JP2019117616A - 自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法 - Google Patents

Abstract

【課題】自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法を提供する。【解決手段】無人移送装置を通して各製造設備間にキャリアを移送させる自動搬送システムで無人移送装置側に設置されたマスター通信装置と製造設備側に設けられたスレーブ通信装置間とのデータ通信方法において、無人移送装置がレールに沿って移動して製造設備の作業位置に停車する前までマスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境設定のためのＲＦ通信を行う第１ステップと、無人移送装置が製造設備の作業位置に停車した状態でマスター通信装置とスレーブ通信装置がキャリアに対する移籍材作業にともなう作業制御情報をＲＦデータに変換して互いに送受信する第２ステップと、無人移送装置が製造設備での移籍材作業が終了すれば、レールに沿って移動を始めると共に、マスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境を解除するためのＲＦ通信を行う第３ステップと、を含む。【選択図】図１０

Description

本発明は、自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法に係り、より詳しくは、自動搬送システムで無人移送装置と製造設備側が無線データ通信装置を用いて搬送物を運搬するためのデータを送受信する際に、無人移送装置が停車された状態で搬送物作業を行う前、又は搬送物作業を行った後には、無人移送装置が移動しながら製造設備側とデータを送受信して搬送物に対する作業時間を短縮する技術に関する。

一般に半導体素子や液晶表示装置などの製造工程では自動搬送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ：ＡＭＨＳ）を用い、製造物品を各製造工程の製造装置に移送し、物品が各製造装置の工程に沿って製造が行われる。このような自動搬送システムは、半導体基板、又は液晶基板を受納しているキャリアを製造工程ライン上に設けられた各製造設備に移送し、製造設備で工程を済ませた物品を再び受納して次の工程の製造装置に移送するために無人移送装置を利用する。
このような無人移送装置は、移動方式に従い、車輪によって自ら走行するＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）、底面に設けられたガイドレールに沿って走行するＲＧＶ（Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）、天頂面に設置されたガイドレールに沿って走行するＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）とを含む。このような無人移送装置は各々自らの車輪を使用する。底面に設置されたガイドレール、又は天頂面に設置されたガイドレールに沿って製造設備に移動した後に作動アーム、又はホイスト、及びハンドを用いて製造設備にキャリアを搬送／搬入する。
上記のキャリアの搬送／搬入は製造工程ラインの全体を制御するメーンコントローラの制御下で、無人移送装置と製造工程ライン上に設置された各製造設備に各々搭載したホストコンピューターから行われ、キャリアの搬送／搬入時に無人移送装置と製造設備とを連動動作させる必要があるので、無人移送装置と製造設備の両側にＩＲ（Ｉｎｆｒａｒｅｄ）を採用した光通信方式の伝送装置をそれぞれ設置し、相互間の必要なデータを送受信することによって、キャリアの搬送／搬入を円滑に実施している。

図１は、従来技術の光通信方式を用いた自動搬送システムの通信システムを説明するブロック図であり、図２は図１の無人移送装置と製造設備間との通信が行われる過程を説明する図面、図３は図１に適用されたＥ８４の信号構成を示した図面、図４はローディングに必要なＥ８４ハンドオフの手続を示した図面、図５はアンローディングに必要なＥ８４ハンドオフの手続を示した図面である。
図１及び図２に示したとおり、無人移送装置（１０）は無人車制御機（１２）と第１通信ユニット（１１）を含み、製造設備（２０）には設備制御機（２２）と第２通信ユニット（２１）とを含む。この時、無人車制御機（１２）は無人車制御機（１２）の第１通信ユニット（１１）と設備制御機（２２）の第２通信ユニット（２１）を用いてキャリアハンドオフに使われるプロトコルであるＳＥＭＩ Ｅ８４、又はこれと類似した方式を用いてキャリアを交わす。
すなわち、無人移送装置（１０）と製造設備（２０）間に搬送物（１）を交わす場合に、第１通信ユニット（１１）と第２通信ユニット（２１）はＥ８４の作業シークエンス応じて送受信を相互に交わしながら搬送物をローディング、又はアンローディングする移籍材作業を進める。

第１通信ユニット（１１）と第２通信ユニット（２１）は、図３に示したとおり、Ｅ８４の作業シークエンスに伴う８つの入力信号と８つの出力信号を送受信し、図４及び図５に示した過程を通じてロードポートに対するハンドオフ機能、すなわち、ローディング作業とアンローディング作業を行う。
この時、第１通信ユニット（１１）と第２通信ユニット（２１）が光通信を行うためには、光軸が一直線上に置かれてから可能となるので、図４又は図５のようなローディング作業、又はアンローディング作業は必ず無人移送装置（１０）が製造設備（２０）の作業位置に停車した状態で行われる必要がある。
例えば、ローディング作業、又はアンローディング作業に伴う総時間がおよそ１０秒ほど必要とする場合、各無人移送装置（１０）は製造設備（２０）の作業位置から基本的に１０秒以上停車して一連の自動搬送システムが運営される。
すなわち、作業を行うために無人移送装置が基本的に必要な停車時間を有するため、自動搬送システムの全体的な作業効率の向上には限界があった。
つまり、より効率的な自動搬送システムの運営のためには、無人移送装置が停車する時間を最小化する必要がある。

韓国登録特許 第１０−１５２７６８６号 韓国登録特許 第１０−１６１６７０６号

本発明は上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、無人移送装置が移動しながら製造設備側と作業環境設定及び作業環境解除するためのデータ通信を行う自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法を提供することにある。
また、他の目的とするところは、周辺の他の無人移送装置との通信ノイズを最小化して安定した作業進行を保障する自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法を提供することにある。

上記の目的を達成するためなされた本発明の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法は、無人移送装置を通して各製造設備間にキャリアを移送させる自動搬送システムで無人移送装置側に設置されたマスター通信装置と製造設備側に設けられたスレーブ通信装置間とのデータ通信方法において、無人移送装置がレールに沿って移動して製造設備の作業位置に停車する前までマスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境設定のためのＲＦ通信を行う第１ステップと、無人移送装置が製造設備の作業位置に停車した状態でマスター通信装置とスレーブ通信装置がキャリアに対する移籍材作業にともなう作業制御情報をＲＦデータに変換して互いに送受信する第２ステップと、無人移送装置が製造設備での移籍材作業が終了すれば、レールに沿って移動を始めると共に、マスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境を解除するためのＲＦ通信を行う第３ステップと、を含んで構成されることを特徴とする。

第１ステップは、無人移送装置が一定速度で移動して製造設備の作業位置で停車するために減速する減速区間からなることがよい。
第１ステップで無人移送装置は、停車位置と減速速度に基づいて減速区間を算出するステップと、作業環境を設定するためのＲＦ通信の所要時間に減速区間に含まれるように無人移送装置の減速速度を制御するステップと、無人移送装置の停車位置で作業環境を設定するためのＲＦ通信所要時間に当たる距離ほど先立った位置を無線通信の開始時点と設定するステップと、無線通信の開始時点で作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うステップと、を含んで構成されることが好ましい。

無人移送装置が走行する移動経路の周辺に無線通信開始位置情報を提供するための識別手段が設けられ、第１ステップから無人移送装置は識別情報の認識手段を通して識別手段からの識別情報獲得を基にして無線通信開始位置を認識し、これをマスター通信装置として提供することで、マスター通信装置とスレーブ通信装置間との作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うことができる。
第１ステップで無人移送装置は、製造設備の設備ＩＤ及びチャンネルを用いてマスター通信装置をＲＦ初期化するステップをさらに含んで構成され、無人移送装置は製造設備の作業位置に停車する前までマスター通信装置に対するＲＦ初期化設定とマスター通信装置とスレーブ通信装置間との作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うように無線通信開始位置を決定することが好ましい。

無人移送装置は、無線通信開始位置から停車位置までの移動区間には、ただ一つの無人移送装置だけが位置するように移動制御されることがよい。
無人移送装置のマスター通信装置は、スレーブ通信装置と第１ステップの作業環境を設定するためのＲＦ通信を行った以後、自分の現在位置と停車位置を比較するステップと、無人移送装置は、一定時間以内に停車位置に到達しない場合、他の無人移送装置が作業中だと認識してマスター通信装置を待機状態に転換すると共に、現在に設定された作業環境設定の情報をクリアするステップをさらに含んで構成されることが好ましい。

無人移送装置は、マスター通信装置が待機状態に転換された状態で、製造設備に対して他の無人移送装置に対する作業が終了すれば、第１ステップの動作を再び行うステップをさらに含んで構成されることがよい。
マスター通信装置とスレーブ通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４標準プロトコルによる搬送物処理のための通信を行うにおいて、第１ステップは、ＣＳ＿０、ＣＳ＿１、ＶＡＬＩＤ、Ｕ＿ＲＥＱ、Ｌ＿ＲＥＱ、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＲＥＡＤＹ、ＢＵＳＹ信号を順にオン設定し、第２ステップは、移籍材作業の完了に対応してＵ＿ＲＥＱ、Ｌ＿ＲＥＱ、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＢＵＳＹ信号をオフ設定し、第３ステップは、ＣＳ＿０、ＣＳ＿１、ＶＡＬＩＤ、ＲＥＡＤＹ及び、ＣＯＭＰＴ信号をオフ設定することができる。

本発明によれば、無人移送装置が移動しながら製造設備側と作業環境の設定、及び作業環境を解除するためのデータ通信を行うことによって、無人移送装置に対する運送時間を短縮させ、より向上した作業効率が得られる。
また、本発明によると、無人移送装置の移動速度及び作業環境の設定に必要な時間を考慮した無線通信開始位置から無人移送装置と製造設備がデータ通信を行うことによって、周辺の他の無人移送装置による通信ノイズを最小化することができ、安定した搬送作業を行うことができる。

従来技術の光通信方式を利用した自動搬送システムの通信システムを 説明するブロック図。 図１の無人移送装置と製造設備間との通信が行われる過程を説明する図面。 図１に適用されたＥ８４の信号構成を示した図面。 ローディングに必要なＥ８４ハンドオフの手続を示した図面。 アンローディングに必要なＥ８４ハンドオフの手続を示した図面。 自動搬送システムにおいて無人移送装置と製造設備間との通信が行われる過程を説明するための図面。 自動搬送システムの通信システムの重要構成を概略的に示したブロック図。 無人移送装置移動の可否による作業区間を区分するためにローディングに必要なＥ８４ハンドオフ過程を例示した図面。 第１及び第２無人移送装置がレール上に隣接するように位置して移動する状況を例示した図面。 本発明の一実施例にともなう自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法を説明するための図面。 無人移送装置で移動減速区間に無線通信開始位置を設定する方法を説明するための図面。

下記、添付した図面に基づき、本発明をより詳細に説明する。
図中、同じ構成要素にはできるかぎり同じ符号を付していることに留意しなければならない。一方、これに先立って本願明細書及び特許請求の範囲に使用された用語や単語は通常的であるか事前的な意味として限定して解析してはならない。発明者は自らの発明を最も最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義し得るという原則に基づいて、本発明の技術的な思想に合う意味と概念を理解する必要がある。したがって、本願明細書に記載の実施例と図面に示された構成は本発明の最も望ましい一実施例を示しているに過ぎず、本発明の技術的思想の全てを明示しているわけではないので、この出願時点において、これに代わる多様な均等物と変形例があり得ることを理解すべきである。

図６及び図７は、本発明における自動搬送システムの構成を説明するための図面であって、図６は、自動搬送システムにおいて無人移送装置と製造設備間との通信が行われる過程を説明するための図面であり、図７は、自動搬送システムの通信システムの重要構成を概略的に示したブロック図である。
図６及び図７に示したとおり、本発明が適用される自動搬送システムは、レール（Ｌ）に沿って移動する無人移送装置（１００）と、キャリアに対する工程作業を行う製造設備（２００）を含んで構成され、無人移送装置（１００）と製造設備（２００）は相互間のＲＦ通信を行う。
無人移送装置（１００）は製造設備（２００）とのＲＦ通信を行うためのマスター通信ユニット（１１０）と、無人移送装置（１００）に対する全般的な制御動作を行う無人車制御機（１２０）を含んで構成される。この時、マスター通信ユニット（１１０）は無人車制御機（１２０）とＥ８４入出力信号を制御するための並列データを送受信すると共に、上位の無人車制御システム（ＭＣ）によるマスター通信ユニット（１１０）の設定及び付加情報の送受信データに対してはシリアル通信を行う。

製造設備（２００）には、無人移送装置（１００）とのＲＦ通信を行うためのスレーブ通信ユニット（２１０）と、製造設備（２００）に対する全般的な制御動作を行う設備制御機（２２０）を含んで構成される。この時、スレーブ通信ユニット（２１０）は設備制御機（２２０）とＥ８４入出力信号を制御するための並列データを送受信すると共に、上位の設備制御システム（ＳＣ）と連結してスレーブ通信ユニット（２１０）の設定及び付加情報などを読み取る時にはシリアル通信を行う。
そして、マスター通信ユニット（１１０）とスレーブ通信ユニット（２１０）はキャリアハンドオフの並列入出力インターフェースのＥ８４プロトコルを利用してＲＦ通信方式でデータを送受信する。
本発明では、図８に示したとおり、無人移送装置（１００）の作業領域を無人移送装置（１００）がレール（Ｌ）を介して移動しながら行うことができる移動作業領域と、無人移送装置（１００）が製造設備（２００）位置に停車した状態で行うことができる停車作業領域と、を区分して定義する。

図８は、無人移送装置移動の可否による作業区間を区分するためにローディングに必要なＥ８４ハンドオフ過程を例示した図面である。
図８において、停車作業領域（Ｂ）は、実際に無人移送装置（１００）と製造設備（２００）が物理的に連動してキャリアをローディング、又はアンローディング作業を行う領域で、移動作業領域とは停車作業領域（Ｂ）の前／後からデータ通信だけからなる作業環境設定の領域（Ａ）と、作業環境解除の領域（Ｃ）とになる。
図８にはローディングに必要なＥ８４ハンドオフ過程が例示されており、これに基づいて作業環境設定の動作と停車作業、及び作業環境解除の動作を説明する。そして、アンローディングに対するＥ８４ハンドオフ過程はローディングに対するＥ８４ハンドオフ過程と同一なので、その詳細な説明は省略する。
図８において、無人移送装置（１００）はアクティブ（Ａｃｔｉｖｅ）装置、製造設備（２００）のロードポートはパッシブ（Ｐａｓｓｉｖｅ）装置で運営され、Ｅ８４の信号制御はアクティブ装置から行い、パッシブ装置はアクティブ装置の信号制御に応じて応答する形態として搬送物を交わす。この時、（Ｐ→Ａ）はパッシブ装置からアクティブ装置に送る信号で、（Ａ→Ｐ）はアクティブ装置からパッシブ装置に送る信号である。

無人車制御機（１２０）は、搬送するロードポートの位置を指定し、ＶＡＬＩＤ信号をオン（ＯＮ）させ、設備制御機（２２０）はキャリアがあればアンローディング（Ｕ＿ＲＥＱ）、キャリアがなければロード（Ｌ＿ＲＥＱ）を選択的にオンさせる。
無人車制御機（１２０）は現在にキャリアを有しながらＬ＿ＲＥＱがオンである場合、現在にキャリアを有せずＵ＿ＲＥＱがオンである場合に限って搬送の開始を知らせるＴＲ＿ＲＥＱをオンさせる。
それ以外の場合に、無人車制御機（１２０）は現在にキャリアを有しながらＵ＿ＲＥＱ信号を受けるか、現在にキャリアを有せずＬ＿ＲＥＱ信号を受けるとハンドオフを停止させる。

無人車制御機（１２０）のＴＲ＿ＲＥＱ信号がオンとなれば、ロードポートはＲＥＡＤＹをオンさせ、ＲＥＡＤＹがオンとなれば実際にハンドリングを行うという意味でＢＵＳＹをオンさせてローディング、又はアンローディングする移材作業を行う。
すなわち、図８でＲＦ通信の開始時点からＢＵＳＹをオンさせるまでの所要時間が作業環境設定の時間（Ｔａ）に定義され、ＢＵＳＹがオンとなった以後の時点からキャリアを製造設備（２００）にローディング又はアンローディングの停車作業の開始時点として定義される。
以後、ロードポートはキャリアが無いから有ると変われば、Ｌ−ＲＥＱをオフさせ、キャリアが有るから無いと変われば、Ｕ＿ＲＥＱをオフさせる。

無人車制御機（１２０）は、移材作業が完了すれば、ＢＵＳＹ信号をオフさせ、ロードポートがＬ＿ＲＥＱ又はＵ＿ＲＥＱ信号をオフするとＴＲ＿ＲＥＱ信号をオフさせて作業完了を意味するＣＯＭＰＴ信号をオンさせる。ロードポートはＣＯＰＭＴがオンとなれば理財作業が終了するのでＲＥＡＤＹをオフさせて、無人移送装置（１００）はＲＥＡＤＹがオフされればＣＯＭＰＴ、ＣＳ＿０、ＣＳ＿１の信号をオフさせる。
すなわち、無人移送装置（１００）の移材作業が完了することによって無人車制御機（１２０）はＢＵＳＹ信号をオフさせ、これに伴ってＣＯＭＰＴ信号がオンとなるところ、ＣＯＭＰＴ信号がオンとなる時点までを停車作業領域（Ｂ）として定義し、それ以後が無人移送装置（１００）がレール（Ｌ）を移動しながら作業が可能な作業環境解除の領域（Ｃ）と定義される。この時、作業環境解除の時間（Ｔｃ）はＣＯＭＰＴがオフされる時点の以後、望ましくはＣＯＭＰＴがオフされる時点までに設定される。

本発明は、詳述した通り、無人移送装置（１００）が製造設備（２００）に停車して実際的にローディング及びアンローディングを通じて移籍材作業を行う時間外の作業環境関連のデータ通信作業に対してはレール（Ｌ）を移動しながら行うことによって、無人移送装置（１００）に対する停車時間を最小化することに特徴がある。
例えば、無人移送装置（１００）の作業の総所用時間が１０秒であり、この中、停車作業領域（Ｂ）に必要な時間が８秒であれば、その前の作業環境の設定に必要な時間（Ｔａ）１．５秒と、その後の作業環境の解除に必要な時間（Ｔｃ）０．５秒は無人移送装置（１００）がレール（Ｌ）を移動しながら行われる。これを通して、無人移送装置（１００）が作業進行のために停車する時間をおよそ２０％ほど短縮することが可能となる。

一方、一般的に自動搬送システムは図６に示したとおり、一つの製造設備（２００）に複数の無人移送装置（１００）が隣接するように位置してそれぞれの工程作業を行うことができる。
これによって、レール（Ｌ）には図９に示したとおり、複数の無人移送装置（１００）が移動中の状況が発生し得る。図９には、第１及び第２無人移送装置（１００−１、１００−２）がレール（Ｌ）上に隣接するように位置して移動する状況を示した。
この時、製造設備（２００）側に位置するスレーブ通信ユニット（２１０）は第１無人移送装置（１００−１）とまず通信を始めて、第１無人移送装置（１００−１）が作業を完了した後、レール（Ｌ）を通し走行方向へ移動する。続いて第２無人移送装置（１００−２）と通信して作業を行うべきである。
ところが、図９に示す状況で第１無人移送装置（１００−１）がまず製造設備（２００）位置に到着したにもかかわらず、第２無人移送装置（１００−２）もまたスレーブ通信ユニット（２１０）の通信半径に位置しているので、スレーブ通信ユニット（２１０）が第２無人移送装置（１００−２）とまず通信を始める。

この場合、第２無人移送装置（１００−２）は第１無人移送装置（１００−１）によって作業する製造設備（２００）位置に移動できないので、一定シークエンスまで作業及び無線通信を進行しても、結局作業が行われない状態でエラーを発生させる。このような障害から結果的に作業の総所用時間が増加する問題が発生する。
このような状況を考慮して、本発明では、無人移送装置（１００）の無線通信の開始位置を明確に設定した。
この時、無人移送装置（１００）は製造設備（２００）の位置で停車するために減速を始める位置から停車位置までの減速区間を算出し、減速区間で作業環境を設定するためのデータ通信がなされるように無人移送装置（１００）の減速速度を調節する。これは低速の移動区間で作業環境を設定するための無線通信を行うことで、マスター通信ユニット（１１０）とスレーブ通信ユニット（２１０）がより安定的に通信する。
すなわち、無人移送装置（１００）は減速区間の中、停車作業前に作業環境設定の動作が完了する減速位置を無線通信開始位置として設定する。

図１０は、本発明の一実施例にともなう自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ伝送方法を説明するための図面である。
図１０に示したとおり、無人車制御機（１２０）は無人移送装置（１００）をレール（Ｌ）を通し一定速度で移動するように制御し、無人移送装置（１００）の現在の位置が既設定された無線通信開始位置なのかを確認する（ＳＴ１０、ＳＴ２０）。
この時、無人車制御機（１２０）は無人移送装置（１００）の現在位置と停車位置（製造設備の現在作業位置）及び作業環境設定の所要時間を認知した状態として、無人移送装置（１００）の現在移動速度と現在位置及び停車位置を考えて無線通信開始位置を設定する。

図１１は、無人移送装置で移動減速区間に無線通信開始位置を設定する方法を説明するための図面である。図１１に示したとおり、無人移送装置（１００）は、一定速度を維持しながらレール（Ｌ）上を移動して製造設備（２００）の作業位置で停車するように動作され、作業位置の近くで停車するために一定速度で減速しながらレール（Ｌ）上を移動する。
無人移送装置（１００）は、図１１で減速開始位置（Ｔ１）から停車位置（Ｔ２）までの減速時間（Ｔｍ）を作業環境設定の時間（図８のＴａ）より大きく設定するように無人移送装置の減速開始位置（Ｔ１）、及び減速速度を制御する。
そして、無線通信開始位置は無人移送装置の停車位置で作業環境を設定するためのＲＦ通信所要時間に当たる距離ほど先立つ位置（停車位置−作業設定時間に該当する距離）に当たる位置に設定される。

この時、作業設定時間（Ｔａ）はマスター通信ユニット（１１０）に対するＲＦ初期化設定時間を含むことができ、無線通信開始位置はマスター通信ユニット（１１０）に対するＲＦ初期化設定の時間を含む作業設定時間（Ｔａ）を考慮して設定する。すなわち、無人移送装置（１００）は製造設備（２００）の作業位置に停車する前までマスター通信ユニット（１１０）に対するＲＦ初期化設定とマスター通信ユニット（１１０）とスレーブ通信ユニット（２１０）間との作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うように無線通信開始位置を決定する。
また、無線通信開始位置を設定する場合は、上記の事項を満たす無人移送装置（１００）の移動経路、例えば、レール（Ｌ）にセンサー又はバーコードなどの位置認識のための識別手段を設置して、無人車制御機（１２０）にはこのような識別手段から提供される識別情報を獲得するための識別情報の認識手段を別途に備えて、識別情報を獲得する位置を無線通信開始位置と設定する。
この時、無人車制御機（１２０）は、図１１に示す減速開始位置（Ｔ１）から停車位置（Ｔ２）、又は無線通信開始位置から停車位置までのレール（Ｌ）区間には、ただ一つの無人移送装置（１００）のみ位置するように無人移送装置（１００）などの移動間隔を調節することによって、２台以上の無人移送装置（１００）がスレーブ通信ユニット（２１０）と同時に接続する場面を除くことができる。

上述のとおり、無人車制御機（１２０）で無線通信開始位置を確認すれば、無人車制御機（１２０）は設備ＩＤ及びチャンネルを利用してマスター通信ユニット（１１０）のＲＦ通信モジュールに必要な初期化を進める。
続いて、無人車制御機（１２０）は作業環境設定の情報をマスター通信ユニット（１１０）として提供し、マスター通信ユニット（１１０）は作業環境設定の情報を無線データパケットに変換してスレーブ通信ユニット（２１０）に無線送出し、スレーブ通信ユニット（２１０）は設備制御機（２２０）から提供される作業環境設定の情報を無線データパケットに変換してマスター通信ユニット（１１０）に無線送出する一連の作業環境設定の動作を行う（ＳＴ３０）。
上記の作業環境設定の情報は、Ｅ８４プロトコル基準としてロードポート位置（ＣＳ＿０、ＣＳ＿１）と、ＶＡＬＩＤ、キャリアの存在可否（Ｕ＿ＲＥＱ、Ｌ＿ＲＥＱ）、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＲＥＡＤＹ、ＢＵＳＹ信号として、これらの信号が順次オンされることで、作業環境設定関連のデータ通信が完了する（図８参照）。

無人車制御機（１２０）の制御に応じて無人移送装置（１００）が減速移動しながらマスター通信ユニット（１１０）とスレーブ通信ユニット（２１０）間とのＲＦ通信を通した作業環境設定の動作が完了すると共に、無人移送装置（１００）が作業を行う製造設備（２００）位置に停車する（ＳＴ４０）と、無人車制御機（１２０）は移籍材関連の作業制御情報をマスター通信ユニット（１１０）を通し、無線データパケットに変換してスレーブ通信ユニット（２１０）で無線送出し、スレーブ通信ユニット（２１０）は設備制御機（２２０）に作業制御情報を提供すると共に、設備制御機（２２０）から移籍材作業関連の応答情報を無線データパケットに 変換してマスター通信ユニット（１１０）で無線送出する一連の作業制御の動作を行う（ＳＴ５０）。
上記の作業制御動作は、移籍材作業が完了する場合、Ｅ８４プロトコル基準として無人移送装置（１００）でＢＵＳＹをオフ状態に設定すると共に、作業完了を意味するＣＯＭＰＴ信号をオンさせる。
すなわち、無人車制御機（１２０）は作業完了によってＢＵＳＹをオフ設定して、ＣＯＭＰＴをオン設定した後、無人移送装置（１００）をレール（Ｌ）に沿って移動させるように制御する（ＳＴ６０）。

そして、無人車制御機（１２０）は無人移送装置（１００）が移動する状態で作業環境解除の情報をマスター通信ユニット（１１０）を通し無線データパケットに変換してスレーブ通信ユニット（２１０）で無線送出し、スレーブ通信ユニット（２１０）は設備制御機（２２０）から提供される作業環境解除の情報を無線データパケットに変換してマスター通信ユニット（１１０）で無線送出する一連の作業環境解除の動作を行う（ＳＴ７０）。
すなわち、無人移送装置（１００）が作業完了後にレール（Ｌ）に沿って移動する状態で、マスター通信ユニット（１１０）とスレーブ通信ユニット（２１０）は無線通信を通しポート選択信号と、ＶＡＬＩＤ、ＲＥＡＤＹ及びＣＯＭＰＴ信号をオフ状態と設定する作業環境解除の動作を行う。

一方、詳述したような方法で無人移送装置（１００）のマスター通信ユニット（１１０）と製造設備側のスレーブ通信ユニット（２１０）がデータ通信を行うにおいて、図９のとおりレール（Ｌ）上に隣接した位置を保ちながら移動する第１及び第２無人移送装置（１１０−１，１００−２）が存在する場合、スレーブ通信ユニット（２１０）が第２無人移送装置（１００−２）と無線通信を行って作業環境設定の動作を行う場合が発生することを完全に排除することはできない。
これに、本発明は上記した状況を考慮して第２無人移送装置（１００−２）が移動しながら作業環境設定の動作を完了すれば、無人車制御機（１２０）で自分が目的とする停車位置まで一定時間の以内に到着するか否かを判断して、作業環境設定の動作の完了後、一定時間の以内に停車位置に到着しないと判断されれば、自分に先立って他の無人移送装置、例えば第１無人移送装置（１００−１）が作業中であると認識して製造設備（２００）側との無線通信を終了すると共に、マスター通信装置を待機状態に転換すると共に現在に設定された作業環境設定の情報をクリアする。
それ以後、先立って位置した第１無人移送装置（１００−１）の作業を完了してレール（Ｌ）に沿って出発すれば、第２無人移送装置（１００−２）はレール（Ｌ）に沿って移動して作業環境設定の動作を再び行うことができる。

１：搬送物
１０：無人移送装置
１１：第１通信ユニット
１２：無人車制御機
２０：製造設備
２１：第２通信ユニット
２２：設備制御機
１００：無人移送装置
１００−１、１１０−１：第１無人移送装置
１００−２、１１０−２：第２無人移送装置
１１０：マスター通信ユニット
１２０：無人車制御機
２００：製造設備
２１０：スレーブ通信ユニット
２２０：設備制御機
Ａ：作業環境設定の領域、移動作業領域
Ｂ：停車作業領域
Ｃ：作業環境解除の領域、移動作業領域
Ｌ：レール
ＭＣ：無人車制御システム
ＲＦ：高周波
ＳＣ：設備制御システム
Ｔ１：原則開始位置
Ｔ２：停車位置
Ｔａ：作業環境設定の時間、作業設定時間
Ｔｃ；作業環境解除の時間
Ｔｍ：減速時間

Claims (9)

1. 無人移送装置を通して各製造設備間にキャリアを移送させる自動搬送システムで前記無人移送装置側に設置されたマスター通信装置と前記製造設備側に設置されたスレーブ通信装置間とのデータ通信方法において，
   前記無人移送装置が移動して前記製造設備の作業位置に停車する前までマスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境を設定するためのＲＦ通信を行う第１ステップと、
   前記無人移送装置が前記製造設備の作業位置に停車した状態で前記マスター通信装置とスレーブ通信装置がキャリアに対する移籍材作業にともなう作業制御情報をＲＦデータに変換して互いに送受信する第２ステップと、
   前記無人移送装置が前記製造設備での移籍材作業が終了すれば、レールに沿って移動を始めると共に、前記マスター通信装置とスレーブ通信装置が作業環境を解除するためのＲＦ通信を行う第３ステップと、を含んで構成されることを特徴とする自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
2. 前記第１ステップは、前記無人移送装置が一定速度を持って移動し、前記製造設備の作業位置で停車するために減速する減速区間からなることを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
3. 前記第１ステップで前記無人移送装置は、停車位置と減速速度に基づいて減速区間を算出するステップと、
   作業環境を設定するためのＲＦ通信所要時間が減速区間に含まれるように前記無人移送装置の減速速度を制御するステップと、
   前記無人移送装置の停車位置で作業環境を設定するためのＲＦ通信の所要時間に当たる距離ほど先立った位置を無線通信開始の時点と設定するステップと、
   前記無線通信開始の時点で作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うステップと、を含んで構成されることを特徴とする請求項２に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
4. 前記無人移送装置が走行する移動経路の周辺に無線通信開始位置情報を提供するための識別手段が設けられ、
   前記第１ステップから前記無人移送装置は識別情報の認識手段を通して識別手段からの識別情報獲得を基にして無線通信開始位置を認識し、これを前記マスター通信装置として提供することで、前記マスター通信装置とスレーブ通信装置間との作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
5. 前記第１ステップで前記無人移送装置は、前記製造設備の設備ＩＤ及びチャンネルを用いて前記マスター通信装置をＲＦ初期化するステップをさらに含んで構成され、
   前記無人移送装置は製造設備の作業位置に停車する前まで前記マスター通信装置に対するＲＦ初期化設定とマスター通信装置とスレーブ通信装置間との作業環境を設定するためのＲＦ通信を行うように無線通信開始位置を決定することを特徴とする請求項２に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
6. 前記無人移送装置は、無線通信開始位置から停車位置までの移動区間には、ただ一つの無人移送装置だけが位置するように移動制御されることを特徴とする請求項２に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
7. 前記無人移送装置のマスター通信装置は、前記スレーブ通信装置と第１ステップの作業環境設定するためのＲＦ通信を行った以後、自分の現在位置と停車位置を比較するステップと、
   前記無人移送装置は、一定時間以内に停車位置に到達しない場合、他の無人移送装置が作業中だと認識して前記マスター通信装置を待機状態に転換すると共に、現在設定された作業環境設定の情報をクリアするステップをさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
8. 前記無人移送装置は、前記マスター通信装置が待機状態に転換された状態で、前記製造設備に対して他の無人移送装置に対する作業が終了すれば、前記第１ステップの動作を再び行うステップをさらに含んで構成されることを特徴とする請求項７に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。
9. 前記マスター通信装置とスレーブ通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４標準プロトコルによる搬送物処理のための通信を行うにおいて、
   前記第１ステップは、ＣＳ＿０、ＣＳ＿１、ＶＡＬＩＤ、Ｕ＿ＲＥＱ、Ｌ＿ＲＥＱ、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＲＥＡＤＹ、ＢＵＳＹ信号を順にオン設定し、
   前記第２ステップは、移籍材作業の完了に対応してＵ＿ＲＥＱ、Ｌ＿ＲＥＱ、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＢＵＳＹ信号をオフ設定し、
   前記第３ステップは、ＣＳ＿０、ＣＳ＿１、ＶＡＬＩＤ、ＲＥＡＤＹ 及び、ＣＯＭＰＴ信号をオフ設定することを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システムの作業時間を短縮するためのデータ通信方法。

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