JP2020098817A

JP2020098817A - 切削水ノズルの状態確認方法及び基準ブロック

Info

Publication number: JP2020098817A
Application number: JP2018235337A
Authority: JP
Inventors: 唯人長澤; Tadato Nagasawa; 貴光田中; Takamitsu Tanaka
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-12-17
Filing date: 2018-12-17
Publication date: 2020-06-25

Abstract

【課題】切削水ノズル状態を容易に確認すること。【解決手段】切削水ノズル８０を、切削の際に、切削水ノズル８０が被加工物Ｗに接触せず、且つ、切削水を切削ブレード２０に供給できる適正位置に設定する切削水ノズル適正位置設定ステップと、切削水ノズル８０が適正位置にある状態でスピンドル２１が基準の高さ位置に位置付けられたときに、保持面４００ａから切削水ノズル８０の下端８０ｃまでの距離より僅かに薄い厚みＳ１を有する基準ブロック部９０を備えた基準ブロック９を準備し、切削水ノズル８０を適正位置に設定し、基準ブロック９を準備した後、スピンドル２１を基準の高さ位置に位置づけるとともに保持テーブル４０をスピンドル２１の下に移動させ、保持面４００ａと切削水ノズル８０との間に基準ブロック９を挿入できるかを調べることで切削水ノズル８０の状態を確認する。【選択図】図８

Description

本発明は、切削水ノズルの状態を確認する確認方法に関する。

切削装置による切削加工は、切削中に切削ブレードを冷却するとともに切削によって切削ブレードと被加工物との間に発生した切削屑を洗い流すために、切削水ノズルから切削ブレードと被加工物との間に切削水が供給されながら実施される。切削ブレードはブレードカバーで覆われた領域の内部に収納され（特許文献１参照）、切削ブレードの表裏面側に各々配設されたＬ字パイプ状の切削水ノズルは、被加工物の厚みや切削ブレードの大きさ等に応じて、その高さ位置が適切な位置に調整される（特許文献２参照）。切削水ノズルは、例えばブレード交換や加工室内の清掃時に誤ってオペレータ等に接触され、曲がり等が生じるおそれがある。切削水ノズルが適切な位置から下方に向けて曲がった状態で被加工物を切削すると、たとえ、切削水ノズルが適切な高さ位置に位置付けられていたとしても、切削水ノズルが被加工物に接触して被加工物の破損に繋がりかねない。

特開２００６−１８７４９号公報特開２００３−５９８６４号公報

そこで、切削加工を実施するにあたり、前もって切削水ノズルが下方に向かって傾いていないか否かを確認することが非常に重要である。しかし、切削ブレードの表裏面の両側に配設されたそれぞれの切削水ノズルの状態を、例えば定規等を用いて確認するのは容易でない。特に切削ブレードの後方側の切削水ノズルの状態を確認する場合や、２つの切削ブレードが対面して配置されたデュアルスピンドルの切削装置等に配設された切削水ノズルを確認する場合は、装置の内部にオペレータが手等を入れて切削水ノズルの曲がり等を確認するための作業スペースが殆ど取れないため、切削水ノズルの状態確認は極めて困難である。確認時に定規等が切削水ノズルに接触するおそれもあり、切削ブレードを破損させてしまう可能性もある。本発明の目的は、切削水ノズルの確認時に切削水ノズルに誤って接触してしまうことを防ぎ、容易に切削水ノズルの状態を確認することにある。

本発明は、被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが先端に固定されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに固定され該切削ブレードを覆うブレードカバーと、該切削ブレードを挟んで該切削ブレードの表裏面側に配設され該切削ブレードに切削水を供給する該ブレードカバーに固定された一対の切削水ノズルと、を備えた切削装置において該切削水ノズルの高さ位置を確認する切削水ノズルの状態確認方法であって、該切削ブレードで該保持テーブルに保持された被加工物を切削する際に該切削水ノズルが被加工物に接触せず、且つ、該切削水ノズルからの切削水が該切削ブレードに供給される該切削水ノズルの適正位置を設定する切削水ノズル適正位置設定ステップと、該切削水ノズルが該適正位置にある状態で該スピンドルが基準の高さ位置に位置付けられた時に該保持テーブルの該保持面から該切削水ノズルの下端までの距離より僅かに薄い厚みの基準ブロックを準備する基準ブロック準備ステップと、該切削水ノズル適正位置設定ステップと、該基準ブロック準備ステップと、を実施した後、該切削ブレードで被加工物を切削する前に、該スピンドルを該基準の高さ位置に位置付けるとともに該保持テーブルを該スピンドルの下に配置して該保持面と該切削水ノズルとの間に該基準ブロックが挿入できるか否かで該切削水ノズルの状態を確認する切削水ノズル確認ステップと、を備えた切削水ノズルの状態確認方法である。

本発明は、上記の確認方法を用いた確認の際に使用される基準ブロックであって、該切削水ノズルが適正位置にある状態で該スピンドルが基準の高さ位置に位置付けられた時に該保持テーブルの該保持面から該切削水ノズルの下端までの距離より僅かに薄い厚みを有した一対の基準ブロック部と、該一対の切削水ノズルが並ぶ方向に該一対の基準ブロック部を連結するとともに該切削ブレードが挿入されるブレード逃げ溝が形成された連結部と、を備えた基準ブロックである。

本発明では、被加工物を切削加工する前に、保持テーブルの保持面と切削水ノズルとの間に基準ブロックの挿入を試み、基準ブロックを保持面と切削水ノズルとの間に挿入できれば、切削水ノズルは正常な状態であると判断でき、反対に、基準ブロックを保持面と切削水ノズルとの間に挿入できなければ、切削水ノズルは正常な状態ではなく、例えば、切削水ノズルが下方に曲がっていると判断できる。基準ブロックを挿入して切削水ノズルの状態を確認することで、定規等を用いる必要がなくなり、容易に切削水ノズルの状態を確認できる。そして、被加工物の切削加工を実施する前に切削水ノズルの確認をすることで、切削水ノズルが下方に曲がっている状態で被加工物を切削するのを防止でき、これにより、切削水ノズルが被加工物に接触して被加工物を破損させるのを防ぐことができる。

また、切削水ノズルの状態確認の際に保持面と切削水ノズルとの間に挿入される基準ブロックが、二つの基準ブロック部と、二つの基準ブロック部を連結する連結部と、ブレードを挿入させるブレード逃げ溝とを備えていることにより、二本の切削水ノズルの状態を同時に確認することができ、確認に要する時間を削減することができる。また、ブレード逃げ溝が形成されていることにより、切削水ノズルの状態確認時に基準ブロックと切削ブレードとが接触するのを防ぐことができる。

切削装置全体を表す斜視図である。切削ブレードがスピンドルに装着された状態を表す側面図である。切削ユニットを表す斜視図である。切削水ノズルの適正位置を表す正面図である。切削水ノズルの適正位置を設定する際の余裕幅を表す断面図である。基準ブロックの例を表す斜視図である。切削水ノズルの高さと基準ブロックの厚みと被加工物の厚みとの大小関係を表すための側面図である。スピンドルを基準位置に位置付けた状態を表す断面図である。基準ブロックを挿入した状態を表す断面図である。

１切削装置
図１に示す切削装置１は、半導体ウェーハ等の略円板形状の被加工物Ｗを切削加工する加工装置である。被加工物Ｗの表面Ｗａには格子状に形成された分割予定ラインＬが備えられ、分割予定ラインＬごとに区画された領域には各々デバイスＤが備えられている。被加工物Ｗ１の裏面Ｗｂは、ダイシングテープＴに貼着されている。ダイシングテープＴの粘着面の外周領域には円形の開口を備える環状フレームＦが貼着されており、被加工物Ｗ１は、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持されている。

切削装置１のベース１０の上には、被加工物Ｗを収容するカセット５が配設されており、カセット５から引き出された被加工物Ｗは、互いがＸ軸方向に接近及び離間可能な一対のガイドレールからなるセンタリングガイド４１の上に載置される。センタリングガイド４１に案内されて所定の位置に位置合わせされた被加工物Ｗは、切削装置１に備えられた保持テーブル４０の上に載置され、保持テーブル４０の下方に配設された吸引手段４４により生み出される吸引力によって、保持面４００ａに吸引保持されることとなる。また、保持テーブル４０は、保持テーブル４０に接続された回転手段４５によって回転可能であり、一つの方向に形成された所定の本数の分割予定ラインＬに対して切削が行われた後、保持テーブル４０の保持面４００ａで吸引保持された被加工物Ｗが回転手段４５により９０度回転させられ、同じように複数の分割予定ラインＬに対して切削が行われる。

保持テーブル４０は、カバー４２に囲繞されており、カバー４２には蛇腹カバー４３が連結されている。カバー４２や蛇腹カバー４３を用いることで、切削時に噴きかけられる切削水や切削溝の形成により生じた切削屑が切削装置１の内部に入り込むのを防ぐことができる。

保持テーブル４０と、カバー４２と、カバー４２に連結された蛇腹カバー４３とのそれぞれの下方（ベース１０の内部）には、保持テーブル４０をＸ軸方向に移動させる切削送り手段１２が備えられている。切削送り手段１２には、Ｘ軸方向の回転軸１２３を有するボールネジ１２１と、ボールネジ１２１に対して平行に配設された一対のガイドレール１２２と、ボールネジ１２１に連結されたモータ１２０と、内部に備えるナットがボールネジ１２１に螺合しガイドレール１２２の上を摺動する図示しない可動板とが備えられている。モータ１２０により駆動されてボールネジ１２１が回転軸１２３のまわりに回転すると、図示しない可動板がガイドレール１２２にガイドされてＸ軸方向に移動し、該可動板上に固定された保持テーブル４０がＸ軸方向に移動する構成となっている。なお、蛇腹カバー４３は保持テーブル４０の移動に伴ってＸ軸方向に伸縮可能となっている。

保持テーブル４０の保持面４００ａで保持された被加工物Ｗを切削する第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂが、ベース１０の上の奥側（−Ｘ側）に立設された門型コラム１４に並列して配設されている。

第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂには、保持テーブル４０の保持面４００ａで保持された被加工物Ｗに切り込む切削ブレード２０と、切削ブレード２０が先端に固定されたスピンドル２１と、スピンドル２１を回転可能に支持するスピンドルハウジング２３と、スピンドルハウジング２３に固定され切削ブレード２０を覆うブレードカバー２２とが、それぞれ備えられている。図示しないモータ等により駆動されてスピンドル２１がＹ軸方向の軸心の周りに回転するのに伴い、スピンドル２１に装着された切削ブレード２０が回転する構成となっている。なお、第１切削ユニット２Ａと第２切削ユニット２Ｂとは同様に構成されており同様の符号が付されている。

図１の＋Ｘ方向側から見て、門型コラム１４の右側（＋Ｙ方向側）には、上記の第１切削ユニット２ＡをＹ軸方向に移動させる第１割り出し送り手段１５が配設されている。第１割り出し送り手段１５には、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１５１と、ボールネジ１５１と平行に配設された一対のガイドレール１５２と、ボールネジ１５１の＋Ｙ方向側の一端に連結された図示しないモータと、内部のナット構造がボールネジ１５１に螺合し側部がガイドレール１５２に摺接する可動板１５３とが備えられている。図示しないモータにより駆動されてボールネジ１５１が回転し、これに伴い可動板１５３がガイドレール１５２に案内されてＹ軸方向に移動すると、可動板１５３上に第１切込み送り手段１７を介して配設された第１切削ユニット２ＡがＹ軸方向に割り出し送りされる。

門型コラム１４の左側（−Ｙ方向側）には、第２切削ユニット２ＢをＹ軸方向に移動させる第２割り出し送り手段１６が、上記の第１割り出し送り手段１５に隣接して配設されている。第２割り出し送り手段１６は、上記の第１割り出し送り手段１５と同様に構成されており、第２割り出し送り手段１６に備えるモータ１６０に駆動されてボールネジ１６１が回転することで、ボールネジ１６１に摺接する可動板１６３がガイドレール１５２に案内されてＹ軸方向に移動するのに伴い、可動板１６３に支持された支持部材１８３が同じくＹ軸方向に移動して、支持部材１８３の下方に配設された第２切削ユニット２Ｂが支持部材１８３とともにＹ軸方向に割り出し送りされることとなる。

第１切削ユニット２Ａの付近には、第１切削ユニット２Ａの切削ブレード２０を切り込ませるべき被加工物Ｗの分割予定ラインＬを検出するためのアライメント手段３が備えられている。アライメント手段３と第１切削ユニット２Ａとは一体となって構成されており、両者は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。保持テーブル４０の保持面４００ａで保持された被加工物Ｗを、切削送り手段１２の移動制御により−Ｘ方向に移動させ、アライメント手段３の下方へと位置付けて、アライメント手段３に備えられた撮像手段３０によって被加工物Ｗの表面Ｗａに形成された分割予定ラインＬを撮像する。撮像された撮像画像に基づいて、パターンマッチング等の画像処理が行われ、被加工物Ｗの表面Ｗａに形成された分割予定ラインＬの座標位置が検出される。

分割予定ラインＬが検出されるのに伴って、第１割り出し送り手段１５により第１切削ユニット２Ａが、また、第２割り出し送り手段１６により第２切削ユニット２Ｂが、それぞれＹ軸方向に駆動され、切削すべき分割予定ラインＬと第１切削ユニット及び第２切削ユニットの切削ブレード２０とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。

切削装置１には、Ｚ軸方向に第１切削ユニット２Ａを移動させる第１切込み送り手段１７が、上記の第１割り出し送り手段１５の可動板１５３に支持される形で配設されている。第１切込み送り手段１７には、Ｚ軸方向の回転軸１７４を有するボールネジ１７１と、ボールネジ１７１と平行に配設された一対のガイドレール１７２と、ボールネジ１７１に連結されたモータ１７０と、第１切削ユニット２Ａを支持し内部のナット構造がボールネジ１７１に螺合し側部がガイドレール１７２に摺接する支持部材１７３とが備えられている。モータ１７０により駆動されたボールネジ１７１がＺ軸方向の回転軸１７４のまわりに回転すると、支持部材１７３が一対のガイドレール１７２に案内されてＺ軸方向に移動し、これに伴い、第１切削ユニット２ＡがＺ軸方向に切込み送りされる。

また、第１切込み送り手段１７の−Ｙ方向側には、第２切削ユニット２ＢをＺ軸方向に移動させる第２切込み送り手段１８が、上記の第２割り出し送り手段１６の可動板１６３に支持される形で配設されている。第２切込み送り手段１８は、上記の第１切込み送り手段１７と同様に構成されており、モータ１８０により駆動されたボールネジ１８１がＺ軸方向の回転軸１８４のまわりに回転すると、内部のナット構造がボールネジ１８１に螺合し側部がガイドレール１８２に摺接する支持部材１８３が一対のガイドレール１８２に案内されてＺ軸方向に移動し、これに伴い、支持部材１８３に支持された第２切削ユニット２ＢがＺ軸方向に切込み送りされることとなる。

第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂのスピンドル２１が、図示しないモータにより駆動されて回転することで、スピンドル２１に接続された切削ブレード２０が回転する。その状態で、第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂが、第１切込み送り手段１７及び第２切込み送り手段１８によってそれぞれ駆動されて、−Ｚ方向に切り込み送りされ、切削ブレード２０を被加工物Ｗ１に切り込ませるための基準の高さ位置にスピンドル２１が位置付けられることで、切削ブレード２０と被加工物ＷとのＺ軸方向の位置合わせが行われる。

切削ブレード２０と被加工物ＷとのＹ軸方向の位置合わせがなされた後、さらに、スピンドル２１が基準の高さ位置に位置付けられ、切削ブレード２０と被加工物ＷとのＺ軸方向の位置合わせがなされた状態で、被加工物Ｗが保持された保持テーブル４０が所定の切削送り速度でさらに−Ｘ方向に送り出されることで、保持テーブル４０と第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂに備えられた高速回転する切削ブレード２０とが相対的に所定速度で切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動する。これにより、被加工物Ｗの分割予定ラインＬに切削ブレード２０が切り込み、被加工物Ｗが分割予定ラインＬに沿って切削される。

次に、隣り合う分割予定ラインＬの間隔だけ第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２ＢをＹ軸方向に割り出し送りし、同様の切削を行うことにより、切削済みの分割予定ラインＬの隣の分割予定ラインＬを切削する。このようにして、割り出し送りと切削とを繰り返し行うことにより、所定の本数形成された同方向の分割予定ラインＬがすべて切削される。その後、回転手段４５により保持テーブル４０を９０度回転させてから同様の切削を行うことにより、すべての分割予定ラインＬが縦横に切削され、被加工物Ｗ１を個々のチップに分割できる。

なお、切削加工において用いられる切削装置は、上記のような二つの切削手段を用いて被加工物Ｗの二本の分割予定ラインＬに同時に切り込むいわゆるデュアルダイサーだけでなく、一つの切削手段を備える装置であってもよい。

また、切削装置のベース１０の上には、洗浄手段１１が配設されており、洗浄手段１１によって、被加工物Ｗを洗浄することができる。

図２に示すように、第１切削ユニット２Ａ及び第２切削ユニット２Ｂに備える切削ブレード２０は、例えば、ハブタイプブレードであり、ハブ基台２００と、ハブ基台２００の外周部に形成された切り刃２０１とを備える。切削ブレード２０がマウントフランジ２６のボス部２６ｂに挿入され、ボス部２６ｂのネジと螺合するナット２５によって、ナット２５とマウントフランジ２６のフランジ部２６ａとによりＹ軸方向両側から挟まれることで、切削ブレード２０は、マウントフランジ２６を介してスピンドル２１に装着される。なお、切削ブレード２０は、ハブタイプブレードに限定されるものではなく、ダイヤモンドやCBN砥粒等をレジンやメタル等の適宜のバインダーで固定し、環状に成型したワッシャータイプのブレードであってもよい。

図３及び４に示すように、ブレードカバー２２には、ブレード破損検出器７が接続されている。ブレード破損検出器７は、切削ブレード２０の上部を挟み込むように対向配置された発光部７０及び図示しない受光部を有している。光ファイバー７５に接続された発光部７０の先端と、同じく光ファイバー７６に接続された受光部の先端とが、切削ブレード２０の上部の外周を挟んで対向し光軸がＹ軸方向に向くように位置付けられており、発光部７０から射出された検査光は、切削ブレード２０の切り刃２８によって部分的に遮光されて受光部に受光される。これによって、ブレード破損検出器７は、受光部における受光量（透過率）の増加に応じて、切削ブレード２０の全損や欠け等の破損状態を検出する。ブレード破損検出器７は、調節ネジ７４によって切削ブレード２０に対する上下位置が調整され、固定ネジ７２によって調整された位置で固定される。

ブレードカバー２２の−Ｘ方向側には、切削水ブロック８１が調整ネジ８２によりＺ軸方向に昇降可能に締結されており、切削水ブロック８１には、−Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の一対の切削水ノズル８０が、切削ブレード２０の表裏面側に固定されている。一対の切削水ノズル８０は、それぞれ切削水ブロック８１から下方に伸びた上部８０ａと、切削ブレード２０の下部を切削ブレード２０の表面２０ａ側及び裏面２０ｂ側から挟むようにして＋Ｘ方向側に互いに平行に伸びた下部８０ｂとから構成されており、切削水ノズル８０の上部８０ａと下部８０ｂとは、所定の角度をなして略Ｌ字状に連結されている。

一対の切削水ノズル８０の先端側の切削ブレード２０に相対する位置には、切削水を噴射する図示しない噴射口が複数設けられている。一対の切削水ノズル８０には、図３に示すように、それぞれ一対の供給ホース８３が連結されており、供給ホース８３には供給ホース８３の上方に接続された切削水源６から切削水が供給される。切削水源６から供給ホース８３に供給された切削水は、切削水ブロック８１を通じて一対の切削水ノズル８０に供給される。切削水ノズル８０に供給された切削水を、複数の噴射口によって噴射させることで、切削ブレード２０と被加工物Ｗとの間に供給することができる。

切削水ブロック８１の−Ｙ方向側には、調整ネジ８２を挿通させるＺ軸方向に長い長孔８４が形成されている。調整ネジ８２をゆるめて切削水ブロック８１をＺ軸方向に昇降移動させることで、切削水ブロック８１に固定された切削水ノズル８０をＺ軸方向に昇降移動させて、切削水ノズル８０の高さ位置を適正位置に設定することができる。適正位置とは、図４に示すような、保持テーブル４０に保持された被加工物Ｗを切削ブレード２０で切削する際に、切削水ノズル８０が被加工物Ｗに接触せず、且つ、切削水ノズル８０からの切削水を切削ブレード２０に供給できるような切削水ノズル８０の高さ位置を指し、本実施形態においては、保持面４００ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａから切削水ノズル８０の下端８０ｃまでの距離がＧとなる位置である。なお、適正位置は、被加工物Ｗ及びダイシングテープへの切削ブレードの切り込み深さによって異なる。

図５に示すように、切削ブレード２０の使用開始時（切り刃２０１に磨耗がない状態）における被加工物Ｗ及びダイシングテープＴへの所望の切り込み量がＺ１である場合において、切り刃２０１の先端が最大磨耗量Ｚ２だけ磨耗して磨耗部分２０１ａがあり基台２００からの切り刃２０１の刃先出し量が使用限界に達した後にも磨耗前と同様に切り込み量Ｚ１を確保するためには、第１切削ユニット２Ａ又は第２切削ユニット２Ｂを、切削ブレード２０の使用開始時よりもＺ２だけ低い位置まで切り込み送りする必要がある。そして、切り刃２０１が最大磨耗量Ｚ２だけ磨耗して切り込み送り量がＺ２だけ大きくなった場合においても、切削水ノズル８０が被加工物Ｗの表面Ｗａに接触しないようにしなければならない。したがって、切り刃２０１の使用限界との関係における切削水ノズルの適正位置は、切削ブレード２０の使用開始時における切削水ノズル８０の下端８０ｃと被加工物Ｗの表面Ｗａとの距離がＺ２＋ａ１（ａ１は余裕幅）となる位置である。ここで、切り刃２０１の使用限界は、切り刃２０１の摩耗量が最大磨耗量Ｚ２−α（αは余裕幅）になった場合とする。
また、被加工物Ｗ及びダイシングテープＴの厚みにはバラツキがある。このため、例えば被加工物Ｗの厚みとダイシングテープＷの厚みとの和の最大値と、最小値との差を求め、その差の値よりも若干大きな余裕幅ａ１を考慮する必要がある。
したがって、切り刃２０１の使用限界までの磨耗に加えて、被加工物Ｗ及びダイシングテープＴの厚みバラツキをも考慮した場合における切削水ノズルの適正位置は、切削ブレード２０の使用開始時における切削ブレード２０の刃先先端位置から切削水ノズル８０の下端８０ｃまでの距離が、Z1+Ｚ２＋ａ１となる位置である。

図３に示すように、ブレードカバー２２の＋Ｘ方向側には、シャワーブロック８７が調整ネジ８８により締結されている。シャワーブロック８７の＋Ｘ方向側の面には、調整ネジ８８を挿通させるためのＹ軸方向に長い長孔８８ａが形成されており、調整ネジ８８をゆるめることにより、シャワーブロック８７をブレードカバー２２に対してＹ軸方向にスライドさせることができる。シャワーブロック８７には、切削ブレード２０の外周方向から切削ブレード２０に向かって切削水を供給するシャワーノズル８６が配設されている。シャワーブロック８７では、切削水源６から切削水源６に接続された供給ホース８９に供給された切削水を、供給ホース８９の下方に連結されたシャワーノズル８６に伝達させて、シャワーノズル８６の噴出口８６ａから切削ブレード２０に向かって噴出させることができる。

切削加工時に、切削ブレード２０を被加工物Ｗに切り込ませながら、切削水ノズル８０及びシャワーノズル８６から、切削ブレード２０や、切削ブレード２０と被加工物Ｗとの接触部分に切削水を供給することで、切削時に発生する熱を取り除いて冷却することができる。また、切削水によって、切削加工時に生じた切削屑を洗い流すことができる。

上述の通り、切削加工に際して、切削水ノズル８０は被加工物Ｗに接触せず、且つ、切削水ノズル８０からの切削水を切削ブレード２０に供給できるような高さ位置である適正位置に設定される。切削水ノズル８０が正常な状態であれば、切削水ノズル８０を適正位置に設定した状態で、スピンドル２１を切削ブレード２０が被加工物Ｗに切り込むための基準の高さ位置に位置付けたときに、切削水ノズル８０と保持面４００ａに保持された被加工物Ｗとが接触することなく、被加工物Ｗを切削することができるが、例えば、オペレータとの接触等により、切削水ノズル８０の下部８０ｂが下側に曲がった状態になっている等、切削水ノズル８０が正常な状態でないときは、切削の際に切削水ノズル８０と被加工物Ｗとが接触する可能性がある。切削時に切削水ノズル８０と被加工物Ｗとが接触するのを防ぐためには、切削加工を実施する前に、切削水ノズル８０の状態を確認する必要がある。

２切削水ノズルの状態確認方法
上記の切削装置１及び基準ブロック９を用いた切削水ノズル８０の状態を確認する確認方法について説明する。切削水ノズル８０の状態確認は、切削加工の実施前に行われる。

（切削水ノズル適正位置設定ステップ）
まず、図３に示した切削水ブロック８１の調整ネジ８２をまわし、切削水ブロック８１とともに切削水ノズル８０を昇降移動させて、切削水ノズル８０を、切削水ノズル８０の下端８０ｃと被加工物Ｗの表面Ｗａとが接触せず、且つ、切削水ノズル８０から供給される切削水が切削ブレード２０に供給される適正位置に設定する。例えば、図４のように、スピンドル２１を昇降移動させて基準の高さ位置に位置付けたときに、被加工物Ｗの表面Ｗａから切削水ノズル８０の下端８０ｃまで、所定の距離Ｇが確保されるような位置設定が考えられる。切削水ノズル８０を適正位置に設定する際には、予め被加工物ＷとダイシングテープＴへの切削ブレードの切り込み量が調べられ、その切り込み量をもとに切削水ノズル８０の適正位置が設定される。

（基準ブロック準備ステップ）
上記のように切削水ノズル８０を適正位置に設定した後、図６に示す基準ブロック９を準備する。この基準ブロック９は、切削水ノズル８０の状態を確認するために使用されるもので、切削加工の実施前に、保持テーブル４０の保持面４００ａと切削水ノズル８０の下端８０ｃとの間に挿入して、切削水ノズル８０の状態を確かめるブロック治具である。

この基準ブロック９は、四角柱形状の一対の基準ブロック部９０と、基準ブロック部９０の外側に立設された立設壁９１と、一対の基準ブロック部９０を切削水ノズル８０が並ぶ方向に連結する連結部９３とによって構成されている。また、連結部９３には、切削ブレード２０が挿入されるブレード逃げ溝９３ａが形成されており、基準ブロック９に備える基準ブロック部９０の下面、立設壁９１の下面、連結部９３の下面は全て面一な下面９ｂとなっている。

基準ブロック９に備える基準ブロック部９０の下面９ｂから上面９０ａまでの距離である、基準ブロック部９０の厚みＳ１は、図７に示すような、切削水ノズル８０が適正位置にある状態でスピンドル２１が基準の高さ位置に位置付けられたときにおける、保持テーブル４０の保持面４００ａから切削水ノズル８０の下端８０ｃまでの距離Ｓ２よりも僅かに薄い。

（切削水ノズル確認ステップ）
切削水ノズル８０を適正位置に設定し、基準ブロック９を準備した後、切削ブレード２０を用いて被加工物Ｗを切削する前に、切削送り手段１２を用いた移動制御により、図８に示すように、スピンドル２１をＺ軸方向に昇降移動させて、被加工物Ｗに切り込むための基準の高さ位置に位置付けるとともに、保持テーブル４０をＸ軸方向に移動させ、スピンドル２１の下方に配置させる。こうして、スピンドル２１を基準の高さ位置に位置付けて、さらに、保持テーブル４０をスピンドル２１の下方に配置させた後、保持面４００ａと切削水ノズル８０との間に基準ブロック９を挿入する。

図９に示すように、厚みＳ１を有する基準ブロック９を、保持面４００ａと切削水ノズル８０の下端８０ｃとの間に挿入することができれば、切削水ノズル８０の状態は正常であると確認される。切削水ノズル８０の状態を確認した後、例えば、挿入された基準ブロック９を抜き取り、被加工物Ｗを保持テーブル４０に載置させて切削加工を実施することができる。

一方、基準ブロック９と切削水ノズル８０とが接触し、基準ブロック９を挿入できなかった場合、切削水ノズル８０の状態が正常ではないと判断される。例えば、切削水ノズル８０の下部８０ｂが下側に曲がっている状態等が考えられ、切削水ノズル８０が正常な状態でないと確認されたときは、切削加工を実施せずに切削水ノズル８０の位置や傾きを修正する。基準ブロック９と切削水ノズル８０とが接触する場合の原因としては、オペレータ等が切削水ノズル８０に接触する場合、切削ブレード２０や被加工物Ｗが変更された場合の切削水ノズル８０の位置調整忘れ、調整ネジ８２の緩み等が考えられる。調整不備により切削水ノズル８０位置が下がっていたり傾いていたりする場合は位置や傾きを調整し、切削水ノズル８０が曲がっている場合は新しいものに交換することで対応する。

基準ブロック９を用いることで、切削加工の実施前に、切削水ノズル８０の状態が正常か否かを容易に確認することができるようになる。したがって、切削加工の際に被加工物Ｗの表面Ｗａと切削水ノズル８０の下端８０ｃとが接触するのを防ぐことができる。

また、基準ブロック９が、二つの基準ブロック部９０と、基準ブロック部９０を連結する連結部９３と、ブレードを挿入させるブレード逃げ溝９２とを備えていれば、二本の切削水ノズル８０の状態を同時に確認することができ、確認に要する時間を削減することができるとともに、切削水ノズル８０の状態確認時に基準ブロック９と切削ブレード２０とが接触するのを防ぐことができる。
さらに、切削水ノズル８０の下に基準ブロック９を挿入するときは、切削水ノズル８０の伸長方向と平行に基準ブロック９を挿入する必要があるところ、立設壁９１が挿入時のガイドになるため、基準ブロック９を切削水ノズル８０に平行に挿入しやすくなる。

１：切削装置１０：ベース
２Ａ：第１切削ユニット２Ｂ：第２切削ユニット
２０：切削ブレード２０ａ：切削ブレードの表面２０ｂ：切削ブレードの裏面
２００：ハブ基台２０１：切り刃２１：スピンドル２２：ブレードカバー
２３：スピンドルハウジング２５：ナット２６：マウントフランジ
２６ａ：フランジ部２６ｂ：ボス部３：アライメント手段３０：撮像手段
４：保持手段４０：保持テーブル４００ａ：保持面
４０１：枠体４１：センタリングガイド４２：カバー４３：蛇腹カバー
４４：吸引手段４５：回転手段５：カセット
６：切削水源７：ブレード破損検出器７０：発光部
７１：マーカー７２：固定ネジ７４：調整ネジ７５：光ファイバー
８０：切削水ノズル８０ａ：切削水ノズル上部８０ｂ：切削水ノズル下部
８０ｃ：切削水ノズルの下端８０ｄ：スリット
８１：切削水ブロック８２：調整ネジ８３：供給ホース８４：長孔
８６：シャワーノズル８６ａ：噴出口８７：シャワーブロック８８ａ：長孔
９：基準ブロック９０：基準ブロック部９１：立設壁９３：連結部
９３ａ：ブレード逃げ溝
９ｂ：下面９０ａ：基準ブロック部上面
１１：洗浄手段
１２：切削送り手段１２０：モータ１２１：ボールネジ１２２：ガイドレール
１２３：回転軸
１５：第１割り出し送り手段１５１：ボールネジ１５２：ガイドレール
１５３：昇降板
１６：第２割り出し送り手段１６０：モータ１６１：ボールネジ
１５２：ガイドレール１５３：昇降板
１７：第１切込み送り手段１７０：モータ１７１：ボールネジ
１７２：ガイドレール１７３：支持部材１７４：回転軸
１８：第２切込み送り手段１８０：モータ１８１：ボールネジ
１８２：ガイドレール１８３：支持部材１８４：回転軸
Ｗ：被加工物Ｗａ：被加工物の表面Ｗｂ：被加工物の裏面
Ｔ：ダイシングテープＦ：環状フレーム
Ｓ１：基準ブロック部の厚みＳ２：保持面から切削水ノズル下端までの距離
Ｗｄ：被加工物の厚みとダイシングテープの厚みを合計した厚み
Ｇ：被加工物の表面から切削水ノズルの下端までの距離
Ｚ１：切削ブレードの切り込み量Ｚ２：切削ブレードの最大磨耗量
ａ１：余裕幅

Claims

被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと、
該切削ブレードが先端に固定されるスピンドルと、
該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングに固定され該切削ブレードを覆うブレードカバーと、
該切削ブレードを挟んで該切削ブレードの表裏面側に配設され該切削ブレードに切削水を供給する該ブレードカバーに固定された一対の切削水ノズルと、を備えた切削装置において該切削水ノズルの高さ位置を確認する切削水ノズルの状態確認方法であって、
該切削ブレードで該保持テーブルに保持された被加工物を切削する際に該切削水ノズルが被加工物に接触せず、且つ、該切削水ノズルからの切削水が該切削ブレードに供給される該切削水ノズルの適正位置を設定する切削水ノズル適正位置設定ステップと、
該切削水ノズルが該適正位置にある状態で該スピンドルが基準の高さ位置に位置付けられた時に該保持テーブルの該保持面から該切削水ノズルの下端までの距離より僅かに薄い厚みの基準ブロックを準備する基準ブロック準備ステップと、
該切削水ノズル適正位置設定ステップと、該基準ブロック準備ステップと、を実施した後、該切削ブレードで被加工物を切削する前に、該スピンドルを該基準の高さ位置に位置付けるとともに該保持テーブルを該スピンドルの下に配置して該保持面と該切削水ノズルとの間に該基準ブロックが挿入できるか否かで該切削水ノズルの状態を確認する切削水ノズル確認ステップと、を備えた切削水ノズルの状態確認方法。
請求項１に記載の切削水ノズルの状態確認方法で使用される基準ブロックであって、
該切削水ノズルが適正位置にある状態で該スピンドルが基準の高さ位置に位置付けられた時に該保持テーブルの該保持面から該切削水ノズルの下端までの距離より僅かに薄い厚みを有した一対の基準ブロック部と、
該一対の切削水ノズルが並ぶ方向に該一対の基準ブロック部を連結するとともに該切削ブレードが挿入されるブレード逃げ溝が形成された連結部と、を備えた基準ブロック。