JP2015101034A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射面２０ａの面内方向に並設されてノズル開口２１に連通する圧力発生室と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、加温された液体を前記マニホールドに供給する流入路４４と、液体を前記マニホールドから流出させる流出路４５と、を具備し、流入路４４は、マニホールドに連通する側に傾斜流路４６を有し、傾斜流路４６は、少なくとも液体噴射面２０ａ側の内面４６ａの面方向が、液体噴射面２０ａに直交する方向であって流入路４４から液体噴射面２０ａに向かう第１の成分２０１と、液体噴射面２０ａの面内方向であって流入路４４から流出路４５に向かう第２の成分２０２と、を有する第１のベクトル方向２００となるように形成されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室等の流路とを具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口からインクに含まれる成分が蒸発することで、インクが増粘し、インク滴の吐出特性が時間の経過と共にばらつきが生じ、液体の噴射品質を一定に保つことができない。また、インクに含まれる成分が沈降し、連続して吐出させた場合のインク滴の成分と、時間を空けて吐出させた場合のインク滴の成分とに差異が生じることでも液体の噴射品質にばらつきが生じてしまう。

このため、複数の圧力発生室が共通して連通する共通液体室であるマニホールドにインクを供給すると共に、マニホールドからインクを回収して、供給と回収とを繰り返すことでインクを循環させて、インクの増粘及びインクに含まれる成分の沈降を抑制したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

特開２００９−２４７９３８号公報 特開平６−１４３６０１号公報

しかしながら、マニホールド内のインクを循環させても、マニホールド内のインクの流れの中心の温度と、マニホールドから供給された圧力発生室に連通するノズル開口近傍のインクの温度とで温度差（温度勾配）が生じ、マニホールド内を所望の温度のインクが循環したとしても、ノズル開口近傍のインクの温度がマニホールド内のインクの温度よりも低くなり、最適な温度でインクを吐出させることができずに、最適な吐出特性を得ることができないという問題がある。

また、マニホールド内のインクを循環させても、圧力発生室の並設方向において、マニホールドにインクを供給する流入路側のインクの温度と、マニホールドからインクを流出させる流出路側の温度とで温度勾配が生じ、全てのノズル開口から同じ温度のインクを吐出することができずに、吐出特性にばらつきが生じてしまうという問題がある。

また、マニホールドの容積を小さくすると、マニホールド内の液体噴射面側と液体噴射面と反対側とのインクの温度勾配や、圧力発生室の並設方向のインクの温度勾配を小さくすることができるものの、圧力損失が増大し、圧力発生手段の圧力変化をマニホールド側で吸収できなくなり、クロストークが発生するなどの問題が生じてしまう。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、マニホールド内の温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が設けられた液体噴射面と、該液体噴射面の面内方向に並設されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、加温された液体を前記マニホールドに供給する流入路と、液体を前記マニホールドから流出させる流出路と、を具備し、前記流入路は、前記マニホールドに連通する側に傾斜流路を有し、該傾斜流路は、少なくとも液体噴射面側の内面の面方向が、前記液体噴射面に直交する方向であって前記流入路から前記液体噴射面に向かう第１の成分と、前記液体噴射面の面内方向であって前記流入路から前記流出路に向かう第２の成分と、を有する第１のベクトル方向となるように形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、傾斜流路を設けることで、マニホールド内に供給された加温された液体の流れを第１のベクトル方向として、マニホールド内の液体の温度勾配を低減することができる。これにより、各圧力発生室に供給される液体の温度にばらつきが生じるのを抑制して液体の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、傾斜流路を設けただけなので、マニホールドの容積を減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。

ここで、前記傾斜流路は、前記流入路の前記液体噴射面とは反対側の内面が前記第１のベクトル方向となるように形成されていることが好ましい。これによれば、傾斜流路からマニホールド内に流入した液体が拡散するのを抑制して液体に確実な流れを形成して温度勾配を低減することができる。

また、前記傾斜流路が、前記液体噴射面に直交する方向において、前記マニホールドの前記液体噴射面側に連通して設けられていることが好ましい。これによれば、液体噴射面側の流入路に近い側に液体が滞留するのを抑制して、液体に含まれる成分の沈降を抑制することができると共に気泡排出性を向上することができる。

また、前記ノズル開口は、前記圧力発生室の並設方向において、前記傾斜流路の前記マニホールドに連通する開口を前記第１のベクトル方向に向かって前記液体噴射面に射影した領域を含む前記流出路側の領域に設けられていることが好ましい。これによれば、ノズル開口に連通する圧力発生室に異なる温度の液体が供給されるのを抑制することができ、液体の噴射特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、前記ノズル開口の前記圧力発生室の並設方向の端部に設けられた当該ノズル開口は、前記射影した領域内に設けられていることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの圧力発生室の並設方向を小型化することができる。

また、液体の吐出に用いられないダミーノズルが、前記圧力発生室の並設方向において、前記射影した領域よりも前記傾斜流路側に設けられていることが好ましい。これによれば、液体の温度に関係のないダミーノズルを射影した領域の外側に設けることで、液体噴射ヘッドの圧力発生室の並設方向を小型化することができる。

また、前記流出路は、前記マニホールドに連通する側に流出路用傾斜流路を有し、該流出路用傾斜流路は、少なくとも液体噴射面側の内面の面方向が、前記液体噴射面に直交する方向であって前記液体噴射面から前記流出路に向かう第３の成分と、前記液体噴射面の面内方向であって前記流入路から前記流出路に向かう第４の成分と、を有する第２のベクトル方向となるように形成されていることが好ましい。これによれば、流出路用傾斜流路を設けることで、マニホールド内の液体の温度勾配をさらに低減することができる。また、流出路用傾斜流路を設けることで、流路を流れる液体の向きを逆向き、すなわち、流出路から液体を供給し、流入路から液体を流出させるようにすることができ、液体噴射ヘッドの取り付け方向に制限がなく、組み立て工程等を簡略化することができる。

また、前記液体噴射面に直交する方向において、前記傾斜流路は、前記マニホールドの前記液体噴射面とは反対側の端部よりも当該液体噴射面とは離れる方向に延設されていてもよい。

また、前記傾斜流路が、前記マニホールドの前記液体噴射面とは反対側に前記傾斜流路と前記マニホールドとが連通する領域に跨がって形成されて、前記液体噴射面側に向かって突出して設けられた傾斜流路用突起部によって形成されていることが好ましい。これによれば、傾斜流路をマニホールドの液体噴射面とは反対側の端部よりも当該液体噴射面とは離れる方向に延設しなくても、傾斜流路を第１のベクトル方向に傾斜させて形成することができる。したがって、液体噴射ヘッドの液体噴射面に直交する方向を小型化することができる。

また、前記マニホールド内には、前記流入路と前記流出路との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられていることが好ましい。これによれば、突起部を設けることで、マニホールドを流入路から流出路に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室に連通する側に移動するため、マニホールドを流れる液体の温度勾配をさらに低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。

また、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールドに連通する部分に向かって突出して設けられていることが好ましい。これによれば、マニホールドを流入路から流出路に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室に連通する側に確実に移動させることができる。

また、前記突起部は、前記流入路から前記流出路までの間に複数個設けられていることが好ましい。これによれば、複数の突起部によってマニホールドを流入路から流出路に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室に連通する側に確実に移動させることができる。また、マニホールドの容積が著しく減少するのを抑制することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制した液体噴射装置を実現できる。

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１及び比較した記録ヘッド内の液体の流れを示す断面図である。 実施形態１及び比較した記録ヘッド内の流路の流れを示す断面図である。 実施形態１に係る突起部の変形例を示す断面図である。 実施形態１に係る突起部の変形例を示す断面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。 実施形態３に係る記録ヘッドを示す断面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は、図３のＢ−Ｂ′線断面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１は、ヘッド本体１１、ケース４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板９１と、を具備する。

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｘにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｘにずれて配置されて、第１の方向Ｘの解像度を２倍にしている。また、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を第３の方向Ｚと称する。本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて、詳しくは後述する流入路４４側をＸ１、流出路４５側をＸ２と称する。また、第２の方向Ｙにおいて、一方側をＹ１側、他方側をＹ２側と称する。なお、第２の方向Ｙにおいては、詳しくは後述するが、Ｙ１側に設けられた圧力発生室１２の列には、当該圧力発生室１２の列よりもＹ１側に設けられたマニホールド１００からインクが供給され、Ｙ２側に設けられた圧力発生室１２の列には、当該圧力発生室１２の列よりもＹ２側に設けられたマニホールド１００からインクが供給される。さらに、第３の方向Ｚにおいて、液体噴射方向側（記録シートＳ側）をＺ１側、反対側をＺ２側と称する。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に当該圧力発生室よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

流路形成基板１０の一方の面には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口が開口する第３の方向ＺのＺ１側が液体噴射面２０ａとなっている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して第３の方向Ｚの途中まで設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板が形成されている。また、振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース４０が固定されている。ケース４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。なお、本実施形態では、ヘッド本体１１の第２の方向Ｙを挟んだ両側にマニホールド１００を形成するようにした。

また、ケース４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

さらに、図３及び図４に示すように、ケース４０には、マニホールド１００に連通してマニホールド１００にインクを供給する流入路４４と、マニホールド１００に連通してマニホールド１００内のインクを流出させる流出路４５と、が設けられている。このような流入路４４は、ヘッド本体１１の第１の方向Ｘの一方側に設けられており、流出路４５は、ヘッド本体１１の第１の方向Ｘの他方側に設けられている。本実施形態の流入路４４は、インクジェット式記録ヘッド１の外部に設けられた液体貯留手段５に供給管８を介して接続される側は１カ所で接続されており、当該流入路４４は途中で２つに分岐されてヘッド本体１１の第２の方向Ｙの両側のマニホールド１００にそれぞれ連通する。また、２つのマニホールド１００にそれぞれ連通する２つの流出路４５は、途中で１つに合流して回収管９に接続されている。すなわち、同じインクが供給された流入路４４は、途中で２つに分岐して同じインクを２つのマニホールド１００に供給する。また、マニホールド１００内のインクは、それぞれに連通する流出路４５が途中で合流して１つの出口から流出される。もちろん、流入路４４を途中で分岐することなく、各マニホールド１００毎に独立して設けるようにしてもよく、流出路４５を途中で合流することなく、各マニホールド１００毎に独立して設けるようにしてもよい。

また、図２に示すように、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板９１が設けられている。このコンプライアンス基板９１が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板９１は、本実施形態では、封止膜９２と、固定基板９３と、を具備する。封止膜９２は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成されている。また、固定基板９３は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板９３のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部９４となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜９２のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。

ここで、マニホールド１００にインクを供給する流入路４４は、図４に示すように、マニホールド１００の第３マニホールド部４２に連通する側に傾斜流路４６を有する。

傾斜流路４６は、少なくとも液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側の第１の面４６ａの面方向が、液体噴射面２０ａに直交する方向であって流入路４４から液体噴射面２０ａに向かう第１の成分２０１と、液体噴射面２０ａの面内方向であって流入路４４から流出路４５に向かう第２の成分２０２と、を有する第１のベクトル方向２００となるように傾斜して形成されたものである。なお、本実施形態の第１の成分２０１は、第３の方向ＺであってＺ２側からＺ１側に向かう成分のことである。また、第２の成分２０２は、第１の方向Ｘであって流入路４４側であるＸ１側から流出路４５側であるＸ２側に向かう成分のことである。そして、傾斜流路４６は、少なくとも液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側の第１の面４６ａの面方向が、これら第１の成分２０１と第２の成分２０２とが合成された第１のベクトル方向２００となるように傾斜されて形成されている。また、本実施形態の傾斜流路４６は、さらに液体噴射面２０ａとは反対側、すなわち第３の方向ＺのＺ２側の第２の面４６ｂの面方向が第１のベクトル方向２００となるように傾斜して形成されている。

このように、傾斜流路４６の少なくとも第１の面４６ａを第１のベクトル方向２００となるように傾斜して設けることで、傾斜流路４６からマニホールド１００内に供給されたインクは第１のベクトル方向２００への流れが形成される。また、本実施形態では、傾斜流路４６の第２の面４６ｂを第１のベクトル方向２００となるように傾斜して設けることで、マニホールド１００内に供給されたインクの流れを拡散させることなく液体噴射面２０ａ側に向かって流すことができる。ちなみに、傾斜流路４６の開口面積がマニホールド１００側に向かって徐々に拡大される場合、マニホールド１００内に供給されたインクの流れが拡散する。本実施形態では、傾斜流路４６の第１の面４６ａ及び第２の面４６ｂを同じ第１のベクトル方向２００となるように設けることで、開口面積がマニホールド１００側に向かって徐々に拡大されることなく、インクの流れを拡散させるのを抑制することができる。なお、傾斜流路４６の第２の方向Ｙの幅についても同様に、第２の方向Ｙの幅がマニホールド１００に向かって徐々に拡大していても、また、拡大していなくてもよいが、インクの流れが拡散するのを抑制するためには、傾斜流路４６の第２の方向Ｙの幅は同じ幅で設けるのが好ましい。このように、インクの流れが拡散し過ぎると、傾斜流路４６の機能が発揮されず、マニホールド１００内において流入路４４側と流出路４５側とで温度勾配が生じてしまうため、なるべく拡散しないように傾斜流路４６を形成するのが好適である。

ちなみに、傾斜流路４６は、第２の面４６ｂのみを第１のベクトル方向２００となるように傾斜させて、第１の面４６ａを傾斜させずに第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙとなるように形成することも考えられるものの、このように第２の面４６ｂのみを傾斜面とした傾斜流路ではマニホールド１００内に供給されたインクを第１のベクトル方向２００に向かって流すことが困難である。つまり、傾斜流路４６は、少なくとも液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側の第１の面４６ａの面方向を第１のベクトル方向２００となるように傾斜して設けることで、傾斜流路４６からマニホールド１００内に供給されたインクは第１のベクトル方向２００への流れが形成される。したがって、傾斜流路４６の第２の面４６ｂは、第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙとなっていても、傾斜流路４６によってマニホールド１００内に供給されたインクに第１のベクトル方向２００への流れを形成することができる。

このような傾斜流路４６の第２の面４６ｂは、本実施形態では、傾斜流路４６とマニホールド１００との接続部分において、液体噴射面２０ａとは反対面側から第３の方向ＺのＺ１側に向かって突出して設けられた傾斜流路用突起部４７によって形成されている。すなわち、本実施形態の傾斜流路４６は、マニホールド１００の第３の方向ＺのＺ２側と同じ高さで設けられており、傾斜流路用突起部４７によって傾斜した第２の面４６ｂが形成されることで、傾斜流路４６はマニホールド１００と同じ第３の方向Ｚの高さであっても、第２の面４６ｂが傾斜して形成されている。このように、傾斜流路４６をマニホールド１００の第３の方向ＺのＺ２側の高さと同じ高さとすることで、ケース４０が第３の方向Ｚに大型化するのを抑制することができる。

なお、傾斜流路用突起部４７は、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２に連通する領域の外側、すなわち、Ｘ１側に設けられているのが好ましい。これにより、各圧力発生室１２に連通するマニホールド１００の容積にばらつきが生じて、インクの吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。つまり、圧力発生室１２の第２の方向Ｙに対向する位置に傾斜流路用突起部４７が設けられていると、傾斜流路用突起部４７が存在することで第２の方向Ｙで対向するマニホールド１００の第３の方向Ｚの容積が減少した圧力発生室１２と、傾斜流路用突起部４７が存在しない第２の方向Ｙで対向するマニホールド１００の第３の方向Ｚの容積とに差が生じてしまうからである。もちろん、傾斜流路用突起部４７は、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２に連通する領域に形成されていてもよい。

このような傾斜流路４６は、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００の液体噴射面２０ａとは反対側、すなわち、Ｚ２側に連通して設けられている。

このように流入路４４のマニホールド１００に連通する側に、傾斜流路４６を設けることにより、マニホールド１００内で加温されたインクを液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ２側からＺ１側に流すことができる。したがって、マニホールド１００内のインクの第３の方向Ｚの温度勾配、すなわち、マニホールド１００のＺ１側のインク温度とＺ２側のインク温度の差を減少することができる。また、傾斜流路４６を設けることで、マニホールド１００内で加温されたインクをＺ１側で流入路４４に連通する側である第１の方向ＸのＸ１側から流出路４５に連通する側であるＸ２側に向かって流すことができる。したがって、マニホールド１００内のインクのＺ１側における第１の方向Ｘでの温度勾配、すなわち、流入路４４に連通する側であるＸ１側のインク温度と、マニホールド１００の流出路４５に連通する側であるＸ２側のインク温度との差を減少させることができる。

ここで、傾斜流路４６を設けた本実施形態のインクの流れと、傾斜流路４６を設けずに流入路を第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙに沿って設けた比較例のインクの流れとを図５に示す。

図５（ａ）に示すように、本実施形態のように流入路４４に傾斜流路４６を設けた場合にマニホールド１００内に供給されたインクは、加温されたインク５００が第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘに亘って広がって流れている。これにより、マニホールド１００の全体に亘って温度勾配が低減される。

これに対して、図５（ｂ）に示すように、傾斜流路４６を設けずに流入路１４４を第１の方向Ｘに沿って設けた構成では、マニホールド１００内に供給された加温されたインク５０１は、第３の方向ＺのＺ２側に偏って流れてしまう。ちなみに、図５（ｂ）に示す例では、流入路１４４がマニホールド１００のＺ２側に連通しているが、例えば、流入路１４４をマニホールド１００のＺ１側に連通させた場合には、加温されたインク５０１はＺ１側に偏って流れて、マニホールド１００全体のインクの温度勾配、特に第３の方向Ｚの温度勾配を減少させることができない。そして、インクの吐出の際などにマニホールド１００内のインクが攪拌されると、温度勾配が大きい場合には攪拌前の温度と、攪拌後の温度とに大きな温度差が生じてしまうという問題がある。図５（ａ）に示す本実施形態の構成では、マニホールド１００全体の温度勾配を減少させることができるため、マニホールド１００内のインクが攪拌されたとしても、攪拌前の温度と、攪拌後の温度との温度差を減少させることができる。

また、図５（ｃ）に示すように、傾斜流路４６を設けずに流入路１４４Ａを第３の方向Ｚに沿って設けた構成では、マニホールド１００内に供給された加温されたインク５０２は、流入路１４４Ａ側であるＸ１側ではＺ２からＺ１側に向かって流れるものの、インク５０２の第３の方向Ｚの流れは、コンプライアンス基板に反射することで、第３の方向Ｚに波打ってＸ２側に流れる。したがって、マニホールド１００全体、特に第１の方向Ｘの温度勾配が大きくなってしまう。

以上説明したように、流入路４４のマニホールド１００に連通する側に傾斜流路４６を設けることにより、マニホールド１００内で加温されたインクを液体噴射面２０ａ側である第３の方向ＺのＺ２側からＺ１側に流すことができると共に、Ｚ１側において第１の方向Ｘの流入路４４に連通する側であるＸ１側から流出路４５に連通する側であるＸ２側に向かって流すことができる。したがって、マニホールド１００全体の温度勾配、特に第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘの温度勾配を減少させることができる。なお、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、マニホールド１００と圧力発生室１２とは、マニホールド１００全体から見ると第３の方向ＺのＺ１側で連通して設けられている。このため、マニホールド１００内を循環するインクの流れがＺ２側に偏ると、Ｚ２側のインク温度と圧力発生室１２に供給されるＺ１側のインク温度とに差が生じ、意図する温度のインクを吐出させることができない。また、Ｚ１側で第１の方向ＸのＸ１側とＸ２側とで温度勾配が生じると、各圧力発生室１２に供給されるインクの温度にばらつきが生じ、インクの吐出特性にばらつきが生じてしまう。つまり、第１の方向ＸのＸ１側とＸ２側とでインク温度に差が生じた場合、マニホールド１００にＸ１側で連通する圧力発生室１２から吐出されるインクの温度と、Ｘ２側で連通する圧力発生室１２から吐出されるインクの温度とに差が生じるということになる。そして、インクは温度によって粘度が変化することから、粘度の異なるインクが吐出されることになり、吐出特性にばらつきが生じてしまう。

本実施形態では、傾斜流路４６を設けることで、マニホールド１００内の加温されたインクの流れを第１のベクトル方向２００に傾斜させて、マニホールド１００内のインクの第３の方向Ｚでの温度勾配を減少させると共に、第１の方向Ｘの温度勾配を減少させることができる。したがって、各圧力発生室１２に供給されるインクの温度にばらつきが生じるのを抑制して、インクの吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態では、傾斜流路４６を設けるだけでインクの流れを形成してマニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができるため、マニホールド１００の容積を減少させることがない。したがって、マニホールド１００の容積を減少させたことによる圧力損失の増大を抑制することができ、マニホールド１００の容積不足による供給不良や、圧電アクチュエーター３００の駆動によってマニホールド１００側にインクが移動して発生するクロストークなどが生じるのを抑制することができる。

なお、このような傾斜流路４６を規定する第１のベクトル方向２００は、マニホールド１００の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚの大きさや、インクの流速等によって適宜設定すればよい。

また、本実施形態では、図４に示すように、第１の方向Ｘにおいて、ノズル開口２１は、傾斜流路４６のマニホールド１００に連通する開口を第１のベクトル方向２００に向かって液体噴射面２０ａに射影した領域４００を含む流出路側の領域４０１に設けられている。すなわち、ノズル開口２１を領域４０１に設けることで、各ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２に供給されるインクの温度にばらつきが生じるのを抑制してインクの吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。ちなみに、ノズル開口２１が領域４０１の外側に設けられていると、領域４０１の外側と内側とではインクに温度差が生じてしまうため、領域４０１内に設けられたノズル開口２１に連通する圧力発生室１２に供給されるインク温度と、領域４０１外に設けられたノズル開口２１に連通する圧力発生室１２に供給されるインク温度とに温度差が生じてしまう。これにより、領域４０１内のノズル開口２１から吐出されるインクと、領域４０１外のノズル開口２１から吐出されるインクとの噴射特性にばらつきが生じてしまう。

また、第１の方向Ｘで並設されたノズル開口２１のうち、端であるＸ１側のノズル開口２１は、射影した領域４００内に形成されているのが好ましい。これにより、インクジェット式記録ヘッド１が第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して第１の方向Ｘに小型化することができる。ちなみに、インクの吐出に用いないダミーノズルが形成されている場合には、ダミーノズルは、領域４０１外、すなわち領域４０１よりもＸ１側に形成されているのが好ましい。これによっても、インクジェット式記録ヘッドが第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して、第１の方向Ｘに小型化することができる。もちろん、ノズル開口２１及びダミーノズルの位置は、上述したものに限定されず、ノズル開口２１は、射影した領域４００の外側、つまり領域４００よりもＸ１側に設けられていてもよく、ダミーノズルが、領域４０１内に設けられていてもよい。

なお、本実施形態の領域４０１は、流出路４５側では、詳しくは後述するが流出路４５のマニホールド１００側に流出路用傾斜流路４８のマニホールド１００に連通する開口を第２のベクトル方向２１０とは反対方向に向かって液体噴射面２０ａに射影した領域４０２までの領域を含む領域のことである。すなわち、流出路４５側においても、ノズル開口２１を領域４０１内に設けることで、各ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２に供給されるインクの温度にばらつきが生じるのを抑制してインクの吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、流出路４５側の端のノズル開口２１、すなわち、第１の方向Ｘで並設されたノズル開口２１のうちＸ２側のノズル開口２１についても、射影した領域４０２内に形成されているのが好ましい。これにより、インクジェット式記録ヘッドが第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して第１の方向Ｘに小型化することができる。さらに、ダミーノズルを設ける場合には、流出路４５側においても、ダミーノズルは、領域４０１よりも外側、すなわちＸ２側に形成されているのが好ましい。これによっても、インクジェット式記録ヘッドが第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して、第１の方向Ｘに小型化することができる。

また、マニホールド１００からインクを流出させる流出路４５は、図４に示すように、マニホールド１００の第３マニホールド部４２に連通する側に流出路用傾斜流路４８を有する。

流出路用傾斜流路４８は、少なくとも液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側の第１の面４８ａの面方向が、液体噴射面２０ａに直交する方向であって液体噴射面２０ａから流出路４５に向かう第３の成分２１１と、液体噴射面２０ａの面内方向であって流入路４４から流出路４５に向かう第４の成分２１２と、を有する第２のベクトル方向２１０となるように傾斜して形成されたものである。なお、本実施形態の第３の成分２１１は、第３の方向ＺであってＺ１側からＺ２側に向かう成分のことである。また、第４の成分２１２は、流入路４４に設けられた傾斜流路４６の第１のベクトル方向２００を構成する第２の成分２０２と同じ方向であって、第１の方向ＸにおけるＸ１側からＸ２側に向かう成分のことである。そして、流出路用傾斜流路４８は、少なくとも液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側の第１の面４８ａの面方向が、これら第３の成分２１１と第４の成分２１２とが合成された第２のベクトル方向２１０となるように傾斜されて形成されている。また、本実施形態の流出路用傾斜流路４８は、さらに液体噴射面２０ａとは反対側、すなわち第３の方向ＺのＺ２側の第２の面４８ｂが第２のベクトル方向２１０に向かう面方向となるように傾斜して形成されている。

このように、流出路用傾斜流路４８の少なくとも第１の面４８ａを第２のベクトル方向２１０となるように傾斜して設けることで、マニホールド１００内の液体噴射面２０ａ側、すなわちＺ１側のインクを流出路用傾斜流路４８を介して流出させることができるので、マニホールド１００全体の温度勾配、特に第３の方向Ｚの温度勾配及び第１の方向Ｘの温度勾配をさらに減少させることができる。

このような流出路用傾斜流路４８の第２の面４８ｂは、本実施形態では、流出路用傾斜流路４８とマニホールド１００との接続部分において、液体噴射面２０ａとは反対面側から第３の方向ＺのＺ１側に向かって突出して設けられた流出路４５用の傾斜流路用突起部４９によって形成されている。すなわち、本実施形態の流出路用傾斜流路４８は、マニホールド１００の第３の方向ＺのＺ２側と同じ高さで設けられており、流出路４５用の傾斜流路用突起部４９によって傾斜した第２の面４８ｂが形成されることで、流出路用傾斜流路４８はマニホールド１００と同じ第３の方向Ｚの高さであっても、第２の面４８ｂが傾斜して形成されている。このように、流出路用傾斜流路４８をマニホールド１００の第３の方向ＺのＺ２側の高さと同じ高さとすることで、ケース４０が第３の方向Ｚに大型化するのを抑制することができる。

なお、流出路４５用の傾斜流路用突起部４９は、流入路４４用の傾斜流路用突起部４７と同様に、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２に連通する領域の外側、すなわち、Ｘ２側に設けられているのが好ましい。これにより、各圧力発生室１２に連通するマニホールド１００の容積にばらつきが生じて、インク吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

このような流出路用傾斜流路４８は、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００の液体噴射面２０ａとは反対側、すなわち、Ｚ２側に連通して設けられている。

このように流出路４５のマニホールド１００に連通する側に、流出路用傾斜流路４８を設けることにより、マニホールド１００内でＸ１からＸ２に流れるインクを液体噴射面２０ａ側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側から流出することができる。したがって、マニホールド１００内のインクの第３の方向Ｚの温度勾配、すなわち、マニホールド１００のＺ１側のインク温度とＺ２側のインク温度の差を減少することができる。また、流出路４５に流入路４４の傾斜流路４６と同様の流出路用傾斜流路４８を設けることで、インクジェット式記録ヘッドを第１の方向Ｘで対称構造とすることができる。したがって、インクを逆流、すなわち、流出路４５からマニホールド１００にインクを供給し、流入路４４からマニホールド１００内のインクを流出させたとしても、マニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができる。つまり、インクジェット式記録ヘッド１の流路の向きを自由に選択することができ、インクジェット式記録ヘッド１をインクジェット式記録ヘッドユニット等に組み付ける際の方向に規制がなくなり、組み立て工程を簡略化することができる。

さらに、本実施形態では、図２及び図３に示すように、マニホールド１００には、流入路４４から流出路４５に向かう途中に、マニホールド１００内を流れるインクの流れる方向に交差する方向に突出する突起部１１０が設けられている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に第１の方向Ｘに向かって一定の間隔で複数、本実施形態では４個の突起部１１０を設けた。

なお、マニホールド１００は、ヘッド本体１１とは反対側、すなわち第３の方向ＺのＺ２側に拡幅された部分が設けられている。このため、本実施形態の突起部１１０は、この拡幅された部分を埋めるように液体噴射面２０ａとは反対側であるＺ２側から液体噴射面２０ａ側であるＺ１側に向かって突出して設けられた第１突出部１１１と、第１突出部１１１に連続して第２の方向Ｙにおいてノズル開口２１とは反対側からノズル開口２１側に向かって突出して設けられた第２突出部１１２と、を具備する。なお、第２の方向ＹのＹ１側に設けられたマニホールド１００の第２突出部１１２は、マニホールド１００側であるＹ１側から圧力発生室１２側であるＹ２側に向かって突出して設けられ、第２の方向ＹのＹ２側に設けられたマニホールド１００の第２突出部１１２は、マニホールド１００側であるＹ２側から圧力発生室１２側であるＹ１側に向かって突出して設けられている。

すなわち、突起部１１０は、マニホールド１００の圧力発生室１２に連通する側である第３の方向Ｚ及び第２の方向Ｙの角部に対して対角となる角部に跨って設けられており、突起部１１０は、圧力発生室１２のマニホールド１００に連通する側に向かって突出しているといえる。

このようにマニホールド１００のインクの流れる方向、すなわち循環方向である第１の方向Ｘに亘ってインクの流れる方向と直交する方向に突出した複数の突起部１１０を設けることで、マニホールド１００の容積を著しく減少させることなく、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心、すなわち、流速が最大となる中心を圧力発生室１２に連通する側に移動することができる。つまり、突起部１１０を設けることで、傾斜流路４６によってＸ１側においてＺ１側に形成されたインクの流れが、Ｘ２側に行くに従いＺ２側に移動してしまうのを抑制して、第１の方向Ｘに亘ってＺ２側でのインクの流れを維持することができる。したがって、マニホールド１００内を流れるインクを圧力発生室１２に供給する際に、マニホールド１００内を循環しているインクの温度と、圧力発生室１２に供給されたインクの温度との温度差を低減することができる。すなわち、マニホールド１００内を循環している所望の温度のインクを圧力発生室１２に温度が低下するのを抑制した状態で供給することができ、所望の温度でインクを吐出させることができるため、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。

つまり、図６（ａ）に示すように、マニホールド１００内に突起部１１０を設けない場合、マニホールド１００を流れるインクの流れの中心Ｃ１となるのに対し、本実施形態のマニホールド１００内に突起部１１０を設けた場合、図６（ｂ）に示すように、マニホールド１００を流れるインクの流れの中心Ｃ２は、突起部１１０を設けない中心Ｃ１よりも圧力発生室１２に連通する側に移動する。なお、図６（ａ）は比較例の要部断面図、図６（ｂ）は本実施形態の記録ヘッドの要部断面図である。

したがって、マニホールド１００内に突起部１１０を設けることで、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心Ｃ２を圧力発生室１２に連通する側にすることができ、圧力発生室１２に供給されるインクが、マニホールド１００内を流れる中心Ｃ２のインクに近くなり、マニホールド１００内のインクの第３の方向Ｚの温度勾配を減少することができると共に第２の方向Ｙの温度勾配を減少することができる。

また、突起部１１０は、マニホールド１００の容積を著しく減少させることがないため、圧力損失の増大を抑制することができ、マニホールド１００の容積不足による供給不良や、圧電アクチュエーター３００の駆動によってマニホールド１００側にインクが移動して発生するクロストークなどが生じるのを抑制することができる。

さらに、突起部１１０を流入路から流出路に亘って所定の間隔で複数個設けることで、マニホールド１００のように長い空間が画成されたケース４０の剛性を向上して、変形し難くすることができる。

なお、本実施形態の突起部１１０は、第１突出部１１１と第２突出部１１２とを有するが、突起部の形状は特にこれに限定されず、突起部１１０が第１突出部１１１及び第２突出部１１２の何れか一方のみで構成されていてもよい。また、突起部１１０は、第１突出部１１１及び第２突出部１１２を有するものに限定されるものではない。ここで、突起部の他の例を図７及び図８に示す。なお、図７及び図８は、突起部の変形例を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。

図７に示すように、突起部１１０Ａは、第３の方向ＺにＺ２側からＺ１側に向かって突出して設けられている。また、突起部１１０Ａは、マニホールド１００の第２の方向Ｙの壁面との間に所定の空間を画成して配置されている。

また、図８に示すように、突起部１１０Ｂは、マニホールド１００の第２の方向Ｙの壁面からノズル開口２１側に向かって突出して設けられた第２突出部１１２で構成されている。

このような図７及び図８に示す突起部１１０Ａ、１１０Ｂであっても、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心は、圧力発生室１２に連通する側に移動されるため、上述した突起部１１０と同様の効果を奏することができる。

（実施形態２）
図９は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図９に示すように、流入路のマニホールド側には、傾斜流路４６Ａが設けられている。

傾斜流路４６Ａは、液体噴射面２０ａ側であるＺ１側の内面の面方向が第１のベクトル方向２００となるように形成されている。

また、傾斜流路４６Ａは、液体噴射面２０ａとは反対側であるＺ２側の内面の面方向が、傾斜流路用突起部４７によって第１のベクトル方向２００となるように形成されている。

このような傾斜流路４６Ａは、マニホールド１００に液体噴射面２０ａ側であるＺ１側で連通して設けられている。すなわち、傾斜流路４６ＡのＺ１側の内面は、マニホールド１００のＺ１側の壁面又はコンプライアンス基板９１側に連続して設けられている。

これにより、傾斜流路４６Ａからマニホールド１００に流入したインクの流れが、マニホールド１００のＺ１方向のＸ１側の端部に滞留するのを抑制して、気泡排出性等を向上することができる。

なお、本実施形態では、上述した実施形態１と同様に、インクジェット式記録ヘッド１が第１の方向Ｘで対称構造となるように、流出路にも本実施形態の傾斜流路４６Ａと同様の構成となる流出路用傾斜流路４８Ｂを設けている。このため、インクを逆方向に流したとしても、マニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができる。

（実施形態３）
図１０は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１０に示すように、流入路のマニホールド側には、傾斜流路４６Ｂが設けられている。

傾斜流路４６Ｂは、液体噴射面２０ａ側であるＺ１側の内面の面方向が第１のベクトル方向２００となるように形成されている。

また、傾斜流路４６Ｂは、液体噴射面２０ａとは反対側であるＺ２側の内面の面方向が、第１のベクトル方向２００となるように形成されている。

そして、このような傾斜流路４６Ｂは、第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００のＺ２側よりも外側に延設されて形成されている。すなわち、本実施形態では、傾斜流路用突起部４７を設けることなく、傾斜流路４６Ｂが形成されている。このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、マニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができる。

なお、本実施形態では、上述した実施形態１と同様に、インクジェット式記録ヘッド１が第１の方向Ｘで対称構造となるように、流出路４５にも本実施形態の傾斜流路４６Ｂと同様の構成となる流出路用傾斜流路４８Ｂを設けている。このため、インクを逆方向に流したとしても、マニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１〜３では、傾斜流路４６〜４６Ｂ及び流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂを形成する第１の面４６ａ、４８ａ、第２の面４６ｂ、４８ｂは、第１のベクトル方向２００又は第２のベクトル方向２１０に向かって面方向を有する平坦面となっているが、特にこれに限定されず、例えば、傾斜流路４６〜４６Ｂ及び流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂを形成する第１の面４６ａ、４８ａ、第２の面４６ｂ、４８ｂは、階段状に形成されていてもよく、曲面状に形成されていてもよい。なお、第１の面４６ａ、４８ａ、第２の面４６ｂ、４８ｂが階段状に形成されている場合には、傾斜流路４６〜４６Ｂ及び流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂの内部のインクの流れが第１のベクトル方向２００又は第２のベクトル方向２１０となっていればよい。また、第１の面４６ａ、４８ａ、第２の面４６ｂ、４８ｂが曲面状に形成されている場合には、傾斜流路４６〜４６Ｂ及び流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂがマニホールド１００に開口する部分における接線方向が第１のベクトル方向２００又は第２のベクトル方向２１０となっていればよい。

また、上述した実施形態１〜３では、流出路４５にも流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、流出路４５には流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂを設けなくても、流入路４４に傾斜流路４６〜４６Ｂが設けられていれば、マニホールド１００内のインクの温度勾配を減少させることができる。

さらに、上述した実施形態１〜３の流入路４４の傾斜流路４６〜４６Ｂと、流出路４５の流出路用傾斜流路４８〜４８Ｂとを組み合わせることも可能である。

また、上述した実施形態１〜３では、連通板１５を有するインクジェット式記録ヘッド１の構成及びコンプライアンス基板９１が連通板１５のＺ１側の面に配置された構成を例示したが、連通板１５の有無は特にこれに限定されず、また、コンプライアンス基板９１の位置も特にこれに限定されない。例えば、コンプライアンス基板９１は、マニホールド１００に対して第２の方向Ｙの壁面側に設けられていてもよく、第３の方向ＺのＺ２側に設けられていてもよい。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、圧電アクチュエーター３００は、例えば、成膜及びリソグラフィー法によって形成される薄膜型であっても、また、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型であってもよい。また、電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いることもできる。さらに、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１１は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体にインクジェット式記録ヘッド１を固定し、ノズル開口２１の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。

具体的には、図１１に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット２と、装置本体３と、被記録媒体である記録シートＳを給紙するローラー４と、液体貯留手段５とを備えている。

インクジェット式記録ヘッドユニット２（以下、ヘッドユニット２とも言う）は、複数のインクジェット式記録ヘッド１と、複数のインクジェット式記録ヘッド１を保持する板状のベースプレート６と、を具備する。このヘッドユニット２は、ベースプレート６に取り付けられたフレーム部材７を介して装置本体３に固定されている。

また、装置本体３にはローラー４が設けられている。ローラー４は、装置本体３に給紙された被噴射媒体である紙等の記録シートＳを搬送し、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッド１の液体噴射面２０ａに相対向させて通過させる。

また、各インクジェット式記録ヘッド１には、装置本体３に固定されてインクを貯留する液体貯留手段５がフレキシブルチューブ等の供給管８及び回収管９を介して接続されている。液体貯留手段５からのインクは、供給管８を介して各インクジェット式記録ヘッド１の流入路に供給され、インクジェット式記録ヘッド１で吐出されなかったインクは流出路から回収管９を介して液体貯留手段５に回収される。また、回収管９の途中にはポンプ９ａが設けられており、液体貯留手段５からのインクは、ポンプ９ａの圧力によってインクジェット式記録ヘッド１内の流入路、マニホールド１００及び流出路を通過して通過して循環する。さらに、特に図示していないが、液体貯留手段５には貯留されたインクを加熱するヒーター等の加熱手段が設けられている。もちろん、加熱手段は、供給管８やインクジェット式記録ヘッド１に設けられていてもよい。

このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、ローラー４により搬送方向に記録シートＳが搬送されると共に、ヘッドユニット２のインクジェット式記録ヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに画像等が印刷される。

なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッド１を具備するヘッドユニット２をインクジェット式記録装置Ｉに１つだけ設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Ｉに搭載するヘッドユニット２を２つ以上設けてもよい。また、インクジェット式記録装置Ｉに直接インクジェット式記録ヘッド１を搭載するようにしてもよい。また、液体貯留手段５はインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよく、液体貯留手段５等に設けた加熱手段についてもインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。つまり、本が発明のインクジェット式記録ヘッド１は、加温されたインクが供給されるものであれば、加熱手段の有無については特に限定されない。

また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、記録シートＳの搬送方向と交差する主走査方向に移動するキャリッジにインクジェット式記録ヘッド１を搭載し、インクジェット式記録ヘッド１を主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、本実施形態では、液体貯留手段５が装置本体３に固定されたタイプのインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体貯留手段を各インクジェット式記録ヘッド１、インクジェット式記録ヘッドユニット２又はキャリッジ等に固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １２ 圧力発生室、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 ４０ ケース、 ４４ 流入路、 ４５ 流出路、 ４６、４６Ａ、４６Ｂ 傾斜流路、 ４７ 傾斜流路用突起部、 ４８ 流出路用傾斜流路、 ４９ 流出路用の傾斜流路用突起部、 １００ マニホールド、 １１０ 突起部、 １２０ 駆動回路、 １２１ 配線基板、 ２００ 第１のベクトル方向、 ２０１ 第１の成分、 ２０２ 第２の成分、 ２１０ 第２のベクトル方向、 ２１１ 第３の成分、 ２１２ 第４の成分、 ３００ 圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、 ４００ 傾斜流路が射影する領域、 ４０１ 領域、 ４０２ 流出路用傾斜流路が射影する領域

Claims (13)

1. 液体を噴射するノズル開口が設けられた液体噴射面と、
   該液体噴射面の面内方向に並設されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、
   該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
   複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、
   加温された液体を前記マニホールドに供給する流入路と、
   液体を前記マニホールドから流出させる流出路と、を具備し、
   前記流入路は、前記マニホールドに連通する側に傾斜流路を有し、
   該傾斜流路は、少なくとも液体噴射面側の内面の面方向が、前記液体噴射面に直交する方向であって前記流入路から前記液体噴射面に向かう第１の成分と、前記液体噴射面の面内方向であって前記流入路から前記流出路に向かう第２の成分と、を有する第１のベクトル方向となるように形成されている特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記傾斜流路は、前記流入路の前記液体噴射面とは反対側の内面が前記第１のベクトル方向となるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記傾斜流路が、前記液体噴射面に直交する方向において、前記マニホールドの前記液体噴射面側に連通して設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記ノズル開口は、前記圧力発生室の並設方向において、前記傾斜流路の前記マニホールドに連通する開口を前記第１のベクトル方向に向かって前記液体噴射面に射影した領域を含む前記流出路側の領域に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ノズル開口の前記圧力発生室の並設方向の端部に設けられた当該ノズル開口は、前記射影した領域内に設けられていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
6. 液体の吐出に用いられないダミーノズルが、前記圧力発生室の並設方向において、前記射影した領域よりも前記傾斜流路側に設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記流出路は、前記マニホールドに連通する側に流出路用傾斜流路を有し、
   該流出路用傾斜流路は、少なくとも液体噴射面側の内面の面方向が、前記液体噴射面に直交する方向であって前記液体噴射面から前記流出路に向かう第３の成分と、前記液体噴射面の面内方向であって前記流入路から前記流出路に向かう第４の成分と、を有する第２のベクトル方向となるように形成されている特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記液体噴射面に直交する方向において、前記傾斜流路は、前記マニホールドの前記液体噴射面とは反対側の端部よりも当該液体噴射面とは離れる方向に延設されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記傾斜流路が、前記マニホールドの前記液体噴射面とは反対側に前記傾斜流路と前記マニホールドとが連通する領域に跨がって形成されて、前記液体噴射面側に向かって突出して設けられた傾斜流路用突起部によって形成されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記マニホールド内には、前記流入路と前記流出路との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられていることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールドに連通する部分に向かって突出して設けられていることを特徴とする請求項１０記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記突起部は、前記流入路から前記流出路までの間に複数個設けられていることを特徴とする請求項１０又は１１記載の液体噴射ヘッド。
13. 請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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