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JP2019032267A - Coaxial probe - Google Patents

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JP2019032267A
JP2019032267A JP2017154126A JP2017154126A JP2019032267A JP 2019032267 A JP2019032267 A JP 2019032267A JP 2017154126 A JP2017154126 A JP 2017154126A JP 2017154126 A JP2017154126 A JP 2017154126A JP 2019032267 A JP2019032267 A JP 2019032267A
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fixed
rear end
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亮 古山
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亮 古山
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Hirose Electric Co Ltd
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Hirose Electric Co Ltd
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    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
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Abstract

To solve the problem that a variable stub (a part in which a signal transmission line is branched) preventing measurement of a high-frequency signal can occur although deviation of a center axis from that of a coaxial receptacle in a counterpart side can be corrected and smooth connection is realized by rocking a movable external conductor in a tip side and a movable central conductor within the movable external conductor in the radial direction in a conventional inspection coaxial probe.SOLUTION: By providing an insulating regulation part for regulating sliding of a movable central conductor in a tip direction in a fixed external conductor such that a rear end part of the movable central conductor does not slip from an opening of a fixed central conductor, an edge part of the opening of the fixed central conductor that can cause a variable stub is allowed to project to avoid a configuration for locking the rear end part of the variable central conductor, thus providing a coaxial probe capable of preventing generation of a stub for variably branching a transmission line length of a high-frequency signal.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、携帯通信機器の電気的特性の測定・検査等を行う検査用プローブに使用される同軸プローブに関する。具体的には、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に、同軸プローブの先端側の可動外部導体及び該可動外部導体内の可動中心導体を径方向に揺動させることで、互いの中心軸のずれを補正し、スムーズに接続することができる同軸プローブであって、高周波信号の測定の妨げとなるスタブ(信号の伝送経路が枝分れした部分)の影響を最低限にする構造を備えた同軸プローブに関する。   The present invention relates to a coaxial probe used for an inspection probe that performs measurement / inspection of electrical characteristics of a portable communication device. Specifically, when connecting to the coaxial receptacle on the other side, the movable outer conductor on the distal end side of the coaxial probe and the movable central conductor in the movable outer conductor are oscillated in the radial direction so that the central axes of the coaxial probes A coaxial probe that can be connected smoothly and has a structure that minimizes the effects of stubs (parts where the signal transmission path is branched) that hinders the measurement of high-frequency signals. Related to the coaxial probe.

携帯電話、スマートフォンのような携帯通信機器等の電子機器には、アンテナ特性や高周波特性等の電気的特性を測定するために使用する検査用の小さな同軸レセプタクルが備えられており、当該同軸レセプタクルに検査用同軸プローブを接続することで、電子機器の電気的特性を測定することができる。検査用同軸プローブを差し込まれた同軸レセプタクルは、電子機器内を流れる電気信号の出力先を、検査用同軸プローブの中心端子に出力されるように切換えることができ、検査用同軸プローブに接続された計測機器によって電子機器における高周波回路の高周波特性等の電気的特性を測定することができる。   Electronic devices such as mobile communication devices such as mobile phones and smartphones are equipped with small coaxial receptacles for inspection used for measuring electrical characteristics such as antenna characteristics and high frequency characteristics. By connecting a coaxial probe for inspection, the electrical characteristics of the electronic device can be measured. The coaxial receptacle into which the inspection coaxial probe is inserted can be switched so that the output destination of the electrical signal flowing in the electronic device is output to the center terminal of the inspection coaxial probe, and is connected to the inspection coaxial probe. Electrical characteristics such as high-frequency characteristics of a high-frequency circuit in an electronic device can be measured by a measuring device.

このような電気的特性の測定は、検査用同軸プローブが取り付けられた検査装置を用いて、自動検査ラインによって順次運ばれてくる検査対象である電子機器に対して、自動的に行われている。自動検査ラインで用いられる検査用同軸プローブの従来例の1つとして、特開2016‐125841号公報(特許文献1)には、同軸プローブの先端側の可動外部導体(可動シェル及び先端シェル)及び該可動外部導体内の中心導体を径方向に揺動可能にし、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に、互いの中心軸のずれを補正し、スムーズに接続することができる検査用同軸プローブが開示されている。   Such measurement of electrical characteristics is automatically performed on an electronic device to be inspected that is sequentially carried by an automatic inspection line using an inspection apparatus to which a coaxial probe for inspection is attached. . As one example of a conventional coaxial probe for inspection used in an automatic inspection line, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2016-125841 (Patent Document 1) describes a movable external conductor (movable shell and distal shell) on the distal end side of a coaxial probe, and A coaxial probe for inspection which can be connected smoothly by correcting the deviation of the central axes of each other when the central conductor in the movable outer conductor can be swung in the radial direction and connected to the coaxial receptacle on the other side. Is disclosed.

上記従来例では、同軸プローブと相手側の同軸レセプタクルとの中心軸に多少のずれ(例えば、0.5mm程度のずれ)が生じた場合であっても、同軸プローブの先端シェルの開口部の傾斜面に、相手側の同軸レセプタクルの円筒状の開口部の縁が当たり、該開口部の中心に位置する中心端子に、中心導体プランジャの先端が案内されるように、先端シェルを滑らせることで、可動シェルを径方向に揺動させることができる。このような構成により、同軸プローブと同軸レセプタクルとの中心軸に多少のずれが生じた場合であっても、中心軸のずれを補正して接続を確実に行うことができる。   In the above conventional example, even if there is a slight deviation (for example, a deviation of about 0.5 mm) between the center axes of the coaxial probe and the counterpart coaxial receptacle, the inclination of the opening of the tip shell of the coaxial probe is inclined. By sliding the tip shell so that the edge of the cylindrical opening of the counterpart coaxial receptacle hits the surface and the tip of the center conductor plunger is guided to the center terminal located at the center of the opening The movable shell can be swung in the radial direction. With such a configuration, even when a slight deviation occurs in the central axis between the coaxial probe and the coaxial receptacle, the connection can be reliably performed by correcting the deviation of the central axis.

特開平2016−125841号公報Japanese Patent Laid-Open No. 16-125841

上記従来例の検査用同軸プローブでは、固定外部導体である外部導体シェルの内部に固定中心導体を構成する中心導体シェルが設けられ、可動外部導体である可動シェル及び先端シェルの内部に可動中心導体を構成する中心導体プランジャが設けられている。中心導体プランジャは、最も太い後端部を除いて、中心導体シェルの先端部から露出するように、中心導体シェルの先端面には、中心導体プランジャを通すための開口部が設けられている。開口部の縁部分は、中心導体プランジャの最も太い後端部を係止するように中心導体シェルの先端部の内壁から突出した係止部として構成されている。つまり、開口部の縁部分の内径は、中心導体シェルの内径よりも小さく構成されている。   In the above-described conventional coaxial probe for inspection, the center conductor shell constituting the fixed center conductor is provided inside the outer conductor shell, which is the fixed outer conductor, and the movable center conductor is provided inside the movable shell, which is the movable outer conductor, and the tip shell. A central conductor plunger is provided. The center conductor plunger is provided with an opening for allowing the center conductor plunger to pass through so as to be exposed from the tip of the center conductor shell except for the thickest rear end. The edge portion of the opening is configured as a locking portion protruding from the inner wall of the front end portion of the center conductor shell so as to lock the thickest rear end portion of the center conductor plunger. That is, the inner diameter of the edge portion of the opening is configured to be smaller than the inner diameter of the central conductor shell.

このような構成により、上記従来例の検査用同軸プローブは、相手側の同軸レセプタクルと接続した際に、中心導体プランジャ(可動中心導体)の後端部は、中心導体シェル(固定中心導体)内を奥に押し込まれて摺動することで、固定中心導体の後端部と開口部の縁部分との間に隙間が生じる。当該隙間が生じたことにより、高周波信号の伝送経路は2つの経路、すなわち、可動中心導体の後端部からそのまま固定中心導体に流れる経路、及び可動中心導体から係止部として突出した開口部の縁部分を経由して固定中心導体へ流れる経路に分岐した伝送経路(スタブ)が生じることになる。このようなスタブは、極力少なくすることが好ましい。特に、分岐した伝送経路長の変化、すなわち、スタブ量の変化があるとスタブを事前に考慮した設計が困難になり、高周波特性等の電気的特性を測定する際に悪影響を及ぼし、正確に電子機器における高周波回路の特性を測定することができないという問題が生じる。   With such a configuration, when the coaxial probe for inspection of the above conventional example is connected to the coaxial receptacle on the other side, the rear end portion of the center conductor plunger (movable center conductor) is in the center conductor shell (fixed center conductor). Is pushed into the back and slides to create a gap between the rear end of the fixed center conductor and the edge of the opening. Due to the occurrence of the gap, the transmission path of the high-frequency signal has two paths, that is, a path that flows from the rear end portion of the movable center conductor to the fixed center conductor, and an opening protruding as a locking portion from the movable center conductor. A transmission path (stub) branched to the path flowing to the fixed center conductor via the edge portion is generated. Such stubs are preferably reduced as much as possible. In particular, a change in the length of a branched transmission path, that is, a change in the amount of stubs makes it difficult to design in consideration of stubs in advance, which adversely affects the measurement of electrical characteristics such as high-frequency characteristics and accurately electronically There arises a problem that the characteristics of the high-frequency circuit in the device cannot be measured.

このような問題を解決するために、固定中心導体と、当該固定中心導体の軸方向に後端部が摺動可能な状態で収められた可動中心導体と、固定中心導体及び可動中心導体を内部に収容した外部導体シェル(固定外部導体)と、当該固定外部導体の軸方向に後端部が摺動可能な状態で収められた可動シェル(可動外部導体)とを更に含む同軸プローブにおいて、固定中心導体は先端側の開口部に向けて弾性を有して延びる複数の当接片を備え、先端側の開口部を絞り込むように、当該複数の当接片を内側に突出させた当接部を形成することで、固定中心導体の先端側の開口部の周辺部分と可動中心導体の後端部とが互いに強く接触し、可動中心導体の後端部が固定中心導体の開口部から抜けないように、可動中心導体の先端方向への摺動を規制する絶縁性の規制部を固定外部導体(一実施形態では、中間導体)に設けることで、高周波信号の伝送経路を分岐させるようなスタブの原因となり得る固定中心導体の開口部の縁部分を突出させて可動中心導体の後端部を係止する構成(つまり、固定中心導体と可動中心導体とを突起により係止するような構成)を回避することが可能な同軸プローブを提供する。   In order to solve such a problem, the fixed center conductor, the movable center conductor in which the rear end portion is slidable in the axial direction of the fixed center conductor, and the fixed center conductor and the movable center conductor are provided inside. Fixed in a coaxial probe further including an outer conductor shell (fixed outer conductor) housed in a housing and a movable shell (movable outer conductor) housed in a state in which the rear end portion is slidable in the axial direction of the fixed outer conductor. The central conductor includes a plurality of contact pieces extending elastically toward the opening on the front end side, and a contact portion in which the plurality of contact pieces protrudes inward so as to narrow down the opening on the front end side. By forming this, the peripheral portion of the opening on the front end side of the fixed center conductor and the rear end of the movable center conductor are in strong contact with each other, and the rear end of the movable center conductor does not come out of the opening of the fixed center conductor. The sliding of the movable central conductor in the tip direction is restricted Providing an insulating restricting part on the fixed outer conductor (in one embodiment, an intermediate conductor), protruding the edge part of the opening of the fixed central conductor that can cause a stub that branches the transmission path of the high-frequency signal Thus, a coaxial probe capable of avoiding the configuration in which the rear end portion of the movable center conductor is locked (that is, the configuration in which the fixed center conductor and the movable center conductor are locked by the protrusion) can be avoided.

本発明に係る同軸プローブの1つの実施形態として、同軸プローブは、
固定外部導体と、
前記固定外部導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備え、該後端部に形成された弾性を有する複数の接触片によって径方向に揺動可能に構成された可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体から離れるように付勢する第1ばね部材と、
前記固定外部導体の中心軸上に配置された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体内に設けられた第1絶縁体で支持され、先端側に複数の接触片を備えた固定中心導体と、
前記固定中心導体の前記複数の当接片に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備えた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心導体との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体から離れるように付勢する第2ばね部材と、
を含み、
前記固定中心導体は、軸方向に沿って先端側の開口部に向けて弾性を有して延びる前記複数の当接片を備え、前記複数の当接片は内側に突出する当接部が形成され、
前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の前記複数の当接片に接触し、
前記固定外部導体は、前記可動中心導体の後端部が前記固定中心導体の開口部から抜けないように、前記可動中心導体の先端方向への移動を規制する絶縁性の規制部を備えたことを特徴とする。
As one embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the coaxial probe is:
A fixed outer conductor;
A movable external device having a rear end portion in contact with the fixed outer conductor in an axially slidable state and configured to be swingable in a radial direction by a plurality of elastic contact pieces formed at the rear end portion. Conductors,
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor away from the fixed outer conductor;
A central conductor disposed on a central axis of the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed center conductor supported by a first insulator provided in the fixed outer conductor and provided with a plurality of contact pieces on the tip side;
A movable center conductor having a rear end portion in contact with the plurality of contact pieces of the fixed center conductor in an axially slidable state; and
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center conductor and biasing the movable center conductor away from the fixed center conductor;
Including
The fixed center conductor includes the plurality of contact pieces extending elastically toward the opening on the distal end side along the axial direction, and the contact pieces that project inwardly form the plurality of contact pieces. And
A rear end portion of the movable center conductor is in contact with the plurality of contact pieces of the fixed center conductor,
The fixed outer conductor includes an insulating restricting portion that restricts movement of the movable center conductor in a distal direction so that a rear end portion of the movable center conductor does not come out of an opening of the fixed center conductor. It is characterized by.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記規制部は、前記可動中心導体の後端部以外の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成され、
前記規制部は、前記第2ばね部材によって前記固定中心導体から離れるように付勢される前記可動中心導体の後端部の移動を、前記底部によって前記固定中心導体の開口部から抜けないように規制し、
前記固定中心導体の開口部を含む先端部分は、前記規制部内に収められ、前記先端部分の側面は、前記規制部の内面に近接して対向又は接触することで、前記固定中心導体の開口部が拡がることを規制するように構成されたことを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the restricting portion is formed in a cylindrical shape having a bottom portion including a hole through which a portion other than the rear end portion of the movable central conductor passes.
The restricting portion prevents the movement of the rear end portion of the movable center conductor biased away from the fixed center conductor by the second spring member from being removed from the opening of the fixed center conductor by the bottom portion. Regulate,
A front end portion including the opening of the fixed center conductor is housed in the restricting portion, and a side surface of the front end portion is opposed to or in contact with an inner surface of the restricting portion, so that the opening of the fixed center conductor It is characterized by being configured to restrict the spread of the.

本発明に係る同軸プローブの別の実施形態として、同軸プローブは、
固定外部導体と、
前記固定外部導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備え、該後端部に形成された弾性を有する複数の接触片によって径方向に揺動可能に構成された可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体から離れるように付勢する第1ばね部材と、
前記固定外部導体の中心軸上に配置された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体内に設けられた第1絶縁体で支持された固定中心導体と、
前記固定中心導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した、弾性を有する複数の当接片を後端側に備えた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心導体との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体から離れるように付勢する第2ばね部材と、
を含み、
前記可動中心導体は、軸方向に沿って後端側の開口部に向けて弾性を有して延びる前記複数の当接片を備え、前記複数の当接片は内側に突出する当接部が形成され、
前記固定中心導体の先端部は、前記可動中心導体の前記複数の当接片に接触し、
前記可動中心導体は、前記固定外部導体の先端部が前記可動中心導体の開口部から抜けないように、前記可動中心導体の先端方向への移動を規制する絶縁性の規制部を備えたことを特徴とする。
As another embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the coaxial probe is:
A fixed outer conductor;
A movable external device having a rear end portion in contact with the fixed outer conductor in an axially slidable state and configured to be swingable in a radial direction by a plurality of elastic contact pieces formed at the rear end portion. Conductors,
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor away from the fixed outer conductor;
A central conductor disposed on a central axis of the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed center conductor supported by a first insulator provided in the fixed outer conductor;
A movable center conductor provided with a plurality of elastic contact pieces on the rear end side, in contact with the fixed center conductor in an axially slidable state,
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center conductor and biasing the movable center conductor away from the fixed center conductor;
Including
The movable center conductor includes the plurality of contact pieces extending elastically toward the rear end side opening along the axial direction, and the contact pieces projecting inward are provided on the plurality of contact pieces. Formed,
The distal end portion of the fixed center conductor is in contact with the plurality of contact pieces of the movable center conductor,
The movable center conductor includes an insulating regulating portion that regulates movement of the movable center conductor in a distal direction so that a distal end portion of the fixed outer conductor does not come out of an opening of the movable center conductor. Features.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記第1絶縁体は、前記固定中心導体の後端側の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成され、
前記可動中心導体の前記複数の当接片の先端部分は、前記第1絶縁体内に収められ、前記先端部分の側面は、前記第1絶縁体の内面に近接して対向又は接触することで、前記可動中心導体の前記複数の当接片が拡がることを規制するように構成されたことを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the first insulator is formed in a cylindrical shape having a bottom including a hole through which a portion on the rear end side of the fixed center conductor passes.
The tip portions of the plurality of contact pieces of the movable central conductor are housed in the first insulator, and the side surfaces of the tip portions are opposed to or in contact with the inner surface of the first insulator, The plurality of contact pieces of the movable central conductor are configured to be restricted from spreading.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記固定外部導体は筒状の中間導体を含み、
前記中間導体は、前記規制部を後端側の筒部分に保持することを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the fixed outer conductor includes a cylindrical intermediate conductor,
The intermediate conductor is characterized in that the restricting portion is held in a cylinder portion on the rear end side.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動外部導体は、前記固定外部導体の先端に設けられた開口部から、前記可動外部導体の後端部以外の部分を挿通させることを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the movable outer conductor is inserted through a portion other than a rear end portion of the movable outer conductor from an opening provided at a tip of the fixed outer conductor. To do.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動外部導体の前記複数の接触片は、弾性により、前記固定外部導体に含まれる前記中間導体の内壁に押し当てられ、
前記可動外部導体が径方向に揺動した場合に、前記複数の接触片の少なくとも1つは前記中間導体の内壁に接触していることを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the plurality of contact pieces of the movable outer conductor are pressed against the inner wall of the intermediate conductor included in the fixed outer conductor by elasticity,
When the movable outer conductor swings in the radial direction, at least one of the plurality of contact pieces is in contact with the inner wall of the intermediate conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記第1ばね部材は、前記可動中心導体の外側に配置されたことを特徴する。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the first spring member is arranged outside the movable central conductor.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記可動外部導体の前記複数の接触片のそれぞれの端部には、前記可動外部導体の後端部の外径よりも突出した突起部が形成されていることを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, each end of each of the plurality of contact pieces of the movable outer conductor is formed with a protrusion protruding beyond the outer diameter of the rear end of the movable outer conductor. It is characterized by.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記固定外部導体の開口部から露出した前記可動外部導体の中央部の外壁に、前記可動外部導体の摺動距離を表す目印となる1以上の溝を設けたことを特徴とする。   As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, one or more grooves serving as marks representing the sliding distance of the movable outer conductor are formed on the outer wall of the central portion of the movable outer conductor exposed from the opening of the fixed outer conductor. Is provided.

本発明に係る同軸プローブの好ましい実施形態として、前記固定中心導体は、中心導体シェルを含み、
前記可動中心導体は、中心導体プランジャを含み、
前記可動外部導体は、先端シェルを含み、
前記可動中心導体は、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記中心導体シェル内にある前記中心導体プランジャの後端部を支点又は力点とし、前記先端シェルにおける前記第2の絶縁体の孔に挿通された前記可動中心導体の先端部を力点又は支点として撓むことを特徴とする。
As a preferred embodiment of the coaxial probe according to the present invention, the fixed center conductor includes a center conductor shell,
The movable central conductor includes a central conductor plunger;
The movable outer conductor includes a tip shell;
When the movable outer conductor swings in the radial direction, the movable center conductor has a rear end portion of the center conductor plunger in the center conductor shell as a fulcrum or a force point, and the second insulation in the tip shell. The tip of the movable central conductor inserted through the hole of the body is bent as a force point or a fulcrum.

本発明の1つの実施形態に係る同軸プローブは、固定中心導体の先端側の開口部から軸方向に沿って後端側に延びるスリットを入れて、固定中心導体に弾性変位可能な複数の当接片を形成し、該複数の当接片の内側に、内側に突出する当接部を設けたことで、固定中心導体の先端側の開口部の周辺部分と可動中心導体の後端部とが確実に接触し、可動中心導体の後端部が固定中心導体の開口部から抜けないように、可動中心導体の先端方向への摺動を規制する規制部を固定外部導体に含まれる中間導体に設けることで、高周波信号の伝送経路長を可変的に分岐させるようなスタブの原因となり得る固定中心導体の開口部の縁部分を突出させて可動中心導体の後端部を係止する構成を回避することができる。   A coaxial probe according to an embodiment of the present invention includes a plurality of abutments that are elastically displaceable to the fixed center conductor by inserting slits extending from the opening on the front end side of the fixed center conductor to the rear end side along the axial direction. By forming a piece and providing a contact portion projecting inward inside the plurality of contact pieces, the peripheral portion of the opening on the front end side of the fixed center conductor and the rear end portion of the movable center conductor are The intermediate conductor included in the fixed outer conductor has a restricting part that restricts the sliding of the movable center conductor in the tip direction so that the rear end of the movable center conductor does not come out of the opening of the fixed center conductor. By providing, avoid the configuration of locking the rear end of the movable center conductor by protruding the edge of the opening of the fixed center conductor, which can cause stubs that variably branch the transmission path length of the high-frequency signal can do.

本発明の一実施形態に係る同軸プローブの部品構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the components structure of the coaxial probe which concerns on one Embodiment of this invention. 同軸プローブの先端部が相手側の同軸レセプタクルに接触した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which the front-end | tip part of the coaxial probe contacted the other party coaxial receptacle. 図2に示した状態から同軸プローブを押し込んで、同軸プローブと相手側の同軸レセプタクルとが接続された様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that the coaxial probe was pushed in from the state shown in FIG. 2, and the coaxial probe and the other party coaxial receptacle were connected. 同軸プローブの先端部が相手側の同軸レセプタクルに中心軸がずれて接触した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which the center axis | shaft shifted and contacted the coaxial receptacle of the other party with the front-end | tip part of the coaxial probe. 図4に示した状態から同軸プローブを押し込んで、同軸プローブの可動シェルが径方向に揺動した様子を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state where a coaxial probe is pushed in from the state illustrated in FIG. 4 and a movable shell of the coaxial probe swings in a radial direction. 同軸プローブの中心導体プランジャの構成を変えた別の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another embodiment which changed the structure of the center conductor plunger of a coaxial probe.

以下に図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。なお、実施の形態を説明するための全ての図において、同一部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiment, and the repetitive description thereof will be omitted.

図1は、本発明の一実施形態に係る同軸プローブの部品構成を示す分解図である。電子機器等の電気的特性の測定・検査用の同軸プローブ1は、計測器(図示せず)に接続された同軸ケーブルを嵌合接続するプローブ固定部10と、中心導体30と、摺動部40とに大まかに分けることができる。プローブ固定部10、中心導体30及び摺動部40は、好ましくは軸方向に延在する円筒状の部材であるが、軸方向に延在する部材の形状として、円筒状以外の形状を採用することも可能である。ここで、同軸プローブ1を構成する各部材の説明の際に、同軸プローブ1の先端方向の部分を下部とし、後端方向の部分を上部として表現することもある。   FIG. 1 is an exploded view showing a component configuration of a coaxial probe according to an embodiment of the present invention. A coaxial probe 1 for measuring / inspecting electrical characteristics of an electronic device or the like includes a probe fixing portion 10 for fitting and connecting a coaxial cable connected to a measuring instrument (not shown), a center conductor 30, and a sliding portion. It can be roughly divided into 40. The probe fixing portion 10, the central conductor 30, and the sliding portion 40 are preferably cylindrical members extending in the axial direction, but shapes other than the cylindrical shape are adopted as the shapes of the members extending in the axial direction. It is also possible. Here, in the description of each member constituting the coaxial probe 1, a portion in the front end direction of the coaxial probe 1 may be expressed as a lower portion and a portion in the rear end direction may be expressed as an upper portion.

プローブ固定部10は、軸方向に延在する中空筒状の部材であり、上部に嵌合部12、嵌合部12よりも下部にプローブ取付部14を備えている。プローブ固定部10は、導電性材料からなる外部導体として機能する。   The probe fixing portion 10 is a hollow cylindrical member extending in the axial direction, and includes a fitting portion 12 at an upper portion and a probe attachment portion 14 at a lower portion than the fitting portion 12. The probe fixing part 10 functions as an outer conductor made of a conductive material.

嵌合部12は、円筒状の形状であり、その外周表面に計測機器に接続される同軸ケーブルと嵌合するための凹凸を有する。プローブ取付部14は、同軸プローブ1の軸直方向に延在する板状の形状であり、その板上にネジ等で計器や治具等に取り付けるための孔を有する。図示しない計測器に接続された同軸ケーブル側の筐体で、計器や治具等に同軸プローブ1を取り付けることができる場合、すなわち、プローブ固定部10のプローブ取付部14を使って取り付けを行う必要がない場合には、プローブ取付部14は、プローブ固定部10から省くこともできる。   The fitting part 12 has a cylindrical shape, and has an unevenness for fitting with a coaxial cable connected to a measuring device on the outer peripheral surface thereof. The probe attachment portion 14 has a plate shape extending in the direction perpendicular to the axis of the coaxial probe 1, and has a hole on the plate for attachment to an instrument, jig, or the like. When the coaxial probe 1 can be attached to an instrument, jig, etc. in a coaxial cable housing connected to a measuring instrument (not shown), that is, it is necessary to attach using the probe attaching part 14 of the probe fixing part 10 If there is no, the probe mounting portion 14 can be omitted from the probe fixing portion 10.

中心導体30は、中心導体ソケット32、ばね部材34、規制部33、中間導体35及び中心導体プランジャ36を含み、それぞれ軸方向に延在し、規制部33は絶縁性材料で形成され、その他は導電性材料で形成される。規制部33は絶縁性材料で形成されることに限定されるものではなく、規制部となる部材(絶縁性の部材でなくてもよい)に、絶縁樹脂を塗布すること又は貼ることでも、絶縁性の規制部を構成することができる。   The center conductor 30 includes a center conductor socket 32, a spring member 34, a restricting portion 33, an intermediate conductor 35, and a center conductor plunger 36, each extending in the axial direction. The restricting portion 33 is formed of an insulating material. It is made of a conductive material. The restricting portion 33 is not limited to being formed of an insulating material, but can be insulated by applying or pasting an insulating resin to a member (not necessarily an insulating member) serving as a restricting portion. The sex control unit can be configured.

プローブ固定部10は、上部の内側に収容した絶縁体20(図2参照)によって、中心導体ソケット32を電気的に接触することなく保持することができる。中心導体ソケット32の後端部(上部)は、プローブ固定部10の嵌合部12内に位置して中心導体として機能し、図示しない同軸ケーブルと電気的に接続される。一方、中心導体ソケット32の先端側の開口部は、中心導体プランジャ36の後端部と電気的に接続される。   The probe fixing part 10 can hold the central conductor socket 32 without being in electrical contact with the insulator 20 (see FIG. 2) housed inside the upper part. The rear end portion (upper portion) of the center conductor socket 32 is located in the fitting portion 12 of the probe fixing portion 10 and functions as a center conductor, and is electrically connected to a coaxial cable (not shown). On the other hand, the opening on the front end side of the center conductor socket 32 is electrically connected to the rear end portion of the center conductor plunger 36.

中心導体ソケット32は、先端側の開口部から軸方向に沿って後端側に延びる複数のスリットの間に複数の当接片37を含み、複数の当接片37の各々は内側に曲げて当接部38(図2参照)が形成される。つまり、中心導体プランジャ36の後端部が中心導体ソケット32に挿入されていない状態では、中心導体ソケット32の先端側の開口部の周辺部分は、その内径が中心導体ソケット32の後端側の内径よりも小さくなるように、軸方向に沿って先端側に向かうにつれて絞り込まれた形状となる。当接部38は、絞り込み形状に限定されるものではなく、当接片37の先端部分を、打ち出し(突き出し)又は折り曲げ等を行って、内側に突出されて当接部を形成してもよい。   The center conductor socket 32 includes a plurality of contact pieces 37 between a plurality of slits extending from the opening on the front end side to the rear end side along the axial direction, and each of the plurality of contact pieces 37 is bent inward. A contact portion 38 (see FIG. 2) is formed. That is, in a state where the rear end portion of the center conductor plunger 36 is not inserted into the center conductor socket 32, the inner diameter of the peripheral portion of the opening portion on the front end side of the center conductor socket 32 is on the rear end side of the center conductor socket 32. The shape is narrowed down toward the tip side along the axial direction so as to be smaller than the inner diameter. The abutting portion 38 is not limited to the narrowed shape, and the abutting piece 37 may be protruded inward (projected) or bent to form an abutting portion. .

ばね部材34は、中心導体ソケット32と中心導体プランジャ36との間に設けられ、中心導体ソケット32の円筒状の内部に収められる。中心導体プランジャ36は、中心導体ソケット32と中心導体プランジャ36との間に介在するばね部材34の弾性によって、中心導体プランジャ36を中心導体ソケット32から離れるように付勢することができる。中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体ソケット32の先端側の開口部を通って中心導体ソケット32内に挿入される。   The spring member 34 is provided between the center conductor socket 32 and the center conductor plunger 36, and is housed in the cylindrical shape of the center conductor socket 32. The center conductor plunger 36 can urge the center conductor plunger 36 away from the center conductor socket 32 by the elasticity of the spring member 34 interposed between the center conductor socket 32 and the center conductor plunger 36. The rear end portion of the center conductor plunger 36 is inserted into the center conductor socket 32 through the opening on the front end side of the center conductor socket 32.

中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体ソケット32の開口部近傍の内壁の当接部38に当接し、中心導体ソケット32の筒部分内を摺動することができる。つまり、中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体ソケット32の複数の当接片37に軸方向に摺動可能な状態で接触することができる。中心導体ソケット32は、内側に曲げて形成された複数の当接片37の当接部38によって、中心導体ソケット32の先端側の開口部の周辺部分と中心導体プランジャ36の後端部とが確実に接触することができる。   The rear end portion of the center conductor plunger 36 is in contact with the contact portion 38 on the inner wall near the opening of the center conductor socket 32, and can slide in the cylindrical portion of the center conductor socket 32. That is, the rear end portion of the center conductor plunger 36 can come into contact with the plurality of contact pieces 37 of the center conductor socket 32 in an axially slidable state. The central conductor socket 32 has an abutting portion 38 of a plurality of abutting pieces 37 bent inward so that the peripheral portion of the opening on the front end side of the central conductor socket 32 and the rear end portion of the central conductor plunger 36 are connected. A reliable contact can be made.

中心導体プランジャ36の太さは、4段階に分かれており、先端部が最も細く、後端部になるについて段々と太くなるように構成することができる。中心導体ソケット32及び中心導体プランジャ36と、ばね部材34との位置関係は、中外逆に構成してもよい。例えば、ばね部材34を、中心導体プランジャ36の外側に設け、中心導体ソケット32をばね部材34の内径内側に設けるように構成することができる。   The thickness of the central conductor plunger 36 is divided into four stages, and can be configured such that the tip end portion is the thinnest and the rear end portion gradually increases. The positional relationship between the center conductor socket 32 and the center conductor plunger 36 and the spring member 34 may be reversed. For example, the spring member 34 can be provided outside the center conductor plunger 36, and the center conductor socket 32 can be provided inside the inner diameter of the spring member 34.

絶縁性の規制部33は、中心導体プランジャ36の後端部が中心導体ソケット32の開口部から抜けないように、中心導体プランジャ36の先端方向への移動を規制することができる。規制部33の後端側(上側)の縁部分は、フランジ状に拡径されて形成され、中間導体35の後端上面を覆って係止される。そして、規制部33は、中心導体プランジャ36の後端部以外の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成される。規制部33の底部によって、中心導体プランジャ36の先端方向への移動が規制される。   The insulating restricting portion 33 can restrict the movement of the center conductor plunger 36 in the front end direction so that the rear end portion of the center conductor plunger 36 does not come out of the opening of the center conductor socket 32. An edge portion on the rear end side (upper side) of the restricting portion 33 is formed to have a diameter increased in a flange shape, and is locked to cover the upper surface of the rear end of the intermediate conductor 35. And the control part 33 is formed in the cylinder shape provided with the bottom part including the hole which lets parts other than the rear-end part of the center conductor plunger 36 pass. The movement of the central conductor plunger 36 in the distal direction is restricted by the bottom of the restriction portion 33.

規制部33は、プローブ固定部10と摺動部40との間に備えられた中間導体35の後端側(上側)の筒部分に保持される。つまり、中心導体プランジャ36の先端方向への移動を筒の底部によって規制する規制部33は、中心導体プランジャ36の後端部が中心導体ソケット32の先端側の開口部から抜けないように、中間導体35の後端側の筒部分に設けることができる。   The restricting portion 33 is held by a cylindrical portion on the rear end side (upper side) of the intermediate conductor 35 provided between the probe fixing portion 10 and the sliding portion 40. That is, the restricting portion 33 that restricts the movement of the center conductor plunger 36 in the distal direction by the bottom portion of the cylinder is arranged so that the rear end portion of the center conductor plunger 36 does not come out of the opening portion on the tip end side of the center conductor socket 32. The conductor 35 can be provided on the cylindrical portion on the rear end side.

中心導体ソケット32の開口部を含む先端部分は、規制部33内に収められ、当該先端部分の側面は、規制部33の内面に近接して対向又は接触することで、中心導体ソケット32の開口部が拡がること、すなわち、当接片37及び当接部38の少なくとも一方の過剰変形を規制することができる。   The tip portion including the opening of the center conductor socket 32 is housed in the restriction portion 33, and the side surface of the tip portion faces or contacts the inner surface of the restriction portion 33, thereby opening the center conductor socket 32. That is, the excessive deformation of at least one of the contact piece 37 and the contact part 38 can be restricted.

摺動部40は、外部導体シェル47と可動シェル50とを少なくとも含む。摺動部40を構成するそれぞれの部材は、軸方向に延在する円筒状の形状を有する。可動シェル50は、先端側に先端シェル45を含む。摺動部40に含まれる各シェルは、導電性材料で形成される。   The sliding portion 40 includes at least an outer conductor shell 47 and a movable shell 50. Each member constituting the sliding portion 40 has a cylindrical shape extending in the axial direction. The movable shell 50 includes a tip shell 45 on the tip side. Each shell included in the sliding portion 40 is formed of a conductive material.

図2は、同軸プローブの先端部が相手側の同軸レセプタクルに接触した状態を示す断面図である。嵌合部12に接続される計測器からの同軸ケーブル、プローブ取付部14で同軸プローブ1を取り付ける治具、計器等は、説明の簡略化のため図示を省略する。図3乃至6についても同様である。プローブ固定部10は、その内側の空洞部分に、軸方向に延在する中空円筒状の絶縁体20を収容する。プローブ固定部10の嵌合部12の筒の内径は、プローブ取付部14が延出した筒の内径よりも小さいので、絶縁体20の上部及び下部の外径は、それら内径のサイズに合わせて、絶縁体20をプローブ固定部10に隙間なく収容するように定めることができる。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the distal end portion of the coaxial probe is in contact with the counterpart coaxial receptacle. The coaxial cable from the measuring instrument connected to the fitting portion 12, the jig for attaching the coaxial probe 1 with the probe attaching portion 14, the instrument, etc. are omitted for the sake of simplicity of explanation. The same applies to FIGS. The probe fixing portion 10 accommodates a hollow cylindrical insulator 20 extending in the axial direction in a hollow portion inside thereof. Since the inner diameter of the tube of the fitting portion 12 of the probe fixing portion 10 is smaller than the inner diameter of the tube from which the probe mounting portion 14 extends, the outer diameters of the upper and lower portions of the insulator 20 are matched to the sizes of these inner diameters. The insulator 20 can be determined so as to be accommodated in the probe fixing part 10 without a gap.

絶縁体41は、その中心に中心導体プランジャ36を挿入する孔を有する。絶縁体41の外径は、可動シェル50の側壁から外方に延出したフランジ部59が設けられた筒部分の内径のサイズに合わせて、当該筒部分内に絶縁体41を隙間なく収容するように定めることができる。   The insulator 41 has a hole for inserting the central conductor plunger 36 at the center thereof. The outer diameter of the insulator 41 is accommodated in the cylinder portion without a gap in accordance with the size of the inner diameter of the cylinder portion provided with the flange portion 59 extending outward from the side wall of the movable shell 50. Can be determined as follows.

プローブ固定部10は、ばね部材43等を収容しないため中空円筒状の形状であり、外部導体シェル47は、ばね部材43と共に可動シェル50の後端部を摺動可能な状態で内部に収容する。プローブ固定部10の筒部分と外部導体シェル47とは中間導体35を介して結合され、1つの固定された外部導体シェルを構成する。プローブ固定部10と中間導体35及び外部導体シェル47は、同軸プローブ1において動かすことができない固定された部品であるから、本明細書では、それらをまとめて“固定外部導体”とも呼ぶ。   The probe fixing portion 10 has a hollow cylindrical shape because it does not accommodate the spring member 43 and the like, and the outer conductor shell 47 accommodates the rear end portion of the movable shell 50 together with the spring member 43 in a slidable state. . The cylindrical portion of the probe fixing portion 10 and the outer conductor shell 47 are coupled via the intermediate conductor 35 to constitute one fixed outer conductor shell. Since the probe fixing portion 10, the intermediate conductor 35, and the outer conductor shell 47 are fixed components that cannot be moved in the coaxial probe 1, they are collectively referred to as “fixed outer conductor” in this specification.

外部導体シェル47の先端面には開口部が設けられており、該開口部から可動シェル50の後端部(フランジ部59よりも後端側の部分)以外の部分、すなわち、先端部からストローク管理溝52が設けられた中央部を露出させる。絶縁体44は、その中心に中心導体プランジャ36の最も細い先端部を挿入する孔を有する。絶縁体44の上部は、中空円筒状の可動シェル50の先端部に隙間なく収容され、絶縁体44の下部は、中空円筒状の先端シェル45に隙間なく収容される。   An opening is provided at the front end surface of the outer conductor shell 47, and a portion other than the rear end of the movable shell 50 (the rear end side of the flange portion 59) from the opening, that is, the stroke from the front end. The central portion where the management groove 52 is provided is exposed. The insulator 44 has a hole through which the thinnest tip of the central conductor plunger 36 is inserted. The upper portion of the insulator 44 is accommodated in the distal end portion of the hollow cylindrical movable shell 50 without a gap, and the lower portion of the insulator 44 is accommodated in the hollow cylindrical tip shell 45 without a gap.

先端シェル45は、可動シェル50の先端部と結合し、それらの内部に収容された絶縁体41を固定することができる。先端シェル45は、その先端の開口部に、同軸プローブ1との中心軸がずれた場合であっても、ずれを補正して相手側の同軸レセプタクル2との接続を行うために、外側から内側に傾斜したテーパー部46を備えている。可動シェル50は、中間導体35と可動シェル50の外壁に設けられたフランジ部59との間に介在するばね部材43の弾性によって、外部導体シェル47内を摺動することができる。ばね部材43は、可動シェル50を中間導体35から離れるように付勢することができる。   The front end shell 45 is coupled to the front end portion of the movable shell 50 and can fix the insulator 41 accommodated therein. Even when the central axis of the distal end shell 45 is displaced from the coaxial probe 1 in the opening at the distal end, the distal end shell 45 is connected from the outer side to the inner side in order to correct the deviation and connect to the counterpart coaxial receptacle 2. A tapered portion 46 is provided. The movable shell 50 can slide in the outer conductor shell 47 by the elasticity of the spring member 43 interposed between the intermediate conductor 35 and the flange portion 59 provided on the outer wall of the movable shell 50. The spring member 43 can bias the movable shell 50 away from the intermediate conductor 35.

可動シェル50のフランジ部59と外部導体シェル47との間には隙間があり、可動シェル50の接触片56は弾性を有することから、可動シェル50は、径方向に揺動することができる。可動シェル50の径方向への揺動の際に、中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体ソケット32の先端側の複数の当接片37により強く接触し、規制部33により当該複数の当接片37が拡がることを規制されるため、がたつきや破損なく中心導体ソケット32内に摺動可能に収容されている。中心導体プランジャ36は、中心導体ソケット32内にある中心導体プランジャ36の後端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ36の先端部を力点(又は支点)として撓むことになる。   Since there is a gap between the flange portion 59 of the movable shell 50 and the outer conductor shell 47 and the contact piece 56 of the movable shell 50 has elasticity, the movable shell 50 can swing in the radial direction. When the movable shell 50 swings in the radial direction, the rear end portion of the center conductor plunger 36 comes into strong contact with a plurality of contact pieces 37 on the front end side of the center conductor socket 32, and the plurality of contact portions 37 are controlled by the restriction portion 33. Since the contact piece 37 is restricted from expanding, it is slidably accommodated in the central conductor socket 32 without rattling or breakage. The center conductor plunger 36 has a rear end portion of the center conductor plunger 36 in the center conductor socket 32 as a fulcrum (or a force point), and a tip end portion of the center conductor plunger 36 in the insulator 44 in the tip shell 45 as a force point (or As a fulcrum).

このような構成により、同軸プローブ1は、高周波信号の伝送経路長を可変的に分岐させるようなスタブの原因となり得る、中心導体ソケット32(固定中心導体)の開口部の縁部分を突出させて中心導体プランジャ36(可動中心導体)の後端部を係止するような構成を回避することができる。つまり、同軸プローブ1は、高周波信号の伝送経路長が可変的に分岐することがないため、可変量によるインピーダンス変化の悪影響を及ぼすことなく、正確に電子機器における高周波回路の特性を測定することができる。   With such a configuration, the coaxial probe 1 projects the edge portion of the opening of the center conductor socket 32 (fixed center conductor) that may cause a stub that variably branches the transmission path length of the high-frequency signal. The structure which latches the rear-end part of the center conductor plunger 36 (movable center conductor) can be avoided. That is, since the coaxial probe 1 does not variably branch the transmission path length of the high-frequency signal, it can accurately measure the characteristics of the high-frequency circuit in the electronic device without adversely affecting the impedance change due to the variable amount. it can.

可動シェル50の太さは、実質的に2段階に分かれており、後端部に向かうにつれて段々と太くなるように構成することができる。可動シェル50は、先端シェル45と結合する先端部が最も細く、ストローク管理溝52及びストローク管理端54が設けられた中央部の太さは、先端部及び接触片56が設けられた後端部よりも太い。可動シェル50の最も細い先端部の円筒内に、中心導体ソケット32の先端側の開口部から露出した中心導体プランジャ36が摺動可能な状態で収容される。可動シェル50の先端部内に設けられた絶縁体44の円筒内に、中心導体プランジャ36の最も細い先端部が摺動可能な状態で収容される。   The thickness of the movable shell 50 is substantially divided into two stages, and can be configured to gradually increase toward the rear end. The movable shell 50 has the thinnest tip portion coupled to the tip shell 45, and the thickness of the central portion where the stroke management groove 52 and the stroke management end 54 are provided is the rear end portion where the tip portion and the contact piece 56 are provided. Than thicker. The central conductor plunger 36 exposed from the opening on the distal end side of the central conductor socket 32 is accommodated in a slidable state in the cylinder at the thinnest distal end portion of the movable shell 50. The thinnest tip portion of the center conductor plunger 36 is slidably accommodated in a cylinder of an insulator 44 provided in the tip portion of the movable shell 50.

可動シェル50の後端部には該後端部の中間から後端に亘って複数のスリットが入れられて、弾性を有する複数の接触片56を形成する。複数の接触片56は、それぞれの弾性力(応力)によって中間導体35の先端側の筒部分の内壁に押し付けられて、可動シェル50は中間導体35と電気的に接続することができ、グランド特性等の電気的特性を安定させることができる。好ましくは、複数の接触片56の端部のそれぞれには、外側に突出した突起部58が設けられ、各突起部58は、接触片56の弾性力(応力)によって中間導体35の内壁に押し付けられて、可動シェル50と中間導体35との電気的接続を確実に維持できるように構成することができる。   A plurality of slits are inserted in the rear end portion of the movable shell 50 from the middle to the rear end of the rear end portion to form a plurality of contact pieces 56 having elasticity. The plurality of contact pieces 56 are pressed against the inner wall of the cylindrical portion on the distal end side of the intermediate conductor 35 by the respective elastic force (stress), so that the movable shell 50 can be electrically connected to the intermediate conductor 35, and the ground characteristics. The electrical characteristics such as can be stabilized. Preferably, each of the end portions of the plurality of contact pieces 56 is provided with a protruding portion 58 protruding outward, and each protruding portion 58 is pressed against the inner wall of the intermediate conductor 35 by the elastic force (stress) of the contact piece 56. Thus, the electrical connection between the movable shell 50 and the intermediate conductor 35 can be reliably maintained.

ここで、可動シェル50と先端シェル45は、同軸プローブ1において動かすことができる部品であるから、本明細書では、それらをまとめて“可動外部導体”とも呼ぶ。本発明の別の実施形態として、可動外部導体は、1つの部品にまとめて一体で構成することもできる。このような可動外部導体を構成した場合、該可動外部導体の先端部の内側に、絶縁材料を圧入して可動中心導体の先端部(中心導体プランジャ36の先端部)と可動外部導体との電気的な絶縁を確保して、それらの間の距離を維持できるように、絶縁体44を形成することができる。なお、絶縁体44は中心導体プランジャ36の先端部に固着させて可動外部導体の内壁を摺動するようにしてもよい。   Here, since the movable shell 50 and the tip shell 45 are components that can be moved in the coaxial probe 1, they are collectively referred to as a “movable outer conductor” in the present specification. As another embodiment of the present invention, the movable outer conductor can be integrally formed as a single component. When such a movable outer conductor is configured, an insulating material is press-fitted inside the distal end portion of the movable outer conductor, and the electrical connection between the distal end portion of the movable central conductor (the distal end portion of the central conductor plunger 36) and the movable outer conductor is performed. The insulator 44 can be formed so as to ensure a good insulation and maintain a distance between them. The insulator 44 may be fixed to the tip of the central conductor plunger 36 and slide on the inner wall of the movable outer conductor.

また、中心導体ソケット32は、固定外部導体内において固定される部品であるから、本明細書では、“固定中心導体”とも呼ぶ。一方、中心導体プランジャ36は、可動外部導体及び固定外部導体の内側において、動くことができる部品であるから、“可動中心導体”とも呼ぶ。絶縁体20と絶縁性材料から形成された規制部33は、固定中心導体と固定外部導体とを電気的に絶縁し、それらの間の距離を維持することができる。   Further, the center conductor socket 32 is a component fixed in the fixed outer conductor, and is also referred to as a “fixed center conductor” in the present specification. On the other hand, since the center conductor plunger 36 is a component that can move inside the movable outer conductor and the fixed outer conductor, it is also referred to as a “movable center conductor”. The restricting portion 33 formed of the insulator 20 and the insulating material can electrically insulate the fixed center conductor and the fixed outer conductor and maintain the distance therebetween.

図3は、図2に示した状態から同軸プローブを押し込んで、同軸プローブと相手側の同軸レセプタクルとが接続された様子を示す断面図である。同軸プローブ1は、同軸レセプタクル2に当接し、さらに押し込まれることで同軸レセプタクル2に接続される。同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続時に、可動シェル50は軸方向に沿って後端側に摺動して奥まで押し込まれる。その際に、中心導体プランジャ36の先端部が露出して、同軸レセプタクル2との接触部となる。可動シェル50の中央部に設けられたストローク管理溝52及びストローク管理端54は、同軸プローブ1を相手側の同軸レセプタクルに接続して押し付けた際に、可動シェル50が摺動した距離(すなわち、ストローク量)に基づいて、同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの十分な接続を維持しているか否かを判断するために利用することができる目印である。このような目印として機能するストローク管理溝52及びストローク管理端54は、作業者等の人間が視認することができるので、検索用同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの接続状態を視認することができない荷重で管理することに比べて、容易に当該接続状態を管理することができる。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state where the coaxial probe is pushed in from the state shown in FIG. 2 and the coaxial probe and the counterpart coaxial receptacle are connected. The coaxial probe 1 abuts on the coaxial receptacle 2 and is further pushed to be connected to the coaxial receptacle 2. When the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2 are connected, the movable shell 50 is slid to the rear end side along the axial direction and pushed into the back. At that time, the front end portion of the center conductor plunger 36 is exposed and becomes a contact portion with the coaxial receptacle 2. The stroke management groove 52 and the stroke management end 54 provided in the central portion of the movable shell 50 are distances that the movable shell 50 has slid when the coaxial probe 1 is connected to and pressed against the coaxial receptacle on the other side (that is, This is a mark that can be used to determine whether or not sufficient connection between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle on the other side is maintained based on the stroke amount. Since the stroke management groove 52 and the stroke management end 54 functioning as such a mark can be visually recognized by a human operator or the like, the connection state between the search coaxial probe 1 and the counterpart coaxial receptacle should be visually recognized. The connection state can be easily managed as compared with the case of managing with a load that cannot be performed.

例えば、検索用同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクルとの十分な接続状態を維持するために、ばね部材43の弾性力を調整して、推奨ストローク量として可動シェル50の摺動距離を、1mmから2mmと設定することができる。その場合に、ストローク管理溝52を1mm摺動したことを示す目印とし、ストローク管理端54を2mm摺動したことを示す目印とすることができる。このような目印となるストローク管理溝52を可動シェル50の外壁に複数設けることができる。   For example, in order to maintain a sufficient connection state between the search coaxial probe 1 and the counterpart coaxial receptacle, the elastic force of the spring member 43 is adjusted so that the sliding distance of the movable shell 50 is 1 mm as the recommended stroke amount. To 2 mm. In that case, it can be used as a mark indicating that the stroke management groove 52 has been slid by 1 mm, and as a mark indicating that the stroke management end 54 has been slid by 2 mm. A plurality of stroke management grooves 52 serving as such marks can be provided on the outer wall of the movable shell 50.

上述した例のように、推奨ストローク量を1mmから2mmと設定とした場合、1mm摺動したことを示すストローク管理溝52が外から見えなくなるまで、同軸プローブ1を押し込めば、推奨ストローク量を満たすことになるので、相手側の同軸レセプタクル2との接続状態の管理が容易になる。つまり、自動検査ラインにおいて同軸プローブ1を用いて、検査対象である電子機器の電気的特性を計測する際には、同軸プローブ1の外部導体シェル47の先端部が、常にストローク管理溝52とストローク管理端54の間にあるように、可動シェル50を押し込む距離、すなわち、ストローク量を制御すればよい。グランド特性、周波数特性等を安定させるために検査用同軸プローブに加え続ける荷重を管理する荷重管理とは異なり、目視により管理状態を把握することができるので管理が容易となる。   When the recommended stroke amount is set from 1 mm to 2 mm as in the example described above, the recommended stroke amount is satisfied if the coaxial probe 1 is pushed in until the stroke management groove 52 indicating that the slider has slid by 1 mm disappears from the outside. Therefore, the management of the connection state with the counterpart coaxial receptacle 2 is facilitated. That is, when measuring the electrical characteristics of the electronic device to be inspected using the coaxial probe 1 in the automatic inspection line, the distal end portion of the outer conductor shell 47 of the coaxial probe 1 always has the stroke management groove 52 and the stroke. What is necessary is just to control the distance which pushes the movable shell 50, ie, the stroke amount, so that it may exist between the management ends 54. Unlike the load management that manages the load continuously applied to the inspection coaxial probe in order to stabilize the ground characteristic, the frequency characteristic, etc., the management state can be grasped by visual observation, so that the management becomes easy.

同様に、外部導体シェル47の先端面にある、可動シェル50を挿通させる開口部の内径は、外部導体シェル47に収容される可動シェル50のフランジ部59の外径よりも小さいので、図2に示すように同軸プローブ1の初期状態では、可動シェル50のフランジ部59は、ばね部材43によって付勢されて外部導体シェル47の先端部に係止された状態を保つ。このように係止される際に、可動シェル50のフランジ部59と外部導体シェル47から露出する可動シェルの中央部との間に設けられた傾斜面は、外部導体シェル47の先端面にある開口部の縁に当たって可動シェル50を滑らすことで、可動シェル50を常に所定の位置(又は姿勢)に案内するように機能する。   Similarly, since the inner diameter of the opening portion through which the movable shell 50 is inserted is smaller than the outer diameter of the flange portion 59 of the movable shell 50 accommodated in the outer conductor shell 47, as shown in FIG. In the initial state of the coaxial probe 1, the flange portion 59 of the movable shell 50 is urged by the spring member 43 and is kept locked at the tip of the external conductor shell 47. When locked in this way, the inclined surface provided between the flange portion 59 of the movable shell 50 and the central portion of the movable shell exposed from the outer conductor shell 47 is on the front end surface of the outer conductor shell 47. By sliding the movable shell 50 against the edge of the opening, the movable shell 50 always functions to be guided to a predetermined position (or posture).

先端シェル45は、その先端の開口部に設けられたテーパー部46によって、同軸プローブ1との中心軸のずれを補正して相手側の同軸レセプタクル2との接続を行うことができる。例えば、同軸プローブと相手側の同軸レセプタクル2との中心軸が0.5mm程度ずれたとしても、同軸レセプタクル2の円筒状の開口部の縁が、先端シェル45の開口部に設けられたテーパー部46に当たって、該テーパー部46の傾斜により先端シェル45を滑らすことで、可動シェル50を径方向に揺動させて、中心軸のずれを補正することができる。   The tip shell 45 can be connected to the coaxial receptacle 2 on the other side by correcting the deviation of the central axis with respect to the coaxial probe 1 by the tapered portion 46 provided at the opening of the tip. For example, even if the center axis of the coaxial probe and the counterpart coaxial receptacle 2 is shifted by about 0.5 mm, the edge of the cylindrical opening of the coaxial receptacle 2 is a tapered portion provided in the opening of the tip shell 45. 46, when the tip shell 45 is slid by the inclination of the tapered portion 46, the movable shell 50 can be swung in the radial direction to correct the deviation of the central axis.

図3に示されるように、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続状態に関らず、可動シェル50は、その後端部に設けられた複数の接触片56の突起部58によって、中間導体35との接触を常に維持することができる。突起部58は可動シェル50の複数の接触片56よりも外方に突出しているので、それぞれの接触片56の弾性力によって中間導体35の下部の筒部分の内壁に常に押し付けられることになるので、同軸プローブ1のグランド特性を安定させることができる。   As shown in FIG. 3, regardless of the connection state between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2, the movable shell 50 has the intermediate conductor 35 due to the protrusions 58 of the plurality of contact pieces 56 provided at the rear end thereof. You can always maintain contact with. Since the protrusion 58 protrudes outward from the plurality of contact pieces 56 of the movable shell 50, the protrusion 58 is always pressed against the inner wall of the lower cylindrical portion of the intermediate conductor 35 by the elastic force of each contact piece 56. The ground characteristics of the coaxial probe 1 can be stabilized.

接触片56に弾性を持たせるために、接触片56間にスリットを形成することに加え接触片56の板厚を薄くすることができる。複数の接触片56からなる円筒の内径は、各接触片56の板厚を内側から薄くし、可動シェル50の後端部において接触片56が形成されていない部分の内径のサイズに比べて、最も大きくなるように定めることができる。   In order to give elasticity to the contact piece 56, in addition to forming slits between the contact pieces 56, the plate thickness of the contact piece 56 can be reduced. The inner diameter of the cylinder composed of a plurality of contact pieces 56 is such that the thickness of each contact piece 56 is reduced from the inside, and compared to the size of the inner diameter of the portion where the contact piece 56 is not formed at the rear end of the movable shell 50, It can be determined to be the largest.

図3に示されるように、中心導体プランジャ36の先端部は、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との接続時に、可動シェル50が外部導体シェル47内に押し込まれて摺動したことに伴って先端シェル45から露出する。露出した中心導体プランジャ36の先端部は、相手側の同軸レセプタクル2の中心端子に押し付けられて接触を維持することができる。つまり、接続時に、中心導体プランジャ36の後端部は、中心導体ソケット32内の奥に押し込まれて摺動することで、ばね部材34によって中心導体プランジャ36は付勢されて、その先端部を同軸レセプタクル2の中心端子に押し付けることができる。このように、中心導体プランジャ36の後端部が中心導体ソケット32内の奥に押し込まれたとしても、高周波信号の伝送経路長が可変的に分岐することがないため、図2に示した状態と比較してスタブ量は変化していない。   As shown in FIG. 3, the distal end portion of the center conductor plunger 36 has a distal end when the movable shell 50 is pushed into the outer conductor shell 47 and slides when the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2 are connected. It is exposed from the shell 45. The exposed end portion of the center conductor plunger 36 can be pressed against the center terminal of the counterpart coaxial receptacle 2 to maintain contact. That is, at the time of connection, the center conductor plunger 36 is urged by the spring member 34 by the rear end portion of the center conductor plunger 36 being slid while being pushed into the center conductor socket 32, and the tip end portion thereof is pushed. It can be pressed against the center terminal of the coaxial receptacle 2. Thus, even if the rear end portion of the center conductor plunger 36 is pushed into the interior of the center conductor socket 32, the transmission path length of the high-frequency signal does not variably branch, so that the state shown in FIG. The amount of stubs is not changed compared to.

中心導体プランジャ36と規制部33との間には隙間ができるように、中心導体プランジャ36及び規制部33が配置されるので、中心導体プランジャ36は、規制部33によって上下の摺動が妨げられることはない。中心導体プランジャ36の先端部を同軸レセプタクル2の中心端子に押し付ける力は、中心導体ソケット32内のばね部材34の応力に基づくものであるから、中心導体プランジャ36の先端部と同軸レセプタクル2との接触を安定させるためには、ばね部材34の応力を強くする必要がある。ばね部材34の応力を強くするために、ばね部材34として径の太いばねを用いることができる。   Since the center conductor plunger 36 and the restriction portion 33 are arranged so that a gap is formed between the center conductor plunger 36 and the restriction portion 33, the center conductor plunger 36 is prevented from sliding up and down by the restriction portion 33. There is nothing. Since the force pressing the tip of the center conductor plunger 36 against the center terminal of the coaxial receptacle 2 is based on the stress of the spring member 34 in the center conductor socket 32, the tip of the center conductor plunger 36 and the coaxial receptacle 2 are In order to stabilize the contact, it is necessary to increase the stress of the spring member 34. In order to increase the stress of the spring member 34, a spring having a large diameter can be used as the spring member 34.

図4は、同軸プローブの先端部が相手側の同軸レセプタクルに中心軸がずれて接触した状態を示す断面図であり、図4に示した状態から同軸プローブを押し込んで、同軸プローブの可動シェルが径方向に揺動した様子を示す断面図である。同軸プローブ1と相手側の同軸レセプタクル2との中心軸に多少のずれ(例えば、0.5mm程度のずれ)が生じた場合であっても、図4に示されるように、先端シェル45の開口部のテーパー部46の傾斜面に、相手側の同軸レセプタクル2の円筒状の開口部の縁が当たる。そして、該開口部の中心に位置する中心端子に、中心導体プランジャ36の先端が案内されるように、先端シェル45を滑らせることで、図5に示されるように、可動シェル50を径方向に揺動させることができる。このような構成により、同軸プローブ1と同軸レセプタクル2との中心軸に多少のずれが生じた場合であっても、中心軸のずれを補正して接続を確実に行うことができる。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the tip of the coaxial probe is in contact with the coaxial receptacle on the other side with the center axis shifted, and the coaxial probe is pushed in from the state shown in FIG. It is sectional drawing which shows a mode that it rock | fluctuated to radial direction. Even if a slight deviation (for example, a deviation of about 0.5 mm) occurs in the central axis between the coaxial probe 1 and the counterpart coaxial receptacle 2, as shown in FIG. The edge of the cylindrical opening of the counterpart coaxial receptacle 2 hits the inclined surface of the tapered part 46 of the part. Then, by sliding the tip shell 45 so that the tip of the center conductor plunger 36 is guided to the center terminal located at the center of the opening, as shown in FIG. 5, the movable shell 50 is moved in the radial direction. Can be swung. With such a configuration, even if a slight shift occurs in the central axis between the coaxial probe 1 and the coaxial receptacle 2, the shift can be reliably performed by correcting the shift of the central axis.

可動シェル50の径方向への揺動は、外部導体シェル47に収容された可動シェル50の後端部、すなわち、複数の接触片56の突起部58が中間導体35の内壁に押し当たることで規制される。可動シェル50の複数の接触片56と中間導体35の内壁と隙間(すなわち、可動シェル50の複数の接触片56からなる筒部分の外径と中間導体35の下部の筒部分の内径)を調整することで、可動シェル50の径方向への揺動の範囲を変えることができる。図4及び図5に示す本発明の一実施形態の同軸プローブ1では、可動シェル50の径方向への揺動の範囲を、中心軸から0.5mm程度とすることができる。   The swing of the movable shell 50 in the radial direction is caused by the rear end portion of the movable shell 50 accommodated in the outer conductor shell 47, that is, the protrusions 58 of the plurality of contact pieces 56 pressing against the inner wall of the intermediate conductor 35. Be regulated. Adjusting the gap between the plurality of contact pieces 56 of the movable shell 50 and the inner wall of the intermediate conductor 35 (that is, the outer diameter of the cylindrical portion composed of the plurality of contact pieces 56 of the movable shell 50 and the inner diameter of the cylindrical portion below the intermediate conductor 35). By doing so, the range of swing of the movable shell 50 in the radial direction can be changed. In the coaxial probe 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5, the range of swing of the movable shell 50 in the radial direction can be about 0.5 mm from the central axis.

図5に示されるように、可動シェル50が径方向に揺動した場合であっても、上述したように、可動シェル50の最も太い後端部の外径よりも突出している突起部58は、接触片56の弾性力によって中間導体35の内壁に常に押し付けられるので、同軸プローブ1のグランド特性を安定させることができる。また、接触片56は、中間導体35の下部の筒部分に収められているため、可動シェル50の揺動時及び摺動時であっても接触片56は、ばね部材43と干渉することがない。さらに、接触片56は、中間導体35によって外部導体シェル47の内壁から遠ざけているので可動シェル50の揺動時及び摺動時であっても干渉しない。   As shown in FIG. 5, even when the movable shell 50 swings in the radial direction, as described above, the protruding portion 58 that protrudes from the outer diameter of the thickest rear end portion of the movable shell 50 is Since the contact piece 56 is always pressed against the inner wall of the intermediate conductor 35 by the elastic force of the contact piece 56, the ground characteristic of the coaxial probe 1 can be stabilized. Further, since the contact piece 56 is housed in the cylindrical portion below the intermediate conductor 35, the contact piece 56 may interfere with the spring member 43 even when the movable shell 50 is swung and sliding. Absent. Further, since the contact piece 56 is separated from the inner wall of the outer conductor shell 47 by the intermediate conductor 35, it does not interfere even when the movable shell 50 is swung and slid.

中心導体プランジャ36は、可動シェル50が径方向に揺動した際に、中心導体ソケット32内にある中心導体プランジャ36の後端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ36の先端部を力点(又は支点)として、弓なりに曲がる(すなわち、撓む)ように弾性を有する導電性部材で形成することができる。この際に、中心導体プランジャ36の後端部を傾ける力が加わったとしても、当接片37は、規制部33によって規制されるので、当接片37及び当接部38の少なくとも一方の過剰な変形を防止することができる。   When the movable shell 50 swings in the radial direction, the center conductor plunger 36 uses the rear end portion of the center conductor plunger 36 in the center conductor socket 32 as a fulcrum (or a force point), and the inside of the insulator 44 in the tip shell 45. The tip of the central conductor plunger 36 located at the center can be formed of a conductive member having elasticity so as to bend (i.e., bend) like a bow with a force point (or fulcrum) as a force point. At this time, even if a force for inclining the rear end portion of the center conductor plunger 36 is applied, the contact piece 37 is restricted by the restriction portion 33, so that at least one of the contact piece 37 and the contact portion 38 is excessive. Can be prevented.

中心導体プランジャ36が撓んだ場合であっても、可動シェル50の外径を太くして可動シェル50の内径を大きくなるように、可動シェル50を形成したことにより、中心導体プランジャ36と可動シェル50の内壁とが接触してショートすることを防ぐことができる。ショートを防ぐためのその他の対策として、中心導体プランジャ36の各段部の後端側のそれぞれの径変形部の根元に絶縁体を配置することができ、また、中心導体プランジャ36の中間部分に絶縁材を配置することができる。   Even when the central conductor plunger 36 is bent, the movable shell 50 is formed so that the outer diameter of the movable shell 50 is increased and the inner diameter of the movable shell 50 is increased. A short circuit due to contact with the inner wall of the shell 50 can be prevented. As another measure for preventing a short circuit, an insulator can be disposed at the root of each radial deformation portion on the rear end side of each step portion of the center conductor plunger 36, and an intermediate portion of the center conductor plunger 36 can be provided. An insulating material can be placed.

このように、同軸プローブ1は、それ自体が径方向に揺動可能なように構成されているので、同軸プローブ1は、径方向に揺動可能なフローティング機構を設けた治具(フローティングユニット)を必要とせず、フローティングユニットを介さずに直接計測機器等にプローブ取付部14を用いて取り付けることができる。これにより、フローティングユニットを用いた際に生じ得る問題、すなわち、検査用同軸プローブに接続された同軸ケーブルの重みで、フローティングユニットが初めから傾いた状態で検査用同軸プローブを保持してしまい、相手側の同軸レセプタクルとの接続の際に中心軸のずれを適切に補正できない問題を解消することができる。   Thus, since the coaxial probe 1 itself is configured to be swingable in the radial direction, the coaxial probe 1 is a jig (floating unit) provided with a floating mechanism that can swing in the radial direction. Can be directly attached to a measuring instrument or the like using the probe attachment portion 14 without using a floating unit. This causes a problem that may occur when using the floating unit, that is, the weight of the coaxial cable connected to the inspection coaxial probe holds the inspection coaxial probe in a state where the floating unit is tilted from the beginning. It is possible to solve the problem that the deviation of the central axis cannot be properly corrected when connecting to the coaxial receptacle on the side.

さらに、本発明の一実施形態に係る同軸プローブ1は、同軸プローブ1全体をフロートさせる様な比較大きなフローティングユニットを用いる必要がないので、同軸プローブ1を複数用いる場合に、同軸プローブ1を取り付ける間隔を狭くして、測定機器等に直接取り付けることができる。つまり、同軸プローブ1に近接させて別の同軸プローブ1を取り付けることができる。これにより、自動検査ラインにおいてより効率的に電子機器等の電気的特性を測定することができる。   Furthermore, the coaxial probe 1 according to an embodiment of the present invention does not require the use of a comparatively large floating unit that floats the entire coaxial probe 1. Therefore, when a plurality of coaxial probes 1 are used, the interval at which the coaxial probes 1 are attached. Can be directly attached to measuring equipment. That is, another coaxial probe 1 can be attached close to the coaxial probe 1. Thereby, the electrical characteristics of an electronic device etc. can be measured more efficiently in an automatic inspection line.

図6は、同軸プローブの中心導体プランジャの構成を変えた別の実施形態を示す断面図である。図6に示す別の実施形態の同軸プローブ1’は、主に、中心導体プランジャ39及び中心導体ソケット22の構成が、図1から図5に示した一実施形態の同軸プローブ1の中心導体プランジャ36及び中心導体ソケット32とは異なる。中心導体プランジャ39は、後端側に中心導体筒部31を備える。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing another embodiment in which the configuration of the central conductor plunger of the coaxial probe is changed. The coaxial probe 1 ′ of another embodiment shown in FIG. 6 mainly has a configuration of the center conductor plunger 39 and the center conductor socket 22 in which the center conductor plunger of the coaxial probe 1 of the embodiment shown in FIGS. 36 and the central conductor socket 32 are different. The center conductor plunger 39 includes a center conductor cylinder portion 31 on the rear end side.

中心導体筒部31は、後端側の開口部から軸方向に沿って先端側に延びる複数のスリットの間に複数の当接片27を含み、複数の当接片27の各々は内側に曲げて当接部28が形成される。つまり、中心導体ソケット22が、中心導体プランジャ39の中心導体筒部31に挿入されていない状態では、中心導体筒部31の後端側の開口部の周辺部分は、その内径が中心導体筒部31の先端側の内径よりも小さくなるように、軸方向に沿って後端側に向かうにつれて絞り込まれた形状となる。当接部28は、絞り込み形状に限定されるものではなく、当接片27の先端部分を、打ち出し(突き出し)又は折り曲げ等を行って、内側に突出されて当接部を形成してもよい。   The center conductor cylinder portion 31 includes a plurality of contact pieces 27 between a plurality of slits extending in the axial direction from the rear end side opening, and each of the plurality of contact pieces 27 is bent inward. Thus, the contact portion 28 is formed. That is, in the state where the center conductor socket 22 is not inserted into the center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39, the inner diameter of the peripheral portion of the opening on the rear end side of the center conductor cylinder portion 31 is the center conductor cylinder portion. The shape is narrowed down toward the rear end side along the axial direction so as to be smaller than the inner diameter of the front end side of 31. The contact portion 28 is not limited to a narrowed shape, and the tip portion of the contact piece 27 may be ejected (protruded) or bent to protrude inward to form the contact portion. .

ばね部材34は、中心導体ソケット22と中心導体プランジャ39との間に設けられ、中心導体プランジャ39の円筒状の中心導体筒部31内に収められる。中心導体プランジャ39は、中心導体ソケット22と中心導体プランジャ39との間に介在するばね部材34の弾性によって、中心導体プランジャ39を中心導体ソケット22から離れるように付勢することができる。中心導体ソケット22の先端部は、中心導体プランジャ39の後端側の開口部を通って中心導体筒部31内に挿入される。   The spring member 34 is provided between the center conductor socket 22 and the center conductor plunger 39 and is housed in the cylindrical center conductor tube portion 31 of the center conductor plunger 39. The center conductor plunger 39 can bias the center conductor plunger 39 away from the center conductor socket 22 by the elasticity of the spring member 34 interposed between the center conductor socket 22 and the center conductor plunger 39. The front end portion of the center conductor socket 22 is inserted into the center conductor tube portion 31 through the opening on the rear end side of the center conductor plunger 39.

中心導体ソケット22の先端部は、中心導体筒部31の開口部近傍の内壁の当接部28に当接し、中心導体プランジャ39の中心導体筒部31内を摺動することができる。つまり、中心導体ソケット22の先端部は、中心導体筒部31の複数の当接片27に軸方向に摺動可能な状態で接触することができる。中心導体プランジャ39の中心導体筒部31は、後端側の開口部から軸方向に沿って先端側に延びるスリットを複数の当接片27の間に備え、複数の当接片27は内側に曲げて当接部28が形成される。中心導体筒部31は、内側に曲げて形成された複数の当接片27の当接部28によって、中心導体筒部31の後端側の開口部の周辺部分と中心導体ソケット22の先端部とが確実に接触することができる。   The front end portion of the center conductor socket 22 abuts on the abutting portion 28 on the inner wall near the opening of the center conductor cylinder portion 31, and can slide within the center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39. That is, the distal end portion of the center conductor socket 22 can contact the plurality of contact pieces 27 of the center conductor cylinder portion 31 in a state in which the tip end portion can slide in the axial direction. The center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39 includes a slit extending between the plurality of contact pieces 27 extending in the axial direction from the opening on the rear end side, and the plurality of contact pieces 27 are arranged on the inner side. The contact portion 28 is formed by bending. The central conductor cylinder portion 31 has a peripheral portion of an opening on the rear end side of the central conductor cylinder portion 31 and a distal end portion of the central conductor socket 22 by abutting portions 28 of a plurality of abutting pieces 27 bent inward. Can reliably contact.

絶縁性の規制部23は、中心導体ソケット22が中心導体プランジャ39の中心導体筒部31の開口部から抜けないように、中心導体プランジャ39の先端方向への移動を規制することができる。規制部23は、プローブ固定部10の筒部分と外部導体シェル47との間に備えられた中間導体35の後端側(上側)の筒部分に保持される。つまり、中心導体プランジャ36の先端方向への移動を規制する規制部23は、中心導体ソケット22が中心導体プランジャ39の中心導体筒部31の開口部から抜けないように、中間導体35の後端側の筒部分に設けることができる。   The insulating restricting portion 23 can restrict the movement of the center conductor plunger 39 in the distal direction so that the center conductor socket 22 does not come out of the opening of the center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39. The restricting portion 23 is held by a tube portion on the rear end side (upper side) of the intermediate conductor 35 provided between the tube portion of the probe fixing portion 10 and the outer conductor shell 47. In other words, the restricting portion 23 that restricts the movement of the center conductor plunger 36 in the front end direction is such that the center conductor socket 22 does not come out of the opening of the center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39. It can be provided on the side cylinder portion.

プローブ固定部10は、その内側の空洞部分に、軸方向に延在する中空円筒状の絶縁体21を収容する。プローブ固定部10の嵌合部12の筒の内径は、プローブ取付部14が延出した筒の内径よりも小さいので、絶縁体21の上部及び下部の外径は、それら内径のサイズに合わせて、絶縁体21をプローブ固定部10に隙間なく収容するように定めることができる。   The probe fixing portion 10 accommodates a hollow cylindrical insulator 21 extending in the axial direction in a hollow portion inside thereof. Since the inner diameter of the tube of the fitting portion 12 of the probe fixing portion 10 is smaller than the inner diameter of the tube from which the probe mounting portion 14 extends, the outer diameters of the upper and lower portions of the insulator 21 are matched to the sizes of these inner diameters. The insulator 21 can be determined so as to be accommodated in the probe fixing portion 10 without a gap.

絶縁体21は、中心導体ソケット22の後端側の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成される。中心導体プランジャ39の複数の当接片27の先端部分は、中空円筒状に形成された絶縁体21内に収められ、当該先端部分の側面は、絶縁体21の内面に近接して対向又は接触することで、中心導体プランジャ39の複数の当接片27が拡がることを規制することができる。つまり、可動シェル50の径方向への揺動の際に、中心導体ソケット22の先端部は、中心導体筒部31の後端側の複数の当接片27により強く接触し、絶縁体21により当該複数の当接片27が拡がることを規制するため、がたつきや破損することなく中心導体筒部31内に摺動可能に収容されている。   The insulator 21 is formed in a cylindrical shape having a bottom including a hole through which a portion on the rear end side of the center conductor socket 22 passes. The tip portions of the plurality of contact pieces 27 of the central conductor plunger 39 are housed in an insulator 21 formed in a hollow cylindrical shape, and the side surfaces of the tip portions are opposed to or in contact with the inner surface of the insulator 21. By doing so, it is possible to restrict the plurality of contact pieces 27 of the central conductor plunger 39 from expanding. That is, when the movable shell 50 swings in the radial direction, the tip end portion of the center conductor socket 22 comes into strong contact with the plurality of contact pieces 27 on the rear end side of the center conductor tube portion 31, and the insulator 21 In order to restrict the plurality of contact pieces 27 from spreading, the contact pieces 27 are slidably accommodated in the central conductor cylinder 31 without rattling or damage.

このような構成により、同軸プローブ1’は可動シェル50の径方向への揺動の際に、中心導体ソケット22は、がたつきや破損することなく中心導体プランジャ39の中心導体筒部31内に摺動可能に収容されていることから、中心導体筒部31内にある中心導体ソケット22の先端部を支点(又は力点)とし、先端シェル45における絶縁体44内にある中心導体プランジャ39の先端部を力点(又は支点)として撓むことになる。このように構成した場合でも、同軸プローブ1’は、高周波信号の伝送経路長を可変的に分岐させるようなスタブの原因となり得る、中心導体ソケット22(固定中心導体)と中心導体プランジャ39(可動中心導体)とを突起により係止するような構成を回避することができる。つまり、同軸プローブ1’も、高周波信号の伝送経路長が可変的に分岐することがないため、正確に電子機器における高周波回路の特性を測定することができる。   With such a configuration, when the coaxial probe 1 ′ swings in the radial direction of the movable shell 50, the center conductor socket 22 does not rattle or break without being damaged in the center conductor cylinder portion 31 of the center conductor plunger 39. Therefore, the distal end portion of the central conductor socket 22 in the central conductor cylinder portion 31 is used as a fulcrum (or force point), and the central conductor plunger 39 in the insulator 44 in the distal end shell 45 is accommodated. The tip end portion bends as a power point (or fulcrum). Even in such a configuration, the coaxial probe 1 ′ can cause a stub that variably branches the transmission path length of the high-frequency signal, and the center conductor socket 22 (fixed center conductor) and the center conductor plunger 39 (movable). It is possible to avoid a configuration in which the central conductor) is locked by the protrusion. That is, the coaxial probe 1 ′ can also accurately measure the characteristics of the high-frequency circuit in the electronic device because the transmission path length of the high-frequency signal does not variably branch.

本発明に係る同軸プローブは、携帯電話、スマートフォンのような携帯通信機器等の電子機器のアンテナ特性や高周波特性等の電気的特性を測定する分野において利用することができる。   The coaxial probe according to the present invention can be used in the field of measuring electrical characteristics such as antenna characteristics and high-frequency characteristics of electronic devices such as mobile communication devices such as mobile phones and smartphones.

1、1’ 同軸プローブ
2 同軸レセプタクル
10 プローブ固定部(固定外部導体)
12 嵌合部
14 プローブ取付部
20 絶縁体(第1絶縁体)
21 絶縁体
22 中心導体ソケット(固定中心導体)
23 規制部
27 当接片
28 当接部
30 中心導体
31 中心導体筒部
32 中心導体ソケット(固定中心導体)
33 規制部
34 ばね部材(第2ばね部材)
35 中間導体(固定外部導体)
36 中心導体プランジャ(可動中心導体)
37 当接片
38 当接部
39 中心導体プランジャ(可動中心導体)
40 摺動部
41 絶縁体
43 ばね部材(第1ばね部材)
44 絶縁体(第2絶縁体)
45 先端シェル(可動外部導体)
46 テーパー部
47 外部導体シェル(固定外部導体)
48 ばね部材
50 可動シェル(可動外部導体)
52 ストローク管理溝
54 ストローク管理端
56 接触片
58 突起部
59 フランジ部
1, 1 'coaxial probe 2 coaxial receptacle 10 probe fixing part (fixed outer conductor)
12 Fitting part 14 Probe mounting part 20 Insulator (first insulator)
21 Insulator 22 Center conductor socket (fixed center conductor)
23 Control part 27 Contact piece 28 Contact part 30 Center conductor 31 Center conductor cylinder part 32 Center conductor socket (fixed center conductor)
33 Restricting portion 34 Spring member (second spring member)
35 Intermediate conductor (fixed outer conductor)
36 Center conductor plunger (movable center conductor)
37 Contact piece 38 Contact part 39 Center conductor plunger (movable center conductor)
40 Sliding part 41 Insulator 43 Spring member (first spring member)
44 Insulator (second insulator)
45 Tip shell (movable outer conductor)
46 Tapered part 47 External conductor shell (fixed outer conductor)
48 Spring member 50 Movable shell (movable outer conductor)
52 Stroke management groove 54 Stroke management end 56 Contact piece 58 Projection 59 Flange

Claims (11)

固定外部導体と、
前記固定外部導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備え、該後端部に形成された弾性を有する複数の接触片によって径方向に揺動可能に構成された可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体から離れるように付勢する第1ばね部材と、
前記固定外部導体の中心軸上に配置された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体内に設けられた第1絶縁体で支持され、先端側に複数の接触片を備えた固定中心導体と、
前記固定中心導体の前記複数の当接片に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備えた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心導体との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体から離れるように付勢する第2ばね部材と、
を含み、
前記固定中心導体は、軸方向に沿って先端側の開口部に向けて弾性を有して延びる前記複数の当接片を備え、前記複数の当接片は内側に突出する当接部が形成され、
前記可動中心導体の後端部は、前記固定中心導体の前記複数の当接片に接触し、
前記固定外部導体は、前記可動中心導体の後端部が前記固定中心導体の開口部から抜けないように、前記可動中心導体の先端方向への移動を規制する絶縁性の規制部を備えたこと
を特徴とする同軸プローブ。
A fixed outer conductor;
A movable external device having a rear end portion in contact with the fixed outer conductor in an axially slidable state and configured to be swingable in a radial direction by a plurality of elastic contact pieces formed at the rear end portion. Conductors,
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor away from the fixed outer conductor;
A central conductor disposed on a central axis of the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed center conductor supported by a first insulator provided in the fixed outer conductor and provided with a plurality of contact pieces on the tip side;
A movable center conductor having a rear end portion in contact with the plurality of contact pieces of the fixed center conductor in an axially slidable state; and
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center conductor and biasing the movable center conductor away from the fixed center conductor;
Including
The fixed center conductor includes the plurality of contact pieces extending elastically toward the opening on the distal end side along the axial direction, and the contact pieces that project inwardly form the plurality of contact pieces. And
A rear end portion of the movable center conductor is in contact with the plurality of contact pieces of the fixed center conductor,
The fixed outer conductor includes an insulating restricting portion that restricts movement of the movable center conductor in a distal direction so that a rear end portion of the movable center conductor does not come out of an opening of the fixed center conductor. Coaxial probe characterized by
前記規制部は、前記可動中心導体の後端部以外の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成され、
前記規制部は、前記第2ばね部材によって前記固定中心導体から離れるように付勢される前記可動中心導体の後端部の移動を、前記底部によって前記固定中心導体の開口部から抜けないように規制し、
前記固定中心導体の開口部を含む先端部分は、前記規制部内に収められ、前記先端部分の側面は、前記規制部の内面に近接して対向又は接触することで、前記固定中心導体の開口部が拡がることを規制するように構成されたこと
を特徴とする請求項1に記載の同軸プローブ。
The restricting portion is formed in a cylindrical shape including a bottom portion including a hole through which a portion other than a rear end portion of the movable central conductor passes.
The restricting portion prevents the movement of the rear end portion of the movable center conductor biased away from the fixed center conductor by the second spring member from being removed from the opening of the fixed center conductor by the bottom portion. Regulate,
A front end portion including the opening of the fixed center conductor is housed in the restricting portion, and a side surface of the front end portion is opposed to or in contact with an inner surface of the restricting portion, so that the opening of the fixed center conductor The coaxial probe according to claim 1, wherein the coaxial probe is configured to restrict spreading of the coaxial probe.
固定外部導体と、
前記固定外部導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した後端部を備え、該後端部に形成された弾性を有する複数の接触片によって径方向に揺動可能に構成された可動外部導体と、
前記固定外部導体と前記可動外部導体との間に設けられ、前記可動外部導体を前記固定外部導体から離れるように付勢する第1ばね部材と、
前記固定外部導体の中心軸上に配置された中心導体と、
を含み、
前記中心導体は、
前記固定外部導体内に設けられた第1絶縁体で支持された固定中心導体と、
前記固定中心導体に軸方向に摺動可能な状態で接触した、弾性を有する複数の当接片を後端側に備えた可動中心導体と、
前記固定中心導体と前記可動中心導体との間に設けられ、前記可動中心導体を前記固定中心導体から離れるように付勢する第2ばね部材と、
を含み、
前記可動中心導体は、軸方向に沿って後端側の開口部に向けて弾性を有して延びる前記複数の当接片を備え、前記複数の当接片は内側に突出する当接部が形成され、
前記固定中心導体の先端部は、前記可動中心導体の前記複数の当接片に接触し、
前記可動中心導体は、前記固定外部導体の先端部が前記可動中心導体の開口部から抜けないように、前記可動中心導体の先端方向への移動を規制する絶縁性の規制部を備えたこと
を特徴とする同軸プローブ。
A fixed outer conductor;
A movable external device having a rear end portion in contact with the fixed outer conductor in an axially slidable state and configured to be swingable in a radial direction by a plurality of elastic contact pieces formed at the rear end portion. Conductors,
A first spring member provided between the fixed outer conductor and the movable outer conductor and biasing the movable outer conductor away from the fixed outer conductor;
A central conductor disposed on a central axis of the fixed outer conductor;
Including
The central conductor is
A fixed center conductor supported by a first insulator provided in the fixed outer conductor;
A movable center conductor provided with a plurality of elastic contact pieces on the rear end side, in contact with the fixed center conductor in an axially slidable state,
A second spring member provided between the fixed center conductor and the movable center conductor and biasing the movable center conductor away from the fixed center conductor;
Including
The movable center conductor includes the plurality of contact pieces extending elastically toward the rear end side opening along the axial direction, and the contact pieces projecting inward are provided on the plurality of contact pieces. Formed,
The distal end portion of the fixed center conductor is in contact with the plurality of contact pieces of the movable center conductor,
The movable center conductor includes an insulating regulating portion that regulates movement of the movable center conductor in a distal direction so that a distal end portion of the fixed outer conductor does not come out of an opening of the movable center conductor. A featured coaxial probe.
前記第1絶縁体は、前記固定中心導体の後端側の部分を通す孔を含む底部を備えた、筒状に形成され、
前記可動中心導体の前記複数の当接片の先端部分は、前記第1絶縁体内に収められ、前記先端部分の側面は、前記第1絶縁体の内面に近接して対向又は接触することで、前記可動中心導体の前記複数の当接片が拡がることを規制するように構成されたこと
を特徴とする請求項3に記載の同軸プローブ。
The first insulator is formed in a cylindrical shape having a bottom including a hole through which a portion on the rear end side of the fixed center conductor passes.
The tip portions of the plurality of contact pieces of the movable central conductor are housed in the first insulator, and the side surfaces of the tip portions are opposed to or in contact with the inner surface of the first insulator, The coaxial probe according to claim 3, wherein the plurality of contact pieces of the movable central conductor are configured to be restricted from spreading.
前記固定外部導体は筒状の中間導体を含み、
前記中間導体は、前記規制部を後端側の筒部分に保持すること
を特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の同軸プローブ。
The fixed outer conductor includes a cylindrical intermediate conductor,
The coaxial probe according to any one of claims 1 to 4, wherein the intermediate conductor holds the restricting portion in a cylindrical portion on a rear end side.
前記可動外部導体は、前記固定外部導体の先端に設けられた開口部から、前記可動外部導体の後端部以外の部分を挿通させることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   6. The movable outer conductor according to claim 1, wherein a portion other than a rear end portion of the movable outer conductor is inserted from an opening provided at a tip of the fixed outer conductor. The coaxial probe as described. 前記可動外部導体の前記複数の接触片は、弾性により、前記固定外部導体に含まれる前記中間導体の内壁に押し当てられ、
前記可動外部導体が径方向に揺動した場合に、前記複数の接触片の少なくとも1つは前記中間導体の内壁に接触していること
を特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の同軸プローブ。
The plurality of contact pieces of the movable outer conductor are pressed against the inner wall of the intermediate conductor included in the fixed outer conductor by elasticity,
7. The device according to claim 1, wherein when the movable outer conductor swings in a radial direction, at least one of the plurality of contact pieces is in contact with an inner wall of the intermediate conductor. The coaxial probe as described.
前記第1ばね部材は、前記可動中心導体の外側に配置されたことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   The coaxial probe according to claim 1, wherein the first spring member is disposed outside the movable central conductor. 前記可動外部導体の前記複数の接触片のそれぞれの端部には、前記可動外部導体の後端部の外径よりも突出した突起部が形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の同軸プローブ。   9. A protruding portion protruding from an outer diameter of a rear end portion of the movable outer conductor is formed at each end portion of the plurality of contact pieces of the movable outer conductor. The coaxial probe according to any one of the above. 前記固定外部導体の開口部から露出した前記可動外部導体の中央部の外壁に、前記可動外部導体の摺動距離を表す目印となる1以上の溝を設けたことを特徴とする特徴とする請求項6に記載の同軸プローブ。   The center wall of the movable outer conductor exposed from the opening of the fixed outer conductor is provided with one or more grooves serving as marks representing the sliding distance of the movable outer conductor. Item 7. The coaxial probe according to Item 6. 前記固定中心導体は、中心導体シェルを含み、
前記可動中心導体は、中心導体プランジャを含み、
前記可動外部導体は、先端シェルを含み、
前記可動中心導体は、前記可動外部導体が径方向に揺動したときに、前記中心導体シェル内にある前記中心導体プランジャの後端部を支点又は力点とし、前記先端シェルにおける前記第2の絶縁体の孔に挿通された前記可動中心導体の先端部を力点又は支点として撓むことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の同軸プローブ。
The fixed center conductor includes a center conductor shell;
The movable central conductor includes a central conductor plunger;
The movable outer conductor includes a tip shell;
When the movable outer conductor swings in the radial direction, the movable center conductor has a rear end portion of the center conductor plunger in the center conductor shell as a fulcrum or a force point, and the second insulation in the tip shell. The coaxial probe according to any one of claims 1 to 10, wherein the coaxial probe is bent with a tip end portion of the movable central conductor inserted through a hole of a body as a force point or a fulcrum.
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