JP2015151261A - 回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送に好適な加振性能を容易に実現できる回転振動機を提供する。【解決手段】回転振動機１０は、支持体１１と、振動体１２と、支持体１１と振動体１２との間に接続された加振構造１３とを具備し、振動体１２が軸線１２ｘの周りを回転する方向に沿って振動し、加振構造１３は軸線１２ｘの周りに複数の加振部１３Ａ〜１３Ｃを有し、この加振部は、支持体１１に接続されるとともに内周側に伸び、軸線１２ｘの周りを回転する方向に撓み変形する板状の第１の弾性領域１３ａと、振動体１２に接続されるとともに内周側に伸び、軸線１２ｘの周りを回転する方向に撓み変形する板状の第２の弾性領域１３ｂと、第１の弾性領域１３ａの内端部と第２の弾性領域１３ｂの内端部を接続する接続領域１３ｃと、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂの少なくとも一方を撓み振動させる圧電体１３ｐと、を有し、接続領域１３ｃが振動の自由端を構成する。【選択図】図１

Description

本発明は回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置に関する。

一般に、螺旋状の搬送路を備えたボウル型パーツフィーダなどの振動式搬送装置においては、ボウル型搬送体を軸線の周りを回転する方向に往復振動させるための回転振動機を用いる。この回転振動機としては、例えば、以下の特許文献１に示すように、支持体と、この支持体上に加振部を介して接続された振動体（上部振動盤）とを有し、上記加振部として、支持体上に設置された圧電駆動体を斜め上方へ立ち上げた姿勢で取り付け、この圧電駆動体の上端に増幅ばねを接続し、この増幅ばねを上記振動体に接続した構造の加振部を軸線の周りに複数取り付けた、縦型の加振構造を備えたものが知られている。これらの複数の加振部によって、振動体は、軸線の周りの周回方向に沿って軸線と直交する水平面に対して斜め上方に向けて振動するため、振動体上に設置された搬送体（搬送ボウル）の中央底部から内周面に形成された螺旋状の搬送路に沿って搬送物を上方へ搬送していくことができる。

上記の縦型の加振構造を備えた回転振動機においては、支持体と振動体の間に、圧電駆動体と増幅ばねを直列に接続した加振部が斜め上方に立ち上がるように取り付けられているので、加振構造が高くなるために、装置を高さ方向にコンパクトに構成することが難しい。また、加振部の増幅ばねの上端に接続される振動体が上下に不安定に振動しやすいため、搬送速度を高めると搬送物が上下に暴れたり、搬送姿勢が不安定になったりするという問題点がある。そこで、以下の特許文献２〜４に示すように、軸線の周りの複数箇所に、圧電駆動体と増幅ばねを直列に接続した加振部を支持体と振動体の間において半径方向に伸びるように配置した横型の加振構造を備えた回転振動機が開発された。この回転振動機によれば、装置を高さ方向にコンパクトに構成できるとともに、軸線の周りの円弧に沿って振動体を加振できることにより駆動効率を高めることができ、しかも、上下方向の不安定な振動を低減することができるため、搬送物の暴れを抑制し、搬送姿勢を安定させることができるという利点がある。

特開平４−１８９２１４号公報 特開２００７−１６１４５４号公報 特許第４２８０２９１号公報 特許第４５３２５９１号公報

しかしながら、上述の横型の加振構造を備えた回転振動機においては、軸線の周りに配置された複数の加振部の内端部を支持体の中央部に固定し、加振部の外端部を振動体の外周部に接続する必要があるため、複数の加振部の内端部が相互に干渉しないようにするためには、加振部の内端部を支持体の中心にある軸線に近づけて設置することができず、また、加振部の半径方向の長さは回転振動機の共振周波数との関係により制約を受けるとともに振動体の振幅にも影響するので、容易に短く構成することができないため、回転振動機の外径が増大するという問題がある。

また、回転振動機の半径方向の寸法の制約から、上記横型の加振構造は、縦型の加振構造に比べて各加振部の長さを十分に確保することができないため、必要なばね定数を得るためには圧電駆動体の厚みを薄くする必要がある。ところが、圧電駆動体を薄くすると、振動体及び搬送体の支持剛性が確保しにくくなるとともに、圧電体の破損を招く危険性が増大するという問題もある。

さらに、振動体及び搬送体を安定して振動させ、充分な振幅を確保するためには、支持体の質量を振動体や搬送体の質量よりも或る程度大きくする必要があるが、複数の加振部の内周側部分を相互に干渉しない範囲で軸線に近づけて配置すると、複数の加振部の内周側部分が相互に近接するため、これらを回避するために支持体の中央部を凹状若しくは貫通状に除去する必要が生じることから、支持体の重量を十分に確保するためには、支持体の高さ又は半径を増加させなければならない。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、搬送に好適な加振性能を容易に実現できる回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置を提供することにある。また、別の課題は、加振構造の改良により、上記加振性能を確保しても装置サイズの大型化を招きにくい構造を実現することにある。さらに異なる課題は、加振構造の改良により、上記加振性能を確保しても耐久性の低下を招きにくい構造を実現することにある。

斯かる実情に鑑み、本発明の回転振動機（１０）は、支持体（１１）と、該支持体（１１）の上方に配置された振動体（１２）と、前記支持体（１１）と前記振動体（１２）との間に接続された加振構造（１３）とを具備し、前記振動体（１２）が所定の軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に沿って振動する回転振動機（１０）であって、前記加振構造（１３）は前記軸線（１２ｘ）の周りに設けられた複数の加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）を有し、前記加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）は、前記支持体（１１）に接続されるとともに内周側に伸び、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み変形する板状の第１の弾性領域（１３ａ）と、前記振動体（１２）に接続されるとともに内周側に伸び、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み変形する板状の第２の弾性領域（１３ｂ）と、前記第１の弾性領域（１３ａ）の内端部と前記第２の弾性領域（１３ｂ）の内端部を接続する接続領域（１３ｃ）と、前記第１の弾性領域（１３ａ）と前記第２の弾性領域（１３ｂ）の少なくとも一方を前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み振動させる圧電体（１３ｐ）と、を有し、前記接続領域（１３ｃ）が拘束力を受けない振動の自由端を構成し、前記支持体（１１）に対する前記第１の弾性領域（１３ａ）の接続箇所と、前記振動体（１２）に対する前記第２の弾性領域（１３ｂ）の接続箇所が前記軸線（１２ｘ）の周りに沿った方向に見たときに逆位相で振動することを特徴とする。

本発明において、前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記接続領域（１３ｃ）に接続される内周側弾性基板部（１４ｂ）と、該内周側弾性基板部（１４ｂ）と前記振動体（１２）との間に接続される外周側弾性ばね（１５）とを有することが好ましい。

この場合において、前記第１の弾性領域（１３ａ）、前記接続領域（１３ｃ）及び前記内周側弾性基板部（１４ｂ）は、一体の弾性基板により構成されることが望ましい。このとき、前記圧電体は、前記第１の弾性領域（１３ａ）又は前記第２の弾性領域（１３ｂ）から前記接続領域（１３ｃ）に達する範囲に積層されていることが最も望ましい。

本発明において、前記第１の弾性領域（１３ａ）と前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記軸線（１２ｘ）に沿った方向（Ｑ）に配列されていることが好ましい。この場合において、前記第１の弾性領域（１３ａ）、前記接続領域（１３ｃ）及び前記内周側弾性基板部（１４ｂ）は、一体の弾性基板により構成されることが望ましい。このとき、前記圧電体は、前記第１の弾性領域（１３ａ）又は前記第２の弾性領域（１３ｂ）から前記接続領域（１３ｃ）に達する範囲に積層されていることが最も望ましい。

本発明において、前記第１の弾性領域（１３ａ）及び前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記軸線（１２ｘ）と直交する平面に対し斜め上方に向いた板面を備え、前記加振構造（１３）は、前記振動体（１２）を、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に沿って前記板面の法線に沿った斜め方向に振動させることが好ましい。

本発明において、前記加振構造（１３）は、前記軸線（１２ｘ）の周りに１２０度間隔で配置された３つの加振部（１３Ａ,１３Ｂ，１３Ｃ）により構成されることが好ましい。

本発明において、前記支持体（１１）は、前記加振構造（１３）の各加振部（１３Ａ,１３Ｂ，１３Ｃ）を収容するための半径方向に伸びる複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）と、該複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）の間に形成されて上方に突出するランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）とを備え、前記振動体（１２）は、下方へ向けて突出して前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される複数の被動部（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）を備え、前記加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）の前記第１の弾性領域（１３ａ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）に臨む前記ランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）の内側面（１１ｄ）に接続されるとともに、前記第２の弾性領域（１３ｂ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される前記被動部（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）の外側面（１２ｄ）に接続されることが好ましい。

本発明において、前記外周側弾性ばね（１５）は、前記軸線（１２ｘ）を中心とする半径方向に伸縮可能な態様で前記半径方向に沿って屈曲した形状を有することが好ましい。この場合において、前記外周側弾性ばね（１５）は、前記内周側弾性基板部（１４ｂ）よりも撓み変形が容易になるように構成されることが好ましい。例えば、外周側弾性ばね（１５）を内周側弾性基板部（１４ｂ）よりも薄肉に構成するか、幅狭に構成するかの少なくとも一方に構成することが望ましい。後者の場合には、外周側弾性ばね（１５）の屈曲部を両端部（１５ａ，１５ｂ）より幅狭に構成することが望ましい。

本発明において、前記外周側弾性ばね（１５）は、前記内周側弾性基板部（１４ｂ）の外端部の側面に対して一方側から重ねて接続固定されるとともに、他方側へ屈曲して前記内周側弾性基板部（１４ｂ）の半径方向外周側へ伸びることが好ましい。

また、本発明の振動式搬送装置（２０）は、上述の各回転振動機（１０）と、前記振動体（１２）に固定され、若しくは、前記振動体（１２）と一体に構成されるとともに、搬送物を搬送するための螺旋状の搬送路（２１ｂ）を備えた搬送体（２１）と、を具備することを特徴とする。

本発明によれば、装置構造の大型化を招くことなしに、搬送に好適な加振性能を容易に実現できるという優れた効果を奏し得る。

本発明に係る実施形態の回転振動機の平面図及び正面図である。 同実施形態の回転振動機の振動体（上部振動盤）を除いた状態の平面図及び正面図である。 同実施形態の加振部を、軸線周りの回転方向から見た図及び半径方向外周側から見た図である。 同実施形態の加振部の斜視図である。 同実施形態の加振部の振動時の様子を示す平面図（ａ）〜（ｃ）である。 同実施形態の加振構造の位置関係を模式的に示す説明図である。 同実施形態の他の加振部の例を示す概略側面図である。 同実施形態の別の加振部の例を示す概略平面図である。 同実施形態の異なる加振部の例を示す概略平面図である。 同実施形態の回転振動機を用いた振動式搬送装置の構造を示す概略部分断面図である。

次に、添付図面を参照して本発明に係る回転振動機及びこれを備えた振動式搬送装置の実施形態について詳細に説明する。最初に、図１乃至図４を参照して、本実施形態の回転振動機１０の全体構成について説明する。

この回転振動機１０においては、図１に示すように、外周が円筒状に構成された支持体（支持ベース）１１が平面円環状のシリコーンゴムその他のゴム素材からなる防振部材１６を介して円盤状の基台１７上に取り付けられている。この支持体１１の上方には略円盤状の上部振動盤として構成され、軸線１２ｘを有する振動体１２が加振構造１３を介して取り付けられている。振動体１２の上面には略平坦な搬送体取付面１２ａがリング状に設けられている。支持体１１は、図２に示すように、軸線１２ｘから半径方向に伸びる加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを有する。また、これらの加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃの間には、上方へ突出して平坦な上面を有するランド部１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒが設けられている。また、ランド部１１Ｐの上面の中央部には凹部１１Ｓが形成され、この凹部１１Ｓ内に加振構造１３を駆動するための配線用のコネクタを搭載した端子台１１Ｔが収容されている。なお、図２においては、加振構造１３と端子台１１Ｔとの間の配線及び端子台１１Ｔと外部の制御装置（コントローラ）との間の配線と、加振構造１３に含まれる後述する圧電体１３ｐとを省略してある。

加振構造１３は、上記の加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃにそれぞれ収容配置される加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを有している。加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは全体として略Ｕ字状若しくは略コ字状に構成されて外周側の上下位置に配置された両端部を有し、これらの両端部のうちの一方（図示例では下方に配置された端部）は、加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃの内部に臨む、軸線１２ｘの周りの回転方向の同じ側にそれぞれ隣接するランド部１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒの側面に取り付けられる。具体的には、加振部１３Ａは、加振部収容溝１１Ａ内に配置されるとともに、その一端部はランド部１１Ｑの外周側側面部に接続固定され、加振部１３Ｂは、加振部収容溝１１Ｂ内に配置されるとともに、その一端部はランド部１１Ｒの外周側側面部に接続固定され、加振部１３Ｃは、加振部収容溝１１Ｃ内に配置されるとともに、その両端部はランド部１１Ｐの外周側側面部に接続固定される。

加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは、図３及び図４に示すように、支持体１１に接続される外端部を備えた第１の弾性領域１３ａと、振動体１２に接続される外端部を備えた第２の弾性領域１３ｂと、上記第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂを内周側で接続する接続領域１３ｃとを備えている。ここで、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂは共に板状に構成され、軸線１２ｘに沿った方向（図示上下方向）に隣接して配置される。上記第１の弾性領域１３ａは支持側弾性基板部１４ａにより構成される。また、第２の弾性領域１３ｂは、本実施形態では弾性基板１４の一部を構成する内周側弾性基板部１４ｂと、この内周側弾性基板部１４ｂの外端部と、上記振動体１２との間に接続される外周側弾性ばね１５とを有する。さらに、接続領域１３ｃは接続側弾性基板部１４ｃにより構成される。本実施形態の場合には、支持側弾性基板部１４ａ、接続側弾性基板部１４ｃ及び内周側弾性基板部１４ｂは一体の弾性基板１４により構成されている。この弾性基板１４において、接続側弾性基板部１４ｃと内周側弾性基板部１４ｂの表裏両面には圧電体１３ｐが積層され、この圧電体１３ｐの表裏に図示しない配線を介して交番電圧を印加することにより、弾性基板１４が撓み変形し、振動を発生するようになっている。外周側弾性ばね１５は、弾性基板１４より撓み変形が容易な弾性特性を有し、これによって、振動時における振動体１２の振幅を増大させる増幅ばねとしての機能を備えている。

弾性基板１４は、全体としてＵ字状若しくはコ字状に構成された板状体であり、上記支持側弾性基板部１４ａと内周側弾性基板部１４ｂは、いずれも軸線１２ｘを中心とする半径方向に並行して伸びている。支持側弾性基板部１４ａと内周側弾性基板部１４ｂの間にはスリット１４ｓが形成されている。このスリット１４ｓは、圧電体１３ｐの半径方向の中央部まで伸びて、支持側弾性基板部１４ａと内周側弾性基板部１４ｂとを分離している。スリット１４ｓの先端部よりも内周側は上記接続側弾性基板部１４ｃとなり、支持側弾性基板部１４ａと内周側弾性基板部１４ｂとを一体に接続している。第１の弾性領域１３ａ、すなわち、支持側弾性基板部１４ａは、内周側弾性基板部１４ｂの外端部よりも半径方向外周側に延在し、外周側弾性ばね１５と並行して伸びて、外周側弾性ばね１５の外端部と半径方向に見てほぼ同じか、それよりもやや外周側に張り出した位置に外端部を備えている。

外周側弾性ばね１５は、上記弾性基板１４よりも薄い弾性板で構成され、内周側弾性基板部１４ｂの外端部と重ねて固定された内端部１５ａと、後述する振動体１２に接続される外端部１５ｂと、これらの両端部１５ａ，１５ｂの間に設けられた屈曲部１５ｃとを備えている。両端部１５ａ，１５ｂはいずれも半径方向に沿った平板状に構成されているが、屈曲部１５ｃは、図５（ａ）に示すように、内周側弾性基板部１４ｂの側面上から弾性基板１４の厚み方向の中央部に向けて屈曲し、支持側弾性基板部１４ａの厚み範囲内で再び半径方向に屈曲して、全体としてＳ字状に屈曲した形状を備えている。この結果、外端部１５ｂは、軸線１２ｘに沿った方向に隣接する支持側弾性基板部１４ａの厚み範囲内に配置され、上記半径方向に沿った平板状に構成される。

加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃにおいて、第２の弾性領域１３ｂの外端部、すなわち、外周側弾性ばね１５の外端部１５ｂは、振動体１２の外周部に設けられた後述する被動部１２ｃに接続された状態では、振動体１２に拘束されることにより、軸線１２ｘを中心とする円弧状に振動する。しかしながら、外周側弾性ばね１５の外端部が振動体１２から取り外された状態では、支持体１１の後述する取付部１１ｃに接続された外端部を備えた第１の弾性領域１３ａ、接続領域１３ｃ、及び、内周側弾性基板部１４ｂを介して、外周側弾性ばね１５が接続されていることにより、外周側弾性ばね１５の外端部１５ｂは、第１の弾性領域１３ａの支持体１１に対する取付位置と、加振部の振動態様とに応じた振動軌跡を描く。このとき、厳密に見ると、外周側弾性ばね１５の外端部１５ｂは軸線１２ｘを中心とする円弧状には振動しない場合がある。この場合には、上記屈曲部１５ｃは、軸線１２ｘを中心とする半径方向に伸縮することにより、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの取付位置及び振動態様により定まる外端部１５ｂの非拘束状態における振動軌跡と、振動体１２に接続された拘束状態における実際の外端部１５ｂの振動軌跡とのずれを吸収する役割を果たす。この場合において、屈曲部１５ｃの上記半径方向の伸縮性を高めるためには、上述のように外周側弾性ばね１５の厚みを内周側弾性基板部１４ｂよりも薄くするとともに、図示例のように屈曲部１５ｃの幅（図示上下幅）を両端部１５ａ，１５ｂよりも小さくする（幅狭に構成する）ことが効果的である。図示例では、屈曲部１５ｃの幅方向両縁（図示上下縁）を凹曲線状に形成することで、ばね全体の変形態様の滑らかさを確保するとともに、外周側弾性ばね１５の上記半径方向の追従性を高めている。

図２に示すように、支持体１１の上記加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃには、軸線１２ｘの周りの回転方向の一方側（平面図において反時計回りに進む側）に配置されるランド部１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒの一部である取付部１１ｃに当該一方側とは逆の他方側（平面図において時計回りに進む側）へ向いた支持側取付面１１ｄがそれぞれ形成されている。この支持側取付面１１ｄ上には、上記第１の弾性領域１３ａ（すなわち支持側弾性基板部１４ａ）の外端部が重ねられた状態でボルト等により固定される。

一方、振動体１２は、上記搬送体取付面１２ａを備えた円盤状の本体部１２ｂと、この本体部１２ｂの外周部分から軸線１２ｘに沿って下方へ突出する複数の被動部１２ｃとを備えている。複数の被動部１２ｃは軸線１２ｘの周りにおいて、上記支持体１１の加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃに対応して設けられ、それぞれ対応する加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃの上部に収容されている。被動部１２ｃには、軸線１２ｘの周りの回転方向の一方側（平面図において反時計回りに進む側）へ向いた振動側取付面１２ｄが形成されている。この振動側取付面１２ｄ上には、上記第２の弾性領域１３ｂ（すなわち外周側弾性ばね１５）の外端部が重ねられた状態でボルト等により固定される。

本実施形態では、後述する振動式搬送装置を構成するために、図２に示すように、回転振動機１０の振動体１２は、軸線１２ｘの周りを回転する方向に沿った方向ではあるが、軸線１２ｘに対して直交する平面（図示の水平面）に沿った振動ではなく、当該平面に対して１〜１０度、好ましくは３〜７度の範囲内の振動角θを有する傾斜した方向Ｖｓに振動する。この振動方向Ｖｓは、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの板状の弾性領域１３ａ，１３ｂの面方位と、第２の弾性領域１３ｂの外端部と上記振動側取付面１２ｄの取付角度とによって定まる。本実施形態では、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを構成する弾性基板１４は平行平板であり、また、外周側弾性ばね１５は弾性基板１４の厚み方向には屈曲しているものの、ねじれを有していないため、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは一定の面方位を有する板状構造体とみなすことができる。そして、第１の弾性領域１３ａの外端部が取り付けられた上記支持側取付面１１ｄは、軸線１２ｘと平行な垂線に対して振動角θだけ傾斜した方向Ｑに沿った面であり、軸線１２ｘに直交する水平面に対して上記振動角θだけ傾斜した面方位、すなわち、上記振動方向Ｖｓに一致する面方位を備えている。これによって加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃが上記振動方向Ｖｓに向いた面方位を有する姿勢で支持体１１に取り付けられる。このとき、各加振部の板状の第１の弾性領域１３ａ及び第２の弾性領域１３ｂは、その幅方向が上記方向Ｑと平行になる姿勢で設置される。また、図示例では、振動体１２の被動部１２ｃに形成された上記振動側取付面１２ｄも上記方向Ｑに沿った傾斜面とされる。なお、図示例では、加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃは、ランド部１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒの上面から上記方向Ｑに沿って掘り下げられた形状に形成され、これらの溝内に臨むランド部１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒの側面の主要部分が上記支持側取付面１１ｄと同じ傾斜角θを有する面となるように構成されている。

図３及び図４に示す圧電体１３ｐは、図示例では弾性基板１４の表裏両面にそれぞれ貼着されることによりバイモルフ構造を備えた圧電駆動体を構成している。ただし、弾性基板１４の片面にのみ圧電体１３ｐを積層したユニモルフ構造を備えた圧電駆動体を構成してもよい。圧電体１３ｐは厚み方向に分極処理されていて、圧電体１３ｐの表裏に電圧を印加することにより、弾性基板１４を撓み変形させることができる。本実施形態では、圧電体１３ｐに対する交番電圧の供給により、内周側弾性領域１４ｂに半径方向に沿った撓み変形が交互に逆向きに発生し、これにより、第２の弾性領域１３ｂが全体として軸線１２ｘの周りの回転方向に沿った上記振動方向Ｖｓに振動するようになっている。

図５（ｂ）は、加振構造１３の一つの加振部の基準姿勢（非振動時の姿勢）を示す平面図である。なお、この平面図は、図２に示す方向Ｑに沿って斜め上方から加振部を見た様子を示している。第１の弾性領域１３ａを構成する支持側弾性基板部１４ａの外端部は、支持体１１の取付部１１ｃに対して上記支持側取付面１１ｄに密接した状態で接続固定され、第２の弾性領域１３ｂを構成する外周側弾性ばね１５の外端部は、振動体１２の被動部１２ｃに対して上記振動側取付面１２ｄに密接した状態で接続固定される。ここで、取付部１１ｃに対する支持側弾性基板部１４ａの取付方向と、被動部１２ｃに対する外周側弾性ばね１５の取付方向は、いずれも軸線１２ｘの周りの回転方向に沿った方向であって、当該軸線１２ｘに対して振動角θだけ傾斜した上記方向Ｑと直交する方向である。ただし、取付部１１ｃに対する支持側弾性基板部１４ａの取付の向きと、被動部１２ｃに対する外周側弾性ばね１５の取付の向きは上記回転方向に見て相互に逆向きになっている。

ここで、外周側弾性ばね１５は、内周側弾性基板部１４ｂの外端部の側面に対して一方側から重ねて接続固定されるとともに、他方側へ屈曲することにより内周側弾性基板部１４ｂの半径方向外周側へ伸びるように構成されている。すなわち、外周側弾性ばね１５の内端部１５ａは、内周側弾性基板部１４ｂの外端部の側面上に重ねられた状態で固定され、屈曲部１５ｃは内周側弾性基板部１４ｂの厚み方向の中心側に向けて屈曲しているので、外端部１５ｂは弾性基板１４の厚み範囲内に配置されている。これにより、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの支持体１１（取付部１１ｃ）に対する加振力の方向と、振動体１２（被動部１２ｃ）に対する加振力の方向を、弾性基板１４の中心軸面１３ｘ（弾性基板１４の厚み方向の中心位置が軸線１２ｘを中心とする半径方向に伸びてできる仮想面）と直交する接線方向に近づけることができるため、軸線１２ｘを中心とする円弧状に振動体１２を効率よく加振できるとともに、振動方向Ｖｓを備えた本来の振動モード以外の不要な振動モードを抑制し、搬送物を安定した状態で搬送することができる。

図５（ａ）及び（ｃ）は、加振部が振動の一方の最大振幅位置（位相角＝９０度）にあるときの状態と、他方の最大振幅位置（位相角＝２７０度）にあるときの状態とを模式的に示す図である。ここで、図において振幅は実際よりも大幅に強調して描いてある。図５（ａ）と（ｃ）のいずれの振動状態においても、第１の弾性領域１３ａ（支持側弾性基板部１４ａ）の振れ方向１３ｖ１と、第２の弾性領域１３ｂ（外周側弾性ばね１５）の振れ方向１３ｖ２とは逆向きになっている。すなわち、第１の弾性領域１３ａの外端部と第２の弾性領域１３ｂの外端部は、いずれも軸線１２ｘの周りの回転方向に沿った、上記方向Ｑと直交する方向に振動するが、当該方向に沿って見ると、相互に逆位相となる態様で振動する。

本実施形態の加振部は、積層された圧電体１３ｐにより内周側弾性基板部１４ｂが撓み変形し、これによって外周側弾性ばね１５が上記方向Ｑと直交する方向に振れるとともに、内周側弾性基板部１４ｂの撓み変形に従って接続側弾性基板部１４ｃが変形することによって振動側弾性基板部１４ａが上記方向Ｑと直交する方向に逆向きに振れる。また、この撓み変形の向きが逆になると、上記各部分はそれぞれ上述の向きとは逆向きに振れるが、第１の弾性領域１３ａの外端部と第２の弾性領域１３ｂの外端部の振れる向きは、常に相互に逆向きとなる。

このとき、圧電体１３ｐの撓み変形は、直接には第２の弾性領域１３ｂを振動させるが、この振動により、接続領域１３ｃを介して第１の弾性領域１３ａも振動する。このとき、図示例のように圧電体１３ｐが第２の弾性領域１３ｂから接続領域１３ｃに達する範囲に積層されている。すなわち、圧電体１３ｐは第２の弾性領域１３ｂ上だけではなく、その一部が接続領域１３ｃ上にも存在するように形成されている。これにより、圧電体１３ｐは第２の弾性領域１３ｂだけでなく接続領域１３ｃをも撓み変形させるので、接続領域１３ｃを介した第１の弾性領域１３ａへの振動伝達が良好となり、第１の弾性領域１３ａの外端部と第２の弾性領域１３ｂの外端部との間に生ずる相対的加振力を高めることができる。また、このことは、圧電体１３ｐを第１の弾性領域１３ａから接続領域１３ｃに達する範囲に積層させた場合においても同様である。ただし、振動体１２の振幅を十分に確保するとともに、圧電体１３ｐへの印加電圧値による振幅制御を確実に行うことができるようにするためには、図示例のように圧電体１３ｐを振動体１２の側にある第２の弾性領域１３ｂに設けることが好ましく、特に、圧電体１３ｐを第２の弾性領域１３ｂから接続領域１３ｃに達する範囲に形成することが望ましい。

本実施形態では、各加振部において、軸線１２ｘを中心とする内周側から外周側へ並行して伸びる第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂのそれぞれの外端部が支持体１１と振動体１２に接続されるとともに、第１の弾性領域１３ａの内端部と第２の弾性領域１３ｂの内端部とを接続する接続領域１３ｃが拘束力を受けない振動の自由端を構成している。このため、弾性構造１３の内周側には支持体１１及び振動体１２に対する接続箇所を設ける必要がないため、接続構造を簡易化することができ、組み立て作業も容易になる。また、内周側に配置される接続領域１３ｃを支持体１１や振動体１２に接続する必要がないため、加振構造１３の取付構造に起因する複数の加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ同士の干渉を回避できることから、接続領域１３ｃを軸線１２ｘに近づけて配置することが可能になるので、回転振動機の半径方向のコンパクト化を図ることが可能になる。

特に、本実施形態では、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂは、軸線１２ｘに沿った方向Ｑに配列されているので、軸線１２ｘを中心とした半径方向に沿って内周側から外周側へ伸びる図５（ａ）に示す共通の中心軸面１３ｘ上に、支持体１１と振動体１２に対する加振力の作用点を近づけることができる。これにより、支持体１１及び振動体１２の内部の加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの収容空間を平面的に見て小さく構成することが可能になるため、結果として、回転振動機１０のコンパクト化を図ることができる。例えば、本実施形態では、支持体１１に設ける加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃの溝幅を小さくすることができるため、支持体１１を大型化せずに支持体１１の質量を大きくすることが可能になり、その結果、加振性能の確保と、装置のコンパクト化を両立できる。

さらに、上述のように接続領域１３ｃを支持体１１や振動体１２に接続する必要がないため、接続領域１３ｃを軸線１２ｘに近づけることが容易になり、その結果、第１の弾性領域１３ａの外端部及び第２の弾性領域１３ｂの外端部を、軸線１２ｘを中心とする円弧状に近い態様で振動させることが可能になるため、回転振動機１０の振動効率を向上させることができると同時に、振動態様を高精度化及び安定化を実現できる。その結果、搬送物の暴れ、搬送姿勢の乱れなどを抑制できるから、搬送効率の向上や搬送速度の向上を図ることが可能になる。

本実施形態では、図６に示すように、略Ｕ字状若しくはコ字状の加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの第１の弾性領域１３ａの外端部が支持体１１に接続されるとともに、第２の弾性領域１３ｂの外端部が振動体１２に接続されているため、支持体１１と振動体１２の間で、各弾性領域１３ａと１３ｂは外周側から内周側に並行して伸びて、他の部材には拘束されていない振動の自由端を構成する接続領域１３ｃにより接続されている。これにより、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは、実質的に、回転振動機１０の半径の２倍に近い長さを有する弾性ばねとして構成され、支持体１１と振動体１２の間の接続距離を長くすることができる。このため、従来の回転振動機と同じ外径となるように設計した場合でも、本実施形態では、支持体１１と振動体１２の間の弾性ばねとしての長さを大きく取ることができる。その結果、回転振動機１０の共振周波数が同じであれば、この共振周波数に対応する加振部のばね定数を得るために加振部の断面積を大きくすることが可能になる。これにより、例えば、弾性基板１４を厚くすることができるため、圧電体１３ｐの耐久性を高めることが可能になる。また、弾性基板１４に直接タップ立てを行ったりすることが可能になるため、支持体１１や振動体１２に対する取付部分に介挿する座金を省略することができるといった利点も得られる。さらに、支持体１１と振動体１２の間の接続距離は長くなるものの、上述のように加振部の断面積を増大させることができるため、振動体１２及びこれに搭載される後述する搬送体２１を支持するための剛性を確保することは容易である。

図７は、上記実施形態とは別の加振部の構成を模式的に示す概略側面図である。ここで、図中の上下方向は軸線１２ｘに対して振動角θだけ傾斜した上記方向Ｑである。この例では、共に板状に構成された第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂが別々に設けられ、これらの第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂを内周側で接続する接続領域１３ｃが、座金とボルト等により構成される接続金具等の連結部材でさらに別体に構成されている点で、上記実施形態とは異なる。図示例では、第１の弾性領域１３ａ及び第２の弾性領域１３ｂがそれぞれ弾性基板により構成され、これらの弾性基板の内端部同士が接続領域１３ｃを構成する連結部材によって連結されている。また、圧電体１３ｐは第１の弾性領域１３ａの内周側部分に積層され、第１の弾性領域１３ａを構成する弾性基板を撓み変形させることで、第１の弾性領域１３ａの外端部と、第２の弾性領域１３ｂの外端部とが上記方向Ｑの周りを回転する方向Ｒｘ（図の紙面と直交する方向）に沿って、相互に逆位相となるように振動する。さらに、この図示例では、第２の弾性領域１３ｂが一体の弾性基板により構成され、その外周側部分に、上記外周側弾性ばね１５と同様に機能する増幅ばね部１５′が第２の弾性領域１３ｂの内周側部分と一体に構成される。この増幅ばね部１５′は、第２の弾性領域１３ｂの内周側部分よりも幅狭に構成されるか、或いは、図示しないが厚みが小さくなるように構成されることが好ましい。

図７に示す例では、第１の弾性領域１３ａに圧電体１３ｐが積層されているが、図示二点鎖線で示すように、上記実施形態と同様に第２の弾性領域１３ｂに圧電体１３を積層してもよい。また、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂの双方に圧電体１３ｐを積層することも可能である。ただし、この場合には、第１の弾性領域１３ａの外端部と第２の弾性領域１３ｂの外端部とが逆位相で振動するように、第１の弾性領域１３ａの圧電体１３ｐと、第２の弾性領域１３ｂの圧電体１３ｐの駆動状態を制御する必要がある。通常は、第１の弾性領域１３ａの圧電体１３ｐと、第２の弾性領域１３ｂの圧電体１３ｐとを逆位相で駆動するように構成することが望ましい。

図８は、上記実施形態とは異なる加振部の構成を模式的に示す概略平面図である。この図では、軸線１２ｘに対して振動角θだけ傾斜した上記方向Ｑに沿って見た平面形状を示してある。この例では、上記実施形態や図７に示す例とは異なり、それぞれ板状に構成された第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂが厚み方向、すなわち上記方向Ｑと直交する方向に隣接して配置されている。また、接続領域１３ｃは、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂの内端部の間で厚み方向に伸びるように形成されている。

この例では、圧電体１３ｐの駆動により、第２の弾性領域１３ｂが撓み変形し、その外端部は上記方向Ｑの周りを回転する方向Ｒｘに沿って振動する。また、上記撓み変形が接続領域１３ｃを介して伝達されることにより、第１の弾性領域１３ａの外端部も上記方向Ｑの周りを回転する方向Ｒｘに沿って振動する。ただし、この例においても、第１の弾性領域１３ａの外端部と第２の弾性領域１３ｂの外端部とは上記方向Ｒｘに見て相互に逆位相となるように振動する。

上記のように第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂが厚み方向に隣接して配置されることにより、上記加振部収容溝１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃの溝幅を或る程度大きくする必要はあるものの、加振部の上下寸法を低減することができるため、装置の高さを低減することができる。また、加振部の両外端部が接続される取付部１１ｃと被動部１２ｃをほぼ同じ高さに配置することが可能になるので、支持側取付面１１ｄと振動側取付面１２ｄの軸線１２ｘの周りの角度位置が或る程度離れていても、加振部にねじり振動などの不要な振動モードが生ずることを防止できる。

なお、この例においても、図７に示す例と同様に、第１の弾性領域１３ａに圧電体１３ｐを設けてもよく、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂの双方に圧電体１３ｐを設けてもよい。また、この例では第２の弾性領域１３ｂが内周側から外周側にわたり一定の厚みを有する弾性基板で構成されているが、その外周側部分を図７に示すような一体の増幅ばね部１５′となるように構成してもよく、或いは、上記実施形態のように別体の外周側弾性ばね１５で構成してもよい。

図９は、上記実施形態とはさらに異なる加振部の構成を模式的に示す概略平面図である。この例でも、図８に示す例と同様に、それぞれ板状に構成された第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂが厚み方向、すなわち上記方向Ｑと直交する方向に隣接して配置されている。ただし、この図９に示す例では、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂがそれぞれ別々の板状体として構成され、第１の弾性領域１３ａと第２の弾性領域１３ｂがさらに別体に構成された接続領域１３ｃによって連結されている。接続領域１３ｃはスペーサ状の接続金具等の連結部材で構成され、ボルトとナット等により第１の弾性領域１３ａの内端部と第２の弾性領域１３ｂの内端部とを連結している。

上述のように、図７〜図９に示す各構成、すなわち、第２の弾性領域１３ｂの内部構造に関する構成（一体か否か）と、接続領域１３ｃの接続態様に関する構成（第１の弾性領域１３ａ及び第２の弾性領域１３ｂと一体か否か）と、圧電体１３ｐの配置に関する構成（第１の弾性領域１３ａに設けるか、第２の弾性領域１３ｂに設けるか、第１の弾性領域１３ａ及び第２の弾性領域１３ｂに設けるか）とは、それぞれ別々に採用することのできる構成要素であり、これらの各構成の組み合わせによって種々の変形例を容易に実現することができる。

本実施形態では、上記の構成を有する回転振動機１０の振動体１２上に、図１０に示すボウル状の搬送体２１をボルト２２等によって固定することにより、振動式搬送装置２０を構成することができる。なお、図１０では、加振構造１３及び支持体１１の内部構造などの図示を省略してある。この場合、電子部品などの搬送物が搬送体２１の内底部２１ａに収容されると、回転振動機１０によって生ずる搬送体２１の振動により、搬送物は螺旋状の搬送路２１ｂに沿って上方へ搬送される。搬送物の搬送態様は、回転振動機１０の振動体１２の振動の周波数、振幅、及び方向によって定まる。回転振動機１０の振動体１２は上述のように振動角θを有する振動方向Ｖｓに往復振動するので、搬送路２１ｂの搬送面との摩擦によって振動方向Ｖｓが斜め上方へ向かう向きに搬送物が移動していく。このとき、振動体１２の振動態様が振動方向Ｖｓに向かう本来の振動モード以外の他の振動モードが抑制されたものであれば、搬送物は、搬送路２１ｂ上でとび跳ねたり、姿勢を変えたりすることなく、搬送路２１ｂ上を整然と移動していく。

尚、本発明に係る回転振動機及び振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態の回転振動機１０では、軸線１２ｘと直交する水平面に対して振動角θの傾斜方向に向けて振動体１２を軸線１２ｘの周りに振動させているが、振動式搬送装置において搬送物を搬送する用途以外の加振装置として使用する場合には、上記振動角θが０となるように構成してもよい。

また、上記実施形態の回転振動機１０では、加振部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃにおいて、支持側弾性基板部１４ａ、接続側弾性基板部１４ｃ及び内周側弾性基板部１４ｂを一体に有する弾性基板１４に対して外周側弾性ばね１５を連結しているが、本発明はこのような態様に限らず、結果として第１の弾性領域１３ａ、第２の弾性領域１３ｂ及び接続領域１３ｃを有する構成であればよく、例えば、第１の弾性領域１３ａ及び接続領域１３ｃが圧電体１３ｐを積層した一体の弾性基板で構成され、第２の弾性領域１３ｂの全体が増幅ばねとして構成されたものであっても構わない。さらに、上記実施形態の振動式搬送装置２０では、回転振動機１０の振動体１２上に搬送体２１を取付固定しているが、搬送体２１を振動体１２と一体に構成してもよい。

１０…回転振動機、１１…支持体、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ…加振部収容溝、１１Ｐ、１１Ｑ、１１Ｒ…ランド部、１１ｃ…取付部、１１ｄ…支持側取付面、１２…振動体、１２ａ…搬送体取付面、１２ｂ…本体部、１２ｃ…被動部、１２ｄ…振動側取付面、１３…加振構造、１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ…加振部、１３ａ…第１の弾性領域、１３ｂ…第２の弾性領域、１３ｃ…接続領域、１３ｐ…圧電体、１４…弾性基板、１４ａ…支持側弾性基板部、１４ｂ…内周側弾性基板部、１４ｃ…接続側弾性基板部、１４ｓ…スリット、１５…外周側弾性ばね、１５′…増幅ばね部、１６…防振部材、１７…基台、θ…傾斜角、２０…振動式搬送装置、２１…搬送体、２１ａ…内底部、２１ｂ…搬送路

この場合において、前記第１の駆動領域（１３ａ）、前記接続領域（１３ｃ）及び前記内周側弾性基板部（１４ｂ）は、一体の弾性基板により構成されることが望ましい。このとき、前記圧電体（１３ｐ）は、前記第１の弾性領域（１３ａ）又は前記第２の弾性領域（１３ｂ）から前記接続領域（１３ｃ）に達する範囲に積層されていることが最も望ましい。

本発明において、前記第１の弾性領域（１３ａ）と前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記軸線（１２ｘ）に沿った方向（Ｑ）に配列されていることが好ましい。この場合において、前記第１の駆動領域（１３ａ）、前記接続領域（１３ｃ）及び前記内周側弾性基板部（１４ｂ）は、一体の弾性基板により構成されることが望ましい。このとき、前記圧電体（１３ｐ）は、前記第１の弾性領域（１３ａ）又は前記第２の弾性領域（１３ｂ）から前記接続領域（１３ｃ）に達する範囲に積層されていることが最も望ましい。

本発明において、前記支持体（１１）は、前記加振構造（１３）の各加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）を収容するための半径方向に伸びる複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）と、該複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）の間に形成された上方に突出するランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）とを備え、前記振動体（１２）は、下方に向けて突出して前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される複数の被動部（１２ｃ）を備え、前記加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）の前記第１の弾性領域（１３ａ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）に臨む前記ランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）の内周面（１１ｄ）に接続されるとともに、前記第２の弾性領域（１３ｂ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される前記被動部（１２ｃ）の外側面（１２ｄ）に接続されることが好ましい。

Claims (8)

1. 支持体（１１）と、該支持体（１１）の上方に配置された振動体（１２）と、前記支持体（１１）と前記振動体（１２）との間に接続された加振構造（１３）とを具備し、前記振動体（１２）が所定の軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に沿って振動する回転振動機（１０）であって、
   前記加振構造（１３）は前記軸線（１２ｘ）の周りに設けられた複数の加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）を有し、
   前記加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）は、前記支持体（１１）に接続されるとともに内周側に伸び、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み変形する板状の第１の弾性領域（１３ａ）と、前記振動体（１２）に接続されるとともに内周側に伸び、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み変形する板状の第２の弾性領域（１３ｂ）と、前記第１の弾性領域（１３ａ）の内端部と前記第２の領域（１３ｂ）の内端部を接続する接続領域（１３ｃ）と、前記第１の弾性領域（１３ａ）と前記第２の弾性領域（１３ｂ）の少なくとも一方を前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に撓み振動させる圧電体（１３ｐ）と、を有し、前記接続領域（１３ｃ）が拘束力を受けない振動の自由端を構成し、
   前記支持体（１１）に対する前記第１の弾性領域（１３ａ）の接続箇所と、前記振動体（１２）に対する前記第２の弾性領域（１３ｂ）の接続箇所が前記軸線（１２ｘ）の周りに沿った方向に見たときに逆位相で振動することを特徴とする回転振動機。
2. 前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記接続領域（１３ｃ）に接続される内周側弾性基板部（１４ｂ）と、該内周側弾性基板部（１４ｂ）と前記振動体（１２）との間に接続される外周側弾性ばね（１５）とを有することを特徴とする請求項１に記載の回転振動機。
3. 前記第１の弾性領域（１３ａ）、前記接続領域（１３ｃ）及び前記内周側弾性基板部（１４ｂ）は、一体の弾性基板により構成されることを特徴とする請求項２に記載の回転振動機。
4. 前記第１の弾性領域（１３ａ）と前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記軸線（１２ｘ）に沿った方向（Ｑ）に配列されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の回転振動機。
5. 前記圧電体は、前記第１の弾性領域（１３ａ）又は前記第２の弾性領域（１３ｂ）から前記接続領域（１３ｃ）に達する範囲に積層されていることを特徴とする請求項４に記載の回転振動機。
6. 前記第１の弾性領域（１３ａ）及び前記第２の弾性領域（１３ｂ）は、前記軸線（１２ｘ）と直交する平面に対し斜め上方に向いた板面を備え、前記加振構造（１３）は、前記振動体（１２）を、前記軸線（１２ｘ）の周りを回転する方向に沿って前記板面の法線に沿った斜め方向に振動させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の回転振動機。
7. 前記支持体（１１）は、前記加振構造（１３）の各加振部（１３Ａ,１３Ｂ，１３Ｃ）を収容するための半径方向に伸びる複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）と、該複数の加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）の間に形成されて上方に突出するランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）とを備え、前記振動体（１２）は、下方へ向けて突出して前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される複数の被動部（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）を備え、前記加振部（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ）の前記第１の弾性領域（１３ａ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）に臨む前記ランド部（１１Ｐ，１１Ｑ，１１Ｒ）の内側面（１１ｄ）に接続されるとともに、前記第２の弾性領域（１３ｂ）の外端部は、前記加振部収容溝（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）内に配置される前記被動部（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）の外側面（１２ｄ）に接続されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の回転振動機。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の回転振動機（１０）と、前記振動体（１２）に固定され、若しくは、前記振動体（１２）と一体に構成されるとともに、搬送物を搬送するための搬送路（２１ｂ）を備えた搬送体（２１）と、を具備することを特徴とする振動式搬送装置。

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