JP2012099522A - Electronic component mounting device and mounting method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、所謂超音波振動を用いて回路基板に対して電子部品を実装する実装装置及び実装方法に関する。 The present invention relates to a mounting apparatus and a mounting method for mounting an electronic component on a circuit board using so-called ultrasonic vibration.
電子機器の小型化、高機能化に伴い、該電子機器に用いられる回路基板についても小型化と高集積化が進められている。高集積化の方法としては、回路基板の両面に対して電子部品を実装する形態が採用されている。このような回路基板に対する電子部品の実装にあっては、まず回路基板の一方の面に電子部品を実装する。次に該一方の面に実装された電子部品を収容する凹部が予め形成された平板状の載置台を用い、該載置台によって回路基板を支持した状態で他方の面に対する電子部品の実装が為される。 Along with the downsizing and higher functionality of electronic devices, circuit boards used in the electronic devices are also being downsized and highly integrated. As a high integration method, an electronic component is mounted on both sides of a circuit board. In mounting electronic components on such a circuit board, first, electronic components are mounted on one surface of the circuit board. Next, the mounting of the electronic component on the other surface is performed using a flat plate-shaped mounting table in which a recess for accommodating the electronic component mounted on the one surface is formed in advance, with the circuit board supported by the mounting table. Is done.
ここで、実装される電子部品の小型化と高集積化のために、このような載置台の作製も微細加工を要することとなり、載置台の製造コストコストが大きな問題となっている。このため、例えば特許文献1或いは2に開示されるように、適切な載置台を提供し得る、簡易な載置台の製造方法が提案されている。これら製造方法では、可塑性或いは弾性を有する部材を載置台或いはその表面に用い、電子部品による凸部を吸収可能とすることで、凹凸の影響の排除と他の平坦部の支持との両立を図っている。
Here, in order to reduce the size and increase the integration of electronic components to be mounted, the fabrication of such a mounting table also requires fine processing, and the manufacturing cost of the mounting table is a major problem. For this reason, as disclosed in
ここで、回路基板に対して所謂CMOS、CCD等の撮像素子が実装される場合がある。このような撮像素子実装用回路基板では、素子の実装領域内に回路基板を貫通する撮像用開口部が設けられることがある。この場合、撮像用開口部の近辺に電子部品が配置されている場合、撮像素子の実装時に該撮像用開口部の内縁の支持が不十分でこの内縁が変形し、適切な実装が困難になる場合がある。昨今の回路基板に対する電子部品の実装の高密度化に伴って、このような困難性がより高まると考えられる。 Here, an imaging element such as a so-called CMOS or CCD may be mounted on the circuit board. In such an imaging element mounting circuit board, an imaging opening that penetrates the circuit board may be provided in the element mounting region. In this case, when an electronic component is disposed in the vicinity of the imaging opening, the inner edge of the imaging opening is not sufficiently supported when the imaging element is mounted, and the inner edge is deformed, making it difficult to mount appropriately. There is a case. With the recent increase in the density of electronic components mounted on circuit boards, such difficulty is considered to increase.
実際の電子部品の実装にあっては、電子部品或いは回路基板の製造誤差、回路基板毎に実装位置のずれ等の影響で、すべての電子部品の回路基板に対する固定位置が誤差なしで一致することはあり得ない。特許文献1に開示する手法にあっては、このような誤差の影響を排除することはできず、一回路基板毎に載置用の治具を作製することを要する。従って、製造工程或いは製造コストの増加は避けられない。また、同一の載置用の治具を用いた場合には、治具と電子部品との接触により電子部品に不要の付加が生じ、それが過剰な場合には適切な回路基板の支持事態が困難となる恐れもある。また、特許文献2に開示する手法においても、電子部品に押圧力が加えられることは避けられず、回路基板を常に適切に支持可能であるかという観点からは改善が求められる。即ち、上記特許文献1及び2に開示される手法では、上述した回路基板の撮像用開口部の内縁の変形に対しては十分な対処を為し得ないと考えられる。
In actual mounting of electronic components, the fixed positions of all electronic components with respect to the circuit board must match without error due to the effects of manufacturing errors of electronic components or circuit boards, displacement of mounting positions for each circuit board, etc. Is not possible. In the technique disclosed in
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであって、撮像素子を回路基板に実装するに際して、該回路基板に設けられた撮像用開口部周辺での該回路基板の変形を抑制、防止しつつ該回路基板を支持する電子部品の実装置或いは実装方法の提供を目的とする。 The present invention has been made in view of the above situation, and suppresses and prevents deformation of the circuit board around the imaging opening provided in the circuit board when the image sensor is mounted on the circuit board. However, it is an object of the present invention to provide an actual apparatus or mounting method for electronic components that support the circuit board.
上記課題を解決するために、本発明に係る実装装置は、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔を有する基板における一方の面に形成された端子電極に対して電子部品の裏面に配置されたバンプを接合することによって、電子部品を基板に対して実装する実装装置であって、電子部品を保持してバンプを端子電極に押圧してバンプと端子電極とを接合する接合力を供する実装ノズルと、実装ノズルが接合力を供する際に基板の他方の面を支持する載置台と、を有し、載置台は基板における他方の面に実装された他の電子部品を収容可能な収容凹部を有し、基板に対して垂直な方向において貫通孔と収容凹部とが少なくとも部分的に整列する領域における貫通孔の内縁に沿った収容凹部の長さLは、基板の電子部品が実装される領域の厚さをtとしたときに、0<L≦4tを満足することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a mounting apparatus according to the present invention is arranged on the back surface of an electronic component with respect to a terminal electrode formed on one surface of a substrate having a through hole penetrating from one surface to the other surface. A mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate by bonding the formed bump, and holding the electronic component and pressing the bump against the terminal electrode to provide a bonding force for bonding the bump and the terminal electrode A mounting nozzle, and a mounting table that supports the other surface of the substrate when the mounting nozzle provides a bonding force, and the mounting table accommodates other electronic components mounted on the other surface of the substrate. The length L of the housing recess along the inner edge of the through hole in the region having the recess and where the through hole and the housing recess are at least partially aligned in the direction perpendicular to the substrate is such that the electronic component of the board is mounted. The thickness of the region to be t When, and satisfies the 0 <L ≦ 4t.
また、上記課題を解決するために、本発明に係る実装方法は、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔を有する基板における一方の面に形成された端子電極に対して電子部品の裏面に配置されたバンプを接合することによって、電子部品を基板に対して実装する実装方法であって、載置台によって基板を他方の面から支持し、実装ノズルによって電子部品を保持し、載置台に支持された基板上の端子電極に対して、実装ノズルによってバンプを押圧し、バンプと前記端子電極とを接合する接合力を供し、電子部品のバンプと基板の端子電極とを接合する工程を有し、載置台は基板を支持する際に、支持面に設けられた収容凹部によって基板における他方の面に実装された他の電子部品を収容し、基板に対して垂直な方向において貫通孔と収容凹部とが少なくとも部分的に整列する領域における貫通孔の内縁に沿った収容凹部の長さLは、基板の電子部品が実装される領域の厚さをtとしたときに、0<L≦4tを満足する。 In order to solve the above problems, the mounting method according to the present invention provides a back surface of an electronic component with respect to a terminal electrode formed on one surface of a substrate having a through-hole penetrating from one surface to the other surface. A mounting method for mounting an electronic component on a substrate by bonding bumps arranged on the substrate, the substrate being supported from the other surface by the mounting table, the electronic component being held by the mounting nozzle, There is a step of bonding the bump of the electronic component and the terminal electrode of the substrate by pressing the bump against the terminal electrode on the supported substrate by a mounting nozzle, providing a bonding force for bonding the bump and the terminal electrode. When the mounting table supports the substrate, the mounting table accommodates other electronic components mounted on the other surface of the substrate by the accommodating recess provided on the support surface, and accommodates the through hole in a direction perpendicular to the substrate. The length L of the accommodating recess along the inner edge of the through hole in the region where the portion is at least partially aligned is 0 <L ≦ 4t, where t is the thickness of the region where the electronic component of the substrate is mounted Satisfied.
本発明によれば、上述した撮影用開口部の内縁の変形を抑制し、該変形に影響されること無く回路基板に対する撮像素子の実装を行うことが可能となる。 According to the present invention, it is possible to suppress the deformation of the inner edge of the photographing opening described above, and to mount the image sensor on the circuit board without being affected by the deformation.
以下に、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る実装装置における主要部である載置台を上面から見た状態を示す。なお、同図中において撮像素子及び該撮像素子に設けられたバンプと総称される電極は点線にて、又回路基板に設けられる撮像用開口部は実線の枠にて示す。図2は図1における線2−2に沿った断面を側方から見た場合の構成の概略であって、回路基板と載置台とを示している。本実施形態において載置対象とする回路基板1は、撮像素子3が収容可能な回路基板上凹部1a、及び該回路基板上凹部1a内に設けられて回路基板の上面1bから下面1cに貫通する貫通孔からなる撮像用開口部1d、を有している。これら回路基板上凹部1aは回路基板の一方の面に配置され、撮像用開口部1dは該一方の面から他方の面に貫通する様式で形成される。また、撮像素子3も該一方の面に実装される。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a state where a mounting table, which is a main part of a mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, is viewed from above. In the figure, an image pickup device and electrodes collectively referred to as bumps provided on the image pickup device are indicated by dotted lines, and an image pickup opening provided on the circuit board is indicated by a solid line frame. FIG. 2 is an outline of a configuration when a cross section taken along line 2-2 in FIG. 1 is viewed from the side, and shows a circuit board and a mounting table. In the present embodiment, the
撮像素子3は本実施形態では矩形状であり、裏面3a上であって対向する一対の側辺の各々に沿った位置に複数のバンプ3bが配置されている。回路基板上凹部1aは撮像素子3を収容可能な内部広さ及び深さを有し、バンプ3bに対応する位置に端子電極5が配置される。バンプ3bは、端子電極5と電気的に接合され、これにより撮像素子3の回路基板1への実装が為される。回路基板1の下面1cに対しては、既に電子部品7が実装されている。
In the present embodiment, the
本発明の一実施形態である実装装置において、本発明では該回路基板1を支持する載置台11にその特徴を有する。載置台11には、該回路基板1に対して実装済みの電子部品7を収容可能な大きさを有する収容凹部が設けられる。該載置台11は該回路基板1の他方の面をその表面において支持する。本実施形態では、12の収容凹部11-1〜11-12が設けられている場合を例示する。ここで、本発明では、該収容凹部は、上面から見た場合(図1参照)その一部が撮像用開口部1cから観察可能な第一の収容凹部と、観察不可能な第二の収容凹部とに大別される。即ち、回路基板1に対して垂直な方向に関して撮像用開口部1cと重なる領域を有する第一の収容凹部には、収容凹部11-1〜11-9が対応する。また、該重なる領域を有しない第二の収容凹部には、収容凹部11-10〜11-12が対応する。第二の収容凹部については、載置台11の回路基板支持面11aによってその周囲を支持可能であることから、回路基板の変形については特に影響を与えない。しかし、第一の収容凹部については、回路基板1における撮像用開口部1cの内縁を支持しない部分が存在するために、該内縁の変形を招く恐れがある。
In the mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, the present invention has the feature in the mounting table 11 that supports the
ここで、第一の収容凹部における個々の収容凹部11-1〜11-9について、撮像用開口部1cの内縁に沿った部分の長さをLとする。即ち、本発明では、回路基板1に対して垂直な方向において、該撮像用開口部1cと収容凹部11-1〜11-9との各々について、少なくとも部分的に整列する領域において該撮像用開口部1cの内縁に沿った領域の長さをLとする。本形態では、収容凹部11-1〜11-9は、各々凹部長さL1〜L9を有すると仮定する。本出願人が検討したところ、これらLn(n=1〜9)の各々が0<Ln≦4tを満足すれば、内縁での回路基板の変形を抑制し、好適な状態で回路基板1に撮像素子3を実装できることが確認された。なお、ここでtは図2に示すように回路基板上の凹部1aでの回路基板1の厚さ、即ち回路基板における撮像素子3の実装領域での回路基板厚さを示す。なお、当該4tの標記は4×tを表し、以下類似の標記も同様の計算式を表す。
Here, let L be the length of the portion along the inner edge of the imaging opening 1c for each of the receiving recesses 11-1 to 11-9 in the first receiving recess. In other words, according to the present invention, in the direction perpendicular to the
ここで、収容凹部11については、撮像用開口部に対してはみ出す量d(図1参照)によってもその影響が変化する可能性がある。図3はLnと内縁の変形との相関をdの値を考慮して示している。同図において、横軸はLnの値を示し、縦軸は得られる撮像装置の実装時の歩留まりを示す。また、d小は収容凹部の撮像用開口部に対するはみ出し幅が小さい場合を、d中ははみ出し幅が中程度の場合を、d大ははみ出し幅が大きい場合を模式的に示している。はみ出し幅が小さくなるに従って該収容凹部の影響は小さくなるが、Ln=4tを臨界値として歩留まりの低下が顕在化することが理解される。なお、同図より、歩留まりをより確実に高く維持する上ではLnの上限を3tとすることがより好ましい。
Here, there is a possibility that the influence of the
次に、撮像用開口部の内縁各辺におけるこれら収容凹部の長さの総和Lsamの影響について述べる。内縁四辺の内一つの辺の長さをR(図1参照)とする場合、図5に示すように、0<Lsam≦0.5Rを満足すれば、内縁での変形を抑制し、好適な状態で回路基板1に撮像素子3を実装できることも確認された。なお、このLsamと内縁の変形との関係についての相関を図5に示す。同図において、横軸はLsamの値を示し、縦軸は得られる撮像装置の実装時の歩留まりを示す。また、sam=1は内縁のある辺において大きな収容凹部1個によって電子部品を収容する場合を、sam=3は3個の場合を、sam=9は上述したように個々の電子部品に対応した収容凹部9個を用いた場合を示している。収容凹部の増加に伴って該収容凹部の分布が分散することから該収容凹部の影響は小さくなるが、Lsam=0.5Rを臨界値として歩留まりの低下が顕在化することが理解される。なお、同図より、歩留まりをより確実に高く維持する上ではLsamの上限を0.3Rとすることがより好ましい。
Next, the influence of the total sum Lsam of the lengths of the housing recesses on each side of the inner edge of the imaging opening will be described. When the length of one of the four inner edges is R (see FIG. 1), as shown in FIG. 5, if 0 <Lsam ≦ 0.5R is satisfied, deformation at the inner edge is suppressed, and a suitable state is obtained. Thus, it was confirmed that the
次に、上述した載置台11を用いた本発明の一実施形態である実装装置について説明する。図4は該実装装置100の要部の概略構成を示す図である。実装装置100は、回路基板1を支持する基板支持ユニット10、撮像素子3或いは電子部品7を支持する部品供給テーブル20、電子部品7等を部品供給テーブル20から取り出す取り出しノズルを支持する部品取り込み部30、及び電子部品7等を回路基板1に実装する実装ノズルを支持する実装部50、を有する。基板支持ユニット10は、真空吸着等によって実際に回路基板1を支持する先述した載置台11、図中矢印で示すX方向に該載置台11を駆動するX軸駆動モータ13、矢印Y方向に該載置台11を駆動するY軸駆動モータ15、及び実装ノズルに保持された撮像素子3等の姿勢等を認識するための部品認識カメラ17、を有している。該部品認識カメラ17は、載置台11に固定されており、載置台11と常に一定の位置関係を保っている。
Next, a mounting apparatus that is an embodiment of the present invention using the mounting table 11 described above will be described. FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a main part of the mounting
部品供給テーブル20は、撮像素子3等が載置されるテーブル21、該テーブル21をXY方向に駆動する不図示の駆動モータ、及び該テーブル21をXY平面内において回転駆動する回転駆動用モータ23を、有している。テーブル21上には、撮像素子3或いは電子部品7が敷き詰められた所謂ウエハの形状と略等しい形状を有した素子載置用の基板が、真空吸着等によって固定される。これら撮像素子3等は、部品載置用の基板上に単に載せられているだけであり、該基板上から容易に取り出すことが可能である。部品取り込み部30は、上下反転用の回転軸31によって回動可能に支持された取り出しノズル33、及びこれら回転軸31等を昇降駆動させる取り出しノズル昇降用モータ35、を有している。これら構成は、取り込み部ユニット39として一体化されており、不図示の駆動用モータによってX軸方向に駆動可能となるように、取り込み部基台37により支持されている。また、部品取り込み部30は、更に撮像素子3等の認識用のカメラ41及びプリアラインメントカメラ43を有しており、これらは取り出しノズル33等からなる取り込み部ユニット39とは独立して基台37に固定、支持されている。
The component supply table 20 includes a table 21 on which the
プリアラインメントカメラ43は、取り出しノズル33に保持された撮像素子3等を撮像する。該プリアラインメントカメラ43により得られた映像に対しては画像処理が施され、撮像素子3を保持した際の基準位置及び基準姿勢からのズレ量が求められる。なお、これらズレ量は、X軸方向、Y軸方向及び回転角度θの各々について求められる。これらズレ量の算出は不図示の制御装置において為され、該制御装置はプリアラインメントカメラ43と共に、ズレ量検出手段を構成する。実装部50は、実装ノズル51、θ回転モータ53、及び実装ノズル昇降用モータ55を有している。実装ノズル51は、例えば超音波振動を用いて撮像素子3等を回路基板1に対して実装可能な機能を有する。θ回転モータ53は、XY平面に対して垂直な軸を中心として該実装ノズル51を回転駆動する。実装ノズル昇降用モータ55は、実装ノズル55及びθ回転モータ53を昇降駆動させる。これら構成は実装ユニット57として一体化されており、不図示の駆動用モータによってY軸方向に駆動可能となるように、実装部基台59により支持されている。なお、実装ユニット57には、実装ノズル51、θ回転モータ53、及び実装ノズル昇降用モータ55とは独立して、基板マーク認識用カメラ61が固定されている。
The
なお、上述したX軸方向及びY軸方向に対する各構成の駆動は、各々駆動用モータに直結したボールネジ軸とガイドレール等からなる組み合わせによって実行される。これら構成に関しては、実装装置の種々構成は本発明の主たる特徴を構成するものではないことからここでの説明は省略する。また、これら駆動操作に用いられる構成は公知であって、要求される停止精度及び駆動速度に応じて他の公知構成と適宜変更されることが好ましい。また、本実施形態では取り出しノズルがX軸方向に、実装ノズルがY軸方向に、各々移動することとしているが、取り出しノズルがY軸方向に移動し且つ実装ノズルがX軸方向に移動する構成としても良い。 The driving of each component in the X-axis direction and the Y-axis direction described above is executed by a combination of a ball screw shaft and a guide rail that are directly connected to the driving motor. With respect to these configurations, various configurations of the mounting apparatus do not constitute the main features of the present invention, and therefore description thereof is omitted here. In addition, the configuration used for these driving operations is publicly known, and is preferably changed as appropriate from other known configurations according to the required stop accuracy and driving speed. In this embodiment, the take-out nozzle moves in the X-axis direction and the mounting nozzle moves in the Y-axis direction. However, the take-out nozzle moves in the Y-axis direction and the mounting nozzle moves in the X-axis direction. It is also good.
次に、当該実装装置100を用いた、実装工程について説明する。本発明の一実施形態に係る実装工程では、載置台11による回路基板1の支持、実装ノズル51による撮像素子3の保持、実装ノズル51からの押圧力及び接合力の付与による撮像素子3のバンプ3bと端子電極5との接合の工程を有する。これら工程を有した上で、本発明では、撮像素子3以外の他の電子部品7を載置台11の支持面11aに設けられた収容凹部により収容しつつ、該支持面11aにて回路基板11を支持している。その際、上述したように、回路基板1に対して垂直な方向において、該撮像用開口部1cと収容凹部11-1〜11-9との各々について、少なくとも部分的に整列する領域において該撮像用開口部1cの内縁に沿った領域の長さをLとする。本形態では、更に収容凹部11-1〜11-9は、各々凹部長さL1〜L9を有すると仮定した場合に、これらLn(n=1〜9)の各々が0<Ln≦4tを満たすことを特徴としている。
Next, a mounting process using the mounting
なお、上述した実施形態では、バンプ3bが矩形状の撮像素子3の対向する一対の側辺各々に添って複数配置される態様について説明している。しかしながら、上述した実装時の歩留まりとLn及びLsamとの関係は当該態様に限定されず、撮像素子の一辺のみに沿う様にバンプが一列に並置される態様、或いは四辺すべてに対してバンプが配置される態様に関しても同様に成立している。また、収容凹部の数が実装された電子部品より多く配置されていた場合であっても、上述したLn及びLsamとt及びRとの関係が成り立つ範囲であれば回路基板の変形は好適に抑制可能である。従って、異なった回路基板と撮像素子の組み合わせでの実装操作においても、上記関係を満たすことを前提として、同一の載置台を用いることが可能となる。従って、載置台の変更、形成等に要するコストや工程時間の延長を抑制するという効果も得られる。
In the above-described embodiment, a mode is described in which a plurality of
本発明は、撮像用開口部を有する回路基板に対して撮像素子を実装する装置及び実装方法を対象とする。しかしながら、本発明の概念は当該態様のみならず、上面から下面に貫通する貫通孔或いは強度的にこれに相当する部分を有する回路基板を下面側から支持し、電子部品等を実装する実装装置及びその製造方法に適用可能である。また、電子部品の実装のみならず、例えば回路基板に対してスキージによって電極ペーストを塗布する場合であって、該回路基板に先の貫通穴等が存在する場合に対しても本発明の概念は適用可能である。従って、本発明において、撮像素子は電子部品として、又回路基板は基板として特定し、更に上位の概念として本発明を把握することが好ましい。 The present invention is directed to an apparatus and a mounting method for mounting an imaging element on a circuit board having an imaging opening. However, the concept of the present invention is not limited to this aspect, and a mounting apparatus for mounting an electronic component or the like by supporting a circuit board having a through hole penetrating from the upper surface to the lower surface or a portion corresponding to the strength from the lower surface side. It is applicable to the manufacturing method. The concept of the present invention applies not only to the mounting of electronic components, but also to the case where an electrode paste is applied to a circuit board with a squeegee, for example, and the previous through hole or the like exists in the circuit board. Applicable. Therefore, in the present invention, it is preferable to identify the imaging device as an electronic component and the circuit board as a substrate, and to grasp the present invention as a higher concept.
1:回路基板、 3:撮像素子、 5:端子電極、 7:電子部品、 10:基板支持ユニット、 11:載置台、 13:X軸駆動モータ、 15:Y軸駆動モータ、 17:部品認識カメラ、 20:部品供給テーブル、 21:テーブル、 23:回転駆動用モータ、 30:部品取り込み部、 31:回転軸、 33:取り出しノズル、 35:ノズル昇降用モータ、 37:取り込み部基台 39:取り込み部ユニット、 41:カメラ、 43:プリアラインメントカメラ、 50:実装部、 51:実装ノズル、 53:θ回転モータ、 55:実装ノズル昇降用モータ、 57:実装ユニット、 61:基板マーク認識用カメラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Circuit board 3: Imaging element 5: Terminal electrode 7: Electronic component 10: Board | substrate support unit 11: Mounting stand 13: X-axis drive motor 15: Y-axis drive motor 17: Component recognition camera , 20: parts supply table, 21: table, 23: motor for rotation drive, 30: parts take-in part, 31: rotating shaft, 33: take-out nozzle, 35: motor for raising / lowering nozzle, 37: take-in part base 39: take-in Unit: 41: camera, 43: pre-alignment camera, 50: mounting unit, 51: mounting nozzle, 53: θ rotation motor, 55: mounting nozzle lifting motor, 57: mounting unit, 61: substrate mark recognition camera
Claims (2)
前記電子部品を保持して前記バンプを前記端子電極に押圧し、前記バンプと前記端子電極とを接合する接合力を供する実装ノズルと、
前記実装ノズルが前記接合力を供する際に前記基板の前記他方の面を支持する載置台と、を有し、
前記載置台は前記基板における前記他方の面に実装された他の電子部品を収容可能な収容凹部を有し、
前記基板に対して垂直な方向において前記貫通孔と前記収容凹部とが少なくとも部分的に整列する領域における前記貫通孔の内縁に沿った前記収容凹部の長さLは、前記基板の前記電子部品が実装される領域の厚さをtとしたときに、0<L≦4tを満足することを特徴とする実装装置。 The electronic component is bonded to the substrate by bonding a bump disposed on the back surface of the electronic component to a terminal electrode formed on the one surface of the substrate having a through hole penetrating from one surface to the other surface. A mounting device for mounting against
A mounting nozzle that holds the electronic component and presses the bump against the terminal electrode to provide a bonding force for bonding the bump and the terminal electrode;
A mounting table that supports the other surface of the substrate when the mounting nozzle provides the bonding force;
The mounting table has an accommodation recess capable of accommodating other electronic components mounted on the other surface of the substrate,
The length L of the housing recess along the inner edge of the through hole in a region where the through hole and the housing recess are at least partially aligned in a direction perpendicular to the substrate is determined by the electronic component of the board. A mounting apparatus characterized by satisfying 0 <L ≦ 4t, where t is a thickness of a region to be mounted.
載置台によって前記基板を前記他方の面から支持し
実装ノズルによって前記電子部品を保持し、
前記載置台に支持された前記基板上の前記端子電極に対して、前記実装ノズルによって前記バンプを押圧し、前記バンプと前記端子電極とを接合する接合力を供し、
前記電子部品のバンプと前記基板の端子電極とを接合する工程を有し、
前記載置台は前記基板を支持する際に、支持面に設けられた収容凹部によって前記基板における前記他方の面に実装された他の電子部品を収容し、
前記基板に対して垂直な方向において前記貫通孔と前記収容凹部とが少なくとも部分的に整列する領域における前記貫通孔の内縁に沿った前記収容凹部の長さLは、前記基板の前記電子部品が実装される領域の厚さをtとしたときに、0<L≦4tを満足することを特徴とする実装方法。 The electronic component is bonded to the substrate by bonding a bump disposed on the back surface of the electronic component to a terminal electrode formed on the one surface of the substrate having a through hole penetrating from one surface to the other surface. An implementation method that implements for
The substrate is supported from the other surface by a mounting table, and the electronic component is held by a mounting nozzle,
For the terminal electrode on the substrate supported by the mounting table, pressing the bump by the mounting nozzle, providing a bonding force for bonding the bump and the terminal electrode,
A step of bonding the bump of the electronic component and the terminal electrode of the substrate;
When the mounting table supports the substrate, the mounting table accommodates another electronic component mounted on the other surface of the substrate by a housing recess provided on the support surface,
The length L of the housing recess along the inner edge of the through hole in a region where the through hole and the housing recess are at least partially aligned in a direction perpendicular to the substrate is determined by the electronic component of the board. A mounting method characterized by satisfying 0 <L ≦ 4t, where t is a thickness of a region to be mounted.
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