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JP2016125841A - Coaxial probe - Google Patents

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JP2016125841A
JP2016125841A JP2014264559A JP2014264559A JP2016125841A JP 2016125841 A JP2016125841 A JP 2016125841A JP 2014264559 A JP2014264559 A JP 2014264559A JP 2014264559 A JP2014264559 A JP 2014264559A JP 2016125841 A JP2016125841 A JP 2016125841A
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亮 古山
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亮 古山
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Hirose Electric Co Ltd
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Hirose Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the following problem that: though a conventional inspection coaxial prove is fixed to a measuring instrument via a floating unit having a floating structure reciprocable in a radial direction, the floating unit has the inspection coaxial probe inclined due to a weight or the like of the coaxial cable, and a deviation of a center axis cannot be corrected properly when connected to a partner side coaxial receptacle.SOLUTION: A coaxial probe includes a fixed outer conductor and a movable outer conductor stored in a reciprocable state in an axial direction of the fixed outer conductor. The movable outer conductor is configured to reciprocate the movable outer conductor itself also in the radial direction. The rear end part of the movable outer conductor is formed of a plurality of contact pieces. The plurality of contact pieces make an electrical connection stable by being pressed and brought into contact with an inner wall of the fixed outer conductor by respective elastic forces (stresses) so that sufficient ground characteristics can be obtained even when the contact pieces are reciprocated in the radial direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、携帯通信機器の電気的特性の測定・検査等を行う検査用プローブに使用される同軸プローブに関する。具体的には、同軸プローブの先端側の外部導体及び該外部導体内の中心導体を径方向に揺動可能にし、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に、互いの中心軸のずれを補正し、スムーズに接続することができる同軸プローブに関する。   The present invention relates to a coaxial probe used for an inspection probe that performs measurement / inspection of electrical characteristics of a portable communication device. Specifically, the outer conductor on the distal end side of the coaxial probe and the central conductor in the outer conductor can be oscillated in the radial direction to correct the misalignment of the central axes when connecting to the coaxial receptacle on the other side. And a coaxial probe that can be connected smoothly.

携帯電話、スマートフォンのような携帯通信機器等の電子機器には、アンテナ特性や高周波特性等の電気的特性を測定するために使用する検査用の小さな同軸レセプタクルが備えられており、当該同軸レセプタクルに検査用同軸プローブを接続することで、電子機器の電気的特性を測定することができる。検査用同軸プローブを差し込まれた同軸レセプタクルは、電子機器内を流れる電気信号の出力先を、検査用同軸プローブの中心端子に出力されるように切換えることができ、検査用同軸プローブに接続された計測機器によって電子機器における高周波回路の高周波特性等の電気的特性を測定することができる。   Electronic devices such as mobile communication devices such as mobile phones and smartphones are equipped with small coaxial receptacles for inspection used for measuring electrical characteristics such as antenna characteristics and high frequency characteristics. By connecting a coaxial probe for inspection, the electrical characteristics of the electronic device can be measured. The coaxial receptacle into which the inspection coaxial probe is inserted can be switched so that the output destination of the electrical signal flowing in the electronic device is output to the center terminal of the inspection coaxial probe, and is connected to the inspection coaxial probe. Electrical characteristics such as high-frequency characteristics of a high-frequency circuit in an electronic device can be measured by a measuring device.

このような電気的特性の測定は、検査用同軸プローブが取り付けられた検査装置を用いて、自動検査ラインによって順次運ばれてくる検査対象である電子機器に対して、自動的に行われている。自動検査ラインで用いられる検査用同軸プローブの従来例の1つとして、特開2003‐123910号公報(特許文献1)には、相手側レセプタクルとの嵌合部側の外部導体のハウジング内にばね部材を用いて摺動可能に構成された外部導体プランジャと、該外部導体プランジャ内に中心導体とを備えるコンタクトプローブが開示されている。   Such measurement of electrical characteristics is automatically performed on an electronic device to be inspected that is sequentially carried by an automatic inspection line using an inspection apparatus to which a coaxial probe for inspection is attached. . As one example of a conventional coaxial probe for inspection used in an automatic inspection line, Japanese Patent Laying-Open No. 2003-123910 (Patent Document 1) discloses a spring in a housing of an external conductor on a fitting portion side with a mating receptacle. A contact probe including an outer conductor plunger configured to be slidable using a member and a center conductor in the outer conductor plunger is disclosed.

上記従来例のコンタクトプローブ(検査用同軸プローブ)は、相手側レセプタクルとの嵌合時に、外部導体のハウジング内の外部導体プランジャを摺動させて、中心導体の先端部を露出することで、露出した中心導体の先端部を相手側レセプタクルの中心端子に電気的に接触させることができる。   The conventional contact probe (coaxial probe for inspection) is exposed by sliding the outer conductor plunger in the housing of the outer conductor to expose the tip of the center conductor when mating with the mating receptacle. The tip of the center conductor thus made can be brought into electrical contact with the center terminal of the mating receptacle.

このような検査用同軸プローブは、同軸レセプタクルとの嵌合時に、外部導体のハウジング内を摺動した外部導体プランジャの後端面を、当該ハウジング内に設けられた段付部に当接させることで、安定したグランド特性を確保することができる。一般に、検査用同軸プローブのグランド特性を安定させるために、外部導体プランジャの後端面と外部導体のハウジング内の段付部とを常に当接させた状態(以下、「トップタッチ」ともいう。)にする必要がある。そのため、検査用同軸プローブに加え続ける荷重を管理する(以下、「荷重管理」ともいう。)ことで、外部導体プランジャの後端面と外部導体のハウジング内の段付部との当接を保つようにしている。   In such a coaxial probe for inspection, the rear end surface of the outer conductor plunger that has slid inside the housing of the outer conductor is brought into contact with a stepped portion provided in the housing when the coaxial probe is fitted. Stable ground characteristics can be ensured. In general, in order to stabilize the ground characteristics of the coaxial probe for inspection, the rear end surface of the outer conductor plunger is always in contact with the stepped portion in the housing of the outer conductor (hereinafter also referred to as “top touch”). It is necessary to. Therefore, by managing the load that continues to be applied to the coaxial probe for inspection (hereinafter also referred to as “load management”), the rear end surface of the outer conductor plunger and the stepped portion in the housing of the outer conductor are kept in contact with each other. I have to.

また、検査用同軸プローブは、従来、径方向に揺動可能なフローティング機構を設けた治具(以下、「フローティングユニット」ともいう。)を介して検査装置に固定される。フローティングユニットは、検査用同軸プローブと相手側の同軸レセプタクルとの中心軸のずれを補正して、検査用同軸プローブをスムーズかつ適切に相手側の同軸レセプタクルに接続することができ、自動検査ラインにおける測定作業性を向上させることができる。   The inspection coaxial probe is conventionally fixed to the inspection apparatus via a jig (hereinafter also referred to as “floating unit”) provided with a floating mechanism that can swing in the radial direction. The floating unit corrects the deviation of the central axis between the inspection coaxial probe and the counterpart coaxial receptacle so that the inspection coaxial probe can be smoothly and properly connected to the counterpart coaxial receptacle. Measurement workability can be improved.

特開平2003−123910号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-123910

検査用同軸プローブは、その外部導体プランジャが相手側の同軸レセプタクルに接触した後に、外部導体プランジャを外部導体のハウジング内を摺動させて、外部導体プランジャの後端面と外部導体のハウジング内の段付部とのトップタッチを確実にするために、一定以上の荷重を検査用同軸プローブに加え続ける必要がある。検査用同軸プローブ内のばね部材や検査用同軸プローブを取り付けるフローティングユニットのばね性(弾性)等を考慮して、検査用同軸プローブに加え続ける荷重を、ある一定以上の値に保つことは難しく、容易に荷重管理を行うことができない。つまり、検査用同軸プローブの荷重管理では、電気的特性の測定に適した一定の荷重を常に加え続けて、グランド特性の安定化のためにトップタッチを確実にするように、検査用同軸プローブを取り付けるフローティングユニット及び検査装置を構成しなければならず、荷重を簡便に管理することが困難である。そして、検査用同軸プローブに加える荷重を視認することはできないから、検査者が荷重を監視することも容易ではない。   After the outer conductor plunger of the inspection coaxial probe comes into contact with the counterpart coaxial receptacle, the outer conductor plunger is slid in the outer conductor housing, and the rear end surface of the outer conductor plunger and the step in the outer conductor housing are In order to ensure the top touch with the attached portion, it is necessary to continuously apply a load of a certain level or more to the coaxial probe for inspection. Considering the spring property (elasticity) of the spring member in the coaxial probe for inspection and the floating unit to which the coaxial probe for inspection is attached, it is difficult to keep the load to be applied to the coaxial probe for inspection above a certain value, Load management cannot be performed easily. In other words, in the load management of the coaxial probe for inspection, the coaxial probe for inspection is always applied so as to ensure the top touch to stabilize the ground characteristics by constantly applying a certain load suitable for measuring the electrical characteristics. A floating unit to be attached and an inspection device must be configured, and it is difficult to easily manage the load. Since the load applied to the inspection coaxial probe cannot be visually confirmed, it is not easy for the inspector to monitor the load.

また、検査用同軸プローブを取り付けたフローティングユニットは、検査用同軸プローブに接続された同軸ケーブルからの負荷が原因で、検査用同軸プローブが傾いてしまい、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に中心軸のずれを適切に補正できない問題が生じる。   In addition, the floating unit with the inspection coaxial probe attached tilts the inspection coaxial probe due to the load from the coaxial cable connected to the inspection coaxial probe, and is connected to the coaxial receptacle on the other side. There arises a problem that the deviation of the central axis cannot be corrected appropriately.

さらに、複数の検査用同軸プローブを使用する場合には、それぞれ独立して径方向に揺動可能に構成するために、1本の検査用同軸プローブに対して1つのフローティングユニットが必要になるが、検査用同軸プローブよりもフローティングユニットは大きいため、複数の検査用同軸プローブ間の間隔を狭くして取り付けることができない。つまり、フローティングユニットに取り付けた検査用同軸プローブの近傍に別の検査用同軸プローブを取り付けることができない。   Further, when a plurality of inspection coaxial probes are used, one floating unit is required for each inspection coaxial probe in order to be configured to be able to swing independently in the radial direction. Since the floating unit is larger than the inspection coaxial probe, it cannot be attached with a narrow interval between the plurality of inspection coaxial probes. That is, another inspection coaxial probe cannot be attached in the vicinity of the inspection coaxial probe attached to the floating unit.

これらの課題を解決するために、外部導体シェルと、該外部導体シェルの軸方向に摺動可能な状態で収められた可動シェルとを含み、該可動シェルの後端部に形成された複数の接触片と、それぞれの接触片の端部に形成された突起部を更に含む同軸プローブであって、可動シェルの外径よりも外側に突出させて強い応力を持たせた突起部が、外部導体シェルの内壁に強く押し付けることで、同軸プローブのグランド特性を安定させることが可能な同軸プローブを提供する。加えて、同軸プローブの外部導体シェル内に収められた、軸方向に摺動可能な可動シェルを、径方向にも揺動するように構成することで、相手側の同軸レセプタクルとの中心軸のずれを、フローティングユニットを用いずに、同軸プローブ自体で補正することが可能な同軸プローブを提供する。   In order to solve these problems, a plurality of outer conductor shells and a movable shell housed in a state slidable in the axial direction of the outer conductor shell, a plurality of formed at the rear end of the movable shell A coaxial probe further including a contact piece and a protrusion formed at an end of each contact piece, wherein the protrusion that protrudes outside the outer diameter of the movable shell and has a strong stress is an outer conductor. Provided is a coaxial probe that can stabilize the ground characteristics of a coaxial probe by strongly pressing the inner wall of the shell. In addition, the axially slidable movable shell housed in the outer conductor shell of the coaxial probe is configured so as to swing in the radial direction, so that the central axis of the opposite coaxial receptacle can be reduced. Provided is a coaxial probe that can correct the deviation with the coaxial probe itself without using a floating unit.

本発明に係る同軸プローブの1つの実施形態として、同軸プローブは、
後端に嵌合部を有する固定外部導体と、
前記固定外部導体の軸方向に摺動可能な状態で後端部が取り付けられた円筒状の可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体の先端側に向けて付勢する第1のばね部材と、
前記固定外部導体内の第1の絶縁体によって、中心軸上に固定された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体の前記嵌合部が備える固定中心導体と、
前記固定中心導体の軸方向に摺動可能な状態で後端部が取り付けられた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心端子との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体の先端側に向けて付勢する第2のばね部材と、
を含み、
前記可動外部導体は、径方向に揺動可能に構成され、
前記可動外部導体の先端部には、前記可動中心導体の先端部との離間距離を保つための第2の絶縁体が内部に配置され、
前記可動外部導体の後端部には、弾性を有する複数の接触片が形成され、
前記接触片は、その弾性により、前記固定外部導体の壁に接触した状態で、前記固定外部導体に取り付けられ、
前記可動外部導体が径方向に揺動した場合に、前記接触片の少なくとも1つは前記固定外部導体の壁に接触していることを特徴とする。
As one embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the coaxial probe is:
A fixed outer conductor having a fitting portion at the rear end;
A cylindrical movable outer conductor having a rear end attached thereto in a slidable state in the axial direction of the fixed outer conductor;
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor toward the distal end side of the fixed outer conductor;
A central conductor fixed on a central axis by a first insulator in the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed central conductor provided in the fitting portion of the fixed outer conductor;
A movable central conductor having a rear end attached thereto in a slidable state in the axial direction of the fixed central conductor;
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center terminal and biasing the movable center conductor toward the distal end side of the fixed center conductor;
Including
The movable outer conductor is configured to be swingable in a radial direction,
At the tip of the movable outer conductor, a second insulator for keeping a distance from the tip of the movable center conductor is disposed inside,
A plurality of contact pieces having elasticity are formed at the rear end of the movable outer conductor,
The contact piece is attached to the fixed outer conductor due to its elasticity, in contact with the wall of the fixed outer conductor,
When the movable outer conductor swings in the radial direction, at least one of the contact pieces is in contact with a wall of the fixed outer conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記複数の接触片のそれぞれの厚さは、前記可動シェルの後端部において前記接触片が形成されていない部分の厚さよりも薄いことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the thickness of each of the plurality of contact pieces is smaller than the thickness of the portion where the contact pieces are not formed at the rear end of the movable shell. To do.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動端子は、前記中心導体内に配置され、
前記固定外部導体の先端に設けられた開口部から、前記可動端子の後端部以外の部分を挿通させることを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the movable terminal is disposed in the center conductor,
A portion other than a rear end portion of the movable terminal is inserted through an opening portion provided at a front end of the fixed outer conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記第1のばね部材は、前記可動端子の内側に配置されたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the first spring member is arranged inside the movable terminal.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記複数の接触片からなる円筒の内径は、前記可動シェルの後端部において前記接触片が形成されていない部分の内径よりも大きいことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, an inner diameter of a cylinder made of the plurality of contact pieces is larger than an inner diameter of a portion where the contact pieces are not formed at a rear end portion of the movable shell. To do.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記第1のばね部材は、前記可動端子の外側に配置されたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the first spring member is arranged outside the movable terminal.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記複数の接触片のそれぞれの端部には、前記可動シェルの後端部における最も太い部分の外径よりも突出した突起部が形成されていることを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, each end of each of the plurality of contact pieces is formed with a protrusion protruding beyond the outer diameter of the thickest portion of the rear end of the movable shell. It is characterized by that.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記複数の接触片からなる円筒の外径は、前記可動シェルの後端部における最も太い部分の外径よりも小さいことを特徴する。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, an outer diameter of a cylinder made of the plurality of contact pieces is smaller than an outer diameter of a thickest portion at a rear end portion of the movable shell.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記固定外部導体の開口部から露出した前記可動外部導体の中央部の外壁に、前記可動外部導体の摺動距離を表す目印となる1以上の溝を設けたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, one or more grooves serving as marks representing the sliding distance of the movable outer conductor are formed on the outer wall of the central portion of the movable outer conductor exposed from the opening of the fixed outer conductor. Is provided.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動端子は、前記中心導体の外側に配置されたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the movable terminal is arranged outside the center conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の内側に配置されたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, a rear end portion of the movable center conductor is disposed inside the fixed center conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の外側に配置されたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, a rear end portion of the movable center conductor is disposed outside the fixed center conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動中心導体は、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記中心導体シェル内にある前記中心導体プランジャの後端部を支点又は力点とし、前記先端シェルにおける前記第2の絶縁体の孔に挿通された前記可動中心導体の先端部を力点又は支点として撓むことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the movable center conductor has a rear end portion of the center conductor plunger in the center conductor shell as a fulcrum or when the movable outer conductor swings in the radial direction. The point of the movable center conductor that is inserted into the hole of the second insulator in the tip shell is bent as a point of force or a fulcrum.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動中心導体の後端部に、球状の摺動部を備え、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記可動中心導体は、前記揺動部を支点として径方向に揺動することを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, a spherical sliding portion is provided at a rear end portion of the movable center conductor, and when the movable outer conductor swings in the radial direction, the movable center conductor is The oscillating portion oscillates in the radial direction with the fulcrum as a fulcrum.

本発明の1つの実施形態に係る同軸プローブは、可動シェル自体が径方向に揺動可能な状態で構成されているので、径方向に揺動可能なフローティング機構を設けた治具(フローティングユニット)を必要とせず、フローティングユニットを介さずに直接計測機器等にプローブ取付部を用いて取り付けることができる。その結果、同軸プローブに接続された同軸ケーブルの重みで、同軸プローブが傾くことを防止し、同軸プローブの近傍に別の同軸プローブを取り付けることができ、同軸プローブの間隔を狭くすることができる。   Since the coaxial probe according to one embodiment of the present invention is configured in a state in which the movable shell itself can swing in the radial direction, a jig (floating unit) provided with a floating mechanism that can swing in the radial direction. Can be directly attached to a measuring instrument or the like using a probe attachment portion without using a floating unit. As a result, the weight of the coaxial cable connected to the coaxial probe can prevent the coaxial probe from being inclined, and another coaxial probe can be attached in the vicinity of the coaxial probe, and the interval between the coaxial probes can be reduced.

また、本発明の1つの実施形態に係る同軸プローブは、複数の接触片、又は、複数の接触片の端部に備えた突起部であって、可動シェルの最も太い後端部の外径よりも突出させて強い応力を持たせた突起部が、外部導体シェルの内壁に強く押し付けられるので、上述の従来例のようなトップタッチを要せずに、同軸プローブのグランド特性を安定させることができる。そのため、荷重管理は必要とせず、可動シェルに設けられた摺動距離の目印となる溝を用いて、可動シェルの摺動距離がある一定の値以上となるように、目視で確認することで、当該接続状態の維持を容易に管理することができる。   The coaxial probe according to one embodiment of the present invention is a plurality of contact pieces, or protrusions provided at the end portions of the plurality of contact pieces, from the outer diameter of the thickest rear end portion of the movable shell. Since the projecting portion that is also protruded and has a strong stress is strongly pressed against the inner wall of the outer conductor shell, the ground characteristic of the coaxial probe can be stabilized without requiring a top touch as in the conventional example described above. it can. Therefore, load management is not necessary, and by using a groove that is a mark of the sliding distance provided on the movable shell, visually confirm that the sliding distance of the movable shell is a certain value or more. The maintenance of the connection state can be easily managed.

本発明の一実施形態に係る同軸プローブの部品構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the components structure of the coaxial probe which concerns on one Embodiment of this invention. 同軸プローブと相手側の同軸レセプタクルの接続時の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of the connection of a coaxial probe and the other party coaxial receptacle. 図2に示された同軸プローブの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the coaxial probe shown in FIG. 2. 同軸プローブの可動シェルが径方向に揺動した様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that the movable shell of a coaxial probe rock | fluctuated to radial direction. 同軸プローブの中心導体プランジャを揺動可能に構成した別の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another embodiment which comprised the center conductor plunger of the coaxial probe so that rocking | fluctuation was possible. 同軸プローブの中心導体プランジャを揺動可能に構成した更に別の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another embodiment which comprised the center conductor plunger of the coaxial probe so that rocking | fluctuation was possible.

以下に図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。なお、実施の形態を説明するための全ての図において、同一部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiment, and the repetitive description thereof will be omitted.

図1は、本発明の一実施形態に係る同軸プローブの部品構成を示す分解図である。図1(a)は横方向からみた分解図であり、図1(b)は斜め下方向からみた分解図である。電子機器等の電気的特性の測定・検査用の同軸プローブ1は、計測器(図示せず)に接続された同軸ケーブルを嵌合接続するプローブ固定部10と、内部に中心導体30を備える可動部40とから構成される。プローブ固定部10、中心導体30及び可動部40は、好ましくは軸方向に延在する円筒状の部材であるが、軸方向に延在する部材の形状として、円筒状以外の形状を採用することも可能である。ここで、同軸プローブ1を構成する各部材の説明の際に、同軸プローブ1の先端方向の部分を下部とし、後端方向の部分を上部として表現することもある。   FIG. 1 is an exploded view showing a component configuration of a coaxial probe according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is an exploded view seen from the lateral direction, and FIG. 1B is an exploded view seen obliquely downward. A coaxial probe 1 for measuring / inspecting electrical characteristics of an electronic device or the like is movable with a probe fixing portion 10 for fitting and connecting a coaxial cable connected to a measuring instrument (not shown) and a central conductor 30 inside. Part 40. The probe fixing portion 10, the central conductor 30, and the movable portion 40 are preferably cylindrical members extending in the axial direction, but a shape other than the cylindrical shape is adopted as the shape of the member extending in the axial direction. Is also possible. Here, in the description of each member constituting the coaxial probe 1, a portion in the front end direction of the coaxial probe 1 may be expressed as a lower portion and a portion in the rear end direction may be expressed as an upper portion.

プローブ固定部10は、軸方向に延在する中空筒状の部材であり、上部に同軸ケーブル嵌合部12、下部にプローブ取付部14を備えている。プローブ固定部10は、導電性材料からなる外部導体として機能する。   The probe fixing portion 10 is a hollow cylindrical member extending in the axial direction, and includes a coaxial cable fitting portion 12 at an upper portion and a probe attachment portion 14 at a lower portion. The probe fixing part 10 functions as an outer conductor made of a conductive material.

同軸ケーブル嵌合部12は、円筒状の形状であり、その外周表面に計測機器に接続される同軸ケーブルと嵌合するためのネジ山を有する。プローブ取付部14は、同軸プローブ1の軸直方向に延在する板状の形状であり、その板上にネジ等で計器や治具等に取り付けるための孔を有する。図示しない計測器に接続された同軸ケーブル側の筐体で、計器や治具等に同軸プローブ1を取り付けることができる場合、すなわち、固定部10のプローブ取付部14を使って取り付けを行う必要がない場合には、プローブ取付部14は、固定部10から省くこともできる。   The coaxial cable fitting portion 12 has a cylindrical shape, and has a thread for fitting with a coaxial cable connected to a measuring device on the outer peripheral surface thereof. The probe attachment portion 14 has a plate shape extending in the direction perpendicular to the axis of the coaxial probe 1, and has a hole on the plate for attachment to an instrument, jig, or the like. When the coaxial probe 1 can be attached to an instrument, jig, or the like in a casing on the side of a coaxial cable connected to a measuring instrument (not shown), that is, it is necessary to perform attachment using the probe attachment portion 14 of the fixed portion 10. If not, the probe mounting portion 14 can be omitted from the fixing portion 10.

プローブ固定部10は、その内側の空洞部分に、軸方向に延在する中空円筒状の絶縁体20を収容する。プローブ固定部10の同軸ケーブル嵌合部12側の筒の内径は、プローブ取付部14側の筒の内径よりも小さいので、絶縁体20の上部及び下部の外径は、それら内径のサイズに合わせて、絶縁体20をプローブ固定部10に隙間なく収容するように定めることができる。   The probe fixing portion 10 accommodates a hollow cylindrical insulator 20 extending in the axial direction in a hollow portion inside thereof. Since the inner diameter of the tube on the coaxial cable fitting portion 12 side of the probe fixing portion 10 is smaller than the inner diameter of the tube on the probe mounting portion 14 side, the outer diameters of the upper and lower portions of the insulator 20 are matched to the sizes of these inner diameters. Thus, the insulator 20 can be determined so as to be accommodated in the probe fixing portion 10 without a gap.

絶縁体20は、その内側の空洞部分に、軸方向に延在する中心導体30の後端部(中心導体ソケット32の後端部)が収容される。中心導体30は、中心導体ソケット32、ばね部材34、中心導体プランジャ36及び中心導体シェル38を含み、それぞれ軸方向に延在し導電性材料で形成される。プローブ固定部10は、その内部に収容した絶縁体20によって、中心導体ソケット32を電気的に接触することなく保持することができる。中心導体ソケット32の後端部は、プローブ固定部10の同軸ケーブル嵌合部12内に位置して中心導体となり、図示しない同軸ケーブルと電気的に接続される。一方、中心導体ソケット32の先端部は中心導体シェル38と電気的に接続される。   The insulator 20 accommodates the rear end portion (the rear end portion of the center conductor socket 32) of the center conductor 30 extending in the axial direction in the hollow portion inside thereof. The center conductor 30 includes a center conductor socket 32, a spring member 34, a center conductor plunger 36, and a center conductor shell 38, each extending in the axial direction and formed of a conductive material. The probe fixing part 10 can hold the central conductor socket 32 without being in electrical contact by the insulator 20 accommodated therein. The rear end portion of the center conductor socket 32 is located in the coaxial cable fitting portion 12 of the probe fixing portion 10 and becomes a center conductor, and is electrically connected to a coaxial cable (not shown). On the other hand, the tip of the center conductor socket 32 is electrically connected to the center conductor shell 38.

中心導体ソケット32の先端部、ばね部材34及び中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体シェル38の内側に収容される。中心導体プランジャ36は、ばね部材34と共に、中空円筒状の中心導体シェル38内に摺動可能な状態で収められ、中心導体ソケット32の先端部を中心導体シェル38の後端部に差し込むことで、中心導体ソケット32と中心導体シェル38とが接合される。中心導体プランジャ36の外径は、中心導体シェル38の内径よりも僅かに小さく、中心導体シェル38内に収容された中心導体プランジャ36の後端部はがたつくことなく摺動可能となる。   The front end portion of the center conductor socket 32, the spring member 34, and the rear end portion of the center conductor plunger 36 are accommodated inside the center conductor shell 38. The center conductor plunger 36 is slidably housed in the hollow cylindrical center conductor shell 38 together with the spring member 34, and the front end portion of the center conductor socket 32 is inserted into the rear end portion of the center conductor shell 38. The central conductor socket 32 and the central conductor shell 38 are joined. The outer diameter of the center conductor plunger 36 is slightly smaller than the inner diameter of the center conductor shell 38, and the rear end portion of the center conductor plunger 36 accommodated in the center conductor shell 38 can slide without rattling.

中心導体プランジャ36は、中心導体ソケット32と中心導体プランジャ36との間に介在するばね部材34の弾性によって、中心導体シェル38内を摺動することができる。中心導体プランジャ36の太さは、4段階に分かれており、先端部が最も細く、後端部になるについて段々と太くなるように構成することができる。中心導体ソケット32及び中心導体プランジャ36と、ばね部材34との位置関係は、中外逆に構成してもよい。例えば、ばね部材34を、中心導体シェル38の外側に設け、中心導体シェル38をばね部材34の内径内側に設けることができる。   The center conductor plunger 36 can slide in the center conductor shell 38 due to the elasticity of the spring member 34 interposed between the center conductor socket 32 and the center conductor plunger 36. The thickness of the central conductor plunger 36 is divided into four stages, and can be configured such that the tip end portion is the thinnest and the rear end portion gradually increases. The positional relationship between the center conductor socket 32 and the center conductor plunger 36 and the spring member 34 may be reversed. For example, the spring member 34 can be provided outside the center conductor shell 38, and the center conductor shell 38 can be provided inside the inner diameter of the spring member 34.

中心導体プランジャ36は、最も太い後端部を除いて、中心導体シェル38の先端部から露出する。中心導体シェル38の先端面には、中心導体プランジャ36を通すための開口部が設けられ、該開口部の内径は、中心導体シェル38の内径よりも小さく、中心導体シェル38の先端部で、中心導体プランジャ36の最も太い後端部を係止するように定めることができる。   The center conductor plunger 36 is exposed from the tip of the center conductor shell 38 except for the thickest rear end. An opening for passing the center conductor plunger 36 is provided on the front end surface of the center conductor shell 38, and the inner diameter of the opening is smaller than the inner diameter of the center conductor shell 38. The thickest rear end portion of the center conductor plunger 36 can be fixed.

可動部40は、絶縁体41、外部導体シェル42、ばね部材43、可動シェル50、絶縁体44、先端シェル45及び外部導体シェル47から構成される。可動部40を構成するそれぞれの部材は、軸方向に延在する円筒状の形状を有する。絶縁体41及び44以外の部材は導電性材料で形成される。   The movable portion 40 includes an insulator 41, an external conductor shell 42, a spring member 43, a movable shell 50, an insulator 44, a tip shell 45, and an external conductor shell 47. Each member constituting the movable portion 40 has a cylindrical shape extending in the axial direction. Members other than the insulators 41 and 44 are made of a conductive material.

絶縁体41は、その中心に中心導体シェル38を挿入する孔を有する。絶縁体41の上部はプローブ固定部10に収容され、絶縁体41の上面は絶縁体20の底面と重なり合うように当接する。絶縁体41の上部の外径は、プローブ固定部10の下部の内径のサイズに合わせて、絶縁体41をプローブ固定部10に隙間なく収容するように定められている。一方、絶縁体41の下部の外径は、上部の外径のサイズよりも小さく、中空円筒状の外部導体シェル42の内径のサイズに合わせて、絶縁体41を外部導体シェル42に隙間なく収容するように定められている。   The insulator 41 has a hole for inserting the central conductor shell 38 at the center thereof. The upper portion of the insulator 41 is accommodated in the probe fixing portion 10, and the upper surface of the insulator 41 is in contact with the bottom surface of the insulator 20 so as to overlap. The outer diameter of the upper portion of the insulator 41 is determined so that the insulator 41 can be accommodated in the probe fixing portion 10 without a gap in accordance with the size of the inner diameter of the lower portion of the probe fixing portion 10. On the other hand, the outer diameter of the lower portion of the insulator 41 is smaller than the size of the outer diameter of the upper portion, and the insulator 41 is accommodated in the outer conductor shell 42 without a gap in accordance with the inner diameter size of the hollow cylindrical outer conductor shell 42. It is stipulated to do.

外部導体シェル42と外部導体シェル47は、中空円筒状の形状であり、それらの内部に、ばね部材43と共に可動シェル50の後端部を摺動可能な状態で収容する。外部導体シェル42と外部導体シェル47は結合して、1つの外部導体シェルを構成する。外部導体シェル47の先端面には開口部が設けられており、該開口部から可動シェル50の後端部以外の部分、すなわち、先端部からストローク管理溝52が設けられた中央部を露出させる。絶縁体44は、その中心に中心導体プランジャ36の最も細い先端部を挿入する孔を有する。絶縁体44の上部は、中空円筒状の可動シェル50の先端部に隙間なく収容され、絶縁体44の下部は、中空円筒状の先端シェル45に隙間なく収容される。   The outer conductor shell 42 and the outer conductor shell 47 have a hollow cylindrical shape, and accommodate the rear end portion of the movable shell 50 together with the spring member 43 in a slidable state. The outer conductor shell 42 and the outer conductor shell 47 are combined to form one outer conductor shell. An opening is provided in the front end surface of the outer conductor shell 47, and a portion other than the rear end of the movable shell 50, that is, a central portion provided with the stroke management groove 52 is exposed from the end. . The insulator 44 has a hole through which the thinnest tip of the central conductor plunger 36 is inserted. The upper portion of the insulator 44 is accommodated in the distal end portion of the hollow cylindrical movable shell 50 without a gap, and the lower portion of the insulator 44 is accommodated in the hollow cylindrical tip shell 45 without a gap.

先端シェル45は、可動シェル50の先端部と結合し、それらの内部に収容された絶縁体41を固定することができる。先端シェル45は、その先端の開口部に、同軸プローブ1との中心軸がずれた場合であっても、ずれを補正して相手側の同軸レセプタクル2との接続を行うために、外側から内側に傾斜したテーパー部46を備えている。可動シェル50は、絶縁体41と可動シェル50との間に介在するばね部材43の弾性によって、外部導体シェル42と外部導体シェル47とが結合された外部導体シェル内を摺動することができる。可動シェル50の後述する後端部の接触片56前方部分の外径と外部導体シェル47の内径の隙間は、中心導体プランジャ36の外径と中心導体シェル38の内径の隙間よりも大きく、可動シェル50は、径方向に揺動することができる。可動シェル50の径方向への揺動の際に、中心導体プランジャ36は、中心導体シェル38との隙間は僅かであり、がたつくことなく中心導体シェル38内に摺動可能に収容されていることから、中心導体シェル38内にある中心導体プランジャ36の後端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ36の先端部を力点(又は支点)として撓むことになる。   The front end shell 45 is coupled to the front end portion of the movable shell 50 and can fix the insulator 41 accommodated therein. Even when the central axis of the distal end shell 45 is displaced from the coaxial probe 1 in the opening at the distal end, the distal end shell 45 is connected from the outer side to the inner side in order to correct the deviation and connect to the counterpart coaxial receptacle 2. A tapered portion 46 is provided. The movable shell 50 can slide in the outer conductor shell in which the outer conductor shell 42 and the outer conductor shell 47 are coupled by the elasticity of the spring member 43 interposed between the insulator 41 and the movable shell 50. . The gap between the outer diameter of the front portion of the contact piece 56 at the rear end, which will be described later, of the movable shell 50 and the inner diameter of the outer conductor shell 47 is larger than the gap between the outer diameter of the center conductor plunger 36 and the inner diameter of the center conductor shell 38. The shell 50 can swing in the radial direction. When the movable shell 50 swings in the radial direction, the center conductor plunger 36 has a slight gap with the center conductor shell 38 and is slidably accommodated in the center conductor shell 38 without rattling. Thus, the rear end portion of the center conductor plunger 36 in the center conductor shell 38 is set as a fulcrum (or force point), and the end portion of the center conductor plunger 36 in the insulator 44 in the tip shell 45 is bent as a force point (or fulcrum). It will be.

可動シェル50の太さは、実質的に3段階に分かれており、後端部になるにつれて段々と太くなるように構成することができる。可動シェル50は、先端シェル45と結合する先端部が最も細く、ストローク管理溝52及びストローク管理端54が設けられた中央部の太さは、先端部よりも太く、接触片56が設けられた後端部よりも細い。可動シェル50の最も細い先端部の円筒内に、中心導体シェル38の先端部から露出した中心導体プランジャ36が摺動可能な状態で収容される。可動シェル50の先端部内に設けられた絶縁体44の円筒内に、中心導体プランジャ36の最も細い先端部が摺動可能な状態で収容される。   The thickness of the movable shell 50 is substantially divided into three stages, and the movable shell 50 can be configured to gradually increase in thickness toward the rear end. The movable shell 50 has the thinnest tip portion coupled with the tip shell 45, the thickness of the central portion where the stroke management groove 52 and the stroke management end 54 are provided is thicker than the tip portion, and the contact piece 56 is provided. It is thinner than the rear end. The center conductor plunger 36 exposed from the tip of the center conductor shell 38 is accommodated in the cylinder at the thinnest tip of the movable shell 50 in a slidable state. The thinnest tip portion of the center conductor plunger 36 is slidably accommodated in a cylinder of an insulator 44 provided in the tip portion of the movable shell 50.

可動シェル50の後端部には該後端部の中間から後端に亘って複数のスリットが入れられて、弾性を有する複数の接触片56を形成する。図1に示す実施形態では、接触片56は6枚備えているが、可動シェル50の径方向への揺動を可能にするのであれば、接触片56の枚数は6枚に限定されるものではない。複数の接触片56は、それぞれの弾性力(応力)によって外部導体シェル47の内壁に押し付けられて、可動シェル50は外部導体シェル47と電気的に接続することができ、グランド特性等の電気的特性を安定させることができる。好ましくは、複数の接触片56の端部のそれぞれには、可動シェル50の最も太い後端部の外径よりも外側に突出した突起部58が設けられ、各突起部58は、接触片56の弾性力(応力)によって外部導体シェル47の内壁に押し付けられて、可動シェル50と外部導体シェル47との電気的接続を確実に維持できるように構成することができる。   A plurality of slits are inserted in the rear end portion of the movable shell 50 from the middle to the rear end of the rear end portion to form a plurality of contact pieces 56 having elasticity. In the embodiment shown in FIG. 1, six contact pieces 56 are provided, but the number of contact pieces 56 is limited to six as long as the movable shell 50 can swing in the radial direction. is not. The plurality of contact pieces 56 are pressed against the inner wall of the outer conductor shell 47 by their respective elastic forces (stresses), so that the movable shell 50 can be electrically connected to the outer conductor shell 47, and electrical characteristics such as ground characteristics can be obtained. The characteristics can be stabilized. Preferably, each of the end portions of the plurality of contact pieces 56 is provided with a protrusion portion 58 that protrudes outward from the outer diameter of the thickest rear end portion of the movable shell 50, and each protrusion portion 58 includes the contact piece 56. By being pressed against the inner wall of the outer conductor shell 47 by the elastic force (stress), the electrical connection between the movable shell 50 and the outer conductor shell 47 can be reliably maintained.

図1に示される本発明の一実施形態は、組立を容易にするため部品の数が多いが、部品の数を減らして構成することもできる。プラグ固定部10と外部導体シェル42及び47は、同軸プローブ1において動かすことができない固定された部品であるから、本明細書では、それらをまとめて“固定外部導体”とも呼ぶ。本発明の別の実施形態として、固定外部導体を1つの部品にまとめて一体で構成することもできる。このような固定外部導体を構成した場合、該固定外部導体の内部にばね部材43と可動シェル50を固定外部導体に収容した後で、該固定外部導体を構成する外部導体シェル47の先端部を内側に折り曲げて、外部導体シェル47の内径よりも小さい内径の開口部を形成する加工を行う必要がある。   Although one embodiment of the present invention shown in FIG. 1 has a large number of parts to facilitate assembly, it can be configured with a reduced number of parts. Since the plug fixing part 10 and the outer conductor shells 42 and 47 are fixed parts that cannot be moved in the coaxial probe 1, they are collectively referred to as “fixed outer conductors” in this specification. As another embodiment of the present invention, the fixed outer conductor can be integrated into a single component. In the case where such a fixed outer conductor is configured, after the spring member 43 and the movable shell 50 are accommodated in the fixed outer conductor, the distal end portion of the outer conductor shell 47 constituting the fixed outer conductor is disposed. It is necessary to perform processing to be bent inward to form an opening having an inner diameter smaller than the inner diameter of the outer conductor shell 47.

一方、可動シェル50と先端シェル45は、同軸プローブ1において動かすことができる部品であるから、本明細書では、それらをまとめて“可動外部導体”とも呼ぶ。本発明の別の実施形態として、可動外部導体は、1つの部品にまとめて一体で構成することもできる。このような可動外部導体を構成した場合、該可動外部導体の先端部の内側に、絶縁材料を圧入して可動中心導体の先端部(中心導体プランジャ36の先端部)と可動外部導体との電気的な絶縁を確保して、それらの間の距離を維持できるように、絶縁体44を形成することができる。なお、絶縁体44は中心導体プランジャ36の先端部に固着させて可動外部導体の内壁を摺動するようにしてもよい。   On the other hand, since the movable shell 50 and the tip shell 45 are parts that can be moved in the coaxial probe 1, they are collectively referred to as a “movable outer conductor” in the present specification. As another embodiment of the present invention, the movable outer conductor can be integrally formed as a single component. When such a movable outer conductor is configured, an insulating material is press-fitted inside the distal end portion of the movable outer conductor, and the electrical connection between the distal end portion of the movable central conductor (the distal end portion of the central conductor plunger 36) and the movable outer conductor is performed. The insulator 44 can be formed so as to ensure a good insulation and maintain a distance between them. The insulator 44 may be fixed to the tip of the central conductor plunger 36 and slide on the inner wall of the movable outer conductor.

また、中心導体ソケット32と中心導体シェル38は、固定外部導体内において固定される部品であるから、本明細書では、それらをまとめて“固定中心導体”とも呼ぶ。一方、中心導体プランジャ36とばね部材34は、可動外部導体及び固定外部導体の少なくとも一方の内側において、動くことができる部品であるから、それらを1つの部品にまとめて“可動中心導体”とも呼ぶ。そうすると、図1に示す中心導体30は、“固定中心導体”(中心導体ソケット32及び中心導体シェル38)と“可動中心端子”(中心導体プランジャ36とばね部材34)とを含むものである。   Further, since the center conductor socket 32 and the center conductor shell 38 are parts fixed in the fixed outer conductor, they are collectively referred to as “fixed center conductor” in the present specification. On the other hand, since the center conductor plunger 36 and the spring member 34 are parts that can move inside at least one of the movable outer conductor and the fixed outer conductor, they are collectively referred to as “movable center conductor”. . Then, the center conductor 30 shown in FIG. 1 includes a “fixed center conductor” (the center conductor socket 32 and the center conductor shell 38) and a “movable center terminal” (the center conductor plunger 36 and the spring member 34).

本発明の別の実施形態として、固定中心導体(中心導体ソケット32及び中心導体シェル38)は、1つの部品にまとめて一体で構成することができる。このような固定中心導体を構成した場合、該固定中心導体の内部に、ばね部材34と中心導体プランジャ36の後端部を収容した後で、中心導体シェル38の先端部を内側に折り曲げて、中心導体シェル38の内径よりも小さい内径の開口部を形成する加工を行う必要がある。一方、可動中心端子(中心導体プランジャ36とばね部材34)も、1つの部品にまとめて一体で構成することができる。   As another embodiment of the present invention, the fixed center conductor (the center conductor socket 32 and the center conductor shell 38) can be integrated into one part and formed integrally. When such a fixed center conductor is configured, after the rear end portion of the spring member 34 and the center conductor plunger 36 is accommodated inside the fixed center conductor, the front end portion of the center conductor shell 38 is bent inward, It is necessary to perform processing for forming an opening having an inner diameter smaller than the inner diameter of the center conductor shell 38. On the other hand, the movable center terminal (the center conductor plunger 36 and the spring member 34) can also be configured integrally as one part.

本発明の別の実施形態として、絶縁体20と絶縁体41を1つの絶縁体として構成することもできる。該絶縁体に、中心導体ソケット32の後端部を圧入固定することで、固定外部導体(プラグ固定部10、外部導体シェル42及び47)内において、固定中心導体(中心導体ソケット32及び中心導体シェル38)を実質的に中心軸上に固定することができる。このような絶縁体は、固定中心導体と固定外部導体とを電気的に絶縁し、それらの間の距離を維持するために必須の構成であるが、固定外部導体内であれば、どこに設けてもよい。図1に示す実施形態では、固定外部導体の固定部10内に、絶縁体(絶縁体20及び41)が収容されるが、固定中心導体と固定外部導体との間の距離を維持できるのであれば、絶縁体を収容する位置を別の位置に代えてもよい。   As another embodiment of the present invention, the insulator 20 and the insulator 41 can be configured as one insulator. By fixing the rear end portion of the central conductor socket 32 to the insulator, the fixed central conductor (the central conductor socket 32 and the central conductor) is fixed in the fixed external conductor (the plug fixing portion 10 and the external conductor shells 42 and 47). The shell 38) can be fixed substantially on the central axis. Such an insulator is indispensable for electrically insulating the fixed center conductor and the fixed outer conductor and maintaining the distance between them. Also good. In the embodiment shown in FIG. 1, the insulators (insulators 20 and 41) are accommodated in the fixed portion 10 of the fixed outer conductor. However, the distance between the fixed center conductor and the fixed outer conductor can be maintained. For example, the position where the insulator is accommodated may be changed to another position.

本発明の別の実施形態として、図1に示す部品の数を減らした場合、同軸プローブは、固定外部導体と、該固定外部導体内に、軸方向に摺動可能な状態で後端部が収容された可動外部導体と、前記固定外部導体内に収容され、前記可動外部導体を前記固定外部導体の先端面に設けられた開口部から外側に向けて付勢する第1のばね部材と、前記固定外部導体内の第1の絶縁体によって、実質的に中心軸上に固定された中心導体とを含み、前記中心導体は、前記固定外部導体の前記嵌合部が備える中心導体と電気的に接続する固定中心導体と、前記固定中心導体内に、軸方向に摺動可能な状態で後端部が、第2のばね部材とともに収容された可動中心導体と、前記固定中心導体内に収容され、前記固定中心導体内に収容され、前記可動中心導体を前記固定中心導体の先端面に設けられた開口部から外側に向けて付勢する第2のばね部材を含むように構成することができる。   As another embodiment of the present invention, when the number of parts shown in FIG. 1 is reduced, the coaxial probe has a fixed outer conductor and a rear end portion in a state in which the coaxial probe can slide in the axial direction. A housed movable outer conductor, a first spring member housed in the fixed outer conductor, and biasing the movable outer conductor outward from an opening provided in a distal end surface of the fixed outer conductor; A center conductor substantially fixed on a central axis by a first insulator in the fixed outer conductor, the center conductor being electrically connected to the center conductor provided in the fitting portion of the fixed outer conductor A fixed central conductor connected to the movable central conductor, a movable central conductor accommodated together with a second spring member in a state slidable in the axial direction in the fixed central conductor, and accommodated in the fixed central conductor The movable central conductor housed in the fixed central conductor It can be configured to include a second spring member for biasing the outside from an opening provided in the distal end surface of the fixed central conductor.

可動部40に含まれる可動シェル50は、軸方向に摺動して奥まで押し込まれると、中心導体プローブ30に収容されている中心導体プランジャ36の先端部が露出して、レセプタクルとの接続部となる。可動シェル50の中央部に設けられたストローク管理溝52及びストローク管理端54は、同軸プローブ1を相手側の同軸レセプタクルに接続して押し付けた際に、可動シェル50が摺動した距離(すなわち、ストローク量)に基づいて、同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの十分な接続を維持しているか否かを判断するために利用することができる目印である。このような目印として機能するストローク管理溝52及びストローク管理端54は、作業者等の人間が視認することができるので、検索用同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの接続状態を視認することができない荷重で管理することに比べて、容易に当該接続状態を管理することができる。   When the movable shell 50 included in the movable portion 40 slides in the axial direction and is pushed into the back, the tip of the central conductor plunger 36 accommodated in the central conductor probe 30 is exposed, and the connection portion with the receptacle It becomes. The stroke management groove 52 and the stroke management end 54 provided in the central portion of the movable shell 50 are distances that the movable shell 50 has slid when the coaxial probe 1 is connected to and pressed against the coaxial receptacle on the other side (that is, This is a mark that can be used to determine whether or not sufficient connection between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle on the other side is maintained based on the stroke amount. Since the stroke management groove 52 and the stroke management end 54 functioning as such a mark can be visually recognized by a human operator or the like, the connection state between the search coaxial probe 1 and the counterpart coaxial receptacle should be visually recognized. The connection state can be easily managed as compared with the case of managing with a load that cannot be performed.

例えば、検索用同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの十分な接続状態を維持するために、ばね部材43の弾性力を調整して、推奨ストローク量として可動シェル50の摺動距離を、1mmから2mmと設定することができる。その場合に、ストローク管理溝52を1mm摺動したことを示す目印とし、ストローク管理端54を2mm摺動したことを示す目印とすることができる。このような目印となるストローク管理溝52を可動シェル50の外壁に複数設けることができる。   For example, in order to maintain a sufficient connection state between the search coaxial probe 1 and the counterpart coaxial receptacle, the elastic force of the spring member 43 is adjusted so that the sliding distance of the movable shell 50 is 1 mm as the recommended stroke amount. To 2 mm. In that case, it can be used as a mark indicating that the stroke management groove 52 has been slid by 1 mm, and as a mark indicating that the stroke management end 54 has been slid by 2 mm. A plurality of stroke management grooves 52 serving as such marks can be provided on the outer wall of the movable shell 50.

図2は、図1に示された本発明の一実施形態に係る同軸プローブの部品を組み合わせて完成させた同軸プローブの外観を示す。また、図3は、図2に示された本発明の一実施形態に係る同軸プローブの断面図である。同軸ケーブル嵌合部12に接続される計測器からの同軸ケーブル、プローブ取付部14で同軸プローブ1を取り付ける治具、計器等は、説明の簡略化のため図示を省略する。図4及び図5についても同様である。   FIG. 2 shows the appearance of a coaxial probe completed by combining the components of the coaxial probe according to the embodiment of the present invention shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the coaxial probe according to the embodiment of the present invention shown in FIG. A coaxial cable from a measuring instrument connected to the coaxial cable fitting portion 12, a jig for attaching the coaxial probe 1 with the probe attachment portion 14, an instrument, and the like are not shown for simplification of description. The same applies to FIGS. 4 and 5.

図2(a)及び図3(a)は、同軸プローブ1が相手側の同軸レセプタクル2と接続する前の初期状態を示す。初期状態では、同軸プローブ1の可動シェル50は摺動していないので、ストローク管理溝52を目印として視認することができる。一方、図2(b)及び図3(b)は、同軸プローブ1の先端シェル45が相手側の同軸レセプタクル2の円筒状の嵌合部に接続された状態を示す。この接続状態では、可動シェル50は、ストローク管理端54まで外部導体シェル47内に押し込まれて、目印としてストローク管理溝52を外から見ることはできない。   FIG. 2A and FIG. 3A show an initial state before the coaxial probe 1 is connected to the coaxial receptacle 2 on the other side. In the initial state, the movable shell 50 of the coaxial probe 1 is not slid, so that the stroke management groove 52 can be visually recognized. On the other hand, FIGS. 2B and 3B show a state in which the tip shell 45 of the coaxial probe 1 is connected to the cylindrical fitting portion of the counterpart coaxial receptacle 2. In this connected state, the movable shell 50 is pushed into the outer conductor shell 47 up to the stroke management end 54, and the stroke management groove 52 cannot be seen from the outside as a mark.

上述した例のように、推奨ストローク量を1mmから2mmと設定とした場合、1mm摺動したことを示すストローク管理溝52が外から見えなくなるまで、同軸プローブ1を押し込めば、推奨ストローク量を満たすことになるので、相手側の同軸レセプタクル2との接続状態の管理が容易になる。つまり、自動検査ラインにおいて同軸プローブ1を用いて、検査対象である電子機器の電気的特性を計測する際には、同軸プローブ1の外部導体シェル47の先端部が、常にストローク管理溝52とストローク管理端54の間にあるように、可動シェル50を押し込む距離、すなわち、ストローク量を制御すればよい。荷重管理とは異なり、目視により管理状態を把握することができるので管理が容易となる。   When the recommended stroke amount is set from 1 mm to 2 mm as in the example described above, the recommended stroke amount is satisfied if the coaxial probe 1 is pushed in until the stroke management groove 52 indicating that the slider has slid by 1 mm disappears from the outside. Therefore, the management of the connection state with the counterpart coaxial receptacle 2 is facilitated. That is, when measuring the electrical characteristics of the electronic device to be inspected using the coaxial probe 1 in the automatic inspection line, the distal end portion of the outer conductor shell 47 of the coaxial probe 1 always has the stroke management groove 52 and the stroke. What is necessary is just to control the distance which pushes the movable shell 50, ie, the stroke amount, so that it may exist between the management ends 54. Unlike the load management, the management state can be grasped visually, so that the management becomes easy.

図3(a)に示されるように、中心導体シェル38の先端面にある、中心導体プランジャ36を挿通させる開口部の内径は、中心導体シェル38に収容される中心導体プランジャ36の後端部の外径がよりも小さいので、同軸プローブ1の初期状態(未接続の状態)では、中心導体プランジャ36の後端部は、ばね部材34によって付勢されて中心導体シェル38の先端部に係止された状態を保つ。   As shown in FIG. 3 (a), the inner diameter of the opening through which the central conductor plunger 36 is inserted at the front end surface of the central conductor shell 38 is the rear end of the central conductor plunger 36 accommodated in the central conductor shell 38. Therefore, in the initial state (unconnected state) of the coaxial probe 1, the rear end portion of the center conductor plunger 36 is biased by the spring member 34 and is engaged with the tip end portion of the center conductor shell 38. Keep stopped.

同様に、外部導体シェル47の先端面にある、可動シェル50を挿通させる開口部の内径は、外部導体シェル47に収容される可動シェル50の後端部の外径よりも小さいので、同軸プローブ1の初期状態では、可動シェル50の後端部は、ばね部材43によって付勢されて外部導体シェル47の先端部に係止された状態を保つ。このように係止される際に、可動シェル50の後端部と外部導体シェル47から露出する可動シェルの中央部との間に設けられた傾斜面は、外部導体シェル47の先端面にある開口部の縁に当たって可動シェル50を滑らすことで、可動シェル50を常に所定の位置(又は姿勢)に案内するように機能する。   Similarly, the inner diameter of the opening through which the movable shell 50 is inserted, which is on the front end surface of the outer conductor shell 47, is smaller than the outer diameter of the rear end portion of the movable shell 50 accommodated in the outer conductor shell 47. In the initial state 1, the rear end portion of the movable shell 50 is biased by the spring member 43 and is kept locked to the front end portion of the outer conductor shell 47. When locked in this manner, the inclined surface provided between the rear end portion of the movable shell 50 and the central portion of the movable shell exposed from the outer conductor shell 47 is on the front end surface of the outer conductor shell 47. By sliding the movable shell 50 against the edge of the opening, the movable shell 50 always functions to be guided to a predetermined position (or posture).

先端シェル45は、その先端の開口部に設けられたテーパー部46によって、同軸プローブ1との中心軸のずれを補正して相手側の同軸レセプタクル2との接続を行うことができる。例えば、同軸プローブと相手側の同軸レセプタクル2との中心軸が0.5mm程度ずれたとしても、同軸レセプタクル2の円筒状の開口部の縁が、先端シェル45の開口部に設けられたテーパー部46に当たって、該テーパー部46の傾斜により先端シェル45を滑らすことで、可動シェル50を径方向に揺動させて、中心軸のずれを補正することができる。   The tip shell 45 can be connected to the coaxial receptacle 2 on the other side by correcting the deviation of the central axis with respect to the coaxial probe 1 by the tapered portion 46 provided at the opening of the tip. For example, even if the center axis of the coaxial probe and the counterpart coaxial receptacle 2 is shifted by about 0.5 mm, the edge of the cylindrical opening of the coaxial receptacle 2 is a tapered portion provided in the opening of the tip shell 45. 46, when the tip shell 45 is slid by the inclination of the tapered portion 46, the movable shell 50 can be swung in the radial direction to correct the deviation of the central axis.

図3(a)及び(b)に示されるように、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続状態に関らず、可動シェル50は、その後端部に設けられた複数の接触片56の突起部58によって、外部導体シェル47との接触を常に維持することができる。上述したように、突起部58は可動シェル50の最も太い後端部の外径よりも突出しているので、接触片56の弾性力によって外部導体シェル47の内壁に常に押し付けられることになるので、同軸プローブ1のグランド特性を安定させることができる。本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1は、このような構成により、従来例のようなトップタッチを必要としない。その結果として、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続状態の維持を荷重で管理せずに、上述したように、視認可能なストローク管理溝52とストローク管理端54をストローク量の目印として用いて、外部導体シェル47内を摺動した可動シェル50のストローク量で、当該接続状態の維持を容易に管理することができる。   As shown in FIGS. 3A and 3B, regardless of the connection state between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2, the movable shell 50 has protrusions of a plurality of contact pieces 56 provided at the rear end thereof. The contact with the outer conductor shell 47 can always be maintained by the portion 58. As described above, since the protruding portion 58 protrudes from the outer diameter of the thickest rear end portion of the movable shell 50, it is always pressed against the inner wall of the outer conductor shell 47 by the elastic force of the contact piece 56. The ground characteristics of the coaxial probe 1 can be stabilized. The coaxial probe 1 according to an embodiment of the present invention does not require a top touch as in the conventional example due to such a configuration. As a result, without maintaining the connection state of the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2 with the load, as described above, the visible stroke management groove 52 and the stroke management end 54 are used as marks for the stroke amount. The connection state can be easily managed by the stroke amount of the movable shell 50 slid in the outer conductor shell 47.

接触片56に弾性を持たせるために、接触片56間にスリットを形成することに加え接触片56の板厚を薄くすることができるが、接触片56の弾性力を維持できる範囲で、接触片56の板厚を定めることができる。例えば、図3に示す本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1では、インピーダンスの整合が乱れない範囲において、接触片56の板厚を0.15mm以上と定めることができる。また、接触片56の板厚を薄くすることで、可動シェル50が摺動して傾いたときに、接触片56の内壁とばね部材43との干渉や、接触片56の外壁と外部導体シェル47の内壁との干渉を防ぐことができる。   In order to give elasticity to the contact piece 56, in addition to forming slits between the contact pieces 56, the thickness of the contact piece 56 can be reduced. However, the contact piece 56 can be maintained within the range in which the elastic force of the contact piece 56 can be maintained. The plate thickness of the piece 56 can be determined. For example, in the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the plate thickness of the contact piece 56 can be set to 0.15 mm or more in a range where impedance matching is not disturbed. Further, by reducing the plate thickness of the contact piece 56, when the movable shell 50 is slid and tilted, interference between the inner wall of the contact piece 56 and the spring member 43, or the outer wall of the contact piece 56 and the outer conductor shell. Interference with the inner wall of 47 can be prevented.

複数の接触片56からなる円筒の内径は、各接触片56の板厚を内側から薄くし、可動シェル50の後端部において接触片56が形成されていない部分の内径のサイズに比べて、最も大きくなるように定めることができる。これにより、接触片56の内壁が、可動シェル50の径方向への揺動時に、ばね部材43に当たって、可動(摺動又は揺動)の妨げになることを防止することができる。図3に示す本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1では、可動シェル50の可動の妨げにならないように、それぞれの接触片56の厚さを薄くしている。具体的には、それぞれの接触片56の内壁をばね部材43から遠ざけて形成し、複数の接触片56からなる円筒の内径を拡げている。なお、その内径を拡げすぎると、同軸プローブ1のインピーダンス整合が乱れるので、ばね部材43と干渉しない範囲で、当該内径のサイズを定めることができる。   The inner diameter of the cylinder composed of a plurality of contact pieces 56 is such that the thickness of each contact piece 56 is reduced from the inside, and compared to the size of the inner diameter of the portion where the contact piece 56 is not formed at the rear end of the movable shell 50, It can be determined to be the largest. Accordingly, it is possible to prevent the inner wall of the contact piece 56 from striking against the spring member 43 when the movable shell 50 swings in the radial direction, and hindering the movement (sliding or swinging). In the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the thickness of each contact piece 56 is reduced so as not to hinder the movement of the movable shell 50. Specifically, the inner wall of each contact piece 56 is formed away from the spring member 43, and the inner diameter of the cylinder composed of the plurality of contact pieces 56 is expanded. If the inner diameter is excessively widened, impedance matching of the coaxial probe 1 is disturbed, so that the size of the inner diameter can be determined within a range that does not interfere with the spring member 43.

一方、複数の接触片56からなる円筒の外径は、各接触片56の板厚を外側から薄くし、可動シェル50の後端部において接触片56が形成されていない部分の外径のサイズに比べて、小さくなるように定めることができる。これは、図3に示す本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1では、複数の接触片56からなる円筒の外径のサイズを小さくしたことにより、可動シェル50の後端部において、外部導体シェル47の内壁と接触する面積を減らし、外部導体シェル47内を可動シェル50が搖動した状態で摺動する際の外部導体シェル46との干渉を防ぐことができる。これにより、可動シェル50をスムーズに摺動させることができる。   On the other hand, the outer diameter of the cylinder composed of a plurality of contact pieces 56 is such that the thickness of each contact piece 56 is reduced from the outside, and the outer diameter of the portion where the contact piece 56 is not formed at the rear end of the movable shell 50. It can be determined to be smaller than. This is because, in the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the outer conductor size is reduced at the rear end of the movable shell 50 by reducing the size of the outer diameter of the cylinder formed of the plurality of contact pieces 56. The area in contact with the inner wall of the shell 47 can be reduced, and interference with the outer conductor shell 46 when the movable shell 50 slides in the outer conductor shell 47 can be prevented. Thereby, the movable shell 50 can be slid smoothly.

図3(b)に示されるように、中心導体プランジャ36の先端部は、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続時に、可動シェル50が外部導体シェル47内に押し込まれて摺動したことに伴って先端シェル45から露出する。露出した中心導体プランジャ36の先端部は、相手側の同軸レセプタクル2の中心端子に押し付けられて接触を維持することができる。つまり、接続時に、中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体シェル38内を奥に押し込まれて摺動することで、ばね部材34によって中心導体プランジャ36は付勢されて、その先端部を同軸レセプタクル2の中心端子に押し付けることができる。   As shown in FIG. 3B, the distal end portion of the center conductor plunger 36 is slid by the movable shell 50 being pushed into the outer conductor shell 47 when the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2 are connected. Along with this, the tip shell 45 is exposed. The exposed end portion of the center conductor plunger 36 can be pressed against the center terminal of the counterpart coaxial receptacle 2 to maintain contact. That is, at the time of connection, the center conductor plunger 36 is urged by the spring member 34 by the rear end portion of the center conductor plunger 36 being slid into the center conductor shell 38 and slid, so that the tip end portion of the center conductor plunger 36 is pushed. It can be pressed against the center terminal of the coaxial receptacle 2.

中心導体プランジャ36の先端部を同軸レセプタクル2の中心端子に押し付ける力は、中心導体シェル38内のばね部材34の応力に基づくものであるから、中心導体プランジャ36の先端部と同軸レセプタクル2との接触を安定させるためには、ばね部材34の応力を強くする必要がある。ばね部材34の応力を強くするために、ばね部材34として径の太いばねを用いることができる。   Since the force pressing the tip of the center conductor plunger 36 against the center terminal of the coaxial receptacle 2 is based on the stress of the spring member 34 in the center conductor shell 38, the tip of the center conductor plunger 36 and the coaxial receptacle 2 are In order to stabilize the contact, it is necessary to increase the stress of the spring member 34. In order to increase the stress of the spring member 34, a spring having a large diameter can be used as the spring member 34.

図3に示す本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1では、径の太いばねをばね部材34として用いた場合、ばね部材34を収容する中心導体シェル38の外径も太くなり、それに伴い、可動シェル50の外径、外部導体シェル42及び47の外径も太くすることで、同軸プローブ1のインピーダンスの整合をとることができる。また、可動シェル50の外径、外部導体シェル42及び47の内径を太くすることは、可動シェル50の径方向への揺動時に、中心導体プランジャ36や中心導体シェル38等の中心導体と可動シェル50の内壁とが接触してショートすることを防止することができる。   In the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, when a spring having a large diameter is used as the spring member 34, the outer diameter of the central conductor shell 38 that houses the spring member 34 is also increased. The impedance of the coaxial probe 1 can be matched by increasing the outer diameter of the movable shell 50 and the outer diameters of the outer conductor shells 42 and 47. Further, increasing the outer diameter of the movable shell 50 and the inner diameters of the outer conductor shells 42 and 47 are movable with the center conductors such as the center conductor plunger 36 and the center conductor shell 38 when the movable shell 50 swings in the radial direction. It is possible to prevent a short circuit due to contact with the inner wall of the shell 50.

その他の実施形態として、可動シェルと外部導体シェルとの位置関係を中外逆に構成して、外部導体シェルの外側に可動シェルを備えるように構成することができる。例えば、図3の断面図に示された本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1において、外部導体シェル47の内側にある可動シェル50を、外部導体シェル47の外側に備えるように構成を変更することができる。図示しないが、このように構成を変更した場合、可動シェル50の後端部の接触片56(又は、接触片56の内壁に設けた突起部58)は、外部導体シェル47の外壁に接触する。可動シェル50の内部に収容されたばね部材43は、可動シェル50の後端部内側の底面(後端部と中央部との間にある段部)と、外部導体シェル47の先端部との間に設けられて、先端側に向けて可動シェル50を付勢することができる。そして、外側に可動シェル50を備えた外部導体シェル47は、可動シェル50が抜けないようにするために、外壁に突起等の係止部を設けることができる。このように構成を変更した場合でも、外部導体シェル47の外壁に、可動シェル50の後端部の接触片56の内壁(又は、接触片56の内壁に設けた突起部58)が電気的に接触しつつ、可動シェル50の摺動及び揺動を可能にする。   As another embodiment, the positional relationship between the movable shell and the outer conductor shell can be reversed so that the movable shell is provided outside the outer conductor shell. For example, in the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in the cross-sectional view of FIG. 3, the configuration is changed so that the movable shell 50 inside the outer conductor shell 47 is provided outside the outer conductor shell 47. can do. Although not shown, when the configuration is changed in this way, the contact piece 56 at the rear end of the movable shell 50 (or the protrusion 58 provided on the inner wall of the contact piece 56) contacts the outer wall of the outer conductor shell 47. . The spring member 43 housed inside the movable shell 50 is located between the bottom surface inside the rear end portion of the movable shell 50 (the step portion between the rear end portion and the central portion) and the front end portion of the outer conductor shell 47. The movable shell 50 can be urged toward the distal end side. The outer conductor shell 47 provided with the movable shell 50 on the outer side can be provided with a locking portion such as a protrusion on the outer wall so that the movable shell 50 does not come off. Even when the configuration is changed in this way, the inner wall of the contact piece 56 at the rear end of the movable shell 50 (or the protrusion 58 provided on the inner wall of the contact piece 56) is electrically connected to the outer wall of the outer conductor shell 47. The movable shell 50 is allowed to slide and swing while in contact.

また、中心導体シェルと中心導体プランジャとの位置関係を中外逆に構成して、中心導体シェルの外側に中心導体プランジャを備えるように構成することもできる。例えば、図3の断面図に示された本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1において、中心導体シェル38の内側にある中心導体プランジャ36を、中心導体シェル38の外側に備えるように構成を変更することができる。図示しないが、このように構成を変更した場合、中心導体プランジャ36の後端部を中空筒状に成形し、当該後端部に弾性を有する接触片を複数設けて、当該複数の接触片(又は、当該複数の接触片の内壁にそれぞれ設けた突起部)が中心導体シェル38の外壁に接触する。中心導体プランジャ36は、中心導体シェル38の外側にあるので、中心導体シェル38の内側を空洞に成形する必要はなく、中心導体シェル38の先端部に開口部を設ける必要がない。中心導体プランジャ36の後端部の中空筒状の内側に収容されたばね部材34は、中心導体プランジャ36の後端部内側の底面と、中心導体シェル38の先端部との間に設けられて、先端側に向けて中心導体プランジャ36を付勢することができる。そして、外側に中心導体プランジャ36を備えた中心導体シェル38は、中心導体プランジャ36が抜けないようにするために、外壁に突起等の係止部を設けることができる。このように構成を変更した場合でも、中心導体シェル38の外壁に、中心導体プランジャ36の後端部に設けられた複数の接触片の内壁(又は、当該複数の接触片の内壁にそれぞれ設けた突起部)が電気的に接触しつつ、中心導体プランジャ36の摺動及び揺動を可能にする。   Further, the positional relationship between the center conductor shell and the center conductor plunger may be reversed so that the center conductor plunger is provided outside the center conductor shell. For example, in the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in the cross-sectional view of FIG. 3, the configuration is such that the center conductor plunger 36 inside the center conductor shell 38 is provided outside the center conductor shell 38. Can be changed. Although not illustrated, when the configuration is changed in this way, the rear end portion of the center conductor plunger 36 is formed into a hollow cylindrical shape, and a plurality of contact pieces having elasticity are provided at the rear end portion. Alternatively, the protrusions provided on the inner walls of the plurality of contact pieces contact the outer wall of the center conductor shell 38. Since the center conductor plunger 36 is outside the center conductor shell 38, it is not necessary to mold the inside of the center conductor shell 38 into a cavity, and it is not necessary to provide an opening at the tip of the center conductor shell 38. The spring member 34 housed inside the hollow cylindrical shape at the rear end portion of the center conductor plunger 36 is provided between the bottom surface inside the rear end portion of the center conductor plunger 36 and the front end portion of the center conductor shell 38. The central conductor plunger 36 can be biased toward the distal end side. The center conductor shell 38 provided with the center conductor plunger 36 on the outer side can be provided with a locking portion such as a protrusion on the outer wall so that the center conductor plunger 36 does not come off. Even when the configuration is changed in this way, the inner wall of the plurality of contact pieces (or the inner wall of the plurality of contact pieces provided on the rear end portion of the center conductor plunger 36 is provided on the outer wall of the center conductor shell 38, respectively. The center conductor plunger 36 can be slid and oscillated while the projection) is in electrical contact.

図4は、本発明の1つ実施形態に係る同軸プローブが径方向に揺動した様子を示す断面図である。同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクル2との中心軸に多少のずれ(例えば、0.5mm程度のずれ)が生じた場合であっても、上述したように、先端シェル45の開口部の傾斜面46に、相手側の同軸レセプタクル2の円筒状の開口部の縁が当たり、該開口部の中心に位置する中心端子に、中心導体プランジャ36の先端が案内されるように、先端シェル45を滑らせることで、図4に示されるように、可動シェル50を径方向に揺動させることができる。このような構成により、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との中心軸に多少のずれが生じた場合であっても、中心軸のずれを補正して接続を確実に行うことができる。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the coaxial probe according to one embodiment of the present invention swings in the radial direction. Even if a slight deviation (for example, a deviation of about 0.5 mm) occurs in the center axis between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2 on the other side, as described above, the inclination of the opening of the tip shell 45 is inclined. The tip shell 45 is placed so that the edge of the cylindrical opening of the counterpart coaxial receptacle 2 hits the face 46 and the tip of the central conductor plunger 36 is guided to the center terminal located at the center of the opening. By sliding, the movable shell 50 can be swung in the radial direction as shown in FIG. With such a configuration, even if a slight shift occurs in the central axis between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2, the shift can be reliably performed by correcting the shift of the central axis.

可動シェル50の径方向への揺動は、外部導体シェル47に収容された可動シェル50の後端部の外壁が外部導体シェル47の内壁に接触することで規制される。可動シェル50の後端部の外壁と外部導体シェル47の内壁と隙間(すなわち、可動シェル50の後端部の外径と外部導体シェル47の内径)を調整することで、可動シェル50の径方向への揺動の範囲を変えることができる。図4に示す本発明の一実施形態の同軸プローブ1では、可動シェル50の径方向への揺動の範囲を、中心軸から0.5mm程度とすることができる。   The swing of the movable shell 50 in the radial direction is restricted by the outer wall of the rear end portion of the movable shell 50 accommodated in the outer conductor shell 47 coming into contact with the inner wall of the outer conductor shell 47. By adjusting the gap between the outer wall of the rear end portion of the movable shell 50 and the inner wall of the outer conductor shell 47 (that is, the outer diameter of the rear end portion of the movable shell 50 and the inner diameter of the outer conductor shell 47), the diameter of the movable shell 50 is adjusted. The range of swing in the direction can be changed. In the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4, the range of the swing of the movable shell 50 in the radial direction can be set to about 0.5 mm from the central axis.

図4に示されるように、可動シェル50が径方向に揺動した場合であっても、上述したように、可動シェル50の最も太い後端部の外径よりも突出している突起部58は、接触片56の弾性力によって外部導体シェル47の内壁に常に押し付けられるので、同軸プローブ1のグランド特性を安定させることができる。また、接触片56は、上述したように、接触片56の内壁をばね部材43から遠ざけて形成し、複数の接触片56からなる円筒の内径を拡げているので、摺動時であっても接触片56の内壁は、ばね部材43と干渉しないし、接触片56の外壁を外部導体シェルの内壁から遠ざけているので同様に干渉しない。   As shown in FIG. 4, even when the movable shell 50 swings in the radial direction, as described above, the protruding portion 58 that protrudes from the outer diameter of the thickest rear end portion of the movable shell 50 is Since the contact piece 56 is always pressed against the inner wall of the outer conductor shell 47 by the elastic force of the contact piece 56, the ground characteristic of the coaxial probe 1 can be stabilized. Further, as described above, the contact piece 56 is formed with the inner wall of the contact piece 56 away from the spring member 43, and the inner diameter of the cylinder made up of the plurality of contact pieces 56 is expanded. The inner wall of the contact piece 56 does not interfere with the spring member 43 and does not interfere with the outer wall of the contact piece 56 away from the inner wall of the outer conductor shell.

さらに、中心導体プランジャ36は、可動シェル50が径方向に揺動した際に、中心導体シェル38内にある中心導体プランジャ36の後端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ36の先端部を力点(又は支点)として、弓なりに曲がる(すなわち、撓む)ように弾性を有する導電性部材で形成することができる。中心導体プランジャ36が撓んだ場合であっても、上述したように、可動シェル50の外径を太くしたことに伴い可動シェル50の内径を拡げたことにより、中心導体プランジャ36と可動シェル50の内壁とが接触してショートすることを防ぐことができる。   Further, the center conductor plunger 36 uses the rear end portion of the center conductor plunger 36 in the center conductor shell 38 as a fulcrum (or a force point) when the movable shell 50 swings in the radial direction, and an insulator in the tip shell 45. It can be formed of a conductive member having elasticity so as to bend (i.e., bend) like a bow with the tip of the central conductor plunger 36 in 44 as a force point (or fulcrum). Even when the central conductor plunger 36 is bent, as described above, the inner diameter of the movable shell 50 is increased by increasing the outer diameter of the movable shell 50, so that the central conductor plunger 36 and the movable shell 50 are increased. It is possible to prevent a short circuit from coming into contact with the inner wall of the.

このように、同軸プローブ1は、それ自体が径方向に揺動可能なように構成されているので、同軸プローブ1は、径方向に揺動可能なフローティング機構を設けた治具(フローティングユニット)を必要とせず、フローティングユニットを介さずに直接計測機器等にプローブ取付部14を用いて取り付けることができる。これにより、フローティングユニットを用いた際に生じ得る問題、すなわち、検査用同軸プローブに接続された同軸ケーブルの重みで、フローティングユニットが初めから傾いた状態で検査用同軸プローブを保持してしまい、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に中心軸のずれを適切に補正できない問題を解消することができる。   Thus, since the coaxial probe 1 itself is configured to be swingable in the radial direction, the coaxial probe 1 is a jig (floating unit) provided with a floating mechanism that can swing in the radial direction. Can be directly attached to a measuring instrument or the like using the probe attachment portion 14 without using a floating unit. This causes a problem that may occur when using the floating unit, that is, the weight of the coaxial cable connected to the inspection coaxial probe holds the inspection coaxial probe in a state where the floating unit is tilted from the beginning. It is possible to solve the problem that the deviation of the central axis cannot be properly corrected when connecting to the coaxial receptacle on the side.

さらに、本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1は、同軸プローブ1全体をフロートさせる様な比較大きなフローティングユニットを用いる必要がないので、同軸プローブ1を複数用いる場合に、同軸プローブ1を取り付ける間隔を狭くして、測定機器等に直接取り付けることができる。つまり、同軸プローブ1に近接させて別の同軸プローブ1を取り付けることができる。これにより、自動検査ラインにおいてより効率的に電子機器等の電気的特性を測定することができる。   Furthermore, the coaxial probe 1 according to an embodiment of the present invention does not require the use of a comparatively large floating unit that floats the entire coaxial probe 1. Therefore, when a plurality of coaxial probes 1 are used, the interval at which the coaxial probes 1 are attached. Can be directly attached to measuring equipment. That is, another coaxial probe 1 can be attached close to the coaxial probe 1. Thereby, the electrical characteristics of an electronic device etc. can be measured more efficiently in an automatic inspection line.

図5は、本発明の別の実施形態に係る同軸プローブの断面図である。図5に示す実施形態では、中心導体プランジャ36の後端部に、球状の揺動部37がスリットで弾性を有して設けられている。図5に示されるように、可動シェル50の径方向への揺動に伴って、中心導体プランジャ36は、揺動部37を支点として径方向に揺動することができる。このように構成した場合でも、上述したような本発明の作用効果を達成することができる。   FIG. 5 is a cross-sectional view of a coaxial probe according to another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 5, a spherical rocking portion 37 is provided at the rear end portion of the center conductor plunger 36 with elasticity by a slit. As shown in FIG. 5, as the movable shell 50 swings in the radial direction, the central conductor plunger 36 can swing in the radial direction with the swinging portion 37 as a fulcrum. Even when configured in this manner, the above-described effects of the present invention can be achieved.

図6は、本発明のさらに別の実施形態に係る同軸プローブの断面図である。図6に示す実施形態では、図3から5に示す実施形態とは異なり、可動シェルとばね部材との位置関係を中外逆に構成して、可動シェル51の外側にばね部材48を備える。このように、可動外部導体(可動シェル51)の弾性を付与するばね部材48の配置位置を可動シェル51の外側下方にしたことにより、接触片56とばね部材48を完全に隔離することができ、互いの干渉を防止することができる。可動シェル51は、外部導体シェル49と可動シェル50の外壁に設けられた突起部59との間に介在するばね部材48の弾性によって、外部導体シェル60と外部導体シェル49とが結合された外部導体シェル内を摺動することができる。   FIG. 6 is a cross-sectional view of a coaxial probe according to still another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 6, unlike the embodiments shown in FIGS. 3 to 5, the positional relationship between the movable shell and the spring member is reversed so that the spring member 48 is provided outside the movable shell 51. As described above, the arrangement position of the spring member 48 that gives the elasticity of the movable outer conductor (movable shell 51) is set to the lower outside of the movable shell 51, whereby the contact piece 56 and the spring member 48 can be completely isolated. , Mutual interference can be prevented. The movable shell 51 has an external conductor shell 60 and an external conductor shell 49 coupled to each other by the elasticity of the spring member 48 interposed between the external conductor shell 49 and the protrusion 59 provided on the outer wall of the movable shell 50. It can slide in the conductor shell.

可動シェル51の突起部59の外径と外部導体シェル60の内径の隙間は、中心導体プランジャ36の外径と中心導体シェル38の内径の隙間よりも大きく、可動シェル51は、径方向に揺動することができる。可動シェル51の径方向への揺動の際に、中心導体プランジャ36は、中心導体シェル38との隙間は僅かであり、がたつくことなく中心導体シェル38内に摺動可能に収容されていることから、中心導体シェル38内にある中心導体プランジャ36の後端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ36の先端部を力点(又は支点)として撓むことになる。このように構成した場合でも、上述したような本発明の作用効果を達成することができる。   The gap between the outer diameter of the protrusion 59 of the movable shell 51 and the inner diameter of the outer conductor shell 60 is larger than the gap between the outer diameter of the center conductor plunger 36 and the inner diameter of the center conductor shell 38, and the movable shell 51 swings in the radial direction. Can move. When the movable shell 51 swings in the radial direction, the center conductor plunger 36 has a slight gap with the center conductor shell 38 and is slidably accommodated in the center conductor shell 38 without rattling. Thus, the rear end portion of the center conductor plunger 36 in the center conductor shell 38 is set as a fulcrum (or force point), and the end portion of the center conductor plunger 36 in the insulator 44 in the tip shell 45 is bent as a force point (or fulcrum). It will be. Even when configured in this manner, the above-described effects of the present invention can be achieved.

本発明に係る同軸プローブは、携帯電話、スマートフォンのような携帯通信機器等の電子機器のアンテナ特性や高周波特性等の電気的特性を測定する分野において利用することができる。   The coaxial probe according to the present invention can be used in the field of measuring electrical characteristics such as antenna characteristics and high-frequency characteristics of electronic devices such as mobile communication devices such as mobile phones and smartphones.

1 同軸プローブ
2 同軸レセプタクル
10 プローブ固定部
12 同軸ケーブル嵌合部
14 プローブ取付部
20 絶縁体
30 中心導体
32 中心導体ソケット
34 ばね部材
36 中心導体プランジャ
37 揺動部
38 中心導体シェル
40 可動部
41 絶縁体
42 外部導体シェル
43 ばね部材
44 絶縁体
45 先端シェル
46 テーパー部
47 外部導体シェル
48 ばね部材
49 外部導体シェル
50 可動シェル
51 可動シェル
52 ストローク管理溝
54 ストローク管理端
56 接触片
58 突起部
59 突起部
60 外部導体シェル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coaxial probe 2 Coaxial receptacle 10 Probe fixing | fixed part 12 Coaxial cable fitting part 14 Probe attachment part 20 Insulator 30 Center conductor 32 Center conductor socket 34 Spring member 36 Center conductor plunger 37 Swing part 38 Center conductor shell 40 Movable part 41 Insulation Body 42 External conductor shell 43 Spring member 44 Insulator 45 Tip shell 46 Tapered portion 47 External conductor shell 48 Spring member 49 External conductor shell 50 Movable shell 51 Movable shell 52 Stroke management groove 54 Stroke management end 56 Contact piece 58 Protrusion 59 Protrusion Part 60 outer conductor shell

Claims (14)

後端に嵌合部を有する固定外部導体と、
前記固定外部導体の軸方向に摺動可能な状態で後端部が取り付けられた円筒状の可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体の先端側に向けて付勢する第1のばね部材と、
前記固定外部導体内の第1の絶縁体によって、中心軸上に固定された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体の前記嵌合部が備える固定中心導体と、
前記固定中心導体の軸方向に摺動可能な状態で後端部が取り付けられた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心端子との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体の先端側に向けて付勢する第2のばね部材と、
を含み、
前記可動外部導体は、径方向に揺動可能に構成され、
前記可動外部導体の先端部には、前記可動中心導体の先端部との離間距離を保つための第2の絶縁体が内部に配置され、
前記可動外部導体の後端部には、弾性を有する複数の接触片が形成され、
前記接触片は、その弾性により、前記固定外部導体の壁に接触した状態で、前記固定外部導体に取り付けられ、
前記可動外部導体が径方向に揺動した場合に、前記接触片の少なくとも1つは前記固定外部導体の壁に接触していることを特徴とする同軸プローブ。
A fixed outer conductor having a fitting portion at the rear end;
A cylindrical movable outer conductor having a rear end attached thereto in a slidable state in the axial direction of the fixed outer conductor;
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor toward the distal end side of the fixed outer conductor;
A central conductor fixed on a central axis by a first insulator in the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed central conductor provided in the fitting portion of the fixed outer conductor;
A movable central conductor having a rear end attached thereto in a slidable state in the axial direction of the fixed central conductor;
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center terminal and biasing the movable center conductor toward the distal end side of the fixed center conductor;
Including
The movable outer conductor is configured to be swingable in a radial direction,
At the tip of the movable outer conductor, a second insulator for keeping a distance from the tip of the movable center conductor is disposed inside,
A plurality of contact pieces having elasticity are formed at the rear end of the movable outer conductor,
The contact piece is attached to the fixed outer conductor due to its elasticity, in contact with the wall of the fixed outer conductor,
The coaxial probe according to claim 1, wherein when the movable outer conductor swings in a radial direction, at least one of the contact pieces is in contact with a wall of the fixed outer conductor.
前記複数の接触片のそれぞれの厚さは、前記可動シェルの後端部において前記接触片が形成されていない部分の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の同軸プローブ。   2. The coaxial probe according to claim 1, wherein a thickness of each of the plurality of contact pieces is smaller than a thickness of a portion where the contact pieces are not formed at a rear end portion of the movable shell. 前記可動端子は、前記中心導体内に配置され、
前記固定外部導体の先端に設けられた開口部から、前記可動端子の後端部以外の部分を挿通させることを特徴とする請求項1又は2に記載の同軸プローブ。
The movable terminal is disposed in the central conductor;
3. The coaxial probe according to claim 1, wherein a portion other than a rear end portion of the movable terminal is inserted through an opening provided at a tip of the fixed outer conductor.
前記第1のばね部材は、前記可動端子の内側に配置されたことを特徴とする請求項3に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to claim 3, wherein the first spring member is disposed inside the movable terminal. 前記複数の接触片からなる円筒の内径は、前記可動シェルの後端部において前記接触片が形成されていない部分の内径よりも大きいことを特徴とする請求項4に記載の同軸プローブ。   5. The coaxial probe according to claim 4, wherein an inner diameter of the cylinder including the plurality of contact pieces is larger than an inner diameter of a portion where the contact pieces are not formed at a rear end portion of the movable shell. 前記第1のばね部材は、前記可動端子の外側に配置されたことを特徴とする請求項3に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to claim 3, wherein the first spring member is disposed outside the movable terminal. 前記複数の接触片のそれぞれの端部には、前記可動シェルの後端部における最も太い部分の外径よりも突出した突起部が形成されていることを特徴とする請求項3から6のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   7. The protrusion portion protruding from the outer diameter of the thickest portion of the rear end portion of the movable shell is formed at each end portion of the plurality of contact pieces. The coaxial probe according to claim 1. 前記複数の接触片からなる円筒の外径は、前記可動シェルの後端部における最も太い部分の外径よりも小さいことを特徴する請求項7に記載の同軸プローブ。   8. The coaxial probe according to claim 7, wherein an outer diameter of a cylinder made of the plurality of contact pieces is smaller than an outer diameter of a thickest portion at a rear end portion of the movable shell. 前記固定外部導体の開口部から露出した前記可動外部導体の中央部の外壁に、前記可動外部導体の摺動距離を表す目印となる1以上の溝を設けたことを特徴とする特徴とする請求項3から8のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   The center wall of the movable outer conductor exposed from the opening of the fixed outer conductor is provided with one or more grooves serving as marks representing the sliding distance of the movable outer conductor. Item 9. The coaxial probe according to any one of Items 3 to 8. 前記可動端子は、前記中心導体の外側に配置されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to claim 1, wherein the movable terminal is disposed outside the center conductor. 前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の内側に配置されたことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to any one of claims 1 to 10, wherein a rear end portion of the movable center conductor is disposed inside the fixed center conductor. 前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の外側に配置されたことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to any one of claims 1 to 10, wherein a rear end portion of the movable center conductor is disposed outside the fixed center conductor. 前記可動中心導体は、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記中心導体シェル内にある前記中心導体プランジャの後端部を支点又は力点とし、前記先端シェルにおける前記第2の絶縁体の孔に挿通された前記可動中心導体の先端部を力点又は支点として撓むことを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   When the movable outer conductor swings in the radial direction, the movable center conductor has a rear end portion of the center conductor plunger in the center conductor shell as a fulcrum or a force point, and the second insulation in the tip shell. The coaxial probe according to any one of claims 1 to 12, wherein the coaxial probe is bent with a distal end portion of the movable central conductor inserted through a hole of a body as a force point or a fulcrum. 前記可動中心導体の後端部に、球状の摺動部を備え、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記可動中心導体は、前記揺動部を支点として径方向に揺動することを特徴とする請求項11に記載の同軸プローブ。   A spherical sliding part is provided at the rear end of the movable center conductor, and when the movable outer conductor swings in the radial direction, the movable center conductor swings in the radial direction with the swinging part as a fulcrum. The coaxial probe according to claim 11.
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