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JP2013215813A5 - - Google Patents

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JP2013215813A5
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右静圧パッド２によるワークＷの吸着後に、左静圧パッド１を後退位置Ｘ２へと後退させる前に、図１５に示すように左静圧パッド１から静圧水を供給して左静圧パッド１とワークＷとの間の表面張力をなくす。即ち、ワークＷと左静圧パッド１との隙間は、実際には０．１ｍｍ程度であるため、右静圧パッド２がワークＷを吸着しても、ワークＷと左静圧パッド１との間の表面張力はなくならない。
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