい。粒径
についても特に限定されないが、最終接着層の厚さ、作
業性等を考慮すると、平均粒径は、50μm以下のものが
好ましい。
The conductive filler used in the present invention is not particularly limited, but examples of usually preferably used conductive fillers include gold, silver, copper, nickel, and aluminum. These can be used alone or as a mixture. Usually, the amount of such conductive filler is 50 to 900% based on the resin.
It is preferable to use it. If it is less than 50% by weight, the resulting film-like adhesive layer does not exhibit electrical conductivity, and if it exceeds 900% by weight, the amount of resin serving as a binder decreases, and thus it is not preferable because sufficient adhesive strength cannot be obtained. The shape is not particularly limited, and may be, for example, flakes, dendrites, spheres, and the like, and one or a mixture of two or more of these metal powders may be used. Although the particle size is not particularly limited, the average particle size is preferably 50 μm or less in consideration of the thickness of the final adhesive layer, workability, and the like.

【0021】本発明の熱圧着可能な導電性フィルム状接
着剤の使用方法としては、特に限定されるものではない
が、通常充分にイミド化されたワニスに導電性フィラー
を加えて、公知の分散装置である三本ロール、ボールミ
ル、擂潰機等により均一分散させ、ペースト状にしたも
のを、テフロン等の離型性に優れた基材に塗布した後、
加熱処理によって溶剤を揮散させてフィルム化し、基材
から剥がして導電性フィルムを得る。これを被接着体間
に挟んだ後、熱圧着する。または予め被着体の上に塗布
した後、加熱処理を施して充分に溶剤を揮散させた後、
一方の被着体と合わせて熱圧着することもできる。
The method of using the thermocompression-bondable conductive film adhesive of the present invention is not particularly limited, but usually, a well-known imidized varnish is prepared by adding a conductive filler to a known dispersion. After three-roll, ball mill, crusher, etc. that are uniformly dispersed in a device and made into a paste, the material is applied to a substrate having excellent release properties such as Teflon,
The solvent is volatilized by heat treatment to form a film, and the film is peeled from the substrate to obtain a conductive film. After being sandwiched between the adherends, thermocompression bonding is performed. Or after pre-coating on the adherend, after heat treatment to sufficiently evaporate the solvent,
Thermocompression bonding can also be performed together with one adherend.

【0022】また本発明の接着剤のベース樹脂であるポ
リイミドシロキサンには、必要に応じて各種添加剤を加
えることができる。例えば、基材に塗布する際の表面平
滑剤、濡れ性を高めるためのレベリング剤や各種界面活
性剤、シランカップリング剤、また接着剤の熱圧着後の
耐熱性を高めるための各種架橋剤などの添加剤である。
これらの添加剤は、フィルム状接着剤の特性を損わない
程度の量で使用することができる。
Various additives can be added to the polyimide siloxane, which is the base resin of the adhesive of the present invention, if necessary. For example, a surface smoothing agent when applied to a substrate, a leveling agent for increasing wettability, various surfactants, a silane coupling agent, and various crosslinking agents for increasing the heat resistance of the adhesive after thermocompression bonding. Additive.
These additives can be used in an amount that does not impair the properties of the film adhesive.

【0023】以下に実施例を以て本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0024】[0024]

【実施例】【Example】

(実施例1)温度計、撹拌機、原料投入口、乾燥窒素ガ
ス導入管を備えた四つ口のセパラブルフラスコ中に、1,
3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)17.54
g(0.06モル)、下記式のジアミノシリコーン化合物3
3.67g(0.04モル)
Example 1 A four-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, a material inlet, and a dry nitrogen gas inlet tube was charged with 1,
3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB) 17.54
g (0.06 mol), diaminosilicone compound 3 of the following formula
3.67 g (0.04 mol)

【0025】[0025]

【化4】 Embedded image

【0026】を300gのN-メチル-2-ピロリドン(NM
P)に溶解させ、4,4'-オキシジフタル酸二無水物(O
DPA)24.82g(0.08モル)、下記式の酸末端シリコ
ーン化合物20.40g(0.02モル)
Was added to 300 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NM
P) and dissolved in 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (O
DPA) 24.82 g (0.08 mol), acid-terminated silicone compound of the following formula 20.40 g (0.02 mol)

【0027】[0027]

【化5】 Embedded image

【0028】を30分間かけて固形のまま徐々に添加した
後2時間撹拌を続けた。この間ずっと乾燥窒素ガスを流
しておき、更に酸無水物を添加する前から氷浴で冷却
し、系を反応の間ずっと20℃に保っておいた。
Was gradually added as a solid over 30 minutes, and then stirring was continued for 2 hours. During this time, a dry nitrogen gas was supplied, and the system was cooled in an ice bath before adding the acid anhydride, and the system was kept at 20 ° C. throughout the reaction.

【0029】次いで、この系にキシレン60gを添加し、
乾燥窒素導入管を外して、代りにディーンスターチ還流
冷却管を取付け、氷浴を外してオイルバスで加熱して系
の温度を上昇させる。イミド化に伴って生じる水をトル
エンとの共沸により系外へ除去しながら加熱を続け、15
0〜160℃でイミド化を進めて水が発生しなくなった5時
間後に反応を終了させた。このポリイミドワニスを30リ
ットルのメタノール中に撹拌しながら1時間かけて滴下
し、樹脂を沈澱させ、濾過して固形分のみを回収した
後、真空乾燥機中にて減圧下120℃で5時間乾燥させ
た。このようにして得られたポリイミドシロキサンのFT
-IRスペクトルを測定し、1650cm-1に現れるイミド化前
のアミド結合に基づく吸収と、1780cm-1に現れるイミド
環に基づく吸収からイミド化率を求めたところ、100%
イミド化されていることが判った。
Next, 60 g of xylene was added to the system,
Remove the dry nitrogen inlet tube, replace with a Dean starch reflux condenser, remove the ice bath and heat in an oil bath to raise the temperature of the system. Heating was continued while removing the water generated by the imidation out of the system by azeotropic distillation with toluene,
The reaction was terminated 5 hours after imidation was carried out at 0 to 160 ° C and no more water was generated. The polyimide varnish was added dropwise to 30 liters of methanol with stirring over 1 hour to precipitate the resin, and only the solid content was recovered by filtration, followed by drying in a vacuum dryer at 120 ° C. under reduced pressure for 5 hours. I let it. FT of the polyimide siloxane thus obtained
-IR spectrum was measured, and the imidation ratio was determined from the absorption based on the amide bond before imidization appearing at 1650 cm -1 and the absorption based on the imide ring appearing at 1780 cm -1 , which was 100%
It was found to be imidized.

【0030】このポリイミドシロキサンをジエチレング
リコールジメチルエーテル(ジグライム)に溶解させ、
濃度10%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの
銀粉をポリイミドシロキサンに対して400wt%となるよ
うに加え、三本ロールを用いて均一に分散させ、ペース
ト状物を得た。このペーストをアプリケータを用いて表
面研磨されたテフロン板の上にキャストし、乾燥機中で
120℃、5時間加熱処理をすることによって溶剤を揮散
させ、テフロン基板から剥がして、厚み25μmのフィル
ムを作成した。このフィルムから、3mm×3.5mm角の大き
さを切出し、銅製のリードフレームと、3mm×3.5mm角の
大きさのシリコンチップの間に挟み、250℃のホットプ
レート上で500gの荷重をかけ(約4.76kgf/cm2)、10
秒で熱圧着した後、室温まで冷却してプッシュプルゲー
ジで剪断強度を測定したところ、10kgf以上の値のとこ
ろでシリコンチップが破壊して正確な剪断強度が得られ
ない程、強固に接着していた。次に、260℃のホットプ
レート上に10秒間、同様の接着サンプルを置いて剪断強
度を測定したところ、2.0kgfの強度が得られた。破壊の
モードは凝集破壊であり、リードフレームにもチップに
もフィルムの一部が残っていた。またフィルムにはボイ
ドは全く認められなかった。このフィルムの体積抵抗率
を測定したところ、1×10-4[Ω-cm]であり、導電性に
優れていることを確認した。
This polyimide siloxane is dissolved in diethylene glycol dimethyl ether (diglyme),
The concentration was adjusted to 10%. Silver powder having an average particle size of 3 μm was added to the varnish so as to be 400 wt% with respect to the polyimidesiloxane, and uniformly dispersed using a three-roll mill to obtain a paste. This paste is cast on a polished Teflon plate using an applicator, and dried in a dryer.
The solvent was volatilized by heating at 120 ° C. for 5 hours, and peeled off from the Teflon substrate to form a film having a thickness of 25 μm. From this film, cut out a 3mm x 3.5mm square size, sandwiched between a copper lead frame and a 3mm x 3.5mm square silicon chip, and applied a 500g load on a 250 ° C hot plate ( About 4.76kgf / cm 2 ), 10
After thermocompression bonding in seconds, cooled to room temperature and measured the shear strength with a push-pull gauge, the silicon chip was broken at a value of 10 kgf or more, and it was so strong that accurate shear strength could not be obtained. Was. Next, the same adhesive sample was placed on a hot plate at 260 ° C. for 10 seconds, and the shear strength was measured. As a result, a strength of 2.0 kgf was obtained. The mode of failure was cohesive failure, and a part of the film remained on both the lead frame and the chip. No void was observed in the film. When the volume resistivity of this film was measured, it was 1 × 10 −4 [Ω-cm], and it was confirmed that the film had excellent conductivity.

【0031】(実施例2)酸無水物成分として、下記式
の酸末端シリコーン化合物10.56g(0.01モル)、
Example 2 As an acid anhydride component, 10.56 g (0.01 mol) of an acid-terminated silicone compound represented by the following formula:

【0032】[0032]

【化6】 Embedded image

【0033】ODPA18.61g(0.06モル)、3,3',4,4'
-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTD
A)12.89g(0.04モル)及びジアミン成分として、下
記式のジアミノシリコーン化合物58.92g(0.07モ
ル)、
ODPA 18.61 g (0.06 mol), 3,3 ', 4,4'
-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTD
A) 12.89 g (0.04 mol) and 58.92 g (0.07 mol) of a diaminosilicone compound represented by the following formula as a diamine component:

【0034】[0034]

【化7】 Embedded image

【0035】2,4-ジアミノトルエン3.67g(0.03モル)
を用いた以外は実施例1と同様の方法によってポリイミ
ドシロキサンを得、イミド化率を測定したところ、100
%であった。
3.67 g (0.03 mol) of 2,4-diaminotoluene
Polyimide siloxane was obtained in the same manner as in Example 1 except that was used, and the imidation ratio was measured.
%Met.

【0036】この樹脂をジグライムとブチルセルソルブ
アセテート(BCA)の1対1混合溶媒で溶解し、濃度
15%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの銀粉
並びにニッケル粉を樹脂に対してそれぞれ300wt%、150
wt%となるよう添加し、三本ロールを用いて均一に分散
してペースト状物を得た。このペーストをアプリケータ
を用いて表面研磨したテフロン板の上にキャストし、乾
燥機中で120℃、5時間加熱処理して溶剤を揮散させた
後、テフロン基板から剥がして厚さ25μmのフィルムを
作成した。このフィルムから3mm×3.5mm角の大きさを切
り出し、銅製のリードフレームと3mm×3.5mm角の大きさ
のシリコンチップの間に挟み、250℃のホットプレート
上で500gの荷重を10秒かけ接着した。室温で剪断強度
を測定したところ、10kgf以上でシリコンチップが破壊
した。次に、260℃のホットプレート上に10秒間、同様
の接着サンプルを置いて剪断強度を測定したところ、1.
0kgfであった。接着フィルム面にはボイドは全く認めら
れなかった。このフィルムの体積抵抗率を測定したとこ
ろ、1.5×10-4[Ω-cm]であり、導電性であることが確認
された。
This resin was dissolved in a one-to-one mixed solvent of diglyme and butyl cellosolve acetate (BCA).
Adjusted to 15%. Silver powder and nickel powder having an average particle size of 3 μm were added to the varnish in an amount of 300% by weight,
wt%, and uniformly dispersed using a three-roll mill to obtain a paste. This paste was cast on a Teflon plate whose surface was polished using an applicator, and after being heated at 120 ° C. for 5 hours to evaporate the solvent in a dryer, the film was peeled off from the Teflon substrate to form a 25 μm thick film. Created. Cut out a 3 mm x 3.5 mm square from this film, sandwich it between a copper lead frame and a 3 mm x 3.5 mm square silicon chip, and apply a 500 g load on a 250 ° C hot plate for 10 seconds did. When the shear strength was measured at room temperature, the silicon chip was broken at 10 kgf or more. Next, the same adhesive sample was placed on a hot plate at 260 ° C. for 10 seconds to measure the shear strength.
It was 0 kgf. No voids were observed on the adhesive film surface. When the volume resistivity of this film was measured, it was 1.5 × 10 −4 [Ω-cm], and it was confirmed that the film was conductive.

【0037】(実施例及び比較例1〜4) ポリイミドシロキサンの組成、イミド化時間、導電性フ
ィラーの種類、添加量以外は全て実施例1の方法と同様
に行ない、表1の結果を得た。
(Example 3 and Comparative Examples 1 to 4) Except for the composition of the polyimide siloxane, the imidization time, the type of the conductive filler, and the amount added, the same procedure as in Example 1 was carried out, and the results shown in Table 1 were obtained. Was.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】実施例1、2並びに表1の実施例のよう
に、酸末端シリコーン化合物が酸成分のうちモル数の割
合で0.09以上0.33以下、ジアミノシリコーン化
合物がアミン成分のうちモル数の割合で0.4以上0.
7以下であり、酸無水物とジアミンのモル比が0.8〜1.2
の範囲にあり、イミド化率が80%以上のポリイミドシロ
キサンを用いて、導電性フィラーを樹脂に対して50〜90
0wt%の割合で均一分散させフィルム化したものは、250
℃以下の比較的低い温度で、しかも5kgf/cm2以下という
比較的低い圧力で、10秒間以内という短時間の熱圧着条
件で強固な接着強度が得られ、さらに260℃という高温
においても1kgf以上の接着強度を有していた。また得
られた接着フィルムの体積抵抗率で全て1×10-3[Ω-c
m]以下であり、良好な導電性を有していた。
As shown in Examples 1 and 2 and Example 3 in Table 1, the acid-terminated silicone compound was used in proportion to the number of moles of the acid component.
0.09 to 0.33 in total, diaminosilicone
The compound is 0.4 or more in terms of the mole number of the amine component.
7 or less, and the molar ratio between the acid anhydride and the diamine is 0.8 to 1.2.
, And a polyimide filler having an imidization ratio of 80% or more is used.
250wt%, uniformly dispersed at 0wt%
Strong bonding strength can be obtained at a relatively low temperature of 5 ° C or less and a relatively low pressure of 5 kgf / cm 2 or less under a short thermocompression bonding condition of 10 seconds or less, and 1 kgf or more even at a high temperature of 260 ° C. Had an adhesive strength of In addition, all the obtained adhesive films have a volume resistivity of 1 × 10 −3 [Ω-c
m] or less, and had good conductivity.

【0040】一方、比較例1のように酸末端シリコーン
化合物が酸成分のうちモル数の割合で0.09未満であ
るか又は0.33を越えるか、ジアミノシリコーン化合
物がアミン成分のうちモル数の割合で0.4未満である
か又は0.7を越えると、250℃、5kgf/cm2、10秒の熱
圧着条件では充分な接着強度が得られなかった。比較例
2のように導電性フィラーの添加量が樹脂分に対して50
wt%未満になると充分な導電性が得られなかった。また
逆に比較例3のように、フィラーの添加量が900wt%を
越えると、接着成分である樹脂の相対量が減少し、充分
な接着強度が得られなかった。比較例4のように、酸二
無水物とジアミンとの反応の当量比が一方に極端にずれ
ると、樹脂の分子量が上がらず、充分な接着強度が得ら
れなかった。比較例5のようにイミド化率が80%未満で
あると、熱圧着後のフィルム面にボイドが発生してしま
うため、充分な接着強度が得られなかった。以上のよう
に本発明の条件以外では良好な結果を得ることができな
かった。
On the other hand, acid-terminated silicone as in Comparative Example 1
If the compound is less than 0.09 in terms of moles of the acid component
Or more than 0.33, diaminosilicone compound
Is less than 0.4 in mole ratio of amine component
If it exceeds or exceeds 0.7, sufficient adhesive strength cannot be obtained under the thermocompression bonding conditions of 250 ° C., 5 kgf / cm 2 and 10 seconds. As in Comparative Example 2, the amount of conductive filler added was 50
If the amount is less than wt%, sufficient conductivity cannot be obtained. Conversely, as in Comparative Example 3, when the added amount of the filler exceeded 900% by weight, the relative amount of the resin as the adhesive component decreased, and sufficient adhesive strength could not be obtained. As in Comparative Example 4, when the equivalent ratio of the reaction between the acid dianhydride and the diamine was extremely shifted to one side, the molecular weight of the resin did not increase, and sufficient adhesive strength could not be obtained. When the imidation ratio is less than 80% as in Comparative Example 5, voids are generated on the film surface after thermocompression bonding, and thus sufficient adhesive strength cannot be obtained. As described above, good results could not be obtained except under the conditions of the present invention.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明の熱圧着可能なフィルム状接着剤
は、銅、シリコンなどの金属、セラミックスへの接着性
に優れており、室温だけでなく、260℃のような半田溶
融温度でも充分な接着強度を有する耐熱性に優れたもの
である。また接着層は充分な導電性を有していた。しか
も従来にない、低温、低圧、短時間で熱圧着できる量産
性の点においても有利な導電性フィルム状接着剤を得る
ことができる。
The film adhesive that can be thermocompression-bonded according to the present invention is excellent in adhesion to metals such as copper and silicon, and ceramics, and is sufficient not only at room temperature but also at a solder melting temperature of 260 ° C. It has excellent adhesive strength and excellent heat resistance. The adhesive layer had sufficient conductivity. In addition, it is possible to obtain a conductive film adhesive which is unconventional and is advantageous in terms of mass productivity which can be thermocompression-bonded at low temperature, low pressure and in a short time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−234031(JP,A) 特開 昭62−48784(JP,A) 特開 昭59−64685(JP,A) 特表 昭59−501215(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-234031 (JP, A) JP-A-62-48784 (JP, A) JP-A-59-64685 (JP, A) 501215 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 式(1)又は(2)で示される酸末端シ
リコーン化合物Aモル及び他の酸二無水物成分として、
4,4'-オキシジフタル酸二無水物及び/又は3,3',4,4'-
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物Bモルからな
る酸成分(但し、0.09≦A/(A+B)≦0.3
3)と、式(3)で示されるジアミノシリコーン化合物
Cモル及び他のジアミン成分として1,3-ビス(3-アミノ
フェノキシ)ベンゼン及び/又は2,4-ジアミノトルエン
Dモルからなるアミン成分(但し、0.4≦C/(C+
D)≦0.7)とを、(A+B)/(C+D)が0.8〜
1.2の範囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化
されているポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキ
サンに対して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる
熱圧着可能な導電性フィルム状接着剤。 【化1】 【化2】
1. A mole of an acid-terminated silicone compound represented by the formula (1) or (2) and other acid dianhydride components :
4,4'-oxydiphthalic dianhydride and / or 3,3 ', 4,4'-
Benzophenonetetracarboxylic dianhydride B mole
Acid component (however, 0.09 ≦ A / (A + B) ≦ 0.3
3) and 1,3-bis (3-amino) as C moles of the diaminosilicone compound represented by the formula (3) and other diamine components.
Phenoxy) benzene and / or 2,4-diaminotoluene
Amine component consisting of D moles (provided that 0.4 ≦ C / (C +
D) ≦ 0.7) , and ( A + B) / (C + D) is 0.8 to
A thermocompression-bondable conductive film adhesive comprising a polyimide siloxane which is reacted in the range of 1.2 and at least 80% of which is imidized, and 50 to 900% by weight of a conductive filler with respect to the polyimide siloxane. Embedded image Embedded image
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