JP2653183B2 - Linear motor - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、例えば、産業用ロボットなどのように比
較的大きな推力が要求されるFA(ファクトリーオートメ
ーション)機器に用いて好適なリニアモータに関するも
のである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor suitable for use in factory automation (FA) equipment requiring relatively large thrust, such as an industrial robot. It is.
「従来の技術」 周知のように、リニアパルスモータは一次側の各コイ
ルに供給されるパルス信号に基づき、一次側または二次
側スケールをステップ状に歩進動作させるものであり、
その磁気回路の構成は、第5図に示す通りである。この
図において、1は長尺板状の磁性体によって構成された
二次側スケールであり、その上面には、歯部1a,1a,…が
長手方向(図面左右方向)に沿って等間隔に形成されて
いる。この二次側スケール1の上面には一次側2が図示
せぬローラ等からなる支持機構によってスケール1の長
手方向へ移動自在に支持された状態で載置されている。
一次側2は、コ字状の鉄心4および5と、鉄心4の各磁
極4aおよび4bに各々巻回されたコイル6aおよび6bと、鉄
心5の各磁極5aおよび5bに各々巻回されたコイル7aおよ
び7bと、鉄心4および5の上面に図示する極性で取り付
けられた永久磁石8および9と、永久磁石8および9の
上面に取り付けられた板状の磁性体によって構成される
バックプレート10とから構成されている。そして、磁極
4aの下端面には、二次側スケール1の歯部1aのピッチP
と同一ピッチの極歯14aが3個形成されており、磁極4b,
5a,5bの各下端面にも同様に極歯14b,15a,15bが各々形成
されている。これらの極歯15b,14b,15aは、極歯14aに対
して順次P/4ずつずらして配置され、これにより各磁極4
a,4b,5a,5bは互いに位相が90度ずつ異なった位置関係と
なっている。また、極歯14a,14b,15a,15bの各下端面と
歯部1aの上面との間には、所定の間隙Gが各々形成され
ている。そして、コイル6a,6b,7a,7bに所定のパルス信
号を順次供給することにより、コイル6a,6b,7a,7bが発
生する磁束と、永久磁石8,9が発生する磁束とが各磁極4
a,4b,5a,5bにおいて、順次加減され、二次側スケール1
に対する一次側2の磁気的安定位置が順次移動し、これ
により、一次側2が二次側スケール1の長手方向に沿っ
て移動する。なお、一次側2を固定すれば、二次側スケ
ール1が移動することになる。"Prior art" As is well known, a linear pulse motor is based on a pulse signal supplied to each coil on the primary side, and moves a primary or secondary scale in a stepwise manner.
The configuration of the magnetic circuit is as shown in FIG. In this figure, reference numeral 1 denotes a secondary scale composed of a long plate-shaped magnetic material, and on its upper surface, teeth 1a, 1a, ... are arranged at regular intervals along the longitudinal direction (the left-right direction in the drawing). Is formed. The primary side 2 is placed on the upper surface of the secondary scale 1 in a state where the primary side 2 is movably supported in the longitudinal direction of the scale 1 by a support mechanism including rollers (not shown).
The primary side 2 includes U-shaped iron cores 4 and 5, coils 6a and 6b wound around magnetic poles 4a and 4b of the iron core 4, and coils wound around magnetic poles 5a and 5b of the iron core 5, respectively. 7a and 7b, permanent magnets 8 and 9 attached to the upper surfaces of the iron cores 4 and 5 with the illustrated polarities, and a back plate 10 constituted by a plate-like magnetic material attached to the upper surfaces of the permanent magnets 8 and 9. It is composed of And the magnetic pole
The pitch P of the tooth portion 1a of the secondary scale 1
And three pole teeth 14a having the same pitch as the magnetic poles 4b,
Similarly, pole teeth 14b, 15a, 15b are formed on the lower end surfaces of 5a, 5b, respectively. These pole teeth 15b, 14b, 15a are sequentially shifted by P / 4 with respect to the pole teeth 14a.
The positions a, 4b, 5a, and 5b are different from each other in phase by 90 degrees. Further, a predetermined gap G is formed between each lower end surface of the pole teeth 14a, 14b, 15a, 15b and the upper surface of the tooth portion 1a. Then, by sequentially supplying predetermined pulse signals to the coils 6a, 6b, 7a, 7b, the magnetic flux generated by the coils 6a, 6b, 7a, 7b and the magnetic flux generated by the permanent magnets 8, 9 are each
a, 4b, 5a, and 5b, the secondary scale 1
, The magnetically stable position of the primary side 2 moves sequentially, whereby the primary side 2 moves along the longitudinal direction of the secondary scale 1. In addition, if the primary side 2 is fixed, the secondary scale 1 will move.
「発明が解決しようとする課題」 ところで、一般に、リニアパルスモータはオープンル
ープで高精度な位置決めが可能なことから、OA(オフィ
スオートメーション)機器のプリンタのキャリッジ駆動
等に用いられているものの、余り大きな推力が得られな
いため、産業用ロボットなどのように比較的大きな推力
が要求されるFA機器には、適用することが困難であっ
た。そこで、第6図および第7図に示すように、4個の
ローラ16,16,…によって二次側スケール1の長手方向へ
移動自在に支持された一次側2を2組用意し、これら2
組の一次側2,2を同一の二次側スケール1上に直列的に
載置し、連結板17とボルトおよびナットを介して連結す
ることによって推力の増大を図ることが考えられてい
た。しかしながら、このような構造では、2組の一次側
2,2の磁極間距離Lの設定に高い精度が要求され、組み
立て作業時における各部の寸法調整が極めて煩雑である
という問題があった。さらに、一次側2と二次側スケー
ル1との間の間隙Gの寸法は、ローラ16,16,…の取り付
け精度に依存して変化するため、2組の一次側2,2の各
間隙Gを一致させることは困難であり、これにより一次
側2,2毎に発生推力が異なり、円滑な動作を実現し得な
いという問題もあった。[Problems to be Solved by the Invention] In general, linear pulse motors are used for carriage drive of printers of OA (office automation) equipment because open-loop high-precision positioning is possible. Since a large thrust cannot be obtained, it has been difficult to apply it to FA equipment requiring a relatively large thrust, such as an industrial robot. Therefore, as shown in FIGS. 6 and 7, two sets of the primary side 2 movably supported in the longitudinal direction of the secondary scale 1 by four rollers 16, 16,.
It has been considered that the primary sides 2, 2 of the set are placed in series on the same secondary side scale 1 and connected to the connecting plate 17 via bolts and nuts to increase the thrust. However, in such a structure, two sets of primary sides
There is a problem that high accuracy is required for setting the distance L between the two magnetic poles, and that the dimensional adjustment of each part during the assembly operation is extremely complicated. Further, since the size of the gap G between the primary side 2 and the secondary scale 1 changes depending on the mounting accuracy of the rollers 16, 16,. Therefore, it is difficult to make the thrusts coincide with each other, so that the generated thrust is different for each of the primary sides 2 and 2, so that there is a problem that a smooth operation cannot be realized.
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、複
数の一次側ユニットを設けた場合において、各一次側ユ
ニット毎の発生推力の均一化を図ることができると共
に、組み立て作業時における各部の寸法調整も容易なリ
ニアモータを提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and in a case where a plurality of primary units are provided, it is possible to equalize the generated thrust for each of the primary units and to measure the dimensions of each part at the time of assembly work It is intended to provide a linear motor that can be easily adjusted.
「課題を解決するための手段」 複数磁極からなる一次側ユニットを、一定の方向に沿
って等間隔に歯部が形成された二次側スケールに対し
て、直線的に相対移動させるリニアモータにおいて、前
記一次側ユニットを複数個並列に配置し、かつ、各磁極
の二次側スケールとの空隙を均一とすべく、前記一次側
ユニットの各鉄心端部を載置,固定する少なくとも1つ
の開口部を形成してなる単一のフレームと、前記フレー
ムを前記一定の方向に沿って直線移動自在に支持する支
持機構とを具備することを特徴としている。[Means for Solving the Problems] A linear motor that linearly moves a primary unit composed of a plurality of magnetic poles linearly relative to a secondary scale on which teeth are formed at regular intervals along a certain direction. At least one opening for placing and fixing each core end of the primary unit so that a plurality of the primary units are arranged in parallel and the gap between each magnetic pole and the secondary scale is made uniform. And a support mechanism for supporting the frame so as to be linearly movable in the predetermined direction.
「作用」 上記構成によれば、二次側スケールの軌道に沿って直
線移動自在に支持された単一のフレームに形成された開
口部に、複数の一次側ユニットを並列に配置して各一次
側ユニットの各磁極を挿入すると共に、各一次側ユニッ
トの鉄心端部をフレームに載置するようにしたので、該
一次側ユニットの鉄心端部とフレームとが当接する面の
平坦度を管理するだけで、複数の一次側ユニットの各磁
極と、二次側スケールとの間の間隙の寸法を全て一致さ
せることができる。[Operation] According to the above configuration, a plurality of primary units are arranged in parallel in an opening formed in a single frame supported linearly movable along the trajectory of the secondary scale, and each primary unit is arranged in parallel. Since each magnetic pole of the side unit is inserted and the core end of each primary unit is placed on the frame, the flatness of the surface where the core end of the primary unit and the frame abut is managed. Only with this, all the dimensions of the gaps between the magnetic poles of the plurality of primary units and the secondary scale can be matched.
「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明
する。"Example" Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図はこの発明の第1実施例の構成を示す図であ
る。この図において、20は単一の金属部材等によって構
成され、スケール1の長手方向に沿って移動自在に支持
されたフレームである。このフレーム20の移動方向両端
部にはシャフト21,21が各々固定され、これらシャフト2
1,21の両端部にはベアリング(図示略)を介してローラ
16,16,…が回転自在に取り付けられている。フレーム20
の一側面に位置するローラ16,16には鍔部16a,16aが形成
されており、これら鍔部16a,16aがスケール1の側部に
沿って形成された溝1bに係合することにより、フレーム
20がスケール1の長手方向に沿って案内されるようにな
っている。また、フレーム20には、その移動方向に対し
て並列に配置された2組の一次側22,22が歯部1aと所定
の空隙を隔てて対向するように挿入される開口部20aが
形成されている。さらに、一次側22,22の各4つの磁極
とコイルを挟むようにして形成された凸部22a,22bと各
々嵌合する嵌合部20b,20b,…が形成されている。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a first embodiment of the present invention. In this figure, reference numeral 20 denotes a frame which is constituted by a single metal member or the like and is movably supported along the longitudinal direction of the scale 1. Shafts 21 and 21 are fixed to both ends of the frame 20 in the moving direction, respectively.
Rollers are attached to both ends of 1, 21 via bearings (not shown)
16,16, ... are rotatably mounted. Frame 20
Rollers 16, 16 located on one side face are formed with flanges 16a, 16a, and these flanges 16a, 16a engage with grooves 1b formed along the side of the scale 1, flame
20 is guided along the longitudinal direction of the scale 1. Further, the frame 20 is formed with an opening 20a into which two sets of primary sides 22, 22 arranged in parallel to the moving direction are inserted so as to face the tooth portion 1a with a predetermined gap therebetween. ing. Further, fitting portions 20b, 20b,... Respectively fitting with the convex portions 22a, 22b formed so as to sandwich the four magnetic poles of the primary sides 22, 22 and the coil are formed.
一次側22の構成は、第5図〜第7図に示した一次側2
と同様に構成され、互いに位相が90度ずつ異なる4個の
磁極4a,4b,5a,5bとコイル6a,6b,7a,7bが設けられてい
る。この場合、凸部22aおよび22bは、鉄心4および5と
一体に形成され、鉄心4および5の各磁極4a,4b,5a,5b
(第5図参照)と平行に、すなわち二次側スケール1へ
向けて突出するように形成されている。The configuration of the primary side 22 is the same as that of the primary side 22 shown in FIGS.
And four magnetic poles 4a, 4b, 5a, 5b and coils 6a, 6b, 7a, 7b having phases different from each other by 90 degrees are provided. In this case, the protrusions 22a and 22b are formed integrally with the iron cores 4 and 5, and the respective magnetic poles 4a, 4b, 5a and 5b of the iron cores 4 and 5 are formed.
(See FIG. 5), that is, so as to protrude toward the secondary scale 1.
このような実施例によれば、2組の一次側22,22の各
両端部の凸部22a,22bを、単一のフレーム20に形成され
た嵌合部20b,20b,‥に各々嵌合させると共に、鉄心4お
よび5の各端部をフレーム20の枠部分に載置させる構造
であるので、2組の一次側22,22の形状寸法が同じであ
れば、鉄心4および5の端部とフレーム20との当接面の
平面度を管理するだけで、2組の一次側22,22と二次側
スケール1との間の間隙を一致させることができ、これ
により、複数の一次側22,22を設けて推力の増大を図る
際に問題となる各一次側22,22毎の発生推力の均一化を
実現することができる。According to such an embodiment, the projections 22a, 22b at both ends of the two primary sides 22, 22 are fitted to the fitting portions 20b, 20b, ‥ formed on the single frame 20, respectively. And the end portions of the iron cores 4 and 5 are placed on the frame portion of the frame 20. Therefore, if the two primary sides 22 and 22 have the same shape and size, the end portions of the iron cores 4 and 5 are formed. The gap between the two sets of primary sides 22 and 22 and the secondary scale 1 can be made coincident only by managing the flatness of the contact surface between the secondary scale 1 and the primary side. It is possible to realize uniformity of the generated thrust on each primary side 22, 22, which is a problem when increasing the thrust by providing the 22,22.
次に、第2図はこの発明の第2実施例の構成を示す図
である。この図において、31は上面に5本のレール32,3
2,…が平行に配設されると共に、各レール32,32,…間に
4列の歯部31a,31a,…が各々形成された二次側スケール
である。これら5本のレール32,32,…には、その長手方
向に沿って移動自在な10個のガイド33,33,…が2個ずつ
設けられており、これらのガイド33,33,…の上に単一の
フレーム34が取り付けられている。このフレーム34に
は、その移動方向に対して並列に配置された4組の一次
側35,35,…が4列の歯部31a,31a,…と所定の空隙を隔て
て対向するように挿入される開口部34a,34a,…が各々形
成されていると共に、挿入された4組の一次側35,35,…
の3つの磁極とコイルを挟むように形成された凸部35a
および35bと各々嵌合する嵌合部34b,34b,…が形成され
ている。なお、一次側35は、互いに位相が120度ずつ異
なる3個の磁極とコイル36a,36b,36cを有する構造とな
っている。Next, FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a second embodiment of the present invention. In this figure, 31 has five rails 32,3 on the upper surface.
Are arranged in parallel, and four rows of teeth 31a, 31a,... Are formed between the rails 32, 32,. Each of these five rails 32, 32,... Is provided with two guides 33, 33,. , A single frame 34 is attached. In this frame 34, four sets of primary sides 35, 35,... Arranged in parallel with the moving direction are inserted so as to face the four rows of teeth 31a, 31a,. Are formed, and four sets of inserted primary sides 35, 35,.
Convex part 35a formed so as to sandwich the three magnetic poles and coil
And fitting portions 34b, 34b,. The primary side 35 has a structure having three magnetic poles and coils 36a, 36b, and 36c having phases different from each other by 120 degrees.
次に、第3図はこの発明の第3実施例の構成を示す図
である。この図において、二次側スケール41の上面に
は、1列の歯部41a,41a,…が形成されている共に、その
側部に沿って、2本のレール42,42が平行に配設されて
いる。これらのレール42,42には、その長手方向に沿っ
て移動自在な6個のガイド43,43,…が3個ずつ設けられ
ており、これらのガイド43,43,…の上に単一のフレーム
44が取り付けられている。このフレーム44には、その移
動方向に対して直列に配置された3組の一次側45,45,45
が歯部41aと所定の空隙を隔てて対向するように挿入さ
れる開口部44a,44a,44aが形成されていると共に、挿入
された3組の一次側45,45,45の3つの磁極とコイルを挟
むように形成された凸部45aおよび45bと各々嵌合する嵌
合部44b,44b,…が形成されている。なお、一次側45は、
互いに位相が120度ずつ異なる3個の磁極とコイル46a,4
6b,46cを有する構造となっている。Next, FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a third embodiment of the present invention. In this figure, a row of teeth 41a, 41a,... Is formed on the upper surface of the secondary scale 41, and two rails 42, 42 are arranged in parallel along the side. Have been. Each of these rails 42, 42 is provided with three guides 43, 43,... Movable along the longitudinal direction thereof, and a single unit is mounted on these guides 43, 43,. flame
44 is installed. This frame 44 has three sets of primary sides 45, 45, 45 arranged in series in the movement direction.
Are formed so as to face the tooth portion 41a with a predetermined gap therebetween, and three magnetic poles of the inserted three sets of primary sides 45, 45, 45 are formed. Fitting portions 44b, 44b,... Respectively fitting with the convex portions 45a and 45b formed so as to sandwich the coil are formed. The primary side 45 is
Three magnetic poles and coils 46a, 4 whose phases differ from each other by 120 degrees
The structure has 6b and 46c.
次に、第4図はこの発明の第4実施例の構成を示す図
である。この図において、二次側スケール51の上と下面
には、それらの両側部に沿って歯部51aと51bが各々形成
され、その中央部に沿って歯部51a,51bと位相が90度ず
れた歯部51cが形成されている。また二次側スケール51
の両側面には、2本のレール52,52が各々取り付けら
れ、これらのレール52,52には、その長手方向に沿って
移動自在な4個のガイド53,53,…が2個ずつ設けられて
おり、これらのガイド53,53,…に対して、上方からフレ
ーム54Aが取り付けられ、下方からフレーム54Bが取り付
けられている。これら各々単一のフレーム54Aおよび54B
には、その移動方向に対して直列に配置された2組の一
次側55,55が歯部51a,51b,51cと所定の空隙を隔てて対向
するように挿入される開口部54aが各々形成されている
と共に、挿入された2組の一次側55,55のの磁極とコイ
ルを挟むように形成された凸部55aおよび55bと各々嵌合
する嵌合部54b,54b,…が形成されている。上記一次側55
は、略E字状の分割鉄心56aと56bで略E字状の永久磁石
57を挾み、歯部51cと対向する中央の磁極55cにコイル58
を巻回した構造となっており、両端の磁極が凸部55a,55
bを兼ねている。Next, FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention. In this figure, on the upper and lower surfaces of the secondary scale 51, teeth 51a and 51b are respectively formed along both sides thereof, and the phases of the teeth 51a and 51b are shifted by 90 degrees along the center thereof. The tooth portion 51c is formed. Secondary scale 51
Two rails 52, 52 are respectively attached to both side surfaces of the rail, and these rails 52, 52 are provided with two guides 53, 53,. A frame 54A is attached to these guides 53 from above, and a frame 54B is attached from below. Each of these single frames 54A and 54B
Are formed with openings 54a each of which is inserted so that two sets of primary sides 55, 55 arranged in series with respect to the movement direction are opposed to the teeth 51a, 51b, 51c with a predetermined gap therebetween. Are formed, and fitting portions 54b, 54b,... Are formed to fit the convex portions 55a and 55b formed so as to sandwich the magnetic poles of the two sets of inserted primary sides 55, 55 and the coil. I have. Primary side 55 above
Is a substantially E-shaped permanent magnet composed of substantially E-shaped split iron cores 56a and 56b.
The coil 58 is inserted into the center magnetic pole 55c, which faces
And the magnetic poles at both ends are convex portions 55a, 55
Also serves as b.
なお、この発明は、上述した各種リニアパルスモータ
に限定されるものではなく、コイルが設けられた一次側
が、二次側に対して相対的に直線移動するものであれ
ば、リニアインダクションモータ等の種々のリニアモー
タにも適用することが可能である。Note that the present invention is not limited to the various linear pulse motors described above. If the primary side provided with the coil moves linearly relative to the secondary side, a linear induction motor or the like may be used. It can be applied to various linear motors.
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、二次側スケ
ールの軌道に沿って直線移動自在に支持された単一のフ
レームに形成された開口部に、複数の一次側ユニットを
並列に配置して各一次側ユニットの各磁極を挿入すると
共に、これら各一次側ユニットの鉄心端部をフレームに
載置するようにしたので、該一次側ユニットの鉄心端部
とフレームとが当接する面の平坦度を管理するだけで、
複数の一次側ユニットの各磁極と、二次側スケールとの
間の間隙の寸法を全て一致させることができ、これによ
り、複数の一次側ユニットを設けて推力の増大を図る際
に問題となる各一次側ユニット毎の発生推力の均一化を
図ることができる。また、各一次側毎の発生推力が均一
化されることにより、一次側を複数設けても円滑な動作
が可能となるので、大推力リニアモータを製作するにあ
たって、1モータ当たりのコアサイズを大きくする必要
がなくなるばかりでなく、1台当たりの一次側の重量が
軽くなるため組立作業における負荷が軽減されると共に
各部の寸法調整を容易に行うことができる。さらに、支
持機構がフレームを支え、そのフレームが一次側を支え
るという、重力方向において直列構造となるため、モー
タ剛性を向上させることができ、その結果騒音が低減さ
れるという効果が得られる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a plurality of primary units are provided in an opening formed in a single frame supported linearly movable along the trajectory of the secondary scale. Are arranged in parallel, each magnetic pole of each primary unit is inserted, and the core end of each primary unit is placed on the frame, so that the core end of the primary unit and the frame are Just manage the flatness of the contacting surface,
The gaps between the magnetic poles of the plurality of primary units and the secondary scale can all be matched, thereby causing a problem when increasing the thrust by providing the plurality of primary units. The generated thrust for each primary unit can be made uniform. In addition, since the generated thrust for each primary side is equalized, smooth operation is possible even if a plurality of primary sides are provided, so when manufacturing a large thrust linear motor, the core size per motor must be increased. Not only is there no need to perform this operation, but also the weight of the primary side per vehicle is reduced, so that the load in the assembling operation is reduced and the dimensional adjustment of each part can be easily performed. Furthermore, since the support mechanism supports the frame and the frame supports the primary side, the frame has a serial structure in the direction of gravity, so that the motor rigidity can be improved, and as a result, the effect of reducing noise can be obtained.
第1図はこの発明の第1実施例の構成を一部切り欠いて
示した分解斜視図、第2図はこの発明の第2実施例の構
成を示す分解斜視図、第3図はこの発明の第3実施例の
構成を一部切り欠いて示した分解斜視図、第4図はこの
発明の第4実施例の構成を示す分解斜視図、第5図は従
来のリニアパルスモータの磁気回路構成を示す図、第6
図および第7図は推力増大を図った従来リニアパルスモ
ータの構成を示す図であり、第6図は正面図、第7図は
側面図である。 1,31,41,51……二次側スケール、1b……溝(軌道)、16
……ローラ(支持機構)、20,34,44,54A,54B……フレー
ム、20a,34a,44a,54a……開口部、20b,34b,44b,54b……
嵌合部、22,35,45,55……一次側、22a,22b,35a,35b,45
a,45b,55a,55b……凸部、32,42,52……レール(軌
道)、33,43,53……ガイド(支持機構)。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a configuration of a first embodiment of the present invention with a part cut away, FIG. 2 is an exploded perspective view showing a configuration of a second embodiment of the present invention, and FIG. Fig. 4 is an exploded perspective view showing a configuration of a third embodiment of the present invention with a part cut away, Fig. 4 is an exploded perspective view showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention, and Fig. 5 is a magnetic circuit of a conventional linear pulse motor. Diagram showing configuration, sixth
FIGS. 7 and 8 are views showing the configuration of a conventional linear pulse motor with an increased thrust. FIG. 6 is a front view and FIG. 7 is a side view. 1,31,41,51 …… Secondary scale, 1b …… Groove (track), 16
Roller (support mechanism), 20, 34, 44, 54A, 54B Frame, 20a, 34a, 44a, 54a Opening, 20b, 34b, 44b, 54b
Fitting part, 22, 35, 45, 55 …… Primary side, 22a, 22b, 35a, 35b, 45
a, 45b, 55a, 55b ... convex part, 32, 42, 52 ... rail (track), 33, 43, 53 ... guide (support mechanism).
Claims (1)
の方向に沿って等間隔に歯部が形成された二次側スケー
ルに対して、直線的に相対移動させるリニアモータにお
いて、 前記一次側ユニットを複数個並列に配置し、かつ、各磁
極の二次側スケールとの空隙を均一とすべく、前記一次
側ユニットの各鉄心端部を載置,固定する少なくとも1
つの開口部を形成してなる単一のフレームと、 前記フレームを前記一定の方向に沿って直線移動自在に
支持する支持機構とを具備することを特徴とするリニア
モータ。1. A linear motor for linearly moving a primary unit consisting of a plurality of magnetic poles linearly relative to a secondary scale having teeth formed at regular intervals along a predetermined direction, At least one unit for mounting and fixing each core end of the primary unit is arranged so that a plurality of units are arranged in parallel and the gap between each magnetic pole and the secondary scale is made uniform.
A linear motor, comprising: a single frame having two openings; and a support mechanism that supports the frame so as to be linearly movable in the predetermined direction.
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JP1234230A JP2653183B2 (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Linear motor |
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JP1234230A JP2653183B2 (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Linear motor |
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JPH0398457A JPH0398457A (en) | 1991-04-24 |
JP2653183B2 true JP2653183B2 (en) | 1997-09-10 |
Family
ID=16967735
Family Applications (1)
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JP1234230A Expired - Fee Related JP2653183B2 (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Linear motor |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS59153458A (en) * | 1983-02-22 | 1984-09-01 | Canon Inc | Linear motor |
JPS5937886B2 (en) * | 1978-04-14 | 1984-09-12 | 京浜電測器株式会社 | power amplifier |
JPS6237055A (en) * | 1985-08-03 | 1987-02-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of linear pulse motor |
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JPS6073385U (en) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | 松下電器産業株式会社 | linear stepping motor |
JPH0164984U (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1234230A patent/JP2653183B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5937886B2 (en) * | 1978-04-14 | 1984-09-12 | 京浜電測器株式会社 | power amplifier |
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JPS6237055A (en) * | 1985-08-03 | 1987-02-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of linear pulse motor |
Also Published As
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JPH0398457A (en) | 1991-04-24 |
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