JP2014199881A - 液処理装置、液処理方法、測定用冶具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を保持するための基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板の表面に処理液を吐出して液処理を行うための処理液吐出部と、前記処理液の前記基板への吐出量を検査するために前記処理液吐出部からその吐出量が予め設定された量となるように吐出された処理液が貯留される凹部を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、前記画像データに基づいて前記凹部に貯留された処理液の量を測定するデータ処理部と、を備えるように装置を構成する。このように構成して、作業員が装置に立ち入る必要をなくす。
【選択図】図1
Description
前記基板保持部に保持された基板の表面に処理液を吐出して液処理を行うための処理液吐出部と、
前記処理液の前記基板への吐出量を検査するために前記処理液吐出部から吐出された処理液が貯留される凹部を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、
前記画像データに基づいて前記凹部に貯留された処理液の量を測定するデータ処理部と、を備えることを特徴とする。
V1=1/3πr2h=1/3πr2・r・tanθ・・・式1
V2=4/3πr2n・1/2=2/3πr2n・・・式2
V=1/3xyz・・・式3
V=1/3(2F)2G=4/3・E3(cosC)2・sinC・・・式4
1 レジスト塗布装置
42A〜42J レジスト液吐出ノズル
44A〜44J レジスト液供給機構
45 レジスト液
46 下層部
47 上層部
5 制御部
54 プログラム
6 測定用冶具
61 凹部
Claims (15)
- 基板を保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に処理液を吐出して液処理を行うための処理液吐出部と、
前記処理液の前記基板への吐出量を検査するために前記処理液吐出部から吐出された処理液が貯留される凹部を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、
前記画像データに基づいて前記凹部に貯留された処理液の量を測定するデータ処理部と、
を備えることを特徴とする液処理装置。 - 前記データ処理部により測定された処理液の量に基づいて、
基板に吐出する処理液の量を補正する吐出量補正機構が設けられることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。 - 前記凹部は、下方に頂点を向けた錐体状に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。
- 前記錐体は円錐であることを特徴とする請求項3記載の液処理装置。
- 前記凹部は平面視円形に形成され、
前記データ処理部は、前記凹部に貯留された処理液について、
当該処理液の表面張力により円形のドーム型となる上層部と、その下側の下層部との合計となるように、その量を測定することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記凹部から処理液を除去するために当該凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記凹部から洗浄液を除去するための洗浄液除去機構と、
を備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記凹部は前記基板保持部に受け渡される板状の測定用冶具の表面に形成され、
前記洗浄液除去機構は、前記基板保持部に保持された前記測定用冶具を回転させ、遠心力により洗浄液を凹部から振り切るための回転機構により構成されることを特徴とする請求項6記載の液処理装置。 - 基板を保持する基板保持部に保持された基板の表面に処理液吐出部から、処理液を吐出して液処理を行う液処理方法において、
前記処理液の前記基板への吐出量を検査するために、前記処理液吐出部から当該処理液を凹部に吐出する工程と、
撮像部により、前記処理液が貯留された凹部を撮像して画像データを取得する工程と、
データ処理部により、前記画像データに基づいて前記凹部に貯留された処理液の量を測定する工程と、
を備えることを特徴とする液処理方法。 - 前記データ処理部により測定された処理液の量に基づいて、
吐出量補正機構により、基板に吐出する処理液の量を補正する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の液処理方法。 - 洗浄液供給部により、前記凹部から処理液を除去するために当該凹部に洗浄液を供給する工程と、
洗浄液除去機構により、前記凹部から前記洗浄液を除去する工程と、
を含むことを特徴とする請求項8または9記載の液処理方法。 - 前記凹部は基板保持部に受け渡される板状の測定用冶具の表面に形成され、
当該測定用冶具を前記基板保持部に保持する工程を備え、
前記洗浄液を除去する工程は、回転機構により前記測定用冶具を回転させ、遠心力により洗浄液を凹部から振り切る工程を含むことを特徴とする請求項10記載の液処理方法。 - 基板を保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に処理液を吐出して液処理を行うための処理液吐出部と、
前記処理液の前記基板への吐出量を検査するために前記処理液吐出部から吐出された処理液が貯留される凹部を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、
前記画像データに基づいて前記凹部に貯留された処理液の量を測定するデータ処理部と、
を備える液処理装置に用いられる前記処理液の吐出量の測定用冶具であって、
板状に形成され、その表面に前記凹部を備えることを特徴とする測定用冶具。 - 前記凹部は、下方に頂点を向けた錐体状に形成されていることを特徴とする請求項12記載の測定用冶具。
- 前記錐体は円錐であることを特徴とする請求項13記載の測定用冶具。
- 前記凹部は、周方向に複数設けられることを特徴とする請求項12ないし14のいずれか一つに記載の測定用冶具。
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