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JP2012058150A - Current sensor - Google Patents

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JP2012058150A
JP2012058150A JP2010203433A JP2010203433A JP2012058150A JP 2012058150 A JP2012058150 A JP 2012058150A JP 2010203433 A JP2010203433 A JP 2010203433A JP 2010203433 A JP2010203433 A JP 2010203433A JP 2012058150 A JP2012058150 A JP 2012058150A
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magnetic field
current
measured
current sensor
magnetoresistive effect
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Withdrawn
Application number
JP2010203433A
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Japanese (ja)
Inventor
Manabu Tamura
学 田村
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Alps Green Devices Co Ltd
Original Assignee
Alps Green Devices Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a current sensor which is capable of measuring a current to be measured over a wide range and further can be small-sized.SOLUTION: A current sensor 1 includes: a magnetic field detection bridge circuit including magneto-resistance effect elements 122a-122d of which the resistance value is varied by an induction magnetic field from a current to be measured being applied; electromagnets 13a, 13b for applying a magnetic field H1 to the magneto-resistance effect elements 122a-122d; and a switching control circuit 221 for controlling a magnetic field strength to be applied from the electromagnets 13a, 13b to the magneto-resistance effect elements 122a-122d in accordance with an output signal outputted from the magnetic field detection bridge circuit.

Description

本発明は、電流の大きさを測定する電流センサに関し、特に、導体を流れる電流を、磁電変換素子を介して検出する電流センサに関する。   The present invention relates to a current sensor that measures the magnitude of a current, and more particularly to a current sensor that detects a current flowing through a conductor via a magnetoelectric conversion element.

近年、電気自動車やソーラー電池などの分野では、電気自動車やソーラー電池装置の大出力化・高性能化に伴って、取り扱う電流値が大きくなってきており、直流大電流を非接触で測定する電流センサが広く用いられている。このような電流センサとしては、検出対象となる導体に流れる電流を、導体周囲の磁界の変化を介して検出する磁電変換素子を備えたものが提案されている。また、電流センサとして、広い測定レンジを持つ電流センサが開発されている。   In recent years, in the fields of electric vehicles and solar batteries, the current value handled has increased with the increase in output and performance of electric vehicles and solar battery devices. Sensors are widely used. As such a current sensor, a sensor having a magnetoelectric conversion element that detects a current flowing through a conductor to be detected through a change in a magnetic field around the conductor has been proposed. As a current sensor, a current sensor having a wide measurement range has been developed.

広い測定レンジを持つ電流センサとしては、導体からの距離を変えた位置に2つの磁気センサを配置した電流センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。かかる電流センサにおいては、導体を通流する被測定電流からの誘導磁界の磁界強度の異なる場所に2つの磁気センサを配置し、この2つの磁気センサの出力信号により被測定電流を測定する。   As a current sensor having a wide measurement range, a current sensor has been proposed in which two magnetic sensors are arranged at positions where the distance from a conductor is changed (see, for example, Patent Document 1). In such a current sensor, two magnetic sensors are arranged at different magnetic field strengths of the induced magnetic field from the current to be measured flowing through the conductor, and the current to be measured is measured by the output signals of the two magnetic sensors.

特開2004−132790号公報JP 2004-132790 A

しかしながら、特許文献1記載の電流センサにおいては、広範囲な測定レンジにするために、導体と磁気センサとの間の距離を広げる必要があるため、必要スペースが大きくなる問題がある。さらに、2つの磁気センサと導体との間の距離の誤差により、電流センサの測定精度が低下する問題があり、特に電流センサを小型化した場合には、2つの磁気センサと導体との間の距離を高精度で一致させる必要がある。このように、従来の電流センサでは、電流センサの小型化及び被測定電流の測定レンジの拡大を共に実現することは困難であった。   However, in the current sensor described in Patent Document 1, it is necessary to increase the distance between the conductor and the magnetic sensor in order to obtain a wide measurement range. In addition, there is a problem that the measurement accuracy of the current sensor is lowered due to an error in the distance between the two magnetic sensors and the conductor, and particularly when the current sensor is downsized, there is a problem between the two magnetic sensors and the conductor. It is necessary to match the distance with high accuracy. As described above, it has been difficult for the conventional current sensor to realize both the downsizing of the current sensor and the expansion of the measurement range of the current to be measured.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、広範囲の被測定電流を測定でき、しかも小型化可能な電流センサを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to provide a current sensor that can measure a wide range of currents to be measured and can be miniaturized.

本発明の電流センサは、被測定電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化する少なくとも1つの磁気抵抗効果素子を含む磁界検出ブリッジ回路と、前記磁気抵抗効果素子に磁界を印加する少なくとも1つの電磁石と、前記磁界検出ブリッジ回路から出力される出力信号に応じて前記電磁石から前記磁気抵抗効果素子に印加する磁界強度を制御する切替制御手段とを具備することを特徴とする。   The current sensor of the present invention includes a magnetic field detection bridge circuit including at least one magnetoresistive effect element whose resistance value is changed by applying an induction magnetic field from a current to be measured, and at least one applying a magnetic field to the magnetoresistive effect element. An electromagnet and switching control means for controlling a magnetic field intensity applied from the electromagnet to the magnetoresistive element in accordance with an output signal output from the magnetic field detection bridge circuit.

この構成によれば、電磁石から磁気抵抗効果素子に磁界を印加することにより、被測定電流からの誘導磁界及び電磁石からの磁界からなる磁化ベクトルと、磁気抵抗効果素子の感度軸方向と、がなす角度が増大するので、磁気抵抗効果素子の検出感度が低下する。このため、磁界検出ブリッジ回路から出力される出力信号に応じて電磁石から磁気抵抗効果素子に印加する磁界強度を制御することにより、被測定電流の大きさに応じて磁気抵抗効果素子の検出感度を調整することが可能となる。これにより、被測定電流が大電流の場合においても磁気抵抗効果素子の磁気飽和を抑制することができる。また、電磁石から磁気抵抗効果素子に印加する磁界強度を調整することにより、磁気抵抗効果素子と被測定電流を通流する導体との間の距離を変えることなく磁気抵抗効果素子の検出感度を調整できるので、電流センサの小型化が可能となる。したがって、広範囲の被測定電流を測定でき、小型化可能な電流センサを提供することが可能となる。   According to this configuration, by applying a magnetic field from the electromagnet to the magnetoresistive effect element, a magnetization vector composed of an induced magnetic field from the current to be measured and a magnetic field from the electromagnet and a sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect element are formed. Since the angle increases, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect element decreases. Therefore, by controlling the magnetic field strength applied from the electromagnet to the magnetoresistive effect element according to the output signal output from the magnetic field detection bridge circuit, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect element is increased according to the magnitude of the current to be measured. It becomes possible to adjust. Thereby, even when the current to be measured is a large current, the magnetic saturation of the magnetoresistive element can be suppressed. Also, by adjusting the strength of the magnetic field applied from the electromagnet to the magnetoresistive effect element, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect element is adjusted without changing the distance between the magnetoresistive effect element and the conductor through which the current to be measured flows. Therefore, the current sensor can be miniaturized. Therefore, it is possible to provide a current sensor that can measure a wide range of current under measurement and can be miniaturized.

本発明の電流センサにおいては、前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置され、前記誘導磁界を相殺するキャンセル磁界を発生するフィードバックコイルをさらに具備し、前記磁界検出ブリッジ回路で得られる電圧差により前記フィードバックコイルに通電して前記誘導磁界と前記キャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときの前記フィードバックコイルに流れる電流に基づいて前記被測定電流を測定することが好ましい。   The current sensor according to the present invention further includes a feedback coil that is disposed in the vicinity of the magnetoresistive effect element and generates a canceling magnetic field that cancels the induced magnetic field, and the feedback based on a voltage difference obtained by the magnetic field detection bridge circuit. The current to be measured is preferably measured based on a current flowing through the feedback coil when the coil is energized to achieve an equilibrium state in which the induction magnetic field and the cancellation magnetic field cancel each other.

本発明の電流センサにおいては、前記磁気抵抗効果素子は、その長手方向が互いに平行になるように配置された複数の帯状の長尺パターンが折り返してなる形状を有し、前記誘導磁界及び前記キャンセル磁界が前記長手方向に直交する方向に沿うように印加されることが好ましい。   In the current sensor of the present invention, the magnetoresistive effect element has a shape formed by folding a plurality of strip-like long patterns arranged so that the longitudinal directions thereof are parallel to each other, and the induction magnetic field and the cancellation It is preferable that the magnetic field is applied so as to be along a direction orthogonal to the longitudinal direction.

本発明の電流センサにおいては、前記磁界検出ブリッジ回路により、前記誘導磁界に比例した前記2つの磁気抵抗効果素子の出力により前記被測定電流を測定することが好ましい。   In the current sensor of the present invention, it is preferable that the current to be measured is measured by the magnetic field detection bridge circuit based on outputs of the two magnetoresistive elements proportional to the induced magnetic field.

本発明によれば、広範囲の被測定電流を測定でき、しかも小型化可能な電流センサを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a current sensor that can measure a wide range of currents to be measured and can be miniaturized.

本発明の実施の形態に係る電流センサの模式的な斜視図である。It is a typical perspective view of the current sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る電流センサの平面模式図である。It is a plane schematic diagram of the current sensor according to the embodiment of the present invention. (a)は、本発明の実施の形態に係る電流センサにおける磁界検出ブリッジ回路を示す図であり、(b)は、(a)のA−A線矢視断面の模式図である。(A) is a figure which shows the magnetic field detection bridge circuit in the current sensor which concerns on embodiment of this invention, (b) is a schematic diagram of the AA arrow cross section of (a). (a)、(b)は、本発明の実施の形態に係る電流センサの磁気抵抗効果素子の検出原理の説明図である。(A), (b) is explanatory drawing of the detection principle of the magnetoresistive effect element of the current sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る電流センサの機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the current sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る電流センサの被測定電流測定時における制御フローの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the control flow at the time of the to-be-measured current measurement of the current sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る電流センサの被測定電流測定時における制御フローの他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the control flow at the time of the to-be-measured current measurement of the current sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る電流センサの他の例を示す平面模式図である。It is a plane schematic diagram which shows the other example of the current sensor which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。まず、本発明に係る電流センサが磁気平衡式電流センサである場合について説明する。なお、以下の実施の形態においては、4つの磁気抵抗効果素子により磁界検出ブリッジ回路を構成する例について説明するが、磁界検出ブリッジ回路は、少なくとも1つの磁気抵抗効果素子を用いて構成することが可能であり、例えば、2つの磁気抵抗効果素子及び2つの固定抵抗素子を用いて構成することも可能である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, the case where the current sensor according to the present invention is a magnetic balance type current sensor will be described. In the following embodiment, an example in which a magnetic field detection bridge circuit is configured by four magnetoresistive effect elements will be described. However, the magnetic field detection bridge circuit may be configured by using at least one magnetoresistive effect element. For example, it may be configured using two magnetoresistive elements and two fixed resistance elements.

図1は、本実施の形態に係る電流センサ1の模式的な斜視図であり、図2は、本実施の形態に係る電流センサ1の平面模式図である。図1及び図2に示すように、本実施の形態に係る電流センサ1は、被測定電流Iが流れる導体11の近傍に配設される。この電流センサ1は、導体11に流れる被測定電流Iによる誘導磁界Hを打ち消す磁界(キャンセル磁界)を生じさせるフィードバック回路12を備える。このフィードバック回路12は、被測定電流Iによって発生する磁界を打ち消す方向に巻回されたフィードバックコイル121と、4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dとを有する。また、この電流センサ1は、磁気抵抗効果素子122a〜122dに向けて磁界H1(図4参照)を印加する一対の電磁石13a、13bを備えており、この電磁石13a、13bにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を調整可能に構成されている。   FIG. 1 is a schematic perspective view of a current sensor 1 according to the present embodiment, and FIG. 2 is a schematic plan view of the current sensor 1 according to the present embodiment. As shown in FIGS. 1 and 2, the current sensor 1 according to the present embodiment is disposed in the vicinity of the conductor 11 through which the current I to be measured flows. The current sensor 1 includes a feedback circuit 12 that generates a magnetic field (cancellation magnetic field) that cancels the induced magnetic field H caused by the current I to be measured flowing through the conductor 11. The feedback circuit 12 includes a feedback coil 121 wound in a direction that cancels a magnetic field generated by the current I to be measured, and four magnetoresistive elements 122a to 122d. The current sensor 1 also includes a pair of electromagnets 13a and 13b that apply a magnetic field H1 (see FIG. 4) toward the magnetoresistive effect elements 122a to 122d. The detection sensitivity of 122a-122d is comprised so that adjustment is possible.

フィードバックコイル121は平面コイルで構成されている。この構成においては、磁気コアを有しないので、低コストでフィードバックコイル121を作製することができる。また、トロイダルコイルの場合に比べて、フィードバックコイル121から生じるキャンセル磁界が広範囲に拡がることを防止でき、周辺回路に影響を与えることを回避できる。さらに、トロイダルコイルの場合に比べて、被測定電流Iが交流の場合に、フィードバックコイル121によるキャンセル磁界の制御が容易であり、制御のために流す電流もそれほど大きくならない。これらの効果については、被測定電流Iが交流で高周波になるほど大きくなる。フィードバックコイル121は平面コイルで構成する場合において、平面コイルの形成面と平行な面内で誘導磁界Hとキャンセル磁界の両方が生じるように平面コイルが設けられていることが好ましい。   The feedback coil 121 is a planar coil. In this configuration, since the magnetic core is not provided, the feedback coil 121 can be manufactured at a low cost. Further, as compared with the case of the toroidal coil, the cancel magnetic field generated from the feedback coil 121 can be prevented from spreading over a wide range, and the influence on the peripheral circuit can be avoided. Further, when the current I to be measured is an alternating current as compared with the case of the toroidal coil, the control of the cancellation magnetic field by the feedback coil 121 is easy, and the current flowing for the control is not so large. About these effects, it becomes so large that the to-be-measured current I becomes a high frequency by alternating current. When the feedback coil 121 is configured by a planar coil, the planar coil is preferably provided so that both the induction magnetic field H and the canceling magnetic field are generated in a plane parallel to the plane of formation of the planar coil.

磁気抵抗効果素子122a〜122dは、被測定電流Iからの誘導磁界Hの印加により抵抗値が変化する。この4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dにより磁界検出ブリッジ回路123を構成している。このように磁気抵抗効果素子122a〜122dを有する磁界検出ブリッジ回路123を用いることにより、高感度の電流センサ1を実現することができる。   The resistance values of the magnetoresistive elements 122a to 122d change due to the application of the induced magnetic field H from the current I to be measured. The four magnetoresistive effect elements 122a to 122d constitute a magnetic field detection bridge circuit 123. By using the magnetic field detection bridge circuit 123 having the magnetoresistive effect elements 122a to 122d as described above, the highly sensitive current sensor 1 can be realized.

この磁界検出ブリッジ回路123は、被測定電流Iにより生じた誘導磁界Hに応じた電圧差を生じる2つの出力を備える。図2に示す磁界検出ブリッジ回路123においては、磁気抵抗効果素子122bと磁気抵抗効果素子122cとの間の接続点に電源Vddが接続されており、磁気抵抗効果素子122aと磁気抵抗効果素子122dとの間の接続点にグランド(GND)が接続されている。さらに、この磁界検出ブリッジ回路123においては、磁気抵抗効果素子122a、122b間の接続点から一つの出力(Out1)を取り出し、磁気抵抗効果素子122c、122d間の接続点からもう一つの出力(Out2)を取り出している。これらの2つの出力は増幅器124で増幅され、フィードバックコイル121に電流(フィードバック電流)として与えられる。このフィードバック電流は、誘導磁界Hに応じた電圧差に対応する。このとき、フィードバックコイル121には、誘導磁界Hを相殺するキャンセル磁界が発生する。そして、誘導磁界Hとキャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときのフィードバックコイル121に流れる電流に基づいて検出部(検出抵抗R)で被測定電流Iを測定する。   The magnetic field detection bridge circuit 123 includes two outputs that generate a voltage difference corresponding to the induced magnetic field H generated by the current I to be measured. In the magnetic field detection bridge circuit 123 shown in FIG. 2, a power source Vdd is connected to a connection point between the magnetoresistive effect element 122b and the magnetoresistive effect element 122c, and the magnetoresistive effect element 122a and the magnetoresistive effect element 122d are connected to each other. A ground (GND) is connected to a connection point between the two. Further, in this magnetic field detection bridge circuit 123, one output (Out1) is taken out from the connection point between the magnetoresistive effect elements 122a and 122b, and another output (Out2) from the connection point between the magnetoresistive effect elements 122c and 122d. ) Is taken out. These two outputs are amplified by the amplifier 124 and supplied to the feedback coil 121 as a current (feedback current). This feedback current corresponds to a voltage difference corresponding to the induced magnetic field H. At this time, a cancellation magnetic field that cancels the induction magnetic field H is generated in the feedback coil 121. Then, the current to be measured I is measured by the detection unit (detection resistor R) based on the current flowing through the feedback coil 121 when the induced magnetic field H and the canceling magnetic field cancel each other.

磁気抵抗効果素子122a〜122dとしては、図2の拡大図に示すように、その長手方向が互いに平行になるように配置された複数の帯状の長尺パターン(ストライプ)が折り返してなる形状(ミアンダ形状)を有するGMR素子であることが好ましい。このミアンダ形状において、感度軸方向(Pin方向)は、長尺パターンの長手方向(ストライプ長手方向)に対して直交する方向(ストライプ幅方向)である。このミアンダ形状においては、誘導磁界H及びキャンセル磁界がストライプ長手方向に直交する方向(ストライプ幅方向)に沿うように印加される。   As shown in the enlarged view of FIG. 2, the magnetoresistive effect elements 122a to 122d are formed by folding back a plurality of strip-like long patterns (stripes) arranged so that their longitudinal directions are parallel to each other. GMR element having a shape) is preferable. In this meander shape, the sensitivity axis direction (Pin direction) is a direction (stripe width direction) orthogonal to the longitudinal direction (stripe longitudinal direction) of the long pattern. In this meander shape, the induced magnetic field H and the canceling magnetic field are applied so as to be along a direction (stripe width direction) orthogonal to the stripe longitudinal direction.

このミアンダ形状においては、リニアリティを考慮すると、感度軸方向(Pin方向)の幅が1μm〜10μmであることが好ましい。この場合において、リニアリティを考慮すると、ミアンダ形状の長手方向が、誘導磁界Hの方向及びキャンセル磁界の方向に対して共に垂直になることが望ましい。このようなミアンダ形状にすることにより、ホール素子よりも少ない端子数(2端子)で磁気抵抗効果素子の出力を採ることができる。   In this meander shape, in consideration of linearity, the width in the sensitivity axis direction (Pin direction) is preferably 1 μm to 10 μm. In this case, considering linearity, it is desirable that the longitudinal direction of the meander shape is perpendicular to the direction of the induction magnetic field H and the direction of the cancellation magnetic field. By adopting such a meander shape, the output of the magnetoresistive effect element can be taken with a smaller number of terminals (two terminals) than the Hall element.

電磁石13a、13bは、磁気抵抗効果素子122a〜122dを挟むように基板(不図示)上に配設される。また、電磁石13a、13bは、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向に対して略直交する方向から磁界を印加するように配設される。電磁石13a、13bは、制御部200の切替制御回路221(図5参照)に接続されており、磁気抵抗効果素子122a〜122dから出力される出力信号に応じて磁気抵抗効果素子122a〜122dに印加する磁界強度を調整可能に構成されている。   The electromagnets 13a and 13b are disposed on a substrate (not shown) so as to sandwich the magnetoresistive elements 122a to 122d. The electromagnets 13a and 13b are arranged so as to apply a magnetic field from a direction substantially orthogonal to the sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d. The electromagnets 13a and 13b are connected to the switching control circuit 221 (see FIG. 5) of the control unit 200, and are applied to the magnetoresistive elements 122a to 122d according to output signals output from the magnetoresistive elements 122a to 122d. The magnetic field strength to be adjusted is configured to be adjustable.

このような構成を有する電流センサ1においては、図1に示すように、被測定電流Iから発生した誘導磁界Hを磁気抵抗効果素子122a〜122dで受け、その誘導磁界Hをフィードバックしてフィードバックコイル121からキャンセル磁界を発生し、2つの磁界(誘導磁界H、キャンセル磁界)を相殺して磁気抵抗効果素子122a〜122dに印加する磁場が零になるように適宜調整する。   In the current sensor 1 having such a configuration, as shown in FIG. 1, an induced magnetic field H generated from the current I to be measured is received by the magnetoresistive effect elements 122a to 122d, and the induced magnetic field H is fed back and fed back to the feedback coil. A cancel magnetic field is generated from 121, and the two magnetic fields (induction magnetic field H, cancel magnetic field) are canceled out and adjusted appropriately so that the magnetic field applied to the magnetoresistive effect elements 122a to 122d becomes zero.

上記構成を有する電流センサ1は、磁気検出素子として磁気抵抗効果素子122a〜122d、特にGMR(Giant Magneto Resistance)素子やTMR(Tunnel Magneto Resistance)素子を有する磁界検出ブリッジ回路を用いる。これにより、高感度の電流センサ1を実現することができる。また、この電流センサ1は、磁界検出ブリッジ回路123が膜構成の同じ4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dで構成されている。また、上記構成を有する電流センサ1は、フィードバックコイル121、磁界検出ブリッジ回路123、及び電磁石13a、13bが同一基板上に形成されてなるので、小型化を図ることができる。さらに、この電流センサ1は、磁気コアを有しない構成であるので、小型化、低コスト化を図ることができる。   The current sensor 1 having the above configuration uses a magnetoresistive effect element 122a to 122d as a magnetic detection element, in particular, a magnetic field detection bridge circuit having a GMR (Giant Magneto Resistance) element or a TMR (Tunnel Magneto Resistance) element. Thereby, the highly sensitive current sensor 1 is realizable. In addition, the current sensor 1 includes a magnetic field detection bridge circuit 123 including four magnetoresistive elements 122a to 122d having the same film configuration. In addition, the current sensor 1 having the above configuration can be reduced in size because the feedback coil 121, the magnetic field detection bridge circuit 123, and the electromagnets 13a and 13b are formed on the same substrate. Furthermore, since the current sensor 1 has a configuration without a magnetic core, it can be reduced in size and cost.

このように配置された4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dを有する電流センサにおいて、磁界検出ブリッジ回路123の2つの出力(Out1、Out2)の電圧差が零になるようにフィードバックコイル121から磁気抵抗効果素子122a〜122dにキャンセル磁界を印加し、その際にフィードバックコイル121に流れる電流値を検出することにより、被測定電流Iを測定する。   In the current sensor having the four magnetoresistive effect elements 122a to 122d arranged in this way, the magnetic resistance from the feedback coil 121 is set so that the voltage difference between the two outputs (Out1, Out2) of the magnetic field detection bridge circuit 123 becomes zero. A canceling magnetic field is applied to the effect elements 122a to 122d, and the current to be measured I is measured by detecting the value of the current flowing through the feedback coil 121 at that time.

図1に示すように、導体11に被測定電流Iが流れると、4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dには、それぞれ誘導磁界H及びキャンセル磁界が印加される。このとき、被測定電流Iにより発生する誘導磁界Hとキャンセル磁界との合成磁界強度が零となる時に、磁界検出ブリッジ回路123の中点電位差が零となる。   As shown in FIG. 1, when the current I to be measured flows through the conductor 11, an induction magnetic field H and a cancel magnetic field are applied to the four magnetoresistive effect elements 122a to 122d, respectively. At this time, when the combined magnetic field intensity of the induced magnetic field H generated by the current I to be measured and the canceling magnetic field becomes zero, the midpoint potential difference of the magnetic field detection bridge circuit 123 becomes zero.

図3(a)は、本発明の実施の形態に係る電流センサ1における磁界検出ブリッジ回路123の配線パターンの説明図であり、図3(b)は、図3(a)におけるA−A線矢視断面の模式図である。本実施の形態に係る電流センサの磁界検出ブリッジ回路123は、図3(a)に示すように、電源供給点(Vdd)に対して対称である配線を有する。フィードバックコイル121のコイルパターンの延在方向(フィードバック電流の通電方向)とミアンダのストライプ長手方向とが沿うように、磁気抵抗効果素子122a〜122dが形成されている。ここでは、図3(b)に示すように、磁気抵抗効果素子122a〜122d上にフィードバックコイル121が配設されている。   FIG. 3A is an explanatory diagram of a wiring pattern of the magnetic field detection bridge circuit 123 in the current sensor 1 according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3B is an AA line in FIG. It is a schematic diagram of an arrow cross section. As shown in FIG. 3A, the magnetic field detection bridge circuit 123 of the current sensor according to the present embodiment has wiring that is symmetric with respect to the power supply point (Vdd). Magnetoresistive elements 122a to 122d are formed so that the extending direction of the coil pattern of feedback coil 121 (feedback direction of feedback current) and the meander stripe longitudinal direction are along. Here, as shown in FIG. 3B, a feedback coil 121 is disposed on the magnetoresistive effect elements 122a to 122d.

また、この磁気抵抗効果素子122a〜122dを接続するとともに、電源供給点(Vdd)やGndに接続する配線パターン60が形成されている。この配線パターン60は、電源供給点に対して対称である。これにより、電源供給点の両側で配線の長さがほぼ同じとなるので、電源供給点の両側で配線抵抗の差がなくなる。その結果、配線抵抗の差による中点電位のずれがなくなり、より高精度に電流測定を行うことができる。   Further, a wiring pattern 60 is formed to connect the magnetoresistive effect elements 122a to 122d and to connect to a power supply point (Vdd) or Gnd. The wiring pattern 60 is symmetric with respect to the power supply point. As a result, the wiring lengths on both sides of the power supply point are substantially the same, so that there is no difference in wiring resistance between the power supply points. As a result, the midpoint potential shift due to the difference in wiring resistance is eliminated, and current measurement can be performed with higher accuracy.

次に、図4(a)、(b)を参照して本実施の形態に係る電流センサ1の検出原理について説明する。図4(a)、(b)は、本実施の形態に係る電流センサ1の検出原理の説明図である。なお、図4(a)、(b)においては、説明の便宜上、一方の電磁石13aのみを示している。また、図4(a)、(b)においては、磁気抵抗効果素子122aにおける被測定電流Iからの誘導磁界Hと電磁石13aとの関係を示しているが、磁気抵抗効果素子122b〜122dについても同様の原理で被測定電流Iが検出される。   Next, the detection principle of the current sensor 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 (a) and 4 (b). 4A and 4B are explanatory diagrams of the detection principle of the current sensor 1 according to the present embodiment. 4 (a) and 4 (b), only one electromagnet 13a is shown for convenience of explanation. 4A and 4B show the relationship between the induced magnetic field H from the measured current I in the magnetoresistive effect element 122a and the electromagnet 13a, the magnetoresistive effect elements 122b to 122d are also shown. The current I to be measured is detected by the same principle.

図4(a)、(b)に示すように、本実施の形態に係る電流センサ1においては、被測定電流からの誘導磁界Hに対して、電磁石13aで発生する磁界H1が直交して印加され、被測定電流Iからの誘導磁界Hと電磁石で発生する磁界H1とから、感度軸方向に対して所定の角度θをなす磁化ベクトルMが形成される。この時、磁気抵抗効果素子122aの抵抗Rは、下記関係式(1)により表され、磁化ベクトルMと感度軸方向とがなす角度θにより変化する。このため、電磁石13aから印加される磁界H1が小さい場合には、感度軸方向と磁化ベクトルMとがなす角度θが0に近くなり検出感度が高くなる。
R=R0−(ΔR/R)cosθ…式(1)
(式(1)中、R0は初期抵抗、ΔRは抵抗変化であり、磁気抵抗素子の材料及び構成により決まる定数である。)
As shown in FIGS. 4A and 4B, in the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic field H1 generated by the electromagnet 13a is applied orthogonally to the induced magnetic field H from the current to be measured. Then, a magnetization vector M having a predetermined angle θ with respect to the sensitivity axis direction is formed from the induced magnetic field H from the current I to be measured and the magnetic field H1 generated by the electromagnet. At this time, the resistance R of the magnetoresistive effect element 122a is expressed by the following relational expression (1), and changes depending on the angle θ formed by the magnetization vector M and the sensitivity axis direction. For this reason, when the magnetic field H1 applied from the electromagnet 13a is small, the angle θ formed by the sensitivity axis direction and the magnetization vector M is close to 0, and the detection sensitivity is increased.
R = R0− (ΔR / R) cos θ (1)
(In Formula (1), R0 is an initial resistance, and ΔR is a resistance change, which is a constant determined by the material and configuration of the magnetoresistive element.)

図4(a)に示すように、電磁石13aから印加される磁界H1が小さい状態では、被測定電流Iからの誘導磁界Hと電磁石13aで発生する磁界H1とから、感度軸方向に対して所定の角度θ1をなす磁化ベクトルMが形成される。一方、図4(b)に示すように、電磁石13aから印加される磁界H1が大きい場合には、感度軸方向と磁化ベクトルMとがなす角度θ2が上述のθ1より大きくなり、上記関係式(1)より磁気抵抗効果素子122aの検出感度は小さくなる。また、この場合には、大電流発生時において、被測定電流Iからの誘導磁界Hが大きい場合においても、感度軸方向と磁化ベクトルMとがなす角度θが零になりにくくなるので、磁気抵抗効果素子122aの磁気飽和を抑制することができる。したがって、電流センサ1の測定レンジを拡大することができる。   As shown in FIG. 4A, when the magnetic field H1 applied from the electromagnet 13a is small, the induction magnetic field H from the current I to be measured and the magnetic field H1 generated by the electromagnet 13a are predetermined with respect to the sensitivity axis direction. A magnetization vector M having an angle θ1 is formed. On the other hand, as shown in FIG. 4B, when the magnetic field H1 applied from the electromagnet 13a is large, the angle θ2 formed by the sensitivity axis direction and the magnetization vector M becomes larger than the above θ1, and the relational expression ( 1) The detection sensitivity of the magnetoresistive effect element 122a becomes smaller. In this case, when a large current is generated, even if the induced magnetic field H from the current I to be measured is large, the angle θ formed by the sensitivity axis direction and the magnetization vector M is difficult to become zero. Magnetic saturation of the effect element 122a can be suppressed. Therefore, the measurement range of the current sensor 1 can be expanded.

次に、被測定電流測定時における電流センサ1の出力信号の制御について詳細に説明する。図5は、本実施の形態に係る電流センサ1の機能ブロック図である。図5に示すように、この電流センサ1は、被測定電流Iからの誘導磁界Hを検出するセンサ部12aと、センサ部12aの出力信号を制御する制御部200と、センサ部12aからの出力信号に応じてセンサ部12aの磁気抵抗効果素子122a〜122dに磁界を印加する電磁石13a、13とを具備する。   Next, the control of the output signal of the current sensor 1 when measuring the current to be measured will be described in detail. FIG. 5 is a functional block diagram of the current sensor 1 according to the present embodiment. As shown in FIG. 5, the current sensor 1 includes a sensor unit 12a that detects an induced magnetic field H from the current I to be measured, a control unit 200 that controls an output signal of the sensor unit 12a, and an output from the sensor unit 12a. Electromagnets 13a and 13 for applying a magnetic field to the magnetoresistive elements 122a to 122d of the sensor unit 12a according to the signal are provided.

センサ部12aは、被測定電流Iによって発生する磁界を打ち消す方向の磁界を発生可能に配置されたフィードバックコイル121と、磁気検出素子である4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dからなる磁界検出ブリッジ回路123とから構成されている。   The sensor unit 12a includes a feedback coil 121 arranged to generate a magnetic field in a direction that cancels the magnetic field generated by the current I to be measured, and four magnetoresistive effect elements 122a to 122d that are magnetic detection elements. 123.

制御部200は、センサ部12aの磁界検出ブリッジ回路123の差動出力を増幅し、フィードバックコイル121のフィードバック電流を制御する差動・電流アンプ211と、センサ部12aのフィードバック電流を電圧に変換するI/Vアンプ212と、差動・電流アンプ211からの出力信号に応じて電磁石13a、13bに供給する電流量を切替える切替制御回路221と、I/Vアンプ212の差動出力を増幅する増幅回路222と、を含む。   The control unit 200 amplifies the differential output of the magnetic field detection bridge circuit 123 of the sensor unit 12a, converts the feedback current of the feedback coil 121 and the differential / current amplifier 211, and converts the feedback current of the sensor unit 12a into a voltage. I / V amplifier 212, switching control circuit 221 for switching the amount of current supplied to electromagnets 13a and 13b according to the output signal from differential / current amplifier 211, and amplification for amplifying the differential output of I / V amplifier 212 Circuit 222.

フィードバックコイル121は、磁界検出ブリッジ回路123の磁気抵抗効果素子122a〜122dの近傍に配置されており、被測定電流Iにより発生する誘導磁界Hを相殺するキャンセル磁界を発生する。磁気抵抗効果素子122a〜122dは、被測定電流Iからの誘導磁界Hの印加により抵抗値が変化する。4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dにより磁界検出ブリッジ回路123を構成することにより、高感度の電流センサを実現することができる。また、磁気抵抗効果素子122a〜122dを用いることにより、電流センサを設置する基板面と平行な方向に感度軸を配置し易く、平面コイルを使用することが可能となる。   The feedback coil 121 is disposed in the vicinity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d of the magnetic field detection bridge circuit 123, and generates a cancel magnetic field that cancels the induced magnetic field H generated by the current I to be measured. The resistance values of the magnetoresistive elements 122a to 122d change due to the application of the induced magnetic field H from the current I to be measured. By configuring the magnetic field detection bridge circuit 123 with the four magnetoresistive elements 122a to 122d, a highly sensitive current sensor can be realized. Further, by using the magnetoresistive effect elements 122a to 122d, it is easy to arrange the sensitivity axis in a direction parallel to the substrate surface on which the current sensor is installed, and it becomes possible to use a planar coil.

磁界検出ブリッジ回路123は、被測定電流Iにより生じた誘導磁界Hに応じた電圧差を生じる2つの出力を備える。磁界検出ブリッジ回路123の2つの出力は差動・電流アンプ211で増幅され、増幅された出力がフィードバックコイル121に電流(フィードバック電流)として与えられる。このフィードバック電流は、誘導磁界Hに応じた電圧差に対応する。このとき、フィードバックコイル121には、誘導磁界Hを相殺するキャンセル磁界が発生する。そして、誘導磁界Hとキャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときのフィードバックコイル121に流れる電流がI/Vアンプ212で電圧に変換され、この電圧がセンサ出力となる。   The magnetic field detection bridge circuit 123 includes two outputs that generate a voltage difference according to the induced magnetic field H generated by the current I to be measured. Two outputs of the magnetic field detection bridge circuit 123 are amplified by the differential / current amplifier 211, and the amplified outputs are given to the feedback coil 121 as current (feedback current). This feedback current corresponds to a voltage difference corresponding to the induced magnetic field H. At this time, a cancellation magnetic field that cancels the induction magnetic field H is generated in the feedback coil 121. Then, the current flowing through the feedback coil 121 when the induced magnetic field H and the canceling magnetic field cancel each other is converted into a voltage by the I / V amplifier 212, and this voltage becomes the sensor output.

なお、差動・電流アンプ211においては、電源電圧を、I/V変換の基準電圧+(フィードバックコイル抵抗の定格内最大値×フルスケール時フィードバックコイル電流)に近い値に設定することで、フィードバック電流が自動的に制限され、磁気抵抗効果素子122a〜122dやフィードバックコイルを保護する効果が得られる。また、ここでは磁界検出ブリッジ回路123の二つの出力の差動を増幅してフィードバック電流に用いたが、ブリッジ回路からは中点電位のみを出力とし、所定の基準電位との電位差をもとにフィードバック電流としてもよい。   In the differential / current amplifier 211, the power supply voltage is set to a value close to the reference voltage for I / V conversion + (maximum value within the rated value of feedback coil resistance × feedback coil current at full scale), thereby providing feedback. The current is automatically limited, and the effect of protecting the magnetoresistive effect elements 122a to 122d and the feedback coil can be obtained. Here, the differential of the two outputs of the magnetic field detection bridge circuit 123 is amplified and used as a feedback current. However, only the midpoint potential is output from the bridge circuit, and the potential difference from a predetermined reference potential is used. It may be a feedback current.

切替制御回路221は、磁気抵抗効果素子122a〜122dからの出力信号の大きさが所定の閾値より大きいか否かを判断する判定回路を備える。切替制御回路221は、差動・電流アンプ211からの出力信号に応じて電磁石13a、13bのコイルに供給する電流量を切替えることにより、電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dへ印加する磁界強度を制御する。このような制御を行うことにより、被測定電流からの誘導磁界Hに応じて変化するセンサ部12aの出力に応じて磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を調整することが可能となる。これにより、被測定電流Iが大電流の場合には、電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dへ印加する磁界を増大させることにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を低減することが可能となる。また、被測定電流Iが小電流の場合には、電磁石13a、13bから印加する磁界を低減することにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を増大させることができる。したがって、電流センサ1の検出範囲を拡大することが可能となる。なお、後述するように、電流センサ1の被測定電流測定時において、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界を用いない場合には、切替制御回路221から電磁石13a、13bに供給される電流出力信号として用いてもよい。   The switching control circuit 221 includes a determination circuit that determines whether the magnitude of the output signal from the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is greater than a predetermined threshold. The switching control circuit 221 applies the current from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive effect elements 122a to 122d by switching the amount of current supplied to the coils of the electromagnets 13a and 13b according to the output signal from the differential / current amplifier 211. Control the magnetic field strength. By performing such control, it is possible to adjust the detection sensitivities of the magnetoresistive elements 122a to 122d according to the output of the sensor unit 12a that changes according to the induced magnetic field H from the current to be measured. Thereby, when the current I to be measured is a large current, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is reduced by increasing the magnetic field applied from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive effect elements 122a to 122d. It becomes possible. When the current I to be measured is a small current, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d can be increased by reducing the magnetic field applied from the electromagnets 13a and 13b. Therefore, the detection range of the current sensor 1 can be expanded. As will be described later, when the current to be measured of the current sensor 1 is measured, when the cancel magnetic field from the feedback coil 121 is not used, it is used as a current output signal supplied from the switching control circuit 221 to the electromagnets 13a and 13b. May be.

次に、図6を参照して本実施の形態に係る電流センサ1の被測定電流測定時における制御フローについて詳細に説明する。図6は、本実施の形態に係る電流センサ1の被測定電流測定時における制御フローの一例を示す図である。   Next, a control flow at the time of measuring the current to be measured of the current sensor 1 according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a control flow at the time of measuring the current to be measured by the current sensor 1 according to the present embodiment.

図6に示すように、被測定電流測定開始後、センサ部12aにより被測定電流Iを測定する(ステップST1)。次に、切替制御回路221は、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S1より大きいか否かを判定する(ステップST2)。ステップST2において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S1より大きい場合には、電磁石13a、13bへの電流供給量を増大する(ステップST3)。ステップST2において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S1以下の場合には、電磁石13a、13bへ電流供給量を一定とした状態でセンサ部12aにより被測定電流Iの測定を継続する(ステップST1)。   As shown in FIG. 6, after starting measurement of the current to be measured, the current to be measured I is measured by the sensor unit 12a (step ST1). Next, the switching control circuit 221 determines whether or not the output signal from the sensor unit 12a is greater than a predetermined threshold value S1 (step ST2). In step ST2, when the output signal from the sensor unit 12a is larger than the predetermined threshold value S1, the amount of current supplied to the electromagnets 13a and 13b is increased (step ST3). In step ST2, when the output signal from the sensor unit 12a is equal to or less than the predetermined threshold S1, the measurement of the measured current I is continued by the sensor unit 12a with the current supply amount constant to the electromagnets 13a and 13b ( Step ST1).

次に、電磁石13a、13bへの電流の供給後、切替制御回路221は、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S1より大きいか否かを所定の時定数で判定する(ステップS4)。ステップST4において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S1より大きい場合には、切替制御回路221から電磁石13a、13bへの電流供給量を増大して電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dへ印加する磁界を増大する(ステップST3)。これにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向と、電磁石13a、13bからの磁界H1及び被測定電流Iからの誘導磁界Hからなる磁化ベクトルMと、がなす角度θが増大するので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度が低下する。したがって、被測定電流Iが大きい場合においても磁気抵抗効果素子122a〜122dの磁気飽和を抑制することができる。   Next, after supplying the current to the electromagnets 13a and 13b, the switching control circuit 221 determines whether or not the output signal from the sensor unit 12a is larger than a predetermined threshold S1 with a predetermined time constant (step S4). In step ST4, when the output signal from the sensor unit 12a is larger than the predetermined threshold value S1, the amount of current supplied from the switching control circuit 221 to the electromagnets 13a and 13b is increased and the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive effect element 122a. The magnetic field applied to -122d is increased (step ST3). As a result, the angle θ formed by the sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d and the magnetization vector M composed of the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b and the induced magnetic field H from the measured current I increases. The detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is lowered. Therefore, even when the measured current I is large, the magnetic saturation of the magnetoresistive elements 122a to 122d can be suppressed.

また、ステップST4において、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S1以下の場合、次に、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S2より小さいか否かを判定する(ステップST5)。ステップST5において、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S2より小さい場合には、電磁石13a、13bへの電流供給量を減少させる(ステップST6)。これにより、電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dに印加される磁界強度が低減するので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向と、電磁石13a、13bからの磁界H1及び被測定電流Iからの誘導磁界Hからなる磁化ベクトルMと、がなす角度θが小さくなる。したがって、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度が向上する。   If the output signal of the sensor unit 12a is equal to or smaller than the predetermined threshold value S1 in step ST4, it is next determined whether or not the output signal of the sensor unit 12a is smaller than the predetermined threshold value S2 (step ST5). In step ST5, when the output signal of the sensor unit 12a is smaller than the predetermined threshold value S2, the amount of current supplied to the electromagnets 13a and 13b is decreased (step ST6). As a result, the strength of the magnetic field applied from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is reduced, so that the sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d, the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b, and the measurement target. The angle θ formed by the magnetization vector M composed of the induction magnetic field H from the current I is small. Therefore, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is improved.

また、ステップST5において、センサ部12aの出力信号が所定の閾値以上の場合には、電流供給量を一定とした状態で、センサ部12aによる被測定電流Iの測定を継続する(ステップST1)。このように、本実施の形態に係る電流センサ1においては、切替制御回路221によって、電磁石13a、13bへの電流供給量を制御し、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を調整しながら被測定電流Iを測定する。このような制御により、例えば、電気自動車等において、被測定電流Iが小電流となる停車時には、センサ部12aからの出力信号が微小値(閾値S1以下)となるので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を増大させて検出感度を向上できる。また、被測定電流Iが大電流となる電気自動車の発進時においては、出力信号が所定の閾値S1より大きくなるので、電磁石13aからの磁界の印加により、センサ部12aからの磁気抵抗効果素子122a〜122dの磁気飽和を抑制することが可能となる。このため、電流センサ1を電気自動車に用いた場合においても、小電流を精度よく検出でき、しかも大電流も測定可能な電流センサを実現することができる。   In step ST5, when the output signal of the sensor unit 12a is equal to or greater than a predetermined threshold value, the measurement of the measured current I by the sensor unit 12a is continued with the current supply amount being constant (step ST1). Thus, in the current sensor 1 according to the present embodiment, the switching control circuit 221 controls the amount of current supplied to the electromagnets 13a and 13b and adjusts the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d. The measurement current I is measured. With such control, for example, in an electric vehicle or the like, when the measured current I is stopped at a small current, the output signal from the sensor unit 12a becomes a minute value (threshold value S1 or less). The detection sensitivity can be improved by increasing the detection sensitivity of 122d. Further, when the electric vehicle is started with the current I to be measured being a large current, the output signal becomes larger than the predetermined threshold value S1, so that the magnetoresistive effect element 122a from the sensor unit 12a is applied by applying a magnetic field from the electromagnet 13a. It becomes possible to suppress magnetic saturation of ˜122d. For this reason, even when the current sensor 1 is used in an electric vehicle, it is possible to realize a current sensor that can accurately detect a small current and can also measure a large current.

なお、上述した制御フローにおいては、センサ部12aからの出力信号を所定の時定数で閾値S1と比較する例について説明したが、センサ部12aからの出力信号を連続して所定の閾値S1と比較するフィードバック制御をすることも可能である。この場合においては、電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dへの磁界H1の印加を連続して調整することにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を連続的に調整できるので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの磁気飽和を効果的に抑制することができる。なお、この場合においては、センサ部12aからの出力信号を所定の時定数で検出し、連続して検出された各時点間における出力信号の変化量に基づいて切替制御回路221から電磁石13a、13bへの電流供給量を制御するようにしてもよい。   In the control flow described above, the example in which the output signal from the sensor unit 12a is compared with the threshold value S1 with a predetermined time constant has been described. However, the output signal from the sensor unit 12a is continuously compared with the predetermined threshold value S1. It is also possible to perform feedback control. In this case, the detection sensitivity of the magnetoresistance effect elements 122a to 122d can be continuously adjusted by continuously adjusting the application of the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistance effect elements 122a to 122d. Magnetic saturation of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d can be effectively suppressed. In this case, an output signal from the sensor unit 12a is detected with a predetermined time constant, and the electromagnets 13a and 13b are switched from the switching control circuit 221 based on the amount of change in the output signal between each time point detected continuously. You may make it control the electric current supply amount to.

ところで、磁気平衡式電流センサにおいては、被測定電流Iの増大によりフィードバックコイル121が発熱し、このフィードバックコイル121の発熱により、磁気抵抗効果素子122a〜122dの温度が上昇して磁気抵抗効果素子122a〜122dの出力信号が小さくなる現象が発生する。このため、電流センサ1の測定精度の向上のためには、フィードバックコイル121の発熱を抑制することが望ましい。さらに、被測定電流Iが大電流の場合には、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界のみでは、十分な測定精度が得られない場合がある。   By the way, in the magnetic balance type current sensor, the feedback coil 121 generates heat due to the increase in the current I to be measured, and the heat generation of the feedback coil 121 raises the temperature of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d, and the magnetoresistive effect element 122a. A phenomenon occurs in which the output signal of ˜122d becomes small. For this reason, in order to improve the measurement accuracy of the current sensor 1, it is desirable to suppress the heat generation of the feedback coil 121. Furthermore, when the current I to be measured is a large current, sufficient measurement accuracy may not be obtained only with the canceling magnetic field from the feedback coil 121.

次に、上記磁気平衡式電流センサの特性を考慮した本実施の形態に係る電流センサ1の被測定電流測定時の制御フローの他の例について説明する。図7は、本発明の実施の形態に係る電流センサ1の被測定電流測定時における他の制御フローを示す図である。本例においては、電磁石13a、13bによる磁界H1の印加と共に、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界を組合せて用いることにより磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度を制御する。   Next, another example of the control flow when measuring the current to be measured of the current sensor 1 according to the present embodiment in consideration of the characteristics of the magnetic balance type current sensor will be described. FIG. 7 is a diagram showing another control flow at the time of measuring the current to be measured by the current sensor 1 according to the embodiment of the present invention. In this example, the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is controlled by applying the magnetic field H1 by the electromagnets 13a and 13b and using the canceling magnetic field from the feedback coil 121 in combination.

図7に示すように、本例においては、被測定電流測定開始後、電磁石13a、13bのコイルへ通電しない状態でフィードバックコイル121からのキャンセル磁界により被測定電流Iを測定する(ステップST11)。次に、切替制御回路221は、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S3より大きいか否かを判定する(ステップST12)。ステップST12において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S3より大きい場合には、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界を停止して電磁石13a、13bへ電流供給を開始する(ステップST13)。ステップST13においては、フィードバック電流としては、切替制御回路221から電磁石13a、13bに流れる電流を用いる。ステップST12において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S3以下の場合には、電磁石13a13bへの電流の供給は行わずに測定を継続する(ステップST11)。   As shown in FIG. 7, in this example, after starting measurement of the current to be measured, the current I to be measured is measured by a canceling magnetic field from the feedback coil 121 in a state where the coils of the electromagnets 13a and 13b are not energized (step ST11). Next, the switching control circuit 221 determines whether or not the output signal from the sensor unit 12a is greater than a predetermined threshold value S3 (step ST12). In step ST12, when the output signal from the sensor unit 12a is larger than the predetermined threshold value S3, the cancel magnetic field from the feedback coil 121 is stopped and current supply to the electromagnets 13a and 13b is started (step ST13). In step ST13, the current that flows from the switching control circuit 221 to the electromagnets 13a and 13b is used as the feedback current. In step ST12, when the output signal from the sensor unit 12a is equal to or smaller than the predetermined threshold value S3, the measurement is continued without supplying current to the electromagnets 13a13b (step ST11).

次に、電磁石13a、13bへの電流の供給後、切替制御回路221は、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S4より大きいか否かを所定の時定数で判定する(ステップST14)。ステップST14において、センサ部12aからの出力信号が所定の閾値S4より大きい場合には、切替制御回路221から電磁石13a、13bへ供給する電流量を増大して電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dへ印加する磁界H1を増大する(ステップST13)。これにより、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向と、電磁石13a、13bからの磁界H1及び被測定電流Iからの誘導磁界Hからなる磁化ベクトルMと、がなす角度θが増大するので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度が低下する。   Next, after supplying current to the electromagnets 13a and 13b, the switching control circuit 221 determines whether or not the output signal from the sensor unit 12a is larger than a predetermined threshold value S4 with a predetermined time constant (step ST14). In step ST14, when the output signal from the sensor unit 12a is larger than the predetermined threshold value S4, the amount of current supplied from the switching control circuit 221 to the electromagnets 13a and 13b is increased, and the magnetoresistive effect element 122a from the electromagnets 13a and 13b. The magnetic field H1 applied to -122d is increased (step ST13). As a result, the angle θ formed by the sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d and the magnetization vector M composed of the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b and the induced magnetic field H from the measured current I increases. The detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is lowered.

また、ステップST14において、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S4以下の場合には、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S5より小さいか否かを判定する(ステップST15)。ステップST15において、センサ部12aの出力信号が所定の閾値S5より小さい場合には、切替制御回路221から電磁石13a、13bへ供給する電流量を停止すると共に、フィードバックコイル121からキャンセル磁界を発生させて被測定電流Iを測定する(ステップST16)。これにより、電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dに印加される磁界H1が減少するので、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向と、電磁石13a、13からの磁界H1及び被測定電流Iからの誘導磁界Hからなる磁化ベクトルMと、がなす角度θが減少して検出感度が増大する。このようにして、測定終了時まで切替制御回路221により、電磁石13a、13bへの電流の供給量を制御しながら、被測定電流Iを測定する。   In step ST14, when the output signal of the sensor unit 12a is equal to or smaller than the predetermined threshold value S4, it is determined whether or not the output signal of the sensor unit 12a is smaller than the predetermined threshold value S5 (step ST15). In step ST15, when the output signal of the sensor unit 12a is smaller than the predetermined threshold value S5, the amount of current supplied from the switching control circuit 221 to the electromagnets 13a and 13b is stopped and a cancel magnetic field is generated from the feedback coil 121. The current I to be measured is measured (step ST16). As a result, the magnetic field H1 applied from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive effect elements 122a to 122d is reduced, so that the sensitivity axis direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d, the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13 and the measurement target. The angle θ formed by the magnetization vector M composed of the induced magnetic field H from the current I decreases, and the detection sensitivity increases. In this way, the current I to be measured is measured while controlling the amount of current supplied to the electromagnets 13a and 13b by the switching control circuit 221 until the end of measurement.

本例においては、被測定電流Iが大電流であり、磁気抵抗効果素子122a〜122dの出力信号が所定の閾値S3を超える場合には、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界を停止し、電磁石13a、13bからの磁界H1により被測定電流Iを測定する。このように、被測定電流Iが大電流の場合にフィードバックコイル121からのキャンセル磁界を用いずに被測定電流Iを測定することにより、電流センサ1における発熱を抑制できる。これにより、被測定電流Iが大電流の場合における被測定電流Iの測定誤差を低減することが可能となり、電流センサの測定精度を更に向上させることが可能となる。さらに、本例においては、被測定電流Iが大電流であり、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界では誘導磁界が打ち消せない場合においても、被測定電流からの誘導磁界Hを打ち消すように電磁石13a、13bから磁界を印加することにより、被測定電流Iを正確に測定することが可能となる。   In this example, when the current I to be measured is a large current and the output signals of the magnetoresistive elements 122a to 122d exceed a predetermined threshold value S3, the cancel magnetic field from the feedback coil 121 is stopped, and the electromagnet 13a, The measured current I is measured by the magnetic field H1 from 13b. Thus, when the measured current I is a large current, the heat generation in the current sensor 1 can be suppressed by measuring the measured current I without using the canceling magnetic field from the feedback coil 121. As a result, the measurement error of the current I to be measured when the current I to be measured is a large current can be reduced, and the measurement accuracy of the current sensor can be further improved. Further, in this example, even when the measured current I is a large current and the induced magnetic field cannot be canceled by the cancel magnetic field from the feedback coil 121, the electromagnet 13a, By applying a magnetic field from 13b, the current I to be measured can be accurately measured.

本発明は、磁気平衡式電流センサだけでなく、誘導磁界Hに比例した2つの磁気抵抗効果素子の出力により被測定電流Iを測定する磁気比例式電流センサにも同様に適用することができる。この電流センサ2は、図8に示すように、図3(a)に示す構成からフィードバックコイルを除いた構成を有する。また、磁気比例式電流センサの磁界検出ブリッジ回路123は、4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dを有し、図1〜図2に示す構成と同様に電源供給点(Vdd)に対して対称である配線を有する。また、電磁石13a、13bは、4つの磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向に直交する方向から磁界H1を印加するように配置される。このように、本発明は、磁気比例式電流センサに適用した場合においても磁気平衡式電流センサの場合と同様にして効果を得ることが可能となる。   The present invention can be similarly applied not only to a magnetic balance type current sensor but also to a magnetic proportional type current sensor that measures a current I to be measured by outputs of two magnetoresistive effect elements proportional to an induced magnetic field H. As shown in FIG. 8, the current sensor 2 has a configuration in which the feedback coil is removed from the configuration shown in FIG. The magnetic field detection bridge circuit 123 of the magnetic proportional current sensor has four magnetoresistive elements 122a to 122d, and is symmetrical with respect to the power supply point (Vdd) as in the configuration shown in FIGS. Has some wiring. Further, the electromagnets 13a and 13b are arranged so as to apply the magnetic field H1 from the direction orthogonal to the sensitivity axis direction of the four magnetoresistive elements 122a to 122d. As described above, even when the present invention is applied to a magnetic proportional current sensor, an effect can be obtained in the same manner as in the case of a magnetic balanced current sensor.

このように、本実施の形態に係る電流センサ1においては、センサ部12aの磁気抵抗効果素子122a〜122dに対し、被測定電流Iの大きさに応じて電磁石13a、13bから磁気抵抗効果素子122a〜122dに印加する磁界H1を調整しながら被測定電流Iを測定する。これにより、電磁石13a、13bからの磁界H1により、磁気抵抗効果素子122a〜122dの感度軸方向と、電磁石13a、13bからの磁界H1及び被測定電流Iからの誘導磁界Hからなる磁化ベクトルMと、がなす角度θが変化するので、被測定電流Iからの誘導磁界Hに対する磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度が変化する。したがって、被測定電流Iが大電流の場合においても、磁気抵抗効果素子122a〜122dの磁気飽和を抑制することができる。また、磁気抵抗効果素子122a〜122dと導体11との間の距離を変えることなく、電磁石13a、13bによる磁界H1の印加によって被測定電流Iの検出感度を調整できるので、電流センサ1の小型化が可能となる。したがって、測定レンジが広く、しかも小型化可能な電流センサを実現することが可能となる。   Thus, in the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetoresistive elements 122a to 122d of the sensor unit 12a are changed from the electromagnets 13a and 13b to the magnetoresistive elements 122a according to the magnitude of the current I to be measured. The current I to be measured is measured while adjusting the magnetic field H1 applied to .about.122d. Thereby, by the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b, the sensitivity vector direction of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d and the magnetization vector M composed of the magnetic field H1 from the electromagnets 13a and 13b and the induced magnetic field H from the current I to be measured. , The detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d with respect to the induced magnetic field H from the current I to be measured changes. Therefore, even when the measured current I is a large current, the magnetic saturation of the magnetoresistive effect elements 122a to 122d can be suppressed. Further, since the detection sensitivity of the current I to be measured can be adjusted by applying the magnetic field H1 by the electromagnets 13a and 13b without changing the distance between the magnetoresistive elements 122a to 122d and the conductor 11, the current sensor 1 can be downsized. Is possible. Therefore, it is possible to realize a current sensor that has a wide measurement range and can be miniaturized.

特に、本実施の形態に係る電流センサ1においては、磁気平衡式電流センサにおいて、電磁石13a、13bを用いることにより、フィードバックコイル121からのキャンセル磁界を用いずに被測定電流Iを測定することも可能となる。これにより、被測定電流Iが大電流の場合に生じるフィードバックコイル121の発熱による磁気抵抗効果素子122a〜122dの検出感度の低下を抑制できる。このため、磁気抵抗効果素子122a〜122d間の検出感度の差を低減でき、測定精度が高い電流センサを実現することが可能となる。   In particular, in the current sensor 1 according to the present embodiment, the measured current I can be measured without using the canceling magnetic field from the feedback coil 121 by using the electromagnets 13a and 13b in the magnetic balance type current sensor. It becomes possible. Thereby, the fall of the detection sensitivity of the magnetoresistive effect elements 122a-122d by the heat_generation | fever of the feedback coil 121 which arises when the to-be-measured current I is a large current can be suppressed. For this reason, the difference in detection sensitivity between the magnetoresistive effect elements 122a to 122d can be reduced, and a current sensor with high measurement accuracy can be realized.

本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することができる。例えば、上記実施の形態における材料、各素子の接続関係、厚さ、大きさ、製法などは適宜変更して実施することが可能である。その他、本発明は、本発明の範囲を逸脱しないで適宜変更して実施することができる。   The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, the materials, connection relations, thicknesses, sizes, manufacturing methods, and the like in the above embodiments can be changed as appropriate. In addition, the present invention can be implemented with appropriate modifications without departing from the scope of the present invention.

本発明は、広範囲の被測定電流を測定でき、しかも小型化可能であるという効果を有し、特に、電気自動車のモータ駆動用の電流の大きさを検出する電流センサに適用することが可能である。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention has an effect that it can measure a wide range of currents to be measured and can be downsized, and can be applied particularly to a current sensor that detects the magnitude of a current for driving a motor of an electric vehicle. is there.

1、2 電流センサ
11 導体
12 フィードバック回路
12a センサ部
13a、13b 電磁石
60 配線パターン
121 フィードバックコイル
122a〜122d 磁気抵抗効果素子
123 磁界検出ブリッジ回路
124 増幅器
200 制御部
211 差動・電流アンプ
212 I/Vアンプ
221 切替制御回路
222 増幅回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 Current sensor 11 Conductor 12 Feedback circuit 12a Sensor part 13a, 13b Electromagnet 60 Wiring pattern 121 Feedback coil 122a-122d Magnetoresistive element 123 Magnetic field detection bridge circuit 124 Amplifier 200 Control part 211 Differential / current amplifier 212 I / V Amplifier 221 Switching control circuit 222 Amplifier circuit

Claims (4)

被測定電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化する少なくとも1つの磁気抵抗効果素子を含む磁界検出ブリッジ回路と、前記磁気抵抗効果素子に磁界を印加する少なくとも1つの電磁石と、前記磁界検出ブリッジ回路から出力される出力信号に応じて前記電磁石から前記磁気抵抗効果素子に印加する磁界強度を制御する切替制御手段とを具備することを特徴とする電流センサ。   A magnetic field detection bridge circuit including at least one magnetoresistive effect element whose resistance value is changed by applying an induction magnetic field from a current to be measured; at least one electromagnet for applying a magnetic field to the magnetoresistive effect element; and the magnetic field detection bridge A current sensor comprising switching control means for controlling a magnetic field strength applied from the electromagnet to the magnetoresistive element in accordance with an output signal output from a circuit. 前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置され、前記誘導磁界を相殺するキャンセル磁界を発生するフィードバックコイルをさらに具備し、前記磁界検出ブリッジ回路で得られる電圧差により前記フィードバックコイルに通電して前記誘導磁界と前記キャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときの前記フィードバックコイルに流れる電流に基づいて前記被測定電流を測定することを特徴とする請求項1記載の電流センサ。   A feedback coil is disposed near the magnetoresistive effect element and generates a canceling magnetic field that cancels the induced magnetic field. The feedback coil is energized by a voltage difference obtained by the magnetic field detection bridge circuit, and the induced magnetic field is generated. The current sensor according to claim 1, wherein the current to be measured is measured based on a current flowing through the feedback coil when an equilibrium state in which the canceling magnetic field and the canceling magnetic field cancel each other is achieved. 前記磁気抵抗効果素子は、その長手方向が互いに平行になるように配置された複数の帯状の長尺パターンが折り返してなる形状を有し、前記誘導磁界及び前記キャンセル磁界が前記長手方向に直交する方向に沿うように印加されることを特徴とする請求項2記載の電流センサ。   The magnetoresistive element has a shape formed by folding a plurality of strip-like long patterns arranged so that the longitudinal directions thereof are parallel to each other, and the induction magnetic field and the canceling magnetic field are orthogonal to the longitudinal direction. The current sensor according to claim 2, wherein the current sensor is applied along a direction. 前記磁界検出ブリッジ回路により、前記誘導磁界に比例した前記2つの磁気抵抗効果素子の出力により前記被測定電流を測定することを特徴とする請求項1記載の電流センサ。   2. The current sensor according to claim 1, wherein the current to be measured is measured by the magnetic field detection bridge circuit based on outputs of the two magnetoresistive elements proportional to the induced magnetic field.
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