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JP2014072322A - Organic light-emitting display device and manufacturing method therefor - Google Patents

Organic light-emitting display device and manufacturing method therefor Download PDF

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JP2014072322A
JP2014072322A JP2012216488A JP2012216488A JP2014072322A JP 2014072322 A JP2014072322 A JP 2014072322A JP 2012216488 A JP2012216488 A JP 2012216488A JP 2012216488 A JP2012216488 A JP 2012216488A JP 2014072322 A JP2014072322 A JP 2014072322A
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JP
Japan
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light emitting
emitting layer
layer
organic
hole
Prior art date
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JP2012216488A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuki Yasu
祐樹 安
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress color purity degradation due to the effect from a blue light-emitting layer in a red organic EL element and a green organic EL element.SOLUTION: An organic light-emitting display device has a pixel electrode 3 and a counter electrode 11, and a hole injection layer 5, a hole transport layer 6, a red light-emitting layer 7, a green light-emitting layer 8, a blue light-emitting layer 9, and an electron transport layer 10 are formed between the pixel electrode 3 and counter electrode 11. The blue light-emitting layer 9 contains an electron transporting host material and a hole transporting dopant material. Concentration of the hole transporting dopant material in the blue light-emitting layer 9 decreases gradually from the counter electrode 11 side toward the pixel electrode 3 side.

Description

本発明は表示装置に関し、特に有機発光表示装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly, to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.

有機発光表示装置(有機EL表示装置)は導電性の有機発光媒体層に電圧を印加することにより、有機発光媒体層中の有機発光層において注入された電子と正孔が再結合する。有機発光層中の有機発光分子は、再結合エネルギーによりいったん励起状態となり、その後、励起状態から基底状態に戻る。この際に放出されるエネルギーを光として取り出すことにより、有機発光表示装置は発光する。有機発光媒体層に電圧を印加するために、有機発光媒体層の両側には画素電極と対向電極が設けられており、有機発光媒体層からの光を外部へ取り出すために、画素電極、対向電極の少なくとも一方は透光性を有する。このような有機発光表示装置の構造の一例としては、透光性基板上に、透光性の画素電極、有機発光媒体層、対向電極を順次積層したものが挙げられ、ここで、基板上に形成される画素電極を陽極として利用し、有機発光媒体層上に形成される対向電極を陰極として利用する態様が挙げられる。   An organic light emitting display device (organic EL display device) recombines electrons and holes injected in the organic light emitting layer in the organic light emitting medium layer by applying a voltage to the conductive organic light emitting medium layer. The organic light emitting molecules in the organic light emitting layer are once excited by the recombination energy, and then return from the excited state to the ground state. By taking out the energy released at this time as light, the organic light emitting display device emits light. In order to apply a voltage to the organic light emitting medium layer, a pixel electrode and a counter electrode are provided on both sides of the organic light emitting medium layer. In order to extract light from the organic light emitting medium layer to the outside, the pixel electrode and the counter electrode are provided. At least one of them has translucency. As an example of the structure of such an organic light emitting display device, a light transmissive pixel electrode, an organic light emitting medium layer, and a counter electrode are sequentially stacked on a light transmissive substrate. There is an embodiment in which the pixel electrode to be formed is used as an anode and the counter electrode formed on the organic light emitting medium layer is used as a cathode.

さらに、発光効率を増大させる等の目的から、画素電極と有機発光層との間に設けられる正孔輸送層、正孔注入層に加え、有機発光層と対向電極との間に電子輸送層、電子注入層が適宜選択して設けられ、有機発光表示装置として構成されることが多い。これら正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層はキャリア輸送層と呼ばれている。これらキャリア輸送層と有機発光層、さらには正孔ブロック層や電子ブロック層、絶縁層等を合わせて有機発光媒体層と呼ぶ。   Furthermore, for the purpose of increasing luminous efficiency, in addition to the hole transport layer provided between the pixel electrode and the organic light emitting layer, the hole injection layer, an electron transport layer between the organic light emitting layer and the counter electrode, In many cases, an electron injection layer is appropriately selected and configured as an organic light emitting display device. These hole transport layer, hole injection layer, electron transport layer, and electron injection layer are called carrier transport layers. The carrier transport layer, the organic light emitting layer, and the hole blocking layer, the electron blocking layer, the insulating layer, and the like are collectively referred to as an organic light emitting medium layer.

画像表示装置を作製する場合は、縦横に並べられている多数の画素によって、画像を表示する。そのためには、発光材料や正孔注入材料などを画素電極上に選択的に配し、各画素に独立した有機EL素子を形成する必要がある。その際、材料を各画素に均一に配し、均一に発光させる為、予め各画素を区画する隔壁を設ける手法が一般的に用いられている。   When manufacturing an image display device, an image is displayed by a large number of pixels arranged vertically and horizontally. For this purpose, it is necessary to selectively dispose a light emitting material, a hole injection material, or the like on the pixel electrode to form an independent organic EL element for each pixel. At that time, in order to uniformly distribute the material to each pixel and to uniformly emit light, a method of providing partition walls that partition each pixel in advance is generally used.

一般的な発光色の組合せは、赤色、緑色、青色である。この有機発光表示装置の寿命は、寿命の短い有機EL素子によって決まってしまう。現状においては、青色有機EL素子の寿命が、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子の寿命に比べて短い傾向にある。そのため、青色有機EL素子の長寿命化が有機発光表示装置としての長期信頼性を達成するための課題となっていた。   Common emission color combinations are red, green, and blue. The lifetime of the organic light emitting display device is determined by the organic EL element having a short lifetime. At present, the lifetime of blue organic EL elements tends to be shorter than that of red organic EL elements and green organic EL elements. Therefore, extending the lifetime of the blue organic EL element has been a problem for achieving long-term reliability as an organic light emitting display device.

有機EL素子を構成する有機発光層等に用いられる材料は、低分子材料と高分子材料とに大別される。一般に、低分子材料の方がより高い発光効率、長寿命を示すことが知られており、特に青色の性能は高いとされる。
低分子材料は一般的に、真空蒸着法を用いて成膜される。真空蒸着法は、有機材料を溶媒に溶解させる必要がなく、成膜後に溶媒を除去する工程が不要という利点がある。但し、真空蒸着法はメタルマスクによる塗り分けが難しく、特に大型のパネルの作製における設備製造コストが高いため、大画面基板への適用が難しく、量産にも難があるなどの欠点を有していた。
Materials used for the organic light emitting layer and the like constituting the organic EL element are roughly classified into low molecular materials and high molecular materials. In general, it is known that a low molecular weight material exhibits higher luminous efficiency and longer life, and blue performance is particularly high.
The low molecular weight material is generally formed using a vacuum deposition method. The vacuum deposition method has an advantage that it is not necessary to dissolve an organic material in a solvent, and a step of removing the solvent after film formation is unnecessary. However, vacuum vapor deposition is difficult to separate with a metal mask, and has the disadvantages that it is difficult to apply to large screen substrates and difficult to mass-produce, especially because of the high equipment manufacturing cost in the production of large panels. It was.

近年、低分子系材料または高分子系材料を溶媒に溶解または分散させ、塗布法や印刷法と言った湿式法により有機発光層を製膜する研究が盛んに行われている。前述の真空蒸着法を用いた有機発光表示装置と比較して、大気圧下での製膜が可能であり、設備コストが安いという利点がある。
これらは一般に、溶媒に溶解しやすい材料によって形成されている。これにより、大気圧下におけるスピンコート法などのウェットコーティング法や、凸版印刷法や凸版反転オフセット印刷法(例えば、特許文献1、2参照)、インクジェット法(例えば、特許文献3、4参照)、ノズルプリント法(例えば、特許文献5参照)などの印刷法を用いて各層を形成することができ、製造設備のコストの削減や生産性の向上が図れる。
2. Description of the Related Art In recent years, active research has been conducted on dissolving or dispersing a low molecular weight material or a high molecular weight material in a solvent and forming an organic light emitting layer by a wet method such as a coating method or a printing method. Compared with the organic light-emitting display device using the above-described vacuum evaporation method, there is an advantage that film formation under atmospheric pressure is possible and equipment cost is low.
These are generally formed of a material that is easily dissolved in a solvent. Thereby, a wet coating method such as a spin coating method under atmospheric pressure, a letterpress printing method, a letterpress inversion offset printing method (for example, refer to Patent Documents 1 and 2), an ink jet method (for example, refer to Patent Documents 3 and 4), Each layer can be formed by using a printing method such as a nozzle printing method (see, for example, Patent Document 5), thereby reducing the cost of manufacturing equipment and improving productivity.

しかしながら、湿式方式において用いられる発光材料の中で、特に青色発光材料は発光輝度および寿命特性が低く実用的ではないため、青色発光層の湿式法によるパターニングは困難とされていた。
この課題に対して、湿式法で形成された赤色発光層、緑色発光層の上部に、湿式法では特性が不十分な青色発光層以降を共通層として真空蒸着法で形成した表示装置が開示されている(特許文献6参照)。このような構造とすることにより、青色発光層に対する微細なパターニングが不要となるため特に大型化への実現性が高くなる。
However, among the luminescent materials used in the wet method, in particular, the blue luminescent material has low luminance and lifetime characteristics and is not practical. Therefore, it has been difficult to pattern the blue luminescent layer by the wet method.
In response to this problem, a display device is disclosed that is formed by a vacuum deposition method using a blue light emitting layer and a subsequent layer, which have insufficient characteristics by a wet method, on a red light emitting layer and a green light emitting layer formed by a wet method. (See Patent Document 6). Such a structure eliminates the need for fine patterning on the blue light-emitting layer, so that the possibility of enlargement is particularly high.

しかしながら、特許文献1の有機発光表示装置では、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子の色純度が低下するという問題があった。赤色発光層及び緑色発光層上に直接青色発光層を積層しているため、赤色発光層及び緑色発光層から青色発光層へキャリアが移動し、青色発光層の発光が加わり、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子における色度が変化してしまう。従って、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子での青色発光を低減することが求められていた。   However, the organic light emitting display device of Patent Document 1 has a problem that the color purity of the red organic EL element and the green organic EL element is lowered. Since the blue light emitting layer is laminated directly on the red light emitting layer and the green light emitting layer, carriers move from the red light emitting layer and the green light emitting layer to the blue light emitting layer, and light emission of the blue light emitting layer is added. The chromaticity in the green organic EL element changes. Therefore, it has been demanded to reduce blue light emission in the red organic EL element and the green organic EL element.

特開2003−17248号公報JP 2003-17248 A 特開2004−296226公報JP 2004-296226 A 特許第3541625号公報Japanese Patent No. 3541625 特開2009−267299公報JP 2009-267299 A 特開2001−189192公報JP 2001-189192 A 特開2006−140434号公報JP 2006-140434 A

本発明は、湿式法によって成膜された赤色発光層及び緑色発光層上に、蒸着法によって青色発光層が積層された有機発光表示装置であって、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子における青色発光層からの影響による色純度低下を抑制することが可能な有機発光表示装置、その製造方法を提供することにある。   The present invention relates to an organic light emitting display device in which a blue light emitting layer is laminated by a vapor deposition method on a red light emitting layer and a green light emitting layer formed by a wet method, and the blue color in the red organic EL element and the green organic EL element. An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device capable of suppressing a decrease in color purity due to an influence from a light emitting layer, and a method for manufacturing the same.

上記目的を達成するために、請求項1の発明は、基板上に、赤色有機EL素子と緑色有機EL素子と青色有機EL素子の各々ごとに設けられた画素電極と、前記画素電極上に形成された正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する正孔注入・輸送層と、前記正孔注入・輸送層上に形成された赤色発光層と緑色発光層と、前記赤色発光層と緑色発光層と前記正孔注入・輸送層の全面に形成された青色発光層と、前記青色発光層の全面に順に形成された電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層および対向電極とが少なくとも形成され、前記青色発光層が少なくとも電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有し、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が前記対向電極側から前記画素電極側に向かって漸減しているものである。   In order to achieve the above object, the invention of claim 1 is formed on a pixel electrode provided on each of a red organic EL element, a green organic EL element, and a blue organic EL element on a substrate. A hole injection / transport layer having at least one of the characteristics of hole injection or hole transport, a red light emitting layer and a green light emitting layer formed on the hole injection / transport layer, and the red light emitting layer, A green light-emitting layer, a blue light-emitting layer formed on the whole surface of the hole injection / transport layer, and an electron injection / transport layer having at least one of the characteristics of electron injection or electron transport formed in order on the entire surface of the blue light-emitting layer And the blue light emitting layer contains at least an electron transporting host material and a hole transporting dopant material, and the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is In which the counter electrode side gradually decreases toward the pixel electrode side.

請求項2の発明は、請求項1に記載された有機発光表示装置において、前記青色発光層の前記画素電極側界面付近の領域における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記青色発光層の前記対向電極側界面付近の領域における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度に対して、0質量%以上50質量%以下であるものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載された有機発光表示装置において、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記画素電極側界面付近の領域で3質量%以下であるものである。
請求項4の発明は、請求項3に記載された有機発光表示装置において、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記対向電極側界面付近の領域で5質量%以上であるものである。
According to a second aspect of the present invention, in the organic light emitting display device according to the first aspect, the concentration of the hole transporting dopant material in a region in the vicinity of the pixel electrode side interface of the blue light emitting layer may be that of the blue light emitting layer. It is 0 mass% or more and 50 mass% or less with respect to the density | concentration of the said hole transportable dopant material in the area | region of the said counter electrode side interface vicinity.
According to a third aspect of the present invention, in the organic light emitting display device according to the second aspect, the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is 3% by mass or less in a region near the interface on the pixel electrode side. It is what is.
According to a fourth aspect of the present invention, in the organic light emitting display device according to the third aspect, the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is 5% by mass or more in a region near the counter electrode side interface. It is what is.

請求項5の発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載の有機発光表示装置を製造する方法であって、基板上に、赤色有機EL素子と緑色有機EL素子と青色有機EL素子の各々ごとに設けられた画素電極を形成する工程と、前記画素電極上に、正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する正孔注入・輸送層を湿式法により形成する工程と、前記正孔注入・輸送層上に、赤色発光層と緑色発光層を湿式法により形成する工程と、前記赤色発光層と緑色発光層と前記正孔注入・輸送層の全面に、青色発光層を蒸着法により形成する工程と、前記青色発光層の全面に順に、電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層および対向電極を形成する工程とを少なくとも有し、前記青色発光層に少なくとも電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有させ、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度を対向電極側から画素電極側に向かって漸減させるものである。
請求項6の発明は、請求項5に記載の有機発光表示装置の製造方法であって、前記湿式法として、インクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷、グラビア印刷または反転オフセット印刷を用いるものである。
A fifth aspect of the present invention is a method of manufacturing the organic light emitting display device according to any one of the first to fourth aspects, wherein each of a red organic EL element, a green organic EL element, and a blue organic EL element is formed on a substrate. Forming a pixel electrode provided for each, a step of forming a hole injection / transport layer having at least one of hole injection and hole transport on the pixel electrode by a wet method, and the positive electrode Forming a red light emitting layer and a green light emitting layer on the hole injecting / transporting layer by a wet method; and depositing a blue light emitting layer on the entire surface of the red light emitting layer, the green light emitting layer, and the hole injecting / transporting layer. And at least a step of forming an electron injection / transport layer having at least one of electron injection or electron transport and a counter electrode over the entire surface of the blue light-emitting layer, At least electronic It contains a transmission host material and the hole transporting dopant material, the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light-emitting layer in which is gradually decreased toward the pixel electrode side from opposing electrode side.
The invention according to claim 6 is the method for manufacturing the organic light emitting display device according to claim 5, wherein an ink jet method, a nozzle printing method, letterpress printing, gravure printing, or reverse offset printing is used as the wet method. .

本発明によれば、青色発光層中の正孔輸送性ドーパント材料の濃度が対向電極側から画素電極側に向かって漸減していることで、赤色発光層及び緑色発光層から青色発光層へのキャリア移動が抑制され、結果として青色発光層の発光が抑制されるから、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子における青色発光層からの影響による色純度低下を抑制することできる。   According to the present invention, the concentration of the hole-transporting dopant material in the blue light-emitting layer is gradually decreased from the counter electrode side to the pixel electrode side, so that the red light-emitting layer and the green light-emitting layer are transferred to the blue light-emitting layer. Since carrier movement is suppressed, and as a result, light emission of the blue light emitting layer is suppressed, it is possible to suppress a decrease in color purity due to the influence from the blue light emitting layer in the red organic EL element and the green organic EL element.

本発明の実施形態に係る有機発光表示装置の構成を模式的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る有機発光表示装置の製造に用いる凸版印刷装置を模式的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows typically the relief printing apparatus used for manufacture of the organic light emitting display apparatus which concerns on embodiment of this invention.

本発明の実施形態は、基板上に、赤色有機EL素子と緑色有機EL素子と青色有機EL素子の各々ごとに設けられた画素電極と、画素電極上に形成された正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する正孔注入・輸送層と、正孔注入・輸送層上に形成された赤色発光層及び緑色発光層と、赤色発光層と緑色発光層と正孔注入・輸送層の全面に形成された青色発光層と、青色発光層の全面に順に形成された電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層および対向電極とが少なくとも形成され、青色発光層が少なくとも電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有し、青色発光層中における正孔輸送性ドーパント材料の濃度が対向電極側から画素電極側に向かって漸減しているものである。   Embodiments of the present invention include a pixel electrode provided for each of a red organic EL element, a green organic EL element, and a blue organic EL element on a substrate, and hole injection or hole transport formed on the pixel electrode. A hole injection / transport layer having at least one of the following characteristics: a red light emission layer and a green light emission layer formed on the hole injection / transport layer; a red light emission layer, a green light emission layer, and a hole injection / transport layer; A blue light-emitting layer formed on the entire surface, and an electron injection / transport layer and a counter electrode having at least one of the characteristics of electron injection or electron transport, which are sequentially formed on the entire surface of the blue light-emitting layer, are formed; It contains at least an electron-transporting host material and a hole-transporting dopant material, and the concentration of the hole-transporting dopant material in the blue light-emitting layer gradually decreases from the counter electrode side to the pixel electrode side.

本発明において、漸減が意味するところは、相対的に対向電極側から画素電極側に向かって減少していることであり、これが本発明の主旨であって、連続的または、階段状に変化していても良い。あるいは、一部で減少している領域があっても総体的に減少していれば良い。
また、本明細書において、「画素電極側界面付近の領域」と「対向電極側界面付近の領域」とは、有機発光層全体の厚みの10%の厚み領域をさすものと定義する。また、その領域における濃度とは、その領域における平均濃度を指すものと定義する。さらに、各材料の濃度は、エッチングX線光電子分光分析(XPS/ESCA)などの方法によって測定することができる。
In the present invention, the gradual decrease means that the voltage gradually decreases from the counter electrode side to the pixel electrode side, and this is the gist of the present invention, which changes continuously or stepwise. May be. Alternatively, even if there is a region that is partially reduced, it may be reduced overall.
Further, in this specification, “region near the pixel electrode side interface” and “region near the counter electrode side interface” are defined to refer to a thickness region of 10% of the total thickness of the organic light emitting layer. Further, the density in the region is defined as an average density in the region. Further, the concentration of each material can be measured by a method such as etching X-ray photoelectron spectroscopy (XPS / ESCA).

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は本実施形態に係る有機発光表示装置の構成を模式的に示すものである。本実施形態に係る有機発光表示装置1は、いわゆるアクティブマトリクス構造を有する有機発光表示装置であって、TFT(薄膜トランジスタ)が形成された透光性基板2、透光性基板2の一方の面上に複数形成された画素電極3、各画素電極3を線状に区画する隔壁4、画素電極3上に積層された正孔注入層5、正孔注入層5上に積層された正孔輸送層6、正孔輸送層6上に積層された赤色発光層7、緑色発光層8、そして、赤色発光層7と緑色発光層8と正孔輸送層6上に積層された青色発光層9、青色発光層9上に積層された電子輸送層10、電子輸送層10上に積層されて画素電極3と対向配置された対向電極11、対向電極11を覆うように封入された樹脂層12と封止基板13、を備えており、以下、画素電極3が陽極、対向電極11が陰極の場合について述べる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 schematically shows a configuration of an organic light emitting display device according to the present embodiment. An organic light emitting display device 1 according to this embodiment is an organic light emitting display device having a so-called active matrix structure, and is provided on a translucent substrate 2 on which a TFT (thin film transistor) is formed and on one surface of the translucent substrate 2. A plurality of pixel electrodes 3, a partition wall 4 that linearly partitions each pixel electrode 3, a hole injection layer 5 stacked on the pixel electrode 3, and a hole transport layer stacked on the hole injection layer 5 6, a red light emitting layer 7 and a green light emitting layer 8 laminated on the hole transport layer 6, and a blue light emitting layer 9 laminated on the red light emitting layer 7, the green light emitting layer 8 and the hole transport layer 6, blue An electron transport layer 10 stacked on the light emitting layer 9, a counter electrode 11 stacked on the electron transport layer 10 and disposed opposite to the pixel electrode 3, and a resin layer 12 sealed so as to cover the counter electrode 11 and sealing In the following description, the pixel electrode 3 has an anode, a counter electrode, and the like. 11 is described for the case of the cathode.

なお、本実施形態に係る有機発光表示装置1は、いわゆるパッシブマトリクス構造であってもよい。
透光性基板2は、画素電極3や有機発光層(赤色発光層7、緑色発光層8、青色発光層9)、対向電極11等を支持する基板であって、金属、ガラス、又はプラスチックなどのフィルムまたはシートによって構成されている。プラスチック製のフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートやポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネートを用いることができる。
The organic light emitting display device 1 according to this embodiment may have a so-called passive matrix structure.
The translucent substrate 2 is a substrate that supports the pixel electrode 3, the organic light emitting layer (the red light emitting layer 7, the green light emitting layer 8, the blue light emitting layer 9), the counter electrode 11, and the like, and is made of metal, glass, plastic, or the like. It is comprised by the film or sheet | seat. As the plastic film, polyethylene terephthalate, polypropylene, cycloolefin polymer, polyamide, polyethersulfone, polymethyl methacrylate, or polycarbonate can be used.

なお、透光性基板2の画素電極3が形成されない他方の面に、セラミック蒸着フィルムやポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体鹸化物などの他のガスバリア性フィルムを積層してもよい。
本実施形態の透光性基板2は、TFTを形成したアクティブ駆動方式用基板を用いても良い。本実施形態の印刷体をアクティブ駆動型有機EL素子とする場合には、TFT上に、平坦化層が形成してあるとともに、平坦化層上に有機EL素子の下部電極が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層に設けたコンタクトホールを介して電気接続してあることが好ましい。
In addition, another gas barrier film such as a ceramic vapor-deposited film, polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride, ethylene-vinyl acetate copolymer saponified product is laminated on the other surface of the translucent substrate 2 where the pixel electrode 3 is not formed. May be.
The translucent substrate 2 of the present embodiment may be an active drive system substrate on which TFTs are formed. When the printed body of the present embodiment is an active drive type organic EL element, a planarization layer is formed on the TFT, and a lower electrode of the organic EL element is provided on the planarization layer. In addition, the TFT and the lower electrode are preferably electrically connected via a contact hole provided in the planarization layer.

このように構成することにより、TFTと有機EL素子との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。TFTや、その上方に構成される有機EL素子は透光性基板2の支持体で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましく、具体的には先に基板として述べた材料を用いることができる。支持体上に設けるTFTは、公知のTFTを用いることができる。   By comprising in this way, the outstanding electrical insulation can be obtained between TFT and an organic EL element. The TFT and the organic EL element formed above the TFT are supported by a support of the translucent substrate 2. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Specifically, the materials described above as the substrate can be used. As the TFT provided on the support, a known TFT can be used.

具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層、ゲート絶縁膜及びゲート電極から構成されるTFTが挙げられる。TFTの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、ボトムゲート型、コプレーナ型等の公知の構造が挙げられる。また、ボトムエミッション型の有機EL素子の場合、透光性基板を用いる必要がある。   Specifically, a TFT composed mainly of an active layer in which a source / drain region and a channel region are formed, a gate insulating film, and a gate electrode can be given. The structure of the TFT is not particularly limited, and examples thereof include known structures such as a staggered type, an inverted staggered type, a top gate type, a bottom gate type, and a coplanar type. In the case of a bottom emission type organic EL element, it is necessary to use a translucent substrate.

次に、透光性基板2上に画素電極3の材料からなる層を成膜し、必要に応じてパターニングを行う。画素電極3の材料からなる層は隔壁4によって区画され、各画素に対応した画素電極3となる。画素電極3の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。   Next, a layer made of the material of the pixel electrode 3 is formed on the translucent substrate 2, and patterning is performed as necessary. The layer made of the material of the pixel electrode 3 is partitioned by the partition walls 4 and becomes the pixel electrode 3 corresponding to each pixel. Examples of the material of the pixel electrode 3 include metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, and zinc aluminum composite oxide, metal materials such as gold and platinum, these metal oxides, Either a single layer or a laminate of fine particle dispersion films in which fine particles of a metal material are dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used.

画素電極3を陽極とする場合には、ITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は、透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、画素電極の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。画素電極3の膜厚は、有機発光表示装置の素子構成により最適値が異なるが、単層、積層にかかわらず、100Å以上10000Å以下であり、より好ましくは、100Å以上3000Å以下である。   When the pixel electrode 3 is used as an anode, it is preferable to select a material having a high work function such as ITO. In the case of a so-called bottom emission structure in which light is extracted from below, it is necessary to select a light-transmitting material. If necessary, a metal material such as copper or aluminum may be provided as an auxiliary electrode in order to reduce the wiring resistance of the pixel electrode. The film thickness of the pixel electrode 3 varies depending on the element configuration of the organic light emitting display device, but is 100 to 10,000 mm, more preferably 100 to 3000 mm, regardless of single layer or stacked layers.

画素電極3の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。
隔壁4は、各画素電極3上に形成された有機EL素子が互いに混合することを防止するために各画素電極3の端部を覆うように形成されており、隔壁4のパターンは画素電極3を区画する線状であることが望ましい。
As a method for forming the pixel electrode 3, depending on the material, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, a gravure printing method, or a screen printing method is used. A wet film forming method such as a method can be used.
The partition walls 4 are formed so as to cover the end portions of the pixel electrodes 3 in order to prevent the organic EL elements formed on the pixel electrodes 3 from mixing with each other. The pattern of the partition walls 4 is the pixel electrode 3. It is desirable that the shape is a linear shape.

隔壁4を形成する場合の形成方法としては、従来と同様、透光性基体2上に無機膜を一様に形成し、レジストでマスキングした後、ドライエッチングを行う方法や、基体上に感光性樹脂を積層し、フォトリソグラフィ法により所定のパターンとする方法が挙げられる。必要に応じて撥水剤を添加したり、プラズマやUVを照射して形成後にインクに対する撥液性を付与したりすることもできる。   As a method of forming the partition walls 4, as in the conventional method, an inorganic film is uniformly formed on the translucent substrate 2, masked with a resist, and then dry-etched, or photosensitive on the substrate. There is a method of laminating a resin and forming a predetermined pattern by a photolithography method. If necessary, a water repellent can be added, or plasma or UV can be irradiated to impart liquid repellency to the ink after formation.

隔壁4の材料としては、絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁4の形成材料として、SiO、TiO等を用いることもできる。
隔壁4の好ましい高さは0.1μm以上10μm以下であり、より好ましくは0.5μm以上2μm以下である。隔壁4の高さが10μmを超えると対向電極11の形成及び封止を妨げてしまい、0.1μm未満だと画素電極3の端部を覆い切れない、あるいは有機発光媒体層の形成時に隣接する画素とショートしたり、混色したりするためである。
The material of the partition 4 needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The photosensitive material may be a positive type or a negative type, a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cationic polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. In addition, as a material for forming the partition walls 4, SiO 2 , TiO 2 or the like can be used.
The preferable height of the partition wall 4 is 0.1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.5 μm or more and 2 μm or less. If the height of the partition wall 4 exceeds 10 μm, the formation and sealing of the counter electrode 11 is hindered. If it is less than 0.1 μm, the end of the pixel electrode 3 cannot be covered, or it is adjacent when the organic light emitting medium layer is formed. This is because the pixel is short-circuited or mixed in color.

次に、画素電極3、隔壁4が形成された透光性基板2上に、本実施形態の有機機能性薄膜として有機発光媒体層を形成する。本実施形態における有機発光媒体層は、少なくとも画素電極3の上面に形成された正孔注入層5と、正孔注入層5上に積層された正孔輸送層6と、正孔輸送層6上に積層された赤色発光層7と緑色発光層8、そして、赤色発光層7と緑色発光層8と正孔輸送層6上に積層された青色発光層9と、青色発光層9上に積層された電子輸送層10とを積層した構成となっている。   Next, an organic light emitting medium layer is formed as an organic functional thin film of the present embodiment on the translucent substrate 2 on which the pixel electrode 3 and the partition wall 4 are formed. The organic light emitting medium layer in the present embodiment includes at least a hole injection layer 5 formed on the upper surface of the pixel electrode 3, a hole transport layer 6 stacked on the hole injection layer 5, and a hole transport layer 6. A red light-emitting layer 7 and a green light-emitting layer 8 stacked on each other, a blue light-emitting layer 9 stacked on the red light-emitting layer 7, the green light-emitting layer 8 and the hole transport layer 6, and a layer stacked on the blue light-emitting layer 9. The electron transport layer 10 is laminated.

正孔注入層5及び正孔輸送層6は、陽極である画素電極3から注入された正孔を陰極である対向電極11の方向へ進め、正孔を通しながらも電子が画素電極3の方向へ進行することを防止する機能を有している。電界印加時に画素電極3からの正孔の注入を安定化する機能を有する正孔注入層、及び、画素電極3から注入された正孔を電界の力で発光層内に輸送する機能を有する正孔輸送層のいずれか一方を有する場合であってもよく、正孔注入層及び正孔輸送層の両方の機能を有していても良い。正孔注入層5、正孔輸送層6は、1層からなっても良いし、複数層からなっても良い。正孔注入層5及び正孔輸送層6は、有機発光層(赤色発光層7、緑色発光層8、青色発光層9)と画素電極3との間に形成される。   The hole injection layer 5 and the hole transport layer 6 advance the holes injected from the pixel electrode 3 serving as the anode toward the counter electrode 11 serving as the cathode, and electrons pass through the holes while passing the holes. It has a function to prevent progress. A positive hole injection layer having a function of stabilizing the injection of holes from the pixel electrode 3 when an electric field is applied, and a positive function having a function of transporting holes injected from the pixel electrode 3 into the light emitting layer by the force of the electric field. It may be a case having either one of the hole transport layers, and may have both functions of a hole injection layer and a hole transport layer. The hole injection layer 5 and the hole transport layer 6 may be composed of one layer or a plurality of layers. The hole injection layer 5 and the hole transport layer 6 are formed between the organic light emitting layer (red light emitting layer 7, green light emitting layer 8, blue light emitting layer 9) and the pixel electrode 3.

正孔注入層5及び正孔輸送層6に用いられる正孔輸送材料の例としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、CuO,Cr,Mn,FeOx(x〜0.1),NiO,CoO,Pr,AgO,MoO,Bi,ZnO,TiO,SnO,ThO,V,Nb,Ta,MoO,WO,MnOなどの無機材料、その他既存の正孔注入輸送材料の中から選ぶことができる。 Examples of hole transport materials used for the hole injection layer 5 and the hole transport layer 6 include metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, Aromatic amine low molecular hole injection and transport materials such as N, N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, polyaniline, polythiophene , Polyvinyl carbazole, polymeric hole transport materials such as poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrenesulfonic acid, polythiophene oligomer materials , Cu 2 O, Cr 2 O 3, Mn 2 O 3, FeOx (x~0.1), NiO, CoO, Pr 2 O 3, Ag 2 O, MoO 2, Bi 2 O 3, ZnO, TiO 2, It can be selected from inorganic materials such as SnO 2 , ThO 2 , V 2 O 5 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MoO 3 , WO 3 , MnO 2 , and other existing hole injection / transport materials.

また、正孔注入輸送材料を溶解または分散させる溶媒としては、トルエン、キシレン、アニソール、ジメトキシベンゼン、テトラリン、シクロヘキサノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水などのうち、いずれかまたはこれらの混合液が挙げられる。
前記した正孔注入輸送材料の溶解液または分散液には、必要に応じて界面活性剤や酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などを添加してもよく、粘度調整剤としては、例えばポリスチレン、ポリビニルカルバゾールなどを用いることができる。
As a solvent for dissolving or dispersing the hole injection transport material, toluene, xylene, anisole, dimethoxybenzene, tetralin, cyclohexanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, Among butyl acetate, water, etc., any one or a mixture thereof can be mentioned.
A surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber, or the like may be added to the solution or dispersion of the hole injecting and transporting material as necessary. Examples of the viscosity modifier include: Polystyrene, polyvinyl carbazole, or the like can be used.

正孔注入層5及び正孔輸送層6の形成方法としては、正孔注入層5及び正孔輸送層6に用いる材料に応じて、スピンコートやバーコート、ワイヤーコート、スリットコート、スプレーコート、カーテンコート、フローコート、凸版印刷、凸版反転オフセット印刷、インクジェット法、ノズルプリント法などの湿式法や、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの蒸着法を用いることができる。   As a method for forming the hole injection layer 5 and the hole transport layer 6, depending on the materials used for the hole injection layer 5 and the hole transport layer 6, spin coating, bar coating, wire coating, slit coating, spray coating, Wet methods such as curtain coating, flow coating, letterpress printing, letterpress reverse printing, ink jet method, nozzle printing method, resistance heating evaporation method, electron beam evaporation method, reactive evaporation method, ion plating method, sputtering method, etc. An evaporation method can be used.

また、正孔注入層5及び正孔輸送層6上にはインターレイヤ層を形成しても良い。インターレイヤ層に用いる材料として、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリアリーレン誘導体、アリールアミン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体などの、芳香族アミンを含むポリマーなどが挙げられる。これらの材料は溶媒に溶解または分散させ、スピンコートやバーコート、ワイヤーコート、スリットコート、スプレーコート、カーテンコート、フローコート、凸版印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、インクジェット法、ノズルプリント法などの湿式法を用いて形成することができる。   An interlayer layer may be formed on the hole injection layer 5 and the hole transport layer 6. Examples of materials used for the interlayer layer include polymers containing aromatic amines such as polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polyarylene derivatives having aromatic amines in the side chain or main chain, arylamine derivatives, and triphenyldiamine derivatives. . These materials are dissolved or dispersed in a solvent, such as spin coating, bar coating, wire coating, slit coating, spray coating, curtain coating, flow coating, letterpress printing, gravure printing, reverse offset printing, inkjet printing, nozzle printing printing, etc. It can be formed using a wet method.

赤色発光層7、緑色発光層8、青色発光層9の材料は電圧を印加することによって赤色、緑色、青色に発光する有機発光層の機能性材料である。赤色発光層7及び緑色発光層8は、溶解または分散した有機発光インク(インク)を正孔輸送層6上にスピンコートやバーコート、ワイヤーコート、スリットコート、スプレーコート、カーテンコート、フローコート、凸版印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、インクジェット法、ノズルプリント法などの湿式法を用いて付着させ、その後乾燥させることで形成されている。青色発光層9の形成方法としては、用いる材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの真空蒸着法を用いることができる。なお、有機発光層の膜厚は、0.01μm以上0.1μm以下の範囲であればよい。前記膜厚の範囲外となった場合、発光効率が低下する傾向にある。   The materials of the red light emitting layer 7, the green light emitting layer 8, and the blue light emitting layer 9 are functional materials of an organic light emitting layer that emits red, green, and blue light when a voltage is applied. The red light emitting layer 7 and the green light emitting layer 8 are prepared by spin-coating, bar coating, wire coating, slit coating, spray coating, curtain coating, flow coating, organic light emitting ink (ink) dissolved or dispersed on the hole transport layer 6, It is formed by attaching using a wet method such as letterpress printing, gravure printing, reverse offset printing, ink jet method, nozzle printing method, and then drying. As a method for forming the blue light emitting layer 9, a vacuum vapor deposition method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, or the like can be used. In addition, the film thickness of an organic light emitting layer should just be the range of 0.01 micrometer or more and 0.1 micrometer or less. When the thickness is out of the range, the luminous efficiency tends to decrease.

有機発光層を形成する有機発光材料は、例えばクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系などの発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。   Organic light emitting materials for forming the organic light emitting layer are, for example, coumarin, perylene, pyran, anthrone, porphyrene, quinacridone, N, N′-dialkyl substituted quinacridone, naphthalimide, N, N′-diaryl. Light-emitting pigments such as substituted pyrrolopyrrole and iridium complex systems dispersed in polymers such as polystyrene, polymethylmethacrylate, and polyvinylcarbazole, and polyarylene, polyarylene vinylene, and polyfluorene polymer materials However, the present invention is not limited to these.

これらの有機発光材料は溶媒に溶解または安定に分散させ有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどの単独またはこれらの混合溶媒が上げられる。中でもトルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶媒が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。   These organic light emitting materials are dissolved or stably dispersed in a solvent to form an organic light emitting ink. Examples of the solvent for dissolving or dispersing the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, anisole, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, or a mixed solvent thereof. Among them, aromatic organic solvents such as toluene, xylene, and anisole are preferable from the viewpoint of the solubility of the organic light emitting material. Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

上述した高分子材料に加え、有機発光層を形成する有機発光材料は、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料も使用できる。   In addition to the above-described polymer materials, organic light-emitting materials for forming the organic light-emitting layer are 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8 -Quinolate) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolate) aluminum complex, bis (8-quinolate) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolate) aluminum complex, tris (4 -Methyl-5-cyano-8-quinolato) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl- 5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate Aluminum complex, tris (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-di Low molecular weight light emitting materials such as heptyloxy-para-phenylene vinylene can also be used.

電子輸送層10に用いられる電子輸送材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物、等を用いることができる。また、これらの電子輸送材料に、ナトリウムやバリウム、リチウムといった仕事関数が低いアルカリ金属、アルカリ土類金属を少量ドープすることにより、電子注入層としてもよい。
電子輸送層10の形成方法としては、用いる材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの真空蒸着法を用いることができる。
Examples of the electron transport material used for the electron transport layer 10 include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1- Naphthyl) -1,3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used. Alternatively, these electron transport materials may be used as an electron injection layer by doping a small amount of alkali metal or alkaline earth metal having a low work function such as sodium, barium, or lithium.
As a method for forming the electron transport layer 10, a vacuum evaporation method such as a resistance heating evaporation method, an electron beam evaporation method, a reactive evaporation method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material to be used.

次に、対向電極11を形成する。対向電極11を陰極とする場合には有機発光媒体層への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的には、Mg,Al,Yb等の金属単体を用いてもよく、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または、電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。
対向電極11の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。対向電極11の厚さに特に制限はないが、10nm以上1000nm以下が望ましい。
Next, the counter electrode 11 is formed. When the counter electrode 11 is a cathode, a substance having a high electron injection efficiency into the organic light emitting medium layer and a low work function is used. Specifically, simple metals such as Mg, Al, and Yb may be used, and a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface contacting the light emitting medium, and Al or Cu may be laminated and used. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, An alloy system with a metal element such as Al or Cu may be used.
As a method for forming the counter electrode 11, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material. Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the counter electrode 11, 10 nm or more and 1000 nm or less are desirable.

次に、対向電極11と封止材との間に、例えば対向電極11上にパッシベーション層を形成してもよい。パッシベーション層の材料としては、酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化炭素などの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、炭化ケイ素などの金属炭化物、必要に応じて、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜との積層膜を用いてもよい。特に、バリア性と透明性の面から、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、酸窒化ケイ素(SiOxNy)を用いることが好ましく、さらには、成膜条件により、膜密度を可変した積層膜や勾配膜を使用してもよい。   Next, for example, a passivation layer may be formed on the counter electrode 11 between the counter electrode 11 and the sealing material. Examples of the material for the passivation layer include metal oxides such as silicon oxide and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride, aluminum nitride and carbon nitride, and silicon oxynitride. A laminated film of a metal carbide such as metal oxynitride or silicon carbide, and a polymer resin film such as an acrylic resin, an epoxy resin, a silicone resin, or a polyester resin may be used as necessary. In particular, from the viewpoint of barrier properties and transparency, it is preferable to use silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or silicon oxynitride (SiOxNy). Furthermore, a laminated film in which the film density is variable depending on the film forming conditions. Alternatively, a gradient membrane may be used.

パッシベーション層の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、CVD法を用いることができるが、特に、バリア性や透光性の面でCVD法を用いることが好ましい。CVD法としては、熱CVD法、プラズマCVD法、触媒CVD法、VUV−CVD法などを用いることができる。   As a method for forming the passivation layer, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, or a CVD method can be used depending on the material. It is preferable to use a CVD method in terms of translucency. As the CVD method, a thermal CVD method, a plasma CVD method, a catalytic CVD method, a VUV-CVD method, or the like can be used.

また、CVD法における反応ガスとしては、モノシランや、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)やテトラエトキシシランなどの有機シリコーン化合物に、N、O、NH、H、NOなどのガスを必要に応じて添加してもよく、例えば、シランの流量を変えることにより膜の密度を変化させてもよく、使用する反応性ガスにより膜中に水素や炭素が含有させることもできる。パッシベーション層の膜厚としては、有機EL素子の電極段差や基板の隔壁高さ、要求されるバリア特性などにより異なるが、0.01μm以上10μm以下程度が一般的に用いられている。 In addition, as a reaction gas in the CVD method, a gas such as N 2 , O 2 , NH 3 , H 2 , or N 2 O is added to an organic silicone compound such as monosilane, hexamethyldisilazane (HMDS), or tetraethoxysilane. It may be added as necessary. For example, the density of the film may be changed by changing the flow rate of silane, and hydrogen or carbon may be contained in the film by the reactive gas used. The thickness of the passivation layer varies depending on the electrode step of the organic EL element, the height of the partition wall of the substrate, the required barrier characteristics, and the like, but generally about 0.01 μm to 10 μm is generally used.

有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため、有機発光媒体層を外部と遮断するための封止材を設ける。封止材は、例えば封止基板13と樹脂層12とを設けて作成することができる。封止基板13としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m2/day以下であることが好ましい。 Since the organic light emitting material is easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere, a sealing material for blocking the organic light emitting medium layer from the outside is provided. For example, the sealing material can be formed by providing the sealing substrate 13 and the resin layer 12. The sealing substrate 13 needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, metal foil such as quartz, aluminum, and stainless steel, and moisture-resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiO x on both sides of a plastic substrate, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor permeability of the film is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.

樹脂層12の材料の一例として、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。   Examples of the material of the resin layer 12 include a photo-curing adhesive resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin, and an ethylene ethyl acrylate (EEA) made of an epoxy resin, an acrylic resin, a silicone resin, or the like. ) Acrylic resins such as polymers, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. .

樹脂層12の形成方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層12の厚みは、封止する有機発光媒体層の大きさや形状により任意に決定されるが、5μm以上500μm以下が望ましい。   Examples of the method for forming the resin layer 12 include a solvent solution method, an extrusion lamination method, a melting / hot melt method, a calendar method, a nozzle coating method, a screen printing method, a vacuum laminating method, and a hot roll laminating method. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. The thickness of the resin layer 12 formed on the sealing material is arbitrarily determined depending on the size and shape of the organic light emitting medium layer to be sealed, but is preferably 5 μm or more and 500 μm or less.

有機発光媒体層と封止基板13との貼り合わせは封止室で行う。封止材を、封止基板13と樹脂層12の2層構造とし、樹脂層12に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。樹脂層12に熱硬化型接着樹脂や光硬化性接着性樹脂を使用した場合は、ロール圧着や平板圧着した状態で、光もしくは加熱硬化を行うことが好ましい。   The organic light emitting medium layer and the sealing substrate 13 are bonded together in a sealing chamber. When the sealing material has a two-layer structure of the sealing substrate 13 and the resin layer 12 and a thermoplastic resin is used for the resin layer 12, it is preferable to perform only the pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin or a photocurable adhesive resin is used for the resin layer 12, it is preferable to perform light or heat curing in a state of roll pressing or flat plate pressing.

次に、以上のような構成の有機発光表示装置1を凸版印刷法と真空蒸着法によって製造する方法の概略を説明する。なお、本発明はこれに限るものではなく、上述の通り、凸版印刷法に変えてノズルプリント法等を用いることが出来る。
まず、TFTが形成された透光性基板2上に、TFTと接続するように画素電極3を形成する。これは、透光性基板2上の全面にスパッタリング法を用いてITO膜を形成し、さらにフォトリソグラフィ技術による露光、現像を行って、画素電極3として残存させる要部をフォトレジストで被覆すると共に、不要部を酸溶液でエッチングしてITO膜を除去する。このようにして、所定の間隔をあけて配置された複数の画素電極3が形成される。
Next, an outline of a method for manufacturing the organic light emitting display device 1 having the above-described configuration by a relief printing method and a vacuum deposition method will be described. The present invention is not limited to this, and as described above, a nozzle printing method or the like can be used instead of the relief printing method.
First, the pixel electrode 3 is formed on the translucent substrate 2 on which the TFT is formed so as to be connected to the TFT. This is because an ITO film is formed on the entire surface of the translucent substrate 2 using a sputtering method, and further, exposure and development are performed by a photolithography technique, and a main part remaining as the pixel electrode 3 is covered with a photoresist. Then, unnecessary portions are etched with an acid solution to remove the ITO film. In this way, a plurality of pixel electrodes 3 arranged at predetermined intervals are formed.

次に、各画素電極3の間に隔壁4を形成する。これは、透光性基板2及び画素電極3上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術による露光、現像を行って、各画素電極3の間にフォトレジストを残存させる。その後、ベーキングを行うことでフォトレジストを硬化させる。
そして、図2に示すような凸版印刷装置30を用いて、正孔注入性材料のインキを画素電極3上に凸版印刷法によって塗布し、正孔注入層5を形成する。この凸版印刷装置30は、インクタンク33と、インキチャンバ34と、アニロックスロール35と、ドクタ30と、凸部が設けられた凸版37がマウントされた版胴38とを有している。インクタンク33には、有機材料インキが収容されており、インキチャンバ34にはインクタンク33より有機材料インキが送り込まれるようになっている。アニロックスロール35はインキチャンバ34のインキ供給部に接して回転可能に支持されている。
Next, the partition walls 4 are formed between the pixel electrodes 3. In this method, a photoresist is applied on the translucent substrate 2 and the pixel electrode 3, and exposure and development are performed by a photolithography technique so that the photoresist remains between the pixel electrodes 3. Thereafter, the photoresist is cured by baking.
Then, using a relief printing apparatus 30 as shown in FIG. 2, ink of a hole injection material is applied onto the pixel electrode 3 by a relief printing method to form the hole injection layer 5. The relief printing apparatus 30 includes an ink tank 33, an ink chamber 34, an anilox roll 35, a doctor 30, and a plate cylinder 38 on which a relief plate 37 provided with projections is mounted. The ink tank 33 contains organic material ink, and the organic material ink is fed into the ink chamber 34 from the ink tank 33. The anilox roll 35 is rotatably supported in contact with the ink supply part of the ink chamber 34.

アニロックスロール35の回転に伴い、アニロックスロール35の表面に供給された有機材料インキのインキ層39は均一な膜厚に形成される。このインキ層39のインキはアニロックスロール35に近接して回転駆動される版胴38にマウントされた凸版37の凸部に転移する。ステージ31には、被印刷基板32が設置され、凸版37の凸部にあるインキが被印刷基板32に対して印刷され、必要に応じて乾燥工程を経て被印刷基板32上に有機層が形成される。   As the anilox roll 35 rotates, the ink layer 39 of the organic material ink supplied to the surface of the anilox roll 35 is formed with a uniform film thickness. The ink in the ink layer 39 is transferred to the convex portion of the relief plate 37 mounted on the plate cylinder 38 that is driven to rotate in the vicinity of the anilox roll 35. A printing substrate 32 is installed on the stage 31, and the ink on the projections of the relief plate 37 is printed on the printing substrate 32, and an organic layer is formed on the printing substrate 32 through a drying process as necessary. Is done.

次に、正孔輸送層6を形成した後、同様に凸版印刷法により有機発光層(赤色発光層7、緑色発光層8)を正孔輸送層6上に形成する。
次に、凸版印刷法により有機発光層まで形成した後、青色発光層9を発光領域となる赤色発光層7、緑色発光層8、正孔輸送層6上及び非発光領域となる隔壁4上を含む全面に抵抗加熱蒸着法などの真空蒸着法によって形成する。
Next, after the hole transport layer 6 is formed, organic light emitting layers (red light emitting layer 7 and green light emitting layer 8) are similarly formed on the hole transport layer 6 by letterpress printing.
Next, the organic light emitting layer is formed by letterpress printing, and then the blue light emitting layer 9 is formed on the red light emitting layer 7 serving as the light emitting region, the green light emitting layer 8, the hole transporting layer 6, and the partition wall 4 serving as the non-light emitting region. It is formed on the entire surface by vacuum deposition such as resistance heating deposition.

青色発光層9を真空蒸着法によって形成する場合、青色発光層9は電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有し、青色発光層9中における正孔輸送性ドーパント材料の濃度が対向電極11側から画素電極側3に向かって漸減するように、電子輸送性ホスト材料と正孔輸送性ドーパントの共蒸着比率を蒸着進行と共に蒸着速度を調整する。
続いて、電子輸送層10及び対向電極11を、青色発光層9上に抵抗加熱蒸着法などの蒸着法によって蒸着して形成する。最後に、これら画素電極3、有機発光媒体層及び対向電極11を空気中の酸素や水分から保護するために樹脂層12を充填し、封止基板13で被覆し、封止して有機発光表示装置1を製造する。
When the blue light emitting layer 9 is formed by vacuum deposition, the blue light emitting layer 9 contains an electron transporting host material and a hole transporting dopant material, and the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer 9 is opposite. The deposition rate is adjusted as the deposition progresses so that the co-deposition ratio of the electron transporting host material and the hole transporting dopant is gradually decreased from the electrode 11 side toward the pixel electrode side 3.
Subsequently, the electron transport layer 10 and the counter electrode 11 are formed by vapor deposition on the blue light emitting layer 9 by vapor deposition such as resistance heating vapor deposition. Finally, the pixel electrode 3, the organic light emitting medium layer, and the counter electrode 11 are filled with a resin layer 12 in order to protect them from oxygen and moisture in the air, covered with a sealing substrate 13, and sealed for organic light emitting display. The apparatus 1 is manufactured.

以上のように構成された有機発光表示装置1及びその製造方法によれば、青色発光層9中の正孔輸送性ドーパント材料の濃度が対向電極11側から画素電極3側に向かって漸減していることで、赤色発光層7及び緑色発光層8から青色発光層9へのキャリア移動が抑制され、結果として青色発光層9の発光が抑制され、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子における青色発光層9からの影響による色純度低下を抑制することできる。   According to the organic light emitting display device 1 and the manufacturing method thereof configured as described above, the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer 9 gradually decreases from the counter electrode 11 side toward the pixel electrode 3 side. Therefore, carrier movement from the red light emitting layer 7 and the green light emitting layer 8 to the blue light emitting layer 9 is suppressed, and as a result, light emission of the blue light emitting layer 9 is suppressed, and blue light emission in the red organic EL element and the green organic EL element is achieved. A decrease in color purity due to the influence from the layer 9 can be suppressed.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、正孔ブロック層や電子注入層、電子ブロック層を形成してもよい。ここで、電子ブロック層は、正孔輸送層6と同様に、陽極である画素電極3から正孔を陰極である対向電極11の方向へ進めて正孔を通しながらも、電子が画素電極3の方向へ進行することを防止する機能を有している。また、正孔ブロック層や電子輸送層、電子注入層は、陰極である対向電極11から電子を陽極である画素電極3の方向へ進めて電子を通しながらも、正孔が対向電極11の方向へ進行することを防止する機能を有している。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change can be added in the range which does not deviate from the meaning of this invention. For example, a hole blocking layer, an electron injection layer, or an electron blocking layer may be formed. Here, in the same manner as the hole transport layer 6, the electron blocking layer advances holes from the pixel electrode 3 serving as the anode toward the counter electrode 11 serving as the cathode and passes the holes, but electrons are passed through the pixel electrode 3. It has the function to prevent progressing in the direction. In addition, the hole blocking layer, the electron transport layer, and the electron injecting layer allow electrons to pass from the counter electrode 11 that is the cathode toward the pixel electrode 3 that is the anode and pass the electrons. It has a function to prevent progress.

また、フッ化リチウムやフッ化ナトリウムなどの薄膜を対向電極11と有機発光媒体層との間に設けてもよい。対向電極11をパターニングするには、金属膜、セラミック膜の蒸着マスクなどを用いることができる。さらに、隔壁4が各画素電極3間に形成されているが、隔壁4を設けない構成としてもよい。   Further, a thin film such as lithium fluoride or sodium fluoride may be provided between the counter electrode 11 and the organic light emitting medium layer. To pattern the counter electrode 11, a metal film, a ceramic film deposition mask, or the like can be used. Furthermore, although the partition 4 is formed between the pixel electrodes 3, the partition 4 may not be provided.

以下、実施例及び比較例を示して本発明を詳細に説明する。ただし、本発明は以下の記載によっては限定されない。
[素子作成]
図1に示すように、透光性基板2(白板ガラス;縦100mm×横100mm×厚さ0.7mm)上にスパッタリング法により幅80μm、厚さ0.15μmの短冊状の画素電極3を80μm間隔で形成した。ここで、画素電極3の表面粗さRaは、面積200μm2の任意の面内において20nmとなった。また、隔壁4は、透光性基板2と接触する下端の幅が90μm、上端の幅が45μm、高さが2μmであり、断面はほぼ台形状となっている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples. However, the present invention is not limited by the following description.
[Element creation]
As shown in FIG. 1, a strip-like pixel electrode 3 having a width of 80 μm and a thickness of 0.15 μm is formed on a light-transmitting substrate 2 (white plate glass: length 100 mm × width 100 mm × thickness 0.7 mm) by a sputtering method to 80 μm. Formed at intervals. Here, the surface roughness Ra of the pixel electrode 3 was 20 nm in an arbitrary plane having an area of 200 μm 2 . The partition 4 has a lower end width of 90 μm, an upper end width of 45 μm, and a height of 2 μm in contact with the translucent substrate 2, and has a substantially trapezoidal cross section.

ここで、隔壁4は、ポジ型感光性ポリイミドをスピンコートし、スピンコートの条件として、透光性基板2を110rpmで5秒間回転させた後に、400rpmで20秒間回転させた。隔壁4上のみ隠されたフォトマスクを準備し、フォトリソグラフィ法を用いて基板の全面に塗布された感光性材料の隔壁4部以外をi線ステッパーにより180mJ/cm露光した。露光した後現像を行い、オーブンを用いて、200℃60分の条件で焼成し、隔壁4を形成した。また、正孔注入層5は、正孔注入材料として、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物を用いて凸版印刷法で隔壁4内に塗布し、これを200℃30分間乾燥させることによって形成した。また正孔輸送層6は、正孔輸送材料としてポリアリーレン誘導体を用い、これをキシレンに溶解させて濃度を3.0重量%としたインクを凸版印刷法で隔壁4内に塗布し、これを200℃10分間乾燥させることによって形成した。 Here, the partition 4 was spin-coated with positive photosensitive polyimide, and as a condition for spin coating, the light-transmitting substrate 2 was rotated at 110 rpm for 5 seconds and then rotated at 400 rpm for 20 seconds. A photomask hidden only on the partition wall 4 was prepared, and a portion other than the partition wall 4 of the photosensitive material applied to the entire surface of the substrate by photolithography was exposed to 180 mJ / cm 2 by an i-line stepper. After the exposure, development was performed, and baking was performed at 200 ° C. for 60 minutes using an oven to form partition walls 4. Further, the hole injection layer 5 is applied to the partition wall 4 by a relief printing method using a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid as a hole injection material. It was formed by drying at 30 ° C. for 30 minutes. In addition, the hole transport layer 6 uses a polyarylene derivative as a hole transport material, dissolves this in xylene, and applies an ink having a concentration of 3.0 wt% to the partition wall 4 by a relief printing method. It was formed by drying at 200 ° C. for 10 minutes.

赤色発光層7のホスト材料には2,2′,2″-(1,3,5-ベンゼントリイル)トリス(1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール)(TPBi)、ドープ材料には2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチルー21H,23H−ポリフィリンプラチナ2(PtOEP)を用いて重量比率をTPBi/PtOEP=0.90/0.10にて濃度1%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、凸版印刷法で隔壁内に塗布した。これを100℃10分間乾燥させることによって形成した。乾燥後の赤色発光層7の膜厚は画素中心部で50nmとなった。   2,2 ′, 2 ″-(1,3,5-benzenetriyl) tris (1-phenyl-1H-benzimidazole) (TPBi) is used as the host material of the red light emitting layer 7, and 2,3 ′ is used as the doped material. , 7,8,12,13,17,18-octaethyl-21H, 23H-Polyphyrin Platinum 2 (PtOEP) so that the weight ratio is 1% at TPBi / PtOEP = 0.90 / 0.10. The organic light emitting ink dissolved in toluene was applied to the partition walls by letterpress printing and formed by drying for 10 minutes at 100 ° C. The thickness of the red light emitting layer 7 after drying was 50 nm at the center of the pixel. It became.

緑色発光層8のホスト材料にはTPBi、ドープ材料にはトリス(2−(p−トリル)ピリジン)イリジウムIII(Ir(mppy)3)を用いて重量比率をTPBi/Ir(mppy)3=0.94/0.06にて濃度1%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、凸版印刷法で隔壁4内に塗布した。これを100℃10分間乾燥させることによって形成した。乾燥後の緑色発光層8の膜厚は画素中心部で50nmとなった。   The host material of the green light emitting layer 8 is TPBi, and the doping material is tris (2- (p-tolyl) pyridine) iridium III (Ir (mppy) 3), and the weight ratio is TPBi / Ir (mppy) 3 = 0. The organic light-emitting ink dissolved in toluene so as to have a concentration of 1% at 0.94 / 0.06 was applied to the partition walls 4 by a relief printing method. This was formed by drying at 100 ° C. for 10 minutes. The film thickness of the green light emitting layer 8 after drying was 50 nm at the center of the pixel.

青色発光層9として、赤色発光層7、緑色発光層8、正孔輸送層6上に、真空蒸着法により、9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(以下「DNA」という。)と2,5,8,11−テトラ−t−ブチルペリレン(以下「TBP」という。)を共蒸着した膜を形成した。DNAとTBPの共蒸着比は蒸着進行と共に変化させた。蒸着初期の画素電極3側では、TBPの混合比が1質量%、蒸着終了段階の対向電極11側では、TBPの混合比が20質量%となるように蒸着速度を調整した。これらの領域の間では連続的に混合比率を変化させ、厚さ30nmを形成した。
さらに、青色発光層9上に、真空蒸着法により、電子輸送層10としてAlqを成膜速度0.01nm/secとして、厚さ20nmを形成した。その後、対向電極11として、LiF/Al=0.5nm/150nmを蒸着により形成した。その後、封止基板13を接着し、有機発光表示装置1を得た。
As the blue light-emitting layer 9, 9,10-di- (2-naphthyl) anthracene (hereinafter referred to as "DNA") is formed on the red light-emitting layer 7, the green light-emitting layer 8, and the hole transport layer 6 by a vacuum deposition method. A film co-deposited with 2,5,8,11-tetra-t-butylperylene (hereinafter referred to as “TBP”) was formed. The co-deposition ratio of DNA and TBP was changed as the deposition progressed. The deposition rate was adjusted so that the mixing ratio of TBP was 1% by mass on the pixel electrode 3 side in the initial stage of vapor deposition, and the mixing ratio of TBP was 20% by mass on the counter electrode 11 side in the stage of vapor deposition. The mixing ratio was continuously changed between these regions to form a thickness of 30 nm.
Further, a thickness of 20 nm was formed on the blue light emitting layer 9 by a vacuum deposition method using Alq 3 as the electron transport layer 10 at a film formation rate of 0.01 nm / sec. Thereafter, LiF / Al = 0.5 nm / 150 nm was formed as the counter electrode 11 by vapor deposition. Thereafter, the sealing substrate 13 was bonded to obtain the organic light emitting display device 1.

このように得られた有機発光表示装置1の表示部の周辺部においては、画素電極毎に接続されている陽極側の取り出し電極と、陰極層に接続されている陰極側の取り出し電極とが設けられている。これら取り出し電極を電源に接続し、有機発光表示装置1を点灯かつ表示させ、点灯状態及び表示状態を確認した。
得られた有機発光表示装置1を駆動し、表示確認を行ったところ、発光状態は良好であった。また、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子における青色発光層9からの影響による色純度低下は抑制され、表示特性は良好であった。
In the peripheral portion of the display unit of the organic light emitting display device 1 thus obtained, an anode-side extraction electrode connected to each pixel electrode and a cathode-side extraction electrode connected to the cathode layer are provided. It has been. These extraction electrodes were connected to a power source, the organic light emitting display device 1 was turned on and displayed, and the lighting state and the display state were confirmed.
When the obtained organic light emitting display device 1 was driven and the display was confirmed, the light emission state was good. Moreover, the color purity fall by the influence from the blue light emitting layer 9 in a red organic EL element and a green organic EL element was suppressed, and the display characteristic was favorable.

[比較例]
まず、前記実施例と同一の方法で、赤色発光層、緑色発光層まで形成し、青色発光層をDNAとTBPの共蒸着比を変化させずに、TBPの混合比が20質量%一定となるように形成し、電子輸送層からは前記実施例と同一の方法で形成し、有機発光表示装置を得た。
このように得られた有機発光表示装置を駆動したところ、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子において、青色発光層からの影響による色純度低下が見られた。そのため、有機発光表示装置としての表示特性は低下した。
[Comparative example]
First, a red light emitting layer and a green light emitting layer are formed by the same method as in the above example, and the mixing ratio of TBP is constant at 20% by mass without changing the co-evaporation ratio of DNA and TBP in the blue light emitting layer. The organic light emitting display device was obtained from the electron transport layer by the same method as in the above example.
When the organic light emitting display device thus obtained was driven, a decrease in color purity due to the influence from the blue light emitting layer was observed in the red organic EL element and the green organic EL element. Therefore, the display characteristics as an organic light emitting display device have been degraded.

比較例の評価結果から、青色発光層にてDNAとTBPの共蒸着比を、TBPの濃度が対向電極側から画素電極側に向かって漸減していなかったことで、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子での青色発光層の発光が抑制されず、色純度低下した。これに対して、実施例においては、TBPの濃度が対向電極11側から画素電極3側に向かって漸減していたため、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子で、色純度が良く、表示特性の良い有機発光表示装置1が得られた。   From the evaluation result of the comparative example, the co-evaporation ratio of DNA and TBP in the blue light emitting layer was not reduced gradually from the counter electrode side to the pixel electrode side. The light emission of the blue light emitting layer in the EL element was not suppressed, and the color purity was lowered. On the other hand, in the embodiment, since the TBP concentration gradually decreased from the counter electrode 11 side toward the pixel electrode 3 side, the red organic EL element and the green organic EL element have good color purity and display characteristics. A good organic light emitting display device 1 was obtained.

本発明は、湿式法によって成膜された赤色発光層及び緑色発光層上に、蒸着法によって青色発光層が積層された有機発光表示装置において、赤色有機EL素子及び緑色有機EL素子における青色発光層からの影響による色純度低下を抑制させることにおいて、有用である。   The present invention relates to an organic light emitting display device in which a blue light emitting layer is laminated by a vapor deposition method on a red light emitting layer and a green light emitting layer formed by a wet method, and a blue light emitting layer in a red organic EL element and a green organic EL element. This is useful in suppressing a decrease in color purity due to the influence of the above.

1…有機発光表示装置
2…透光性基板
3…画素電極
4…隔壁
5…正孔注入層
6…正孔輸送層
7…赤色発光層
8…緑色発光層
9…青色発光層
10…電子輸送層
11…対向電極
12…樹脂層
13…封止基板
30…凸版印刷装置
31…ステージ
32…被印刷基板
33…インキタンク
34…インキチャンバ
35…アニロックスロール
36…ドクタ
37…凸版
38…版胴
39…インキ層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Organic light-emitting display device 2 ... Translucent substrate 3 ... Pixel electrode 4 ... Partition wall 5 ... Hole injection layer 6 ... Hole transport layer 7 ... Red light emitting layer 8 ... Green light emitting layer 9 ... Blue light emitting layer 10 ... Electron transport Layer 11 ... Counter electrode 12 ... Resin layer 13 ... Sealing substrate 30 ... Letterpress printing device 31 ... Stage 32 ... Printed substrate 33 ... Ink tank 34 ... Ink chamber 35 ... Anilox roll 36 ... Doctor 37 ... Letterpress 38 ... Plate cylinder 39 ... Ink layer

Claims (6)

基板上に、
赤色有機EL素子と緑色有機EL素子と青色有機EL素子の各々ごとに設けられた画素電極と、
前記画素電極上に形成された正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する正孔注入・輸送層と、
前記正孔注入・輸送層上に形成された赤色発光層と緑色発光層と、
前記赤色発光層と緑色発光層と前記正孔注入・輸送層の全面に形成された青色発光層と、
前記青色発光層の全面に順に形成された電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層および対向電極とが少なくとも形成され、
前記青色発光層が少なくとも電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有し、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が前記対向電極側から前記画素電極側に向かって漸減している
ことを特徴とする有機発光表示装置。
On the board
A pixel electrode provided for each of the red organic EL element, the green organic EL element, and the blue organic EL element;
A hole injection / transport layer having at least one of the characteristics of hole injection or hole transport formed on the pixel electrode;
A red light emitting layer and a green light emitting layer formed on the hole injection / transport layer;
A blue light emitting layer formed on the entire surface of the red light emitting layer, the green light emitting layer, and the hole injection / transport layer;
At least an electron injection / transport layer having at least one characteristic of electron injection or electron transport and a counter electrode, which are sequentially formed on the entire surface of the blue light emitting layer, are formed,
The blue light-emitting layer contains at least an electron-transporting host material and a hole-transporting dopant material, and the concentration of the hole-transporting dopant material in the blue light-emitting layer is from the counter electrode side toward the pixel electrode side. An organic light-emitting display device that is gradually reduced.
前記青色発光層の前記画素電極側界面付近の領域における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記青色発光層の前記対向電極側界面付近の領域における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度に対して、0質量%以上50質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の有機発光表示装置。   The concentration of the hole transporting dopant material in the region near the pixel electrode side interface of the blue light emitting layer is greater than the concentration of the hole transporting dopant material in the region near the counter electrode side interface of the blue light emitting layer. The organic light emitting display device according to claim 1, wherein the organic light emitting display device is 0% by mass or more and 50% by mass or less. 前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記画素電極側界面付近の領域で3質量%以下であることを特徴とする請求項2に記載の有機発光表示装置。   3. The organic light emitting display device according to claim 2, wherein a concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is 3 mass% or less in a region near the interface on the pixel electrode side. 前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度が、前記対向電極側界面付近の領域で5質量%以上であることを特徴とする請求項3に記載の有機発光表示装置。   4. The organic light emitting display device according to claim 3, wherein a concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is 5% by mass or more in a region near the counter electrode side interface. 請求項1乃至4のいずれかに記載の有機発光表示装置を製造する方法であって、
基板上に、赤色有機EL素子と緑色有機EL素子と青色有機EL素子の各々ごとに設けられた画素電極を形成する工程と、
前記画素電極上に、正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する正孔注入・輸送層を湿式法により形成する工程と、
前記正孔注入・輸送層上に、赤色発光層と緑色発光層を湿式法により形成する工程と、
前記赤色発光層と緑色発光層と前記正孔注入・輸送層の全面に、青色発光層を蒸着法により形成する工程と、
前記青色発光層の全面に順に、電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層および対向電極を形成する工程とを少なくとも有し、
前記青色発光層に少なくとも電子輸送性ホスト材料及び正孔輸送性ドーパント材料を含有させ、前記青色発光層中における前記正孔輸送性ドーパント材料の濃度を対向電極側から画素電極側に向かって漸減させる
ことを特徴とする有機発光表示装置の製造方法。
A method for manufacturing the organic light emitting display device according to claim 1,
Forming a pixel electrode provided for each of the red organic EL element, the green organic EL element, and the blue organic EL element on the substrate;
Forming a hole injection / transport layer having at least one of hole injection and hole transport on the pixel electrode by a wet method;
Forming a red light emitting layer and a green light emitting layer on the hole injection / transport layer by a wet method;
Forming a blue light emitting layer on the entire surface of the red light emitting layer, the green light emitting layer and the hole injection / transport layer by vapor deposition;
And at least a step of forming an electron injection / transport layer having at least one of electron injection or electron transport and a counter electrode over the entire surface of the blue light emitting layer,
The blue light emitting layer contains at least an electron transporting host material and a hole transporting dopant material, and the concentration of the hole transporting dopant material in the blue light emitting layer is gradually decreased from the counter electrode side to the pixel electrode side. A method for manufacturing an organic light emitting display device.
前記湿式法として、インクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷、グラビア印刷または反転オフセット印刷を用いることを特徴とする請求項5に記載の有機発光表示装置の製造方法。   6. The method of manufacturing an organic light emitting display device according to claim 5, wherein an ink jet method, a nozzle printing method, letterpress printing, gravure printing, or reverse offset printing is used as the wet method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112514537A (en) * 2018-08-03 2021-03-16 夏普株式会社 Electroluminescent element and display device

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