JP2016145975A - 着色感光性樹脂組成物 - Google Patents
着色感光性樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016145975A JP2016145975A JP2016014153A JP2016014153A JP2016145975A JP 2016145975 A JP2016145975 A JP 2016145975A JP 2016014153 A JP2016014153 A JP 2016014153A JP 2016014153 A JP2016014153 A JP 2016014153A JP 2016145975 A JP2016145975 A JP 2016145975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- mass
- resin composition
- photosensitive resin
- meth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、前記着色剤(A)として、C.I.ピグメントグリーン58とC.I.ピグメントイエロー185を含み、着色感光性樹脂組成物において、C.I.ピグメントイエロー185が、粒径100nm以上の粒子が5質量%以下の粒度分布を有することを特徴とする。
【選択図】なし
Description
[1]着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、
前記着色剤(A)として、C.I.ピグメントグリーン58とC.I.ピグメントイエロー185とを含み、
C.I.ピグメントイエロー185は、粒径100nm以上の粒子が5質量%以下である粒度分布を有することを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
[2]着色剤(A)の合計量が、着色感光性樹脂組成物の固形分100質量%中、20〜50質量%である[1]に記載の着色感光性樹脂組成物。
[3]更に、チオール化合物(T)を含む[1]又は[2]に記載の着色感光性樹脂組成物。
[4]前記重合開始剤(D)が、O−アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、及びアシルホスフィンオキサイド化合物からなる群より選ばれる2種以上である[1]〜[3]のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
[5]前記樹脂(B)が、炭素数2〜4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b)に由来する構造単位を含む共重合体である[1]〜[4]のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
[6][1]〜[5]のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物から形成される塗膜。
[7][1]〜[5]のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物から形成されるカラーフィルタ。
[8][7]に記載のカラーフィルタを含む表示装置。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更に溶剤(E)を含むことが好ましい。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更にチオール化合物(T)を含むことが好ましい。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更にレベリング剤(F)を含むことが好ましい。
なお本明細書において各成分として例示する化合物は、特に断りのない限り、単独で、又は、複数種を組み合わせて使用することができる。
本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、緑色顔料としてC.I.ピグメントグリーン58、黄色顔料としてC.I.ピグメントイエロー185を含む。
上記顔料の粒径は、顔料に機械的強度を加えることにより、小さくすることができる。
例えば、有機溶媒中で顔料を攪拌することにより、顔料に機械的強度を加えることができる。ビーズミルを用いて顔料を攪拌すると、簡易に該粒径を調整することができる。上記粒度分布を示す顔料を調製するために必要な攪拌時間は、後述の粒度分布の測定を行うことにより決定することができる。好ましい攪拌時間は、顔料の量や種類などにより異なるが、一般に攪拌時間を長くすることにより、粒径をより小さくすることができる。その他、攪拌速度を上げることにより、効率よく顔料に機械的強度を加えることが可能である。
1)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとアクリル系顔料分散剤とC.I.ピグメントイエロー185とを混合し、ビーズミルで十分に攪拌することによって、該C.I.ピグメントイエロー185を分散させる。混合分散液におけるC.I.ピグメントイエロー185の濃度は5質量%とし、アクリル系顔料分散剤の濃度は3.5質量%とする。
2)得られた混合分散液をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにて50倍に希釈した後、動的光散乱測定装置(ゼータサイザーナノZS;Malvern製)により、25℃で測定し、散乱強度より顔料の粒径及び粒度分布を算出する。標準物質にはポリスチレンラテックスを使用する。
C.I.ピグメントイエロー185の含有量は、着色剤(A)の合計100質量%中、通常、2質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、10質量%以上が更に好ましく、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましく、40質量%以下が更に好ましい。
C.I.ピグメントイエロー185の含有量は、組成物中の固形分100質量%中、通常0.5質量%以上であり、より好ましくは2質量%以上であり、更に好ましくは4質量%以上であり、30質量%以下が好ましく、より好ましくは20質量%以下であり、更に好ましくは15質量%以下である。
本明細書において「固形分の総量」とは、本発明の着色感光性樹脂組成物から溶剤(E)を除いた成分の合計量をいう。固形分の総量及びこれに対する各成分の含有量は、例えば、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。
これらの顔料分散剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。顔料分散剤としては、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、フローレン(共栄社化学(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(BASF社製)、アジスパー(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)等が挙げられる。
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料100質量部に対して、好ましくは100質量部以下であり、より好ましくは5質量部以上50質量部以下である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、顔料が溶媒中に均一に分散した顔料分散液が得られる傾向がある。
溶媒の使用量は特に限定されるものではないが、溶媒は、顔料分散液中の固形分濃度が3〜20質量%、より好ましくは5〜18質量%に調整できるように用いるとよい。
樹脂(B)としては、特に限定されないが、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。樹脂(B)としては、以下の樹脂[K1]〜[K6]等が挙げられる。
樹脂[K1]不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種(a)(以下「(a)」という場合がある)と、炭素数2〜4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b)(以下「(b)」という場合がある)との共重合体。
樹脂[K2](a)と(b)と、(a)と共重合可能な単量体(c)(ただし、(a)及び(b)とは異なる。)(以下「(c)」という場合がある)との共重合体。
樹脂[K3](a)と(c)との共重合体。
樹脂[K4](a)と(c)との共重合体に(b)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K5](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K6](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させ、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂。
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3−ビニルフタル酸、4−ビニルフタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、1、4−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;
メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等の不飽和ジカルボン酸類無水物;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有するアクリル酸等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性の点やアルカリ水溶液への溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
尚、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。「(メタ)アクリロイル」及び「(メタ)アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
X1及びX2は、互いに独立に、単結合、*−Rc−、*−Rc−O−、*−Rc−S−、*−Rc−NH−を表す。
Rcは、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。
*は、Oとの結合手を表す。]
水素原子がヒドロキシで置換されたアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、3−ヒドロキシプロピル基、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、1−ヒドロキシブチル基、2−ヒドロキシブチル基、3−ヒドロキシブチル基、4−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Ra及びRbとしては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
X1及びX2としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、*−CH2−O−(*はOとの結合手を表す)基、*−CH2CH2−O−基が挙げられ、より好ましくは単結合、*−CH2CH2−O−基が挙げられる。
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−tert−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(tert−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性及び耐熱性の点から、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、スチレン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等が好ましい。また、パターン形成時の現像性に優れることから、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレートがより好ましい。
(a)に由来する構造単位;2〜50モル%(より好ましくは10〜45モル%)
(b)に由来する構造単位;50〜98モル%(より好ましくは55〜90モル%)
樹脂[K1]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性に優れる傾向がある。
(a)に由来する構造単位;4〜45モル%(より好ましくは10〜30モル%)
(b)に由来する構造単位;2〜95モル%(より好ましくは5〜80モル%)
(c)に由来する構造単位;1〜65モル%(より好ましくは5〜60モル%)
樹脂[K2]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
具体的には、(a)、(b)及び(c)の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で、攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
(a)2〜55モル%、より好ましくは10〜50モル%
(c)45〜98モル%、より好ましくは50〜90モル%
樹脂[K3]は、例えば、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
まず(a)と(c)との共重合体を、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、(a)と(c)との共重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)5〜50モル%、より好ましくは10〜45モル%
(c)50〜95モル%、より好ましくは55〜90モル%
(a)と(c)との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、(b)、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒(例えばトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等)及び重合禁止剤(例えばハイドロキノン等)等をフラスコ内に入れて、例えば、60〜130℃で、1〜10時間反応することにより、樹脂[K4]を得ることができる。
(b)の使用量は、(a)100モルに対して、5〜80モルが好ましく、より好ましくは10〜75モルである。この範囲とすることにより、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K4]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
前記反応触媒の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。前記重合禁止剤の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
(b)及び(c)に由来する構造単位の比率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
(b)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
(c)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
前記の共重合体に反応させる(a)の使用量は、(b)100モルに対して、5〜80モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K5]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
カルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等が挙げられる。
これらの樹脂は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
樹脂(B)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4である。
重合性化合物(C)は、光を照射されることによって重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル等によって重合しうる化合物であれば、特に限定されず、例えば、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。重合性化合物(C)の重量平均分子量は、例えば、3,000以下であることが好ましい。
重合開始剤(D)は、光や熱の作用により活性ラジカル、酸等を発生し、重合を開始しうる化合物であれば特に限定されることなく、公知の重合開始剤を用いることができる。
重合開始剤(D)としては、O−アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、及びアシルホスフィンオキサイド化合物が挙げられる。
式(d3)で表される構造を有する化合物としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−イソプロペニルフェニル)プロパン−1−オンのオリゴマー、α,α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
感度の点で、アルキルフェノン化合物としては、式(d2)で表される構造を有する化合物が好ましい。
置換基としては、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルコキシ基等が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられ、好ましくは塩素原子である。炭素数1〜4のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等が挙げられ、好ましくはメトキシ基である。
ビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報等参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報等参照。)、4,4’,5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報等参照)等が挙げられる。中でも、下記式で表される化合物及びこれらの混合物が好ましい。
重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物及びビイミダゾール化合物を含む場合、O−アシルオキシム化合物とビイミダゾール化合物との合計含有量は、重合開始剤(D)の総量に対して、好ましくは40質量%以上、より好ましくは50質量%以上、さらに好ましくは60質量%以上であり、特に好ましくは80質量%以上であり、最も好ましくは100質量%である。
重合開始助剤(D1)は、重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。重合開始助剤(D1)を含む場合、通常、重合開始剤(D)と組み合わせて用いられる。
重合開始助剤(D1)としては、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物及びカルボン酸化合物等が挙げられる。
これらの重合開始助剤(D1)を用いる場合、その含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部、より好ましくは1〜20質量部である。重合開始助剤(D1)の量がこの範囲内にあると、さらに高感度で着色パターンを形成することができ、カラーフィルタの生産性が向上する傾向にある。
チオール化合物(T)は、分子内にスルファニル基(−SH)を有する化合物である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤(E)を含むことが好ましい。溶剤(E)は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤(−COO−を含む溶剤)、エステル溶剤以外のエーテル溶剤(−O−を含む溶剤)、エーテルエステル溶剤(−COO−と−O−とを含む溶剤)、エステル溶剤以外のケトン溶剤(−CO−を含む溶剤)、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等が挙げられる。
アミド溶剤としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられる。
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、1atmにおける沸点が120℃以上180℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、N,N−ジメチルホルムアミド等が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、3−エトキシプロピオン酸エチル等がより好ましい。
レベリング剤(F)としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤等が挙げられる。これらは、側鎖に重合性基を有していてもよい。
着色剤の耐熱性及び耐光性を向上させる観点からは、酸化防止剤を単独又は2種以上を組み合わせて用いることが好ましい。酸化防止剤としては、工業的に一般に使用される酸化防止剤であれば特に限定はなく、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及び硫黄系酸化防止剤等を用いることができる。
前記フェノール系酸化防止剤としては、イルガノックス1010(Irganox 1010:ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、BASF(株)製)、イルガノックス1076(Irganox 1076:オクタデシル−3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、BASF(株)製)、イルガノックス1330(Irganox 1330:3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、BASF(株)製)、イルガノックス3114(Irganox 3114:1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、BASF(株)製)、イルガノックス3790(Irganox 3790:1,3,5−トリス((4−tert−ブチル−3−ヒドロキシ−2,6−キシリル)メチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、BASF(株)製)、イルガノックス1035(Irganox 1035:チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、BASF(株)製)、イルガノックス1135(Irganox 1135:ベンゼンプロパン酸、3,5−ビス(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシ、C7−C9側鎖アルキルエステル、BASF(株)製)、イルガノックス1520L(Irganox 1520L:4,6−ビス(オクチルチオメチル)−o−クレゾール、BASF(株)製)、イルガノックス3125(Irganox 3125、BASF(株)製)、イルガノックス565(Irganox 565:2,4−ビス(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ3’、5’−ジ−tert−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、BASF(株)製)、アデカスタブAO−80(アデカスタブAO−80:3,9−ビス(2−(3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ)−1,1−ジメチルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ(5,5)ウンデカン、(株)ADEKA製)、スミライザーBHT(Sumilizer BHT、住友化学(株)製)、スミライザーGA−80(Sumilizer GA−80、住友化学(株)製)、スミライザーGS(Sumilizer GS、住友化学(株)製)、シアノックス1790(Cyanox 1790、(株)サイテック製)及びビタミンE(エーザイ(株)製)等が挙げられる。
前記リン系酸化防止剤としては、イルガフォス168(Irgafos 168:トリス(2,4−ジ−tert−ブチルフェニル)フォスファイト、BASF(株)製)、イルガフォス12(Irgafos 12:トリス[2−[[2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d、f][1,3,2]ジオキサフォスフィン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、BASF(株)製)、イルガフォス38(Irgafos 38:ビス(2,4−ビス(1,1−ジメチルエチル)−6−メチルフェニル)エチルエステル亜りん酸、BASF(株)製)、アデカスタブ329K((株)ADEKA製)、アデカスタブPEP36((株)ADEKA製)、アデカスタブPEP−8((株)ADEKA製)、Sandstab P−EPQ(クラリアント社製)、ウェストン618(Weston 618、GE社製)、ウェストン619G(Weston 619G、GE社製)、ウルトラノックス626(Ultranox 626、GE社製)及びスミライザーGP(Sumilizer GP:6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d,f][1.3.2]ジオキサホスフェピン)(住友化学(株)製)等が挙げられる。
前記硫黄系酸化防止剤としては、例えば、チオジプロピオン酸ジラウリル、ジミリスチル又はジステアリール等のジアルキルチオジプロピオネート化合物及びテトラキス[メチレン(3−ドデシルチオ)プロピオネート]メタン等のポリオールのβ−アルキルメルカプトプロピオン酸エステル化合物等が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、樹脂(B)以外の高分子化合物、密着促進剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤等の添加剤を併用することもできる。
蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸;等が挙げられる。
n―プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン等のモノアルキルアミン;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン等のモノシクロアルキルアミン;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−tert−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン等のジアルキルアミン;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン等のモノアルキルモノシクロアルキルアミン;
ジシクロヘキシルアミン等のジシクロアルキルアミン;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル−n−プロピルアミン、ジエチル−n−プロピルアミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−tert−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン等のトリアルキルアミン;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等のジアルキルモノシクロアルキルアミン;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のモノアルキルジシクロアルキルアミン;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール等のモノアルカノールアミン;
4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノシクロアルカノールアミン;
ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミン等のトリアルカノールアミン;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリシクロアルカノールアミン;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノアルカンジオール;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール等のアミノシクロアルカンジオール;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカノンメタノール;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−tert−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸;等が挙げられる。
エポキシ樹脂の市販品としては、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシ(登録商標)ESCN−195XL−80」(住友化学(株)製)等が挙げられる。
フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等の脂肪族多価カルボン酸;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸等の脂環式多価カルボン酸;等が挙げられる。
無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸無水物;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸等の脂環式多価カルボン酸無水物;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物等のエステル基含有カルボン酸無水物;等が挙げられる。
酸発生剤としては、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類等が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)、重合開始剤(D)、並びに必要に応じて用いられる溶剤(E)、チオール化合物(T)、レベリング剤(F)、重合開始助剤(D1)、酸化防止剤(J)、及びその他の成分を混合することにより調製できる。
本発明の着色感光性樹脂組成物から着色パターンを製造する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。フォトリソグラフ法は、前記着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥させて着色組成物層を形成し、フォトマスクを介して該着色組成物層を露光して、現像する方法である。フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び/又は現像しないことにより、上記着色組成物層の硬化物である着色塗膜を形成することができる。このように形成した着色パターンや着色塗膜が本発明のカラーフィルタである。
まず、着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、加熱乾燥(プリベーク)及び/又は減圧乾燥することにより溶剤等の揮発成分を除去して乾燥させ、平滑な着色組成物層を得る。
塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、スリット アンド スピンコート法等が挙げられる。
加熱乾燥を行う場合の温度は、30〜120℃が好ましく、50〜110℃がより好ましい。また加熱時間としては、10秒間〜5分間であることが好ましく、30秒間〜3分間であることがより好ましい。
減圧乾燥を行う場合は、50〜150Paの圧力下、20〜25℃の温度範囲で行うことが好ましい。
着色組成物層の膜厚は特に限定されず、目的とするカラーフィルタの膜厚に応じて適宜選択すればよい。
露光に用いられる光源としては、250〜450nmの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、光源としては、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、フォトマスクと着色組成物層が形成された基板との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ及びステッパ等の露光装置を使用することが好ましい。
露光後の着色組成物層を現像液に接触させて現像することにより、基板上に着色パターンが形成される。現像により、着色組成物層の未露光部が現像液に溶解して除去される。現像液としては、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ性化合物の水溶液が好ましい。これらのアルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。さらに、現像液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法及びスプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
さらに、得られた着色パターンに、ポストベークを行うことが好ましい。ポストベーク温度は、150〜250℃が好ましく、160〜235℃がより好ましい。ポストベーク時間は、1〜120分間が好ましく、10〜60分間がより好ましい。
〔コントラスト評価〕
塗膜について、コントラスト計(CT−1:壺坂電機(株)、色彩色差計BM−5A:トプコン社製、光源:F−10、偏光フィルム:壺坂電機(株))を用いて、塗膜を介さず測定した場合には50000となるように測定を行う。
〔位相差評価〕
塗膜について、位相差測定装置(エリプソメーター;日本分光社製)を用いて測定波長は550nm、屈折率は1.5の条件にて測定を行う。位相差であるRthは下記式より算出する。
Rth={(Nx+Ny)/2−Nz}×d
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた1Lのフラスコ内に窒素を適量流し窒素雰囲気に置換し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート280質量部を入れ、攪拌しながら80℃まで加熱した。次いで、アクリル酸38質量部、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8及び/又は9−イルアクリレートの混合物289質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート125質量部の混合溶液を5時間かけて滴下した。一方、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)33質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート235質量部に溶解した混合溶液を6時間かけて滴下した。滴下終了後、4時間同温度で保持した後、室温まで冷却して、B型粘度(23℃)125mPa・s、固形分37.0重量%、溶液酸価27mg−KOH/gの共重合体を得た。生成した共重合体の重量平均分子量Mwは9200、分散度2.08であった。
装置 ;HLC−8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG2000HXL
カラム温度 ;40℃
溶媒 ;THF
流速 ;1.0mL/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
校正用標準物質 ;TSK STANDARD POLYSTYRENE
F−40、F−4、F−288、A−2500、A−500
(東ソー(株)製)
C.I.ピグメントグリーン58 13.0部
アクリル系顔料分散剤 2.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 85.0部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−1)を得た。
C.I.ピグメントイエロー185 5.0部
アクリル系顔料分散剤 3.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 91.5部
を混合し、顔料の粒度分布を測定した結果100nm以上の粒径を持った粒子が全体の1%になるまで、ビーズミルを用いて顔料を撹拌することにより、顔料分散液(A−2)を得た。
C.I.ピグメントイエロー185 5.0部
アクリル系顔料分散剤 3.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 91.5部
を混合し、顔料の粒度分布を測定した結果100nm以上の粒径を持った粒子が全体の7%になるまで、ビーズミルを用いて顔料を攪拌することにより、顔料分散液(A−3)を得た。
C.I.ピグメントブルー15:3 12.0部
アクリル系顔料分散剤 4.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 84.0部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−4)を得た。
C.I.ピグメントイエロー138 15.0部
アクリル系顔料分散剤 4.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 80.5部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−5)を得た。
C.I.ピグメントイエロー150 11.9部
アクリル系顔料分散剤 5.4部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 82.7部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−6)を得た。
実施例1〜10及び比較例1〜4
表1記載の成分を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。尚、着色感光性樹脂組成物の固形分が表1の「固形分(%)」となるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを混合した。
着色分散液(A1);上記で得られた顔料分散液(A−1)
着色分散液(A2);上記で得られた顔料分散液(A−2)
着色分散液(A3);上記で得られた顔料分散液(A−3)
着色分散液(A4);上記で得られた顔料分散液(A−4)
着色分散液(A5);上記で得られた顔料分散液(A−5)
着色分散液(A6);上記で得られた顔料分散液(A−6)
樹脂溶液(B1);合成例1で得られた共重合体
重合性化合物(C1);ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARADDPHA;日本化薬(株)製)
重合開始剤(D1);N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン(イルガキュアOXE01;BASF社製;O−アシルオキシム化合物)
実施例1〜10及び比較例1〜4の各着色感光性樹脂組成物を用いて、下記手順で塗膜を作製した。
作製手順:2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板に露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、150mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。光照射後、得られた膜を、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に24℃で60秒間浸漬することにより現像し、水洗後、オーブン中、230℃で30分間ポストベークを行い、緑色の塗膜を得た。
得られた各塗膜について、膜厚測定装置(DEKTAK3;日本真空技術(株)製)を用いて膜厚FT(μm)を測定した。結果を表2に示す。
得られた各塗膜について、測色機(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて分光を測定し、F10光源の特性関数を用いてCIEのXYZ表色系におけるxy色度座標(x,y)と明度Yを測定した。
塗膜作製と色度評価を繰り返し行い、着色感光性樹脂組成物を塗布する際のスピンコートの回転数を調整することにより、色度座標においてy=0.66である塗膜を得た。得られた塗膜の色特性の結果を表2に示す。
得られた各塗膜について、コントラスト計(CT−1:壺坂電機(株)、色彩色差計BM−5A:トプコン社製、光源:F−10、偏光フィルム:壺坂電機(株))を用いてコントラストを測定した。尚、測定時のブランク値は50000である。結果を表2に示す。
得られた各塗膜について、位相差測定装置(エリプソメーター;日本分光社製)を用いて測定波長は550nm、屈折率は1.5の条件にて測定を行った。結果を表2に示す。
実施例1〜10及び比較例2〜4の各着色感光性樹脂組成物を用いて、下記手順でパターンを作製した。
作製手順:2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、表2で示された膜厚になるように、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、減圧乾燥機にて、130Paまで減圧乾燥を行った。その後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を100μmとして、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、150mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。尚、フォトマスクとしては、50μmラインアンドスペースパターンが形成されたマスクを使用した。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に24℃で60秒間浸漬現像し、水洗後、オーブン中、230℃で30分間ポストベークを行い、パターンを作製した。
上記パターン作製中、現像液へ浸漬した際に、未露光部の現像液への溶解性を確認した。現像液へ溶解した場合には「○」、剥離片を伴ってガラス基板から剥がれた固形物が確認された場合には「×」として評価を行った。結果を表3に示す。
上記〔パターンの作製〕に記載と同様の方法により作製したラインアンドスペースパターンにおいて30μmのパターンが得られた場合には「○」、露光部が剥がれたり、溶解したりして、30μmのパターンが残らなかった場合には「×」として評価を行った。結果を表3に示す。
Claims (8)
- 着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、
前記着色剤(A)として、C.I.ピグメントグリーン58とC.I.ピグメントイエロー185とを含み、
C.I.ピグメントイエロー185は、粒径100nm以上の粒子が5質量%以下である粒度分布を有することを特徴とする着色感光性樹脂組成物。 - 着色剤(A)の合計量が、着色感光性樹脂組成物の固形分100質量%中、20〜50質量%である請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 更に、チオール化合物(T)を含む請求項1又は2に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 前記重合開始剤(D)が、O−アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、及びアシルホスフィンオキサイド化合物からなる群より選ばれる2種以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 前記樹脂(B)が、炭素数2〜4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b)に由来する構造単位を含む共重合体である請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物から形成される塗膜。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物から形成されるカラーフィルタ。
- 請求項7に記載のカラーフィルタを含む表示装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021076607A JP7405791B2 (ja) | 2015-01-30 | 2021-04-28 | 緑色着色感光性樹脂組成物 |
JP2022205260A JP2023029425A (ja) | 2015-01-30 | 2022-12-22 | 着色感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015017424 | 2015-01-30 | ||
JP2015017424 | 2015-01-30 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021076607A Division JP7405791B2 (ja) | 2015-01-30 | 2021-04-28 | 緑色着色感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016145975A true JP2016145975A (ja) | 2016-08-12 |
Family
ID=56580875
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016014153A Pending JP2016145975A (ja) | 2015-01-30 | 2016-01-28 | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2021076607A Active JP7405791B2 (ja) | 2015-01-30 | 2021-04-28 | 緑色着色感光性樹脂組成物 |
JP2022205260A Pending JP2023029425A (ja) | 2015-01-30 | 2022-12-22 | 着色感光性樹脂組成物 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021076607A Active JP7405791B2 (ja) | 2015-01-30 | 2021-04-28 | 緑色着色感光性樹脂組成物 |
JP2022205260A Pending JP2023029425A (ja) | 2015-01-30 | 2022-12-22 | 着色感光性樹脂組成物 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP2016145975A (ja) |
KR (1) | KR20160094305A (ja) |
CN (1) | CN105842986A (ja) |
TW (1) | TWI670333B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020226099A1 (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 住友化学株式会社 | 着色硬化性樹脂組成物 |
US11073760B2 (en) * | 2016-07-29 | 2021-07-27 | Fujifilm Corporation | Coloring composition, color filter, pattern forming method, solid-stage imaging element, and image display device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI766759B (zh) * | 2016-09-02 | 2022-06-01 | 日商住友化學股份有限公司 | 著色組成物及化合物 |
KR102356582B1 (ko) * | 2018-01-10 | 2022-01-27 | 동우 화인켐 주식회사 | 녹색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 화상표시장치 |
CN118151490B (zh) * | 2024-05-09 | 2024-08-13 | 湖南初源新材料股份有限公司 | 感光性树脂组合物、感光干膜及其应用 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086089A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター用緑色顔料分散液、カラーフィルター用緑色硬化性樹脂組成物、カラーフィルター、及び表示装置 |
JP2011137125A (ja) * | 2009-03-26 | 2011-07-14 | Fujifilm Corp | 顔料分散液、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法 |
JP2012053278A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Fujifilm Corp | 着色感光性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、および液晶表示装置 |
JP2012172003A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Fujifilm Corp | 着色組成物の製造方法、着色組成物、カラーフィルタ、液晶表示装置、及び有機el表示装置 |
JP2013011867A (ja) * | 2011-05-31 | 2013-01-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2014002314A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Sakata Corp | カラーフィルター用緑色着色組成物 |
JP2014026228A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | 有機el表示装置用緑色着色組成物、カラーフィルタ、および有機el表示装置 |
JP2014142582A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-08-07 | Jsr Corp | 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI361948B (en) * | 2003-05-23 | 2012-04-11 | Sumitomo Chemical Co | Coloring photosensitive resin composition |
TWI359959B (en) * | 2003-06-10 | 2012-03-11 | Sumitomo Chemical Co | Color filter, adjust method of photo-sensitive res |
JP2005258254A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 黒色感光性樹脂組成物 |
TWI396042B (zh) * | 2004-09-29 | 2013-05-11 | Sumitomo Chemical Co | 著色感光性樹脂組成物 |
JP5121912B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2013-01-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びそれを備えた表示装置 |
JP2012247539A (ja) | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Toppan Printing Co Ltd | 緑色感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
-
2016
- 2016-01-27 TW TW105102560A patent/TWI670333B/zh active
- 2016-01-27 CN CN201610056596.6A patent/CN105842986A/zh active Pending
- 2016-01-27 KR KR1020160010011A patent/KR20160094305A/ko not_active IP Right Cessation
- 2016-01-28 JP JP2016014153A patent/JP2016145975A/ja active Pending
-
2021
- 2021-04-28 JP JP2021076607A patent/JP7405791B2/ja active Active
-
2022
- 2022-12-22 JP JP2022205260A patent/JP2023029425A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086089A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター用緑色顔料分散液、カラーフィルター用緑色硬化性樹脂組成物、カラーフィルター、及び表示装置 |
JP2011137125A (ja) * | 2009-03-26 | 2011-07-14 | Fujifilm Corp | 顔料分散液、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法 |
JP2012053278A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Fujifilm Corp | 着色感光性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、および液晶表示装置 |
JP2012172003A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Fujifilm Corp | 着色組成物の製造方法、着色組成物、カラーフィルタ、液晶表示装置、及び有機el表示装置 |
JP2013011867A (ja) * | 2011-05-31 | 2013-01-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2014002314A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Sakata Corp | カラーフィルター用緑色着色組成物 |
JP2014026228A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | 有機el表示装置用緑色着色組成物、カラーフィルタ、および有機el表示装置 |
JP2014142582A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-08-07 | Jsr Corp | 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11073760B2 (en) * | 2016-07-29 | 2021-07-27 | Fujifilm Corporation | Coloring composition, color filter, pattern forming method, solid-stage imaging element, and image display device |
US20220082937A1 (en) * | 2016-07-29 | 2022-03-17 | Fujifilm Corporation | Coloring composition, color filter, pattern forming method, solid-stage imaging element, and image display device |
US12019369B2 (en) | 2016-07-29 | 2024-06-25 | Fujifilm Corporation | Coloring composition, color filter, pattern forming method, solid-stage imaging element, and image display device |
WO2020226099A1 (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 住友化学株式会社 | 着色硬化性樹脂組成物 |
CN113795521A (zh) * | 2019-05-08 | 2021-12-14 | 住友化学株式会社 | 着色固化性树脂组合物 |
CN113795521B (zh) * | 2019-05-08 | 2023-05-12 | 住友化学株式会社 | 着色固化性树脂组合物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023029425A (ja) | 2023-03-03 |
JP7405791B2 (ja) | 2023-12-26 |
TW201631050A (zh) | 2016-09-01 |
JP2021120754A (ja) | 2021-08-19 |
CN105842986A (zh) | 2016-08-10 |
TWI670333B (zh) | 2019-09-01 |
KR20160094305A (ko) | 2016-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102576885B1 (ko) | 착색 감광성 수지 조성물, 컬러 필터 및 그것을 포함하는 표시 장치 | |
JP7405791B2 (ja) | 緑色着色感光性樹脂組成物 | |
KR102652508B1 (ko) | 착색 경화성 수지 조성물, 컬러 필터 및 그것을 포함하는 표시 장치 | |
JP6932511B2 (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及びそれを含む表示装置 | |
JP2020149061A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
JP6731734B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
KR102608327B1 (ko) | 청색 경화성 수지 조성물, 청색 컬러 필터 및 그것을 포함하는 표시 장치 | |
JP2020041154A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及びそれを含む表示装置 | |
JP6704675B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
KR102575650B1 (ko) | 청색 경화성 수지 조성물, 청색 컬러 필터 및 그것을 포함하는 표시 장치 | |
JP2017133008A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及びそれを含む表示装置 | |
JP2021063999A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
JP6839487B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
JP6731703B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
JP2018136366A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及びそれを含む表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181112 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20181112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191008 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200904 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210216 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210428 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210713 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20211005 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20211116 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20211116 |