[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2573102B2 - 加熱炉の炉壁 - Google Patents

加熱炉の炉壁

Info

Publication number
JP2573102B2
JP2573102B2 JP3015975A JP1597591A JP2573102B2 JP 2573102 B2 JP2573102 B2 JP 2573102B2 JP 3015975 A JP3015975 A JP 3015975A JP 1597591 A JP1597591 A JP 1597591A JP 2573102 B2 JP2573102 B2 JP 2573102B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace
temperature
heating
wall
heating element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3015975A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04236093A (ja
Inventor
徹 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sakaguchi Dennetsu KK
Original Assignee
Sakaguchi Dennetsu KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sakaguchi Dennetsu KK filed Critical Sakaguchi Dennetsu KK
Priority to JP3015975A priority Critical patent/JP2573102B2/ja
Publication of JPH04236093A publication Critical patent/JPH04236093A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2573102B2 publication Critical patent/JP2573102B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は内部に発熱体を有する
ァイバー状断熱材を使用した加熱炉の炉壁特に1000
℃以上に加熱可能な加熱炉の炉壁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、炉内の温度が1000℃以上とな
る高温用の加熱炉としては、直径4m/m以上の線状の
発熱体を加熱炉内面に、適当な間隔をもって配置し、耐
熱電気絶縁性を有する保持具にて保持せしめ、その外面
に、シリカ、アルミナなどのファインセラミックスを材
料とするファイバー状断熱材を配置し、この線状発熱体
に通電して炉内を昇温していた。又、これにより細い直
径の線状発熱体をコイル状やジグザグ状に曲げ加工し
て、加熱炉内面に配置してなる高温用加熱炉も使用され
ている。また、特公昭49−46342号公報「加熱炉
の急冷装置」や特開昭48−20136号公報「炉の冷
却装置」には冷却パイプによって炉壁を冷却するものが
示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ファイバー状断熱材を
使用した炉は、断熱効果が大きく、又、軽量で、熱容量
が極めて小さい事から、他の方式の炉に比べて大幅に急
速な昇温が可能である。ところで、炉を使用してワーク
を処理する場合、炉の処理能力は、目的温度の加熱時間
が同じだとすれば、昇温時間の長短及び、降温時間の長
短によって決まる。従って、昇温時間の極めて短いファ
イバー状断熱材を使用した炉は、他の炉に比べて処理能
力が極めて大きい。しかし、降温速度については、熱容
量は小さいものの、ファイバー状断熱材の持つ、大きな
断熱効果の為、通常の炉とあまり違いが無く、その為、
冷却空気を炉内に通気させて冷却速度を上げていた。し
かし、ワークによっては空気に触れさせてはならない場
合も多く、この場合、図3に示すように発熱体6を有す
ファイバー状断熱材を使用した炉1の内周面と、ワ
ーク2との間に隔壁3を設け、急速な冷却を必要とする
場合には、炉1の内周面と、この、隔壁3の外周面間
に間隔7を形成し、この隔7内に冷却用の空気4を流
していた。
【0004】しかし、この方法でも、まだ昇温速度に比
べると、降温速度は小さく、例えば、ワークを炉内に設
置して、200℃から500℃に昇温し、その温度で処
理した後再び200℃まで降温させ、ワークのとり換え
を行う場合、昇温時間は15分で済むのに比べ、降温時
間は、30分と2倍も掛かっていた。この時間の差は、
ワーク交換時の温度を低く設定しなければならない場合
程顕著であった。そこで、冷却速度を大きくする為に
は、ファイバー状断熱材層の厚さを出来るだけ薄くし、
炉内と、炉表面との温度差を小さくして、炉表面を冷却
する事により、炉の冷却速度を大きくする方法が取られ
て来たが、この方法の場合、断熱材層が薄い分、断熱効
果が少なく、従って、炉表面温度が高くなり、従って放
散熱量が増大し、省エネルギーからは遠ざかる結果とな
り、又、炉外表面の状況、例えば、大気の流れの影響等
を受け易く、炉内の温度を均一に保つ事は困難であっ
た。
【0005】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の加熱炉の炉壁
被加熱体を入れる空間を区劃する筒状隔壁と、この
筒状隔壁の外周に間隔を置いてかぶせた発熱体を有する
薄い肉厚のファイバー状内側断熱層と、この内側断熱
材層の外周に間隔を置いてかぶせた発熱体を有しない
い肉厚のファイバー状外側断熱層と、上蓋とより成
り、降温時上記間隔及び間隔内に冷却用空気を導入する
ようにしたことを特徴とする。
【0007】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
【0008】本発明においては図1、図2に示すよう
に、炉壁1を、被加熱体を入れる空間を区劃する筒状隔
壁3と、この筒状隔壁8の外周に間隔7を置いてかぶせ
た発熱体6を有する薄い肉厚を持つファイバー状内側
熱材層1aと、この内側断熱材層1aの外周に間隔5を
置いてかぶせた発熱体6を有しない厚い肉厚を持つファ
イバー状外側断熱材層1bと、上記筒状隔壁8と内側及
び外側断熱材層1aと1bの上部に間隔を置いて配置し
た上蓋1cとによって構成し、降温時には、上記間隔5
及び7内に冷却空気4を導入せしめる。
【0009】本発明の加熱炉の炉壁は上記のような構成
であるから、降温時は冷却空気4が間隔5,7を通って
発熱体6を有する薄い肉厚の内側断熱材層1aの両面を
冷却するようになるので急速な降温を可能とする事が出
来る。即ち内径250mm、外径400mm、炉内の長
さ1000m/m、炉内の温度1000℃の時の±1℃
の均熱長が600m/mの物で、ファイバー状内側断熱
材層1aの厚さを20m/mとし、10m/mの間隔
を置いてファイバー状外側断熱材層1bを配した筒型炉
による実例では、昇温速度は、図3に示すような間隔
5を持たない場合の炉と殆ど同じで、一定温度に保持し
た場合の消費電力量も殆ど変わらなかったが、降温時に
は、1.5Nm/minの常温空気を間隔5,7の下
方から通気させた場合、1000℃から、200℃まで
の降温速度が、間隔5無しの場合に比べ、約2倍となっ
た。尚、間隔5をこれ以上大きく取ると、均熱性が悪く
なり、均一な温度の範囲が狭くなり、実用上支障を生ず
る。
【0010】また、降温時に内側及び外側断熱材層1
a,1bの上蓋1cを筒状隔壁3から上方に引き上げる
ことも考えられるが、この場合には温度コントロールが
できず、図4に示すように所望の降温カーブより大きく
ずれた急冷状態となり好ましくない。
【0011】
【発明の効果】上記のように本発明の加熱炉の炉壁にお
いては放散熱量が少なく省エネルギー型でありながら降
温速度を速くすることができる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明加熱炉の断面図である。
【図2】その横断平面図である。
【図3】従来の加熱炉の断面図である。
【図4】 冷却状態説明用線図である。
【符号の説明】
1a 断熱材層 1b 断熱材層1c 上蓋 1 炉 2 ワーク 3 隔壁 4 空気 5 間隔 発熱体 間隔

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被加熱体を入れる空間を区劃する筒状隔
    壁(3)と、この筒状隔壁(3)の外周に間隔(7)を
    置いてかぶせた発熱体(6)を有する薄い肉厚のファイ
    バー状内側断熱層(1a)と、この内側断熱材層(1
    a)の外周に間隔(5)を置いてかぶせた発熱体(6)
    を有しない厚い肉厚のファイバー状外側断熱層(1
    b)と、上蓋(1c)とより成り、降温時上記間隔
    (7)及び間隔(5)内に冷却用空気(4)を導入する
    ようにしたことを特徴とする加熱炉の炉壁
JP3015975A 1991-01-14 1991-01-14 加熱炉の炉壁 Expired - Fee Related JP2573102B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3015975A JP2573102B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 加熱炉の炉壁

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3015975A JP2573102B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 加熱炉の炉壁

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04236093A JPH04236093A (ja) 1992-08-25
JP2573102B2 true JP2573102B2 (ja) 1997-01-22

Family

ID=11903707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3015975A Expired - Fee Related JP2573102B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 加熱炉の炉壁

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2573102B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2778433C (en) * 2009-12-10 2014-07-08 Novelis Inc. Molten metal containment structure having flow through ventilation
JP6102577B2 (ja) * 2013-07-03 2017-03-29 住友電気工業株式会社 腐食性液体の加熱装置
JP6289117B2 (ja) * 2014-01-21 2018-03-07 フルテック株式会社 電気炉

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4946342A (ja) * 1972-09-05 1974-05-02

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04236093A (ja) 1992-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4925388A (en) Apparatus for heat treating substrates capable of quick cooling
US20080041836A1 (en) High temperature heating element for preventing contamination of a work piece
JP2573102B2 (ja) 加熱炉の炉壁
GB1517445A (en) Panel of anisotropic glass ceramic and method for its manufacture
JPH032840B2 (ja)
JPS6327435Y2 (ja)
JPS63278227A (ja) 熱処理装置
RU2710176C1 (ru) Печь проходного типа для высокотемпературной обработки углеволокнистых материалов с индукционным способом нагрева рабочей зоны
JPH07249580A (ja) 薄膜製造装置
JPS61227169A (ja) スパツタリング装置
KR970015757A (ko) 고진공 소결 및 열처리장치
JPH0487180A (ja) 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター
JPH02192592A (ja) 真空熱処理炉
JPH05248770A (ja) 加熱炉
JPH1062069A (ja) 棒状ワークの高温加熱装置
JP2005136095A (ja) 半導体製造装置及び半導体製造方法
JPS63178518A (ja) 基板の速冷式熱処理装置
JP2565630Y2 (ja) 電磁フィルタ
JPS59176586A (ja) 環状電気炉
JPH06192750A (ja) 竪型熱処理炉
JPH01192113A (ja) 加熱炉
JPS6339962Y2 (ja)
JPH02137221A (ja) 横型拡散炉
JPS5831282A (ja) 電気炉
JPS645236B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024

Year of fee payment: 14

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees