JP2024124678A - 液状樹脂の搬出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】使用することが適切ではなくなった液状樹脂を装置内から確実に搬出可能とする。【解決手段】液状樹脂の搬出方法は、ウェーハＷの上面に供給した液状樹脂をウェーハＷを覆う広さのカバーシートＣＳで押圧してウェーハＷの上面全面に液状樹脂を押し広げて硬化させ樹脂とカバーシートＣＳで構成される保護部材を形成する際に、ウェーハＷに供給した液状樹脂が大気に放置されつづけた場合に、ウェーハＷを保持する保持テーブルからウェーハＷとともに液状樹脂を脱出させる方法であり、カバーシートＣＳを液状樹脂の上に配置するカバーシート配置工程と、カバーシートＣＳを介して液状樹脂に紫外線ＵＶを照射して液状樹脂を硬化させ、厚み方向下から、ウェーハＷ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びで一体化させる一体化工程と、一体化工程で一体化させた部材を保持テーブルから搬出する搬出工程からなる。【選択図】図１６

Description

本発明は、液状樹脂の搬出方法に関する。

ウェーハの一方の面に対して液状樹脂を押し広げて硬化させることで、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置が知られている。このような保護部材形成装置は、例えば、特許文献１から特許文献３に記載されている。

特開２０２２－０２０２８６号公報 特開２０２０－０２４９７６号公報 特開２０１７－１６８５６５号公報

上記のような保護部材形成装置において、テーブルに保持されたウェーハ上に液状樹脂を供給した後に、例えば装置の停止等が発生して液状樹脂が想定していた時間以上に大気に晒され続けると、保護部材の形成に支障をきたすことがある。例えば、液状樹脂の表面が乾燥してしまいウェーハの一方の面全面に押し広げることができない。また、液状樹脂にゴミが付着して保護部材の厚みに悪影響を及ぼす。このため、液状樹脂の塗布後ある程度時間が経過した場合には、その液状樹脂を装置から搬出することが望ましい。

しかしながら、必ずしも十分に硬化していない液状樹脂を搬出する場合、搬送中にウェーハから垂れ落ちてテーブルなどを汚してしまう虞がある。さらに、保護部材の形成に使用される液状樹脂は透明なため、テーブルなどに付着したとしてもその事実に気づきにくいといった課題もある。また、液状樹脂は硬化した場合であっても硬化した樹脂表面は粘着力を有しているため、装置に硬化した樹脂を接触させないように搬出する必要がある。

なお、上記の技術的な課題は、ウェーハ上に供給された液状樹脂を押し広げて硬化させる構成に限らず、シート上に供給された液状樹脂を上方からウェーハで押し広げて硬化させる構成においても同様に生じうる。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、使用することが適切ではなくなった液状樹脂を装置内から確実に搬出可能とする液状樹脂の搬出方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様の液状樹脂の搬出方法は、保持テーブルに保持されたウェーハの上面に供給した液状樹脂を押圧テーブルに保持された該ウェーハを覆う広さのシートで押圧して、該ウェーハの上面と該シートの下面との間に該ウェーハの上面全面に液状樹脂を押し広げて硬化させ樹脂と該シートとで構成される保護部材を形成する際に、該ウェーハに供給した該液状樹脂が大気に放置されつづけた場合に、該保持テーブルから該ウェーハとともに該液状樹脂を脱出させる、液状樹脂の搬出方法であって、該保持テーブルに保持された該ウェーハの上面に供給した該液状樹脂を覆う広さのカバーシートを該液状樹脂の上に配置するカバーシート配置工程と、該カバーシートを介して該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させ、厚み方向下から、該ウェーハ、硬化した該樹脂、該カバーシートの並びで一体化させる一体化工程と、該一体化工程で一体化させた部材を該保持テーブルから搬出する搬出工程と、からなる。

本発明の別の態様の液状樹脂の搬出方法は、保持テーブルに保持されたシートの上面に供給した液状樹脂を押圧テーブルに保持されたウェーハで押圧して、該シートの上面と該ウェーハの下面との間に該ウェーハの下面全面に押液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂と該シートとで構成される保護部材を形成する際に、該シートに供給した該液状樹脂が大気に放置されつづけた場合に、該保持テーブルから該シートとともに該液状樹脂を脱出させる、液状樹脂の搬出方法であって、該保持テーブルに保持された該シートの上面に供給した該液状樹脂を覆う広さのカバーシートを該液状樹脂の上に配置するカバーシート配置工程と、該シートまたは該カバーシートを介して該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させ、厚み方向下から、該シート、硬化した該樹脂、該カバーシートの並びで一体化させる一体化工程と、該一体化工程で一体化させた部材を該保持テーブルから搬出する搬出工程と、からなる。

本発明によれば、使用することが適切ではなくなった液状樹脂を装置内から確実に搬出可能とすることができる。

一実施形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。 保護部材の形成におけるシート搬入工程を示す説明図である。 保護部材の形成における液状樹脂供給工程を示す説明図である。 保護部材の形成におけるウェーハ保持工程を示す説明図である。 保護部材の形成における押し広げ工程を示す説明図である。 保護部材の形成における硬化工程を示す説明図である。 樹脂搬出の一例におけるカバーシート配置工程を示す説明図である。 樹脂搬出の一例における一体化工程を示す説明図である。 樹脂搬出の一例における搬出工程を示す説明図である。 樹脂搬出の別の例における押し広げ工程を示す説明図である。 樹脂搬出の別の例における一体化工程を示す説明図である。 樹脂搬出の別の例における搬出工程を示す説明図である。 カバーシート搬入工程を示す説明図である。 カバーシート保持工程を示す説明図である。 液状樹脂供給工程を示す説明図である。 カバーシート配置工程と押し広げ工程と一体化工程を示す説明図である。 搬出準備工程を示す説明図である。

以下、添付図面を参照して、実施の形態に係る保護部材形成装置について説明する。図１は、一実施形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。

各図に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（鉛直方向）である。

図１に示す保護部材形成装置１は、ウェーハＷとシートＳとの間でウェーハＷの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂に外的刺激を付与して硬化させることによって、液状樹脂Ｍ（図３参照）が硬化した樹脂（硬化する前の液状樹脂Ｍと区別するため、樹脂ＨＭと記す。）とシートＳとで構成される保護部材Ｈ（図６参照）を形成する装置の一例である。より具体的には、保護部材形成装置１は、シートＳの上面とウェーハＷの下面との間でウェーハＷの下面全面に液状樹脂Ｍを押し広げて硬化させた樹脂ＨＭとシートＳとで構成される保護部材Ｈを形成する装置である。

また、保護部材形成装置１は、上記の方法で保護部材Ｈを形成する際に、例えば、装置の故障などによりシートＳに供給した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、シートＳを保持している保持テーブルからシートＳとともに液状樹脂Ｍを脱出させるように構成されている。

後述するように、保護部材形成装置１は、ウェーハＷの上面とシートＳの下面との間にウェーハＷの上面全面に液状樹脂Ｍを押し広げて硬化させ樹脂ＨＭとシートＳとで構成される保護部材Ｈを形成するように構成されてもよい。

図１においては、保護部材形成装置１の外部筐体１０を破線で示し、外部筐体１０の内側の構成要素を透視した状態で表している。ウェーハＷのうち、保護部材形成装置１での処理時に上側を向く面を上面Ｗａとし、下側を向く面を下面Ｗｂとする。

ウェーハＷは、例えば、円柱状のシリコン等のインゴットから切り出した円板状のアズスライスウェーハである。なお、ウェーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウェーハに限らず、デバイス形成後のデバイスウェーハ等でもよい。

保護部材形成装置１は、外部筐体１０の＋Ｙ方向側に、カセット収容部１１を備えている。カセット収容部１１の内部には、複数枚のウェーハＷを収容可能なカセットＣが載置される。

カセット収容部１１の－Ｙ方向側の位置には、シートカットテーブル１４が設けられている。シートカットテーブル１４には、ウェーハＷに貼着される後述するシートＳをウェーハＷの外形に沿って切断するシートカッター１４１が設けられている。

シートカットテーブル１４に対して－Ｘ方向側に、カセットＣに対してウェーハＷの搬入及び搬出を行う第１搬送機構１２が設けられている。第１搬送機構１２は、台座１２１上に支持されるロボットハンド１２２を備え、Ｘ軸方向への台座１２１の移動と、ロボットハンド１２２の動作とによって、カセット収容部１１に収容されたカセットＣと仮置きテーブル１３との間でのウェーハＷの搬送を行う。また、シートカットテーブル１４とカセット収容部１１に収容されたカセットＣとの間でのウェーハＷの搬送を行う。

保護部材形成装置１は、シートカットテーブル１４に対して－Ｙ方向側に基台１５を備えている。基台１５には、石英ガラス等の透光性材料からなるガラステーブル１６が設けられている。ガラステーブル１６は、円板状に形成されている。ガラステーブル１６の上面は、シートＳを載置するための平坦な載置面１６１になっている。そして、ガラステーブル１６を支持する支持テーブル１６２が設けられている。この支持テーブル１６２の上面には、吸引源（図示略）に接続されてシートＳを吸引する吸引孔１６３を４つ備えている。

保護部材形成装置１は、ガラステーブル１６の載置面１６１上および支持テーブル１６２の上面にシートＳを搬送して載置するシート搬送機構１７を備える。シート搬送機構１７は、ロール状に巻かれたシートＳが支持されるシート供給部１７１と、Ｙ軸方向に移動可能なアーム１７２と、アーム１７２の側面に取り付けられたクランプ部１７３と、を備えている。シート搬送機構１７では、シート供給部１７１に支持されたロール状のシートＳをクランプ部１７３によって保持し、アーム１７２を＋Ｙ方向に移動させてシートＳを引っ張ることによって、ガラステーブル１６の載置面１６１上および支持テーブル１６２の上面にシートＳを載置する。そして、吸引源の動作によって４つの吸引孔１６３に吸引力を作用させ、支持テーブル１６２は、シートＳを保持する。

シートＳは透光性材料からなる。シートＳとして、例えば、ポリエチレンテレフタレート等で形成されたフィルム等を用いることができる。なお、これ以外の材質からなるシートＳを用いてもよい。

ガラステーブル１６の外周と支持テーブル１６２の内周との境には、吸引源（図示略）に接続される円環状の吸引孔１６４が形成されている。吸引源の動作によって吸引孔１６４に吸引力を作用させることにより、載置面１６１上に載置されたシートＳが載置面１６１に吸引保持される。即ち、ガラステーブル１６と支持テーブル１６２は、シートＳを保持する保持テーブルの一例である。

ガラステーブル１６の近傍には、載置面１６１上のシートＳの上面に所定量の液状樹脂Ｍを供給する樹脂供給機構１８が設けられている。樹脂供給機構１８は、基台１５内に設けられたタンク１８４に接続するディスペンサ１８１と、ディスペンサ１８１から延びる接続管１８２が接続する樹脂供給ノズル１８３とを備える。

樹脂供給ノズル１８３は、アーム１７２の下部に設けられ、シート搬送機構１７によるアーム１７２のＹ軸方向の移動によって、ガラステーブル１６と後述するウェーハＷを保持する保持テーブル２０１との間に樹脂供給ノズル１８３を位置付けた状態と、それらの間から樹脂供給ノズル１８３が退避した状態とにセットすることができる。

タンク１８４に貯留された液状樹脂Ｍがディスペンサ１８１によって接続管１８２を経由して送られ、樹脂供給ノズル１８３から下方に向けて液状樹脂Ｍが供給（滴下）される。樹脂供給ノズル１８３からの液状樹脂Ｍの供給量は、ディスペンサ１８１によって調整可能である。

液状樹脂Ｍは、外的刺激によって硬化する性質を有する。本実施形態では、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化型の液状樹脂Ｍを用いている。液状樹脂Ｍは、熱硬化型であってもよい。

保護部材形成装置１は、ガラステーブル１６の上方に配置されるウェーハ保持部２０を備えている。ウェーハ保持部２０はコラム１９に支持され、コラム１９は、ガラステーブル１６に対して＋Ｙ方向側の位置にて基台１５から上方へ突出して設けられている。コラム１９には、ウェーハ保持部２０をＺ軸方向へ移動（昇降）させて、ガラステーブル１６に対して接近及び離間させる昇降機構２１が設けられている。

昇降機構２１は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール２１１及びボールねじ２１２と、一対のガイドレール２１１に対してＺ軸方向に移動可能に支持された昇降テーブル２１３とを備えている。昇降機構２１は、モータ２１４の駆動力によってボールねじ２１２を回転させると、一対のガイドレール２１１に沿って昇降テーブル２１３がＺ軸方向に移動する。

ウェーハ保持部２０は昇降テーブル２１３により支持されており、昇降テーブル２１３に伴ってウェーハ保持部２０がＺ軸方向へ移動される。ウェーハ保持部２０は円板状の保持テーブル２０１を備えている。保持テーブル２０１の下面側には、円板状の多孔質部材２０２（図４参照）が設けられている。多孔質部材２０２の下面は、ガラステーブル１６の上方に位置するウェーハ保持面２０３とされる。ウェーハ保持面２０３は、ガラステーブル１６の載置面１６１と略並行な面である。言い換えると、ガラステーブル１６は保持テーブル２０１のウェーハ保持面２０３に対向配置される。

多孔質部材２０２は、吸引路を介して吸引源（図示略）に連通している。吸引源の動作によって多孔質部材２０２に吸引力が付与され、ウェーハ保持面２０３でウェーハＷの上面Ｗａが吸引保持される。

ウェーハ保持部２０は、荷重検知部２２を備えている。荷重検知部２２は、ウェーハＷの下面Ｗｂに加わるＺ軸方向の荷重を検知することができる。

ガラステーブル１６の下方には、載置面１６１上のシートＳに滴下された液状樹脂Ｍに外的刺激を付与して硬化させる紫外線照射ユニット２３（図６参照）が配置されている。紫外線照射ユニット２３は、紫外線ＵＶ（図６参照）を発することが可能な複数の紫外線照射部２３１（図６参照）を備えており、透光性を有するガラステーブル１６及びシートＳを通じて液状樹脂Ｍに紫外線ＵＶを照射して硬化させる。紫外線照射部２３１に用いる光源はＬＥＤを用いてもよい。

なお、紫外線照射ユニット２３は、ウェーハ保持部２０内にも設けられている。ウェーハ保持部２０に設けられた紫外線照射ユニット２３も、載置面１６１上のシートＳに滴下された液状樹脂Ｍに外的刺激を付与して硬化させるために使用可能であり、紫外線ＵＶを発することが可能な複数の紫外線照射部２３１を備えている。

基台１５に対して－Ｘ方向側に、第２搬送機構２５が設けられている。第２搬送機構２５は、台座２５１上に支持されるロボットハンド２５２を備え、Ｙ軸方向への台座２５１の移動と、ロボットハンド２５２の動作とによって、仮置きテーブル１３とウェーハ保持部２０との間でのウェーハＷの搬送を行う。また、ガラステーブル１６とシートカットテーブル１４との間でのウェーハＷの搬送を行う。

第２搬送機構２５は、シートＳに供給した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、保持テーブル（ガラステーブル１６）からシートＳとともに液状樹脂Ｍを脱出させるためにも使用される。第２搬送機構２５は、後述するようにシートＳと一体化された液状樹脂Ｍの搬送を行い、例えば、適宜な回収容器等に廃棄してもよい。

保護部材形成装置１は、基台１５に対して＋Ｘ方向側に設けられる搬出機構２７を更に備えている。シートＳに供給した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、この搬出機構２７が、保持テーブル（ガラステーブル１６）からシートＳとともに液状樹脂Ｍを脱出させるためにも使用されてもよい。

搬出機構２７は、対象物の端部を把持する把持部と、把持部を移動する移動機構を備える。この移動機構は、鉛直方向に移動する機構と水平方向に移動する機構を備えていることが望ましく、さらには把持部を水平な回転軸周りに回転可能とする機構を備えていることが望ましい。これらの機構には、例えば、シリンダやモータ、スライダ、ボールねじ等を用いた適宜な構造が採用されればよい。搬出機構２７によって把持され搬出された対象物は、例えば、適宜な回収容器等に廃棄される。

保護部材形成装置１は、制御部４０によって統括的に制御される。制御部４０は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラム等を記憶する記憶部（メモリ）と、によって構成されている。制御部４０の記憶部には、制御プログラムの一部として、例えば、保護部材を形成する際にシートＳに供給した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、シートＳとともにシートＳ上に供給された液状樹脂Ｍを保護部材形成装置１外へ脱出させる動作（以降、この動作を樹脂排出と記す。）を制御するためのプログラムが記憶されている。

次に、本実施の形態の保護部材形成装置１による保護部材の形成について説明する。図２から図６は、保護部材を形成する際の各工程を示している。図２は、保護部材の形成におけるシート搬入工程を示す説明図である。図３は、保護部材の形成における液状樹脂供給工程を示す説明図である。図４は、保護部材の形成におけるウェーハ保持工程を示す説明図である。図５は、保護部材の形成における押し広げ工程を示す説明図である。図６は、保護部材の形成における硬化工程を示す説明図である。

図２は、保護部材の形成におけるシート搬入工程を示している。シート搬入工程では、制御部４０によってシート搬送機構１７が制御され、クランプ部１７３でシートＳの端部をクランプしてアーム１７２を＋Ｙ方向へ移動させ、シート供給部１７１からシートＳが引き出されてガラステーブル１６側へ搬送される。引き出されたシートＳは所定の長さでカットされる。シートＳはガラステーブル１６の載置面１６１上に載置され、吸引源の動作によって支持テーブル１６２の吸引孔１６３、１６４に吸引力を作用させてシートＳが吸引保持される。これにより、シートＳが載置面１６１に密着される。この段階での載置面１６１上のシートＳの面積は、ウェーハＷの下面Ｗｂの面積よりも大きい。

図３は、保護部材の形成における液状樹脂供給工程を示している。液状樹脂供給工程では、先のシート搬入工程によって載置面１６１上に載置されたシートＳの上方に、樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３が位置付けられる。かかる位置付けは、アーム１７２をＹ軸方向に移動するシート搬送機構１７にて実施される。

樹脂供給ノズル１８３の位置付け後、制御部４０によってディスペンサ１８１が制御され、樹脂供給ノズル１８３に液状樹脂Ｍを送出して樹脂供給ノズル１８３からシートＳに向けて液状樹脂Ｍを滴下させる。樹脂供給ノズル１８３はガラステーブル１６の中央付近の上方に位置付けられ、樹脂供給ノズル１８３から滴下された液状樹脂Ｍは、ウェーハＷの面積よりも狭い範囲でシートＳの上面の中央付近に溜まった状態になる。

制御部４０は、ウェーハＷの大きさ等の情報に基づいてディスペンサ１８１を制御し、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に行き渡る量（所定量）の液状樹脂ＭをシートＳへ供給させる。所定量の液状樹脂Ｍの供給が完了したら、アーム１７２を移動させてガラステーブル１６の上方から樹脂供給ノズル１８３を退避させ、液状樹脂供給工程を完了する。

図４は、保護部材の形成におけるウェーハ保持工程を示している。図４には、ウェーハ保持工程にて、保持テーブル２０１にウェーハＷを保持させた状態が示されている。ウェーハ保持工程では、保護部材Ｈ（図６参照）を形成する前のウェーハＷが、第１搬送機構１２によって収容スペース１１１内のカセットＣから取り出される。その後、第２搬送機構２５にウェーハＷが受け渡され、ウェーハＷが保持テーブル２０１まで搬送される。保持テーブル２０１では、吸引源を動作させて多孔質部材２０２に吸引力を作用させ、ウェーハ保持面２０３にウェーハＷの上面Ｗａを吸引して保持する。

なお、ウェーハ保持工程の少なくとも一部を、シート搬入工程及び液状樹脂供給工程と並行して（同時に）行ってもよい。

図５は、保護部材の形成における押し広げ工程を示している。保持テーブル２０１に保持されたウェーハＷが、シートＳ上の液状樹脂Ｍの上方に対向して位置する状態（図４参照）になったら、図５に示す押し広げ工程に進む。押し広げ工程では、制御部４０によって昇降機構２１のモータ２１４が制御され、昇降テーブル２１３及び保持テーブル２０１を所定の送り速度で下降させる。

保持テーブル２０１の下降によって、ウェーハＷの下面Ｗｂがガラステーブル１６に接近して液状樹脂Ｍに接触する。そして、ウェーハＷの下面Ｗｂによって液状樹脂Ｍが押圧されて、液状樹脂ＭがウェーハＷの径方向に押し広げられる。ウェーハＷの下面Ｗｂが接触する前の液状樹脂ＭはシートＳの中央付近にまとまって位置しており（図４参照）、ウェーハＷから押圧されることにより、液状樹脂ＭはウェーハＷの外縁側に向けて広がる（図５参照）。

液状樹脂Ｍの広がり状態に応じて保持テーブル２０１の下降量を調整する場合、荷重検知部２２の検知結果に基づき制御部４０によってモータ２１４を制御してもよい。

押し広げ工程が完了して、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を液状樹脂Ｍが覆う状態（図５参照）になったら、硬化工程に進む。図６は、保護部材の形成における硬化工程を示している。硬化工程では、制御部４０によって紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射が制御され、液状樹脂Ｍを硬化させる強度（波長）の紫外線ＵＶが、紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて照射される。紫外線照射部２３１から発した紫外線ＵＶは、ガラステーブル１６及びシートＳを透過して液状樹脂Ｍに達し、紫外線硬化樹脂である液状樹脂Ｍを硬化させる。液状樹脂Ｍが十分に硬化した状態になったら、紫外線照射ユニット２３からの紫外線ＵＶの照射を終了する。かかる液状樹脂Ｍの硬化によって、液状樹脂が硬化した樹脂ＨＭとシートＳとで構成される保護部材ＨがウェーハＷの下面Ｗｂの全体を覆うように形成され、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を覆う保護部材ＨによってウェーハＷの下面Ｗｂが保護される。

次に、本実施の形態の保護部材形成装置１による樹脂の排出について説明する。図７は、樹脂搬出の一例におけるカバーシート配置工程を示す説明図である。図８は、樹脂搬出の一例における一体化工程を示す説明図である。図９は、樹脂搬出の一例における搬出工程を示す説明図である。

上述したように、保護部材形成装置１は、保護部材Ｈを形成する際にシートＳに供給した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、シートＳとともにシートＳ上に供給された液状樹脂Ｍを保護部材形成装置１外へ脱出させる。つまり、樹脂を排出する。以下、図７から図９を参照しながら、この樹脂の排出について具体的に説明する。

樹脂の排出は、液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に行われる。従って、制御部４０は、例えば、図２に示すシート搬入工程後に行われる、図３に示すシートＳ上への液状樹脂Ｍの供給からの経過時間を計測し、計測された時間が所定時間を超えた場合に、図７から図９に示す樹脂の排出が行われるように、保護部材形成装置１を制御する。

図７は、樹脂搬出におけるカバーシート配置工程を示している。図３に示す液状樹脂供給工程から、図５に示す押し広げ工程が行われることなく所定時間を超えて時間が経過すると、保護部材形成装置１では、図７に示すカバーシート配置工程が行われる。

カバーシート配置工程では、制御部４０がシート搬入工程と同様に動作する。つまり、制御部４０によってシート搬送機構１７が制御され、クランプ部１７３でシートＳの端部をクランプしてアーム１７２を＋Ｙ方向へ移動させ、シート供給部１７１からシートＳが引き出されてガラステーブル１６側へ搬送される。

なお、カバーシート配置工程で搬送されるシートＳをシート搬入工程で搬送されるシートＳと区別するため、以降では、カバーシートＣＳと記す。これにより、ガラステーブル１６（及び支持テーブル１６２）に保持されたシートＳの上面に供給した液状樹脂Ｍを覆う広さの新たなシートであるカバーシートＣＳが液状樹脂Ｍの上に配置される。カバーシートＣＳは所定の長さでカットされる。カバーシートＣＳは、シートＳよりも変形しないように、厚みがあるか硬い材質であるとよい。なお、カバーシートＣＳは、シートＳと同じものでもよい。

図８は、樹脂搬出における一体化工程を示している。一体化工程では、制御部４０が図６に示す硬化工程と同様に動作する。つまり、制御部４０によって紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射が制御され、液状樹脂Ｍを硬化させる強度（波長）の紫外線ＵＶが、紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて照射される。

紫外線照射部２３１から発した紫外線ＵＶは、ガラステーブル１６及びシートＳを透過して液状樹脂Ｍに達し、紫外線硬化樹脂である液状樹脂Ｍを硬化させる。即ち、シートＳを介して液状樹脂Ｍに紫外線を照射して液状樹脂Ｍを硬化させる。液状樹脂Ｍが十分に硬化した状態になったら、紫外線照射ユニット２３からの紫外線ＵＶの照射を終了する。かかる液状樹脂Ｍの硬化によって、厚み方向下から、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びでこれらが一体化する。

一体化工程におけるＵＶ光の照射は、ガラステーブル１６下方の紫外線照射ユニット２３の代わりに、ウェーハ保持部２０内の紫外線照射ユニット２３を用いて行われてもよい。例えば、制御部４０が、昇降機構２１のモータ２１４を制御して、昇降テーブル２１３及びウェーハＷを保持していない状態の保持テーブル２０１をカバーシートＣＳに近づけて、その後、ウェーハ保持部２０内の紫外線照射ユニット２３に紫外線ＵＶを照射させてもよい。この場合には、カバーシートＣＳを介して液状樹脂Ｍに紫外線が照射されて、液状樹脂Ｍが硬化する。かかる液状樹脂Ｍの硬化によっても、厚み方向下から、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びでこれらが一体化する。

なお、硬化した樹脂ＨＭは、一体化させた部材を搬出しているときにシートＳから垂れ落ちない程度に硬化されていればよい。

図９は、樹脂搬出における搬出工程を示している。搬出工程では、制御部４０によって第２搬送機構２５による搬送が制御され、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、及びカバーシートＣＳを一体化させた部材を保持テーブル（ガラステーブル１６）から搬出する。

搬出工程において、制御部４０は、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、及びカバーシートＣＳを一体化させた部材を第２搬送機構２５の代わりに搬出機構２７を用いて搬出してもよい。搬出機構２７を用いて保持テーブル（ガラステーブル１６）から搬出して回収容器等に廃棄してもよい。

上記実施形態では、使用することが適切ではなくなった液状樹脂Ｍを硬化させてから排出する。これにより、搬送中に液状樹脂Ｍが流れ落ちてしまうことを防止することができる。また、両面がシート（シートＳとカバーシートＣＳ）に覆われた状態で液状樹脂Ｍを硬化させることで、搬送中に樹脂ＨＭが装置内の構成要素に直接接触することがない。このため、粘着力が残存している樹脂ＨＭが搬送中に装置内に付着してしまうことを防止することができる。従って、上記実施形態によれば、使用することが適切ではなくなった液状樹脂Ｍを装置内から確実に搬出することが可能である。さらに、不要な液状樹脂が確実に排出されることで、その後の装置の利用に支障をきたすことがないため、利用者は特段の不便なく装置の使用を容易に継続することができる。

また、上記実施形態によれば、保護部材Ｈの形成過程で用いられる構成を活用して、使用することが適切ではなくなった液状樹脂Ｍを搬出することができる。このため、液状樹脂を排出するための専用の構成を追加する必要がない。従って、既存の装置構成を大幅に変更することなく、例えば制御プログラムの更新などによって既存の装置へ適用することができる。

図１０は、樹脂搬出の別の例における押し広げ工程を示す説明図である。図１１は、樹脂搬出の別の例における一体化工程を示す説明図である。図１２は、樹脂搬出の別の例における搬出工程を示す説明図である。上記の実施形態では、カバーシート配置工程の直後に一体化工程を行う例を示したが、以下に示す実施形態のように、カバーシート配置工程と一体化工程の間に、図１０に示す押し広げ工程を設けてもよい。

図１０は、樹脂搬出における押し広げ工程を示している。この押し広げ工程では、制御部４０によって昇降機構２１のモータ２１４が制御され、昇降テーブル２１３及び保持テーブル２０１を所定の送り速度で下降させる。なお、この動作は、保持テーブル２０１がウェーハＷを保持していない点を除き、図５に示す保護部材の形成における押し広げ工程と同様である。

保持テーブル２０１の下降によって、ウェーハ保持面２０３がガラステーブル１６に接近してカバーシートＣＳに接触する。そして、ウェーハ保持面２０３によってカバーシートＣＳを介して液状樹脂Ｍが押圧されて、液状樹脂Ｍがガラステーブル１６の径方向に押し広げられる。

なお、液状樹脂Ｍの広がり状態に応じて保持テーブル２０１の下降量を調整する場合、荷重検知部２２の検知結果に基づき制御部４０によってモータ２１４を制御してもよい点は、図５に示す保護部材の形成における押し広げ工程と同様である。

図１１は、樹脂搬出における一体化工程を示している。一体化工程では、制御部４０が図６に示す硬化工程及び図８に示す一体化工程と同様に動作する。つまり、制御部４０によって紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射が制御され、液状樹脂Ｍを硬化させる強度（波長）の紫外線ＵＶが、紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて照射される。これにより、シートＳを介してＵＶ光が照射された液状樹脂Ｍを硬化して、厚み方向下から、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びでこれらが一体化する。

図１１に示す一体化工程では、図１０に示す押し広げ工程が事前に行われているため、硬化対象の液状樹脂ＭがシートＳとカバーシートＣＳの間で十分に広がっていて、その厚さも十分に薄くなっている。このため、短時間でしっかりと液状樹脂が硬化させることが可能であり、一体化した部材の形状も図１１に示すようにロボット等による搬送に適した平板形状となる。

図１１に示す一体化工程でも、ＵＶ光の照射が、ガラステーブル１６下方の紫外線照射ユニット２３の代わりに、ウェーハ保持部２０内の紫外線照射ユニット２３を用いて行われてもよい点は、図８に示す一体化工程と同様である。この場合には、カバーシートＣＳを介してＵＶ光が照射された液状樹脂Ｍが硬化して、厚み方向下から、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びでこれらが一体化する。

図１２は、樹脂搬出における搬出工程を示している。搬出工程では、制御部４０が図９に示す搬出工程と同様に動作する。つまり、制御部４０によって第２搬送機構２５または搬出機構２７による搬送が制御され、シートＳ、硬化した樹脂ＨＭ、及びカバーシートＣＳを一体化させた部材を保持テーブル（ガラステーブル１６）から搬出する。

上記の実施形態によれば、カバーシート配置工程後に押し広げ工程を設けることで、液状樹脂Ｍをより確実かつ短時間で硬化させることができる。また、硬化した樹脂ＨＭがカバーシートＣＳとシートＳの間に広く分布しているため、一体化した部材全体がおよそ均一の厚さで且つ十分な硬さを有することになる。このため、第２搬送機構２５や搬出機構２７などの様々な搬送機構で容易に搬送することができる。

上記の実施形態では、保持テーブル（ガラステーブル１６）に保持されたシートＳの上面に供給した液状樹脂Ｍを押圧テーブル（保持テーブル２０１）に保持されたウェーハＷで押圧して、シートＳの上面とウェーハＷの下面との間にウェーハＷの下面全面に液状樹脂Ｍを押し広げて硬化させた樹脂ＨＭとシートＳとで構成される保護部材Ｈを形成する保護部材形成装置１を用いる例を示したが、保護部材形成装置１の代わりに、図１３から図１７に示す保護部材形成装置が用いられてもよい。

図１３から図１７に示す保護部材形成装置は、保持テーブル７０に保持されたウェーハＷの上面Ｗａに供給した液状樹脂Ｍを押圧テーブル（ガラステーブル１６）に保持されたウェーハＷを覆う広さのシート（カバーシートＣＳ）で押圧して、ウェーハＷの上面Ｗａとシート（カバーシートＣＳ）の下面との間にウェーハＷの上面Ｗａ全面に液状樹脂Ｍを押し広げて硬化させ、硬化した樹脂ＨＭとシートＳとで構成される保護部材Ｈを形成する装置である。

この保護部材形成装置は、ウェーハＷを保持する保持テーブル７０がウェーハＷの下方に配置され、ガラステーブル１６がウェーハＷの上方に配置されている点と、カバーシートＣＳがシート搬送テーブル８０によって搬送される点が、保護部材形成装置１とは異なっている。

ウェーハＷの下方に配置された保持テーブル７０は、ウェーハＷを吸引保持するテーブルであり、枠体であるウェーハ保持テーブル７１と、ウェーハ保持テーブル７１の上面に形成された凹部内に嵌め込まれたピンチャックテーブル７２と、を含んでいる。ピンチャックテーブル７２は、例えばポーラス板である。ウェーハ保持テーブル７１には、ピンチャックテーブル７２が嵌め込まれた凹部上面と吸引源３２とを連通させる吸引路が形成されていて、吸引源３２の吸引動作によってピンチャックテーブル７２の表面である載置面７３に負圧が発生する。この負圧によってウェーハＷは、保持テーブル７０に保持されている。

ウェーハＷの上方に配置されたガラステーブル１６は、シート搬送テーブル８０によって搬送されるカバーシートＣＳを吸引保持するテーブルである。ガラステーブル１６は、吸引源３１と連通した吸引路（吸引孔１６４）が形成されている。吸引路（吸引孔１６４）は、ガラステーブル１６の下面であるカバーシートＣＳを吸引保持する保持面１６５までつながっている。ガラステーブル１６は、吸引源３１の吸引動作によって保持面１６５に発生する負圧を用いてカバーシートＣＳを保持面１６５に吸引保持する。

ガラステーブル１６内には、さらに、紫外線ＵＶ（図１６参照）を発することが可能な複数の紫外線照射部２３１を備えた紫外線照射ユニット２３が設けられている。ガラステーブル１６は、少なくとも紫外線照射ユニット２３の下方は透光性を有する部材で構成されている。これにより、紫外線照射ユニット２３から発した紫外線ＵＶを下方に向けて出射することができる。

シート搬送テーブル８０は、カバーシートＣＳを搬送するテーブルであり、水平移動機構９０により水平方向に移動するように構成されている。なお、シート搬送テーブル８０は、枠体８１と、枠体８１の上面に形成された凹部内に嵌め込まれたポーラス板８２を含んでいる。枠体８１には、ポーラス板８２が嵌め込まれた凹部上面と図示しない吸引源とを連通させる吸引路が形成されていて、図示しない吸引源の吸引動作によってポーラス板８２の表面である載置面８３に負圧が発生する。この負圧によってカバーシートＣＳは、シート搬送テーブル８０に保持されている。

以上のように構成された保護部材形成装置では、バンプＢが形成されたウェーハＷの上面Ｗａを保護するために液状樹脂Ｍを塗布して保護部材Ｈを形成する際に、塗布した液状樹脂Ｍが大気に放置されつづけた場合に、保持テーブル７０からウェーハＷとともに液状樹脂Ｍを脱出させて、樹脂を排出する。以下、図１３から図１７を参照しながら、上述した保護部材形成装置を動作について具体的に説明する。

保護部材形成装置では、まず、カバーシート搬入工程が行われる。図１３は、保護部材形成装置によって行われるカバーシート搬入工程を示している。この工程では、保持テーブル７０に保持されたウェーハＷ上に保護部材Ｈを形成するために、制御部４０が水平移動機構９０を制御して、カバーシートＣＳを保持したシート搬送テーブル８０を保持テーブル７０とガラステーブル１６の間まで移動させる。

その後、保護部材形成装置では、カバーシート保持工程が行われる。図１４は、カバーシート保持工程を示している。この工程では、まず、制御部４０が垂直移動機構６０を制御して、ガラステーブル１６を鉛直方向に移動させて、ガラステーブル１６の保持面１６５をカバーシートＣＳの上面ＣＳａに十分に近づける。保持面１６５とカバーシートＣＳの上面ＣＳａが十分に近づいたら、制御部４０は、吸引源３１を制御して保持面１６５に負圧を発生させて、その負圧によりカバーシートＣＳを保持面１６５に保持する。カバーシートＣＳが保持面１６５に保持されると、制御部４０は、水平移動機構９０を制御して、シート搬送テーブル８０を保持テーブル７０とガラステーブル１６の間から退避させる。

カバーシートＣＳが保持面１６５に保持され、シート搬送テーブル８０が退避すると、保護部材形成装置では、液状樹脂供給工程が行われる。図１５は、液状樹脂供給工程を示している。この工程では、制御部４０は、樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３を保持テーブル７０とガラステーブル１６の間に位置付けて、樹脂供給ノズル１８３からウェーハＷに向けて液状樹脂Ｍを滴下させる。滴下が完了すると、制御部４０は、樹脂供給ノズル１８３を保持テーブル７０とガラステーブル１６の間から退避し、さらに、液状樹脂Ｍを滴下してからの経過時間の計測を開始する。

液状樹脂供給工程では、図１５に示すように、樹脂供給ノズル１８３はウェーハＷの中央付近の上方に位置付けられ、樹脂供給ノズル１８３から滴下された液状樹脂Ｍは、ウェーハＷの面積よりも狭い範囲でウェーハＷの上面の中央付近に溜まった状態になる。

その後、保護部材形成装置では、カバーシート配置工程と押し広げ工程と一体化工程が行われる。図１６は、カバーシート配置工程と押し広げ工程と一体化工程を示している。

まず、カバーシート配置工程が行われる。カバーシート配置工程では、制御部４０は、保持テーブル７０に保持されたウェーハＷの上面Ｗａに供給した液状樹脂Ｍを覆う広さのカバーシートＣＳを液状樹脂Ｍの上に配置する。このとき、制御部４０は、計測中の液状樹脂Ｍを滴下してからの経過時間を記録する。つまり、制御部４０は、液状樹脂Ｍを滴下後、カバーシートＣＳが配置されるまでの時間を記録する。

なお、カバーシートＣＳを液状樹脂Ｍの上に配置する方法は特に限定しない。制御部４０は、例えば、垂直移動機構６０を制御して、ガラステーブル１６を鉛直方向に移動させて、カバーシートＣＳを液状樹脂Ｍ上に位置付けることで、カバーシートＣＳを液状樹脂Ｍ上に配置してもよい。また、制御部４０は、吸引源３１を制御して保持面１６５に発生していた負圧を除去することでカバーシートＣＳを落下させ、それによってカバーシートＣＳを液状樹脂Ｍの上に配置してもよい。

次に、押し広げ工程が行われる。押し広げ工程では、制御部４０は、垂直移動機構６０を制御して、ガラステーブル１６を鉛直方向に移動させて、液状樹脂Ｍ上に配置されたカバーシートＣＳを保持テーブル７０に近づく方向に押し下げて、カバーシートＣＳとウェーハＷの間に挟まれた液状樹脂ＭをウェーハＷの径方向に押し広げる。

その後、一体化工程が行われる。一体化工程では、制御部４０は、カバーシートＣＳを介して液状樹脂Ｍに紫外線ＵＶを照射して液状樹脂Ｍを硬化させ、図１６に示すように、厚み方向下から、ウェーハＷ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳの並びで一体化させる。

一体化工程が完了すると、保護部材形成装置では、搬出準備工程と搬出工程が行われる。図１７は、搬出工程の前に行われる搬出準備工程を示している。搬出準備工程では、制御部４０は、吸引源３１の吸引動作を停止した状態で、垂直移動機構６０を制御して、ガラステーブル１６を、保持テーブル７０から十分に離間させる。なお、図１７では、紫外線照射ユニット２３を発光させながらガラステーブル１６を移動させる例を示したが、搬出準備工程では、制御部４０は、紫外線照射ユニット２３の発光を停止してもよい。

最後に、搬出工程が行われる。搬出工程では、制御部４０は、一体化工程で一体化させた部材（ウェーハＷ、硬化した樹脂ＨＭ、カバーシートＣＳ）を保持テーブル７０から搬出する。具体的には、制御部４０は、吸引源３２の吸引動作を停止し、その後、第２搬送機構２５または搬出機構２７による搬送を制御することで、一体化させた部材を保持テーブルから搬出する。

このとき、カバーシート配置工程で記録した、液状樹脂Ｍを滴下してからカバーシートＣＳが配置されるまでの時間に応じて、搬送先を変更してもよい。例えば、カバーシート配置工程で記録した時間が所定時間を超えている場合には、制御部４０は、第２搬送機構２５または搬出機構２７による搬送先を廃棄用の回収容器等に制御してもよい。一方で、カバーシート配置工程で記録した時間が所定時間を超えていない場合には、制御部４０は、第２搬送機構２５または搬出機構２７による搬送先を保護部材形成済みのウェーハＷを収容するカセットＣに制御してもよい。

上記の実施形態によっても、保護部材形成装置１を用いた実施形態と同様の効果を得ることができる。つまり、上記実施形態によれば、使用することが適切ではなくなった液状樹脂Ｍを装置内から確実に搬出することが可能である。また、上記実施形態によれば、保護部材Ｈの形成時と同じ処理によって、使用することが適切ではなくなった液状樹脂Ｍを装置内から排出することができる。従って、既存の装置構成を大幅に変更することなく、例えば制御プログラムの更新などによって既存の装置へ適用することができる点も保護部材形成装置１が用いられた実施形態と同様である。

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

例えば、図１６を参照しながら説明した一体化工程では、液状樹脂Ｍを滴下してからカバーシートＣＳが配置されるまでの時間に応じて、紫外線ＵＶを発光する時間を変更してもよい。例えば、この時間が所定時間を超えている場合には、超えていない場合に比べて紫外線ＵＶを発光する時間を短くしてもよい。これは、時間が所定時間を超えている場合には、一体化した部材は製品としては使用されないため、液状樹脂は搬送中に流れ落ちない程度に硬化すれば十分だからである。このように、無駄な紫外線ＵＶの照射を抑制して発光時間を短くすることで、液状樹脂の排出に要する全体の時間を短縮してもよい。

また、上述した実施形態では、カバーシートＣＳを液状樹脂Ｍに被せてから紫外線ＵＶを照射して液状樹脂Ｍを硬化させる例で説明したが、液状樹脂を硬化させる工程は、カバーシートを配置する工程よりも後で行われてもよい。これは、硬化した樹脂ＨＭもある程度の粘着性を有しているためであり、その粘着性を利用して硬化した樹脂ＨＭとカバーシートＣＳを一体化させてもよい。

また、上述した実施形態では、液状樹脂Ｍが供給されてからの時間を計測して、その時間が所定時間を超えている場合に、自動的に液状樹脂を排出する処理を行う例を示したが、必ずしも自動的に排出処理が行われなくてもよい。例えば、計測時間が所定時間を超過した場合に、ユーザに報知し、その後、ユーザの指示があった場合に排出処理が行われてもよい。

以上に説明したように、本発明の液状樹脂の搬出方法は、使用することが適切ではなくなった液状樹脂を装置内から確実に搬出可能することが可能であり、液状樹脂が装置内に残存することによって生じうる様々な問題を回避することができる。このため、液状樹脂を用いてウェーハＷに保護部材を形成する保護部材形成装置において非常に有用である。

１ ：保護部材形成装置
１６ ：ガラステーブル
１７ ：シート搬送機構
１８ ：樹脂供給機構
２０ ：ウェーハ保持部
２１ ：昇降機構
２３ ：紫外線照射ユニット
２５ ：第２搬送機構
２７ ：搬出機構
４０ ：制御部
６０ ：垂直移動機構
７０ ：保持テーブル
８０ ：シート搬送テーブル
９０ ：水平移動機構
１６１ ：載置面
１６２ ：支持テーブル
１６３、１６４ ：吸引孔
１６５ ：保持面
１８３ ：樹脂供給ノズル
２０１ ：保持テーブル
２３１ ：紫外線照射部
ＣＳ ：カバーシート
Ｈ ：保護部材
Ｍ ：液状樹脂
Ｓ ：シート
ＵＶ ：紫外線
Ｗ ：ウェーハ

Claims (2)

1. 保持テーブルに保持されたウェーハの上面に供給した液状樹脂を押圧テーブルに保持された該ウェーハを覆う広さのシートで押圧して、該ウェーハの上面と該シートの下面との間に該ウェーハの上面全面に液状樹脂を押し広げて硬化させ樹脂と該シートとで構成される保護部材を形成する際に、該ウェーハに供給した該液状樹脂が大気に放置されつづけた場合に、該保持テーブルから該ウェーハとともに該液状樹脂を脱出させる、液状樹脂の搬出方法であって、
   該保持テーブルに保持された該ウェーハの上面に供給した該液状樹脂を覆う広さのカバーシートを該液状樹脂の上に配置するカバーシート配置工程と、
   該カバーシートを介して該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させ、厚み方向下から、該ウェーハ、硬化した該樹脂、該カバーシートの並びで一体化させる一体化工程と、
   該一体化工程で一体化させた部材を該保持テーブルから搬出する搬出工程と、
   からなる液状樹脂の搬出方法。
2. 保持テーブルに保持されたシートの上面に供給した液状樹脂を押圧テーブルに保持されたウェーハで押圧して、該シートの上面と該ウェーハの下面との間に該ウェーハの下面全面に液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂と該シートとで構成される保護部材を形成する際に、該シートに供給した該液状樹脂が大気に放置されつづけた場合に、該保持テーブルから該シートとともに該液状樹脂を脱出させる、液状樹脂の搬出方法であって、
   該保持テーブルに保持された該シートの上面に供給した該液状樹脂を覆う広さのカバーシートを該液状樹脂の上に配置するカバーシート配置工程と、
   該シートまたは該カバーシートを介して該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させ、厚み方向下から、該シート、硬化した該樹脂、該カバーシートの並びで一体化させる一体化工程と、
   該一体化工程で一体化させた部材を該保持テーブルから搬出する搬出工程と、
   からなる液状樹脂の搬出方法。

Images