JP2017065221A - フィルム被覆部品の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制でき、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図る。【解決手段】接合、離反が可能な上チャンバ１及び下チャンバ２と、各チャンバに接続された第１の真空回路３及び空気回路４と、上チャンバ内に装着されたヒータ５と、下チャンバ内に配設されたテーブル６１と、テーブルを昇降させるテーブル駆動装置６２とを備え、所定位置に上昇したテーブル上に載置された基材ＫＫに加熱軟化したフィルム材ＦＦを気圧差により貼着させるフィルム被覆部品Ｗの製造装置１０である。フィルム材の外周部ＦＦ１を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具７１と、フィルムチャック治具を着脱可能に形成された保持金具７２と、保持金具を支持し上下チャンバと気密状に当接可能に形成された環状支持板７３とを備え、テーブルは、所定位置に上昇したときフィルムチャック治具と気密状に当接する。【選択図】図１

Description

本発明は、加熱軟化したフィルム材を気圧差によって基材に貼着させて形成するフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、特許文献１には、加熱軟化したフィルム材を気圧差によって基材に貼着させて形成するフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法が開示されている。その製造装置及び製造方法を、図９〜図１４に示す。図９〜図１４に示すように、上記製造装置には、上下方向で接合、離反が可能とする上チャンバ１０１ａ、下チャンバ１０１ｂと、各チャンバに接続された真空回路及び空気回路１０４と、当該回路に接続された真空タンク１０５、圧空タンク１０６と、上チャンバ１０１ａ内に装着されたヒータ１０７と、下チャンバ１０１ｂ内に昇降可能に配設されたテーブル１０８と、上チャンバ１０１ａを昇降させる上チャンバ駆動装置１０１ｃと、テーブル１０８を昇降させるテーブル駆動装置１０１ｄとを備えている。

また、上記フィルム被覆部品の製造方法は、以下に述べる工程から構成されている。すなわち、図９に示すように、上下に離反した上チャンバ１０１ａ、下チャンバ１０１ｂ内に基材１０２及びフィルム材１０３をセットする（セット工程）。次に、図１０に示すように、上チャンバ１０１ａを下降させ、上下チャンバを接合させて各室内を閉塞状態としたうえで、各室内を大気圧状態から、真空タンク１０５により共に真空状態に吸引する（真空吸引工程）。次に、図１１に示すように、上下チャンバの室内を真空状態に吸引しながらヒータ１０７を点灯させてフィルム材１０３の加熱を行う（フィルム加熱工程）。このとき、加熱軟化されたフィルム材１０３の過剰な垂れ下りを防止するため、気体供給室１０９に貯留した気体を下チャンバ１０１ｂ内へ送り込み、上下チャンバの室内における気圧差を調整する。次に、図１２に示すように、下チャンバ１０１ｂ内のテーブル１０８を下チャンバ１０１ｂの上端フランジに当接する位置まで上昇させる（テーブル上昇工程）。次に、図１３に示すように、上下チャンバの室内が、目標の高真空状態に到達したら、上チャンバ１０１ａ内の真空を開放し大気を入れ、フィルム材１０３の表裏に気圧差を生じさせることによって、フィルム材１０３を基材１０２に押し付けて貼着させる（フィルム貼り込み工程）。このとき、下チャンバ１０１ｂ内の圧力は、高真空状態のままである。なお、フィルム材１０３の基材１０２への密着性を高めるため、圧空タンク１０６を開放して大気圧以上の気体を上チャンバ１０１ａ内へ送り込むこともできる。次に、図１４に示すように、フィルム材１０３の基材１０２への貼着が完了すると、ヒータ１０７を消灯し、下チャンバ１０１ｂ内の真空を開放して大気圧状態に戻して、上チャンバ１０１ａを上昇させ、基材１０２にフィルム材１０３が被覆された製品を取り出す（製品取出し工程）。

特開２００２−６７１３７号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法には、以下の問題があった。
すなわち、上記フィルム被覆部品の製造装置では、図１５に示すように、上下チャンバの大きさに比較して相当程度小さい基材１０２Ｂにフィルム材１０３Ｂを貼着させる場合、フィルム材１０３Ｂの歩留りを良くするため、小さいフィルム材１０３Ｂを把持するフィルムチャック治具１０７、１０８を用いることになる。
しかし、上記製造方法によって基材１０２Ｂにフィルム材１０３Ｂを貼着させるフィルム貼り込み工程において、上下チャンバの室内が、目標の高真空状態に到達したら、上チャンバ１０１ａ内の真空を開放し大気を入れ、フィルム材１０３Ｂの表裏に気圧差を生じさせる（図１３を参照）。そのため、フィルムチャック治具１０７、１０８は、その気圧差に耐えうる強度が必要であり、フィルムチャック治具１０７、１０８の板厚を厚くする対策等をとる必要があった。したがって、小さいフィルム材１０３Ｂを把持するフィルムチャック治具１０７、１０８を用いる場合、フィルムチャック治具１０７、１０８の重量が増加し、取り扱いが不便になると共に、設備費が増加してしまう問題があった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができることを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法は、次のような構成を有している。
（１）上下方向で接合、離反が可能とする上チャンバ及び下チャンバと、各チャンバに接続された第１の真空回路及び空気回路と、前記上チャンバ内又は前記下チャンバ内に装着されたヒータと、前記下チャンバ内に昇降可能に配設されたテーブルと、前記テーブルを昇降させるテーブル駆動装置とを備え、前記テーブル駆動装置によって所定位置に上昇した前記テーブル上に載置された基材の表面に、前記上チャンバと前記下チャンバとの間に把持されて加熱軟化したフィルム材を気圧差により貼着させるフィルム被覆部品の製造装置であって、
前記フィルム材の外周部を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具と、当該フィルムチャック治具を着脱可能に形成された保持部材と、当該保持部材を支持し前記下チャンバの上端部及び前記上チャンバの下端部と気密状に当接可能に形成された環状支持板とを有するフィルムチャック機構を備え、前記テーブルは、所定位置に上昇したとき前記フィルムチャック治具と気密状に当接することを特徴とする。

本発明においては、フィルム材の外周部を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具と、当該フィルムチャック治具を着脱可能に形成された保持部材と、当該保持部材を支持し下チャンバの上端部及び上チャンバの下端部と気密状に当接可能に形成された環状支持板とを有するフィルムチャック機構を備え、テーブルは、所定位置に上昇したときフィルムチャック治具と気密状に当接するので、フィルムチャック治具をフィルム材の外周部と同程度の大きさまで小型化でき、その重量の大幅な軽減を図ることができる。また、保持部材は、フィルムチャック治具を着脱可能に形成されているので、保持部材を支持した環状支持板を下チャンバの上端部に固定した状態で、予めフィルム材を把持し小型軽量化したフィルムチャック治具だけを保持して、上下に離反した上下チャンバの中へ搬送し、保持部材に簡単に装着させることができる。そのため、フィルムチャック治具は、取り扱い上の利便性を大幅に向上させることができると共に、その設備費を大幅に低減させることができる。なお、大きさの異なるフィルムチャック治具だけを用意することによって、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できる。
よって、本発明によれば、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

（２）（１）に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
前記フィルムチャック治具は、前記保持部材に装着した弾性部材を介して前記環状支持板と弾発的に連結されていることを特徴とする。

本発明においては、フィルムチャック治具は、保持部材に装着した弾性部材を介して環状支持板と弾発的に連結されているので、テーブルの上昇位置において、テーブルとフィルムチャック治具とが当接するときの衝撃力やテーブルのオーバーストローク分を、弾性部材を介して緩和又は吸収させることができる。また、テーブルの上昇位置において、弾性部材がフィルムチャック治具をテーブルに押圧することによって、基材にフィルム材を貼着させるときのフィルムチャック治具とテーブルとの気密性を向上させることができる。また、基材にフィルム材を貼着させるときの上下チャンバ内における気圧変動に伴い、フィルムチャック治具に作用する外力は、保持部材に装着された弾性部材を介して吸収され、環状支持板には直接的に作用しない。そのため、フィルムチャック治具及び環状支持板の板厚をそれぞれ相当程度薄くして、フィルムチャック治具及び環状支持板の構造を簡素化させることができる。
その結果、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

（３）（２）に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
前記フィルムチャック治具の外周側には、前記保持部材に係止可能に形成された複数の係止ロッドを備え、当該係止ロッドの長さは、当該係止ロッド近傍の前記フィルム材の幅寸法に反比例させることを特徴とする。

本発明においては、フィルムチャック治具の外周側には、保持部材に係止可能に形成された複数の係止ロッドを備え、当該係止ロッドの長さは、当該係止ロッド近傍のフィルム材の幅寸法に反比例させるので、フィルム材の幅寸法が小さくなり、それに応じてフィルムチャック治具の幅寸法が小さくなると、それと反対に係止ロッドの長さは大きくなる。そのため、異なる幅寸法のフィルムチャック治具に対して係止ロッドの長さを変更するだけで、保持部材の位置をいちいち調整させる手間が省ける。したがって、１つの製造装置（チャンバ）で、大きさの異なる基材にフィルム材を貼着させる場合において、フィルムチャック治具を保持部材に取り付けるときの利便性を向上させるとともに、保持部材及び環状支持板の構造をより一層簡素化させることができる。
その結果、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
前記テーブルには、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とで囲まれて前記フィルム材が前記基材を覆う密閉空間内の空気を吸引させる第２の真空回路を備えたことを特徴とする。

本発明においては、テーブルには、テーブルとフィルムチャック治具とで囲まれてフィルム材が基材を覆う密閉空間内の空気を吸引させる第２の真空回路を備えたので、テーブルを所定位置に上昇させ、テーブルとフィルムチャック治具とを気密状に当接させた後に、第２の真空回路を作動させることによって、密閉空間内の空気を迅速かつ確実に吸引することができる。そのため、基材及びフィルム材の平面サイズが小さくなる程、短時間で基材にフィルム材を貼着させることができる。
その結果、基材へのフィルム材の貼着速度を向上させつつ、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

（５）（４）に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
前記テーブルには、前記基材を所定の隙間を有しながら支持し前記基材と前記テーブルとの間を連通する複数の連通部が形成され、前記第２の真空回路の前記テーブルへの接続口の上方まで延設された仕切り部材を備えたことを特徴とする。

本発明においては、テーブルには、基材を所定の隙間を有しながら支持し基材とテーブルとの間を連通する複数の連通部が形成され、第２の真空回路のテーブルへの接続口の上方まで延設された仕切り部材を備えたので、第２の真空回路を作動させて基材にフィルム材を貼着させる途中で、第２の真空回路の接続口がフィルム材によって塞がれることを仕切り部材によって回避させることができる。そのため、基材とフィルム材との間に気泡やしわ等の貼着不良を生じにくくさせることができる。なお、連通部には、通気孔又は通気溝等が該当する。
その結果、基材へのフィルム材の貼着品質を向上させつつ、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

（６）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載されたフィルム被覆部品の製造装置を用いて製造するフィルム被覆部品の製造方法であって、
前記下チャンバと前記上チャンバとを当接して前記ヒータを点灯し前記フィルム材を加熱軟化させるとともに、前記第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にした上で、前記テーブルを所定位置に上昇させ、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、前記空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させることを特徴とする。

本発明においては、下チャンバと上チャンバとを当接してヒータを点灯しフィルム材を加熱軟化させるとともに、第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にした上で、テーブルを所定位置に上昇させ、テーブルとフィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させるので、大気圧状態に戻された上下チャンバ内の気圧と、所定の真空状態に保持されテーブルとフィルムチャック治具とで囲まれフィルム材が基材を覆う密閉空間内の気圧との気圧差に基づいて、基材にフィルム材を貼着させることができる。また、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態から大気圧状態に略同時に移行させるので、テーブルの上下面で気圧差が生じない。そのため、テーブル駆動装置には、上下チャンバ内の気圧変化による負荷が作用せず、テーブル駆動装置の簡素化を図ることができる。また、従来の製造方法のように、上チャンバ内の大気開放と下チャンバ内の大気開放に時間差がない分、基材へフィルム材を貼着させる時間を短縮させることができる。
その結果、フィルム被覆部品の生産効率を高めつつ、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構及びテーブル駆動装置で設備費の低減を図ることができる。

（７）（４）又は（５）に記載されたフィルム被覆部品の製造装置を用いて製造するフィルム被覆部品の製造方法であって、
前記下チャンバと前記上チャンバとを当接して前記ヒータを点灯し前記フィルム材を加熱軟化させるとともに、前記第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を中程度の真空状態にした上で、前記テーブルを所定位置に上昇させ、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、前記第２の真空回路を作動させ、かつ、前記空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させることを特徴とする。

本発明においては、下チャンバと上チャンバとを当接してヒータを点灯しフィルム材を加熱軟化させるとともに、第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を中程度の真空状態にした上で、テーブルを所定位置に上昇させ、テーブルとフィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、第２の真空回路を作動させ、かつ、空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させるので、基材にフィルム材を貼着させる際、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にさせる以前に大気圧状態に略同時に戻すことができる。そのため、上下チャンバに作用する圧力が減少し、上チャンバ及び下チャンバの壁厚を薄くする等の簡素化を図ることができる。
また、テーブルとフィルムチャック治具とに囲まれてフィルム材が基材を覆う密閉空間は、上下チャンバ内の空間全体に比較して著しく狭いので、第１の真空回路によって上下チャンバ内の空間全体を所定の真空状態に到達させる時間より、第２の真空回路が作動して密閉空間内を中程度の真空状態から所定の真空状態に到達させる時間の方が、遥かに短い。そのため、基材にフィルム材を貼着させる時間を大幅に短縮させることができる。
更に、第２の真空回路が作動して基材側に残留する空気を最後まで吸引できるので、基材とフィルム材との間に生じる気泡やしわ等を抑制し、貼着不良を生じにくくさせることができる。
その結果、フィルム被覆部品におけるフィルム材の貼着品質及び生産効率を高めつつ、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構及び上下チャンバ構造で設備費の低減を図ることができる。

本発明によれば、基材の大小に伴うフィルム材の歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構で設備費の低減を図ることができる。

本発明の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置の第１実施例の模式的断面図である。 図１に示す製造装置におけるフィルムチャック機構の斜視図である。 図２に示すフィルムチャック機構の部分拡大斜視図である。 図１に示す製造装置における工程断面図である。（ａ）は真空吸引工程を表し、（ｂ）はフィルム加熱工程を表し、（ｃ）はテーブル上昇工程を表し、（ｄ）はフィルム貼り込み工程を表す。 本発明の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置の第２実施例の模式的断面図である。 図５に示す製造装置の第２の真空回路作動時における模式的部分断面図である。（ａ）は、真空引き開始時、（ｂ）は真空引き中、（ｃ）は真空引き完了時を表す。 図１に示す製造装置における変形例を表す模式的断面図である。 図７に示す製造装置におけるフィルムチャック機構の平面図である。 特許文献１に記載されたフィルム被覆部品の製造装置の基材及びフィルム材セット時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置の真空吸引時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置のフィルム材加熱時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置のテーブル上昇時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置の上チャンバ大気開放時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置の製品取出し時における模式的断面図である。 図９に示す製造装置において小さいフィルム部材を把持するフィルムチャック治具を用いるときの模式的断面図である。

次に、本発明に係る実施形態であるフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。はじめに、本実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置における第１実施例の全体構造について説明し、その後、本製造装置を用いてフィルム被覆部品を製造する製造方法について説明する。次に、本製造装置の第２実施例とそのフィルム貼り込み工程を説明する。

＜本製造装置における第１実施例の全体構造＞
まず、本実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置における第１実施例の全体構造を、図１〜図３を用いて説明する。図１に、本発明の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置の第１実施例の模式的断面図を示す。図２に、図１に示す製造装置におけるフィルムチャック機構の斜視図を示す。図３に、図２に示すフィルムチャック機構の部分拡大斜視図を示す。

図１〜図３に示すように、本製造装置１０には、上下方向で接合、離反が可能とする上チャンバ１及び下チャンバ２と、各チャンバに接続された第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）及び空気回路４（４Ａ、４Ｂ）と、上チャンバ１内に装着されたヒータ５と、下チャンバ２内に昇降可能に配設されたテーブル６１と、テーブル６１を昇降させるテーブル駆動装置６２とを備えている。また、フィルムチャック機構７として、フィルム材ＦＦの外周部ＦＦ１を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具７１と、当該フィルムチャック治具７１を着脱可能に形成された複数の保持金具（保持部材）７２と、当該保持金具７２を支持し下チャンバ２の上端部２１及び上チャンバ１の下端部１１と気密状に当接可能に形成された環状支持板７３とを備えている。

（上チャンバ）
図1に示すように、上チャンバ１は、下方が開放されたボックス状の成形室であり、その側壁に第１の真空回路３Ａと空気回路４Ａとが接続されている。第１の真空回路３Ａは、開閉バルブ３Ａ１を介して真空ポンプ３Ｃと接続されている。上下チャンバを接合させて閉塞し第１の真空回路３Ａを作動させると、上チャンバ１内の圧力は大気圧状態から所望の真空状態に吸引される。空気回路４Ａは、開閉バルブ４Ａ１を介して外気と連通されている。空気回路４Ａを作動させると、上チャンバ１内の圧力は大気圧状態に戻される。

また、上チャンバ１には、フィルム材ＦＦを加熱軟化させる赤外線ヒータ（ヒータ）５が装着されている。ヒータ５は、天井に沿って複数個配置され、ヒータ５の隙間には、フィルム材ＦＦの温度を計測する放射温度計（図示せず）が配設されている。なお、ヒータ５は、上チャンバ１と下チャンバ２の両方に装着しても、下チャンバ２のみに装着してもよい。また、上チャンバ１の下端部１１には、環状支持板７３と気密状に密着する水平面が形成されている。なお、上チャンバ１には、上チャンバ１を上下方向へ移動させる上チャンバ駆動装置（図示せず）が装着されている。

（下チャンバ）
図１に示すように、下チャンバ２は、上方が開放されたボックス状の成形室であり、その側壁に第１の真空回路３Ｂと空気回路４Ｂとが接続されている。第１の真空回路３Ｂは、開閉バルブ３Ｂ１を介して真空ポンプ３Ｃと接続されている。上下チャンバを接合させて閉塞し第１の真空回路３Ｂを作動させると、下チャンバ２内の圧力は大気圧状態から所望の真空状態に吸引される。空気回路４Ｂは、開閉バルブ４Ｂ１を介して外気と連通されている。空気回路４Ｂを作動させると、上チャンバ１内の圧力は大気圧状態に戻される。また、下チャンバ２の上端部２１は、環状支持板７３を気密状に固定する水平フランジ面が形成されている。

（フィルムチャック機構）
図１〜図３に示すように、フィルムチャック機構７には、１つのフィルムチャック治具７１と２つの保持金具（保持部材）７２と１つの環状支持板７３とを備えている。
フィルムチャック治具７１は、フィルム材ＦＦの平面サイズに合わせてそれぞれ形成する。フィルムチャック治具７１は、矩形状に裁断されたフィルム材ＦＦの外周部ＦＦ１を略同一幅で把持する額縁状の上枠体７１Ａと下枠体７１Ｂとを備えている。上枠体７１Ａ及び下枠体７１Ｂの外縁は、フィルム材ＦＦの外縁と略同一に形成されている。図２、図３に示すように、上枠体７１Ａ及び下枠体７１Ｂの長辺側の左右外縁には、両者を上下方向に締付ける蝶ネジ部（締結部）７１２が複数個形成されている。上枠体７１Ａの短辺側の左右外縁には、略Ｕ字状の取手部７１３が形成されている。上枠体７１Ａの長辺側の前端部及び後端部には、短辺と平行に外方へ延出された係止ロッド７１１が複数個（ここでは、４個）形成されている。係止ロッド７１１は、先端側に鍔部７１１Ｔが形成された棒状体である。係止ロッド７１１の長さは、フィルム材ＦＦの短辺サイズに反比例して形成されている。したがって、フィルム材ＦＦの短辺サイズが小さくなり、それに応じてフィルムチャック治具７１の短辺サイズが小さくなると、それと反対に係止ロッド７１１の長さは大きくなる。

２つの保持金具７２は、フィルムチャック治具７１の長辺側の左右外縁から、それぞれ略平行に外方へ離間して配置されている。各保持金具７２には、コの字断面に形成された長尺状のチャンネル部材７２１と、フィルムチャック治具７１の係止ロッド７１１に対応する位置に形成されチャンネル部材７２１の両側壁に上下方向へ回動可能に軸支された２つの係合爪７２２と、チャンネル部材７２１の長手方向における前端部及び後端部に装着された弾性部材７４とを備えている。２つの係合爪７２２は、垂直状に起立したとき、フィルムチャック治具７１の係止ロッド７１１をチャンネル部材７２１の両側壁上端に押圧して係止する。係止ロッド７１１の鍔部７１１Ｔは、外側の係合爪７２２の横方向への外れ防止機能を有している。弾性部材７４は、ばね部材７４１と、ばね部材７４１を上下方向に圧縮させる押えボルト７４２とを備えている。押えボルト７４２は、ばね部材７４１を所定量圧縮させつつ、チャンネル部材７２１の底壁を貫通して、環状支持板７３に螺子着されている。チャンネル部材７２１は、ばね部材７４１の圧縮力によって環状支持板７３に押圧されている。その結果、保持金具７２に係止されたフィルムチャック治具７１は、弾性部材７４を介して環状支持板７３と弾発的に連結されている。

環状支持板７３は、保持金具７２を介してフィルムチャック治具７１を支持する内周側の第１環状支持板７３１と、下チャンバ２の上端部２１及び上チャンバ１の下端部１１と気密状に当接する外周側の第２環状支持板７３２とに分割されている。第１環状支持板７３１と第２環状支持板７３２との分割位置は、上チャンバ１の下端部１１の内壁面と略一致している。第１環状支持板７３１の外周縁は、第２環状支持板７３２の内周縁に形成された段差部に上下方向で嵌合され、第１環状支持板７３１の外周縁に形成された複数の締結孔７３１１に挿通する締結ボルトによって第２環状支持板７３２と連結されている。第１環状支持板７３１と第２環状支持板７３２との連結部には、シール部材７３３が嵌装されている。第１環状支持板７３１と第２環状支持板７３２とが連結された状態では、第１環状支持板７３１及び第２環状支持板７３２の上端面は同一面を形成している。

第１環状支持板７３１には、フィルムチャック治具７１が挿入される矩形状の開口部７３４が形成されている。その開口部７３４における四隅近傍で短辺側には、保持金具７２が弾性部材７４を介して弾発的に連結されている。なお、第１環状支持板７３１の開口部７３４周縁には、開口部７３４に沿って補強部材７３５を接合させてもよい（図２を参照）。第２環状支持板７３２は、第１環状支持板７３１との分割位置の外周側で、下チャンバ２の上端部２１及び上チャンバ１の下端部１１と気密状に当接するように形成されている。第２環状支持板７３２は、外周縁に形成された複数の締結孔７３２１に挿通する締結ボルトによって下チャンバ２の上端部２１と連結されている。

（テーブル、テーブル駆動装置）
図１に示すように、テーブル６１には、その中央上端に基材ＫＫを載置する基材台６４が形成されている。また、テーブル６１の中央下端には、テーブル駆動装置６２が連結されている。テーブル駆動装置６２は、例えば、油圧シリンダを使用することができ、シリンダロッドの上昇位置にてテーブル６１とフィルムチャック治具７１の下枠体７１Ｂとが当接する。また、テーブル６１には、フィルムチャック治具７１の下枠体７１Ｂと当接する位置にシール部材６３が装着されている。シール部材６３は、弾性部材７４の弾発力によって変形し、テーブル６１とフィルムチャック治具７１との気密性を確保する。なお、シール部材６３は、フィルムチャック治具７１の下枠体７１Ｂに装着してもよい。

＜第１実施例におけるフィルム被覆部品の製造方法＞
次に、第１実施例における本製造装置を用いてフィルム被覆部品を製造する製造方法について、図４を用いて説明する。図４に、図１に示す製造装置における工程断面図を示す。ここで、図４（ａ）は真空吸引工程を表し、図４（ｂ）はフィルム加熱工程を表し、図４（ｃ）はテーブル上昇工程を表し、図４（ｄ）はフィルム貼り込み工程を表す。

図４に示すように、本製造装置１０を用いてフィルム被覆部品を製造する製造方法では、真空吸引工程（図４（ａ））とフィルム加熱工程（図４（ｂ））とテーブル上昇工程（図４（ｃ））とフィルム貼り込み工程（図４（ｄ））とが、順番に行われる。フィルム被覆部品Ｗは、基材ＫＫの表面にフィルム材ＦＦを貼着させた部品である。なお、基材ＫＫは、例えば、車両用樹脂部品の基材であって、ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ＡＢＳ樹脂などの樹脂製で、予め所定の形状に射出成形されている。フィルム材ＦＦは、例えば、木目模様等が印刷されたシート状の加飾用フィルム材であって、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂などの樹脂製である。フィルム材ＦＦの下面には、粘着剤が均一に塗布されている。

まず、図４（ａ）に示すように、真空吸引工程において、予めフィルムチャック機構７によって把持したフィルム材ＦＦを上チャンバ１と下チャンバ２との間にセットし、上チャンバ１と下チャンバ２とを閉塞した状態で、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態に到達するまで、上チャンバ１の第１の真空回路３Ａと下チャンバ２の第１の真空回路３Ｂとを作動させる。各第１の真空回路３Ａ、３Ｂは、それぞれの開閉バルブ３Ａ１、３Ｂ１を開いて作動させる。所定の真空状態は、基材ＫＫの大きさやフィルム材ＦＦの種類等によって異なるが、例えば、５０〜１５０Ｐａ程度である。このとき、上チャンバ１の空気回路４Ａ及び下チャンバ２の空気回路４Ｂは、それぞれの開閉バルブ４Ａ１、４Ｂ１が閉じられている。また、基材ＫＫを搭載したテーブル６１は、基材ＫＫとフィルム材ＦＦとが離間した下降位置に待機している。

次に、図４（ｂ）に示すように、フィルム加熱工程において、上チャンバ１に装着した赤外線ヒータ（ヒータ）５を点灯して、フィルム材ＦＦを基材ＫＫに貼着させるために好都合の所定の温度に加熱軟化させる。なお、上チャンバ１の第１の真空回路３Ａと下チャンバ２の第１の真空回路３Ｂとを作動させた状態で、フィルム材ＦＦを加熱軟化させる。

次に、図４（ｃ）に示すように、テーブル上昇工程において、フィルム材ＦＦを基材ＫＫに貼着させるために好都合の所定の温度に加熱軟化されたことを放射温度計等によって確認するとともに、上下チャンバ内の気圧が所定の真空状態に到達したことを確認した後に、テーブル駆動装置６２を作動させてテーブル６１を所定位置に上昇させ、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とを気密状に当接させる。このとき、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とで囲まれフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間Ｑは、所定の真空状態に保持されている。また、ヒータ５を消灯するとともに、各第１の真空回路３Ａ、３Ｂは、それぞれの開閉バルブ３Ａ１、３Ｂ１を閉じて停止させる。

次に、図４（ｄ）に示すように、フィルム貼り込み工程において、上チャンバ１の空気回路４Ａと下チャンバ２の空気回路４Ｂとを作動させ、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態から大気圧状態に戻させる。このとき、大気圧状態に戻された上下チャンバ内の気圧と、所定の真空状態に保持されテーブル６１とフィルムチャック治具７１とで囲まれフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間Ｑ内の気圧との気圧差に基づいて、加熱軟化されたフィルム材ＦＦが基材ＫＫの表面に貼着される。なお、フィルム材ＦＦが基材ＫＫの表面に貼着された後、上チャンバ１を上昇させて不要なフィルム材ＦＦを切断し、フィルム被覆部品Ｗを下チャンバ内から取り出すことができる。

＜本製造装置における第２実施例の全体構造＞
次に、本実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置における第２実施例の全体構造を、図５を用いて説明する。図５に、本発明の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造装置の第２実施例の模式的断面図を示す。

図５に示すように、本製造装置１０Ｂには、上下方向で接合、離反が可能とする上チャンバ１及び下チャンバ２と、各チャンバに接続された第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）及び空気回路４（４Ａ、４Ｂ）と、上チャンバ１内に装着されたヒータ５と、下チャンバ２内に昇降可能に配設されたテーブル６１と、テーブル６１を昇降させるテーブル駆動装置６２とを備えている。また、フィルムチャック機構７として、フィルム材ＦＦの外周部ＦＦ１を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具７１と、当該フィルムチャック治具７１を着脱可能に形成された複数の保持金具（保持部材）７２と、当該保持金具７２を支持し下チャンバ２の上端部２１及び上チャンバ１の下端部１１と気密状に当接可能に形成された環状支持板７３とを備えている。上記各構成は、前述した第１実施例と同様であるので、同一の符号を付して、その説明は、特に必要な場合を除き割愛する。

第２実施例の本製造装置１０Ｂは、第１実施例の製造装置１０と、以下の構成において相違する。すなわち、第２実施例の場合、テーブル６１には、フィルムチャック治具７１と当接する位置より基材側に接続され、フィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間内の空気を吸引させる第２の真空回路３Ｄ（３）を備えている。第２の真空回路３Ｄ（３）は、開閉バルブ３Ｄ１を介して真空ポンプ３Ｃと接続されている。

また、テーブル６１には、基材ＫＫを所定の隙間を有しながら支持し基材ＫＫとテーブル６１との間を連通する複数の連通部（通気孔８３、通気溝８４）が形成され、第２の真空回路３Ｄのテーブル６１への接続口３Ｄ２の上方まで延設された仕切り部材８を備えている。仕切り部材８には、基材ＫＫを載置する基材台８１と、基材台８１を支持する仕切り板８２と、仕切り板８２とテーブル６１との間に所定の隙間を形成する脚部８５とを備えている。また、仕切り板８２には、複数の通気孔８３が垂直状に形成されている。基材台８１の下面には、複数の通気溝８４が水平状に形成されている。通気孔８３と通気溝８４は、適宜交差して互いに連通するように形成されている。

＜第２実施例におけるフィルム貼り込み工程＞
次に、第２実施例におけるフィルム貼り込み工程について、図６を用いて説明する。図６に、図５に示す製造装置の第２の真空回路作動時における模式的部分断面図を示す。図６（ａ）は、真空引き開始時、図６（ｂ）は真空引き中、図６（ｃ）は真空引き完了時を表す。

第２実施例における本製造装置１０Ｂを用いてフィルム被覆部品を製造する製造方法についても、第１実施例と同様に、図４（ａ）に示す真空吸引工程と、図４（ｂ）に示すフィルム加熱工程と、図４（ｃ）に示すテーブル上昇工程と、図４（ｄ）に示すフィルム貼り込み工程とを備えている。ただし、第２実施例の工程は、第１実施例の工程と以下の内容が相違する。

すなわち、下チャンバ２と上チャンバ１とを当接してヒータ５を点灯しフィルム材ＦＦを加熱軟化させるとともに、第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）を作動させ上下チャンバ内の気圧を中程度の真空状態にした上で、テーブル６１を所定位置に上昇させ、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とが気密状に当接した後に、第２の真空回路３Ｄ（３）を作動させ、かつ、空気回路４（４Ａ、４Ｂ）を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させる。ここで、中程度の真空状態は、基材ＫＫの大きさやフィルム材ＦＦの種類等によって異なるが、例えば、１００００Ｐａ程度である。

具体的には、図６（ａ）に示すように、第２の真空回路３Ｄの真空引き開始時には、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とが気密状に当接してフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う空間Ｑ１と仕切り板８２とテーブル６１との隙間に形成される空間Ｑ２とは、複数の連通部（通気孔８３、通気溝８４）によって連通された密閉空間Ｑが形成される。この密閉空間Ｑの気圧は、中程度の真空状態である。

しかし、この密閉空間Ｑは、上下チャンバ内の空間全体に比較して著しく狭いので、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、第２の真空回路３Ｄを作動させて密閉空間Ｑ内の気圧を中程度の真空状態から所定の真空状態に短時間で到達させることができる。そのため、所定の真空状態に到達した密閉空間Ｑ内の気圧と大気圧状態に戻された上下チャンバ内の気圧との気圧差に基づいて、加熱軟化されたフィルム材ＦＦが基材ＫＫの表面に貼着される。

ここで、テーブル６１には、基材ＫＫを所定の隙間を有しながら支持し基材ＫＫとテーブル６１との間を連通する複数の連通部（通気孔８３、通気溝８４）が形成され、第２の真空回路３Ｄの接続口３Ｄ２の上方まで延設された仕切り部材８を備えている。そのため、第２の真空回路３Ｄは、仕切り部材８の連通部（通気孔８３、通気溝８４）を通して密閉空間Ｑ内の空気を最後まで吸引でき、第２の真空回路３Ｄのテーブル６１への接続口３Ｄ２が、その作動中にフィルム材ＦＦによって塞がれる等の不具合は生じない。

＜作用効果＞
以上、詳細に説明したように、本実施形態に係るフィルム被覆部品Ｗの製造装置１０、１０Ｂによれば、フィルム材ＦＦの外周部ＦＦ１を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具７１と、当該フィルムチャック治具７１を着脱可能に形成された保持金具（保持部材）７２と、当該保持金具７２を支持し下チャンバ２の上端部２１及び上チャンバ１の下端部１１と気密状に当接可能に形成された環状支持板７３とを有するフィルムチャック機構７を備え、テーブル６１は、所定位置に上昇したときフィルムチャック治具７１と気密状に当接するので、フィルムチャック治具７１をフィルム材ＦＦの外周部ＦＦ１と同程度の大きさまで小型化でき、その重量の大幅な軽減を図ることができる。また、保持金具７２は、フィルムチャック治具７１を着脱可能に形成されているので、保持金具７２を支持した環状支持板７３を下チャンバ２の上端部２１に固定した状態で、予めフィルム材ＦＦを把持し小型軽量化したフィルムチャック治具７１だけを保持して、上下に離反した上下チャンバの中へ搬送し、保持金具７２に簡単に装着させることができる。そのため、フィルムチャック治具７１は、取り扱い上の利便性を大幅に向上させることができると共に、その設備費を大幅に低減させることができる。なお、大きさの異なるフィルムチャック治具７１だけを用意することによって、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できる。
よって、本実施形態によれば、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構７で設備費の低減を図ることができる。

また、本実施形態によれば、フィルムチャック治具７１は、保持金具（保持部材）７２に装着した弾性部材７４を介して環状支持板７３と弾発的に連結されているので、テーブル６１の上昇位置において、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とが当接するときの衝撃力やテーブル６１のオーバーストローク分を、弾性部材７４を介して緩和又は吸収させることができる。また、テーブル６１の上昇位置において、弾性部材７４がフィルムチャック治具７１をテーブル６１に押圧することによって、基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させるときのフィルムチャック治具７１とテーブル６１との気密性を向上させることができる。また、基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させるときの上下チャンバ内における気圧変動に伴い、フィルムチャック治具７１に作用する外力は、保持金具７２に装着された弾性部材７４を介して吸収され、環状支持板７３には直接的に作用しない。そのため、フィルムチャック治具７１及び環状支持板７３の板厚をそれぞれ相当程度薄くして、フィルムチャック治具７１及び環状支持板７３の構造を簡素化させることができる。
その結果、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構７で設備費の低減を図ることができる。

また、本実施形態によれば、フィルムチャック治具７１の外周側には、保持金具（保持部材）７２に係止可能に形成された複数の係止ロッド７１１を備え、当該係止ロッド７１１の長さは、当該係止ロッド７１１近傍のフィルム材ＦＦの幅寸法に反比例させるので、フィルム材ＦＦの幅寸法が小さくなり、それに応じてフィルムチャック治具７１の幅寸法が小さくなると、それと反対に係止ロッド７１１の長さは大きくなる。そのため、異なる幅寸法のフィルムチャック治具７１に対して係止ロッド７１１の長さを変更するだけで、保持金具７２の位置をいちいち調整させる手間が省ける。したがって、１つの製造装置（チャンバ）で、大きさの異なる基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させる場合において、フィルムチャック治具７１を保持金具７２に取り付けるときの利便性を向上させるとともに、保持金具７２及び環状支持板７３の構造をより一層簡素化させることができる。
その結果、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構７で設備費の低減を図ることができる。

また、本実施形態によれば、テーブル６１には、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とで囲まれフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間Ｑ内の空気を吸引させる第２の真空回路３Ｄを備えたので、テーブル６１を所定位置に上昇させ、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とを気密状に当接させた後に、第２の真空回路３Ｄを作動させることによって、密閉空間Ｑ内の空気を迅速かつ確実に吸引することができる。そのため、基材ＫＫ及びフィルム材ＦＦの平面サイズが小さくなる程、短時間で基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させることができる。
その結果、基材ＫＫへのフィルム材ＦＦの貼着速度を向上させつつ、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構７で設備費の低減を図ることができる。

また、本実施形態によれば、テーブル６１には、基材ＫＫを所定の隙間を有しながら支持し基材ＫＫとテーブル６１との間を連通する複数の連通部８３、８４が形成され、第２の真空回路３Ｄのテーブル６１への接続口３Ｄ２の上方まで延設された仕切り部材８を備えたので、第２の真空回路３Ｄを作動させて基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させる途中で、第２の真空回路３Ｄの接続口３Ｄ２がフィルム材ＦＦによって塞がれることを仕切り部材８によって回避させることができる。そのため、基材ＫＫとフィルム材ＦＦとの間に気泡やしわ等の貼着不良を生じにくくさせることができる。なお、連通部には、通気孔８３又は通気溝８４が該当する。
その結果、基材ＫＫへのフィルム材ＦＦの貼着品質を向上させつつ、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、簡単なフィルムチャック機構７で設備費の低減を図ることができる。

また、他の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造方法によれば、下チャンバ２と上チャンバ１とを当接してヒータ５を点灯しフィルム材ＦＦを加熱軟化させるとともに、第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）を作動させ上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にした上で、テーブル６１を所定位置に上昇させ、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とが気密状に当接した後に、空気回路４（４Ａ、４Ｂ）を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させるので、大気圧状態に戻された上下チャンバ内の気圧と、所定の真空状態に保持されテーブル６１とフィルムチャック治具７１とで囲まれフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間Ｑ内の気圧との気圧差に基づいて、基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させることができる。また、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態から大気圧状態に略同時に移行させるので、テーブル６１の上下面で気圧差が生じない。そのため、テーブル駆動装置６２には、上下チャンバ内の気圧変化による負荷が作用せず、テーブル駆動装置６２の簡素化を図ることができる。また、従来の製造方法のように、上チャンバ１内の大気開放と下チャンバ２内の大気開放に時間差がない分、基材ＫＫへフィルム材ＦＦを貼着させる時間を短縮させることができる。
その結果、フィルム被覆部品Ｗの生産効率を高めつつ、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構７及びテーブル駆動装置６２で設備費の低減を図ることができる。

また、更に他の実施形態に係るフィルム被覆部品の製造方法によれば、下チャンバ２と上チャンバ１とを当接してヒータ５を点灯しフィルム材ＦＦを加熱軟化させるとともに、第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）を作動させ上下チャンバ内の気圧を中程度の真空状態にした上で、テーブル６１を所定位置に上昇させ、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とが気密状に当接した後に、第２の真空回路３Ｄを作動させ、かつ、空気回路４（４Ａ、４Ｂ）を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させるので、基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させる際、上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にさせる以前に大気圧状態に略同時に戻すことができる。そのため、上下チャンバに作用する圧力が減少し、上チャンバ１及び下チャンバ２の壁厚を薄くする等の簡素化を図ることができる。
また、テーブル６１とフィルムチャック治具７１とに囲まれてフィルム材ＦＦが基材ＫＫを覆う密閉空間Ｑは、上下チャンバ内の空間全体に比較して著しく狭いので、第１の真空回路３（３Ａ、３Ｂ）によって上下チャンバ内の空間全体を所定の真空状態に到達させる時間より、第２の真空回路３Ｄが作動して密閉空間Ｑ内を中程度の真空状態から所定の真空状態に到達させる時間の方が、遥かに短い。そのため、基材ＫＫにフィルム材ＦＦを貼着させる時間を大幅に短縮させることができる。
更に、第２の真空回路３Ｄが作動して基材側に残留する空気を最後まで吸引できるので、基材ＫＫとフィルム材ＦＦとの間に生じる気泡やしわ等を抑制し、貼着不良を生じにくくさせることができる。
その結果、フィルム被覆部品Ｗにおけるフィルム材ＦＦの貼着品質及び生産効率を高めつつ、基材ＫＫの大小に伴うフィルム材ＦＦの歩留り低下を抑制できると共に、より一層簡単なフィルムチャック機構７及び上下チャンバ構造で設備費の低減を図ることができる。

なお、本実施形態は、本発明の要旨を変更しない範囲で変更することが可能なことは言うまでもない。例えば、本実施形態では、フィルムチャック治具７１の外周側には、保持金具７２に係止可能に形成された複数の係止ロッド７１１を備え、当該係止ロッド７１１の長さは、当該係止ロッド７１１近傍のフィルム材ＦＦの幅寸法に反比例させるように形成されているが、必ずしもこれに限らない。
例えば、係止ロッドを廃止して、フィルムチャック治具を直接保持金具に締結してもよい。この場合、保持金具の環状支持部材への取付位置を変更することによって、異なる大きさのフィルムチャック治具に対応できる。
また、例えば、図７、図８に示すように、フィルムチャック機構９として、フィルムチャック治具９１と環状支持板９３とを弾発的に伸縮可能な保持部材９２を介して連結してもよい。また、長さの異なる保持部材９２を複数種類用意して、フィルムチャック治具９１の大きさに応じて付け替えてもよい。

本発明は、加熱軟化したフィルム材を気圧差によって基材に貼着させて形成するフィルム被覆部品の製造装置及び製造方法として利用できる。

１ 上チャンバ
２ 下チャンバ
１、２ 上下チャンバ
３、３Ａ、３Ｂ 第１の真空回路
３、３Ｄ 第２の真空回路
３Ｄ２ 接続口
４、４Ａ、４Ｂ 空気回路
５ 遠赤外線ヒータ（ヒータ）
７ フィルムチャック機構
８ 仕切り部材
９ フィルムチャック機構
１０、１０Ｂ 製造装置
１１ 下端部
２１ 上端部
６１ テーブル
６２ テーブル駆動装置
７１、９１ フィルムチャック治具
７２、９２ 保持金具（保持部材）
７３、９３ 環状支持板
７４ 弾性部材
８３、８４ 連通部
７１１ 係止ロッド
ＦＦ フィルム材
ＦＦ１ 外周部
ＫＫ 基材
Ｑ 密閉空間
Ｗ フィルム被覆部品

Claims (7)

1. 上下方向で接合、離反が可能とする上チャンバ及び下チャンバと、各チャンバに接続された第１の真空回路及び空気回路と、前記上チャンバ内又は前記下チャンバ内に装着されたヒータと、前記下チャンバ内に昇降可能に配設されたテーブルと、前記テーブルを昇降させるテーブル駆動装置とを備え、前記テーブル駆動装置によって所定位置に上昇した前記テーブル上に載置された基材の表面に、前記上チャンバと前記下チャンバとの間に把持されて加熱軟化したフィルム材を気圧差により貼着させるフィルム被覆部品の製造装置であって、
   前記フィルム材の外周部を把持可能に形成された額縁状のフィルムチャック治具と、当該フィルムチャック治具を着脱可能に形成された保持部材と、当該保持部材を支持し前記下チャンバの上端部及び前記上チャンバの下端部と気密状に当接可能に形成された環状支持板とを有するフィルムチャック機構を備え、前記テーブルは、所定位置に上昇したとき前記フィルムチャック治具と気密状に当接することを特徴とするフィルム被覆部品の製造装置。
2. 請求項１に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
   前記フィルムチャック治具は、前記保持部材に装着した弾性部材を介して前記環状支持板と弾発的に連結されていることを特徴とするフィルム被覆部品の製造装置。
3. 請求項２に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
   前記フィルムチャック治具の外周側には、前記保持部材に係止可能に形成された複数の係止ロッドを備え、当該係止ロッドの長さは、当該係止ロッド近傍の前記フィルム材の幅寸法に反比例させることを特徴とするフィルム被覆部品の製造装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
   前記テーブルには、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とで囲まれて前記フィルム材が前記基材を覆う密閉空間内の空気を吸引させる第２の真空回路を備えたことを特徴とするフィルム被覆部品の製造装置。
5. 請求項４に記載されたフィルム被覆部品の製造装置において、
   前記テーブルには、前記基材を所定の隙間を有しながら支持し前記基材と前記テーブルとの間を連通する複数の連通部が形成され、前記第２の真空回路の前記テーブルへの接続口の上方まで延設された仕切り部材を備えたことを特徴とするフィルム被覆部品の製造装置。
6. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載されたフィルム被覆部品の製造装置を用いて製造するフィルム被覆部品の製造方法であって、
   前記下チャンバと前記上チャンバとを当接して前記ヒータを点灯し前記フィルム材を加熱軟化させるとともに、前記第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を所定の真空状態にした上で、前記テーブルを所定位置に上昇させ、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、前記空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させることを特徴とするフィルム被覆部品の製造方法。
7. 請求項４又は請求項５に記載されたフィルム被覆部品の製造装置を用いて製造するフィルム被覆部品の製造方法であって、
   前記下チャンバと前記上チャンバとを当接して前記ヒータを点灯し前記フィルム材を加熱軟化させるとともに、前記第１の真空回路を作動させ上下チャンバ内の気圧を中程度の真空状態にした上で、前記テーブルを所定位置に上昇させ、前記テーブルと前記フィルムチャック治具とが気密状に当接した後に、前記第２の真空回路を作動させ、かつ、前記空気回路を開放して上下チャンバ内の気圧を大気圧状態に移行させることを特徴とするフィルム被覆部品の製造方法。
   

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