JP2019089234A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】優れた噴射特性を得ることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、第１方向に延在する複数のチャネルを有すると共に、その複数のチャネルに液体が収容されるアクチュエータプレートと、そのアクチュエータプレートに対向配置され、複数のチャネルに対応する位置に複数のノズル孔を有すると共に、複数のチャネルに収容された液体が複数のノズル孔から第１方向と交差する第２方向に噴射されるノズルプレートと、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に配置され、複数のチャネルおよび複数のノズル孔のそれぞれに対応する位置に第１方向に延在する複数のスリットを有すると共に、第１方向および第２方向のそれぞれと交差する第３方向における複数のスリットのそれぞれの幅が第３方向における複数のチャネルのそれぞれの幅よりも大きい中間プレートとを備える。【選択図】図６

Description

本開示は、液体を噴射する液体噴射ヘッドおよびその液体噴射ヘッドを用いた液体噴射記録装置に関する。

被記録媒体に画像などを記録する記録装置として、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が知られている。この液体噴射記録装置では、液体噴射ヘッドから被記録媒体に液体が噴射されることにより、その被記録媒体に画像などが記録される。

液体噴射記録装置の構成に関しては、様々な検討がなされている。具体的には、いわゆるエッジシュートタイプの液体噴射ヘッドにおいて噴射不良を防止するために、ノズルプレートとアクチュエータプレートとの間に、ノズル孔に対応する箇所に逃げ孔を有する接着プレートが配置されている（例えば、特許文献１参照）。この逃げ孔の外径輪郭線は、ノズル孔の外径輪郭線から一定の距離以上離間されている。

特開２００９−２９２０６１号公報

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置の構成に関して様々な検討がなされているが、その液体噴射ヘッドの噴射特性は未だ十分でないため、改善の余地がある。

そこで、優れた噴射特性を得ることが可能な液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望まれている。

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、第１方向に延在する複数のチャネルを有すると共に、その複数のチャネルに液体が収容されるアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに対向配置され、複数のチャネルに対応する位置に複数のノズル孔を有すると共に、その複数のチャネルに収容された液体が複数のノズル孔から第１方向と交差する第２方向に噴射されるノズルプレートと、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に配置され、複数のチャネルおよび複数のノズル孔のそれぞれに対応する位置に第１方向に延在する複数のスリットを有すると共に、第１方向および第２方向のそれぞれと交差する第３方向における複数のスリットのそれぞれの幅が第３方向における複数のチャネルのそれぞれの幅よりも大きい中間プレートとを備えたものである。

本開示の一実施形態の液体噴射記録装置は、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、その液体を貯蔵する液体貯蔵部とを備え、その液体噴射ヘッドが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドと同様の構成を有するものである。

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に中間プレートが配置されていると共に、中間プレートに設けられている各スリットの幅がアクチュエータプレートに設けられている各チャネルの幅よりも大きいので、優れた噴射特性を得ることができる。

本開示の一実施形態の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の構成を表す斜視図である。 図１に示した循環機構の構成を模式的に表す図である。 ノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す斜視図である。 図３に示したアクチュエータプレートの構成を表す平面図である。 中間プレートおよびアクチュエータプレートのそれぞれの構成を表す平面図である。 図４に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート、中間プレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す断面図である。 図６に示したノズルプレート、中間プレートおよびアクチュエータプレートのそれぞれの構成のうちの一部を拡大して表す断面図である。 図４に示したＢ−Ｂ線に沿ったノズルプレート、中間プレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を拡大して表す断面図である。 第１比較例の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）におけるノズルプレートおよびアクチュエータプレートのそれぞれの構成のうちの一部を拡大して表す断面図である。 第１比較例の液体噴射記録装置の問題点を説明するための断面図である。 本開示の一実施形態の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の利点を説明するための断面図である。 第２比較例の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）におけるノズルプレート、中間プレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を拡大して表す断面図である。 本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの構成に関する変形例を表す断面図である。

以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。

１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）
１−１．液体噴射記録装置の構成
１−２．液体噴射ヘッドの構成
１−３．ノズルプレート、中間プレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの詳細な構成
１−４．動作
１−５．作用および効果
２．変形例

＜１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）＞
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置に関して説明する。

なお、本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、ここで説明する液体噴射記録装置のうちの一部であるため、その液体噴射ヘッドに関しては、以下で併せて説明する。

＜１−１．液体噴射記録装置の構成＞
最初に、液体噴射記録装置の構成に関して説明する。

図１は、液体噴射記録装置の一具体例であるプリンタ１の斜視構成を表している。図２は、図１に示した循環機構５の構成を模式的に表している。ただし、図１では、筐体１０の外縁（輪郭）を破線で示すことにより、その筐体１０の内部を示している。

このプリンタ１は、主に、被記録媒体である記録紙Ｐに対して、後述する記録用の液体であるインク９を用いて画像などを記録（印刷）するインクジェット方式のプリンタであり、いわゆるインクジェットプリンタである。

特に、ここで説明するプリンタ１は、例えば、循環機構５において循環されているインク９を用いるインク循環方式のインクジェットプリンタである。

具体的には、プリンタ１は、例えば、図１および図２に示したように、筐体１０の内部に、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、液体噴射ヘッドの一具体例であるインクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。

なお、図１および図２、ならびに後述する各図面では、プリンタ１に関する一連の構成要素の大きさを認識可能な大きさとするために、各構成要素の縮尺を適宜変更している。

［搬送機構］
一対の搬送機構２ａ，２ｂは、主に、プリンタ１に投入された記録紙Ｐを搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）に搬送させる機構である。

搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図１に示したように、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２を含んでいる。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２のそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在しており、その方向に延在する回転軸を中心として回転可能である。また、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図示しないモータなどの駆動機構に接続されており、その駆動機構の動力を利用して回転する。

ここでは、記録紙Ｐの平面形状は、例えば、互いに対向する一対の長辺と互いに対向する一対の短辺とにより規定される矩形である。これに伴い、搬送方向Ｄは、例えば、記録紙Ｐの長手方向に沿った方向（Ｘ軸方向）であると共に、搬送方向Ｄに交差する方向は、例えば、記録紙Ｐの短手方向に沿った方向（Ｙ軸方向）である。

［インクタンク］
インクタンク３は、主に、インク９を貯蔵する液体貯蔵部である。

インクタンク３の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、互いに異なる色のインク９を収容する４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）を備えている。インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、例えば、搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）において、上流側から下流側に向かってこの順に配列されている。

インクタンク３Ｙは、例えば、イエロー（Ｙ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｍは、例えば、マゼンタ（Ｍ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｃは、例えば、シアン（Ｃ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｋは、例えば、ブラック（Ｂ）のインク９を収容している。

インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋをまとめて「インクタンク３」と総称する。

［インクジェットヘッド］
インクジェットヘッド４は、主に、記録紙Ｐに画像などを記録するために、その記録紙Ｐにインク９を噴射するデバイス（ヘッド）である。このインクジェットヘッド４では、特に、記録紙Ｐに液滴状のインク９が噴射される。

インクジェットヘッド４の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、上記した４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に対応して、互いに異なる色のインク９を噴射する４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）を備えている。インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）においてこの順に配列されている。

インクジェットヘッド４Ｙは、例えば、イエローのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｍは、例えば、マゼンタのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｃは、例えば、シアンのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｂは、例えば、ブラックのインク９を噴射する。

インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂをまとめて「インクジェットヘッド４」と総称する。

なお、インクジェットヘッド４の詳細な構成に関しては、後述する（図３〜図５参照）。

［循環機構］
循環機構５は、主に、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間においてインク９を循環させる機構である。

この循環機構５は、例えば、図２に示したように、インク９の循環流路５０と、加圧ポンプ５１ａと、吸引ポンプ５１ｂとを含んでいる。

循環流路５０は、例えば、インクタンク３からインクジェットヘッド４に向かってインク９が流れる第１流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３に向かってインク９が流れる第２流路５０ｂとを含んでいる。

第１流路５０ａおよび第２流路５０ｂのそれぞれでは、例えば、チューブの内部にインク９が流れており、そのチューブは、例えば、可撓性を有するフレキシブルチューブなどである。

加圧ポンプ５１ａは、例えば、第１流路５０ａに設けられている。この加圧ポンプ５１ａは、第１流路５０ａの内部を加圧することにより、インクジェットヘッド４にインク９を供給する。

吸引ポンプ５１ｂは、例えば、第２流路５０ｂに設けられている。この吸引ポンプ５１Ｂは、第２流路５０ｂの内部を減圧することにより、インクジェットヘッド４からインク９を吸引する。

これにより、循環機構５では、例えば、循環方向Ｆに向かってインク９が流れる。すなわち、インクタンク３から供給されたインク９は、例えば、第１流路５０ａ、インクジェットヘッド４および第２流路５０ｂをこの順に経由することにより、そのインクタンク３に戻る。

［走査機構］
走査機構６は、主に、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）にインクジェットヘッド４を走査させる機構である。

この走査機構６は、例えば、図１に示したように、一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、キャリッジ６２と、駆動機構６３とを含んでいる。

ガイドレール６１ａ，６１ｂのそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在している。キャリッジ６２は、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂにより支持されており、そのガイドレール６１ａ，６１ｂに沿って搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。駆動機構６３は、例えば、一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、無端状のベルト６３２と、駆動モータ６３３とを含んでいる。

一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置されている。プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの両端近傍に対応する位置に、Ｙ軸方向に延在するように設けられている。ベルト６３２は、例えば、プーリ６３１ａ，６３１ｂの間において巻回されている。このベルト６３２は、例えば、キャリッジ６２に連結されており、そのキャリッジ６２の上には、例えば、インクジェットヘッド４が載置されている。

搬送機構２ａ，２ｂおよび走査機構６を移動機構として利用することにより、記録紙Ｐおよびインクジェットヘッド４のそれぞれは、相対的に移動可能である。

＜１−２．液体噴射ヘッドの構成＞
次に、インクジェットヘッド４の構成に関して説明する。

図３は、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれの斜視構成を表している。図４は、図３に示したアクチュエータプレート４３の平面構成を表している。図５は、中間プレート４２およびアクチュエータプレート４３のそれぞれの平面構成を表している。図６は、図４に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート４１、中間プレート４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれの断面構成を表している。

ただし、図３では、中間プレート４２の図示を省略していると共に、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４が互いに離間された状態を示している。また、図４では、ノズル列４１１，４１２（複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２）を破線で示していると共に、図５では、ノズル列４１１（複数のノズル孔Ｈ１）を破線で示している。

ここで説明するインクジェットヘッド４は、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。すなわち、インクジェットヘッド４では、例えば、後述するように、Ｙ軸方向（第１方向）に延在する複数のチャネルＣがアクチュエータプレート４３に設けられており、ノズルプレート４１に設けられている複数のノズル孔Ｈから、そのＹ軸方向と交差するＺ軸方向（第２方向）にインク９が噴射される。

これに対して、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドでは、上記したサイドシュートタイプのインクジェットヘッド４とはインク９の噴射方向が異なっている。ここでは具体的に図示しないが、エッジシュートタイプのインクジェットヘッドでは、例えば、複数のチャネルＣがＹ軸方向に延在しており、そのＹ軸方向に複数のノズル孔Ｈからインク９が噴射される。

また、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる循環式のインクジェットヘッドであり、上記した循環機構５を利用してインクタンク３とインクジェットヘッド４との間において循環されるインク９を用いる。

具体的には、インクジェットヘッド４は、例えば、図３〜図６に示したように、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１と、中間プレート４２と、アクチュエータプレート４３と、カバープレート４４とを備えている。

ノズルプレート４１、中間プレート４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれは、例えば、所定の延在方向（Ｘ軸方向）に延在している。ノズルプレート４１、中間プレート４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４は、例えば、インク９が噴射される側よりも遠い側（図３中の上側）からこの順に積層されている。

［ノズルプレート］
ノズルプレート４１は、主に、後述するインク９の噴射口である複数のノズル孔Ｈが設けられたプレートである。

このノズルプレート４１は、中間プレート４２を介してアクチュエータプレート４３に対向配置されており、複数のチャネルＣに対応する位置に複数のノズル孔Ｈを有している。

また、ノズルプレート４１は、例えば、導電性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいるため、導電性を有している。導電性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ステンレス（ＳＵＳ）などの金属材料である。ノズルプレート４１が金属材料を含んでいると、その金属材料が高い擦過性を有するため、ノズルプレート４１の物理的強度が向上するからである。なお、ＳＵＳの種類は、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３１６ＬおよびＳＵＳ３０４などである。

具体的には、ノズルプレート４１は、例えば、図３〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル列４１０を有している。各ノズル列４１０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のノズル孔Ｈを含んでいる。ノズル孔Ｈの開口形状（Ｚ軸方向から見たノズル孔Ｈの形状）は、例えば、円形である。

ここでは、ノズルプレート４１は、例えば、２列のノズル列４１０（４１１，４１２）を有している。このため、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる２列タイプのインクジェットヘッドでる。

ノズル列４１１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ１を含んでいる。各ノズル孔Ｈ１は、ノズルプレート４１を貫通するようにＺ軸方向に延在しており、後述するアクチュエータプレート４３のうちの噴射チャネルＣ１ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ１は、Ｙ軸方向に延在する噴射チャネルＣ１ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ１のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈ１の間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における複数の噴射チャネルＣ１ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネルＣ１ｅの間の距離）と同様である。これにより、各噴射チャネルＣ１ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ１から噴射される。

ノズル列４１２は、例えば、上記したノズル列４１１と同様の構成を有している。すなわち、ノズル列４１２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ２を含んでいる。各ノズル孔Ｈ２は、ノズルプレート４１を貫通しており、後述するアクチュエータプレート４３のうちの噴射チャネルＣ２ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ２は、Ｙ軸方向に延在する噴射チャネルＣ２ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ２のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈの間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における複数の噴射チャネルＣ２ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネルＣ２ｅの間の距離）と同様である。これにより、各噴射チャネルＣ２ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ２から噴射される。

ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれからインク９が噴射される方向は、上記したように、複数のチャネルＣの延在方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｚ軸方向）である。より具体的には、インク９の噴射方向は、アクチュエータプレート４３からノズルプレート４１に向かう方向（図３中の下方向）である。ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径は、例えば、噴射方向に向かって次第に小さくなっている。すなわち、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれは、例えば、テーパ状の貫通口である。

［中間プレート］
中間プレート４２は、主に、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に介在することにより、そのノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とを互いに位置合わせするためなどに用いられるプレートである。

この中間プレート４２は、例えば、絶縁性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいるため、絶縁性を有している。絶縁性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ポリイミドおよびポリパラキシリレン（いわゆるパリレン）などの高分子材料である。

ノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４３は、例えば、中間プレート４２を介して互いに張り合わされている。これにより、導電性のノズルプレート４１と導電性のアクチュエータプレート４３とは、例えば、絶縁性の中間プレート４２を介して電気的に分離（絶縁）されている。ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とが中間プレート４２を介して絶縁されていると、ノズルプレート４１の形成材料として導電性材料を使用可能になると共に、アクチュエータプレート４３の形成材料として圧電材料を使用可能になるため、特に、そのノズルプレート４１の形成材料として高擦過性を有する金属材料などを使用可能になるからである。これにより、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との短絡が抑制されながら、そのノズルプレート４１が破損（摩耗など）しにくくなる。

特に、中間プレート４２は、ノズルプレート４１の線膨張率Ｅ２とアクチュエータプレート４３の線膨張率Ｅ３との間の線膨張率Ｅ１（Ｅ２＜Ｅ１＜Ｅ３またはＥ３＜Ｅ１＜Ｅ２）を有していることが好ましい。線膨張率Ｅ１〜Ｅ３が上記した関係を満たしていると、ノズルプレート４１、中間プレート４２およびアクチュエータプレート４３のそれぞれが熱変形した際に、その線膨張率（熱膨張率）の違いに起因するノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４３のそれぞれの変位が中間プレート４２により吸収されるからである。これにより、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との間に中間プレート４２が介在していない場合と比較して、熱変形に起因するノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４３の剥離が抑制される。よって、インク９の噴射時において偏向などの不具合が発生しにくくなる。

具体的には、中間プレート４２は、例えば、図５および図６に示したように、複数のチャネルＣおよび複数のノズル孔Ｈのそれぞれに対応する位置に、複数のスリットＳを有している。各スリットＳは、例えば、各チャネルＣと同様に、Ｙ軸方向に延在していると共に、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。

なお、中間プレート４２の厚さは、特に限定されないが、中でも、大きすぎないことが好ましい。中間プレート４２の厚さが大きすぎないと、ノズル孔Ｈに対するインク９の供給に対して中間プレート４２の厚さが影響を与えにくくなるため、そのノズル孔Ｈにインク９が安定に供給されやすくなるからである。具体的には、中間プレート４２の厚さは、例えば、２５μｍ以下である。

［アクチュエータプレート］
アクチュエータプレート４３は、主に、複数のノズル孔Ｈからインク９を噴射させるために電気的に動作するプレートである。

このアクチュエータプレート４３は、上記したように、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣを有している。チャネルＣの開口形状（Ｚ軸方向から見たチャネルＣの形状）は、例えば、矩形である。各チャネルＣにインク９が収容されることにより、そのインク９が各ノズル孔Ｈから噴射される。

また、アクチュエータプレート４３は、例えば、圧電材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。圧電材料の種類は、特に限定されないが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などである。このアクチュエータプレート４３は、例えば、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定されている２枚の圧電基板が積層された積層体である（いわゆるシェブロンタイプ）。

ただし、アクチュエータプレート４３の構成は、上記したシェブロンタイプに限られない。具体的には、アクチュエータプレート４３は、例えば、Ｚ軸方向における分極方向が一方向となるように設定されている１枚の圧電基板でもよい（いわゆるカンチレバータイプ）。

具体的には、アクチュエータプレート４３は、例えば、図３〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のチャネル列４３０を有している。各チャネル列４３０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のチャネルＣを含んでいる。ここでは、アクチュエータプレート４３は、例えば、２列のチャネル列４３０（４３１，４３２）を有している。

このアクチュエータプレート４３では、例えば、Ｘ軸方向における略中央領域（チャネル列４３１，４３２が形成されている領域）にインク９の噴射領域Ａ１が設けられていると共に、そのＸ軸方向における両端領域（チャネル列４３１，４３２が形成されていない成領域）にインク９の非噴射領域Ａ２が設けられている。すなわち、非噴射領域Ａ２は、Ｘ軸方向において噴射領域Ａ１よりも外側に配置されている。なお、Ｙ軸方向におけるアクチュエータプレート４３のうちの両端部は、いわゆる尾部４３Ｚである。

チャネル列４３１は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ１を含んでいる。複数のチャネルＣ１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ１は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。

チャネル列４３２は、例えば、上記したチャネル列４３１と同様の構成を有している。すなわち、チャネル列４３２は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ２を含んでいる。複数のチャネルＣ２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ２は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。

複数のチャネルＣ１は、例えば、インク９を噴射させる噴射チャネルＣ１ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ１ｄとを含んでいる。チャネル列４３１において、噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各噴射チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ１に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄは、各ノズル孔Ｈ１に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。

複数のチャネルＣ２は、例えば、上記した複数のチャネルＣ１と同様の構成を有している。すなわち、複数のチャネルＣ２は、例えば、インク９を噴射させる噴射チャネルＣ２ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ２ｄとを含んでいる。チャネル列４３２において、噴射チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各噴射チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ２に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄは、各ノズル孔Ｈ２に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。

噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄと、噴射チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄとは、例えば、互い違いとなるように配列されている。すなわち、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、例えば、千鳥配列されている。なお、アクチュエータプレート４３のうち、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれに対応する領域には、例えば、浅溝部Ｄｄが設けられている。この浅溝部Ｄｄは、例えば、Ｙ軸方向に延在するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれのうちの外側端部に連通されている。

このアクチュエータプレート４３では、例えば、駆動壁Ｗｄに対向する内側面に、Ｙ軸方向に延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄは、例えば、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとを含んでいる。なお、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、例えば、Ｚ軸方向においてアクチュエータプレート４３（駆動壁Ｗｄ）の一端部から他端部まで延在している。このため、Ｚ軸方向における駆動電極Ｅｄの寸法（高さ）は、例えば、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの寸法（高さ）とほぼ等しくなっている。

１個の噴射チャネルＣ１ｅ（または噴射チャネルＣ２ｅ）の内部において互いに対向する一対のコモン電極Ｅｄｃは、例えば、コモン端子を介して互いに電気的に接続されている。１個のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）の内部において互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、互いに電気的に分離されている。噴射チャネルＣ１ｅ（または噴射チャネルＣ２ｅ）を介して互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、アクティブ端子を介して互いに電気的に接続されている。

尾部４３Ｚには、例えば、駆動電極Ｅｄとインクジェットヘッド４とを互いに電気的に接続させるためのフレキシブルプリント基板４５が実装されている。ただし、図３では、フレキシブルプリント基板４５の一部の外縁（輪郭）を破線で示している。このフレキシブルプリント基板４５に形成されている配線は、例えば、上記したコモン端子およびアクティブ端子のそれぞれに電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４５を介してインクジェットヘッド４から各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。

［カバープレート］
カバープレート４４は、主に、アクチュエータプレート４３（複数のチャネルＣ）にインク９を導入すると共に、そのアクチュエータプレート４３からインク９を排出させるプレートである。アクチュエータプレート４３は、中間プレート４２とカバープレート４４との間に配置されている。

このカバープレート４４は、例えば、アクチュエータプレート４３の形成材料と同様の材料を含んでいる。

具体的には、カバープレート４４は、例えば、図３〜図６に示したように、アクチュエータプレート４３に設けられた複数のチャネルＣ１，Ｃ２（複数のチャネル列４３１，４３２）を遮蔽するように配置されている。

このカバープレート４４は、例えば、一対の入口側共通インク室４４１ａ，４４２ａと、一対の出口側共通インク室４４１ｂ，４４２ｂとを有している。入口側共通インク室４４１ａおよび出口側共通インク室４４１ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４３に設けられた複数のチャネル列４３１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に配置されている。入口側共通インク室４４２ａおよび出口側共通インク室４４２ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４３に設けられた複数のチャネル列４３２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に配置されている。

入口側共通インク室４４１ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられたインク９の導入口であり、そのインク９は、入口側共通インク室４４１ａを経由して各チャネルＣ１に導入される。入口側共通インク室４４１ａのうち、各噴射チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、供給スリットＳａが形成されている。また、入口側共通インク室４４２ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられたインク９の導入口であり、そのインク９は、入口側共通インク室４４２ａを経由して各チャネルＣ２に導入される。入口側共通インク室４４２ａのうち、各噴射チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した入口共通インク室４４１ａと同様に、供給スリットＳａが形成されている。

出口側共通インク室４４１ｂは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に設けられたインク９の排出口であり、そのインク９は、出口側共通インク室４４１ｂを経由して各チャネルＣ１から排出される。出口側共通インク室４４１ｂのうち、各噴射チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、排出スリットＳｂが形成されている。また、出口側共通インク室４４２ｂは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に設けられたインク９の排出口であり、そのインク９は、出口側共通インク室４４２ｂを経由して各チャネルＣ２から排出される。出口側共通インク室４４２ｂのうち、各噴射チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した出口側共通インク室４４１ｂと同様に、排出スリットＳｂが形成されている。

入口側共通インク室４４１ａおよび出口側共通インク室４４１ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各噴射チャネルＣ１ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、入口側共通インク室４４１ａおよび出口側共通インク室４４１ｂにより遮蔽されている。

入口側共通インク室４４２ａおよび出口側共通インク室４４２ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各噴射チャネルＣ２ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、入口側共通インク室４４２ａおよび出口側共通インク室４４２ｂにより遮蔽されている。

＜１−３．ノズルプレート、中間プレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの詳細な構成＞
次に、ノズルプレート４１、中間プレート４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれの詳細な構成に関して説明する。以下では、詳細な構成と共に位置関係を説明する。

図７は、図６に示したノズルプレート４１、中間プレート４２およびアクチュエータプレート４３のそれぞれの断面構成のうちの一部を拡大している。図８は、図４に示したＢ−Ｂ線に沿ったノズルプレート４１、中間プレート４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれの断面構成を拡大している。

以下では、複数のチャネルＣの延在方向（Ｙ軸方向）およびインク９の噴射方向（Ｚ軸方向）のそれぞれと交差する方向（Ｘ軸方向）の寸法を「幅」とする。また、上記した複数のチャネルＣの延在方向（Ｙ軸方向）を「長さ方向」とする。

［中間プレートおよびアクチュエータプレートのそれぞれの構成および位置関係］
図６および図７に示したように、複数のチャネルＣ（Ｃ１ｅ）の幅Ｗ１は、例えば、互いに共通していると共に、複数のスリットＳの幅Ｗ２は、例えば、互いに共通している。

ただし、ここで説明する「幅Ｗ１」とは、互いに隣り合う２個のコモン電極Ｅｄｃの間の幅ではなく、チャネルＣの幅である。すなわち、幅Ｗ１は、厳密には、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄの間の間隔ではなく、互いに隣り合う２個のコモン電極Ｅｄｃの間の間隔に基づいて規定されるべきである。しかしながら、各コモン電極Ｅｄｃの厚さは、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄの間の間隔に対して十分に小さいため、各コモン電極Ｅｄｃの厚さは、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄの間の間隔にほとんど影響を及ぼさない。よって、「幅Ｗ１」は、上記したように、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄの間の間隔に基づいて規定される。

この場合には、図７に示したように、各スリットＳの幅Ｗ２は、各チャネルＣの幅Ｗ１よりも大きくなっている。幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きいと、チャネルＣからノズル孔Ｈに供給されるインク９の供給ルートがアクチュエータプレート４３により阻害されにくくなるため、インク９の噴射特性に関する不具合（例えば、インク９の噴射方向の偏向など）が発生しにくくなるからである。この不具合が発生しにくくなる詳細な理由に関しては、後述する。

ここで、チャネルＣおよびノズル孔Ｈのそれぞれに対応する位置にスリットＳが配置されていれば、そのチャネルＣとスリットＳとの位置関係は、特に限定されない。中でも、チャネルＣは、スリットＳの幅Ｗ２により画定される領域内に配置されていることが好ましい。スリットＳの幅Ｗ２により画定される領域内にチャネルＣが配置されていると、ノズル孔Ｈに対するインク９の供給がより阻害されにくくなるからである。

詳細には、アクチュエータプレート４３は、例えば、Ｘ軸方向においてチャネルＣを画定する２個の内側端部Ｔ１（第１内側端部）を有している。また、中間プレート４２は、例えば、Ｘ軸方向においてスリットＳを画定する２個の内側端部Ｔ２（第２内側端部）を有している。

ここで説明する「内側」とは、図７に示したＸ軸方向（左右方向）において、左端および右端のそれぞれよりも中央（中心線Ｌ１）に近い側である。また、内側の反対方向、すなわち中心線Ｌ１よりも左端および右端のそれぞれに近い側は、「外側」である。

この場合において、２個の内側端部Ｔ２のそれぞれは、Ｘ軸方向において２個の内側端部Ｔ１のそれぞれよりも外側に位置していることが好ましい。すなわち、中心線Ｌ１よりも右側の領域では、内側端部Ｔ２が内側端部Ｔ１よりも外側に位置していると共に、その中心線Ｌ１よりも左側の領域では、内側端部Ｔ２が内側端部Ｔ１よりも外側に位置していることが好ましい。

これにより、チャネルＣを画定する各内側端部Ｔ１は、スリットＳを画定する各内側端部Ｔ２よりも内側に位置することになる。よって、チャネルＣは、上記したように、スリットＳの幅Ｗ２により画定される領域内に配置される。この「領域」とは、Ｘ軸方向において２個の内側端部Ｔ２により挟まれた領域である。

［中間プレートおよびカバープレートのそれぞれの構成および位置関係］
図７および図８に示したように、スリットＳは、Ｙ軸方向に延在している。また、カバープレート４４では、Ｙ軸方向に延在するチャネルＣ（Ｃ１ｅ）のうちの一端部に対応する位置に入口側共通インク室４４１ａが設けられていると共に、そのチャネルＣ（Ｃ１ｅ）のうちの他端部に対応する位置に出口側共通インク室４４１ｂが設けられている。なお、チャネルＣを画定するアクチュエータプレート４３の内壁面４３Ｍは、例えば、カバープレート４４から中間プレート４２に向かうにしたがってノズル孔Ｈに次第に近づくように湾曲している。

この場合には、図８に示したように、スリットＳは、入口側共通インク室４４１ａに対応する領域内の位置から出口側共通インク室４４１ｂに対応する領域内の位置まで延在していることが好ましい。スリットＳが上記したように延在していると、そのスリットＳの内部に気泡Ｈが発生しても、その気泡ＨがスリットＳの内部に滞留しにくくなるため、インク９の噴射不良が発生しにくくなるからである。この噴射不良が発生しにくくなる詳細な理由に関しては、後述する。

詳細には、中間プレート４２は、例えば、Ｙ軸方向においてスリットＳを画定する２個の内側端部Ｔ３（第３内側端部）を有している。また、カバープレート４４は、例えば、Ｙ軸方向において入口側共通インク室４４１ａを画定する内側端部Ｔ４（第４内側端部）と、そのＹ軸方向において出口側共通インク室４４１ｂを画定する内側端部Ｔ５（第５内側端部）とを有している。

ここで説明する「内側」とは、図８に示したＹ軸方向（左右方向）において、左端および右端のそれぞれよりも中央（中心線Ｌ２）に近い側である。また、内側の反対方向、すなわち中心線Ｌ２よりも左端および右端のそれぞれに近い側は、「外側」である。

この場合において、２個の内側端部Ｔ３のそれぞれは、Ｘ軸方向において内側端部Ｔ４、Ｔ５のそれぞれよりも外側に位置していることが好ましい。すなわち、中心線Ｌ２よりも左側の領域では、内側端部Ｔ３が内側端部Ｔ４よりも外側に位置していると共に、その中心線Ｌ２よりも右側の領域では、内側端部Ｔ３が内側端部Ｔ５よりも外側に位置していることが好ましい。

これにより、スリットＳを画定する２個の内側端部Ｔ３のうち、一方の内側端部Ｔ３は入口側共通インク室４４１ａに対応する領域内に位置すると共に、他方の内側端部Ｔ３は出口側共通インク室４４１ｂに対応する領域内に位置することになる。よって、スリットＳは、上記したように、入口側共通インク室４４１ａに対応する領域内の位置から出口側共通インク室４４１ｂに対応する領域内の位置まで延在する。この「入口側共通インク室４４１ａに対応する領域」とは、Ｚ軸方向において入口側共通インク室４４１ａとオーバーラップする領域であると共に、「出口側共通インク室４４１ｂに対応する領域」とは、Ｚ軸方向において出口側共通インク室４４１ｂとオーバーラップする領域である。

＜１−４．動作＞
次に、プリンタ１の動作に関して説明する。

［プリンタの動作］
まず、プリンタ１全体の動作を説明する。このプリンタ１では、以下の手順により、記録紙Ｐに画像などが記録される。

初期状態では、４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に、互いに異なる４色（イエロー、マゼンタ、シアンおよびブラック）のインク９が収容されている。このインク９は、循環機構５において循環されることにより、インクジェットヘッド４に供給されている。

プリンタ１が稼働すると、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれのグリッドローラ２１が回転するため、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２により記録紙Ｐが搬送方向Ｄに搬送される。この場合には、駆動機構６３（駆動モータ６３３）が駆動するため、プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれが回転することにより、ベルト６３２が作動する。また、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂを利用してＹ軸方向に往復移動する。これにより、４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）から記録紙Ｐに４色のインク９が噴射されるため、その記録紙Ｐに画像などが記録される。

［インクジェットヘッドの動作］
次に、プリンタ１の稼働時におけるインクジェットヘッド４の動作に関して説明する。このインクジェットヘッド４では、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインク９が噴射される。

最初に、キャリッジ６２が往復移動すると、フレキシブルプリント基板４５を介して、インクジェットヘッド４のうちの駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に駆動電圧が印加される。具体的には、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画定する一対の駆動壁Ｗｄに設けられた各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。これにより、一対の駆動壁Ｗｄのそれぞれは、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接されたダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに向かって突出するように変形する。

ここで、上記したように、アクチュエータプレート４３では、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定された２枚の圧電基板が積層されていると共に、そのＺ軸方向において駆動電極Ｅｄが駆動壁Ｗｄの一端部から他端部まで延在している。この場合には、駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加されることにより、圧電厚み滑り効果によって、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの略中間位置を起点として、その駆動壁Ｗｄが屈曲変形する。これにより、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれは、上記した駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、あたかも膨らむように変形する。

この圧電厚み滑り効果に基づく一対の駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が増大する。これにより、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａのそれぞれに貯留されたインク９は、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導される。

続いて、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導されたインク９は、圧力波として噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に伝播する。この場合には、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔Ｈ１，Ｈ２に圧力波が到達したタイミングにおいて、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧がゼロ（０Ｖ）になる。これにより、屈曲変形した駆動壁Ｗｄが元の状態に戻るため、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻る。

最後に、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻ると、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部において圧力が増加するため、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導されたインク９が加圧される。これにより、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から外部（記録紙Ｐ）に液滴状のインク９が噴射される。

この場合には、例えば、上記したように、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径が噴射方向に向かって次第に小さくなっているため、インク９の噴射速度が増加すると共に、そのインク９の直進性が向上する。これにより、記録紙Ｐに記録される画像などの品質が向上する。

＜１−５．作用および効果＞
最後に、インクジェットヘッド４を備えたプリンタ１の作用および効果に関して説明する。

［主要な作用および効果］
このプリンタ１では、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との間に中間プレート４２が配置されていると共に、その中間プレート４２に設けられている各スリットＳの幅Ｗ２がアクチュエータプレート４３に設けられている各チャネルＣの幅Ｗ１よりも大きくなっている。よって、以下で説明する理由により、優れた噴射特性を得ることができる。

図９は、第１比較例のプリンタ（インクジェットヘッド）におけるノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４３のそれぞれの構成のうちの一部を拡大しており、図７に対応している。図１０は、上記した第１比較例のプリンタの問題点を説明するために、図９に対応する断面構成を示している。図１１は、本実施形態のプリンタ１（インクジェットヘッド４）の利点を説明するために、図７に対応する断面構成を示している。

第１比較例のプリンタは、図９に示したように、中間プレート４２を備えていないことを除いて、本実施形態のプリンタ１と同様の構成を有している。この場合には、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とが互いに張り合わされている。

この第１比較例のプリンタでは、インクジェットヘッドの製造工程において、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との貼り合わせ位置がＸ軸方向にずれると、図１０に示したように、チャネルＣからノズル孔Ｈに至るインク９の経路が狭くなりやすくなる。貼り合わせ位置がＸ軸方向にずれると、アクチュエータ４３のうちの駆動壁Ｗｄがノズル孔Ｈの直上に配置されやすいため、そのノズル孔Ｈの幅（最大幅）が実質的に狭くなりやすいからである。この場合には、チャネルＣからノズル孔Ｈに供給されるインク９の供給がアクチュエータプレート４３により阻害されやすくなるため、そのインク９の噴射特性に関する不具合が発生しやすくなる。この不具合とは、例えば、上記したインク９の供給が阻害されることに起因するインク９の噴射方向の偏向などである。よって、優れた噴射特性を得ることが困難である。

このように不具合が発生する傾向は、特に、インク９の液滴の大型化に応じてノズル孔Ｈの内径（ノズル径）を大型化した場合において、その液滴を大型化する前の位置合わせ精度においてノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とを互いに貼り合わせると、より顕著になる。この場合には、ノズル孔Ｈの真上に駆動壁Ｗｄがより配置されやすくなるため、そのノズル孔Ｈの幅が実質的により狭くなりやすいからである。また、この場合には、ノズル孔Ｈの真上に駆動壁Ｗｄが配置されることに起因して、そのノズル孔Ｈの上流においてインク９の供給量が偏りやすくなるため、そのインク９の噴射方向がより偏向しやすくなるからである。

これに対して、本実施形態のプリンタ１（インクジェットヘッド４）では、図７に示したように、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との間に中間プレート４２が配置されており、各スリットＳの幅Ｗ２が各チャネルＣの幅Ｗ１よりも大きくなっている。この場合には、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との貼り合わせ位置がＸ軸方向にずれても、図１１に示したように、チャネルＣからノズル孔Ｈに至るインク９の経路が狭くなりにくくなる。貼り合わせ位置がＸ軸方向にずれても、駆動壁Ｗｄがノズル孔Ｈの直上に配置されにくいため、そのノズル孔Ｈの幅（最大幅）が実質的に狭くなりにくいからである。これにより、チャネルＣからノズル孔Ｈに供給されるインク９の供給がアクチュエータプレート４３により阻害されにくくなるため、上記した噴射特性に関する不具合が発生しにくくなる。よって、優れた噴射特性を得ることができる。この利点は、ノズル径を大型化すると共に従前の位置合わせ精度においてノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とを互いに貼り合わせる場合においても、十分に得られる。

［他の作用および効果］
特に、本実施形態のプリンタ１では、中間プレート４２の各内側端部Ｔ２がアクチュエータプレート４３の各内側端部Ｔ１よりも外側に位置しているため、スリットＳの幅Ｗ２により画定される領域内にチャネルＣが配置されていれば、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との貼り合わせ位置がどちらの方向にずれても、ノズル孔Ｈに対するインク９の供給が阻害されにくくなる。よって、ノズル孔Ｈに対するインク９の供給が安定化するため、より高い効果を得ることができる。

また、中間プレート４２がノズルプレート４１の線膨張率Ｅ２とアクチュエータプレート４３の線膨張率Ｅ３との間の線膨張率Ｅ１を有していれば、熱変形に起因するノズルプレート４１などの剥離が抑制される。よって、インク９の噴射時において偏向などの不具合が発生しにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、ノズルプレート４１が導電性材料を含んでいると共にアクチュエータプレート４３が圧電材料を含んでいるのに対して、中間プレート４２が絶縁性材料を含んでいれば、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３とが中間プレート４２を介して電気的に絶縁される。これにより、ノズルプレート４１の形成材料として高擦過性を有する金属材料などを使用可能になるため、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との短絡が抑制されながら、そのノズルプレート４１が破損（摩耗など）しにくくなる。よって、インク９の噴射特性が安定化するため、より高い効果を得ることができる。

また、中間プレート４２の各内側端部Ｔ３がカバープレート４４の各内側端部Ｔ４，Ｔ５よりも外側に位置しているため、入口側共通インク室４４１ａに対応する領域内の位置から出口側共通インク室４４１ｂに対応する領域内の位置までスリットＳが延在していれば、以下で説明する理由により、より高い効果を得ることができる。

図１２は、第２比較例のプリンタ（インクジェットヘッド）におけるノズルプレート４１、中間プレート１４２、アクチュエータプレート４３およびカバープレート４４のそれぞれの断面構成を拡大して表しており、図８に対応している。

第２比較例のプリンタは、図１２に示したように、中間プレート４２の代わりに中間プレート１４２を備えていることを除いて、本実施形態のプリンタ１（インクジェットヘッド４）と同様の構成を有している。この第２比較例のプリンタでは、中間プレート１４２の各内側端部Ｔ３がカバープレート４４の各内側端部Ｔ４，Ｔ５よりも内側に位置している。

チャネルＣからスリットＳを経由してノズル孔Ｈにインク９が供給される際には、中間プレート４２の内側端部Ｔ３の近傍において気泡Ｈが発生しやすくなる。中間プレート４２の内側端部Ｔ３の近傍では、ノズルプレート４１の上に段差（角部４２Ｎ）が形成されるため、その角部４２Ｎの近傍（角部４２Ｎの陰になる領域）においてインク９が流れにくくなるからである。

中間プレート１４２を備えた第２比較例のプリンタでは、図１２に示したように、各内側端部Ｔ３が各内側端部Ｔ４，Ｔ５よりも内側に位置しているため、角部４２Ｎがノズル孔Ｈに近くなる。この場合には、スリットＳの内部において角部４２Ｎの近傍に気泡Ｈが発生すると、その気泡ＨがスリットＳの内部に滞留しやすくなると共に、ノズル孔Ｈから気泡Ｈが噴射されやすくなる。これにより、ノズル孔Ｈからインク９が噴射される際に、気泡Ｈの噴射に起因したインク９の噴射不良が発生しやすくなるため、そのインク９の噴射動作が不安定になる。

これに対して、中間プレート４２を備えた本実施形態のプリンタ１では、図８に示したように、各内側端部Ｔ３が各内側端部Ｔ４，Ｔ５よりも外側に位置しているため、角部４２Ｎがノズル孔Ｈから遠くなる。この場合には、スリットＳの内部において角部４２Ｎの近傍に気泡Ｈが発生しても、そのスリットＳの内部において入口側共通インク室４４１ａから出口側共通インク室４４１ｂに向かうインク９の流れを利用して、その出口側共通インク室４４２ｂから気泡Ｈが排出されやすくなる。これにより、気泡ＨがスリットＳの内部に気泡Ｈが滞留しにくくなると共に、ノズル孔Ｈから気泡Ｈが噴射されにくくなる。よって、気泡Ｈに起因したインク９の噴射不良が発生しにくくなることにより、そのインク９の噴射動作が安定になるため、噴射特性をより向上させることができる。

なお、上記したプリンタ１に関する作用および効果は、インクジェットヘッド４に関しても同様に得られる。

＜２．変形例＞
上記したプリンタ１（インクジェットヘッド４）の構成に関しては、適宜、変更可能である。なお、以下で説明する一連の変形例に関しては、任意の２種類以上が互いに組み合わされてもよい。

［変形例１］
具体的には、例えば、図８に対応する図１３に示したように、ノズル孔Ｈに近づくにしたがって次第に厚さが減少するように、角部４２Ｎを傾斜させてもよい。

ノズルプレート４１の表面と角部４２Ｎの傾斜面４２ＮＭとにより規定される傾斜角度は、任意に設定可能である。傾斜面４２ＮＭは、例えば、平坦でもよいし、湾曲していてもよいし、途中で１回または２回以上屈曲していてもよい。図１３では、例えば、傾斜面４２ＮＭが平坦である場合を示している。角部４２Ｎの先端の位置は、特に限定されないため、任意に配置可能である。

この場合には、気泡Ｈ（図８参照）の発生要因である角部４２Ｎの陰になる領域が発生しにくくなるため、その気泡Ｈが根本的に発生しにくくなる。よって、インク９の噴射動作がより安定になるため、より高い効果を得ることができる。

［変形例２］
この他、プリンタ１およびインクジェットヘッド４のそれぞれのタイプなどは、任意に変更可能である。また、プリンタ１およびインクジェットヘッド４のそれぞれの一連の構成要素に関する形状、配置および個数などは、任意に変更可能である。

具体的には、例えば、２列のノズル列４１０（４１１，４１２）を有する２列タイプのインクジェットヘッド４に関して説明したが、これに限られず、１列のノズル列を有する１列タイプのインクジェットヘッド４でもよいし、３列以上のノズル列を有する複数列タイプのインクジェットヘッド４でもよい。

また、例えば、ノズル列４２１，４２２のそれぞれがＸ軸方向に延在する場合に関して説明したが、これに限られず、ノズル列４２１，４２２のそれぞれがＸ軸方向に対して傾いた方向に延在してもよいし、それ以外の方向に延在してもよい。なお、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの開口形状が円形である場合に関して説明したが、これに限られず、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの開口形状は、楕円形などの略円形でもよいし、三角形などの多角形でもよいし、それ以外の形状でもよい。

また、例えば、上記した２列のノズル列４１０（４１１，４１２）に対応して、２列のチャネル列４３０（４３１，４３２）に関して説明したが、これに限られない。チャネル列４３０の列数は、ノズル列４１０の列数に応じて、１列でもよいし、３列以上でもよい。

［変形例３］
また、例えば、プリンタ１に各種機構を追加してもよい。具体的には、例えば、図示しないワイピング機構などをプリンタ１に搭載させてもよい。このワイピング機構は、例えば、ノズル孔Ｈが設けられているノズルプレート４１の表面（ノズル面）に付着されたインク９を取り除く機能を有する機構である。

以上、一実施形態を挙げながら本開示に関して説明したが、本開示の態様は上記した一実施形態において説明された態様に限定されず、種々の変形が可能である。

具体的には、例えば、１個のインクジェットヘッドが１色のインクを噴射せずに、その１個のインクジェットヘッドが互いに異なる複数色（例えば、２色など）のインクを噴射してもよい。

また、例えば、インクジェットヘッドは、循環機構を用いたインク循環方式のインクジェットヘッドに限定されず、その循環機構を用いないインク非循環方式のインクジェットヘッドでもよい。

また、例えば、本開示の液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置のそれぞれが適用される用途は、インクジェットプリンタに限定されず、他の用途でよい。他の用途は、例えば、ファクシミリおよびオンデマンド印刷機などの他の装置でもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
第１方向に延在する複数のチャネルを有すると共に、前記複数のチャネルに液体が収容されるアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートに対向配置され、前記複数のチャネルに対応する位置に複数のノズル孔を有すると共に、前記複数のチャネルに収容された前記液体が前記複数のノズル孔から前記第１方向と交差する第２方向に噴射されるノズルプレートと、
前記アクチュエータプレートと前記ノズルプレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記複数のノズル孔のそれぞれに対応する位置に前記第１方向に延在する複数のスリットを有すると共に、前記第１方向および前記第２方向のそれぞれと交差する第３方向における前記複数のスリットのそれぞれの幅が前記第３方向における前記複数のチャネルのそれぞれの幅よりも大きい中間プレートと
を備えた、液体噴射ヘッド。
（２）
前記アクチュエータプレートは、前記第３方向において前記チャネルを画定する２つの第１内側端部を有すると共に、前記中間プレートは、前記第３方向において前記スリットを画定する２つの第２内側端部を有し、
前記２つの第２内側端部のそれぞれは、前記第３方向において前記２つの第１内側端部のそれぞれよりも外側に位置する、
上記した（１）に記載の液体噴射ヘッド。
（３）
前記中間プレートは、前記アクチュエータプレートの線膨張率と前記ノズルプレートの線膨張率との間の線膨張率を有する、
上記した（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（４）
前記アクチュエータプレートおよび前記ノズルプレートのそれぞれは、導電性材料を含み、
前記中間プレートは、絶縁性材料を含む、
上記した（１）ないし請求項（３）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（５）
さらに、
前記アクチュエータプレートに対向配置され、前記第１方向における前記チャネルの一端部に対応する位置に設けられると共に前記チャネルに前記液体が導入される導入口と、前記第１方向における前記チャネルの他端部に対応する位置に設けられると共に前記導入口から前記チャネルに導入された前記液体が排出される排出口とを有するカバープレートを備え、
前記アクチュエータプレートは、前記中間プレートと前記カバープレートとの間に配置され、
前記中間プレートは、前記第１方向において前記スリットを画定する２つの第３内側端部を有し、
前記カバープレートは、前記第１方向において前記導入口を画定する第４内側端部と、前記第１方向において前記排出口を画定する第５内側端部とを有し、
前記２つの第３内側端部のそれぞれは、前記第１方向において前記第４内側端部および前記第５内側端部のそれぞれよりも外側に位置する、
上記した（１）ないし（４）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（６）
上記した（１）ないし（５）のいずれか１項に記載されると共に、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
前記液体を貯蔵する液体貯蔵部と
を備えた、液体噴射記録装置。

１…プリンタ、４…インクジェットヘッド、９…インク、４１…ノズルプレート、４２…中間プレート、４３…アクチュエータプレート、４４…カバープレート、４４１ａ，４４２ａ…入口側共通インク室、４４１ｂ，４４２ｂ…出口側共通インク室、Ｃ…チャネル、Ｈ…ノズル孔、Ｐ…記録紙、Ｓ…スリット、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔ５…内側端部。

Claims (6)

1. 第１方向に延在する複数のチャネルを有すると共に、前記複数のチャネルに液体が収容されるアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに対向配置され、前記複数のチャネルに対応する位置に複数のノズル孔を有すると共に、前記複数のチャネルに収容された前記液体が前記複数のノズル孔から前記第１方向と交差する第２方向に噴射されるノズルプレートと、
   前記アクチュエータプレートと前記ノズルプレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記複数のノズル孔のそれぞれに対応する位置に前記第１方向に延在する複数のスリットを有すると共に、前記第１方向および前記第２方向のそれぞれと交差する第３方向における前記複数のスリットのそれぞれの幅が前記第３方向における前記複数のチャネルのそれぞれの幅よりも大きい中間プレートと
   を備えた、液体噴射ヘッド。
2. 前記アクチュエータプレートは、前記第３方向において前記チャネルを画定する２つの第１内側端部を有すると共に、前記中間プレートは、前記第３方向において前記スリットを画定する２つの第２内側端部を有し、
   前記２つの第２内側端部のそれぞれは、前記第３方向において前記２つの第１内側端部のそれぞれよりも外側に位置する、
   請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記中間プレートは、前記アクチュエータプレートの線膨張率と前記ノズルプレートの線膨張率との間の線膨張率を有する、
   請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記アクチュエータプレートおよび前記ノズルプレートのそれぞれは、導電性材料を含み、
   前記中間プレートは、絶縁性材料を含む、
   請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. さらに、
   前記アクチュエータプレートに対向配置され、前記第１方向における前記チャネルの一端部に対応する位置に設けられると共に前記チャネルに前記液体が導入される導入口と、前記第１方向における前記チャネルの他端部に対応する位置に設けられると共に前記導入口から前記チャネルに導入された前記液体が排出される排出口とを有するカバープレートを備え、
   前記アクチュエータプレートは、前記中間プレートと前記カバープレートとの間に配置され、
   前記中間プレートは、前記第１方向において前記スリットを画定する２つの第３内側端部を有し、
   前記カバープレートは、前記第１方向において前記導入口を画定する第４内側端部と、前記第１方向において前記排出口を画定する第５内側端部とを有し、
   前記２つの第３内側端部のそれぞれは、前記第１方向において前記第４内側端部および前記第５内側端部のそれぞれよりも外側に位置する、
   請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載されると共に、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
   前記液体を貯蔵する液体貯蔵部と
   を備えた、液体噴射記録装置。

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