JP2543962Y2 - 便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団 - Google Patents
便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団Info
- Publication number
- JP2543962Y2 JP2543962Y2 JP1992030317U JP3031792U JP2543962Y2 JP 2543962 Y2 JP2543962 Y2 JP 2543962Y2 JP 1992030317 U JP1992030317 U JP 1992030317U JP 3031792 U JP3031792 U JP 3031792U JP 2543962 Y2 JP2543962 Y2 JP 2543962Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mattress
- pad
- bag
- cassette
- layer
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- Expired - Lifetime
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- Mattresses And Other Support Structures For Chairs And Beds (AREA)
- Invalid Beds And Related Equipment (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は連続した凹凸が設けられ
ているウレタンマットレス等から成る敷布団の旧来のも
のを更に具体的な理想の寝具条件を備え実用的に改良を
施した、特に病院施設において、使用する患者、購入
者、看護人、洗濯する者等において好適な便益マットレ
ス兼用カセットタイプ敷布団に関する。
ているウレタンマットレス等から成る敷布団の旧来のも
のを更に具体的な理想の寝具条件を備え実用的に改良を
施した、特に病院施設において、使用する患者、購入
者、看護人、洗濯する者等において好適な便益マットレ
ス兼用カセットタイプ敷布団に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のウレタンマットレスは病院など公
知のベットとやや同一寸法にして、一枚物より成形され
ているので、汚れ、失禁、部分的な破損の場合、マット
レス全部を取り替えなければならない。又、マットレス
は常時使用し、体重や押圧のかかる部分が扁平状に変形
し、患者の病態によってはベットを傾斜状にすることが
あるが、その場合、使用患者の動きによってシートが滑
り、マットも縮む等の破損が発生する。又、部分的な破
損の場合には修理などは不可能なので取り替えており、
汚れた場合には一枚物のため洗濯には手間と時間を要す
る等の欠点があったので、これらの欠陥を避ける考案と
して本出願人は平成3年実用新案公告第44188号を
もって三つに分割したマットレスを提供し、利用度は向
上しつつある現況である。
知のベットとやや同一寸法にして、一枚物より成形され
ているので、汚れ、失禁、部分的な破損の場合、マット
レス全部を取り替えなければならない。又、マットレス
は常時使用し、体重や押圧のかかる部分が扁平状に変形
し、患者の病態によってはベットを傾斜状にすることが
あるが、その場合、使用患者の動きによってシートが滑
り、マットも縮む等の破損が発生する。又、部分的な破
損の場合には修理などは不可能なので取り替えており、
汚れた場合には一枚物のため洗濯には手間と時間を要す
る等の欠点があったので、これらの欠陥を避ける考案と
して本出願人は平成3年実用新案公告第44188号を
もって三つに分割したマットレスを提供し、利用度は向
上しつつある現況である。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】従来の技術で述べたよ
うに向上しつつあるが、しかしながら、近年病院におい
てMRSA(メチシリン抵抗性黄色ブドウ球菌)による
院内感染が蔓延し、深刻な問題に成ってきており、厚生
省も院内感染防止マニュアルを作成している。このなか
で発病時の対策としては病室や菌に汚染されたベットの
消毒があげられている事からもマットレスの洗濯、消毒
が必要とされ、頻度も非常に多くなっている。又、看護
婦、病棟婦等の不足から労力の省力化と作業時間の短縮
が求められている。
うに向上しつつあるが、しかしながら、近年病院におい
てMRSA(メチシリン抵抗性黄色ブドウ球菌)による
院内感染が蔓延し、深刻な問題に成ってきており、厚生
省も院内感染防止マニュアルを作成している。このなか
で発病時の対策としては病室や菌に汚染されたベットの
消毒があげられている事からもマットレスの洗濯、消毒
が必要とされ、頻度も非常に多くなっている。又、看護
婦、病棟婦等の不足から労力の省力化と作業時間の短縮
が求められている。
【0004】しかし、上記ウレタンマットは3つに分割
する事において簡単に洗濯することが出来るようになっ
たが、80mm位の厚さがあるために洗濯機に数枚しか
入らず、処理能力に欠け、又、乾燥に時間を要する問題
点があった。本考案はこのような事情に鑑みて成された
もので、頻繁に汚れる汗、しみ、失禁などは表面だけで
下方部まではなかなか浸透しない、この事実から厚さ8
0mm位のものを上層部20mm位と下層部60mm位
に分け二層重ね構造とした。頻繁に洗濯する上層部と汚
れた都度の洗濯で良い下層部に分けたことにおいて洗濯
の処理能力を倍増させ、又、乾燥時間を短縮し、更に作
業時間を短縮し、労力の省力化を目的とする、清潔で快
適な敷布団を提供せんとするものである。
する事において簡単に洗濯することが出来るようになっ
たが、80mm位の厚さがあるために洗濯機に数枚しか
入らず、処理能力に欠け、又、乾燥に時間を要する問題
点があった。本考案はこのような事情に鑑みて成された
もので、頻繁に汚れる汗、しみ、失禁などは表面だけで
下方部まではなかなか浸透しない、この事実から厚さ8
0mm位のものを上層部20mm位と下層部60mm位
に分け二層重ね構造とした。頻繁に洗濯する上層部と汚
れた都度の洗濯で良い下層部に分けたことにおいて洗濯
の処理能力を倍増させ、又、乾燥時間を短縮し、更に作
業時間を短縮し、労力の省力化を目的とする、清潔で快
適な敷布団を提供せんとするものである。
【0005】
【問題点を解決するための手段】本考案は上述した問題
点を解決するために、生地の外面に滑り止め隆起部を付
着したカバー内に区割された上部、中部、下部に着脱自
在に装着するカセットクッションから成り、且つ上記カ
バーに取り付けた状差し状に構成された袋を利用してク
ッションを装着するよう構成されているのと、マットレ
スとこのマットレスの上に中素材がウレタンフオームで
表面凹凸構造物を上記マットレスとほぼ同一寸法で、更
に3等分したパットを1組とするものと、又は3分の1
と3分の2分割を1組としたパットを単に重ね合わせ二
層の構造としたが、これだけでは安定しないので上層部
と下層部との接着面にあたるカセットクッションカバー
の上面のパットの側地の底面全面に滑り止め隆起部を付
着させる。このように重ねるだけで固定させることが出
来る。この際に下層部のカセットクッションはコンビビ
ーションカバーに着脱自在に装着するためにコンビネー
ションカバーとの接着面には滑り止め隆起部を付着しな
い。
点を解決するために、生地の外面に滑り止め隆起部を付
着したカバー内に区割された上部、中部、下部に着脱自
在に装着するカセットクッションから成り、且つ上記カ
バーに取り付けた状差し状に構成された袋を利用してク
ッションを装着するよう構成されているのと、マットレ
スとこのマットレスの上に中素材がウレタンフオームで
表面凹凸構造物を上記マットレスとほぼ同一寸法で、更
に3等分したパットを1組とするものと、又は3分の1
と3分の2分割を1組としたパットを単に重ね合わせ二
層の構造としたが、これだけでは安定しないので上層部
と下層部との接着面にあたるカセットクッションカバー
の上面のパットの側地の底面全面に滑り止め隆起部を付
着させる。このように重ねるだけで固定させることが出
来る。この際に下層部のカセットクッションはコンビビ
ーションカバーに着脱自在に装着するためにコンビネー
ションカバーとの接着面には滑り止め隆起部を付着しな
い。
【0006】
【作用】上記のように構成されたマットレスはウレタン
フオーム本来の特性から通気性、透湿性に優れている
が、吸湿性が全くないことから頻繁に汚れる汗、しみ、
失禁等は表面だけで、下方部まではなかなか浸透しな
い。この事から汚れる上層部と汚れの少ない下層部とに
分ける二層構造とし、上層部を厚さ20mm位、下層部
60mm位とした。これにより汗、しみ、失禁などの汚
れは上層部だけの処理で終わる。又、本願のものは、厚
さ20mm位と、薄いので、洗濯の処理枚数も倍増する
ことがが可能であり、且つ、乾燥時間も短縮されるの
と、下層部についても汚れた都度、又は定期的な洗濯は
必要であるが、洗濯の頻度が非常に少なくて済み耐久性
を増すと共に、厚さ60mm位に薄くしたので、従来よ
り短時間で処理能力を向上することが可能である。
フオーム本来の特性から通気性、透湿性に優れている
が、吸湿性が全くないことから頻繁に汚れる汗、しみ、
失禁等は表面だけで、下方部まではなかなか浸透しな
い。この事から汚れる上層部と汚れの少ない下層部とに
分ける二層構造とし、上層部を厚さ20mm位、下層部
60mm位とした。これにより汗、しみ、失禁などの汚
れは上層部だけの処理で終わる。又、本願のものは、厚
さ20mm位と、薄いので、洗濯の処理枚数も倍増する
ことがが可能であり、且つ、乾燥時間も短縮されるの
と、下層部についても汚れた都度、又は定期的な洗濯は
必要であるが、洗濯の頻度が非常に少なくて済み耐久性
を増すと共に、厚さ60mm位に薄くしたので、従来よ
り短時間で処理能力を向上することが可能である。
【0007】上層部と下層部の接着面は互いのクッショ
ンカバーと側地に滑り止め隆起部を付着してあるので、
上層部のパットを下層部のマットレスに重ね合わせるだ
けで固定が可能なので、従来コンビネーションカバーへ
の着脱作業が省かれ、簡単に交換するころができる。更
に、上層部のパットを3分割、或るいは3分の1と3分
の2分割の組み合わせとなっているので、汚れ、破損し
た部分の交換で済む。又、ウレタンの硬度も考慮してあ
り、上層部は肌触りの良い硬さ10・5Kgfに下げ、
下層部は押圧により扁平状に変形するのを防止の為、硬
さ27Kgfのものを用いてあるので、上面は柔らか
く、下方部は沈み込みが発生せず、寝具の理想にかなう
もので、又、上層部と下層部は分かれているので上層部
に入り込んだ汗などの湿気を遮断し、下層部へ通すよう
なことがない。
ンカバーと側地に滑り止め隆起部を付着してあるので、
上層部のパットを下層部のマットレスに重ね合わせるだ
けで固定が可能なので、従来コンビネーションカバーへ
の着脱作業が省かれ、簡単に交換するころができる。更
に、上層部のパットを3分割、或るいは3分の1と3分
の2分割の組み合わせとなっているので、汚れ、破損し
た部分の交換で済む。又、ウレタンの硬度も考慮してあ
り、上層部は肌触りの良い硬さ10・5Kgfに下げ、
下層部は押圧により扁平状に変形するのを防止の為、硬
さ27Kgfのものを用いてあるので、上面は柔らか
く、下方部は沈み込みが発生せず、寝具の理想にかなう
もので、又、上層部と下層部は分かれているので上層部
に入り込んだ汗などの湿気を遮断し、下層部へ通すよう
なことがない。
【0008】
【実施例】本考案の一実施例を図面を参照しながら詳細
に説明する。本考案のマットレス体A(図1)はコンビ
ネーションカバー(2)とウレタンマット(3)(9)
とパット(4)(5)から成っている。該コンビネショ
ンカバーは防火処理加工を施した布地で、外面には滑り
止め隆起部(6)を付着して構成されているが、ほぼ公
知のベット、又は敷布団の寸法に成形されており、長手
方向の左、及び右縁に一対の上部袋(2A)、一対の中
部袋(2B)、一対の下部袋(2C)がそれぞれ対向し
た状態で設けられ、仕切布(2D)により区切られてい
る。この袋(2A)(2B)(2C)は状差し状の構造
に構成されている。カセットクッション(3A)は上記
コンビネーションカバー(2)の内部に装着されるとこ
ろから、公知の普通の敷布団の長さを上部、中部、下部
に均等に3等分にした寸法に成形されており、カセット
クッション(3A)の内部にはウレタンフオームで表面
凹凸部が形成されている。
に説明する。本考案のマットレス体A(図1)はコンビ
ネーションカバー(2)とウレタンマット(3)(9)
とパット(4)(5)から成っている。該コンビネショ
ンカバーは防火処理加工を施した布地で、外面には滑り
止め隆起部(6)を付着して構成されているが、ほぼ公
知のベット、又は敷布団の寸法に成形されており、長手
方向の左、及び右縁に一対の上部袋(2A)、一対の中
部袋(2B)、一対の下部袋(2C)がそれぞれ対向し
た状態で設けられ、仕切布(2D)により区切られてい
る。この袋(2A)(2B)(2C)は状差し状の構造
に構成されている。カセットクッション(3A)は上記
コンビネーションカバー(2)の内部に装着されるとこ
ろから、公知の普通の敷布団の長さを上部、中部、下部
に均等に3等分にした寸法に成形されており、カセット
クッション(3A)の内部にはウレタンフオームで表面
凹凸部が形成されている。
【0009】パット(4)(5)は上記マットレスに重
ね合わせ一体とするために、上記マットレス(1)とほ
ぼ同寸法とし、更に、部分的に交換できるように3等分
に分割したパット(4)、又は3分の1と3分の2分割
したパット(4)(5)とに成り、パットの中素材はウ
レタンフオームで表面凹凸が形成されているものを側地
で覆い、周囲だけをキルテイング加工を施し、キルテイ
ングを細かく掛けると縫い目より水分が浸透し易くなる
ため周囲だけにキルテイング加工を施してある。又、パ
ットを重ね合わせ二層式とした時にずれなく固定させる
ために、下層部のカセットクッションカバーの上面に滑
り止め隆起部(6)を付着させる。この場合、コンビネ
ーションカバー(2)の装着する接着部(8)には滑り
止め隆起部(6)を付着しない。この事により下層部の
カセットクッション(3)をコンビネーションカバーへ
の着脱に支障をきたすことがない。更に、パット(4)
(4)の底面全体に滑り止め隆起部(6)を付着させる
ことにより、重ね合わせるだけで固定が可能となる。
又、上層部と下層部の厚さについては浸透試験を繰り返
し行ったが、上面より20mm位で、それ以上は浸透し
ないので上層部を厚さ20mm位とし、下層部を60m
m位として、全体で80mm位とした。上層部20mm
位としたので、乾燥時間が短縮され、又、上層部、及び
下層部のウレタンフオームの表表面を凹凸に形成されて
いることにより、寝具としての条件である通気性、透湿
性を増すことが出来るのと、材料の節減と軽量化になっ
ている。
ね合わせ一体とするために、上記マットレス(1)とほ
ぼ同寸法とし、更に、部分的に交換できるように3等分
に分割したパット(4)、又は3分の1と3分の2分割
したパット(4)(5)とに成り、パットの中素材はウ
レタンフオームで表面凹凸が形成されているものを側地
で覆い、周囲だけをキルテイング加工を施し、キルテイ
ングを細かく掛けると縫い目より水分が浸透し易くなる
ため周囲だけにキルテイング加工を施してある。又、パ
ットを重ね合わせ二層式とした時にずれなく固定させる
ために、下層部のカセットクッションカバーの上面に滑
り止め隆起部(6)を付着させる。この場合、コンビネ
ーションカバー(2)の装着する接着部(8)には滑り
止め隆起部(6)を付着しない。この事により下層部の
カセットクッション(3)をコンビネーションカバーへ
の着脱に支障をきたすことがない。更に、パット(4)
(4)の底面全体に滑り止め隆起部(6)を付着させる
ことにより、重ね合わせるだけで固定が可能となる。
又、上層部と下層部の厚さについては浸透試験を繰り返
し行ったが、上面より20mm位で、それ以上は浸透し
ないので上層部を厚さ20mm位とし、下層部を60m
m位として、全体で80mm位とした。上層部20mm
位としたので、乾燥時間が短縮され、又、上層部、及び
下層部のウレタンフオームの表表面を凹凸に形成されて
いることにより、寝具としての条件である通気性、透湿
性を増すことが出来るのと、材料の節減と軽量化になっ
ている。
【0010】
【考案の効果】本考案は上述のとおり構成されているの
で、次の記載する効果を奏する。 イ.汚れ、失禁などで汚損した場合、部分取り替えが簡
単に可能であり、又、下層部は汚損を最小限に押さえる
ことが出来る。 ロ.失禁などで汚した場合の洗濯も上層部だけで、下層
部までは汚すことがないので上層部だけの洗濯で済み、
且つ、上層部は厚さ20mm位と、薄いので、従来の枚
数の数倍処理が可能で、又、乾燥時間が短縮され、下層
部についても定期的な洗濯が必要とされるが、厚さ60
mm位と、薄いので、従来に比べ短時間で処理ができ、
洗剤も水も従来の4分の1で処理ができ、経済的であ
る。
で、次の記載する効果を奏する。 イ.汚れ、失禁などで汚損した場合、部分取り替えが簡
単に可能であり、又、下層部は汚損を最小限に押さえる
ことが出来る。 ロ.失禁などで汚した場合の洗濯も上層部だけで、下層
部までは汚すことがないので上層部だけの洗濯で済み、
且つ、上層部は厚さ20mm位と、薄いので、従来の枚
数の数倍処理が可能で、又、乾燥時間が短縮され、下層
部についても定期的な洗濯が必要とされるが、厚さ60
mm位と、薄いので、従来に比べ短時間で処理ができ、
洗剤も水も従来の4分の1で処理ができ、経済的であ
る。
【0011】ハ.汚れ、破損で部分交換する場合におい
て上層部と下層部は滑り止め隆起部の生地を要して重ね
合わせるだけで固定してあるために、簡単に取り替え可
能で従来のコンビネーションカバーへの着脱作業が省か
れ、短時間で処理が可能、又急な交換や交換品が在庫し
てない場合でも下層部に一時的に患者を寝かせることが
可能なので、患者も効果が多いものである。 ニ.上層部の硬度は10.5Kgfと、柔らかく、下層
部を硬度27Kgfとしてあるために表面は柔らかく、
下層部は硬く沈み込みがないので寝疲れする事がない。
又、上層部、及び下層部共凹凸構造状のものを使用して
いるので接床面積を拡大し、体圧を分散し、毛細血管を
押し潰すことなく体動によるポンプ作用により湿気を拡
散し外部へ放出するので、床ずれ予防となる。 ホ.ベットを傾斜状にしてもマットレスがずれることが
なく安定している。
て上層部と下層部は滑り止め隆起部の生地を要して重ね
合わせるだけで固定してあるために、簡単に取り替え可
能で従来のコンビネーションカバーへの着脱作業が省か
れ、短時間で処理が可能、又急な交換や交換品が在庫し
てない場合でも下層部に一時的に患者を寝かせることが
可能なので、患者も効果が多いものである。 ニ.上層部の硬度は10.5Kgfと、柔らかく、下層
部を硬度27Kgfとしてあるために表面は柔らかく、
下層部は硬く沈み込みがないので寝疲れする事がない。
又、上層部、及び下層部共凹凸構造状のものを使用して
いるので接床面積を拡大し、体圧を分散し、毛細血管を
押し潰すことなく体動によるポンプ作用により湿気を拡
散し外部へ放出するので、床ずれ予防となる。 ホ.ベットを傾斜状にしてもマットレスがずれることが
なく安定している。
【図1】使用状態を示した斜視図。(一部断面)
【図2】下層部マットレスのコンビネーションカバーと
カセットクションの状態を示した斜視図。(一部断面)
カセットクションの状態を示した斜視図。(一部断面)
【図3】カセットクッションの斜視図。
【図4】コンビネションカバーの斜視図。
【図5】上層部のパット3分の1、3分の2に分割され
た斜視図。(一部断面)
た斜視図。(一部断面)
【図6】上層部のパットを3分割した斜視図。
【図7】コンビネーションカバーの底面の斜視図。
【図8】パットを3分の1、3分の2に分割した底面の
斜視図。
斜視図。
【図9】パットを3分割した底面の斜視図。
【図10】滑り止め隆起部の断面図。
A マットレス体 1 下層部のマットレス体 2 コンビネションカバー 2A 上部袋 2B 中部袋 2C 下部袋 2D 仕切布 3 ウレタンマット 3A カセットクッション 4 3分の1パット 5 3分の2パット 6 滑り止め隆起部 7 キルテイング 8 接着部 9 ウレタンマット
Claims (2)
- 【請求項1】 マットレス体(A)の構成において、側
面視の上層部には厚さ20mm位のパット(4)と下層
部には60mm位のコンビネーションカバー(2)にカ
セットクッション(3A)が装着された公知の敷布団と
同寸法に形成され、重ね合わせ一体とした二層式マット
レスにおいて下層部コンビネーションカバー(2)は外
面の全体に凸状の滑り止隆起部(6)が付着され平面視
の左右縁には状差し状に成形した上部袋(2A)中部袋
(2B)及び下部袋(2C)が均等に3等分されて対向
状に設けられたコンビネーションカバーに中素材に表面
が凹凸状のウレタンマット(3)を包んだカセットクッ
ション(3A)が挿入されており、カセットクッション
カバーには上層部との接着面にあたる上面に滑り止隆起
部(6)を付着している下層部と上層部パット(4)は
上記のコンビネーションカバーとほぼ同寸法にして、更
に3等分に分割され1組としパットの中素材に凹凸状の
ウレタンマット(9)を布地袋カバーで覆い包み周囲に
細いキルティング(7)を施し下層部との接着面の底面
に滑り止隆起部(6)が付着している上層部パットとを
下層部マットレスに敷くだけでズレ防止に成ることを特
徴とする便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団。 - 【請求項2】 上部袋、中部袋、下部袋に挿入して用い
るマットレスにおいて、パットはマットレスとほぼ同寸
法とした物を3分の1と3分の2に分割したパット
(4)、(5)にした状態に成形し、マットレスとパッ
トの接着面にあたるカセットクッションカバーの上面及
びパットの側地の底面に滑り止隆起部(6)が付着して
いるマットレスとパットを重ね合わせ二層式として成る
ことを特徴とする、実用新案登録請求の範囲第1項に記
載の便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992030317U JP2543962Y2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992030317U JP2543962Y2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0619613U JPH0619613U (ja) | 1994-03-15 |
JP2543962Y2 true JP2543962Y2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=12300420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992030317U Expired - Lifetime JP2543962Y2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 便益マットレス兼用カセットタイプ敷布団 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2543962Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10151043A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-06-09 | Runaale:Kk | 敷布団 |
JP2003047537A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-18 | Symbolic Atorii:Kk | 病院用分割マットレスシーツ兼用一連カバー |
JP5227243B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2013-07-03 | 株式会社ニトリホールディングス | マットレス |
WO2024101412A1 (ja) * | 2022-11-10 | 2024-05-16 | 株式会社イノアックコーポレーション | クッション材 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60125784A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-05 | Matsushita Refrig Co | 密閉型圧縮機のピストン・コンロッド結合装置 |
JPS6165731A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Toyota Motor Corp | 多軸ナツトランナ |
JPS625823A (ja) * | 1985-01-25 | 1987-01-12 | Toray Ind Inc | 薄膜の製造方法および装置 |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP1992030317U patent/JP2543962Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60125784A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-05 | Matsushita Refrig Co | 密閉型圧縮機のピストン・コンロッド結合装置 |
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JPS625823A (ja) * | 1985-01-25 | 1987-01-12 | Toray Ind Inc | 薄膜の製造方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0619613U (ja) | 1994-03-15 |
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