JP2021174126A

JP2021174126A - Handy operation terminal

Info

Publication number: JP2021174126A
Application number: JP2020075831A
Authority: JP
Inventors: 大毅法島; Daiki Norishima; 涼平松尾; Ryohei Matsuo
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-04-22
Filing date: 2020-04-22
Publication date: 2021-11-01

Abstract

To display a structural diagram of a processing device in a direction that matches the field of view of the processing device from the worker's working position.SOLUTION: A handy operation terminal that is connected to a control unit of a processing device having a plurality of connector portions and can be used to operate the processing device, includes a main body including a display with a touch panel, and a cable connection part to which a cable connected to one of a plurality of connector parts is connected. When connected to the processing device via the cable, the display with a touch panel displays a structural diagram of the processing device in the orientation when the processing device is visually recognized from a position side corresponding to the position of the connector part connected to the cable. Preferably, the structural diagram of the processing device displayed on the display with a touch panel is a three-dimensional image.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、加工装置に接続され該加工装置を操作する際に使用されるハンディ操作端末に関する。 The present invention relates to a handy operation terminal connected to a processing apparatus and used when operating the processing apparatus.

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される被加工物が様々な加工装置によって加工される。加工装置の正面には、加工装置を操作するための操作パネルが配設される。加工装置を操作する作業者は、操作パネルを使用して加工装置に各種の指令を入力する。 In the manufacturing process of device chips incorporated in electronic devices and the like, workpieces typified by semiconductor wafers and resin package substrates are processed by various processing devices. An operation panel for operating the processing apparatus is arranged on the front surface of the processing apparatus. The operator who operates the processing apparatus inputs various commands to the processing apparatus using the operation panel.

近年、加工装置で実施される工数の増大や被加工物の大型化のために加工装置が大型化しており、加工装置のメンテナンス等の作業を実施する際、作業場所が操作パネルから離れた位置となることがある。この場合、作業者は、操作パネルで加工装置を操作しつつ作業を進めるために、操作パネルと作業場所との往復を繰り返すこととなる。そこで、操作パネルから離れた作業場所で加工装置に指令を入力できるように、持ち運び可能なハンディ操作端末が加工装置に接続されて使用される（特許文献１参照）。 In recent years, the processing equipment has become larger due to the increase in man-hours performed by the processing equipment and the increase in the size of the workpiece, and when performing work such as maintenance of the processing equipment, the work place is located away from the operation panel. May become. In this case, the operator repeats the reciprocation between the operation panel and the work place in order to proceed with the work while operating the processing apparatus on the operation panel. Therefore, a portable handy operation terminal is connected to the processing apparatus and used so that a command can be input to the processing apparatus at a work place away from the operation panel (see Patent Document 1).

特開平１１−４８０５９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-48059

ハンディ操作端末は、例えば、液晶パネル等の表示部にタッチパネルが重ねられたタッチパネル付きディスプレイを備える。作業者は、タッチパネル付きディスプレイに表示される各種の操作ボタンをタッチすることで加工装置に各種の指令を入力できる。また、ハンディ操作端末には、操作ボタンだけでなく、加工装置のメンテナンス等の作業に有用な各種の情報や、加工装置の構造図等も表示される。 The handy operation terminal includes, for example, a display with a touch panel in which a touch panel is superimposed on a display unit such as a liquid crystal panel. The operator can input various commands to the processing apparatus by touching various operation buttons displayed on the display with a touch panel. Further, on the handy operation terminal, not only the operation buttons but also various information useful for work such as maintenance of the processing device, a structural drawing of the processing device, and the like are displayed.

ハンディ操作端末に加工装置の構造図が表示されると、作業者は該構造図を確認しながら効率的に作業を実施できる。しかしながら、表示される構造図の向きは一定であり、作業者の作業位置から加工装置を見た視野と、構造図の向きと、が一致しない場合が多い。そのため、構造図を確認することでむしろ作業者が混乱して操作ミスを生じる場合があり、問題が生じていた。 When the structural drawing of the processing device is displayed on the handy operation terminal, the operator can efficiently carry out the work while checking the structural drawing. However, the orientation of the displayed structural drawing is constant, and the field of view of the processing apparatus viewed from the worker's working position often does not match the orientation of the structural drawing. Therefore, checking the structural drawing may rather confuse the operator and cause an operation error, which causes a problem.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者の作業位置から加工装置を見た視野に合う向きの該加工装置の構造図を表示できるハンディ操作端末を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is a handy operation terminal capable of displaying a structural drawing of the processing device in a direction matching the field of view of the processing device from the working position of the operator. Is to provide.

本発明の一態様によれば、複数のコネクタ部を備える加工装置の制御ユニットに接続され、該加工装置の操作に使用できるハンディ操作端末であって、タッチパネル付きディスプレイを含む本体と、該複数のコネクタ部の一つに連結されるケーブルが接続されるケーブル接続部と、を含み、該ケーブルを介して該加工装置に接続されたとき、該ケーブルに連結された該コネクタ部の位置に対応して、該位置側から該加工装置が視認される際の向きで該加工装置の構造図を該タッチパネル付きディスプレイに表示することを特徴とするハンディ操作端末が提供される。 According to one aspect of the present invention, a handy operation terminal that is connected to a control unit of a processing device including a plurality of connector portions and can be used for operating the processing device, the main body including a display with a touch panel, and the plurality of. It includes a cable connection part to which a cable connected to one of the connector parts is connected, and corresponds to the position of the connector part connected to the cable when connected to the processing apparatus via the cable. Therefore, a handy operation terminal is provided, characterized in that a structural drawing of the processing device is displayed on a display with a touch panel in an orientation when the processing device is visually recognized from the position side.

好ましくは、該タッチパネル付きディスプレイに表示される該加工装置の該構造図は、３次元画像である。 Preferably, the structural drawing of the processing apparatus displayed on the display with a touch panel is a three-dimensional image.

本発明の一態様にかかるハンディ操作端末は、複数のコネクタ部を備える加工装置にケーブルを介して接続される。このとき、複数のコネクタ部のうち一つに該ケーブルが接続される。そして、ケーブルに接続されるコネクタ部の位置側で作業者が作業することが想定される。 The handy operation terminal according to one aspect of the present invention is connected to a processing device including a plurality of connector portions via a cable. At this time, the cable is connected to one of the plurality of connector portions. Then, it is assumed that the operator works on the position side of the connector portion connected to the cable.

そこで、ハンディ操作端末のタッチパネル付きディスプレイには、ケーブルに接続されるコネクタ部の位置側で該ハンディ操作端末を操作する作業者が該加工装置を視認する向きで該加工装置の構造図を表示させる。そのため、作業者がどの位置でハンディ操作端末を操作する場合においても、作業者は、視認する加工装置の向きに対応した向きの構造図を参照できる。すなわち、本発明の一態様に係るハンディ操作端末を使用すると、構造図を確認することに起因する操作ミス等の問題が生じない。 Therefore, on the display with a touch panel of the handy operation terminal, the structural drawing of the processing device is displayed in the direction in which the operator who operates the handy operation terminal visually recognizes the processing device on the position side of the connector portion connected to the cable. .. Therefore, regardless of the position at which the operator operates the handy operation terminal, the operator can refer to the structural drawing of the orientation corresponding to the orientation of the processing device to be visually recognized. That is, when the handy operation terminal according to one aspect of the present invention is used, problems such as operation mistakes caused by checking the structural drawing do not occur.

したがって、本発明の一態様によると、作業者の作業位置から加工装置を見た視野に合う向きの該加工装置の構造図を表示できるハンディ操作端末が提供される。 Therefore, according to one aspect of the present invention, there is provided a handy operation terminal capable of displaying a structural drawing of the processing device in a direction matching the field of view of the processing device from the working position of the worker.

加工装置を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the processing apparatus. ハンディ操作端末を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the handy operation terminal. 図３（Ａ）は、ある角度から見た加工装置の構造図を表示するハンディ操作端末を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、他の角度から見た加工装置の構造図を表示するハンディ操作端末を模式的に示す平面図である。FIG. 3A is a plan view schematically showing a handy operation terminal for displaying a structural diagram of the processing apparatus viewed from a certain angle, and FIG. 3B is a plan view schematically showing a structure of the processing apparatus viewed from another angle. It is a top view which shows typically the handy operation terminal which displays a figure. 加工装置の構造図を３次元画像で表示するハンディ操作端末を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the handy operation terminal which displays the structural drawing of a processing apparatus as a three-dimensional image.

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係るハンディ操作端末は、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）等の半導体材料からなるウェーハ等を加工する加工装置に接続される。まず、該加工装置で加工される被加工物について、該被加工物が半導体ウェーハである場合を例に説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The handy operation terminal according to the present embodiment is connected to a processing device for processing a wafer or the like made of a semiconductor material such as silicon or SiC (silicon carbide). First, the workpiece to be machined by the processing apparatus will be described by taking the case where the workpiece is a semiconductor wafer as an example.

半導体ウェーハの表面には、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）が設定される。該分割予定ラインによって区画される各領域には、複数のＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスが形成される。ウェーハを裏面側から研削して所定の厚さに薄化し、該裏面を研磨し、該ウェーハを該分割予定ラインに沿って分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。 A plurality of scheduled division lines (streets) intersecting each other are set on the surface of the semiconductor wafer. Devices such as a plurality of ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large Scale Integration) are formed in each area partitioned by the planned division line. Individual device chips can be formed by grinding the wafer from the back surface side to thin it to a predetermined thickness, polishing the back surface, and dividing the wafer along the planned division line.

本実施形態に係るハンディ操作端末が接続される加工装置は、例えば、半導体ウェーハ等の被加工物を研削、研磨、または、分割する加工装置である。被加工物を分割する加工装置は、例えば、円環状の切削ブレードで被加工物を分割予定ラインに沿って切削する切削装置、または、被加工物に分割予定ラインに沿ってレーザビームを照射して被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置である。 The processing device to which the handy operation terminal according to the present embodiment is connected is, for example, a processing device that grinds, polishes, or divides a workpiece such as a semiconductor wafer. The machining apparatus that divides the workpiece is, for example, a cutting apparatus that cuts the workpiece along the planned division line with an annular cutting blade, or irradiates the workpiece with a laser beam along the scheduled division line. This is a laser processing device that laser-processes a work piece.

以下、ハンディ操作端末が接続される加工装置が研削装置である場合を例に本実施形態に係るハンディ操作端末について説明するが、加工装置は研削装置に限定されない。図１は、研削装置２を模式的に示す斜視図である。次に、研削装置（加工装置）２について詳述する。 Hereinafter, the handy operation terminal according to the present embodiment will be described by taking the case where the processing device to which the handy operation terminal is connected is a grinding device as an example, but the processing device is not limited to the grinding device. FIG. 1 is a perspective view schematically showing the grinding device 2. Next, the grinding device (processing device) 2 will be described in detail.

研削装置２は、各構成要素を支持する基台４と、該基台４に搭載された各構成要素を覆う筐体４ａと、を備える。図２では、説明の便宜のために、筐体４ａの輪郭を破線で示し、内部の各構成要素を実線で示している。 The grinding device 2 includes a base 4 that supports each component and a housing 4a that covers each component mounted on the base 4. In FIG. 2, for convenience of explanation, the outline of the housing 4a is shown by a broken line, and each component inside is shown by a solid line.

基台４上には、円盤状のターンテーブル６が水平面内において回転可能に設けられている。ターンテーブル６の上面には、円周方向に１２０度離間して３個のチャックテーブル８が備えられており、ターンテーブル６を回転させることで各チャックテーブル８が被加工物搬入・搬出領域、粗研削領域、仕上げ研削領域、にそれぞれ位置付けられるようになっている。 A disk-shaped turntable 6 is rotatably provided on the base 4 in a horizontal plane. The upper surface of the turntable 6 is provided with three chuck tables 8 separated by 120 degrees in the circumferential direction, and by rotating the turntable 6, each chuck table 8 is provided with a work piece loading / unloading area. It is positioned in the rough grinding area and the finish grinding area, respectively.

被加工物搬入・搬出領域では、加工前の被加工物がチャックテーブル８上に載置され、また、加工後に被加工物が該チャックテーブル８上から取り外される。粗研削領域では、研削ユニット（加工ユニット）１４ａを使用して速い加工送り速度で被加工物を研削する粗研削を実施する。該仕上げ研削領域では、研削ユニット（加工ユニット）１４ｂを使用して、研削後の該被研削面の平坦性が該粗研削よりも高くなる仕上げ研削を実施する。 In the work piece loading / unloading area, the work piece before machining is placed on the chuck table 8, and the work piece is removed from the chuck table 8 after machining. In the rough grinding region, the grinding unit (machining unit) 14a is used to perform rough grinding in which the workpiece is ground at a high machining feed rate. In the finish grinding region, a grinding unit (machining unit) 14b is used to perform finish grinding in which the flatness of the surface to be ground after grinding is higher than that of rough grinding.

チャックテーブル８は、一端が吸引源（不図示）と接続された吸引路（不図示）を内部に有し、該吸引路の他端がチャックテーブル８の上面の保持面８ａに接続されている。保持面８ａは多孔質部材によって構成されており、保持面８ａ上に載せ置かれた被加工物に該多孔質部材を通して該吸引源により生じた負圧を作用させると、チャックテーブル８で被加工物を吸引保持できる。 The chuck table 8 has a suction path (not shown) at one end connected to a suction source (not shown), and the other end of the suction path is connected to a holding surface 8a on the upper surface of the chuck table 8. .. The holding surface 8a is composed of a porous member, and when a negative pressure generated by the suction source is applied to a work piece placed on the holding surface 8a through the porous member, the chuck table 8 is processed. Can suck and hold objects.

基台４の後部にはコラム１０ａ，１０ｂが立設されており、このコラム１０ａ，１０ｂにはそれぞれ研削ユニット１４ａ，１４ｂが設けられている。研削ユニット１４ａ，１４ｂは、それぞれ、該研削ユニット１４ａ，１４ｂを昇降させるボールねじ式の加工送りユニット（昇降ユニット）１２ａ，１２ｂにより支持される。 Columns 10a and 10b are erected at the rear of the base 4, and grinding units 14a and 14b are provided on the columns 10a and 10b, respectively. The grinding units 14a and 14b are supported by ball screw type machining feed units (elevating units) 12a and 12b that raise and lower the grinding units 14a and 14b, respectively.

それぞれの研削ユニット１４ａ，１４ｂは、下端に研削ホイール１６ａ，１６ｂを回転可能に備える。研削ホイール１６ａ，１６ｂは円環状に配された研削砥石１８ａ，１８ｂを下面に備え、チャックテーブル８で保持された被加工物を研削する。研削ユニット１４ａ，１４ｂは、それぞれ、加工送りユニット１２ａ，１２ｂにより上下方向に加工送りされるように構成されている。 Each of the grinding units 14a and 14b is provided with rotatably grinding wheels 16a and 16b at the lower ends. The grinding wheels 16a and 16b are provided with grinding wheels 18a and 18b arranged in an annular shape on the lower surface, and grind the workpiece held by the chuck table 8. The grinding units 14a and 14b are configured to be machined and fed in the vertical direction by the machining feed units 12a and 12b, respectively.

基台４上の研削ユニット１４ａの近傍には、研削ユニット１４ａで研削される被加工物の厚さを測定する厚さ測定ユニット２０ａが設けられている。また、基台４上の研削ユニット１４ｂの近傍には、研削ユニット１４ｂで研削される被加工物の厚さを測定する厚さ測定ユニット２０ｂが設けられている。 In the vicinity of the grinding unit 14a on the base 4, a thickness measuring unit 20a for measuring the thickness of the workpiece to be ground by the grinding unit 14a is provided. Further, in the vicinity of the grinding unit 14b on the base 4, a thickness measuring unit 20b for measuring the thickness of the workpiece to be ground by the grinding unit 14b is provided.

それぞれの厚さ測定ユニット２０ａ，２０ｂは、例えば、チャックテーブル８に保持された被加工物の被研削面に接触する接触部と、チャックテーブル８の保持面８ａに接触する接触部と、を備える。そして、被研削面の高さと、保持面８ａの高さと、を測定し、それぞれの高さに基づいて被加工物の厚さを算出する。 Each of the thickness measuring units 20a and 20b includes, for example, a contact portion that contacts the surface to be ground of the workpiece held by the chuck table 8 and a contact portion that contacts the holding surface 8a of the chuck table 8. .. Then, the height of the surface to be ground and the height of the holding surface 8a are measured, and the thickness of the workpiece is calculated based on the respective heights.

基台４の前端にはカセット載置台２４ａ，２４ｂが設けられている。例えば、カセット載置台２４ａ上には加工前の被加工物を収容したカセット２２ａが載置され、カセット載置台２４ｂ上には加工の終了した被加工物を収容するためのカセット２２ｂが載置される。ただし、カセット２２ａ，２２ｂはこれに限定されない。 Cassette mounting bases 24a and 24b are provided at the front end of the base 4. For example, a cassette 22a containing a work piece before processing is placed on the cassette mount 24a, and a cassette 22b for accommodating a work piece that has been processed is placed on the cassette stand 24b. NS. However, the cassettes 22a and 22b are not limited to this.

カセット載置台２４ａ，２４ｂに隣接して基台４上に被加工物搬送ロボット２６が据え付けられている。基台４の前側部分には更に、複数の位置決めピンを有する位置決めテーブル２８と、被加工物搬入機構（ローディングアーム）３０と、被加工物搬出機構（アンローディングアーム）３２と、研削された被加工物を洗浄及びスピン乾燥するスピンナ洗浄装置３４と、が配設されている。 The workpiece transfer robot 26 is installed on the base 4 adjacent to the cassette mounting bases 24a and 24b. Further, on the front side portion of the base 4, a positioning table 28 having a plurality of positioning pins, a workpiece loading mechanism (loading arm) 30, a workpiece unloading mechanism (unloading arm) 32, and a ground workpiece are further formed. A spinner cleaning device 34 for cleaning and spin-drying the work piece is provided.

加工前の被加工物は、カセット載置台２４ａ，２４ｂに載せられたカセット２２ａ，２２ｂから被加工物搬送ロボット２６により搬出される。被加工物搬送ロボット２６は、互いに端部で回転可能に連結された複数のアームを備え、先端に被加工物が載る保持部を備える。カセット載置台２４ａ，２４ｂは昇降可能であり、目的の被加工物（収容領域）の高さが被加工物搬送ロボット２６の保持部の高さに合うように昇降する。また、被加工物搬送ロボット２６が昇降可能でもよい。 The workpiece before processing is carried out by the workpiece transfer robot 26 from the cassettes 22a and 22b mounted on the cassette mounting tables 24a and 24b. The workpiece transfer robot 26 includes a plurality of arms rotatably connected to each other at the ends, and includes a holding portion on which the workpiece rests. The cassette mounting bases 24a and 24b can be raised and lowered so that the height of the target work piece (accommodation area) matches the height of the holding portion of the work piece transfer robot 26. Further, the workpiece transfer robot 26 may be able to move up and down.

被加工物搬送ロボット２６は、カセット２２ａ，２２ｂの一方から位置決めテーブル２８に加工前の被加工物を搬送する。位置決めテーブル２８では、複数の位置決めピンを位置決めテーブル２８の中央に向けて連動して径方向内側に移動させて外周から被加工物を挟むことで被加工物の位置を所定の位置に合わせる。 The workpiece transfer robot 26 transfers the workpiece before machining from one of the cassettes 22a and 22b to the positioning table 28. In the positioning table 28, a plurality of positioning pins are interlocked toward the center of the positioning table 28 and moved inward in the radial direction to sandwich the workpiece from the outer circumference so that the position of the workpiece is aligned with a predetermined position.

被加工物搬入機構（ローディングアーム）３０は、例えば、基台４に固定された軸の周りに回転可能な軸部と、軸部の上端から水平方向に伸びた腕部と、腕部の先端に設けられ被加工物を上方から吸引保持する保持部と、を備える。被加工物搬入機構３０は、位置決めテーブル２８で位置が調整された被加工物を保持部で上方から保持して被加工物搬入・搬出領域に配されたチャックテーブル８に搬送する。 The workpiece loading mechanism (loading arm) 30 includes, for example, a shaft portion that can rotate around a shaft fixed to the base 4, an arm portion that extends horizontally from the upper end of the shaft portion, and a tip of the arm portion. It is provided with a holding portion for sucking and holding the work piece from above. The workpiece loading mechanism 30 holds the workpiece whose position has been adjusted by the positioning table 28 from above by the holding portion and conveys it to the chuck table 8 arranged in the workpiece loading / unloading region.

そして、チャックテーブル８で被加工物を吸引保持した後、ターンテーブル６を１２０度回転させて、該チャックテーブル８を研削ユニット１４ａの下方の粗研削領域に位置づける。そして、研削ホイール１６ａを回転させながら加工送りユニット１２ａを作動させて研削ユニット１４ａを下降させ、被加工物の上面に研削砥石１８ａを接触させると、被加工物の上面が粗研削される。 Then, after the work piece is sucked and held by the chuck table 8, the turntable 6 is rotated by 120 degrees to position the chuck table 8 in the rough grinding region below the grinding unit 14a. Then, when the machining feed unit 12a is operated while rotating the grinding wheel 16a to lower the grinding unit 14a and the grinding wheel 18a is brought into contact with the upper surface of the workpiece, the upper surface of the workpiece is roughly ground.

その後、ターンテーブル６をさらに１２０度回転させて、該チャックテーブル８を研削ユニット１４ｂの下方の仕上げ研削領域に位置づける。そして、研削ホイール１６ｂを回転させながら加工送りユニット１２ｂを作動させて研削ユニット１４ｂを下降させ、被加工物の上面に研削砥石１８ｂを接触させると、被加工物の上面が仕上げ研削される。 After that, the turntable 6 is further rotated by 120 degrees to position the chuck table 8 in the finish grinding region below the grinding unit 14b. Then, the machining feed unit 12b is operated while rotating the grinding wheel 16b to lower the grinding unit 14b, and when the grinding wheel 18b is brought into contact with the upper surface of the workpiece, the upper surface of the workpiece is finish-ground.

被加工物搬出機構（アンローディングアーム）３２は、例えば、基台４に固定された軸の周りに回転可能な軸部と、軸部の上端から水平方向に伸びた腕部と、腕部の先端に設けられ被加工物を上方から吸引保持する保持部と、を備える。次に、ターンテーブル６を逆方向に２４０度回転させて、チャックテーブル８を被加工物搬入・搬出領域に戻す。そして、被加工物搬出機構３２で被加工物をチャックテーブル８からスピンナ洗浄装置３４に搬送する。 The workpiece unloading mechanism (unloading arm) 32 includes, for example, a shaft portion that can rotate around a shaft fixed to the base 4, an arm portion that extends horizontally from the upper end of the shaft portion, and an arm portion. It is provided with a holding portion provided at the tip and holding the workpiece by suction from above. Next, the turntable 6 is rotated 240 degrees in the opposite direction, and the chuck table 8 is returned to the work piece loading / unloading area. Then, the workpiece unloading mechanism 32 conveys the workpiece from the chuck table 8 to the spinner cleaning device 34.

スピンナ洗浄装置３４は、被加工物を保持する図示しないスピンナテーブルを備える。スピンナ洗浄装置３４では、被加工物を保持するスピンナテーブルを回転させながら、上方から該被加工物に純水等の流体を高圧で噴射して被加工物を洗浄する。洗浄された被加工物は、被加工物搬送ロボット２６によりカセット２２ａ，２２ｂの一方に収容される。研削装置２では、このように、カセット２２ａ，２２ｂに収容された複数の被加工物が次々に研削され、カセット２２ａ，２２ｂに収容される。 The spinner cleaning device 34 includes a spinner table (not shown) for holding the workpiece. The spinner cleaning device 34 cleans the workpiece by injecting a fluid such as pure water from above onto the workpiece at high pressure while rotating the spinner table that holds the workpiece. The washed workpiece is accommodated in one of the cassettes 22a and 22b by the workpiece transfer robot 26. In the grinding device 2, the plurality of workpieces housed in the cassettes 22a and 22b are ground one after another and housed in the cassettes 22a and 22b.

研削装置２は、さらに制御ユニット３８を備える。制御ユニット３８は、研削装置２の各構成要素に接続されており、各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット３８は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット３８の機能が実現される。 The grinding device 2 further includes a control unit 38. The control unit 38 is connected to each component of the grinding device 2 and has a function of controlling each component. The control unit 38 is composed of, for example, a computer including a processing device such as a CPU (Central Processing Unit), a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory), and an auxiliary storage device such as a flash memory. .. The function of the control unit 38 is realized by operating the processing device or the like according to the software stored in the auxiliary storage device.

制御ユニット３８には、被加工物を加工するための加工条件が予め入力され登録される。そして、制御ユニット３８は、該加工条件に従って各構成要素を制御する。加工条件は、被加工物の種別や所望の加工結果に合わせて適宜設定される。 Processing conditions for processing the workpiece are input and registered in advance in the control unit 38. Then, the control unit 38 controls each component according to the processing conditions. The processing conditions are appropriately set according to the type of the workpiece and the desired processing result.

研削装置２で被加工物の研削加工を繰り返すと、研削ユニット１４ａ，１４ｂに装着された研削ホイール１６ａ，１６ｂの研削砥石１８ａ，１８ｂが消耗するため、研削ホイール１６ａ，１６ｂを定期的に交換する必要がある。また、研削装置２の各構成要素が正常に動作するように、研削装置２では、各構成要素の点検や保守作業が必要である。研削装置２では、作業者がそのようなメンテナンス等の作業を実施する。 When the grinding device 2 repeats the grinding process of the workpiece, the grinding wheels 18a and 18b of the grinding wheels 16a and 16b mounted on the grinding units 14a and 14b are consumed. Therefore, the grinding wheels 16a and 16b are replaced regularly. There is a need. Further, in order for each component of the grinding device 2 to operate normally, it is necessary to inspect and maintain each component of the grinding device 2. In the grinding device 2, an operator performs work such as maintenance.

加工装置には、該加工装置を操作するための操作パネル（不図示）が筐体４ａの外表面に設けられている。作業者は該操作パネルを使用して制御ユニット３８に各種の指令を入力して該加工装置を操作する。近年、被加工物の大型化や、各種の加工装置で実施される工程の増大に伴い、加工装置の大型化の傾向が著しい。そのため、作業位置次第では、該作業位置にいる作業者が操作パネルを操作できない場合がある。そこで、該作業位置で指令を入力できるように、該加工装置に接続されるハンディ操作端末が使用される。 The processing apparatus is provided with an operation panel (not shown) for operating the processing apparatus on the outer surface of the housing 4a. The operator uses the operation panel to input various commands to the control unit 38 to operate the processing apparatus. In recent years, there has been a remarkable tendency for the processing equipment to become larger due to the increase in the size of the workpiece and the increase in the number of processes performed by various processing equipment. Therefore, depending on the work position, the operator at the work position may not be able to operate the operation panel. Therefore, a handy operation terminal connected to the processing apparatus is used so that a command can be input at the working position.

研削装置２の外表面には、図１に示す通り、複数のコネクタ部３６ａ，３６ｂが配される。研削装置２には、例えば、図１で確認される位置以外の裏面側にも図示しないコネクタ部が設けられる。ハンディ操作端末は、複数のコネクタ部の一つにケーブルを介して接続される。 As shown in FIG. 1, a plurality of connector portions 36a and 36b are arranged on the outer surface of the grinding device 2. The grinding device 2 is provided with, for example, a connector portion (not shown) on the back surface side other than the position confirmed in FIG. The handy operation terminal is connected to one of a plurality of connector portions via a cable.

次に、ハンディ操作端末について説明する。図２は、ハンディ操作端末１を模式的に示す斜視図である。ハンディ操作端末１は、例えば、タブレットＰＣである。ハンディ操作端末１は、ケーブル９を介して研削装置（加工装置）２に接続される。ハンディ操作端末１は、ケーブル９が接続されるケーブル接続部７を本体３に備えている。 Next, the handy operation terminal will be described. FIG. 2 is a perspective view schematically showing the handy operation terminal 1. The handy operation terminal 1 is, for example, a tablet PC. The handy operation terminal 1 is connected to the grinding device (processing device) 2 via the cable 9. The handy operation terminal 1 includes a cable connecting portion 7 to which the cable 9 is connected in the main body 3.

ケーブル９の一端は、ケーブル接続部７において本体３に固定されていてもよい。または、ケーブル９は本体３に着脱可能でもよく、この場合、ケーブル接続部７はケーブル９の端部の端子部を受けるソケット状に形成される。また、ケーブル９の反対側の端部には、研削装置２のコネクタ部３６ａ，３６ｂに接続される所定の形状の端子部１１が設けられる。 One end of the cable 9 may be fixed to the main body 3 at the cable connection portion 7. Alternatively, the cable 9 may be attached to and detached from the main body 3, and in this case, the cable connecting portion 7 is formed in a socket shape for receiving the terminal portion at the end of the cable 9. Further, at the end on the opposite side of the cable 9, a terminal portion 11 having a predetermined shape connected to the connector portions 36a and 36b of the grinding device 2 is provided.

ハンディ操作端末１は、液晶パネルやＯＬＥＤパネル等の表示部と、操作ボタンやタッチパネル等の入力インターフェースと、を本体３に備える。表示部は、研削装置（加工装置）２に関する各種の情報や操作画面を表示する機能を有する。また、入力インターフェースは、研削装置２の制御ユニット３８に各種の指令を入力する際に使用される。 The handy operation terminal 1 includes a display unit such as a liquid crystal panel or an OLED panel, and an input interface such as an operation button or a touch panel in the main body 3. The display unit has a function of displaying various information and operation screens related to the grinding device (processing device) 2. Further, the input interface is used when inputting various commands to the control unit 38 of the grinding device 2.

図２に示す通り、ハンディ操作端末１は、表示部として機能するディスプレイパネルと、入力インターフェースとして機能するタッチパネルと、が重ねられたタッチパネル付きディスプレイ５を備えてもよい。以下、ハンディ操作端末１がタッチパネル付きディスプレイ５を備える場合を例に説明するが、ハンディ操作端末１の表示部及び入力インターフェースはこれに限定されない。ハンディ操作端末１は、本体３の表示部から離れた位置に操作ボタンやキーボード、タッチパネル等の入力インターフェースを備えてもよい。 As shown in FIG. 2, the handy operation terminal 1 may include a display 5 with a touch panel on which a display panel functioning as a display unit and a touch panel functioning as an input interface are stacked. Hereinafter, the case where the handy operation terminal 1 includes the display 5 with a touch panel will be described as an example, but the display unit and the input interface of the handy operation terminal 1 are not limited to this. The handy operation terminal 1 may be provided with an input interface such as an operation button, a keyboard, and a touch panel at a position away from the display unit of the main body 3.

ハンディ操作端末１がケーブル９を介して研削装置（加工装置）２に接続されたとき、作業者は、タッチパネル付きディスプレイ５に表示された操作画面に含まれる操作ボタンをタッチすることで制御ユニット３８に指令を入力できる。さらに、タッチパネル付きディスプレイ５には、操作ボタンとともに作業に有用な各種の情報や研削装置（加工装置）２の構造図が表示される。 When the handy operation terminal 1 is connected to the grinding device (processing device) 2 via the cable 9, the operator touches the operation button included in the operation screen displayed on the display 5 with the touch panel to touch the control unit 38. You can enter commands in. Further, on the display 5 with a touch panel, various information useful for work and a structural drawing of the grinding device (processing device) 2 are displayed together with the operation buttons.

タッチパネル付きディスプレイ５に表示される画面は、例えば、研削装置２の制御ユニット３８により制御される。すなわち、制御ユニット３８は、ケーブル９を介してハンディ操作端末１に電気信号を送り、操作画面や構造図等をタッチパネル付きディスプレイ５に表示させる。 The screen displayed on the display 5 with a touch panel is controlled by, for example, the control unit 38 of the grinding device 2. That is, the control unit 38 sends an electric signal to the handy operation terminal 1 via the cable 9 to display the operation screen, the structural drawing, and the like on the display 5 with a touch panel.

ハンディ操作端末１に研削装置２の構造図が表示されると、作業者は該構造図を確認しながら効率的に作業を実施できる。しかしながら、表示される構造図の向きが一定である場合、作業者の作業位置から研削装置２を見た視野と、構造図の向きと、が一致するとは限らず、構造図を確認することでむしろ作業者が混乱して操作ミスを生じる場合がある。 When the structural drawing of the grinding device 2 is displayed on the handy operation terminal 1, the operator can efficiently carry out the work while checking the structural drawing. However, when the orientation of the displayed structural drawing is constant, the field of view of the grinding device 2 viewed from the worker's working position and the orientation of the structural drawing do not always match, and by checking the structural drawing, Rather, the operator may be confused and make an operation error.

そこで、本実施形態に係るハンディ操作端末１では、作業位置で作業者が視認する研削装置２の向きに合う向きの構造図をタッチパネル付きディスプレイ５に表示させる。この場合、作業者は、構造図の情報と、目の前の研削装置２と、を直感的に対応させやすく、構造図を確認することによる混乱が生じなくなる。 Therefore, in the handy operation terminal 1 according to the present embodiment, the display 5 with a touch panel is displayed with a structural drawing in a direction corresponding to the direction of the grinding device 2 visually recognized by the operator at the working position. In this case, the operator can easily intuitively associate the information on the structural drawing with the grinding device 2 in front of him, and there is no confusion caused by checking the structural drawing.

ここで、作業者が研削装置２を視認する向きを検出する方法について説明する。作業者は、作業位置でハンディ操作端末１を操作するため、該作業位置に最も近いコネクタ部３６ａ，３６ｂにケーブル９を介してハンディ操作端末１を接続する。換言すると、研削装置２が備える複数のコネクタ部３６ａ，３６ｂのうちケーブル９が連結されるコネクタ部の位置の近傍に該作業位置が位置することとなる。 Here, a method of detecting the direction in which the operator visually recognizes the grinding device 2 will be described. In order to operate the handy operation terminal 1 at the work position, the operator connects the handy operation terminal 1 to the connector portions 36a and 36b closest to the work position via the cable 9. In other words, the working position is located in the vicinity of the position of the connector portion to which the cable 9 is connected among the plurality of connector portions 36a and 36b provided in the grinding device 2.

研削装置２の制御ユニット３８は、ケーブル９に接続されるコネクタ部を認識する接続コネクタ部認識部３８ｃを備える。接続コネクタ部認識部３８ｃは、複数のコネクタ部３６ａ，３６ｂのいずれかにケーブル９が接続されたとき、ケーブル９に接続されたコネクタ部を特定し認識する。接続コネクタ部認識部３８ｃが認識したコネクタ部の位置側から作業者が研削装置２を視認することが想定されるため、該コネクタ部の位置側から視認される際の向きでタッチパネル付きディスプレイ５に構造図が表示されることが望まれる。 The control unit 38 of the grinding device 2 includes a connection connector portion recognition unit 38c that recognizes the connector portion connected to the cable 9. When the cable 9 is connected to any of the plurality of connector portions 36a and 36b, the connection connector portion recognition unit 38c identifies and recognizes the connector portion connected to the cable 9. Since it is assumed that the operator visually recognizes the grinding device 2 from the position side of the connector portion recognized by the connector portion recognition unit 38c, the display 5 with the touch panel is oriented so as to be visually recognized from the position side of the connector portion. It is hoped that the structural drawing will be displayed.

例えば、制御ユニット３８は、それぞれのコネクタ部３６ａ，３６ｂの位置に対応して、それぞれの位置側から研削装置２が視認される際の向きの構造図が予め登録される図面登録部３８ａを備える。例えば、図面登録部３８ａには、コネクタ部３６ａ，３６ｂの数だけ互いに向きの異なる研削装置２の構造図が登録される。 For example, the control unit 38 includes a drawing registration unit 38a in which a structural drawing of the orientation when the grinding device 2 is visually recognized from each position side is registered in advance corresponding to the positions of the respective connector portions 36a and 36b. .. For example, structural drawings of grinding devices 2 having different orientations are registered in the drawing registration unit 38a by the number of connector units 36a and 36b.

制御ユニット３８は、ハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５の表示を制御する表示制御部３８ｂを備える。表示制御部３８ｂは、ハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５に研削装置２の構造図を表示させる際、ハンディ操作端末１が接続されたコネクタ部に関する情報を接続コネクタ部認識部３８ｃから取得する。そして、接続された該コネクタ部に対応する構造図を図面登録部３８ａから取得し、ハンディ操作端末１に送信する。 The control unit 38 includes a display control unit 38b that controls the display of the touch panel-equipped display 5 of the handy operation terminal 1. When displaying the structural drawing of the grinding device 2 on the touch panel-equipped display 5 of the handy operation terminal 1, the display control unit 38b acquires information about the connector unit to which the handy operation terminal 1 is connected from the connection connector unit recognition unit 38c. Then, the structural drawing corresponding to the connected connector unit is acquired from the drawing registration unit 38a and transmitted to the handy operation terminal 1.

これにより、ハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５には、作業位置に立つ作業者の視野に対応する向きの構造図が表示される。このとき、作業者は表示される構造を選択することはなく、自動的に適切な構造図が表示される。 As a result, the display 5 with a touch panel of the handy operation terminal 1 displays a structural drawing in a direction corresponding to the field of view of the operator standing at the work position. At this time, the operator does not select the structure to be displayed, and an appropriate structure diagram is automatically displayed.

なお、図面登録部３８ａと、表示制御部３８ｂと、接続コネクタ部認識部３８ｃと、は研削装置２の制御ユニット３８が備えている必要はなく、ハンディ操作端末１の制御ユニット（不図示）が備えていてもよい。ハンディ操作端末１の制御ユニットは、例えば、ＣＰＵ等の処理装置と、ＤＲＡＭ等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、該制御ユニットの機能が実現される。 The drawing registration unit 38a, the display control unit 38b, and the connector unit recognition unit 38c do not need to be provided by the control unit 38 of the grinding device 2, and the control unit (not shown) of the handy operation terminal 1 is provided. You may have. The control unit of the handy operation terminal 1 is composed of a computer including, for example, a processing device such as a CPU, a main storage device such as a DRAM, and an auxiliary storage device such as a flash memory. The function of the control unit is realized by operating the processing device or the like according to the software stored in the auxiliary storage device.

すなわち、研削装置２が備える制御ユニットと、ハンディ操作端末１の制御ユニットと、の一方に研削装置２の複数の構造図が登録されており、両制御ユニットの一方によりハンディ操作端末１が接続されたコネクタ部が認識される。さらに、両制御ユニットの一方がハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５に表示される画面を制御し、構造図を該画面に表示させる。 That is, a plurality of structural drawings of the grinding device 2 are registered in one of the control unit included in the grinding device 2 and the control unit of the handy operation terminal 1, and the handy operation terminal 1 is connected by one of both control units. The connector part is recognized. Further, one of the two control units controls the screen displayed on the touch panel-equipped display 5 of the handy operation terminal 1, and causes the structural drawing to be displayed on the screen.

図面登録部３８ａと、表示制御部３８ｂと、接続コネクタ部認識部３８ｃと、は、両制御ユニットの一方にすべて備えられていなくてもよく、両制御ユニットに分けて備えられてもよい。以下、図面登録部３８ａと、表示制御部３８ｂと、接続コネクタ部認識部３８ｃと、が研削装置２の制御ユニット３８に備えられている場合を例に説明する。 The drawing registration unit 38a, the display control unit 38b, and the connector unit recognition unit 38c may not all be provided in one of the two control units, or may be separately provided in both control units. Hereinafter, a case where the drawing registration unit 38a, the display control unit 38b, and the connection connector unit recognition unit 38c are provided in the control unit 38 of the grinding device 2 will be described as an example.

図３（Ａ）は、ハンディ操作端末１に表示された操作画面の一例を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、ハンディ操作端末１に表示された操作画面の他の一例を模式的に示す平面図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す通り、ハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５に表示された操作画面１３ａ，１３ｂには、研削装置（加工装置）２に特定の指令を入力するための複数の操作ボタン１５が含まれる。作業者は、操作ボタン１５をタッチすることで研削装置２に指令を入力できる。 FIG. 3A is a plan view schematically showing an example of an operation screen displayed on the handy operation terminal 1, and FIG. 3B is another example of the operation screen displayed on the handy operation terminal 1. Is a plan view schematically showing. As shown in FIGS. 3A and 3B, a specific command is input to the grinding device (processing device) 2 on the operation screens 13a and 13b displayed on the display 5 with a touch panel of the handy operation terminal 1. A plurality of operation buttons 15 for the purpose are included. The operator can input a command to the grinding device 2 by touching the operation button 15.

例えば、図１に示す研削装置２では、研削ユニット１４ｂに装着された研削ホイール１６ｂが定期的に交換される。研削装置２の筐体４ａでは、研削ユニット１４ｂのメンテナンス等の作業のために、研削ユニット１４ｂの近傍に図示しない開閉扉が形成されている。研削ホイール１６ｂの交換作業を実施する作業者は、該開口扉の近傍の位置に立つこととなる。そして、該作業者は、ハンディ操作端末１に接続されたケーブル９を該開口扉に近いコネクタ部３６ａに接続する。 For example, in the grinding device 2 shown in FIG. 1, the grinding wheel 16b mounted on the grinding unit 14b is periodically replaced. In the housing 4a of the grinding device 2, an opening / closing door (not shown) is formed in the vicinity of the grinding unit 14b for work such as maintenance of the grinding unit 14b. The operator who carries out the replacement work of the grinding wheel 16b will stand at a position near the opening door. Then, the operator connects the cable 9 connected to the handy operation terminal 1 to the connector portion 36a near the opening door.

接続コネクタ部認識部３８ｃは、コネクタ部３６ａにハンディ操作端末１が接続されたことを認識する。そして、表示制御部３８ｂは、コネクタ部３６ａの位置に対応して、該位置側から研削装置２が視認される際の向きの研削装置２の構造図１７ａを図面登録部３８ａから読み出し、ケーブル９を通じてハンディ操作端末１に送信する。 The connector unit recognition unit 38c recognizes that the handy operation terminal 1 is connected to the connector unit 36a. Then, the display control unit 38b reads out the structural drawing 17a of the grinding device 2 in the direction when the grinding device 2 is visually recognized from the position side corresponding to the position of the connector unit 36a from the drawing registration unit 38a, and reads the cable 9 from the drawing registration unit 38a. It is transmitted to the handy operation terminal 1 through.

図３（Ａ）には、図１に示す研削装置２のコネクタ部３６ａに接続されているハンディ操作端末１が模式的に示されている。図３（Ａ）に示す操作画面１３ａには、操作ボタン１５と、研削装置（加工装置）２の構造図１７ａと、が含まれる。構造図１７ａには、作業者に近い構造物が下方に表示され、作業者から離れた構造物が上方に表示される。例えば、研削ユニット１４ｂは構造図１７ａ中の下方に表示され、研削ユニット１４ａは構造図１７ａの上方に表示される。 FIG. 3A schematically shows a handy operation terminal 1 connected to the connector portion 36a of the grinding device 2 shown in FIG. The operation screen 13a shown in FIG. 3A includes an operation button 15 and a structural diagram 17a of the grinding apparatus (processing apparatus) 2. In the structural drawing 17a, the structure close to the worker is displayed at the bottom, and the structure away from the worker is displayed at the top. For example, the grinding unit 14b is displayed below the structural drawing 17a, and the grinding unit 14a is displayed above the structural drawing 17a.

図１に示す研削装置２では、研削ユニット１４ａに装着された研削ホイール１６ａも定期的に交換される。研削装置２の筐体４ａでは、研削ユニット１４ａのメンテナンス等の作業のために、研削ユニット１４ａの近傍にも図示しない開閉扉が形成されている。研削ホイール１６ａの交換作業を実施する作業者は、該開口扉の近傍の位置に立つこととなる。そして、該作業者は、ハンディ操作端末１に接続されたケーブル９を基台４のコネクタ部３６ａとは反対側の面に設けられたコネクタ部（不図示）に接続する。 In the grinding device 2 shown in FIG. 1, the grinding wheel 16a mounted on the grinding unit 14a is also periodically replaced. In the housing 4a of the grinding device 2, an opening / closing door (not shown) is also formed in the vicinity of the grinding unit 14a for work such as maintenance of the grinding unit 14a. The operator who carries out the replacement work of the grinding wheel 16a will stand at a position near the opening door. Then, the operator connects the cable 9 connected to the handy operation terminal 1 to the connector portion (not shown) provided on the surface of the base 4 opposite to the connector portion 36a.

接続コネクタ部認識部３８ｃは、該コネクタ部にハンディ操作端末１が接続されたことを認識する。そして、表示制御部３８ｂは、該コネクタ部の位置に対応して、該位置側から研削装置２が視認される際の向きの研削装置２の構造図１７ｂを図面登録部３８ａから読み出し、ケーブル９を通じてハンディ操作端末１に送信する。 The connector unit recognition unit 38c recognizes that the handy operation terminal 1 is connected to the connector unit. Then, the display control unit 38b reads out the structural drawing 17b of the grinding device 2 in the direction when the grinding device 2 is visually recognized from the position side corresponding to the position of the connector unit from the drawing registration unit 38a, and reads the cable 9 from the drawing registration unit 38a. It is transmitted to the handy operation terminal 1 through.

図３（Ｂ）には、該コネクタ部に接続されているハンディ操作端末１が模式的に示されている。図３（Ｂ）に示す操作画面１３ｂには、操作ボタン１５とともに研削装置２の構造図１７ｂが含まれる。構造図１７ｂでは、研削ユニット１４ａは構造図１７ｂ中の下方に表示され、研削ユニット１４ｂは構造図１７ｂの上方に表示される。 FIG. 3B schematically shows a handy operation terminal 1 connected to the connector portion. The operation screen 13b shown in FIG. 3B includes a structural diagram 17b of the grinding device 2 together with an operation button 15. In structural drawing 17b, the grinding unit 14a is displayed below in structural drawing 17b, and the grinding unit 14b is displayed above structural drawing 17b.

なお、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す通り、構造図１７ａ，１７ｂは、研削装置２の全景が含まれなくてもよく、ハンディ操作端末１が接続されたコネクタ部３６ａの位置を含む領域が拡大されて示されても良い。また、作業者の理解をより容易とするために、構造図１７ａ，１７ｂに含まれる各構成要素に色彩が付されていても良い。 As shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), the structural views 17a and 17b do not have to include a panoramic view of the grinding device 2, and the position of the connector portion 36a to which the handy operation terminal 1 is connected does not have to be included. The area containing the may be enlarged and shown. Further, in order to facilitate the understanding of the operator, each component included in the structural drawings 17a and 17b may be colored.

以上に説明する通り、本実施形態に係るハンディ操作端末１では、作業者が研削装置（加工装置）２を見る視野に対応した向きで構造図１７ａ，１７ｂがタッチパネル付きディスプレイ５に表示される。そのため、作業者は、研削装置２の内部構造を混乱無く直感的に理解でき、構造の把握の誤りに起因する作業ミスをしなくなる。 As described above, in the handy operation terminal 1 according to the present embodiment, the structural drawings 17a and 17b are displayed on the display 5 with a touch panel in the direction corresponding to the field of view in which the operator looks at the grinding device (processing device) 2. Therefore, the operator can intuitively understand the internal structure of the grinding device 2 without confusion, and does not make a work error due to an error in grasping the structure.

なお、上記実施形態では、ハンディ操作端末１のタッチパネル付きディスプレイ５に研削装置２の構造図１７ａ，１７ｂが平面図として表示される場合を例に説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、構造図は研削装置（加工装置）２の構造を３次元的に表現した３次元画像でもよい。 In the above embodiment, the case where the structural views 17a and 17b of the grinding device 2 are displayed as a plan view on the display 5 with a touch panel of the handy operation terminal 1 has been described as an example, but one aspect of the present invention is limited to this. Not done. For example, the structural drawing may be a three-dimensional image that three-dimensionally represents the structure of the grinding apparatus (processing apparatus) 2.

図４は、研削装置２の構造図１７ｃを含む操作画面１３ｃがタッチパネル付きディスプレイ５に表示されたハンディ操作端末１を模式的に示す平面図である。該ハンディ操作端末１は、図１に示す研削装置２のコネクタ部３６ｂにケーブル９を介して接続されている。図４に示される通り、構造図１７ｃは、コネクタ部３６ｂの位置側から研削装置２を見たときの向きで該研削装置２の構造を３次元的に表現した３次元画像である。３次元画像は作業者の視野により近い画像であるため、該作業者の理解をより容易とする。 FIG. 4 is a plan view schematically showing a handy operation terminal 1 in which an operation screen 13c including a structural diagram 17c of the grinding device 2 is displayed on a display 5 with a touch panel. The handy operation terminal 1 is connected to the connector portion 36b of the grinding device 2 shown in FIG. 1 via a cable 9. As shown in FIG. 4, structural drawing 17c is a three-dimensional image in which the structure of the grinding device 2 is three-dimensionally expressed in the direction when the grinding device 2 is viewed from the position side of the connector portion 36b. Since the three-dimensional image is an image closer to the field of view of the worker, it is easier for the worker to understand.

この場合、研削装置２の制御ユニット３８の図面登録部３８ａには、研削装置２の構造が３次元的に表現された構造図１７ｃが登録される。なお、図面登録部３８ａには、３次元画像と、２次元画像と、の両方が登録されてもよく、作業者がタッチパネル付きディスプレイ５に表示させる画像の種別を選択できてもよい。 In this case, a structural drawing 17c in which the structure of the grinding device 2 is three-dimensionally expressed is registered in the drawing registration unit 38a of the control unit 38 of the grinding device 2. Both the three-dimensional image and the two-dimensional image may be registered in the drawing registration unit 38a, and the operator may be able to select the type of image to be displayed on the display 5 with the touch panel.

また、図面登録部３８ａには、３次元画像に代えて、研削装置２の立体構造情報を含む３Ｄ−ＣＡＤ図が登録されてもよい。そして、表示制御部３８ｂがタッチパネル付きディスプレイ５に構造図を表示させる際に、作業者の位置から見た向きの３次元画像を該３Ｄ−ＣＡＤ図から生成してもよい。この場合、ハンディ操作端末１に接続されたコネクタ部の高さ位置に応じて３次元画像の俯角を決定して構造図を生成してもよい。 Further, a 3D-CAD drawing including the three-dimensional structure information of the grinding device 2 may be registered in the drawing registration unit 38a instead of the three-dimensional image. Then, when the display control unit 38b displays the structural diagram on the display 5 with the touch panel, a three-dimensional image in the direction viewed from the position of the operator may be generated from the 3D-CAD diagram. In this case, the depression angle of the three-dimensional image may be determined according to the height position of the connector portion connected to the handy operation terminal 1 to generate a structural drawing.

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structures, methods, etc. relating to the above-described embodiments and modifications can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

１ハンディ操作端末
３本体
５タッチパネル付きディスプレイ
７ケーブル接続部
９ケーブル
１１端子部
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ操作画面
１５操作ボタン
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ構造図
２研削装置（加工装置）
４基台
４ａ筐体
６ターンテーブル
８チャックテーブル
８ａ保持面
１０ａ，１０ｂコラム
１２ａ，１２ｂ加工送りユニット（昇降ユニット）
１４ａ，１４ｂ研削ユニット（加工ユニット）
１６ａ，１６ｂ研削ホイール
１８ａ，１８ｂ研削砥石
２０ａ，２０ｂ厚さ測定ユニット
２２ａ，２２ｂカセット
２４ａ，２４ｂカセット載置台
２６被加工物搬送ロボット
２８位置決めテーブル
３０被加工物搬入機構（ローディングアーム）
３２被加工物搬出機構（アンローディングアーム）
３４スピンナ洗浄装置
３６ａ，３６ｂコネクタ部
３８制御ユニット
３８ａ図面登録部
３８ｂ表示制御部
３８ｃ接続コネクタ部認識部 1 Handy operation terminal 3 Main unit 5 Display with touch panel 7 Cable connection 9 Cable 11 Terminal 13a, 13b, 13c Operation screen 15 Operation buttons 17a, 17b, 17c Structural drawing 2 Grinding device (processing device)
4 Base 4a Housing 6 Turntable 8 Chuck table 8a Holding surface 10a, 10b Columns 12a, 12b Machining feed unit (elevating unit)
14a, 14b Grinding unit (machining unit)
16a, 16b Grinding wheel 18a, 18b Grinding wheel 20a, 20b Thickness measuring unit 22a, 22b Cassette 24a, 24b Cassette mounting table 26 Work piece transfer robot 28 Positioning table 30 Work piece loading mechanism (loading arm)
32 Work piece unloading mechanism (unloading arm)
34 Spinner cleaning device 36a, 36b Connector part 38 Control unit 38a Drawing registration part 38b Display control part 38c Connection connector part recognition part

Claims

A handy operation terminal that is connected to a control unit of a processing device having a plurality of connector portions and can be used to operate the processing device.
The main body including the display with a touch panel and
A cable connection portion to which a cable connected to one of the plurality of connector portions is connected, and the like.
When connected to the processing device via the cable, the structure of the processing device corresponds to the position of the connector portion connected to the cable and is oriented when the processing device is visually recognized from the position side. A handy operation terminal characterized by displaying a figure on a display with a touch panel.

The handy operation terminal according to claim 1, wherein the structural drawing of the processing device displayed on the display with a touch panel is a three-dimensional image.