JP2656971B2 - ガラス導波路レーザーアレイ - Google Patents
ガラス導波路レーザーアレイInfo
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- glass waveguide
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- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
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- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は希土類元素を添加したガラス導波路レーザー
アレイに関する。
アレイに関する。
［従来技術］ 近年、光ファイバのコアに希土類元素を添加した光フ
ァイバレーザーの研究が活発化し、各種レーザー光源
用、光増幅媒質用として注目されるようになってきた。
ァイバレーザーの研究が活発化し、各種レーザー光源
用、光増幅媒質用として注目されるようになってきた。
第４図は従来の光ファイバレーザーの構成例を示した
ものである（木村，中沢：光ファイバレーザーの発振特
性とその光通信への応用、レーザー学会研究会、PTM−8
7−16,PP.31〜37,1988年１月）。これは光ファイバのコ
アに希土類元素を添加した光ファイバの両端面をレーザ
ーミラーに直に接触させるか、光ファイバの両端面に誘
電体多層膜を蒸着させて光共振器を構成したものであ
る。励起光源にはArイオンレーザー（波長514.5nm）、
色素レーザー（波長650nm）、半導体レーザー（波長830
nm）等を用いて端面励起が行われる。また光増幅器の例
として第５図に示す構成が上記両氏により提案されてい
る。即ち、希土類を添加した光ファイバ内に信号光を伝
搬させ、励起光は光ファイバカップラを用いて合成さ
せ、また光ファイバカップラで分離させる構成である。
ものである（木村，中沢：光ファイバレーザーの発振特
性とその光通信への応用、レーザー学会研究会、PTM−8
7−16,PP.31〜37,1988年１月）。これは光ファイバのコ
アに希土類元素を添加した光ファイバの両端面をレーザ
ーミラーに直に接触させるか、光ファイバの両端面に誘
電体多層膜を蒸着させて光共振器を構成したものであ
る。励起光源にはArイオンレーザー（波長514.5nm）、
色素レーザー（波長650nm）、半導体レーザー（波長830
nm）等を用いて端面励起が行われる。また光増幅器の例
として第５図に示す構成が上記両氏により提案されてい
る。即ち、希土類を添加した光ファイバ内に信号光を伝
搬させ、励起光は光ファイバカップラを用いて合成さ
せ、また光ファイバカップラで分離させる構成である。
［発明が解決しようとする課題］ 前述した光ファイバレーザー及び光ファイバ増幅器
は、 光ファイバのコア径が細径であるため励起パワー密
度が大きくなり、励起効率を上げられること 相互作用長を長くとれること 特に石英系ファイバの場合、低損失であること 可撓性があること 等の特徴がある。しかしながら、他の光部品（例えば光
源、受光器、光変調器、光カプラ、光合分波器、光フィ
ルタ、光スイッチ等）と組合せて多機能光集積回路を実
現しようとすると、実装が複雑になり、低コスト化が難
しく、又小形化、高性能化も容易でないといった問題点
があった。
は、 光ファイバのコア径が細径であるため励起パワー密
度が大きくなり、励起効率を上げられること 相互作用長を長くとれること 特に石英系ファイバの場合、低損失であること 可撓性があること 等の特徴がある。しかしながら、他の光部品（例えば光
源、受光器、光変調器、光カプラ、光合分波器、光フィ
ルタ、光スイッチ等）と組合せて多機能光集積回路を実
現しようとすると、実装が複雑になり、低コスト化が難
しく、又小形化、高性能化も容易でないといった問題点
があった。
本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解決す
ることにあり、発振波長、発振出力のそろった複数個の
ガラス導波路レーザーをアレイ状に構成させることがで
きるガラス導波路レーザーアレイを提供することにあ
る。
ることにあり、発振波長、発振出力のそろった複数個の
ガラス導波路レーザーをアレイ状に構成させることがで
きるガラス導波路レーザーアレイを提供することにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明のガラス導波路レーザーアレイは、入力がＭ
（Ｍ≧１）で出力がＮ（Ｎ≧２）のＭ対Ｎ型光スターカ
プラの出力に、並列にＮ個並べられた希土類元素添加の
直線導波路の入、出力端面に所望の反射率のミラーを形
成したガラス導波路型共振器アレイを接続し、Ｍ対Ｎ型
光スターカプラの入力より励起光を入力されるように構
成したものである。上記光スターカプラ、ガラス導波路
型共振器アレイを夫々、個別或いは一体的にガラス導波
路構造で実現させることにより、発振波長、発振出力の
そろったガラス導波路レーザーアレイを実現されたもの
である。
（Ｍ≧１）で出力がＮ（Ｎ≧２）のＭ対Ｎ型光スターカ
プラの出力に、並列にＮ個並べられた希土類元素添加の
直線導波路の入、出力端面に所望の反射率のミラーを形
成したガラス導波路型共振器アレイを接続し、Ｍ対Ｎ型
光スターカプラの入力より励起光を入力されるように構
成したものである。上記光スターカプラ、ガラス導波路
型共振器アレイを夫々、個別或いは一体的にガラス導波
路構造で実現させることにより、発振波長、発振出力の
そろったガラス導波路レーザーアレイを実現されたもの
である。
［実 施 例］ 第１図に本発明のガラス導波路レーザーアレイの実施
例を示す。同図（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ′断面図を示したものである。これは４つのガラス導
波路レーザーをアレイにした場合の実施例を示したもの
であり、１対４型スターカプラ５の入力のコア３へ励起
光７（例えば、波長514.5nmのArイオンレーザーの光信
号）を入射させ、ガラス導波路型共振器アレイ６の出力
側へレーザー発振した光信号（矢印10−1,10−2,10−３
及び10−４で示した方向に出力する光信号）を取り出す
ようにしている。ここで上記出力光10−１〜10−４の発
振波長、発振出力は本発明では均一に保たれることが特
徴である。以下に第１図の詳細を述べる。１対４型光ス
ターカプラ５、ガラス導波路型共振器アレイ６は基板１
（例えば、Si、ガラス、LiNbO3,等）上に低屈折率層２
（屈折率n3、例えばSiO2、或いはSiO2にP,B,Ti,Ge,F等
の添加物を少なくとも１種含んだガラス、等）形成さ
せ、その上に屈折率ｎc（ｎc＞ｎs）のコア導波路３を
略断面矩形状にパターン化させる。その後で屈折率ｎce
（ｎce＜ｎc）のクラッド４を全面に被覆した構成であ
る。コア３とクラッド４（或いは低屈折率層２）の比屈
折率差は0.数％程度に選ばれ、単一モード伝送用導波路
構造に設定されている。１対４型光スターカプラ５は、
Ｙ分岐器13−1,13−2,13−３を縦続接続することによっ
て構成されている。ガラス導波路型共振器アレイ６には
４つの直線状のコア導波路９−１〜９−４を並列に並
べ、コア導波路の両端面にミラー８−1,8−２を設ける
ことによって構成されている。コア導波路９−１〜９−
４にはSiO2にTi,Ge,P,Al,B等の屈折率制御用添加物を少
なくとも１種と希土類元素（例えばEr,Nd,Yb,Ce,Ho,Tn
等）を少なくとも１種含んだガラスが用いられる。ミラ
ー８−１には反射率99％のものが、又ミラー８−２には
反射率98％のものが用いられる。このミラー８−１は光
スターカプラ５とガラス導波路型共振器アレイ６との間
に溝を形成させ、その溝に挿入するようにするか、蒸着
によりコア導波路端面に誘電体多層膜を形成させるよう
にして設ける。又ミラー８−２もコア導波路端面に直に
接触させるか、蒸着により端面に誘電体多層膜を形成さ
せるようにしてもよい。さて、１対４型光スターカプラ
５の入力側コア３へ入射した励起光７はＹ分岐器13−1,
13−2,13−３により等分配に分けられ、矢印７−１〜７
−４のようにミラー８−１に入射する。上記各々の光信
号７−１〜７−４はコア導波路９−１〜９−４内に入
り、ミラー８−１と８−２間で光共振器を構成し、連続
発振光をミラー８−２を通して矢印10−１〜10−４のよ
うに出力させることが可能である。この構成ではガラス
導波路型共振器アレイ６中のコア導波路９−１〜９−４
を均一に作成できるため、レーザー発振波長及び発振出
力を一様にすることができる。
例を示す。同図（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ′断面図を示したものである。これは４つのガラス導
波路レーザーをアレイにした場合の実施例を示したもの
であり、１対４型スターカプラ５の入力のコア３へ励起
光７（例えば、波長514.5nmのArイオンレーザーの光信
号）を入射させ、ガラス導波路型共振器アレイ６の出力
側へレーザー発振した光信号（矢印10−1,10−2,10−３
及び10−４で示した方向に出力する光信号）を取り出す
ようにしている。ここで上記出力光10−１〜10−４の発
振波長、発振出力は本発明では均一に保たれることが特
徴である。以下に第１図の詳細を述べる。１対４型光ス
ターカプラ５、ガラス導波路型共振器アレイ６は基板１
（例えば、Si、ガラス、LiNbO3,等）上に低屈折率層２
（屈折率n3、例えばSiO2、或いはSiO2にP,B,Ti,Ge,F等
の添加物を少なくとも１種含んだガラス、等）形成さ
せ、その上に屈折率ｎc（ｎc＞ｎs）のコア導波路３を
略断面矩形状にパターン化させる。その後で屈折率ｎce
（ｎce＜ｎc）のクラッド４を全面に被覆した構成であ
る。コア３とクラッド４（或いは低屈折率層２）の比屈
折率差は0.数％程度に選ばれ、単一モード伝送用導波路
構造に設定されている。１対４型光スターカプラ５は、
Ｙ分岐器13−1,13−2,13−３を縦続接続することによっ
て構成されている。ガラス導波路型共振器アレイ６には
４つの直線状のコア導波路９−１〜９−４を並列に並
べ、コア導波路の両端面にミラー８−1,8−２を設ける
ことによって構成されている。コア導波路９−１〜９−
４にはSiO2にTi,Ge,P,Al,B等の屈折率制御用添加物を少
なくとも１種と希土類元素（例えばEr,Nd,Yb,Ce,Ho,Tn
等）を少なくとも１種含んだガラスが用いられる。ミラ
ー８−１には反射率99％のものが、又ミラー８−２には
反射率98％のものが用いられる。このミラー８−１は光
スターカプラ５とガラス導波路型共振器アレイ６との間
に溝を形成させ、その溝に挿入するようにするか、蒸着
によりコア導波路端面に誘電体多層膜を形成させるよう
にして設ける。又ミラー８−２もコア導波路端面に直に
接触させるか、蒸着により端面に誘電体多層膜を形成さ
せるようにしてもよい。さて、１対４型光スターカプラ
５の入力側コア３へ入射した励起光７はＹ分岐器13−1,
13−2,13−３により等分配に分けられ、矢印７−１〜７
−４のようにミラー８−１に入射する。上記各々の光信
号７−１〜７−４はコア導波路９−１〜９−４内に入
り、ミラー８−１と８−２間で光共振器を構成し、連続
発振光をミラー８−２を通して矢印10−１〜10−４のよ
うに出力させることが可能である。この構成ではガラス
導波路型共振器アレイ６中のコア導波路９−１〜９−４
を均一に作成できるため、レーザー発振波長及び発振出
力を一様にすることができる。
第２図も本発明のガラス導波路レーザーアレイの実施
例を示したものである。図中第１図と同じ符号を用いて
いるものは同一機能を有するものである。第１図と違う
点は、１対４型光スターカプラ５とガラス導波路型共振
器アレイ６を一体化構造で作らなかった場合に両者を接
続しなければならないが、その場合に接続損失をできる
限り小さく抑えるために上記光スターカプラ５と共振器
アレイ６に基準マーカー11−1,11−2,12−1,12−２を設
けておいて、これらのマーカーを基準にして接続を行な
うようにした点である。
例を示したものである。図中第１図と同じ符号を用いて
いるものは同一機能を有するものである。第１図と違う
点は、１対４型光スターカプラ５とガラス導波路型共振
器アレイ６を一体化構造で作らなかった場合に両者を接
続しなければならないが、その場合に接続損失をできる
限り小さく抑えるために上記光スターカプラ５と共振器
アレイ６に基準マーカー11−1,11−2,12−1,12−２を設
けておいて、これらのマーカーを基準にして接続を行な
うようにした点である。
第３図は本発明のガラス導波路レーザーアレイの別の
実施例を示したものである。これは１対４型光スターカ
プラ５の代りに２対４型光スターカプラ17を用いた場合
である。この２対４型光スターカプラ17は方向性結合器
14−１〜14−３を用いて構成されている。上記方向性結
合器14−１〜14−３を用いると、ガラス導波路型共振器
アレイ６でレーザー発振した光信号の約１％の光信号が
上記光スターカプラ17側へ漏洩し、矢印16−1,16−２方
向へ伝搬する。そのため、方向性結合器の一端に受光素
子15−1,15−２を設けておけば、これから夫々のレーザ
ーの発振波長及びそれらの変動の具合等をモニターする
ことができる。
実施例を示したものである。これは１対４型光スターカ
プラ５の代りに２対４型光スターカプラ17を用いた場合
である。この２対４型光スターカプラ17は方向性結合器
14−１〜14−３を用いて構成されている。上記方向性結
合器14−１〜14−３を用いると、ガラス導波路型共振器
アレイ６でレーザー発振した光信号の約１％の光信号が
上記光スターカプラ17側へ漏洩し、矢印16−1,16−２方
向へ伝搬する。そのため、方向性結合器の一端に受光素
子15−1,15−２を設けておけば、これから夫々のレーザ
ーの発振波長及びそれらの変動の具合等をモニターする
ことができる。
尚、本発明は上記実施例に限定されない。まずアレイ
状に配列させるコア導波路の数は２個以上、いくらでも
よい。例えばガラス導波路共振器アレイ６のコア導波路
９−１〜９−４の間隔は百数十μｍ程度の間隔で形成さ
せることができるので、コア導波路をアレイ状に、10個
並列に配列させても2mm以下の幅である。従って、例え
ば直径３インチの基板に形成させたとすると、一度に数
10個分のガラス導波路型共振器を均一に作ることがで
き、結果的に非常に低コストに構成できる。ミラー８−
1,8−２はガラス導波路型共振器アレイ６の両端面に全
面に設ける以外に、各々のコア導波路端面のみに設けて
もよい。又コア導波路９−１〜９−４のカットオフ波長
はレーザー発振波長よりも低く選ばれる。更に導波路構
造としては、本発明の実施例で示した埋込み型以外に、
リッジ型等を用いてもよい。又光スターカプラには１対
Ｎ型,2対Ｎ型、以外にＮ対Ｎ型を用いてもよい。
状に配列させるコア導波路の数は２個以上、いくらでも
よい。例えばガラス導波路共振器アレイ６のコア導波路
９−１〜９−４の間隔は百数十μｍ程度の間隔で形成さ
せることができるので、コア導波路をアレイ状に、10個
並列に配列させても2mm以下の幅である。従って、例え
ば直径３インチの基板に形成させたとすると、一度に数
10個分のガラス導波路型共振器を均一に作ることがで
き、結果的に非常に低コストに構成できる。ミラー８−
1,8−２はガラス導波路型共振器アレイ６の両端面に全
面に設ける以外に、各々のコア導波路端面のみに設けて
もよい。又コア導波路９−１〜９−４のカットオフ波長
はレーザー発振波長よりも低く選ばれる。更に導波路構
造としては、本発明の実施例で示した埋込み型以外に、
リッジ型等を用いてもよい。又光スターカプラには１対
Ｎ型,2対Ｎ型、以外にＮ対Ｎ型を用いてもよい。
［発明の効果］ 本発明は発振波長、発振出力の均一なガラス導波路レ
ーザーアレイ状に構成することができる。しかも大量生
産することができるので、非常に低コストなガラス導波
路レーザーアレイを提供することができる。
ーザーアレイ状に構成することができる。しかも大量生
産することができるので、非常に低コストなガラス導波
路レーザーアレイを提供することができる。
第１図〜第３図は本発明のガラス導波路レーザーアレイ
の実施例を示したものである。第４図は従来の光ファイ
バレーザーの構成例、第５図は従来の光ファイバ増幅器
の構成例を夫々示したものである。 1:基板、 2:低屈折率層、 3:コア導波路、 4:クラッド、 5:1対４型光スターカプラ、 6:ガラス導波路型共振器アレイ、 ８−1,8−2:ミラー、 ９−１〜９−4:コア導波路、 11−1,11−2:基準マーカー、 12−1,12−2:基準マーカー、 13−１〜13−3:Y分岐器、 14−１〜14−3:方向性結合器、 15:受光素子、 17:2対４型光スターカプラ。
の実施例を示したものである。第４図は従来の光ファイ
バレーザーの構成例、第５図は従来の光ファイバ増幅器
の構成例を夫々示したものである。 1:基板、 2:低屈折率層、 3:コア導波路、 4:クラッド、 5:1対４型光スターカプラ、 6:ガラス導波路型共振器アレイ、 ８−1,8−2:ミラー、 ９−１〜９−4:コア導波路、 11−1,11−2:基準マーカー、 12−1,12−2:基準マーカー、 13−１〜13−3:Y分岐器、 14−１〜14−3:方向性結合器、 15:受光素子、 17:2対４型光スターカプラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井本 克之 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日 立電線株式会社電線研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−293684（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】光信号をＮ（Ｎ≧２）分配する光スターカ
プラの出力に、並列にＮ個並べられた希土類元素添加の
直線導波路の入、出力端面に所望の反射率のミラーを形
成したガラス導波路型共振器アレイを接続した構成と
し、該光スターカプラの入力側より励起光を入射させ、
該ガラス導波路型共振器アレイの出力よりレーザー発振
光を出力させることを特徴とするガラス導波路レーザー
アレイ。 - 【請求項２】請求項第１項において、光スターカプラ及
びガラス導波路型共振器アレイはプレーナ型の導波路構
造からなり、基板上に形成された低屈折率のガラス層の
中に高屈折率の略断面矩形状のコア導波路を有する構造
で構成したことを特徴とするガラス導波路レーザーアレ
イ。 - 【請求項３】請求項第１項又は第２項において、ガラス
導波路型共振器アレイの直線導波路のカットオフ波長は
レーザー発振波長よりも低いことを特徴とするガラス導
波路レーザーアレイ。 - 【請求項４】請求項第１〜３項のいずれか１項におい
て、導波路は埋込み型、或いはリッジ型からなることを
特徴とするガラス導波路レーザーアレイ。 - 【請求項５】請求項第１項又は第２項において、光スタ
ーカプラにはＹ分岐器、或いは方向性結合器を組合せた
ものを用い、入力対出力のポート数はＭ対Ｎ（Ｍ＝1,2,
3,…,N＝2,3,4,…）からなることを特徴とするガラス導
波路レーザーアレイ。 - 【請求項６】請求項第１〜４項のいずれか１項におい
て、ガラス導波路型共振器のアレイのコア導波路はSi
O2、或いは屈折率制御用添加物を添加したSiO2に少なく
とも希土類元素を１種添加したガラスを用いたことを特
徴とするガラス導波路レーザーアレイ。 - 【請求項７】請求項第１〜６項のいずれか１項におい
て、光スターカプラに方向性結合器を用い、該方向性結
合器の使用していない入力ポートに受光素子を設け、ガ
ラス導波路型共振器アレイの入力側から漏洩してきたレ
ーザー発振光をモニタするようにしたことを特徴とする
ガラス導波路レーザーアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250689A JP2656971B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | ガラス導波路レーザーアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250689A JP2656971B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | ガラス導波路レーザーアレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222186A JPH02222186A (ja) | 1990-09-04 |
| JP2656971B2 true JP2656971B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=12637951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4250689A Expired - Fee Related JP2656971B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | ガラス導波路レーザーアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2656971B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3091342B2 (ja) * | 1993-01-14 | 2000-09-25 | ケイディディ株式会社 | ガラス発光素子 |
| US5448586A (en) * | 1993-09-20 | 1995-09-05 | At&T Corp. | Pumping arrangements for arrays of planar optical devices |
| GB9710062D0 (en) * | 1997-05-16 | 1997-07-09 | British Tech Group | Optical devices and methods of fabrication thereof |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP4250689A patent/JP2656971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02222186A (ja) | 1990-09-04 |
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