JP2016045194A - 光学フィルム検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】様々な欠陥を高い精度で検出できる光学フィルム検査装置を提供すること。【解決手段】本発明は、移送されるフィルムの一側から光を照射する光源と、前記フィルムを撮像する撮像装置とを備え、前記光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なることで、１つの光源及び撮像装置のみでも各々の欠陥を容易に観測することができ、且つ様々な撮像条件で撮像された画像を得ることができるため、複数の光源及び撮像装置がなくても様々な欠陥を容易に検出することができる光学フィルム検査装置に関する。【選択図】図１

Description

本発明は、光学フィルム検査装置に関する。

画像表示装置には、偏光子、ＴＡＣ、位相差フィルム等のような様々な光学フィルムが用いられる。画像表示装置の進化に伴い、これに用いられる光学フィルムにも高い品質が求められる。

しかしながら、光学フィルム製造の際には、様々な原因で不良が生じる。例えば、光学フィルムを形成する樹脂組成物に異物が混入する場合、樹脂組成物のフィルム硬化時に気泡が生じる場合、多層構造フィルムの形成の際に層間に異物が混入する場合、フィルム表面にスクラッチが生じる場合、フィルムに反りが生じる場合等、様々な要因がある。

前記のような不良を引き起こす様々な要因によって様々な形状の欠陥が生じる。例えば、異物が挿入されるか、或いは気泡が生じれば、光学フィルムの表面が該当箇所で凹凸状の欠陥が生じ、スクラッチが生じた場合はフィルム表面に直線状の欠陥が生じる。

光学フィルムの製造が完了した後には、このような欠陥が生じた部分を除去するために欠陥を検出する工程が備えられる。欠陥を検出する方法の一つとしては、光学フィルムの表面を撮影機器で撮影し、該画像を分析する方法が用いられる。

しかしながら、様々な形状の欠陥が容易に観測される撮像条件は同じではない。従って、様々な形状の欠陥を高い精度で検出するためには様々な撮像条件を設定する必要があり、そのためには複数の光源及びカメラを備えなければならないため、空間及び経済性の問題が生じる。

韓国登録特許第１０８２６９９号公報には、光学フィルム用検査装置が開示されているものの、該当システムにおいても複数の光源及びカメラが必要であるといった問題がある。

韓国登録特許第１０８２６９９号公報

本発明は、複数の光源及び撮像装置を要することなく、様々な欠陥を高い精度で検出することができる光学フィルム検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、かかる光学フィルム検査方法を提供することを目的とする。

１．移送されるフィルムの一側から光を照射する光源と、前記フィルムを撮像する撮像装置とを備え、前記光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なる、光学フィルム検査装置。

２．前記項目１において、前記光源及び前記撮像装置がフィルムの移送方向で互いに離隔している、光学フィルム検査装置。

３．前記項目１において、前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが平行である、光学フィルム検査装置。

４．前記項目１において、前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが平行ではない、光学フィルム検査装置。

５．前記項目１において、前記撮像領域は、前記フィルムの移送方向に応じて異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域に区分され、前記サブ撮像領域ごとでそれぞれ前記フィルムの全体の画像を取得するように撮像周期信号を発する周期信号発生部と、前記周期信号発生部からの前記撮像周期信号を受信し、撮像周期ごとに前記撮像装置へ撮像信号を転送し、前記撮像装置から受信した撮像画像から欠陥を検出する制御部とをさらに備える、光学フィルム検査装置。

６．前記項目５において、前記各サブ撮像領域は、互いに同一の幅を有し、前記周期信号発生部は、前記フィルムが前記サブ撮像領域の前記幅の分移送される度に前記撮像周期信号を発する、光学フィルム検査装置。

７．前記項目５において、前記制御部は、各前記サブ撮像領域から受信した前記撮像画像を前記サブ撮像領域別に結合することで、前記サブ撮像領域ごとにおいて前記フィルムの前記全体画像を取得し、それに基づき前記欠陥を検出する、光学フィルム検査装置。

８．前記項目１において、前記光照射領域が光学フィルムの有効領域を含み、前記光源は、前記有効領域において、前記フィルムの幅方向で同一の照度を有するように前記光を照射する光源である、光学フィルム検査装置。

９．前記項目５において、前記欠陥は、異物欠陥、凹凸欠陥、又はスクラッチ欠陥である、光学フィルムの検査装置。

１０．前記項目９において、前記異物欠陥は、その周辺の正常領域との照度差が１０グレイ以上の領域のうち、横、縦の長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒色欠陥であり、前記凹凸欠陥は、前記周辺の前記正常領域との前記照度差が１０グレイ以上の前記領域のうち、前記横、前記縦の前記長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒白欠陥であり、前記スクラッチ欠陥は、前記周辺の前記正常領域との前記照度差が１０グレイ以上の前記領域のうち、幅が３０μｍ以上、且つ長さが幅の３倍以上の前記欠陥である、光学フィルム検査装置。

１１．移送されるフィルムの一側の光源から光を照射し、前記フィルムを撮像装置で撮像して光学フィルムの欠陥を検出する方法において、前記光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なる、光学フィルムの検査方法。

１２．前記項目１１において、前記光源及び前記撮像装置が前記フィルムの移送方向で互いに離隔するように配置される、光学フィルムの検査方法。

１３．前記項目１１において、前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが、平行であるように配置される、光学フィルムの検査方法。

１４．前記項目１１において、前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが、非平行であるように配置される、光学フィルムの検査方法。

１５．前記項目１１において、前記フィルムの移送方向に応じて、前記撮像領域を異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域に区分し、前記フィルムが前記サブ撮像領域の幅の分移送される度に前記フィルムを撮像し、前記サブ撮像領域ごとでそれぞれ前記フィルムの全体の画像を取得する、光学フィルム検査方法。

１６．前記項目１１において、各前記サブ撮像領域から受信した撮像画像を前記サブ撮像領域別に結合することで、前記サブ撮像領域ごとにおいて前記フィルムの前記全体画像を取得する、光学フィルムの検査方法。

本発明の光学フィルム検査装置は、１つの光源及び撮像装置のみでも各々の欠陥を容易に観測することができ、且つ様々な撮像条件で撮像された画像を取得することができるため、複数の光源及び撮像装置がなくても様々な欠陥を容易に検出することができる。

図１は、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置を概略的に示した図である。 図２は、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置における光源及び撮像装置の上面図である。 図３は、光源の光照射角度と撮像装置の撮像角度とを調節する具体例である。 図４は、光源の光照射角度と撮像装置の撮像角度とを調節する具体例である。 図５は、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置において、同一の欠陥をそれぞれ異なる撮像領域（bright field(a)、gray field(b)、dark field(c)）で撮像した画像である。 図６は、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置において、同一の欠陥をそれぞれ異なる撮像領域（bright field(a)、gray field(b)、dark field(c)）で撮像した画像である。 図７は、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置において、同一の欠陥をそれぞれ異なる撮像領域（bright field(a)、gray field(b)、dark field(c)）で撮像した画像である。 図８は、フィルムの移送方向に応じて、撮像領域を異なる照度範囲を有する３つのサブ撮像領域に区分した場合を例示したものである。 図９は、それぞれのサブ撮像領域で取得した画像からフィルム全体画像を取得する方法を概略的に示した図である。

本発明は、移送されるフィルムの一側から光を照射する光源と、前記フィルムを撮像する撮像装置とを備え、光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なることで、１つの光源及び撮像装置のみでも各々の欠陥を容易に観測することができ、且つ様々な撮像条件で撮像された画像を得ることができるため、複数の光源及び撮像装置がなくても様々な欠陥を容易に検出することができる光学フィルム検査装置に関する。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明の光学フィルム検査装置は、光源及び撮像装置を備える。図１には、本発明の一具体例による光学フィルム検査装置が概略的に示されている。

検査対象である光学フィルム１０は、光学系であり、且つ検査が遂行され得るフィルムであれば、その種類は特に制限されない。光学フィルム１０のより具体的な例としては、偏光子、透明保護フィルム、前記偏光子の少なくとも一面に保護フィルムが付着された偏光板、位相差フィルム等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

光学フィルム１０は、一般的にロールツーロール方法で提供されるが、ロール状のフィルムは、保管、運送、取り扱い等によってロールの末端部が伸びる等の損傷が生じ兼ねない。そのため、製品として使用する際は、幅方向の長さ全体を用いることなく、幅方向の末端一部を切断して残り部分を用いてもよい。

用いる前記残り部分は光学フィルム１０の有効領域といえる。切断される末端部の長さは特に限定されることなく、所望の製品の性能、製品の取り扱い状態等によって適宜選択されてもよい。

本発明において、光学フィルム１０の後述する光照射及び撮像は、光学フィルム１０の全体領域又は有効領域に対して行われてもよく、光照射領域及び撮像領域は有効領域を含んでもよい。

光源１００は、移送されるフィルム１０の一側、具体的には、前記フィルム１０の面に対する一方の側（図１における下面）からフィルム１０に光を照射する。

フィルム１０に光を照射することができるのであれば、光照射角は特に限定されない。以下、フィルムに光を垂直で照射する場合を具体的な例によって説明するが、これらに制限されるものではない。

本発明の一具体例によると、光源１００は、フィルム１０の光照射領域１１０において、フィルム１０の幅方向で同一の照度を有するように光を照射する光源１００であってよい。前述のとおり、光照射領域１１０は、フィルムの有効領域を含んでもよく、具体的には、光照射領域１１０のうちフィルム１０の有効領域に対してのみ、幅方向で同一の照度を有するように光を照射してもよいが、これらに制限されるものではない。

本発明において同一の照度とは、完全に同一の照度のみならず、実質的に同一の照度も含まれる。実質的に同一の照度とは、検査装置でその差を認識することができない程度、換言すれば、照度の偏差が±１０％、±５％、±１％、±０．１％、±０．０１％、±０．０００１％、±０．００００１％である場合が例として挙げられるが、これらに限定されるものではない。そのために、光源１００は、その長辺又は短辺がフィルムの幅以上の長さを有するか、或いは正四角形の光源１００の場合、１辺以上がフィルムの幅以上の長さを有してもよい。その場合、フィルムの幅方向における照度差は生じないため、後述するサブ撮像領域との区分が容易である。

撮像装置２００は、フィルム１０の面を撮像するものであり、前記光源１００と同一側、又はフィルム１０の他方の側（図１における上面）からフィルムを撮像する。

同様に、撮像装置２００もフィルム１０を撮像することができるのであれば、撮像角度は特に限定されない。以下、フィルム１０を垂直で撮像する場合を具体的な例によって説明するが、これに制限されるものではない。

本発明において、光が照射される前記フィルム１０の光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なる。

領域が重なるように具現する方法は、特に限定されることなく、例えば、前記光源１００及び撮像装置２００が、前記フィルム１０の移送方向で互いに離隔するように配置されることで具現されてもよい。

図１は、かかる具体例による本発明の光学フィルム検査装置を概略的に示した図であり、図２は、かかる光学フィルム検査装置における光源１００及び撮像装置２００の上面図である。図１及び図２に示したとおり、光源１００及び撮像装置２００は、フィルムの移送方向で互いに離隔し、光が照射される前記フィルムの光照射領域１１０及び撮像される前記フィルムの撮像領域２１０の一部が重なる。

また、図３及び図４に示したとおり、光照射角度及び撮像角度を調節することで具現することもできる。そのために、光照射方向と撮像方向とが平行にならないように光源１００及び撮像装置２００を配置してもよい。図３は、かかる一具体例を示した図であり、このように光照射方向と撮像方向とが平行ではなく、且つ光照射領域１１０及び撮像領域２１０の一部が重なるように配置されてもよい。

勿論、光照射角度及び撮像角度を調節することで、図４に示したように、光照射方向と撮像方向とが平行である状態で、光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なるようにすることも可能である。

このように、光が照射される前記フィルム１０の光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なることによって、撮像されるフィルム１０の撮像領域２１０はフィルムの移送方向に応じて照度差が生じる。

故に、本発明の光学フィルム検査装置は、フィルムの移送方向に応じて、前記撮像領域２１０を異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃに区分し、サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとでそれぞれフィルム１０全体の画像を得、それに基づき欠陥を検出する。

本発明の検出対象である欠陥は、大きく異物欠陥、凹凸欠陥、及びスクラッチ欠陥に分けられる。

異物欠陥は、図５（ａ）に示したように、黒色の点状で現われる欠陥を意味し、周辺の正常領域との照度差が１０グレイ以上の領域のうち、横、縦の長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒色点状の欠陥を異物欠陥として分類することができる。

凹凸欠陥は、図６（ｂ）に示したように、黒色及び白色が一緒に現われる欠陥を意味し、周辺の正常領域との照度差が１０グレイ以上の領域のうち、横、縦の長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒白の欠陥を凹凸欠陥として分類することができる。

スクラッチ欠陥は、図７（ｃ）に示したように、細長い線状の欠陥を意味し、周辺の正常領域との照度差が１０グレイ以上の領域のうち、幅が３０μｍ以上、且つ長さが幅の３倍以上の欠陥をスクラッチ欠陥として分類することができる。

これらの欠陥の場合、欠陥を容易に観測することができる観測条件はそれぞれ異なる。図５〜図７において、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれフィルムの同一部位を異なるサブ撮像領域で撮像した写真であり、（ａ）は、第１のサブ撮像領域（Bright field、ブライトフィールド）、（ｂ）は、第２のサブ撮像領域（Gray field、グレイフィールド）、（ｃ）は、第３のサブ撮像領域（Dark field、ダークフィールド）で撮像した写真である。

具体的に、図５の異物欠陥は、第１のサブ撮像領域（Bright field）で容易に観測され、第２のサブ撮像領域（Gray field）でも観測は可能であるが、第３のサブ撮像領域（Dark field）では観測が困難である。そして、図６の凹凸欠陥は、第２のサブ撮像領域（Gray field）では容易に観測されるが、第１のサブ撮像領域（Bright field）及び第３のサブ撮像領域（Dark field）では観測が困難である。また、図７のスクラッチ欠陥は、第３のサブ撮像領域（Dark field）では容易に観測されるが、第１のサブ撮像領域（Bright field）及び第２のサブ撮像領域（Gray field）では観測が困難である。

すなわち、これらの欠陥を全て高い精度で検出するためには、各々の欠陥に適した撮像条件を設定する必要があるので、複数の撮像装置及び光源が必要となる。

しかしながら、本発明の光学フィルム検査装置は、各サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとにそれぞれフィルム全体の画像を得て、それに基づき欠陥を検出するため、一つの光源１００及び撮像装置２００のみでも様々な種類の欠陥を高い精度で検出することができる。

図８には、フィルムの移送方向に応じて、撮像領域２１０を異なる照度範囲を有する３つのサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃに区分した場合を例示したものである。このように撮像領域２１０を異なる照度（グレイ）範囲を有する２以上のサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃに区分することができる。

各サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃを区分する照度は特に限定されることなく、所望の製品性能、検査水準、そして光源１００の光度、光源１００及びフィルム１０間の距離、光源１００及び撮像装置２００の離隔程度、撮像装置２００及びフィルム１０間の距離等に応じて様々に調節されてもよい。

サブ撮像領域は、フィルムの光照射領域及びフィルムの撮像領域が重なる程度によって分けられてもよい。

具体的に、フィルムの光照射領域は、光源１００が具現しようとする照度を示す主照射領域と、そうではない副照射領域とに分けられてもよい。

撮像領域２１０を２つのサブ撮像領域に区分する場合であれば、撮像領域２１０を主照射領域と重なる部位、及び副照射領域と重なる部位に分けることができる。

そして、撮像領域２１０を３つのサブ撮像領域に区分する場合であれば、撮像領域２１０のうち主照射領域と重なる部位を第１のサブ撮像領域（Bright field；２１０ａ）とし、副照射領域を２つの領域に分けて、撮像領域２１０のうち散乱光及び拡散光がより多く到逹する部位である第１の副照射領域と重なる部位を第２のサブ撮像領域（Gray field；２１０ｂ）に、散乱光及び拡散光がより少なく到逹する部位である第２の副照射領域と重なる部位を第３のサブ撮像領域（Dark field；２１０ｃ）に分けることができる。

例えば、第１のサブ撮像領域（Bright field；２１０ａ）は、９０グレイ以上〜１５０グレイ以下、第２のサブ撮像領域（Gray field；２１０ｂ）は、３０グレイ以上〜９０グレイ未満、第３のサブ撮像領域（Dark field；２１０ｃ）は、３０グレイ未満の照度を有する領域であってよいが、これらに制限されるものではない。

本発明の光学フィルム検査装置は、各サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとにそれぞれフィルム全体の画像を取得し、それに基づき欠陥を検出するために、周期信号発生部３００及び制御部４００をさらに備える。

周期信号発生部３００は、サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとにそれぞれフィルム全体の画像を取得するように撮像周期信号を発する。

具体的に、各サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃは、互いに同一の幅を有し、前記周期信号発生部３００は、フィルムが前記サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃの幅の分移送される度に撮像周期信号を発する。そして、制御部４００は、前記周期信号発生部３００から撮像周期信号を受信し、撮像周期ごとに前記撮像装置２００へ撮像信号を転送する。

サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃの幅は、撮像周期と関連するものであり、撮像領域内で適宜選択されてもよい。

フィルムがサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃの幅の分移送される度にフィルムを撮像すれば、結局、サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとに移送されたフィルム全体を撮影することになる。

そして、前記制御部４００は、各サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃから受信した撮像画像をサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃ別に結合することで、サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとにおいてフィルム全体画像を取得し、それに基づき欠陥を検出する。

図９には、フィルム全体画像を取得する方法が概略的に示されている。図９に示したとおり、撮像領域２１０を３つのサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃに区分し、フィルム１０がサブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃの幅の分移送される度にフィルムを撮像し、全体撮像画像を総合すれば、移送されたフィルム１０全体が、第１のサブ領域２１０ａ、第２のサブ領域２１０ｂ、及び第３のサブ領域２１０ｃの全てにおいて撮像された画像を得ることができる。

そして第１のサブ領域２１０ａで撮像された画像のみをつなぎ合わせると、図９（ａ）に示したとおり、第１のサブ領域２１０ａにおいてフィルム全体が撮像された画像を得ることができる。同様に、第２のサブ領域２１０ｂで撮像された画像をつなぎ合わせて第２のサブ領域２１０ｂにおいてフィルム全体が撮像された画像（図９（ｂ））を、第３のサブ領域２１０ｃで撮像された画像をつなぎ合わせて第３のサブ領域２１０ｃでフィルム全体が撮像された画像（図９（ｃ））を得ることができる。

以上のとおり、サブ撮像領域２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃごとにおいてフィルム全体画像を取得すると、画像ごとに容易に観測される特定の欠陥が存在するため、様々な種類の欠陥を容易に検出することができる。

また、本発明は、光学フィルム検査方法を提供する。

本発明の光学フィルム検査方法は、移送されるフィルムの一側から光を照射し、前記フィルムを撮像して光学フィルムの欠陥を検出する方法であって、光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なるようにする。

前記領域が重なるように具現する方法は特に限定されることなく、例えば、前記光源１００及び撮像装置２００が、前記フィルム１０の移送方向で互いに離隔するように配置されるか、或いは光照射角度及び撮像角度を調節することで具現することもできる。そのために、光照射方向と撮像方向とが平行にならないように光源１００及び撮像装置２００を配置してもよい。勿論、光照射角度及び撮像角度を調節して、光照射方向と撮像方向とが平行である状態で、光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なるようにすることも可能である。

前記フィルム１０の光照射領域及び撮像される前記フィルム１０の撮像領域の一部が重なるようにすることで、撮像されるフィルムの撮像領域においてフィルムの移送方向に応じて照度差が生じる。

故に、本発明の光学フィルム検査方法は、フィルムの移送方向に応じて、前記撮像領域を異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域に区分し、サブ撮像領域ごとでそれぞれフィルム全体の画像を得、それに基づき欠陥を検出する。

フィルムがサブ撮像領域の幅の分移送される度にフィルムを撮像し、サブ撮像領域ごとでそれぞれフィルム全体の画像を取得することができる。

そして、各サブ撮像領域から受信した撮像画像をサブ撮像領域別に結合することで、図９に示したように、サブ撮像領域ごとにおいてフィルム全体画像を取得することができる。

以上のとおり、サブ撮像領域ごとにおいてフィルム全体画像を取得すると、画像ごとに容易に観測される特定の欠陥が存在するため、様々な種類の欠陥を容易に検出することができる。

以下、本発明の理解を助けるために、好適な実施形態を示すが、これら実施形態は本発明を例示するに過ぎず、添付された特許請求の範囲を制限するわけではなく、本発明の範疇及び技術思想の範囲内において実施形態に対し変更が多様であること且つ修正が可能であることは、当業者にとって明らかなものであり、このような変更及び修正が添付された特許請求の範囲に属するのも当然のことである。

実施例
Ｔｅｓｔｏ ５４５ ＬｕｘＭｅｔｅｒを利用し、照明表面から１ｍｍ離れた箇所で測定した照度が２０万ｌｕｘである光源を用い、移送される偏光フィルムと１ｃｍ離隔する距離からフィルムに光を垂直に照射した。フィルムの光照射領域において、フィルム幅方向における照度差は測定されなかった。

そして、光学フィルムの他側で、１２ｃｍ離隔する距離から、Ａｒｅａ ｓｃａｎ ｃａｍｅｒａ（Balser acA2000-340km）でフィルムを垂直に撮像した。光源及びカメラの離隔距離は１３ｃｍであった。

フィルムの移送方向に応じて、照度を基準とし、カメラの撮像領域をブライトフィールド（bright field）、グレイフィールド（gray field）、及びダークフィールド（dark field）に区分した。その際、それぞれの領域の画像照度は、ブライトフィールドが９０グレイ以上〜１５０グレイ以下、グレイフィールドが３０グレイ以上〜９０グレイ未満、ダークフィールドが０グレイ以上〜３０グレイ未満であった。

以降、フィルムが前記サブ撮像領域の幅の分移送される度に撮像を行い、観測された同一の異物欠陥に対してブライトフィールド、グレイフィールド、及びダークフィールドで撮影された写真を図５に示し、それと同様に、凹凸欠陥に対しても図６に示し、スクラッチ欠陥に対しても図７に示した。

図５〜図７を参照すると、ブライトフィールドにおいて異物欠陥が、グレイフィールドにおいて凹凸欠陥が、ダークフィールドにおいてスクラッチ欠陥が容易に観察されることを確認することができる。

従来では、これらの欠陥をそれぞれ全て検出するためには、３つの光源及びカメラ、すなわち３つの光学系を備える必要性があったが、本発明は、１つのシステムでこれら各々の欠陥を全て検出することができる。

Claims (16)

1. 移送されるフィルムの一側から光を照射する光源と、前記フィルムを撮像する撮像装置とを備え、
   前記光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なることを特徴とする、光学フィルム検査装置。
2. 前記光源及び前記撮像装置が、前記フィルムの移送方向で互いに離隔している、請求項１に記載の光学フィルム検査装置。
3. 前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが平行である、請求項１または２に記載の光学フィルム検査装置。
4. 前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが平行ではない、請求項１または２に記載の光学フィルム検査装置。
5. 前記撮像領域は、前記フィルムの移送方向に応じて異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域に区分され、
   前記サブ撮像領域ごとでそれぞれ前記フィルムの全体の画像を取得するように撮像周期信号を発する周期信号発生部と、
   前記周期信号発生部からの前記撮像周期信号を受信し、撮像周期ごとに前記撮像装置へ撮像信号を転送し、前記撮像装置から受信した撮像画像から欠陥を検出する制御部と、をさらに備える、請求項１ないし４のいずれかに記載の光学フィルム検査装置。
6. 前記各サブ撮像領域が、互いに同一の幅を有し、
   前記周期信号発生部は、前記フィルムが前記サブ撮像領域の前記幅の分移送される度に前記撮像周期信号を発する、請求項５に記載の光学フィルム検査装置。
7. 前記制御部は、各前記サブ撮像領域から受信した前記撮像画像を前記サブ撮像領域別に結合することで、前記サブ撮像領域ごとにおいて前記フィルムの前記全体画像を取得し、それに基づき前記欠陥を検出する、請求項５または６に記載の光学フィルム検査装置。
8. 前記光照射領域が光学フィルムの有効領域を含み、
   前記光源は、前記有効領域において、前記フィルムの幅方向で同一の照度を有するように前記光を照射する光源である、請求項１ないし８のいずれかに記載の光学フィルム検査装置。
9. 前記欠陥が、異物欠陥、凹凸欠陥、又はスクラッチ欠陥である、請求項５に記載の光学フィルムの検査装置。
10. 前記異物欠陥は、その周辺の正常領域との照度差が１０グレイ以上の領域のうち、横、縦の長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒色欠陥であり、
    前記凹凸欠陥は、前記周辺の前記正常領域との前記照度差が１０グレイ以上の前記領域のうち、前記横、前記縦の前記長さがそれぞれ３０μｍ以上の黒白欠陥であり、
    前記スクラッチ欠陥が、前記周辺の前記正常領域との前記照度差が１０グレイ以上の前記領域のうち、幅が３０μｍ以上、且つ長さが幅の３倍以上の前記欠陥である、請求項９に記載の光学フィルム検査装置。
11. 移送されるフィルムの一側の光源から光を照射し、前記フィルムを撮像装置で撮像して光学フィルムの欠陥を検出する方法において、
    前記光が照射される前記フィルムの光照射領域及び撮像される前記フィルムの撮像領域の一部が重なることを特徴とする、光学フィルムの検査方法。
12. 前記光源及び前記撮像装置が前記フィルムの移送方向で互いに離隔するように配置される、請求項１１に記載の光学フィルムの検査方法。
13. 前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが、平行であるように配置される、請求項１１または１２に記載の光学フィルムの検査方法。
14. 前記光源の光照射方向と前記撮像装置の撮像方向とが、非平行であるように配置される、請求項１１または１２に記載の光学フィルムの検査方法。
15. 前記フィルムの移送方向に応じて、前記撮像領域を異なる照度範囲を有する２以上のサブ撮像領域に区分し、前記フィルムが前記サブ撮像領域の幅の分移送される度に前記フィルムを撮像し、前記サブ撮像領域ごとでそれぞれ前記フィルムの全体の画像を取得する、請求項１１ないし１４のいずれかに記載の光学フィルム検査方法。
16. 各前記サブ撮像領域から受信した撮像画像を前記サブ撮像領域別に結合することで、前記サブ撮像領域ごとにおいて前記フィルムの前記全体画像を取得する、請求項１５に記載の光学フィルムの検査方法。

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