JP2013004713A - 部品実装装置及び部品実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】設定した電極部角度仮設定値φ１等に基づいて、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度を電極部角度仮設定値φ１に一致させるとした場合に、減速機６９内に存在するバックラッシに起因する駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じないようにするために駆動軸６８ａを順方向とは反対の逆方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う。そして、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度φの検出と並行してアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度φの検出を行った後に駆動軸６８ａを順方向に回転させて吸着ツール６３ａを目標回転位置に位置決めする。
【選択図】図１２

Description

本発明は、吸着ツールにより部品を吸着して基板の電極部に装着する部品実装装置及び部品実装方法に関するものである。

パネル状の基板の周辺部位に設けられた複数の電極部のそれぞれに駆動回路等の部品（電子部品）を装着する液晶パネル製造システムでは、ＡＣＦ装着装置によって各電極部に貼着されたＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）テープの切片に部品を仮圧着する部品実装装置としての仮圧着装置を備えている。

仮圧着装置は、電極部を有した基板を保持する基板保持部、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツール、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に一の方向（第１の方向とする）に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第１の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータを備えている。そして、撮像視野を上方に向けたカメラによって、吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の回転角度である電極部角度を検出し、得られた結果（検出された部品角度と検出された電極部角度）に基づいて算出される目標回転位置（吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置）に吸着ツールを位置決めしたうえで吸着ツールを基板に対して下降させることにより、部品を基板の電極部に装着させるようになっている（例えば、特許文献１）。

上記の吸着ツールの位置決めを行うにおいては、検出した電極部角度と部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を検出した電極部角度に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸をそのまま吸着ツールを目標回転位置に位置させる方向に回転させたのでは、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じてしまい、回転モータの駆動軸によって吸着ツールの回転方向の位置制御を行うことができないこととなる場合には、先ず回転モータの駆動軸を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行し、その後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする。

特開平１０−１９０２９４号公報

しかしながら、上述のように、従来の部品実装装置において、吸着ツールを目標回転位置に位置決めする際にアンチバックラッシ動作が必要となるか否かは部品角度と電極部角度との関係に応じて変わるため、アンチバックラッシ動作は必ず電極部角度の検出の後に行われることになり、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間が長くなって基板の生産性が低下するという問題点があった。

そこで本発明は、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の部品実装装置は、電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第１の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第１の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータと、吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する部品角度検出手段と、部品角度検出手段により部品角度が検出された後、基板保持部に保持された基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する電極部角度検出手段と、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値を設定する電極部角度仮設定値設定手段と、電極部角度仮設定値設定手段により設定された電極部角度の仮設定値と部品角度検出手段により検出された部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断手段と、部品角度検出手段により検出された部品角度と電極部角度検出手段により検出された電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出手段と、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めし、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め制御手段と、目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着された部品を基板の電極部に装着させる装着制御手段とを備えた。

請求項２に記載の部品実装装置は、請求項１に記載の部品実装装置であって、同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う２回目以降の電極部への部品の装着時、電極部角度仮設定値設定手段により設定される電極部角度の仮設定値として、前回の部品の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度が用いられる。

請求項３に記載の部品実装方法は、電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第１の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第１の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータとを備えた部品実装装置による部品実装方法であって、基板保持部に基板を保持させる工程と、吸着ツールに部品を吸着させる工程と、吸着ツールに吸着させた部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する工程と、部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する工程と、電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行う工程と、設定した電極部角度の仮設定値と検出した部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う工程と、検出した部品角度と検出した電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を検出した電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う工程と、アンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めし、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする工程と、目標回転位置に位置決めした吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着させた部品を基板の電極部に装着させる工程とを含む。

請求項４に記載の部品実装方法は、請求項３に記載の部品実装方法であって、同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う２回目以降の電極部への部品の装着時、設定する電極部角度の仮設定値として、前回の部品の装着時に検出した電極部角度を用いる。

本発明では、電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行い、その設定した電極部角度の仮設定値と検出した部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させる前に、第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行い、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行してアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めするようになっていることから、アンチバックラッシ動作が電極部角度の検出の後に行われることはなく、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮することができるので、基板の生産性を向上させることができる。

本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの構成図 本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムによる基板に対する部品実装作業の進行手順を示す図 本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムを構成する仮圧着装置の斜視図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の平面図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の側面図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の部分拡大正面図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の部分拡大斜視図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の制御系統を示すブロック図 本発明の一実施の形態における（ａ）部品の平面図（ｂ）電極部の平面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における吸着ツールの回転方向を説明する図 本発明の一実施の形態における仮圧着装置が実行する仮圧着作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャート 本発明の一実施の形態における仮圧着装置が実行する仮圧着作業の実行手順を示すサブルーチンのフローチャート

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す液晶パネル製造システム１は、長方形形状の透明なガラス材料から成るパネル状の基板２の端部に設けられた複数の電極部２ａのそれぞれに駆動回路等の部品（電子部品）３を実装するものであり、ＡＣＦ貼着装置１１、仮圧着装置１２、第１の本圧着装置１３、第２の本圧着装置１４及び検査装置１５がこの順で連結されて成る。これらの装置１１〜１５はホストコンピュータ１６によって統合制御されて動作し、ホストコンピュータ１６から生産指令が出されているとき、上記装置１１〜１５の各々は部品実装作業の中における各担当分の作業工程を実行する。

ここで、基板２上の複数の電極部２ａは、図２に示すように、一の長辺と一の短辺のそれぞれに一列に並んで設けられている。すなわち、基板２の一の長辺と一の短辺のそれぞれには、複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌが形成されている。

ＡＣＦ貼着装置１１は、上流工程側から供給された基板２を受け取り、基板２上の各電極部２ａに図２に示すようにＡＣＦテープの切片４を貼着したうえで、その基板２を下流工程側の仮圧着装置１２に搬出する。

仮圧着装置１２は、ＡＣＦ貼着装置１１から搬出された基板２を受け取り、基板２の各電極部２ａに貼着されたＡＣＦテープの切片４上に部品３を装着（仮圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第１の本圧着装置１３に搬出する。

第１の本圧着装置１３は、仮圧着装置１２から搬出された基板２を受け取り、基板２の長辺側の各電極部２ａに仮圧着された部品３を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第２の本圧着装置１４に搬出する。

第２の本圧着装置１４は、第１の本圧着装置１３から搬出された基板２を受け取り、基板２の短辺側の各電極部２ａに仮圧着された部品３を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の検査装置１５に搬出する。

検査装置１５は、第２の本圧着装置１４から搬出された基板２を受け取り、基板２の各電極部２ａに本圧着された部品３の検査及び種々の判定処理を行ったうえで、その基板２を液晶パネル製造システム１の外部に搬出する。

次に、液晶パネル製造システム１における部品実装装置である仮圧着装置１２について説明する。図３、図４及び図５において仮圧着装置１２は、基台２１上に、基板２を保持して移動させる基板保持移動部２２、部品３の供給を行う部品供給部２３、部品供給部２３より供給される複数の部品３を受け取って所定の吸着位置に移送する部品移送部２４及び部品移送部２４によって吸着位置に移送された部品３を吸着（ピックアップ）して基板保持移動部２２に保持させた基板２に装着（仮圧着）する部品装着部２５を備えている。

以下、説明の便宜上、オペレータＯＰ（図３及び図４）から見て基台２１の左右方向をＸ軸方向、オペレータＯＰから見て基台２１の前後方向をＹ軸方向、基台２１の上下方向をＺ軸方向とする。また、オペレータＯＰから見て基台２１の右側を右方、左側を左方とし、オペレータＯＰから見て基台２１の手前側を前方、奥側を後方とする。

図４及び図５において、基板保持移動部２２は、基台２１に対してＸ軸方向に相対移動自在に設けられたＸテーブル３１、Ｘテーブル３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたＹテーブル３２、Ｙテーブル３２に対してＺ軸回りに回転自在に設けられたθテーブル３３及びθテーブル３３の上面に設けられた基板保持テーブル３４を備えて成る。基板保持テーブル３４の上面には基板２が水平姿勢に保持される。

このように、本実施の形態における仮圧着装置１２において、基板保持移動部２２は、電極部２ａを有した基板２を保持する基板保持部として機能する。

図３及び図６において、部品供給部２３は、部品３を載せたテープＴＰを搬送する左右２つのテープ搬送部４１と、左右のテープ搬送部４１それぞれが搬送するテープＴＰから部品３を打ち抜く左右２つの部品打ち抜き部４２を備えて成る。

図３及び図６において、左右のテープ搬送部４１はそれぞれ、テープＴＰの供給（繰出し）を行うテープ供給リール４１ａと、テープ供給リール４１ａより供給されるテープＴＰを巻き取るテープ巻取りリール４１ｂと、テープ供給リール４１ａより供給されるテープＴＰよりカバーテープＣＴを剥がして巻き取るカバーテープ巻取りリール４１ｃから成る。各テープ搬送部４１では、テープ供給リール４１ａ、テープ巻き取りリール４１ｂ及びカバーテープ巻取りリール４１ｃが同期して回転することにより、テープ供給リール４１ａからのテープＴＰの供給、テープ巻き取りリール４１ｂによるテープＴＰの巻き取り及びカバーテープ巻き取りリール４１ｃによるテープＴＰからのカバーテープＣＴの巻き取りが行われ、カバーテープＣＴが剥がされたテープＴＰの一部が水平面内方向（Ｘ軸方向）に搬送される。

図５及び図６において、左右の部品打ち抜き部４２は、基台２１に対して固定された下側金型４２ａと、下側金型４２ａの上方を上下動される上側金型４２ｂから成る。下側金型４２ａと上側金型４２ｂの間には、テープ搬送部４１によって水平面内方向に搬送されるテープＴＰが通っており、上側金型４２ｂを下側金型４２ａに対して下降させることにより、テープＴＰから部品３を打ち抜くことができる。

図３及び図６において、部品移送部２４は、基台２１上をＸ軸方向に延びて設けられたＸ軸ガイド５１、Ｘ軸ガイド５１に対してＹ軸方向に相対移動自在に設けられた左右のＹ軸テーブル５２、各Ｙ軸テーブル５２に対してＸ軸方向に移動自在に設けられた左右のＸ軸テーブル５３及び各Ｘ軸テーブル５３上に設けられた左右２つの移送ヘッド５４を備えている。

各移送ヘッド５４はＸ軸テーブル５３に対してＺ軸回りに回転自在に設けられており、テーブル駆動モータ５５（図５及び図６）によって駆動されて水平面内で回転されるインデックス型のターンテーブル５６と、ターンテーブル５６から上方に延びて設けられた複数（ここでは７つ）の受け取りノズル５７（前述の部品受け取り手段）を備えている。これら複数の受け取りノズル５７は、図示しないアクチュエータによって、ターンテーブル５６に対して個別に昇降させることができる。

各移送ヘッド５４は、ターンテーブル５６を一定角度回転させることによって、複数の受け取りノズル５７のうちのいずれかひとつを部品打ち抜き部４２の下側金型４２ａの下方の位置（この位置を以下、「部品供給位置」と称する）に位置させる動作、部品供給位置に位置させた受け取りノズル５７を上昇させる動作（図５中に破線で示す受け取りノズル５７参照）、部品供給位置で上昇させた受け取りノズル５７により、部品打ち抜き部４２によって打ち抜かれた部品３を下方から支持して受け取った後、その受け取りノズル５７を下降させる動作から成る一連の動きを繰り返す。このようにして移送ヘッド５４は、テープＴＰから連続的に打ち抜かれる複数の部品３をそれぞれ異なる受け取りノズル５７によって次々と受け取る。

各移送ヘッド５４は、複数の受け取りノズル５７によって部品打ち抜き部４２によって打ち抜かれた複数の部品３を受け取ったら部品装着部２５の側の所定の位置へ移動し、部品３を受け取った複数の受け取りノズル５７のうちのひとつを所定の位置（この位置を以下、「ノズル移動位置」と称する）に位置させることによって、部品装着部２５による部品３の吸着位置（この吸着位置は後述する左右の装着ヘッド６３に対応して左右２つある）に部品３を移送する。

左右の移送ヘッド５４はそれぞれ、対応する吸着位置（左側の移送ヘッド５４には左側の吸着位置が対応し、右側の移送ヘッド５４には右側の吸着位置が対応する）に移送した部品３が部品装着部２５の吸着ツール６３ａ（後述）によって吸着（ピックアップ）されたら、ターンテーブル５６を一定角度回転させて、部品３が吸着された受け取りノズル５７の隣に位置する受け取りノズル５７によって吸着位置に部品３が新たに移送されるようにする。

図３、図４及び図５において、部品装着部２５は、基台２１に立設された左右一対の支柱６１ａ及びこれら一対の支柱６１ａに掛け渡されて基台２１の横方向（Ｘ軸方向）に延びた横部材６１ｂから成る門型フレーム６１と、門型フレーム６１の横部材６１ｂに沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられた左右のＸ軸移動体６２と、各Ｘ軸移動体６２に対してＹ軸方向に移動自在に設けられた左右２つの装着ヘッド６３と、基台２１に設けられて装着ヘッド６３の下方に位置するバックアップ部６４と、バックアップ部６４に設けられた２つのカメラ６５を有して成る（図７も参照）。

図３及び図５において、装着ヘッド６３は下方に延びたひとつのノズル状の吸着ツール６３ａを備えている。左右２つの装着ヘッド６３が備える各吸着ツール６３ａは、図示しないエア供給源からの真空圧の供給を受けて部品３の真空吸着及びその解除動作を行う。

各吸着ツール６３ａは、Ｘ軸移動体６２の下方に位置する断面Ｌ状のブラケット６６に設けられた昇降モータ６７によって昇降自在であるとともに、ブラケット６６を介して取り付けられた回転モータ６８によって垂直軸回りに回転自在である。回転モータ６８の駆動軸６８ａと吸着ツール６３ａの間にはギヤ式の動力伝達機構から成る減速機６９が介装されており、回転モータ６８は駆動軸６８ａの回転動作により減速機６９を駆動して吸着ツール６３ａを垂直軸回りに回転させる。

このように、本実施の形態における仮圧着装置１２において、吸着ツール６３ａは、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品３を吸着するものとなっている。

ここで、減速機６９を構成するギヤ間にはバックラッシが存在するため、回転モータ６８の駆動軸６８ａを回転させた場合に、回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じ得るが、回転モータ６８の駆動軸６８ａを一の方向（第１の方向とする）に回転させることによって回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの追従が得られた後は、その後回転モータ６８の駆動軸６８ａを第１の方向に回転させる限りは必ず回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの追従が得られるので、最終的に回転モータ６８の駆動軸６８ａを第１の方向に回転させて吸着ツール６３ａの位置決め（回転方向の位置決め）を行うようにしている。この回転モータ６８の駆動軸６８ａの回転方向（第１の方向）を、本実施の形態では吸着ツール６３ａを上方から見たときに反時計回りに回転させる方向であるとし、この第１の方向を「順方向」と称する。一方、この順方向とは反対の方向であって、吸着ツール６３ａを上方から見たときに時計回りに回転させる回転モータ６８の駆動軸６８ａの回転方向（第２の方向とする）を、本実施の形態では「逆方向」と称する。

このように、本実施の形態における仮圧着装置１２において、回転モータ６８は、動力伝達機構である減速機６９を介して吸着ツール６３ａを回転させる駆動軸６８ａを有し、この駆動軸６８ａを最終的に第１の方向（順方向）に回転させることによって吸着ツール６３ａの回転方向の位置決めを行うものとなっている。

図５においてバックアップ部６４は、基板保持移動部２２と部品供給部２３の間をＸ軸方向に延びて設けられたＸ軸部材６４ａと、Ｘ軸部材６４ａに沿って水平移動自在に設けられたスライダ６４ｂ（図７も参照）と、スライダ６４ｂの上部からＹ軸方向前方に張り出して設けられたバックアップステージ６４ｃ（図３及び図７も参照）から成る。スライダ６４ｂ内の上部には、基板保持テーブル３４に保持された基板２の下面の一部を吸着して基板２をバックアップステージ６４ｃに対して固定することによって基板２の平面度を確保する複数の吸着部６４ｄが設けられている。基板保持移動部２２は、基板保持テーブル３４に保持された基板２上の長辺側又は短辺側に形成された電極部列２Ｌがバックアップステージ６４ｃの直上に位置するように基板２を保持する（図５に示す状態参照）。

左右の装着ヘッド６３はそれぞれ、部品移送部２４の対応する移送ヘッド５４によって対応する吸着位置（左側の装着ヘッド６３には左側の移送ヘッド５４及び左側の吸着位置が対応し、右側の装着ヘッド６３には右側の移送ヘッド５４及び右側の吸着位置が対応する）に移送された部品３を吸着ツール６３ａによって真空吸着し、基板保持移動部２２に保持された基板２の各電極部２ａに部品３を装着する。このとき基板２の電極部２ａの下方にはバックアップ部６４のバックアップステージ６４ｃが位置され、装着ヘッド６３は部品３を電極部２ａごとバックアップステージ６４ｃに押し付けるようにする（図５）。なお、基板保持移動部２２に保持された基板２の長辺側の各電極部２ａと短辺側の各電極部２ａには、仮圧着装置１２の上流工程側に設置されたＡＣＦ貼着装置１１によってＡＣＦテープの切片４が貼着された状態となっている（図４参照）。

図５及び図７において、２つのカメラ６５はバックアップ部６４が備えるスライダ６４ｂの下部（バックアップステージ６４ｃの下方）に取り付けられたカメラ支持部６４ｅによって撮像視野を上方に向けた状態で支持されている。バックアップステージ６４ｃには各カメラ６５の光軸ＣＪに沿って上下方向に延びた２つの貫通孔６４ｆが設けられており、２つのカメラ６５は基板保持移動部２２に保持された基板２の電極部２ａの両端部（電極部列２Ｌの延びる方向に沿った両端部）に設けられた２つの電極部側マーク２ｍ又は装着ヘッド６３の吸着ツール６３ａに吸着された部品３に設けられた２つの部品側マーク３ｍを、貫通孔６４ｆを介して下方から視認することができるようになっている。なお、基板２は透明なガラス材料から成るため、基板２の上面に設けられた電極部側マーク２ｍを基板２の下方からカメラ６５によって視認することができる。

基板保持移動部２２に保持された基板２の位置決め動作（基板保持移動部２２を構成するＸテーブル３１の基台２１に対するＸ軸方向への移動動作、Ｙテーブル３２のＸテーブル３１に対するＹ軸方向への移動動作及びθテーブル３３のＹテーブル３２に対するＺ軸回りの回転動作）は、仮圧着装置１２が備える制御装置７０（図８）が図示しないアクチュエータ等から成る基板保持部駆動機構７１（図８）の作動制御を行うことによってなされる。

部品供給部２３を構成する左右のテープ搬送部４１によるテープＴＰの搬送動作は、制御装置７０が図示しないアクチュエータ等から成るテープ搬送機構７２（図８）の作動制御を行うことによってなされる。部品供給部２３を構成する左右の部品打ち抜き部４２によるテープＴＰからの部品３の打ち抜き動作は、制御装置７０が図示しないアクチュエータ等から成る部品打ち抜き部駆動機構７３（図８）の作動制御を行うことによってなされる。

部品移送部２４を構成する左右の移送ヘッド５４による部品３の移送動作（Ｘ軸ガイド５１に対する各Ｙ軸テーブル５２のＹ軸方向への移動動作、各Ｙ軸テーブル５２に対するＸ軸テーブル５３のＸ軸方向への移動動作、各Ｘ軸テーブル５３に対するターンテーブル５６のＺ軸回りの回転動作及びターンテーブル５６に対する各受け取りノズル５７の昇降動作）は、制御装置７０が前述のテーブル駆動モータ５５を含むアクチュエータ等から成る部品移送部駆動機構７４（図８）の作動制御を行うことによってなされる。

部品装着部２５における左右の装着ヘッド６３の移動動作（門型フレーム６１の横部材６１ｂに対する各Ｘ軸移動体６２のＸ軸方向への移動動作及び各Ｘ軸移動体６２に対する装着ヘッド６３のＹ軸方向への移動動作）は、制御装置７０が図示しないアクチュエータ等から成る装着ヘッド移動機構７５（図８）の作動制御を行うことによってなされる。

各装着ヘッド６３による部品３の吸着及びその解除動作は、制御装置７０が前述の図示しないエア供給源と繋がるアクチュエータ等から成る真空吸着動作制御機構７６（図８）の作動制御を行って吸着ツール６３ａ内に真空圧を供給し、或いは吸着ツール６３ａ内に正圧を供給して吸着ツール６３ａ内の真空破壊を行うことによってなされる。

図８に示すように、制御装置７０には、画像認識部７０ａ、部品角度算出部７０ｂ、電極部角度算出部７０ｃ、電極部角度仮設定値設定部７０ｄ、判断部７０ｅ、目標回転位置算出部７０ｆ、吸着ツール位置決め制御部７０ｇ及び装着制御部７０ｈが備えられている（図８）。

各カメラ６５の撮像動作は制御装置７０によって制御され（図８）、各カメラ６５の撮像動作によって得られた画像データは制御装置７０の画像認識部７０ａに送られて画像認識がなされる。

部品角度算出部７０ｂは、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の水平面内方向の角度である部品角度の検出に用いられ、電極部角度算出部７０ｃは、基板保持移動部２２に保持された基板２の電極部２ａ（バックアップステージ６４ｃの直上に位置された電極部列２Ｌの中の電極部２ａ）の水平面内方向の回転角度である電極部角度の検出に用いられる。

部品角度は、図９（ａ）に示すように、部品３に設けられた２つの部品側マーク３ｍを結ぶ線Ｓ１のＸ軸から順方向（図９（ａ），（ｂ）では反時計回り）にとった角度θであり、以下、「部品角度θ」と記す。制御装置７０の部品角度算出部７０ｂ（図８）は、２つのカメラ６５の撮像動作によって得られる２つの部品側マーク３ｍの画像認識結果に基づいて、その部品側マーク３ｍを備えた部品３の部品角度θを算出する。

電極部角度は、図９（ｂ）に示すように、電極部２ａの両端部に設けられた２つの電極部側マーク２ｍを結ぶ線Ｓ２のＸ軸から順方向にとった角度φであり、以下、「電極部角度φ」と記す。制御装置７０の電極部角度算出部７０ｃは、２つのカメラ６５の撮像動作によって得られる２つの電極部側マーク２ｍの画像認識結果に基づいて、その電極部側マーク２ｍを備えた電極部２ａの電極部角度φを算出する。なお、後述するように、部品３を電極部２ａに装着するときの手順上、電極部角度φの検出は部品角度θの検出の後になる。

このように、本実施の形態において、２つのカメラ６５と制御装置７０の部品角度算出部７０ｂは、仮圧着装置１２において、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の水平面内方向の回転角度である部品角度θを検出する部品角度検出手段として機能し、２つのカメラ６５と制御装置７０の電極部角度算出部７０ｃは、部品角度検出手段（２つのカメラ６５及び制御装置７０の部品角度算出部７０ｂ）により部品角度θが検出された後、基板保持移動部２２に保持された基板２の電極部２ａの水平面内方向の角度である電極部角度φを検出する電極部角度検出手段として機能する。

制御装置７０の電極部角度仮設定値設定部７０ｄは、上記電極部角度検出手段（２つのカメラ６５と制御装置７０の電極部角度算出部７０ｃ）による電極部角度φの検出と並行して電極部角度φの仮設定値（以下、電極部角度仮設定値φ１と記す）の設定を行う。ここで電極部角度仮設定値φ１は、同一の基板２上に一列に並んだ複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌに対して行う２回目以降の電極部２ａへの部品３の装着時については、前回の部品３の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φが設定される（詳細は後述）。

制御装置７０の判断部７０ｅ（判断手段）は、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにおいて設定された電極部角度仮設定値φ１と部品角度検出手段（２つのカメラ６５及び制御装置７０の部品角度算出部７０ｂ）により検出された部品角度θ及び回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の角度を電極部角度仮設定値φ１に一致させるとした場合に、回転モータ６８の駆動軸６８ａを第１の方向（順方向）に回転させる前に、動力伝達機構である減速機６９内に存在するバックラッシに起因する回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じないようにするために回転モータ６８の駆動軸６８ａを第１の方向とは反対の第２の方向（逆方向）に回転させる動作（アンチバックラッシ動作）を実行する必要があるか否かの判断を行う。

ここで、上記回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転とは、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３を基板２の電極部２ａに装着した後、回転モータ６８の駆動軸６８ａを所定の原回転位置（駆動軸の回転角が０°となる位置）に復帰させるときの回転をいうが、回転モータ６８の駆動軸６８ａについてアンチバックラッシ動作を行うか否かの判断において、回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転が関係するのは、吸着ツール６３ａは前述のように、回転モータの駆動軸を最終的に順方向（第１の方向）に回転させて位置決めするようになっていることから、回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向が順方向であったことは、回転モータ６８の駆動軸６８ａを現在の位置からそのまま順方向に回転させたとしてもバックラッシに起因する吸着ツール６３ａの不追従が生じないことを意味し、回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向が逆方向（第２の方向）であったことは、回転モータ６８の駆動軸６８ａを現在の位置からそのまま順方向に回転させると、バックラッシに起因する吸着ツール６３ａの不追従が生じ得ることを意味するからである。

制御装置７０の目標回転位置算出部７０ｆ（目標回転位置算出手段）は、部品角度検出手段により検出された部品角度θと電極部角度検出手段により検出された電極部角度φとに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール６３ａの回転位置（原回転位置からの回転角）である目標回転位置の算出を行う。

制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇ（吸着ツール位置決め制御手段）は、判断部７０ｅによりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）に回転させて吸着ツール６３ａを目標回転位置算出部７０ｆにより算出された目標回転位置に位置決めし、判断部７０ｅによりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出と並行して回転モータ６８の駆動軸６８ａを逆方向（第２の方向）に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向に回転させて吸着ツール６３ａを目標回転位置算出部７０ｆにより算出された目標回転位置に位置決めする。

制御装置７０の装着制御部７０ｈ（装着制御手段）は、目標回転位置算出部７０ｆにより算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツール６３ａを基板２に対して下降させて吸着ツール６３ａに吸着された部品３を基板２の電極部２ａに装着させる。

なお、この装着制御部７０ｈにより部品３が基板２の電極部２ａに装着された後、吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、回転モータ６８の作動制御を行って、回転モータ６８の駆動軸６８ａを原回転位置に復帰させる動作を行う。

図８において、制御装置７０には入出力装置としてのタッチパネル７７が接続されており、オペレータＯＰはこのタッチパネル７７を介してメッセージを受けることができるとともに、タッチパネル７７を介して必要な指令入力を行うことができる。

制御装置７０は、前述のように、回転モータ６８の駆動軸６８ａを最終的に順方向に回転させることによって吸着ツール６３ａの回転モータ６８の駆動軸６８ａの順方向（第１の方向）への回転に追従させた状態で吸着ツール６３ａの回転方向の位置決めを行う。このため制御装置７０の判断部７０ｅは、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにおいて設定された電極部角度仮設定値φ１と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α１（＝φ１−θ）が零（「０」）又は正の値、すなわちα１≧０であり（図１０（ａ））かつ、回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向が順方向であった場合には、回転モータ６８の駆動軸６８ａをそのまま角度α１（この角度α１は通常、目標回転位置に近い値となる）だけ順方向（第１の方向）に回転させても減速機６９内に存在するバックラッシに起因する回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じることはないので、部品３の角度を設定した目標回転位置に一致させる場合、アンチバックラッシ動作を実行する必要はないと判断する。

一方、制御装置７０の判断部７０ｅは、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにおいて設定された電極部角度仮設定値φ１と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α１（＝φ１−θ）が零（「０」）又は正の値、すなわちα１≧０であるが（図１０（ａ））、回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向が逆方向であった場合には、回転モータ６８の駆動軸６８ａをそのまま角度α１だけ順方向（第１の方向）に回転させると、減速機６９内に存在するバックラッシに起因する回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じてしまうので、部品３の角度を目標回転位置に一致させる場合、最終的に駆動軸６８ａを順方向に回転させる前に、駆動軸６８ａを逆方向に回転させる動作（アンチバックラッシ動作）を実行する必要があると判断する。

また、制御装置７０の判断部７０ｅは、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにおいて設定された電極部角度仮設定値φ１と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α１（＝φ１−θ）が負の値、すなわちα１＜０であった場合（図１０（ｂ））には、回転モータ６８の駆動軸６８ａをそのまま逆方向（第２の方向）に回転させると、減速機６９内に存在するバックラッシに起因する回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じてしまうので、部品３の角度を目標回転位置に一致させる場合、最終的に駆動軸６８ａを順方向に回転させる前に、駆動軸６８ａを逆方向に回転させる動作（アンチバックラッシ動作）を実行する必要があると判断する。

制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、判断部７０ｅにおいてアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に、回転モータ６８の駆動軸６８ａを現在位置からそのまま順方向（第１の方向）に回転させて、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の角度が電極部角度φに一致するように、吸着ツール６３ａを目標回転位置算出部７０ｆにおいて算出された目標回転位置に位置決めする。

一方、制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、判断部７０ｅにおいてアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータ６８の駆動軸６８ａを逆方向（第２の方向）に回転させるアンチバックラッシ動作を行う。ここで行うアンチバックラッシ動作では、回転モータ６８の駆動軸６８ａを、アンチバックラッシ動作の後に行う最終的な順方向（第１の方向）への駆動軸６８ａの回転中に、吸着ツール６３ａが駆動軸６８ａに追従するようになる（すなわち、回転モータ６８の駆動軸６８ａの回転位置によって吸着ツール６３ａの回転位置を制御できるようになる）角度β（図１０（ｂ））だけ逆方向（第２の方向）に回転させるようにする。そして、このアンチバックラッシ動作の後、制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に、回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）に回転させて、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の角度が検出した電極部角度φに一致するように、吸着ツール６３ａを目標回転位置算出部７０ｆにおいて算出された目標回転位置に位置決めする。

次に、図１１のメインルーチンのフローチャート及び図１２のサブルーチンのフローチャートを用いて、仮圧着装置１２により基板２上の電極部２ａに部品３を仮圧着（装着）する仮圧着作業の実行手順（仮圧着装置１２による部品実装方法）について説明する。これには先ず、制御装置７０は、上流工程側の装置であるＡＣＦ貼着装置１１より送られてきた基板２（この基板２が備える各電極部２ａにはＡＣＦテープの切片４が貼着されている）を図示しない基板搬入装置によって仮圧着装置１２内に搬入し、その基板２を基板保持移動部２２の基板保持テーブル３４上に水平姿勢に保持した後（図１１に示すステップＳＴ１）、基板保持部駆動機構７１の作動制御を行って基板２を前述のように位置決めする（図１１に示すステップＳＴ２）。

このようにステップＳＴ１は、仮圧着装置１２による部品実装方法において、基板保持部である基板保持移動部２２に基板２を保持させる基板保持工程となっている。

制御装置７０は、ステップＳＴ１の基板の搬入及びステップＳＴ２の基板２の保持及び位置決めと並行して、左右の移送ヘッド５４による部品３の受け取りを行う（図１１に示すステップＳＴ３）。この左右の移送ヘッド５４による部品３の受け取りでは、先ず、制御装置７０は、左右の移送ヘッド５４をそれぞれ部品供給部２３の側に移動させ、各移送ヘッド５４が備える複数の受け取りノズル５７のうち、部品３の受け取りを行っていないものをその移送ヘッド５４に対応する部品供給位置（左側の移送ヘッド５４であれば左側の部品供給位置、右側の移送ヘッド５４であれば右側の部品供給位置）に位置させる。そして、左右のテープ搬送部４１を作動させてテープＴＰの搬送を行いつつ、対応する部品打ち抜き部４２（左側のテープ搬送部４１に対しては左側の部品打ち抜き部４２、右側のテープ搬送部４１に対しては右側の部品打ち抜き部４２）を作動させてテープＴＰから部品３を打ち抜くことによって部品供給部２３による左右２箇所の部品供給位置への部品３の供給を行い、部品供給部２３の左右２箇所の部品供給位置に供給された（部品打ち抜き部４２によって打ち抜かれた）部品３が各部品供給位置に位置させた左右の移送ヘッド５４それぞれの受け取りノズル５７によって受け取られるようにする。

制御装置７０は、左右の移送ヘッド５４による部品３の受け取りを行ったら、左右の移送ヘッド５４をそれぞれ部品装着部２５の側へ移動させて、部品３を受け取った状態の複数の受け取りノズル５７のひとつを前述のノズル移動位置に位置させて、部品３の吸着位置への移送を行う（図１１に示すステップＳＴ４）。

制御装置７０は、左右の移送ヘッド５４により部品３を吸着位置に移送したら、図１１に示すステップＳＴ５における部品３の装着動作（図１２に示すサブルーチン）に入る。

部品３の装着動作では先ず、左右の装着ヘッド６３をそれぞれ対応する吸着位置の直上に移動させ、吸着ツール６３ａによって、吸着位置に移送された部品３を吸着（ピックアップ）する（図１２に示すステップＳＴ１１）。

このようにステップＳＴ１１は、仮圧着装置１２による部品実装方法において、吸着ツール６３ａに部品３を吸着させる部品吸着工程となっている。

制御装置７０は、各装着ヘッド６３に部品３を吸着させたら、２つのカメラ６５の上方に基板２がない状態でカメラ６５の上方に部品３を吸着させた吸着ツール６３ａを（すなわち部品３を）進出させ（図１２に示すステップＳＴ１２）、その部品３に設けられた２つの部品側マーク３ｍを２つのカメラ６５によって撮像し、得られた２つの部品側マーク３ｍの位置に基づいて、部品角度算出部７０ｂにより（すなわち部品角度検出手段により）、部品角度θを検出する（図１２に示すステップＳＴ１３）。

このようにステップＳＴ１３は、仮圧着装置１２による部品実装方法において、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の水平面内方向の回転角度である部品角度θを検出する部品角度検出工程となっている。

制御装置７０は、部品角度θの検出を行ったら、吸着ツール６３ａを移動させてカメラ６５の上方から部品３を退去させるとともに、基板２をカメラ６５の上方に進出させる（図１２に示すステップＳＴ１４）。そして、制御装置７０は、部品３の装着対象となっている電極部２ａの近傍に設けられた２つの電極部側マーク２ｍを２つのカメラ６５で撮像し、得られた２つの電極部側マーク２ｍの位置に基づいて、電極部角度算出部７０ｃにより、電極部角度φを検出する（図１２に示すステップＳＴ１５）。

このようにステップＳＴ１５は、仮圧着装置１２による部品実装方法において、部品角度θを検出した後、基板保持移動部２２に保持させた基板２の電極部２ａの水平面内方向の角度である電極部角度φを検出する電極部角度検出工程となっている。

上記ステップＳＴ１５において、電極部角度φが検出されたら、制御装置７０の目標回転位置算出部７０ｆは、部品角度検出手段により検出された部品角度θと電極部角度検出手段により検出された電極部角度φとに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着された部品３の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール６３ａの回転位置である目標回転位置の算出を行う（図１２に示すステップＳＴ１６）。

なお、上記のように、部品角度θを検出してから電極部角度φを検出するようにしているのは、前述のように、基板２をバックアップ部６４により支持する際に、電極部２ａの近傍位置の下面側を吸着部６４ｄにより吸着して基板の平面度を確保するようにしているため、電極部角度φを検出してから部品角度θを検出するようにすると、吸着部６４ｄによる基板２の吸着を一旦開放しなければならず、吸着部６４ｄによる吸着動作の繰り返しによる煩瑣と再度吸着部６４ｄにより基板２を吸着したときに基板２の位置が最初の状態（電極部角度φを検出したときの状態）からずれてしまうことを避けるためである。

このようにステップＳＴ１６は、ステップＳＴ１３で検出した部品角度θとステップＳＴ１５で検出した電極部角度φとに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度を検出した電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール６３ａの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出工程となっている。

ステップＳＴ１３の後、制御装置７０は、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにおいて電極部角度仮設定値φ１を設定する（図１２に示すステップＳＴ１７）。そして、制御装置７０は、判断部７０ｅにおいて、ステップＳＴ１７で設定した電極部角度仮設定値φ１と部品角度算出部７０ｂおいて算出した（部品角度検出手段により検出した）部品角度θ及び回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度を電極部角度仮設定値φ１に一致させるとした場合に、アンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う（図１２に示すステップＳＴ１８）。

このように、上記ステップＳＴ１７は、電極部角度φの検出と並行して電極部角度仮設定値φ１の設定を行う電極部角度仮設定値設定工程となっており、ステップＳＴ１８は、設定した電極部角度仮設定値φ１と検出した部品角度θの関係等に基づいて、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度を電極部角度仮設定値φ１に一致させるとした場合に、回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向に）回転させる前に、動力伝達機構である減速機６９内に存在するバックラッシに起因する回転モータ６８の駆動軸６８ａに対する吸着ツール６３ａの不追従が生じないようにするために回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）とは反対の逆方向（第２の方向）に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断工程となっている。

制御装置７０の電極部角度仮設定値設定部７０ｄが設定する電極部角度仮設定値φ１は、同一の基板２上に一列に並んだ複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌに対して行う最初（１回目）の電極部２ａへの部品３の装着時については、想定し得る逆方向の最大値を使用し（このため、最初の部品３の装着時には、必ずアンチバックラッシ動作が実行される）、同一の基板２上に一列に並んだ複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌに対して行う２回目以降の電極部２ａへの部品３の装着時については、前回の部品３の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φを使用する。

なお、２回目以降の電極部２ａへの部品３の装着時において、電極部角度仮設定値φ１に、前回の部品３の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φを用いるのは、同一の基板２上に一列に並んだ複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌでは、その電極部列２Ｌを構成する各電極部２ａの電極部角度φは互いにほぼ等しくなるものと予想されるからである。

ステップＳＴ１８でアンチバックラッシ動作を行う必要があると判断した場合には、制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、吸着ツール６３ａを逆方向に角度βだけ回転させてアンチバックラッシ動作を実行する（図１２に示すステップＳＴ１９）。

ここで、制御装置７０の吸着ツール位置決め制御部７０ｇは、上記ステップＳＴ１７〜ステップＳＴ１９の工程を、ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１６の工程が行われている間に（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１６と並行して）行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ１６とステップＳＴ１９がともに終了したら、吸着ツール６３ａを順方向に回転させて、吸着ツール６３ａをステップＳＴ１６で算出した目標回転位置に位置決めする（図１２に示すステップＳＴ２０）。これにより、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度がステップＳＴ１５で検出された電極部角度φに一致する。

ステップＳＴ２０において吸着ツール６３ａを目標回転位置に位置決めしたら、制御装置７０の装着制御部７０ｈは、昇降モータ６７を作動させて吸着ツール６３ａを下降させ、部品３を電極部２ａに押し付けることによって、部品３を電極部２ａに装着（仮圧着）する（図１２に示すステップＳＴ２１）。そして、ステップＳＴ２１において部品３が基板２の電極部２ａに装着されたら、制御装置７０の吸着ツール位置決め部７０ｇは、回転モータ６８の作動制御を行って、回転モータ６８の駆動軸６８ａを原回転位置に復帰させる（図１２に示すステップＳＴ２２）。これにより部品３の装着動作のサブルーチン（メインルーチンのステップＳＴ５）が終了し、メインルーチンに戻る。

このように本実施の形態において、ステップＳＴ１９及びステップＳＴ２０は、ステップＳＴ１８でアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、ステップＳＴ１５の電極部角度φの検出を行った後に回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）に回転させて吸着ツール６３ａを目標回転位置に位置決めし、ステップＳＴ１８でアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、ステップＳＴ１５の電極部角度φの検出と並行して回転モータ６８の駆動軸６８ａを逆方向（第２の方向）に回転させるアンチバックラッシ動作を行い（ステップＳＴ１９）、ステップＳＴ１５で電極部角度φの検出を行った後に回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）に回転させて吸着ツール６３ａを目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め工程となっている。

また、ステップＳＴ２１は、ステップＳＴ２０で目標回転位置に位置決めした吸着ツール６３ａを基板２に対して下降させて吸着ツール６３ａに吸着させた部品３を基板２の電極部２ａに装着させる部品装着工程となっており、ステップＳＴ２２は、回転モータ６８の駆動軸６８ａを原回転位置に復帰させる原回転位置復帰工程となっている。

このように、本実施の形態における部品実装装置としての仮圧着装置１２及びこの仮圧着装置１２による部品実装方法では、電極部角度φの検出結果を待たずに電極部角度仮設定値φ１を設定（仮定）して回転モータ６８の駆動軸６８ａについてアンチバックラッシ動作の実行の要否を判断し、アンチバックラッシ動作が必要であると判断したときは、電極部角度φの検出を待たずにアンチバックラッシ動作を実行するようになっているので、従来のようにアンチバックラッシ動作が電極部角度φの検出終了後に開始されていた場合よりも基板２上の電極部２ａへの部品３の装着タクトが向上する。

制御装置７０は、メインルーチンのステップＳＴ５が終了したら、現在、部品３の装着対象となっている基板２に対する全部品３の装着が終了しているか否かの判断を行う（図１１に示すステップＳＴ６）。仮圧着装置１２は、基板２の長辺側の各電極部２ａに部品３を仮圧着した後、次いで基板保持部駆動機構７１によって基板２を９０度回転させて基板２の短辺側の各電極部２ａに部品３を仮圧着するので、現在、部品３の装着対象となっている基板２に対する全部品３の装着が終了したか否かは、基板２の長辺側及び短辺側の電極部２ａの全てに部品３が装着されたかどうかによって判断する。

制御装置７０は、ステップＳＴ６において、現在、部品３の装着対象となっている基板２に対する部品３の装着が終了していないと判断した場合にはステップＳＴ５に戻って部品３の装着動作を継続する。ここで、基板２の長辺側の電極部列２Ｌを構成する電極部２ａへの部品３の装着動作から短辺側の電極部列２Ｌを構成する電極部２ａへの部品３の装着動作に切り替わった場合であって、短辺側の電極部列２Ｌを構成する電極部２ａについて最初に部品３を装着するときには、仮設定値φ１には想定される逆方向の最大値を用いるようにする。

一方、制御装置７０は、ステップＳＴ６において、現在部品３の装着対象となっている基板２に対する部品３の装着が終了していると判断した場合には、仮圧着装置１２から基板２を搬出して基板２の一枚当たりの仮圧着作業を終了する（図１１に示すステップＳＴ７）。

このようにして仮圧着装置１２から搬出された基板２は第１の本圧着装置１３に搬入され、基板２の長辺側の電極部２ａに仮圧着された部品３が本圧着された後、第１の本圧着装置１３から搬出されて、第２の本圧着装置１４に搬入される。そして、第２の本圧着装置１４において基板２の短辺側の電極部２ａに仮圧着された部品３が本圧着された後、第２の本圧着装置１４から搬出されて検査装置１５に搬入され、検査装置１５において、基板２の電極部２ａに装着された各部品３の検査がなされる。

以上説明したように、本実施の形態における仮圧着装置１２及び仮圧着装置１２による部品実装方法では、電極部角度φの検出と並行して電極部角度φの仮設定値（電極部角度仮設定値φ１）の設定を行い、その設定した電極部角度仮設定値φ１と検出した部品角度θ及び回転モータ６８の駆動軸６８ａの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール６３ａに吸着させた部品３の角度を電極部角度仮設定値φ１に一致させるとした場合に、回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向（第１の方向）に回転させる前に、順方向とは反対の逆方向（第２の方向）に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行い、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度φの検出と並行してアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度φの検出を行った後に回転モータ６８の駆動軸６８ａを順方向に回転させて吸着ツール６３ａを算出した目標回転位置に位置決めするようになっていることから、アンチバックラッシ動作が電極部角度φの検出の後に行われることはなく、部品ひとつ当たりに要する電極部２ａへの装着時間を短縮することができるので、基板２の生産性を向上させることができる。

また、本実施の形態における仮圧着装置１２及び仮圧着装置１２による部品実装方法では、同一の基板２上に一列に並んだ複数の電極部２ａから成る電極部列２Ｌに対して行う２回目以降の電極部２ａへの部品３の装着時、電極部角度仮設定値設定部７０ｄにより設定される電極部角度仮設定値φ１として、前回の部品３の装着時に電極部角度検出手段（２つのカメラ６５及び制御装置７０の電極部角度算出部７０ｃ）により検出された電極部角度φが用いられるようになっており、設定される電極部角度仮設定値φ１と、その後に実際に検出される電極部角度φとはほぼ一致する可能性が高い（φ１≒φとなる可能性が高い）ことから、電極部角度仮設定値φ１を設定してアンチバックラッシ動作を行った後、実際の電極部角度φを検出した結果に基づいてアンチバックラッシ動作時における回転角度（角度β）が大き過ぎたり小さ過ぎたりするようなことはなく、この面からも部品３のひとつ当たりに要する電極部２ａへの装着時間を短縮して基板２の生産性を向上させることができる。

部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供する。

２ 基板
２ａ 電極部
２Ｌ 電極部列
３ 部品
１２ 仮圧着装置（部品実装装置）
２２ 基板保持移動部（基板保持部）
６３ａ 吸着ツール
６５ カメラ（部品角度検出手段、電極部角度検出手段）
６８ 回転モータ
６８ａ 駆動軸
６９ 減速機（動力伝達機構）
７０ｂ 部品角度算出部（部品角度検出手段）
７０ｃ 電極部角度算出部（電極部角度算出手段）
７０ｄ 電極部角度仮設定値設定部（電極部角度仮設定値設定手段）
７０ｅ 判断部（判断手段）
７０ｆ 目標回転位置算出部（目標回転位置算出手段）
７０ｇ 吸着ツール位置決め制御部（吸着ツール位置決め制御手段）
７０ｈ 装着制御部（装着制御手段）
θ 部品角度
φ 電極部角度
φ１ 電極部角度仮設定値（電極部角度の仮設定値）

Claims (4)

1. 電極部を有した基板を保持する基板保持部と、
   垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、
   動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第１の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第１の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータと、
   吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する部品角度検出手段と、
   部品角度検出手段により部品角度が検出された後、基板保持部に保持された基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する電極部角度検出手段と、
   電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値を設定する電極部角度仮設定値設定手段と、
   電極部角度仮設定値設定手段により設定された電極部角度の仮設定値と部品角度検出手段により検出された部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断手段と、
   部品角度検出手段により検出された部品角度と電極部角度検出手段により検出された電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出手段と、
   判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めし、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め制御手段と、
   目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着された部品を基板の電極部に装着させる装着制御手段とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
2. 同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う２回目以降の電極部への部品の装着時、電極部角度仮設定値設定手段により設定される電極部角度の仮設定値として、前回の部品の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度が用いられることを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置。
3. 電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第１の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第１の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータとを備えた部品実装装置による部品実装方法であって、
   基板保持部に基板を保持させる工程と、
   吸着ツールに部品を吸着させる工程と、
   吸着ツールに吸着させた部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する工程と、
   部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する工程と、
   電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行う工程と、
   設定した電極部角度の仮設定値と検出した部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う工程と、
   検出した部品角度と検出した電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を検出した電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う工程と、
   アンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めし、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を第２の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第１の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする工程と、
   目標回転位置に位置決めした吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着させた部品を基板の電極部に装着させる工程とを含むことを特徴とする部品実装方法。
4. 同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う２回目以降の電極部への部品の装着時、設定する電極部角度の仮設定値として、前回の部品の装着時に検出した電極部角度を用いることを特徴とする請求項３に記載の部品実装方法。

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