JP2020051762A - 三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ - Google Patents
三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ Download PDFInfo
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Abstract
Description
4…撮像ユニット
9…コントローラ(コンピュータ)
912…差分算出部
913…良否判定部
94…撮像制御部(データ取得部)
Dm…計測データ
Dr…良品データ
L…基準平面
Pi…検査プログラム(三次元形状検査プログラム)
Rf…平坦領域(対象領域)
Rp1、Rp2…候補領域
Rw…壁面領域
Sm、Sr…三次元形状
Z…Z軸方向(所定方向)
Claims (9)
- 対象物を撮像する撮像ユニットと、
前記撮像ユニットに前記対象物を撮像させた結果に基づき前記対象物の表面の三次元形状を計測して計測データを取得するデータ取得部と、
前記計測データと、形状欠陥を有さない良品の表面の三次元形状を示す良品データとを比較することで、前記計測データが示す前記対象物の表面の位置と、前記良品データが示す前記良品の表面の位置との所定方向への差分を求める差分算出部と、
前記良品データが示す前記良品の表面のうち、前記所定方向に対して成す鋭角が所定角より小さいあるいは所定方向に平行な壁面領域を除いた対象領域における前記差分に基づき、前記対象物における前記形状欠陥の有無を判定する良否判定部と
を備える三次元形状検査装置。 - 前記差分算出部は、前記壁面領域については前記差分を算出せず、前記対象領域について前記差分を算出する請求項1に記載の三次元形状検査装置。
- 前記良否判定部は、前記対象領域のうち、前記所定方向における前記差分の大きさが所定値未満である領域を前記形状欠陥の有無の判定対象から除外する請求項1または2に記載の三次元形状検査装置。
- 前記良否判定部は、前記対象領域において前記判定対象として残った領域のうち、前記所定方向に直交する平面における面積が所定面積未満である領域を前記判定対象からさらに除外する請求項3に記載の三次元形状検査装置。
- 前記良否判定部は、前記対象領域のうち、前記判定対象として残った領域を候補領域として抽出し、前記候補領域の周縁の領域を前記所定方向に直交する平面で近似して基準平面を設定し、前記所定方向において前記候補領域が前記基準平面から最も離れる位置での前記基準平面からの距離が閾値以上である場合に、前記候補領域に前記形状欠陥が存在すると判定する請求項3または4に記載の三次元形状検査装置。
- 前記良否判定部は、前記対象領域に含まれる複数の範囲のそれぞれに対して異なる前記閾値を設定する請求項5に記載の三次元形状検査装置。
- 対象物の表面の三次元形状を計測した結果である計測データと、形状欠陥を有さない良品の表面の三次元形状を示す良品データとを比較することで、前記計測データが示す前記対象物の表面の位置と、前記良品データが示す前記良品の表面の位置との所定方向への差分を求める工程と、
前記良品データが示す前記良品の表面のうち、前記所定方向に対して成す鋭角が所定角より小さいあるいは所定方向に平行な壁面領域を除いた対象領域における前記差分に基づき、前記対象物における前記形状欠陥の有無を判定する工程と
を備える三次元形状検査方法。 - 対象物の表面の三次元形状を計測した結果である計測データと、形状欠陥を有さない良品の表面の三次元形状を示す良品データとを比較することで、前記計測データが示す前記対象物の表面の位置と、前記良品データが示す前記良品の表面の位置との所定方向への差分を求める工程と、
前記良品データが示す前記良品の表面のうち、前記所定方向に対して成す鋭角が所定角より小さいあるいは所定方向に平行な壁面領域における前記差分に基づき、前記対象物における前記形状欠陥の有無を判定する工程と
をコンピュータに実行させる三次元形状検査プログラム。 - 請求項8に記載の三次元形状検査プログラムを実行するコンピュータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018178276A JP7153514B2 (ja) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | 三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ |
PCT/JP2019/033279 WO2020066415A1 (ja) | 2018-09-25 | 2019-08-26 | 三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018178276A JP7153514B2 (ja) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | 三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020051762A true JP2020051762A (ja) | 2020-04-02 |
JP7153514B2 JP7153514B2 (ja) | 2022-10-14 |
Family
ID=69950415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018178276A Active JP7153514B2 (ja) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | 三次元形状検査装置、三次元形状検査方法、三次元形状検査プログラム、コンピュータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7153514B2 (ja) |
WO (1) | WO2020066415A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118513269A (zh) * | 2024-07-25 | 2024-08-20 | 威海三元塑胶科技有限公司 | 一种注塑模具表面平整度测量方法及系统 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20230298193A1 (en) * | 2020-08-14 | 2023-09-21 | Nec Corporation | Photographing apparatus, photographing unit, image analysis apparatus, and three-dimensional shape measuring system |
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-
2018
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2019
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020066415A1 (ja) | 2020-04-02 |
JP7153514B2 (ja) | 2022-10-14 |
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