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JP2012182345A - Optical electronic component manufacturing method, manufacturing device and optical electronic component - Google Patents

Optical electronic component manufacturing method, manufacturing device and optical electronic component Download PDF

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JP2012182345A
JP2012182345A JP2011044817A JP2011044817A JP2012182345A JP 2012182345 A JP2012182345 A JP 2012182345A JP 2011044817 A JP2011044817 A JP 2011044817A JP 2011044817 A JP2011044817 A JP 2011044817A JP 2012182345 A JP2012182345 A JP 2012182345A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an LED package with high productivity by facilitating handling of substrates before and after encapsulation.SOLUTION: A pre-encapsulation substrate 1 is fitted into a carrier 14. Next, the carrier 14 is fixed to an upper die 18. Next, a lower die 17 and the upper die 18 are closed. This causes a plurality of LED chips 13 mounted on the pre-encapsulation substrate 1 to be dipped in fluid resin 26 filled in cavities. Next, the fluid resin 26 is hardened to form cured resin 28. This results in the plurality of LED chips 13 being resin sealed collectively. Next, the lower die 17 and the upper die 18 are opened and the carrier 14 having an encapsulated substrate 29 fitted therein is removed. Next, the encapsulated substrate 29 is projected from the carrier 14. Next, the encapsulated substrate 29 is cut. As a result, the encapsulated substrate 29 is separated into a plurality of LED packages respectively corresponding to each LED chip 13.

Description

本発明は、光電子部品の製造方法、製造装置、及び、光電子部品に関するものであり、特に、反射部材を有する封止前基板から光電子部品を製造する光電子部品の製造方法、製造装置、及び、光電子部品に関するものである。   The present invention relates to an optoelectronic component manufacturing method, an apparatus, and an optoelectronic component, and in particular, an optoelectronic component manufacturing method, an manufacturing apparatus, and an optoelectronic device that manufacture an optoelectronic component from a pre-sealing substrate having a reflective member. It relates to parts.

従来、LEDチップ等からなる光素子を基板(プリント基板、リードフレーム等)に装着して、その光素子を樹脂封止することによってLEDパッケージ等からなる光電子部品のパッケージを製造することが行われている。このために、LEDチップを樹脂封止した後に、その上にドーム型透明キャップを紫外線硬化型樹脂により固定する第1の方法が提案されている(例えば、特許文献1)。また、予め反射部材(リフレクタ)が形成された基板を使用して、その基板に装着された複数のLEDチップを一括して樹脂封止して樹脂封止体を形成し、その樹脂封止体を切断(分割)することによって反射部材付のLEDパッケージを製造する第2の方法が行われている(例えば、特許文献2)。   Conventionally, a package of an optoelectronic component such as an LED package is manufactured by mounting an optical element made of an LED chip or the like on a substrate (printed board, lead frame, etc.) and sealing the optical element with a resin. ing. For this purpose, a first method has been proposed in which after sealing an LED chip with a resin, a dome-shaped transparent cap is fixed thereon with an ultraviolet curable resin (for example, Patent Document 1). Also, using a substrate on which a reflective member (reflector) is formed in advance, a plurality of LED chips mounted on the substrate are collectively sealed with a resin to form a resin sealed body, and the resin sealed body A second method for manufacturing an LED package with a reflecting member by cutting (dividing) is performed (for example, Patent Document 2).

特開2002−232018号公報(第5頁、図5)Japanese Patent Laid-Open No. 2002-232018 (5th page, FIG. 5) 特開2010−125647号公報(第6〜7頁、図1〜4)JP 2010-125647 A (pages 6-7, FIGS. 1-4)

しかしながら、上述した第1の方法によれば、別工程によってレンズ(ドーム型透明キャップ)を製作する必要があることに加えて、製作したレンズを固定する必要がある。したがって、生産性が低いという問題があった。また、上述した第2の方法によれば、特に薄い基板を使用する場合において、予め反射部材が形成された基板及び樹脂封止体について位置合わせ、搬送等の取扱いが困難であるという問題があった。   However, according to the first method described above, in addition to the need to manufacture a lens (dome-shaped transparent cap) by a separate process, it is necessary to fix the manufactured lens. Therefore, there is a problem that productivity is low. In addition, according to the second method described above, particularly when a thin substrate is used, there is a problem that it is difficult to handle the alignment and transport of the substrate and the resin sealing body on which the reflection member is formed in advance. It was.

以下、「課題を解決するための手段」及び「発明の効果」の説明におけるかっこ内の符号は、説明における用語と図面に示された構成要素とを対比しやすくする目的で記載されたものである。また、これらの符号等は、「図面に示された構成要素に限定して、説明における用語の意義を解釈すること」を意味するものではない。   Hereinafter, the reference numerals in parentheses in the descriptions of “means for solving the problems” and “effects of the invention” are described for the purpose of facilitating the comparison between the terms in the description and the components shown in the drawings. is there. Further, these symbols and the like do not mean that “the meaning of the terms in the description is limited to the components shown in the drawings”.

上述の課題を解決するために、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上型(18)と該上型(18)に対向しキャビティ(19)を有する下型(17)とを少なくとも使用して、複数の領域(7)を有する基板本体(2)と、複数の領域(7)に各々形成され貫通穴又は凹部(10)を有する反射部材(8)と、貫通穴における基板本体(2)又は凹部(10)の底面(11)に各々装着された1又は複数の光素子(13)と、硬化樹脂(28)からなり光素子(13)を封止する封止樹脂(28)とを有する封止済基板(29)を形成した後に、封止済基板(29)から光電子部品を製造する光電子部品の製造方法であって、反射部材(8)に各々対応する開口(15)を有する仮固定治具(14)を準備する工程と、基板本体(2)に反射部材(8)と光素子(13)とが設けられた封止前基板(1)を準備する工程と、開口(15)に反射部材(8)をはめ込むようにして仮固定治具(14)に封止前基板(1)をはめ込む工程と、キャビティ(19)に含まれ開口(15)に各々対応するようにして設けられた複数の副キャビティ(25)に開口(15)が平面視して各々重なるようにして、封止前基板(1)がはめ込まれた仮固定治具(14)を上型(18)に固定する工程と、樹脂材料によってキャビティ(19)を満たされた状態にする工程と、上型(18)と下型(17)とを型締めすることによって、樹脂材料から形成された流動性樹脂(26)に光素子(13)を浸す工程と、流動性樹脂(26)を硬化させることによって硬化樹脂(28)を形成する工程と、上型(18)と下型(17)とを型開きする工程と、封止済基板(29)がはめ込まれた仮固定治具(14)を上型(18)から取り外す工程と、封止済基板(29)がはめ込まれた仮固定治具(14)から封止済基板(29)を取り出す工程とを備え、硬化樹脂(28)を形成する工程では、複数の副キャビティ(25)において各々レンズ部(30)を形成するとともに複数の副キャビティ(25)同士の間を連通する連通路(27)において連通部(31)を形成し、封止済基板(29)を取り出す工程では、封止済基板(29)を突き出して該封止済基板(29)から連通部(31)を分離することによって、複数のレンズ部(30)を有する第1の光電子部品を製造することを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the method of manufacturing an optoelectronic component according to the present invention uses at least an upper mold (18) and a lower mold (17) facing the upper mold (18) and having a cavity (19). Then, a substrate body (2) having a plurality of regions (7), a reflecting member (8) formed in each of the plurality of regions (7) and having through holes or recesses (10), and a substrate body ( 2) or one or a plurality of optical elements (13) mounted on the bottom surface (11) of the recess (10), and a sealing resin (28) made of a cured resin (28) and sealing the optical element (13). And forming an optoelectronic component from the encapsulated substrate (29), the openings (15) corresponding to the reflecting members (8), respectively. A step of preparing a temporary fixing jig (14) having a substrate body (2) A step of preparing a pre-sealing substrate (1) provided with a projecting member (8) and an optical element (13); and a temporary fixing jig (14) so that the reflecting member (8) is fitted into the opening (15). And the opening (15) in plan view in a plurality of subcavities (25) provided in the cavity (19) and corresponding to the openings (15) respectively. And a step of fixing the temporary fixing jig (14) fitted with the pre-sealing substrate (1) to the upper mold (18) so as to overlap each other, and a state in which the cavity (19) is filled with the resin material A step of immersing the optical element (13) in a fluid resin (26) formed from a resin material by clamping the upper die (18) and the lower die (17), and the fluid resin A step of forming a cured resin (28) by curing (26) Opening the upper mold (18) and the lower mold (17), removing the temporary fixing jig (14) fitted with the sealed substrate (29) from the upper mold (18), sealing And removing the sealed substrate (29) from the temporary fixing jig (14) fitted with the stopped substrate (29). In the step of forming the cured resin (28), a plurality of subcavities (25) In the step of forming the lens portion (30) and forming the communicating portion (31) in the communicating passage (27) communicating between the plurality of sub-cavities (25) and taking out the sealed substrate (29). The first optoelectronic component having a plurality of lens portions (30) is manufactured by protruding the sealed substrate (29) and separating the communication portion (31) from the sealed substrate (29). Features.

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、封止済基板(29)を取り出す工程の後に、第1の光電子部品を分離することによって複数の領域(7)の一部からなる複数の領域(7)に各々相当する第2の光電子部品を形成する工程を備えることを特徴とする。   Further, the method for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention is the above-described manufacturing method, wherein after the step of taking out the sealed substrate (29), the first optoelectronic component is separated to remove one of the plurality of regions (7). Forming a second optoelectronic component corresponding to each of the plurality of regions (7).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、封止済基板(29)を取り出す工程の後に、第1の光電子部品を分離することによって複数の領域(7)に含まれる各々の領域(7)に相当する第3の光電子部品(38)を形成する工程を備えることを特徴とする。   The method for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention includes the plurality of regions (7) by separating the first optoelectronic component after the step of taking out the sealed substrate (29) in the above-described manufacturing method. A step of forming a third optoelectronic component (38) corresponding to each region (7).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、光素子(13)を浸す工程では、副キャビティ(25)の全周にわたって設けられた連通路(27)を経由して複数の副キャビティ(25)の間において流動性樹脂(26)を流動させることを特徴とする。   In the method for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention, in the above-described manufacturing method, in the step of immersing the optical element (13), the process passes through the communication path (27) provided over the entire circumference of the subcavity (25). The flowable resin (26) is caused to flow between the plurality of sub-cavities (25).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、光素子(13)を浸す工程では、副キャビティ(25)の周囲において部分的に設けられた連通路(27)を経由して複数の副キャビティ(25)の間において流動性樹脂(26)を流動させることを特徴とする。   In the method of manufacturing an optoelectronic component according to the present invention, in the above-described manufacturing method, in the step of immersing the optical element (13), the optical device is routed through a communication path (27) partially provided around the subcavity (25). Thus, the fluid resin (26) is caused to flow between the plurality of sub-cavities (25).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、キャビティ(19)を満たされた状態にする工程の前に、上型(18)と下型(17)との間に離型フィルム(40)を供給する工程と、キャビティ(19)を構成する型面(39)のうち少なくとも複数の領域(7)全体に対応する型面(22、39)に離型フィルム(40)を密着させる工程とを備えることを特徴とする。   Also, the method for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention is the above-described manufacturing method, in which the cavity (19) is placed between the upper mold (18) and the lower mold (17) before the step of filling the cavity (19). The step of supplying the release film (40) and the release film (40) on the mold surfaces (22, 39) corresponding to the whole of at least a plurality of regions (7) of the mold surface (39) constituting the cavity (19). ).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、上型(18)において各々弾性支持された個別押圧部材(50)が反射部材(8)に各々対応して設けられ、仮固定治具(14)を上型(18)に固定する工程では、個別押圧部材(50)によって反射部材(8)を各々押圧することを特徴とする。   Further, in the method for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention, in the above manufacturing method, the individual pressing members (50) elastically supported by the upper mold (18) are provided corresponding to the reflecting members (8), respectively. The step of fixing the temporary fixing jig (14) to the upper mold (18) is characterized in that the reflecting member (8) is pressed by the individual pressing member (50).

また、本発明に係る光電子部品の製造方法は、上述の製造方法において、キャビティ(19)を構成する型面(39)のうち少なくとも複数の領域(7)全体に対応する部分の外側において弾性支持された可動部材(53)が設けられ、流動性樹脂(26)に光素子(13)を浸す工程では、流動性樹脂(26)が可動部材(53)を押圧することによって流動性樹脂(26)が流れ込む樹脂溜まり(54)を形成することを特徴とする。   The optoelectronic component manufacturing method according to the present invention is the above-described manufacturing method, wherein elastic support is provided outside a portion corresponding to the entire plurality of regions (7) of the mold surface (39) constituting the cavity (19). In the step of immersing the optical element (13) in the flowable resin (26), the flowable resin (26) presses the moveable member (53) in the step of immersing the optical element (13) in the flowable resin (26). A resin reservoir (54) is formed.

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上型(18)と該上型(18)に対向しキャビティ(19)を有する下型(17)とを少なくとも有しており、複数の領域(7)を有する基板本体(2)と、複数の領域(7)に各々形成され貫通穴又は凹部(10)を有する反射部材(8)と、貫通穴における基板本体(2)又は凹部(10)の底面(11)に各々装着された1又は複数の光素子(13)と、硬化樹脂(28)からなり光素子(13)を封止する封止樹脂(28)とを有する封止済基板(29)を形成した後に封止済基板(29)から光電子部品を製造する際に使用される光電子部品の製造装置であって、基板本体(2)に反射部材(8)と光素子(13)とが設けられた封止前基板(1)を受け入れる受入手段と、封止前基板(1)が有する反射部材(8)に各々対応するようにして設けられた開口(15)を有する仮固定治具(14)と、開口(15)に反射部材(8)がはめ込まれた状態で仮固定治具(14)を上型(18)に固定する固定手段と、封止前基板(1)における反射部材(8)の全部を平面視して含むキャビティ(19)に樹脂材料を供給する供給手段と、上型(18)と下型(17)とを型開き又は型締めする型開閉手段と、仮固定治具(14)から封止済基板(29)を突き出す突き出し手段(33)とを備え、キャビティ(19)は、反射部材(8)に各々対応して設けられた凹部からなる副キャビティ(25)と、該副キャビティ(25)同士を連通する連通路(27)とを有し、突き出し手段(33)が仮固定治具(14)から封止済基板(29)を突き出すことによって封止済基板(29)から連通路(27)における硬化樹脂(28)からなる連通部(31)を分離することを特徴とする。   The apparatus for manufacturing an optoelectronic component according to the present invention includes at least an upper mold (18) and a lower mold (17) facing the upper mold (18) and having a cavity (19). A substrate body (2) having (7), a reflecting member (8) formed in each of a plurality of regions (7) and having a through hole or a recess (10), and a substrate body (2) or a recess (10 in the through hole). ) And one or a plurality of optical elements (13) mounted on the bottom surface (11) and a sealing resin (28) made of a cured resin (28) and sealing the optical element (13). An optoelectronic component manufacturing apparatus for use in manufacturing an optoelectronic component from a sealed substrate (29) after forming a substrate (29), wherein a reflecting member (8) and an optical element ( 13) and a receiving means for receiving the pre-sealing substrate (1) provided with the pre-sealing base The temporary fixing jig (14) having an opening (15) provided so as to correspond to the reflecting member (8) included in (1), and the reflecting member (8) fitted in the opening (15) In the cavity (19) including the fixing means for fixing the temporary fixing jig (14) to the upper mold (18) and the cavity (19) including the reflection member (8) in the substrate (1) before sealing in plan view. Supply means for supplying, mold opening / closing means for opening or closing the upper mold (18) and lower mold (17), and projecting means for projecting the sealed substrate (29) from the temporary fixing jig (14) ( 33), and the cavity (19) includes a subcavity (25) composed of a recess provided corresponding to each of the reflecting members (8), and a communication path (27) communicating the subcavities (25) with each other. The projecting means (33) is sealed from the temporary fixing jig (14). And separating the communication unit (31) consisting of cured resin (28) in the communication passage (27) from the sealing already substrate (29) by projecting a substrate (29).

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上述の製造装置において、連通路(27)は副キャビティ(25)の全周にわたって形成されたことを特徴とする。   The optoelectronic component manufacturing apparatus according to the present invention is characterized in that, in the above-described manufacturing apparatus, the communication path (27) is formed over the entire circumference of the sub-cavity (25).

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上述の製造装置において、連通路(27)は副キャビティ(25)の周囲において部分的に形成されたことを特徴とする。   The optoelectronic component manufacturing apparatus according to the present invention is characterized in that, in the above-described manufacturing apparatus, the communication path (27) is partially formed around the sub-cavity (25).

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上述の製造装置において、上型(18)と下型(17)との間に離型フィルム(40)を供給するフィルム供給手段と、キャビティ(19)を構成する型面(39)のうち少なくとも複数の領域(7)全体に対応する型面(22、39)に離型フィルム(40)を密着させるフィルム密着手段とを備えることを特徴とする。   An optoelectronic component manufacturing apparatus according to the present invention is the above-described manufacturing apparatus, wherein a film supply means for supplying a release film (40) between an upper mold (18) and a lower mold (17), a cavity ( And a film contact means for bringing the release film (40) into close contact with the mold surfaces (22, 39) corresponding to the whole of at least a plurality of regions (7) among the mold surfaces (39) constituting 19). To do.

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上述の製造装置において、上型(18)において反射部材(8)に各々対応して各々弾性支持されて設けられた個別押圧部材(50)を備え、仮固定治具(14)が上型(18)に固定された状態において、個別押圧部材(50)によって反射部材(8)が各々押圧されることを特徴とする。   Further, the optoelectronic component manufacturing apparatus according to the present invention includes the individual pressing member (50) provided to be elastically supported in the upper mold (18) in correspondence with the reflecting member (8). The reflective member (8) is pressed by the individual pressing member (50) in a state where the temporary fixing jig (14) is fixed to the upper mold (18).

また、本発明に係る光電子部品の製造装置は、上述の製造装置において、キャビティ(19)を構成する型面(39)のうち少なくとも複数の領域(7)全体に対応する部分の外側において弾性支持された可動部材(53)を備え、上型(18)と下型(17)とが型締めされた状態において、流動性樹脂(26)が可動部材(53)を押圧することによって流動性樹脂(26)が流れ込む樹脂溜まり(54)が形成されることを特徴とする。   In addition, the optoelectronic component manufacturing apparatus according to the present invention is the above-described manufacturing apparatus, wherein the optoelectronic component is elastically supported outside the portion corresponding to the entire plurality of regions (7) of the mold surface (39) constituting the cavity (19). The fluid resin (26) presses the movable member (53) while the upper mold (18) and the lower mold (17) are clamped in the movable member (53). A resin reservoir (54) into which (26) flows is formed.

また、本発明に係る光電子部品は、複数の領域(7)を有する基板本体(2)と、複数の領域(7)に各々形成され貫通穴又は凹部(10)を有する反射部材(8)と、貫通穴における基板本体(2)又は凹部(10)の底面(11)に各々装着された1又は複数の光素子(13)と、硬化樹脂(28)からなり光素子(13)を封止する封止樹脂(28)とを有する封止済基板(29)を形成した後に、封止済基板(29)から製造された光電子部品であって、反射部材(8)に各々対応するようにして仮固定治具(14)に設けられた開口(15)に反射部材(8)がはめ込まれた状態で、光素子(13)が露出する側において仮固定治具(14)が流動性樹脂(26)に浸されることによって少なくとも貫通穴又は凹部(10)を満たすようにして導き入れられた流動性樹脂(26)が硬化して各々形成された硬化樹脂(28)からなるレンズ部(30)と、硬化樹脂(28)からなりレンズ部(30)同士の間を連通する連通部(31)を押圧して仮固定治具(14)から封止済基板(29)を突き出すことによってレンズ部(30)の周囲において連通部(31)から分離されて形成された側壁部(35)、又は、連通部(31)が分離して形成された側壁部(35)とを備えることを特徴とする。   The optoelectronic component according to the present invention includes a substrate body (2) having a plurality of regions (7), a reflecting member (8) formed in each of the plurality of regions (7) and having a through hole or a recess (10). The optical element (13) is composed of one or a plurality of optical elements (13) mounted on the bottom surface (11) of the substrate body (2) or the recess (10) in the through hole and the cured resin (28). After the sealed substrate (29) having the sealing resin (28) to be formed is formed, it is an optoelectronic component manufactured from the sealed substrate (29) so as to correspond to each of the reflecting members (8). In the state where the reflecting member (8) is fitted in the opening (15) provided in the temporary fixing jig (14), the temporary fixing jig (14) is a fluid resin on the side where the optical element (13) is exposed. At least fill the through hole or recess (10) by being immersed in (26) Between the lens part (30) made of the cured resin (28) and the lens part (30) made of the cured resin (28) formed by curing the flowable resin (26) thus introduced. The communication portion (31) that communicates with each other is pressed and the sealed substrate (29) is protruded from the temporary fixing jig (14) to be separated from the communication portion (31) around the lens portion (30). The side wall portion (35) or the side wall portion (35) formed separately from the communication portion (31) is provided.

また、本発明に係る光電子部品は、上述の光電子部品において、連通部(31)はレンズ部(30)の全周にわたって形成されたことを特徴とする。   The optoelectronic component according to the present invention is characterized in that, in the above-described optoelectronic component, the communication portion (31) is formed over the entire circumference of the lens portion (30).

また、本発明に係る光電子部品は、上述の光電子部品において、連通部(31)はレンズ部(30)の周囲において部分的に形成されたことを特徴とする。   The optoelectronic component according to the present invention is characterized in that, in the above-described optoelectronic component, the communication portion (31) is partially formed around the lens portion (30).

また、本発明に係る光電子部品は、上述の光電子部品において、複数の領域(7)の一部からなる複数の領域(7)に各々相当することを特徴とする。   The optoelectronic component according to the present invention is characterized in that, in the above-described optoelectronic component, each corresponds to a plurality of regions (7) including a part of the plurality of regions (7).

また、本発明に係る光電子部品(38)は、上述の光電子部品において、複数の領域(7)に含まれる各々の領域(7)に相当することを特徴とする。   The optoelectronic component (38) according to the present invention corresponds to each of the regions (7) included in the plurality of regions (7) in the above-described optoelectronic component.

本発明によれば、仮固定治具(14)を使用することにより、封止前基板(1)の搬送から樹脂封止後までの各工程において、封止前基板(1)と封止済基板(29)とについて搬送、位置合わせ等の取扱いを容易に行うことができる。これにより、封止前基板(1)と封止済基板(29)とを容易に取り扱って高い生産性で光電子部品を製造することができる。   According to the present invention, by using the temporary fixing jig (14), the pre-sealing substrate (1) and the sealed substrate are sealed in each step from the conveyance of the pre-sealing substrate (1) to after the resin sealing. Handling such as conveyance and alignment with the substrate (29) can be easily performed. Thus, the pre-sealing substrate (1) and the sealed substrate (29) can be easily handled to produce an optoelectronic component with high productivity.

図1(1)は本発明において使用される封止前基板を示す平面図、図1(2)は図1(1)に示された封止前基板をA−A線に沿って示す断面図である。1 (1) is a plan view showing a pre-sealing substrate used in the present invention, and FIG. 1 (2) is a cross section showing the pre-sealing substrate shown in FIG. 1 (1) along the line AA. FIG. 図2(1)〜(3)は、本発明の実施例1において、封止前基板とキャリアとを位置合わせする工程と、封止前基板がはめ込まれたキャリアを下型の上方に配置する工程と、流動性樹脂にLEDチップを浸す工程の直前の状態とを、それぞれ示す断面図である。2 (1) to 2 (3) show a step of aligning the pre-sealing substrate and the carrier in Example 1 of the present invention, and disposing the carrier in which the pre-sealing substrate is inserted above the lower mold. It is sectional drawing which shows a process and the state just before the process of immersing an LED chip in fluid resin, respectively. 図3(1)〜(3)は、流動性樹脂にLEDチップを浸す工程から封止済基板を取り出す工程までをそれぞれ示す断面図である。3 (1) to 3 (3) are cross-sectional views respectively showing the process from the step of immersing the LED chip in the fluid resin to the step of taking out the sealed substrate. 図4(1)〜(3)は封止済基板を突き出す工程から封止済基板を個片化する工程までをそれぞれ示す断面図である。4 (1) to 4 (3) are cross-sectional views respectively showing the process from the process of protruding the sealed substrate to the process of separating the sealed substrate. 図5(1)〜(3)は反射部材とLEDチップとがリードフレームに設けられた状態と、封止済基板と、封止済基板がLEDパッケージに個片化された状態とをそれぞれ示す部分平面図であり、図5(4)は図5(3)に示されたLEDパッケージの正面断面図である。FIGS. 5 (1) to (3) show a state where the reflecting member and the LED chip are provided on the lead frame, a sealed substrate, and a state where the sealed substrate is separated into LED packages, respectively. FIG. 5 (4) is a front sectional view of the LED package shown in FIG. 5 (3). 図6は、本発明の実施例2において離型フィルムを使用して樹脂封止する場合を説明する断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the case of resin sealing using a release film in Example 2 of the present invention. 図7は、本発明の実施例3において離型フィルムと樹脂溜まりとを使用して樹脂封止する場合を説明する断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the case of resin sealing using a release film and a resin reservoir in Example 3 of the present invention.

まず、図2(1)に示すように、キャリア14の開口15に封止前基板1の反射部材8をはめ込むことによって、キャリア14に封止前基板1をはめ込む。次に、図2(2)及び(3)に示すように、封止前基板1がはめ込まれたキャリア14を上型18に固定した状態で、下型17と上型18とを型締めする。このことによって、図3(1)に示すように、封止前基板1に装着された複数のLEDチップ13を、キャビティ19(図2(2)参照)に満たされた流動性樹脂26に浸す(浸漬する)。次に、流動性樹脂26を硬化させて硬化樹脂28を形成する。このことによって、図3(2)に示すように、封止前基板1に装着された複数のLEDチップ13を一括して樹脂封止する。次に、図3(2)〜図4(2)に示すように、下型17と上型18とを型開きして、封止済基板29がはめ込まれたキャリア14を取り出し、キャリア14から封止済基板29を突き出す。次に、図4(2)〜(3)に示すように、突き出された封止済基板29を切断する。このことによって、封止済基板29を、各LEDチップ13にそれぞれ相当する複数のLEDパッケージ38に個片化する。   First, as shown in FIG. 2A, the pre-sealing substrate 1 is fitted into the carrier 14 by fitting the reflecting member 8 of the pre-sealing substrate 1 into the opening 15 of the carrier 14. Next, as shown in FIGS. 2 (2) and (3), the lower mold 17 and the upper mold 18 are clamped in a state where the carrier 14 in which the substrate 1 before sealing is fitted is fixed to the upper mold 18. . As a result, as shown in FIG. 3 (1), the plurality of LED chips 13 mounted on the pre-sealing substrate 1 are immersed in the fluid resin 26 filled in the cavity 19 (see FIG. 2 (2)). (Immerse). Next, the fluid resin 26 is cured to form a cured resin 28. As a result, as shown in FIG. 3B, the plurality of LED chips 13 mounted on the pre-sealing substrate 1 are collectively resin-sealed. Next, as shown in FIGS. 3 (2) to 4 (2), the lower mold 17 and the upper mold 18 are opened, and the carrier 14 in which the sealed substrate 29 is fitted is taken out. The sealed substrate 29 is protruded. Next, as shown in FIGS. 4 (2) to (3), the protruding sealed substrate 29 is cut. As a result, the sealed substrate 29 is separated into a plurality of LED packages 38 corresponding to the respective LED chips 13.

本発明に係る光電子部品の製造方法、製造装置、及び、光電子部品に関する実施例1について、図1〜図5を参照して説明する。なお、以下に示されるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。また、以下の説明では、基板本体としてリードフレームを例に挙げて説明する。   Example 1 relating to a method of manufacturing an optoelectronic component, a manufacturing apparatus, and an optoelectronic component according to the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, in order to make it easy to understand, all the drawings shown below are schematically omitted or exaggerated as appropriate. In the following description, a lead frame will be described as an example of the substrate body.

図1に示された封止前基板1はリードフレーム2を有する。リードフレーム2には、外枠3と、X方向及びY方向にそれぞれ沿って延びる連結部4、5と、仮想線6によって格子状に仕切られた複数の領域7とが設けられている。封止前基板1は、複数の反射部材8を有する。複数の反射部材8は、各領域7においてそれぞれ設けられている。反射部材8は、射出成形、トランスファ成形、圧縮成形等の方法によって予めリードフレーム2に形成されており、光の反射及び放熱のためのフィラーが含まれる熱硬化性樹脂によって構成されている。反射部材8は、上面9と凹部10と底面11と斜面12とを有する。なお、反射部材8において凹部10に代えて貫通孔を設け、その貫通孔の部分において露出するリードフレーム2の面を底面11(図1(2)参照)に相当する面としてもよい。   A substrate 1 before sealing shown in FIG. 1 has a lead frame 2. The lead frame 2 is provided with an outer frame 3, connecting portions 4 and 5 extending along the X direction and the Y direction, respectively, and a plurality of regions 7 partitioned in a lattice shape by virtual lines 6. The substrate 1 before sealing includes a plurality of reflecting members 8. A plurality of reflecting members 8 are provided in each region 7. The reflecting member 8 is formed on the lead frame 2 in advance by a method such as injection molding, transfer molding, compression molding, or the like, and is made of a thermosetting resin containing a filler for reflecting and radiating light. The reflecting member 8 has an upper surface 9, a recess 10, a bottom surface 11, and a slope 12. Note that a through hole may be provided in the reflecting member 8 instead of the recess 10 and the surface of the lead frame 2 exposed at the through hole may be a surface corresponding to the bottom surface 11 (see FIG. 1B).

封止前基板1は、複数のLEDチップ13を有する。複数のLEDチップ13は、各領域7における底面11にそれぞれ装着されている。各反射部材8の底面11と斜面12とは、各LEDチップ13が生成した光を反射する機能を有する。LEDチップ13の電極(図示なし)とリードフレーム2のリード(図示なし)とは、電気的に接続されている。この接続は、ワイヤボンディング、フリップチップボンディング等の周知の方法によって行われる。   The substrate 1 before sealing has a plurality of LED chips 13. The plurality of LED chips 13 are respectively attached to the bottom surface 11 in each region 7. The bottom surface 11 and the inclined surface 12 of each reflecting member 8 have a function of reflecting the light generated by each LED chip 13. An electrode (not shown) of the LED chip 13 and a lead (not shown) of the lead frame 2 are electrically connected. This connection is performed by a known method such as wire bonding or flip chip bonding.

本実施例に係る光電子部品の製造方法を、図2〜図5を参照して説明する。まず、図2(1)に示すように、図1に示された封止前基板1と、その封止前基板1がはめ込まれるキャリア(仮固定治具)14とを準備する。   A method of manufacturing the optoelectronic component according to this embodiment will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 2A, the pre-sealing substrate 1 shown in FIG. 1 and a carrier (temporary fixing jig) 14 into which the pre-sealing substrate 1 is fitted are prepared.

キャリア14は、封止前基板1の反射部材8がはめ込まれる開口15と、開口15の周縁に設けられた薄板状の押え部16とを有する。押え部16は、反射部材8が開口15にはめ込まれた状態において、反射部材8の上面9(図では下側の面)における外縁を押さえる(図2(2)参照)。   The carrier 14 has an opening 15 into which the reflecting member 8 of the substrate 1 before sealing is fitted, and a thin plate-like pressing portion 16 provided on the periphery of the opening 15. The pressing portion 16 presses the outer edge of the upper surface 9 (lower surface in the drawing) of the reflecting member 8 in a state where the reflecting member 8 is fitted in the opening 15 (see FIG. 2B).

次に、光電子部品の製造装置の受入手段(図示なし)に、封止前基板1とキャリア14とを受け入れる。その後に、図2(1)に示すように、平面視してキャリア14の開口15と封止前基板1の反射部材8とが重なるように、キャリア14と封止前基板1とを位置合わせする。   Next, the pre-sealing substrate 1 and the carrier 14 are received by a receiving means (not shown) of the optoelectronic component manufacturing apparatus. Thereafter, as shown in FIG. 2A, the carrier 14 and the pre-sealing substrate 1 are aligned so that the opening 15 of the carrier 14 and the reflecting member 8 of the pre-sealing substrate 1 overlap in plan view. To do.

次に、図2(1)、(2)に示すように、キャリア14の開口15に封止前基板1の反射部材8をはめ込む。このことによって、キャリア14に封止前基板1をはめ込む。   Next, as shown in FIGS. 2 (1) and (2), the reflecting member 8 of the substrate 1 before sealing is fitted into the opening 15 of the carrier 14. As a result, the pre-sealing substrate 1 is fitted into the carrier 14.

次に、図2(2)に示された相対向する下型17と上型18との間に、封止前基板1が有する反射部材8が開口15(図2(1)参照)にはめ込まれた状態のキャリア14を搬入する。その後に、図2(2)に示すように、封止前基板1の反射部材8が開口15にはめ込まれた状態で、キャリア14を上型18の所定の位置に固定する。固定する手段としては、治具によるクランプ、吸着等の周知の手段を使用する。   Next, the reflecting member 8 of the substrate 1 before sealing is fitted into the opening 15 (see FIG. 2 (1)) between the opposing lower mold 17 and upper mold 18 shown in FIG. 2 (2). The loaded carrier 14 is carried in. Thereafter, as shown in FIG. 2B, the carrier 14 is fixed at a predetermined position of the upper mold 18 in a state where the reflection member 8 of the substrate 1 before sealing is fitted into the opening 15. As means for fixing, well-known means such as clamping with a jig and suction are used.

下型17は、キャビティ19が形成されているキャビティブロック20を有する。キャビティ19は、流動性樹脂(図2(3)に示された流動性樹脂26を参照)によって満たされる空間の全体である。また、下型17は、キャビティブロック20の周囲に設けられた周辺部材21を有する。キャビティブロック20の型面(上面)22と周辺部材21の内側面23とによって、キャビティ19が形成される。周辺部材21は、コイルばね、皿ばね等からなる弾性部材24によって支持されている。周辺部材21は、キャビティ19を構成する中間型としても機能する。   The lower mold 17 has a cavity block 20 in which a cavity 19 is formed. The cavity 19 is the entire space filled with the fluid resin (see the fluid resin 26 shown in FIG. 2 (3)). The lower mold 17 includes a peripheral member 21 provided around the cavity block 20. A cavity 19 is formed by the mold surface (upper surface) 22 of the cavity block 20 and the inner surface 23 of the peripheral member 21. The peripheral member 21 is supported by an elastic member 24 composed of a coil spring, a disc spring, or the like. The peripheral member 21 also functions as an intermediate mold that constitutes the cavity 19.

キャビティ19は、それぞれ凹部からなる複数の副キャビティ25を有する。複数の副キャビティ25は、封止前基板1の各領域7における底面11にそれぞれ装着されたLEDチップ13に、それぞれ対応する。キャリア14を上型18に固定する際に、封止前基板1に装着されたLEDチップ13と下型17に設けられた副キャビティ25とが位置合わせされる。   The cavity 19 has a plurality of subcavities 25 each formed of a recess. The plurality of subcavities 25 respectively correspond to the LED chips 13 mounted on the bottom surface 11 in each region 7 of the substrate 1 before sealing. When the carrier 14 is fixed to the upper mold 18, the LED chip 13 mounted on the pre-sealing substrate 1 and the subcavity 25 provided in the lower mold 17 are aligned.

次に、図2(2)に示された副キャビティ25を含むキャビティ19に樹脂材料(図示なし)を供給する。形態という観点から、樹脂材料として、粉状、顆粒状、粒状、塊状、シート状等の固形材料、又は、常温で流動性を有する液状樹脂を使用することができる。特性及び樹脂の種類という観点から、樹脂材料として、透光性を有する熱硬化性樹脂、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等を使用することができる。   Next, a resin material (not shown) is supplied to the cavity 19 including the subcavity 25 shown in FIG. From the viewpoint of form, as the resin material, a solid material such as powder, granule, granule, lump, and sheet, or a liquid resin having fluidity at room temperature can be used. From the viewpoint of characteristics and resin types, a thermosetting resin having translucency, such as an epoxy resin or a silicone resin, can be used as the resin material.

次に、下型17に設けられたヒータ(図示なし)によって樹脂材料を加熱する。樹脂材料として固形材料を使用した場合には、図2(2)と図2(3)とに示すように、キャビティ19において樹脂材料を溶融させて流動性樹脂26を生成する。樹脂材料として液状樹脂を使用した場合には、キャビティ19に液状樹脂を注入する。この場合には、注入された液状樹脂自体が流動性樹脂26である。これらのことにより、流動性樹脂26によってキャビティ19を満たされた状態にする。   Next, the resin material is heated by a heater (not shown) provided in the lower mold 17. When a solid material is used as the resin material, as shown in FIGS. 2 (2) and 2 (3), the resin material is melted in the cavity 19 to generate the fluid resin 26. When a liquid resin is used as the resin material, the liquid resin is injected into the cavity 19. In this case, the injected liquid resin itself is the fluid resin 26. As a result, the cavity 19 is filled with the fluid resin 26.

次に、図2(3)に示すように、下型17と上型18とを相対的に近づけることによって、下型17と上型18とを型締めする工程を行う。図2(3)には上型18を下降させる例を示す。下型17と上型18とを型締めする工程において、キャリア14と周辺部材21とを接触させる。   Next, as shown in FIG. 2 (3), the lower mold 17 and the upper mold 18 are clamped by relatively lowering the lower mold 17 and the upper mold 18. FIG. 2 (3) shows an example in which the upper mold 18 is lowered. In the process of clamping the lower mold 17 and the upper mold 18, the carrier 14 and the peripheral member 21 are brought into contact with each other.

次に、図2(3)と図3(1)とに示すように、引き続き上型18を下降させることによって、下型17と上型18とを完全に型締めする。この段階において、図3(1)に示された各反射部材8の下面及びキャリア14の下面と、キャビティブロック20の型面(上面)22と、周辺部材21の内側面23とによって、最終的なキャビティ19が形成される(図2(2)参照)。下型17と上型18とを完全に型締めすることにより、流動性樹脂26によって満たされたキャビティ19(副キャビティ25(図2(2)参照)を含む。以下同じ。)において、流動性樹脂26に各LEDチップ13を浸す(浸漬する)。   Next, as shown in FIG. 2 (3) and FIG. 3 (1), the lower mold 17 and the upper mold 18 are completely clamped by continuously lowering the upper mold 18. At this stage, the lower surface of each reflecting member 8 and the lower surface of the carrier 14, the mold surface (upper surface) 22 of the cavity block 20, and the inner surface 23 of the peripheral member 21 shown in FIG. A cavity 19 is formed (see FIG. 2 (2)). By completely clamping the lower mold 17 and the upper mold 18, the fluidity in the cavity 19 (including the sub-cavity 25 (see FIG. 2 (2)) filled with the fluid resin 26. Each LED chip 13 is immersed (immersed) in the resin 26.

ここで、下型17と上型18とからなる成形型の構成について説明する。下型17と上型18との少なくともいずれかに、下型17と上型18とが完全に型締めした状態において副キャビティ25同士を連通する空間、すなわち連通路27(図3(1)を参照)を意図的に設ける。本実施例では、各副キャビティ25の周囲における一部分に、隣接する副キャビティ25に連通する連通路27を設ける。連通路27の高さは、副キャビティ25同士の間を流動性樹脂26が流動することができる範囲内においてできるだけ小さい(低い)ことが好ましい。   Here, the configuration of a molding die composed of the lower die 17 and the upper die 18 will be described. In at least one of the lower mold 17 and the upper mold 18, a space in which the sub cavities 25 communicate with each other in a state where the lower mold 17 and the upper mold 18 are completely clamped, that is, a communication path 27 (FIG. 3 (1)) is provided. Reference) is intentionally provided. In the present embodiment, a communication passage 27 communicating with the adjacent subcavity 25 is provided in a part of the periphery of each subcavity 25. The height of the communication passage 27 is preferably as small (low) as possible within a range in which the fluid resin 26 can flow between the sub-cavities 25.

さて、図3(1)に示すように、流動性樹脂26に各LEDチップ13を浸す工程において、連通路27によって流動性樹脂26を流動させる。したがって、それぞれの副キャビティ25に流動性樹脂26を均一に満たすことができる。   Now, as shown in FIG. 3 (1), in the step of immersing each LED chip 13 in the fluid resin 26, the fluid resin 26 is caused to flow through the communication path 27. Therefore, each subcavity 25 can be filled with the fluid resin 26 uniformly.

次に、図3(1)に示された状態において、引き続き流動性樹脂26を加熱する。このことによって、図3(1)と図3(2)とに示すように、流動性樹脂26を硬化させて硬化樹脂28を形成する。硬化樹脂28が、LEDチップ13を樹脂封止する封止樹脂に相当する。これにより、リードフレーム2と反射部材8とLEDチップ13と硬化樹脂28とを有する封止済基板(樹脂封止体)29が形成される。封止済基板29は、反射部材8がキャリア14にはめ込まれた状態で形成され、その状態で上型18に固定されている。その後に、上型18を上昇させることによって、下型(図示なし)と上型18とを完全に型開きする。   Next, in the state shown in FIG. 3A, the fluid resin 26 is continuously heated. As a result, as shown in FIG. 3A and FIG. 3B, the fluid resin 26 is cured to form a cured resin 28. The cured resin 28 corresponds to a sealing resin for resin-sealing the LED chip 13. Thereby, a sealed substrate (resin sealing body) 29 having the lead frame 2, the reflecting member 8, the LED chip 13, and the cured resin 28 is formed. The sealed substrate 29 is formed in a state where the reflecting member 8 is fitted in the carrier 14 and is fixed to the upper mold 18 in that state. Thereafter, the upper mold 18 is raised to completely open the lower mold (not shown) and the upper mold 18.

図3(2)に示されているように、封止済基板29は、それぞれ硬化樹脂28からなる凸状のレンズ部30と薄板状の連通部31とを有する。レンズ部30は、副キャビティ25(図2(2)参照)においてそれぞれ形成された硬化樹脂28によって構成される。連通部31は、連通路27(図3(1)参照)において形成された硬化樹脂28によって構成される。   As shown in FIG. 3 (2), the sealed substrate 29 has a convex lens portion 30 and a thin plate-like communication portion 31 each made of a cured resin 28. The lens unit 30 is composed of a cured resin 28 formed in each of the sub cavities 25 (see FIG. 2B). The communication part 31 is comprised by the cured resin 28 formed in the communication path 27 (refer FIG. 3 (1)).

次に、図3(2)に示された状態から、キャリア14にはめ込まれた封止済基板29が上型18に固定されている状態を解除する。適当な取出手段(図示なし)を使用して、キャリア14にはめ込まれた封止済基板29を上型18から取り出す。これによって、図3(3)に示すように、キャリア14にはめ込まれた封止済基板29が得られる。   Next, from the state shown in FIG. 3 (2), the state where the sealed substrate 29 fitted in the carrier 14 is fixed to the upper mold 18 is released. The sealed substrate 29 fitted in the carrier 14 is taken out from the upper mold 18 using an appropriate taking-out means (not shown). As a result, as shown in FIG. 3 (3), a sealed substrate 29 fitted into the carrier 14 is obtained.

次に、図4(1)に示すように、キャリア14にはめ込まれた封止済基板29を、固定治具32の上に載せる。その後に、突き出し手段33を使用して封止済基板29を(詳細にいえば封止済基板29の連通部31を)突き出すことによって、キャリア14から封止済基板29を突き出す。   Next, as shown in FIG. 4A, the sealed substrate 29 fitted into the carrier 14 is placed on the fixing jig 32. Thereafter, the sealed substrate 29 is ejected from the carrier 14 by projecting the sealed substrate 29 (specifically, the communicating portion 31 of the sealed substrate 29) using the projecting means 33.

突き出し手段33は、封止済基板29のレンズ部30にそれぞれ対応する円筒部34を有する。円筒部34は、平面視してレンズ部30を含み、レンズ部30よりもわずかに大きな平面寸法を有する。   The protruding means 33 has cylindrical portions 34 respectively corresponding to the lens portions 30 of the sealed substrate 29. The cylindrical portion 34 includes the lens portion 30 in plan view, and has a slightly larger planar dimension than the lens portion 30.

図4(1)に示す状態において円筒部34が封止済基板29を突き出すことによって、図4(2)に示すように封止済基板29においてレンズ部30と連通部31とが、又は、レンズ部30の近傍における連通部31が分離する。これにより、レンズ部30において連通部31から分離した部分、又は、レンズ部30の近傍において連通部31が分離した部分には、側壁部35が形成される。   In the state shown in FIG. 4 (1), the cylindrical portion 34 protrudes the sealed substrate 29, so that the lens portion 30 and the communication portion 31 in the sealed substrate 29 as shown in FIG. The communication part 31 in the vicinity of the lens part 30 is separated. Thereby, the side wall part 35 is formed in the part isolate | separated from the communication part 31 in the lens part 30, or the part which the communication part 31 isolate | separated in the vicinity of the lens part 30.

次に、図4(2)、(3)に示すように、側壁部35を有する封止済基板29をステージ(図示なし)の上に固定した後に、回転刃36を使用して所定の切断線37に沿って封止済基板29を切断する(フルカットする)。このことによって、図4(2)に示された封止済基板29をLEDパッケージ38に個片化する。最終製品であるLEDパッケージ38は、基板2(図4(1)参照)が個片化された部分に相当する基板部(図示なし)と、反射部材8と、LEDチップ13と、レンズ部30と、側壁部35とを有する。   Next, as shown in FIGS. 4 (2) and (3), after the sealed substrate 29 having the side wall portion 35 is fixed on a stage (not shown), a predetermined cutting is performed using the rotary blade 36. The sealed substrate 29 is cut along the line 37 (full cut). As a result, the sealed substrate 29 shown in FIG. 4B is separated into LED packages 38. The LED package 38 as a final product includes a substrate portion (not shown) corresponding to a part obtained by dividing the substrate 2 (see FIG. 4A), the reflecting member 8, the LED chip 13, and the lens portion 30. And a side wall portion 35.

図5(1)に、図2(2)に示された封止前基板1とキャリア14とキャビティブロック20との平面的な位置関係を示す。図5(1)において、一点鎖線はキャビティ19(図2(2)参照)を構成する線を、破線はキャリア14の押え部16の内縁(図2(1)参照)を、それぞれ示す。図5(2)に、封止済基板29の部分的な平面形状を示す。
図5(3)、(4)に、個片化された後におけるLEDパッケージ38を、それぞれ平面図及び正面断面図として示す。本実施例においては、下型17のキャビティブロック20において、X方向とY方向とに互いに隣接する副キャビティ25同士を連通する連通路27を形成した。それらの連通路27は、X方向とY方向とにそれぞれ添う線分状の平面形状を有する。
FIG. 5A shows a planar positional relationship among the pre-sealing substrate 1, the carrier 14 and the cavity block 20 shown in FIG. In FIG. 5A, the alternate long and short dash line indicates a line constituting the cavity 19 (see FIG. 2B), and the broken line indicates the inner edge of the holding portion 16 of the carrier 14 (see FIG. 2A). FIG. 5B shows a partial planar shape of the sealed substrate 29.
5 (3) and 5 (4) show the LED package 38 after being singulated as a plan view and a front sectional view, respectively. In the present embodiment, in the cavity block 20 of the lower mold 17, a communication passage 27 that connects the sub-cavities 25 adjacent to each other in the X direction and the Y direction is formed. These communication passages 27 have line-shaped planar shapes that respectively follow the X direction and the Y direction.

なお、本出願書類においては、複数の領域7全体の最も外側に位置する領域7から更に外側に延びる通路(隣接する副キャビティ25が存在しない通路)も連通路27に含むものとする。例えば、図3(1)において最も左側に示された領域7から更に左側に延びる通路も連通路27に含まれる。   In the present application document, the communication passage 27 includes a passage extending further outward from the outermost region 7 of the entire plurality of regions 7 (passage in which no adjacent subcavity 25 exists). For example, the communication passage 27 includes a passage extending further leftward from the region 7 shown on the leftmost side in FIG.

以上説明したように、本実施例によれば、キャリア14を使用することにより、封止前基板1の搬送から樹脂封止後までの各工程において、封止前基板1と封止済基板29とについて搬送、位置合わせ等の取扱いを容易に行うことができる。これにより、封止前基板1と封止済基板29とを容易に取り扱って高い生産性でLEDパッケージ38を製造することができる。   As described above, according to the present embodiment, by using the carrier 14, the pre-sealing substrate 1 and the sealed substrate 29 are used in each process from the conveyance of the pre-sealing substrate 1 to after the resin sealing. Handling and positioning can be easily performed. Accordingly, the LED package 38 can be manufactured with high productivity by easily handling the pre-sealing substrate 1 and the sealed substrate 29.

また、本実施例によれば、下型17と上型18との少なくともいずれかに、下型17と上型18とが完全に型締めした状態において副キャビティ25同士を連通する連通路27を意図的に設ける。これにより、流動性樹脂26に各LEDチップ13を浸す工程において、連通路27によって流動性樹脂26を流動させる。したがって、各副キャビティ25に流動性樹脂26を均一に満たすことができる。このことにより、各領域7(図3(3)参照)において形成されるレンズ部30及び連通部31の寸法・形状を均一に近づけることができる。   In addition, according to the present embodiment, the communication path 27 for communicating the sub cavities 25 with each other in a state where the lower mold 17 and the upper mold 18 are completely clamped is provided in at least one of the lower mold 17 and the upper mold 18. Intentionally provided. Thereby, in the process of immersing each LED chip 13 in the fluid resin 26, the fluid resin 26 is caused to flow through the communication path 27. Accordingly, each subcavity 25 can be filled with the fluid resin 26 uniformly. As a result, the size and shape of the lens portion 30 and the communication portion 31 formed in each region 7 (see FIG. 3C) can be made closer to each other.

また、本実施例によれば、連通路27の高さを、副キャビティ25同士の間を流動性樹脂26が流動することができる範囲内においてできるだけ小さくする。これにより、連通部31を薄く形成する。したがって、キャリア14から封止済基板29を円滑に突き出すことができる。このことにより、内壁部35において優れた外観品位を有するLEDパッケージ38を製造することができる。   Further, according to the present embodiment, the height of the communication path 27 is made as small as possible within the range in which the fluid resin 26 can flow between the sub-cavities 25. Thereby, the communication part 31 is formed thinly. Therefore, the sealed substrate 29 can be smoothly protruded from the carrier 14. As a result, the LED package 38 having excellent appearance quality in the inner wall portion 35 can be manufactured.

なお、封止済基板29を切断する工程では、回転刃36の他、レーザ光、ワイヤソー、バンドソー、ウォータージェット等を使用してもよい。また、図4(3)に示されたフルカットの他、封止済基板29の切断線37において厚さ方向に溝を形成した後に(ハーフカットした後に)、封止済基板29に外力を加えることによって封止済基板29をLEDパッケージ38に個片化することもできる。   In the step of cutting the sealed substrate 29, a laser beam, a wire saw, a band saw, a water jet or the like may be used in addition to the rotary blade 36. In addition to the full cut shown in FIG. 4 (3), an external force is applied to the sealed substrate 29 after forming a groove in the thickness direction at the cutting line 37 of the sealed substrate 29 (after half-cutting). In addition, the sealed substrate 29 can be separated into LED packages 38.

以下、切断の態様として、X方向×Y方向における領域7の構成が16×16である場合を例に挙げて説明する。本実施例では、1個の領域7からなるLEDパッケージ38について説明した。本実施例で説明したように1個の領域7を単位として個片化する場合には、1個の領域7からなるLEDパッケージ38を、256(=16×16)個製造することができる。   Hereinafter, a case where the configuration of the region 7 in the X direction × Y direction is 16 × 16 will be described as an example of cutting. In the present embodiment, the LED package 38 including one region 7 has been described. As described in the present embodiment, when a single region 7 is used as a unit, 256 (= 16 × 16) LED packages 38 each having a single region 7 can be manufactured.

複数の領域7のうちの一部(一部分)からなる複数の領域7を単位にして個片化する場合には、その一部からなる複数の領域7によって構成されるLEDパッケージを製造することができる。一例として、その一部からなる複数の領域7の構成が4×4(=16)である場合には、その16個の領域7からなりマトリックス状かつ面状の光源を有するLEDパッケージを、16個製造することができる。別の例として、その一部からなる複数の領域7の構成が1×8(=8)である場合には、その8個の領域7からなり列状の光源を有するLEDパッケージを、32個製造することができる。   When a plurality of regions 7 composed of a part (a part) of the plurality of regions 7 are divided into units, an LED package constituted by a plurality of regions 7 composed of a part thereof can be manufactured. it can. As an example, when the configuration of the plurality of regions 7 consisting of a part thereof is 4 × 4 (= 16), an LED package comprising the 16 regions 7 and having a matrix-like and planar light source is obtained. Can be manufactured individually. As another example, in the case where the configuration of the plurality of regions 7 made of a part thereof is 1 × 8 (= 8), 32 LED packages each having the light source in a row formed of the eight regions 7 are provided. Can be manufactured.

更に別の例として、16×16の構成を有する複数の領域7の外縁における切断線において封止済基板29を切断して、それらの切断線の外側に位置する不要な部分を廃棄することもできる。この場合には、256(=16×16)個の領域7からなりマトリックス状かつ面状の光源を有するLEDパッケージを、1個製造することができる。この場合には、複数の領域7全体の最も外側に位置する領域7から更に外側に延びる連通路27において、複数の領域7全体を含む平面形状を有する角筒状の突き出し手段33を使用して封止済基板29を突き出してもよい。これにより、封止済基板29から連通路27を分離して、256個の領域7からなりマトリックス状かつ面状の光源を有するLEDパッケージを、1個製造することができる。   As still another example, the sealed substrate 29 may be cut along cutting lines at the outer edges of the plurality of regions 7 having a 16 × 16 configuration, and unnecessary portions located outside the cutting lines may be discarded. it can. In this case, one LED package having 256 (= 16 × 16) regions 7 and having a matrix-like and planar light source can be manufactured. In this case, in the communication passage 27 extending further outward from the outermost region 7 of the entire plurality of regions 7, the rectangular tube-like projecting means 33 having a planar shape including the entire plurality of regions 7 is used. The sealed substrate 29 may be protruded. Thereby, the communication path 27 is separated from the sealed substrate 29, and one LED package having 256 regions 7 and having a matrix-like and planar light source can be manufactured.

また、本実施例では、下型17のキャビティブロック20において、互いに隣接する副キャビティ25同士を連通させる連通路27が、X方向とY方向とにそれぞれ添う線分状の平面形状を有することとした。これに限らず、斜め方向に隣接する副キャビティ25同士を連結させる連通路27を形成してもよい。それらの連通路27は、「X」状の平面形状を有する。連通路27の平面形状を、X方向とY方向とにそれぞれ添う線分状、又は、「X」状にして、各レンズ部30同士を部分的に連通させることによって、レンズ部30と連通部31とを容易に分離することができる。   Further, in the present embodiment, in the cavity block 20 of the lower mold 17, the communication passage 27 that communicates between the sub-cavities 25 adjacent to each other has a line-shaped planar shape that follows the X direction and the Y direction, respectively. did. Not only this but the communicating path 27 which connects the subcavities 25 which adjoin diagonally may be formed. Those communication passages 27 have a planar shape of “X” shape. The planar shape of the communication path 27 is a line segment that follows the X direction and the Y direction, or “X”, and the lens portions 30 and the communication portion are partially communicated with each other. 31 can be easily separated.

また、隣接する副キャビティ25同士を、各副キャビティ25の周囲の全ての部分において連通させてもよい。この場合には、各レンズ部30同士が、各レンズ部30の周囲の全ての部分において連通路27によって連通される。この場合においても、連通路27の高さを小さく(低く)形成することによって、すなわち、連通部31を薄く形成することによって、レンズ部30と連通部31とを容易に分離することができる。   Further, the adjacent sub cavities 25 may be communicated with each other in all portions around each sub cavity 25. In this case, the lens units 30 communicate with each other through the communication path 27 in all the portions around the lens units 30. Also in this case, the lens portion 30 and the communication portion 31 can be easily separated by forming the communication passage 27 to be small (low), that is, by forming the communication portion 31 thin.

また、本実施例では、1個の領域7に1個のLEDチップ13が装着された例を説明した。これに限らず、1個の領域7に複数個のLEDチップ13が装着された場合においても、本発明を適用することができる。第1の場合として、1個の反射部材8が有する1個の凹部10において、底面11に複数個のLEDチップ13を装着することができる。第2の場合として、1個の反射部材8が有する複数個の凹部10のそれぞれにおいて、各底面11にそれぞれ1個のLEDチップ13を装着することができる。それらの2つの場合において、例えば、LEDチップ13としてそれぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の光を生成するLEDチップ13を1個ずつ使用すれば、それら3種類の光が合成された白色光を生成する1個のLEDパッケージ38を製造することができる。   In this embodiment, an example in which one LED chip 13 is mounted in one region 7 has been described. The present invention is not limited to this, and the present invention can also be applied to the case where a plurality of LED chips 13 are mounted in one region 7. In the first case, a plurality of LED chips 13 can be mounted on the bottom surface 11 in one recess 10 of one reflecting member 8. As a second case, one LED chip 13 can be mounted on each bottom surface 11 in each of the plurality of recesses 10 included in one reflection member 8. In these two cases, for example, if one LED chip 13 that generates red (R), green (G), and blue (B) light is used as the LED chip 13, one of these three types of light is generated. One LED package 38 that produces synthesized white light can be manufactured.

以下、本発明の実施例2を、図6を参照して説明する。本実施例においては、図6に示すように、キャビティ19の全体を構成する型面39に離型フィルム40を密着させた状態で、流動性樹脂26によってキャビティ19を満たされた状態にする。型面39は、図2(2)に示されたキャビティブロック20の型面(上面)22と周辺部材21の内側面23とによって、構成される。   A second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the cavity 19 is filled with the fluid resin 26 while the release film 40 is in close contact with the mold surface 39 constituting the entire cavity 19. The mold surface 39 is constituted by the mold surface (upper surface) 22 of the cavity block 20 and the inner surface 23 of the peripheral member 21 shown in FIG.

下型17の側における周辺部材21の外側において、フィルム送り出しロールとフィルム巻き取りロールとからなるフィルム供給手段(図示なし)が設けられている。また、下型17の側における周辺部材21の外側において、昇降自在なフィルム押さえ部材41が上側に、フィルム支持部材42が下側に、相対向して設けられている。フィルム支持部材42は、コイルばね等からなる弾性部材43によって支持されている。フィルム支持部材42の外側には、枠状部材44が設けられている。   On the outer side of the peripheral member 21 on the lower mold 17 side, a film supply means (not shown) including a film feed roll and a film take-up roll is provided. Further, on the outer side of the peripheral member 21 on the lower mold 17 side, a film pressing member 41 that can be moved up and down is provided on the upper side, and a film support member 42 is provided on the lower side so as to face each other. The film support member 42 is supported by an elastic member 43 made of a coil spring or the like. A frame-shaped member 44 is provided outside the film support member 42.

枠状部材44の上面とフィルム押さえ部材41の下面との間、及び、フィルム押さえ部材41の上面と上型18の下面との間には、シール部材45、46が設けられていることが好ましい。これらのシール部材45、46によって、下型17と上型18とが型締めした状態において、下型17と上型18との外部からキャビティ19を遮断することができる。   Seal members 45 and 46 are preferably provided between the upper surface of the frame-shaped member 44 and the lower surface of the film pressing member 41 and between the upper surface of the film pressing member 41 and the lower surface of the upper mold 18. . With these seal members 45 and 46, the cavity 19 can be blocked from the outside of the lower mold 17 and the upper mold 18 in a state where the lower mold 17 and the upper mold 18 are clamped.

本実施例によれば、まず、図6(1)に示すように、フィルム押さえ部材41を下降させることによって、フィルム押さえ部材41とフィルム支持部材42とを使用して離型フィルム40を挟持(クランプ)する。この段階では、フィルム押さえ部材41とフィルム支持部材42との間において離型フィルム40がスリップする(滑って動く)程度の力でもって、離型フィルム40を挟持する。その後に、下型17に設けられた吸引路(図示なし)等からなるフィルム吸着手段を使用して、キャビティ19を構成する型面39に離型フィルム40を吸着する。これにより、挟持された離型フィルム40を適宜スリップさせる。したがって、型面39の全面にわたって離型フィルム40に隙間やしわを生ずることなく、離型フィルム40を型面39に密着させることができる。   According to the present embodiment, first, as shown in FIG. 6 (1), the release film 40 is clamped by using the film pressing member 41 and the film supporting member 42 by lowering the film pressing member 41 ( Clamp). At this stage, the release film 40 is clamped with a force that allows the release film 40 to slip (slide and move) between the film pressing member 41 and the film support member 42. Thereafter, the release film 40 is adsorbed on the mold surface 39 constituting the cavity 19 by using a film adsorbing means including a suction path (not shown) provided in the lower mold 17. Thereby, the sandwiched release film 40 is appropriately slipped. Therefore, the release film 40 can be brought into close contact with the mold surface 39 without generating a gap or a wrinkle in the release film 40 over the entire surface of the mold surface 39.

次に、実施例1と同様にして、副キャビティ25を含むキャビティ19に樹脂材料(図示なし)を供給する。本実施例では、キャビティ19を構成する型面39に離型フィルム40を吸着した状態で、キャビティ19に樹脂材料を供給する。   Next, in the same manner as in Example 1, a resin material (not shown) is supplied to the cavity 19 including the subcavity 25. In this embodiment, the resin material is supplied to the cavity 19 in a state where the release film 40 is adsorbed on the mold surface 39 constituting the cavity 19.

次に、図6(2)に示すように、樹脂材料を加熱して溶融させることによって、流動性樹脂26を生成する。このことと並行して、次の動作を行う。第1に、フィルム押さえ部材41を下降させて、離型フィルム40を完全に挟持する。第2に、上型18を下降させて、シール部材46を介して上型18とフィルム押さえ部材41とを接触させる。このことによって、下型17と上型18とを中間的に型締めした状態にする。   Next, as shown in FIG. 6 (2), the resin material is heated and melted to produce the fluid resin 26. In parallel with this, the following operation is performed. First, the film pressing member 41 is lowered to completely hold the release film 40. Secondly, the upper die 18 is lowered and the upper die 18 and the film pressing member 41 are brought into contact with each other through the seal member 46. Thus, the lower die 17 and the upper die 18 are clamped in the middle.

この時点で、次の状態が実現される。第1に、キャビティ19(図6(1)参照)が外部から遮断される。第2に、キャビティ19が流動性樹脂26によって満たされる。第3に、キャビティ19の外縁部47付近において、言い換えれば図2(2)に示された複数の領域7の外側に相当する部分において、離型フィルム40にしわが発生する。   At this point, the following state is realized. First, the cavity 19 (see FIG. 6 (1)) is blocked from the outside. Second, the cavity 19 is filled with the flowable resin 26. Third, wrinkles occur in the release film 40 in the vicinity of the outer edge portion 47 of the cavity 19, in other words, in a portion corresponding to the outside of the plurality of regions 7 shown in FIG.

次に、図6(2)に示した状態から更に上型18を下降させて、下型17と上型18とを完全に型締めした状態にする。このことにより、流動性樹脂26によって満たされたキャビティ19において、流動性樹脂26にLEDチップ13を浸す(浸漬する)。以下、実施例1と同様にして(図3(1)、(2)参照)、流動性樹脂26を硬化させることによって封止済基板29を形成する。   Next, the upper die 18 is further lowered from the state shown in FIG. 6B, and the lower die 17 and the upper die 18 are completely clamped. Thus, the LED chip 13 is immersed (immersed) in the fluid resin 26 in the cavity 19 filled with the fluid resin 26. Thereafter, the sealed substrate 29 is formed by curing the fluid resin 26 in the same manner as in the first embodiment (see FIGS. 3A and 3B).

本実施例によれば、第1に、図6(2)に示すように、下型17側の型面39に密着した離型フィルム40が存在する。これにより、型面39と硬化樹脂28とが直接接触しないので、キャリア14にはめ込まれた封止済基板29を離型フィルム40から容易に引き離すことができる。したがって、図1(2)に示されたリードフレームが薄い場合においても、封止済基板29において大きな応力が発生することなく、下型17から封止済基板29を容易に取り出すことができる(図3(1)、(2)参照)。   According to the present embodiment, first, as shown in FIG. 6B, there is a release film 40 in close contact with the mold surface 39 on the lower mold 17 side. Thereby, since the mold surface 39 and the cured resin 28 are not in direct contact, the sealed substrate 29 fitted in the carrier 14 can be easily pulled away from the release film 40. Accordingly, even when the lead frame shown in FIG. 1 (2) is thin, the sealed substrate 29 can be easily taken out from the lower mold 17 without generating a large stress in the sealed substrate 29 ( (See FIGS. 3 (1) and (2)).

第2に、下型17と上型18とを完全に型締めした状態において、図2(2)に示された複数の領域7の外側に離型フィルム40のしわを発生させる。このことによって、離型フィルム40に発生したしわがLEDパッケージ38の表面形状に悪影響を与えることを防止することができる。   Second, in a state where the lower mold 17 and the upper mold 18 are completely clamped, wrinkles of the release film 40 are generated outside the plurality of regions 7 shown in FIG. Thus, wrinkles generated in the release film 40 can be prevented from adversely affecting the surface shape of the LED package 38.

本実施例によれば、以上の2つの理由に基づいて、LEDパッケージの品質(外観品位を含む。以下同じ。)を向上させることができる。また、LEDパッケージを製造する際の歩留り(良品率)を向上させることができる。   According to the present embodiment, the quality of the LED package (including appearance quality, the same applies hereinafter) can be improved based on the above two reasons. Moreover, the yield (non-defective product rate) at the time of manufacturing an LED package can be improved.

なお、下型17と上型18とを中間的に型締めした状態において、上型18に設けられた吸引路(図示なし)を使用して、キャビティ19を減圧することが好ましい。これにより、第1に、キャビティ19内に存在する塵、ガスの成分等を、キャビティ19の外部に排出する。第2に、流動性樹脂26に含まれLEDパッケージにおいて気泡を引き起こす可能性を有するガスの成分を、キャビティ19の外部に排出する。したがって、LEDパッケージの品質を向上させること、及び、LEDパッケージを製造する際の歩留り(良品率)を向上させることができる。   In the state where the lower mold 17 and the upper mold 18 are clamped in the middle, it is preferable to decompress the cavity 19 using a suction path (not shown) provided in the upper mold 18. As a result, first, dust, gas components and the like existing in the cavity 19 are discharged to the outside of the cavity 19. Second, a gas component contained in the fluid resin 26 and having a possibility of causing bubbles in the LED package is discharged to the outside of the cavity 19. Therefore, the quality of the LED package can be improved, and the yield (non-defective product rate) when manufacturing the LED package can be improved.

以下、本発明の実施例3を、図7を参照して説明する。本実施例においては、図7(1)に示されているように、実施例2の構成に対して次の構成要素を追加している。第1の構成要素は、上型18に設けられた凹部48においてコイルばね等からなる弾性部材49によって支持されている個別押圧部材50である。各個別押圧部材50は、封止前基板1が上型18に固定された状態において、封止前基板1が有する各反射部材8をそれぞれ個別に押圧する。第2の構成要素は、キャビティブロック20における外縁部付近に、言い換えれば図2(2)に示された複数の領域7の外側に相当する部分に設けられた凹部51において、コイルばね等からなる弾性部材52によって支持されている可動部材53である。   Embodiment 3 of the present invention will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 7 (1), the following components are added to the configuration of the second embodiment. The first component is an individual pressing member 50 supported by an elastic member 49 made of a coil spring or the like in a recess 48 provided in the upper mold 18. Each individual pressing member 50 individually presses each reflecting member 8 included in the pre-sealing substrate 1 in a state where the pre-sealing substrate 1 is fixed to the upper mold 18. The second component is formed of a coil spring or the like in a recess 51 provided in the vicinity of the outer edge of the cavity block 20, in other words, in a portion corresponding to the outside of the plurality of regions 7 shown in FIG. The movable member 53 is supported by the elastic member 52.

図7(2)に示すように、各個別押圧部材50が各反射部材8をそれぞれ個別に押圧する。このことにより、各反射部材8が厚さのばらつきを有する場合であっても、各反射部材8の上面9(図では各反射部材8の下側の面)をキャリア14の押え部16に均等に押し当てることができる。   As shown in FIG. 7B, each individual pressing member 50 presses each reflecting member 8 individually. As a result, even when each reflecting member 8 has a variation in thickness, the upper surface 9 (the lower surface of each reflecting member 8 in the figure) of each reflecting member 8 is evenly held by the pressing portion 16 of the carrier 14. Can be pressed against.

図7(2)に示すように、可動部材53は、流動性樹脂26によって押圧されることによって下降する。このことにより、流動性樹脂26に余剰が生じた場合には、流動性樹脂26によって押圧された可動部材53が下降する。したがって、流動性樹脂26の余剰分を収容する樹脂溜まり54が形成される。   As shown in FIG. 7 (2), the movable member 53 is lowered by being pressed by the fluid resin 26. Accordingly, when surplus occurs in the fluid resin 26, the movable member 53 pressed by the fluid resin 26 is lowered. Therefore, the resin reservoir 54 that accommodates the surplus of the fluid resin 26 is formed.

本実施例によれば、各反射部材8が厚さのばらつきを有する場合であっても、各反射部材8の上面9をキャリア14の押え部16に均等に押し当てることができる。また、供給された樹脂材料の量にばらつきが生じた場合においても、形成された樹脂溜まり54に流動性樹脂26の余剰分を収容することができる。これらのことによって、図3(3)に示された各領域7において形成されるレンズ部30及び連通部31の寸法・形状を均一に近づけることができる。   According to the present embodiment, even when each reflecting member 8 has a variation in thickness, the upper surface 9 of each reflecting member 8 can be pressed evenly against the pressing portion 16 of the carrier 14. Further, even when the amount of the supplied resin material varies, the surplus of the fluid resin 26 can be accommodated in the formed resin reservoir 54. By these things, the dimension and shape of the lens part 30 and the communication part 31 which are formed in each area | region 7 shown by FIG. 3 (3) can be closely approached.

なお、ここまでの各実施例では、基板本体としてリードフレーム2を使用する場合を説明した。基板本体としては、ガラスエポキシ等の積層材料、セラミックス系材料、又は、金属系材料を基材とするプリント基板を使用することができる。また、樹脂フィルムを基材とするフレキシブルプリント基板を使用することもできる。更に、基板本体の平面形状については、四辺形に限らず実質的な円形(半導体ウェーハと同様の形状)等であってもよい。   In each of the embodiments so far, the case where the lead frame 2 is used as the substrate body has been described. As the substrate body, it is possible to use a printed circuit board based on a laminated material such as glass epoxy, a ceramic material, or a metal material. Moreover, the flexible printed circuit board which uses a resin film as a base material can also be used. Furthermore, the planar shape of the substrate body is not limited to a quadrilateral, and may be a substantially circular shape (the same shape as a semiconductor wafer).

また、ここまでの各実施例では、封止前基板1に装着される光素子としてLEDチップ13を、製造される光電子部品としてLEDパッケージ38を、それぞれ例示して説明した。これに限らず、封止前基板1に装着される光素子として発光素子と受光素子との組合せを使用して、本発明を適用してもよい。この場合には、光電子部品として受発光素子を製造することができる。また、封止前基板1に装着される光素子としてレーザダイオードチップを使用して、本発明を適用してもよい。この場合には、光電子部品としてレーザダイオードパッケージを製造することができる。   Moreover, in each Example so far, the LED chip 13 was illustrated and demonstrated as the optical element with which the board | substrate 1 before sealing was mounted | worn, and the LED package 38 was each illustrated as an optoelectronic component manufactured. The present invention is not limited to this, and the present invention may be applied using a combination of a light emitting element and a light receiving element as an optical element mounted on the substrate 1 before sealing. In this case, a light receiving / emitting element can be manufactured as an optoelectronic component. Further, the present invention may be applied using a laser diode chip as an optical element mounted on the substrate 1 before sealing. In this case, a laser diode package can be manufactured as an optoelectronic component.

また、ここまでの各実施例では、図1(1)に示すように、仮想線6によって格子状に仕切られた複数の領域7をリードフレーム2に設けた。これに限らず、リードフレームに複数の領域を格子状以外の態様で設けることもできる。例えば、リードフレームにおいて平面視して蜂の巣状(ハニカム状)に複数の領域を設けてもよい。リードフレームに複数の領域を格子状以外の態様で設けた場合には、封止済基板を切断する工程において、レーザ光、ワイヤソー、バンドソー、ウォータージェット等を使用することができる。   Moreover, in each Example so far, as shown to FIG. 1 (1), the several area | region 7 partitioned off by the virtual line 6 at the grid | lattice form was provided in the lead frame 2. As shown in FIG. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of regions can be provided in the lead frame in a manner other than the lattice shape. For example, a plurality of regions may be provided in a honeycomb shape (honeycomb shape) in plan view in the lead frame. In the case where the lead frame is provided with a plurality of regions other than the lattice shape, a laser beam, a wire saw, a band saw, a water jet, or the like can be used in the step of cutting the sealed substrate.

また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。   In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may be arbitrarily combined, changed, or selected as necessary without departing from the spirit of the present invention. It can be done.

1 封止前基板
2 リードフレーム(基板本体)
3 外枠
4、5 連結部
6 仮想線
7 領域
8 反射部材
9 上面
10 凹部
11 底面
12 斜面
13 LEDチップ(光素子)
14 キャリア(仮固定治具)
15 開口
16 押え部
17 下型
18 上型
19 キャビティ
20 キャビティブロック
21 周辺部材
22 型面
23 内側面
24、43、49、52 弾性部材
25 副キャビティ
26 流動性樹脂
27 連通路
28 硬化樹脂(封止樹脂)
29 封止済基板
30 レンズ部
31 連通部
32 固定治具
33 突き出し手段
34 円筒部
35 側壁部
36 回転刃
37 切断線
38 LEDパッケージ
39 型面
40 離型フィルム
41 フィルム押さえ部材
42 フィルム支持部材
44 枠状部材
45、46 シール部材
47 外縁部
48 凹部
50 個別押圧部材
51 凹部
53 可動部材
54 樹脂溜まり
1 Board before sealing 2 Lead frame (board body)
3 Outer frame 4, 5 Connecting portion 6 Virtual line 7 Area 8 Reflecting member 9 Upper surface 10 Recessed portion 11 Bottom surface 12 Slope 13 LED chip (optical element)
14 Carrier (temporary fixing jig)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 Opening 16 Holding part 17 Lower mold | type 18 Upper mold | type 19 Cavity 20 Cavity block 21 Peripheral member 22 Mold surface 23 Inner side surface 24, 43, 49, 52 Elastic member 25 Subcavity 26 Flowable resin 27 Communication path 28 Curing resin (sealing) resin)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 29 Sealed board | substrate 30 Lens part 31 Communication part 32 Fixing jig 33 Ejecting means 34 Cylindrical part 35 Side wall part 36 Rotary blade 37 Cutting line 38 LED package 39 Mold surface 40 Release film 41 Film pressing member 42 Film support member 44 Frame Shaped members 45, 46 Seal member 47 Outer edge portion 48 Recessed portion 50 Individual pressing member 51 Recessed portion 53 Movable member 54 Resin pool

Claims (19)

上型と該上型に対向しキャビティを有する下型とを少なくとも使用して、複数の領域を有する基板本体と、前記複数の領域に各々形成され貫通穴又は凹部を有する反射部材と、前記貫通穴における基板本体又は前記凹部の底面に各々装着された1又は複数の光素子と、硬化樹脂からなり前記光素子を封止する封止樹脂とを有する封止済基板を形成した後に、前記封止済基板から光電子部品を製造する光電子部品の製造方法であって、
前記反射部材に各々対応する開口を有する仮固定治具を準備する工程と、
前記基板本体に前記反射部材と前記光素子とが設けられた封止前基板を準備する工程と、
前記開口に前記反射部材をはめ込むようにして前記仮固定治具に前記封止前基板をはめ込む工程と、
前記キャビティに含まれ前記開口に各々対応するようにして設けられた複数の副キャビティに前記開口が平面視して各々重なるようにして、前記封止前基板がはめ込まれた前記仮固定治具を前記上型に固定する工程と、
樹脂材料によって前記キャビティを満たされた状態にする工程と、
前記上型と前記下型とを型締めすることによって、前記樹脂材料から形成された流動性樹脂に前記光素子を浸す工程と、
前記流動性樹脂を硬化させることによって前記硬化樹脂を形成する工程と、
前記上型と前記下型とを型開きする工程と、
前記封止済基板がはめ込まれた前記仮固定治具を前記上型から取り外す工程と、
前記封止済基板がはめ込まれた前記仮固定治具から前記封止済基板を取り出す工程とを備え、
前記硬化樹脂を形成する工程では、前記複数の副キャビティにおいて各々レンズ部を形成するとともに前記複数の副キャビティ同士の間を連通する連通路において連通部を形成し、
前記封止済基板を取り出す工程では、前記封止済基板を突き出して該封止済基板から前記連通部を分離することによって、複数の前記レンズ部を有する第1の光電子部品を製造することを特徴とする光電子部品の製造方法。
Using at least an upper mold and a lower mold facing the upper mold and having a cavity, a substrate body having a plurality of regions, a reflecting member formed in each of the plurality of regions and having a through hole or a recess, and the through After forming a sealed substrate having one or a plurality of optical elements respectively mounted on the substrate main body or the bottom surface of the recess in the hole and a sealing resin made of a cured resin and sealing the optical element, the sealing An optoelectronic component manufacturing method for manufacturing an optoelectronic component from a stopped substrate,
Preparing a temporary fixing jig having an opening corresponding to each of the reflecting members;
Preparing a pre-sealing substrate provided with the reflecting member and the optical element on the substrate body;
A step of fitting the pre-sealing substrate into the temporary fixing jig so as to fit the reflective member into the opening;
The temporary fixing jig in which the pre-sealing substrate is fitted so that the openings overlap each other in a plan view included in a plurality of subcavities provided in the cavity and corresponding to the openings, respectively. Fixing to the upper mold;
A step of filling the cavity with a resin material;
Immersing the optical element in a fluid resin formed from the resin material by clamping the upper mold and the lower mold; and
Forming the cured resin by curing the flowable resin;
Opening the upper mold and the lower mold; and
Removing the temporary fixing jig fitted with the sealed substrate from the upper mold;
A step of taking out the sealed substrate from the temporary fixing jig in which the sealed substrate is fitted,
In the step of forming the curable resin, each of the plurality of sub-cavities forms a lens portion, and a communication portion is formed in a communication path that communicates between the plurality of sub-cavities.
In the step of taking out the sealed substrate, the first optoelectronic component having a plurality of the lens portions is manufactured by protruding the sealed substrate and separating the communication portion from the sealed substrate. A method for manufacturing an optoelectronic component.
請求項1に記載された光電子部品の製造方法において、
前記封止済基板を取り出す工程の後に、前記第1の光電子部品を分離することによって前記複数の領域の一部からなる複数の前記領域に各々相当する第2の光電子部品を形成する工程を備えることを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component described in Claim 1,
After the step of taking out the sealed substrate, the method includes a step of separating the first optoelectronic component to form a second optoelectronic component corresponding to each of the plurality of regions including a part of the plurality of regions. A method for manufacturing an optoelectronic component.
請求項1に記載された光電子部品の製造方法において、
前記封止済基板を取り出す工程の後に、前記第1の光電子部品を分離することによって前記複数の領域に含まれる各々の前記領域に相当する第3の光電子部品を形成する工程を備えることを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component described in Claim 1,
After the step of taking out the sealed substrate, the method includes a step of forming a third optoelectronic component corresponding to each of the regions included in the plurality of regions by separating the first optoelectronic component. A method for manufacturing an optoelectronic component.
請求項1〜3のいずれかに記載された光電子部品の製造方法において、
前記光素子を浸す工程では、前記副キャビティの全周にわたって設けられた前記連通路を経由して前記複数の副キャビティの間において前記流動性樹脂を流動させることを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component in any one of Claims 1-3,
In the step of immersing the optical element, the flowable resin is caused to flow between the plurality of sub-cavities via the communication path provided over the entire circumference of the sub-cavity. .
請求項1〜3のいずれかに記載された光電子部品の製造方法において、
前記光素子を浸す工程では、前記副キャビティの周囲において部分的に設けられた前記連通路を経由して前記複数の副キャビティの間において前記流動性樹脂を流動させることを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component in any one of Claims 1-3,
In the step of immersing the optical element, the flowable resin is caused to flow between the plurality of sub-cavities via the communication path partially provided around the sub-cavity. Production method.
請求項1〜3のいずれかに記載された光電子部品の製造方法において、
前記キャビティを満たされた状態にする工程の前に、前記上型と前記下型との間に離型フィルムを供給する工程と、前記キャビティを構成する型面のうち少なくとも前記複数の領域全体に対応する型面に前記離型フィルムを密着させる工程とを備えることを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component in any one of Claims 1-3,
Before the step of filling the cavity, a step of supplying a release film between the upper die and the lower die, and at least the entire region of the mold surface constituting the cavity And a step of bringing the release film into close contact with a corresponding mold surface.
請求項1〜3のいずれかに記載された光電子部品の製造方法において、
前記上型において各々弾性支持された個別押圧部材が前記反射部材に各々対応して設けられ、
前記仮固定治具を前記上型に固定する工程では、前記個別押圧部材によって前記反射部材を各々押圧することを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component in any one of Claims 1-3,
Individual pressing members elastically supported in the upper mold are provided corresponding to the reflecting members, respectively.
In the step of fixing the temporary fixing jig to the upper mold, the reflecting member is pressed by the individual pressing member, respectively.
請求項1〜3のいずれかに記載された光電子部品の製造方法において、
前記キャビティを構成する型面のうち少なくとも前記複数の領域全体に対応する部分の外側において弾性支持された可動部材が設けられ、
前記流動性樹脂に前記光素子を浸す工程では、前記流動性樹脂が前記可動部材を押圧することによって前記流動性樹脂が流れ込む樹脂溜まりを形成することを特徴とする光電子部品の製造方法。
In the manufacturing method of the optoelectronic component in any one of Claims 1-3,
A movable member elastically supported outside the portion corresponding to at least the entire plurality of regions of the mold surface constituting the cavity is provided,
In the step of immersing the optical element in the flowable resin, the flowable resin presses the movable member to form a resin reservoir into which the flowable resin flows.
上型と該上型に対向しキャビティを有する下型とを少なくとも有しており、複数の領域を有する基板本体と、前記複数の領域に各々形成され貫通穴又は凹部を有する反射部材と、前記貫通穴における基板本体又は前記凹部の底面に各々装着された1又は複数の光素子と、硬化樹脂からなり前記光素子を封止する封止樹脂とを有する封止済基板を形成した後に前記封止済基板から光電子部品を製造する際に使用される光電子部品の製造装置であって、
前記基板本体に前記反射部材と前記光素子とが設けられた封止前基板を受け入れる受入手段と、
前記封止前基板が有する前記反射部材に各々対応するようにして設けられた開口を有する仮固定治具と、
前記開口に前記反射部材がはめ込まれた状態で前記仮固定治具を前記上型に固定する固定手段と、
前記封止前基板における前記反射部材の全部を平面視して含む前記キャビティに樹脂材料を供給する供給手段と、
前記上型と前記下型とを型開き又は型締めする型開閉手段と、
前記仮固定治具から前記封止済基板を突き出す突き出し手段とを備え、
前記キャビティは、前記反射部材に各々対応して設けられた凹部からなる副キャビティと、該副キャビティ同士を連通する連通路とを有し、
前記突き出し手段が前記仮固定治具から前記封止済基板を突き出すことによって前記封止済基板から前記連通路における前記硬化樹脂からなる連通部を分離することを特徴とする光電子部品の製造装置。
An upper mold and a lower mold facing the upper mold and having a cavity; a substrate body having a plurality of regions; a reflecting member formed in each of the plurality of regions and having a through hole or a recess; The sealing is performed after forming a sealed substrate having one or a plurality of optical elements respectively mounted on the substrate body or the bottom surface of the recess in the through hole, and a sealing resin made of a cured resin and sealing the optical element. An optoelectronic component manufacturing apparatus used when manufacturing an optoelectronic component from a stopped substrate,
Receiving means for receiving a pre-sealing substrate in which the reflecting member and the optical element are provided on the substrate body;
A temporary fixing jig having openings provided so as to correspond to the reflecting members of the substrate before sealing,
Fixing means for fixing the temporary fixing jig to the upper mold in a state where the reflecting member is fitted in the opening;
Supply means for supplying a resin material to the cavity including the reflection member in the pre-sealing substrate in plan view;
Mold opening and closing means for opening or clamping the upper mold and the lower mold;
Protruding means for projecting the sealed substrate from the temporary fixing jig,
The cavity has a subcavity formed of a recess provided corresponding to each of the reflecting members, and a communication path communicating the subcavities with each other,
An apparatus for manufacturing an optoelectronic component, wherein the protruding means separates the communicating portion made of the cured resin in the communication path from the sealed substrate by protruding the sealed substrate from the temporary fixing jig.
請求項9に記載された光電子部品の製造装置において、
前記連通路は前記副キャビティの全周にわたって形成されたことを特徴とする光電子部品の製造装置。
The optoelectronic component manufacturing apparatus according to claim 9,
The apparatus for manufacturing an optoelectronic component, wherein the communication path is formed over the entire circumference of the sub-cavity.
請求項9に記載された光電子部品の製造装置において、
前記連通路は前記副キャビティの周囲において部分的に形成されたことを特徴とする光電子部品の製造装置。
The optoelectronic component manufacturing apparatus according to claim 9,
An apparatus for manufacturing an optoelectronic component, wherein the communication path is partially formed around the subcavity.
請求項9〜11のいずれかに記載された光電子部品の製造装置において、
前記上型と前記下型との間に離型フィルムを供給するフィルム供給手段と、
前記キャビティを構成する型面のうち少なくとも前記複数の領域全体に対応する型面に前記離型フィルムを密着させるフィルム密着手段とを備えることを特徴とする光電子部品の製造装置。
In the optoelectronic component manufacturing apparatus according to any one of claims 9 to 11,
Film supply means for supplying a release film between the upper mold and the lower mold;
An apparatus for manufacturing an optoelectronic component, comprising: a film contact means for bringing the release film into close contact with a mold surface corresponding to at least the whole of the mold surfaces constituting the cavity.
請求項9〜11のいずれかに記載された光電子部品の製造装置において、
前記上型において前記反射部材に各々対応して各々弾性支持されて設けられた個別押圧部材を備え、
前記仮固定治具が前記上型に固定された状態において、前記個別押圧部材によって前記反射部材が各々押圧されることを特徴とする光電子部品の製造装置。
In the optoelectronic component manufacturing apparatus according to any one of claims 9 to 11,
In the upper mold, each pressing member provided elastically corresponding to each of the reflecting members,
An apparatus for manufacturing an optoelectronic component, wherein the reflecting member is pressed by the individual pressing member in a state where the temporary fixing jig is fixed to the upper mold.
請求項9〜11のいずれかに記載された光電子部品の製造装置において、
前記キャビティを構成する型面のうち少なくとも前記複数の領域全体に対応する部分の外側において弾性支持された可動部材を備え、
前記上型と前記下型とが型締めされた状態において、前記流動性樹脂が前記可動部材を押圧することによって前記流動性樹脂が流れ込む樹脂溜まりが形成されることを特徴とする光電子部品の製造装置。
In the optoelectronic component manufacturing apparatus according to any one of claims 9 to 11,
A movable member elastically supported outside the portion corresponding to the whole of the plurality of regions of the mold surface constituting the cavity;
In the state where the upper mold and the lower mold are clamped, a resin reservoir into which the fluid resin flows is formed by the fluid resin pressing the movable member. apparatus.
複数の領域を有する基板本体と、前記複数の領域に各々形成され貫通穴又は凹部を有する反射部材と、前記貫通穴における基板本体又は前記凹部の底面に各々装着された1又は複数の光素子と、硬化樹脂からなり前記光素子を封止する封止樹脂とを有する封止済基板を形成した後に、前記封止済基板から製造された光電子部品であって、
前記反射部材に各々対応するようにして仮固定治具に設けられた開口に前記反射部材がはめ込まれた状態で、前記光素子が露出する側において前記仮固定治具が流動性樹脂に浸されることによって少なくとも前記貫通穴又は前記凹部を満たすようにして導き入れられた前記流動性樹脂が硬化して各々形成された硬化樹脂からなるレンズ部と、
前記硬化樹脂からなり前記レンズ部同士の間を連通する連通部を押圧して前記仮固定治具から前記封止済基板を突き出すことによって前記レンズ部の周囲において前記連通部から分離されて形成された側壁部、又は、前記連通部が分離して形成された側壁部とを備えることを特徴とする光電子部品。
A substrate body having a plurality of regions; a reflecting member formed in each of the plurality of regions and having a through hole or a recess; and one or a plurality of optical elements respectively mounted on the substrate body or the bottom surface of the recess in the through hole. An optoelectronic component manufactured from the sealed substrate after forming a sealed substrate made of a cured resin and having a sealing resin for sealing the optical element,
The temporary fixing jig is immersed in a fluid resin on the side where the optical element is exposed in a state where the reflective member is fitted in an opening provided in the temporary fixing jig so as to correspond to each of the reflective members. A lens part made of a cured resin formed by curing the flowable resin introduced so as to fill at least the through hole or the recess,
Formed separately from the communicating part around the lens part by pressing the communicating part made of the cured resin and communicating between the lens parts by protruding the sealed substrate from the temporary fixing jig. An optoelectronic component comprising: a side wall portion or a side wall portion formed by separating the communication portion.
請求項15に記載された光電子部品において、
前記連通部は前記レンズ部の全周にわたって形成されたことを特徴とする光電子部品。
The optoelectronic component according to claim 15, wherein
2. The optoelectronic component according to claim 1, wherein the communication portion is formed over the entire circumference of the lens portion.
請求項15に記載された光電子部品において、
前記連通部は前記レンズ部の周囲において部分的に形成されたことを特徴とする光電子部品。
The optoelectronic component according to claim 15, wherein
2. The optoelectronic component according to claim 1, wherein the communication part is partially formed around the lens part.
請求項15に記載された光電子部品において、
前記複数の領域の一部からなる複数の前記領域に各々相当することを特徴とする光電子部品。
The optoelectronic component according to claim 15, wherein
An optoelectronic component corresponding to each of the plurality of regions formed of a part of the plurality of regions.
請求項15に記載された光電子部品において、
前記複数の領域に含まれる各々の前記領域に相当することを特徴とする光電子部品。
The optoelectronic component according to claim 15, wherein
An optoelectronic component corresponding to each of the regions included in the plurality of regions.
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