JP2011525997A

JP2011525997A - 液体で充填され且つ膜で密閉された筐体を製造するための改良された方法

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Publication number: JP2011525997A
Application number: JP2011515366A
Authority: JP
Inventors: ジャン−ポール・カノ; アンソニー・ソーゲー; ローランス・クレール
Original assignee: コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ; エシロールアンテルナシオナル（コンパニージェネラルドプティック）
Priority date: 2008-06-27
Filing date: 2009-06-24
Publication date: 2011-09-29
Anticipated expiration: 2029-06-24
Also published as: US8477406B2; EP2297599A2; WO2010003821A2; CN102089679B; FR2933205B1; US20110180944A1; KR20110044951A; EP2297599B1; FR2933205A1; WO2010003821A3; JP5547180B2; CN102089679A; KR101604012B1

Abstract

本発明は、少なくとも１種の液体で充填され且つ少なくとも１つの膜で閉鎖された少なくとも１つの閉鎖筐体が設けられたデバイスを作製する方法であって、
ａ）液体状態の少なくとも１つの所定の材料を支持体（１００）上に堆積する段階と、
ｂ）所定の材料（１３０）を少なくとも部分的に凝固させるかまたはゲル状態にする段階と、
ｃ）膜及び支持体が、所定の材料で充填された少なくとも１つの閉鎖筐体を形成するように、凝固した材料上に膜を作製する段階と、
ｄ）閉鎖筐体中で所定の材料が再度液化するように、所定の材料（１３０）を融解させる段階と、を含む方法に関する。

Description

本発明は、１つ以上の空洞、または液体で充填され且つ膜で少なくとも部分的に閉鎖された筐体を備えるデバイスの作製に関する。

光学レンズもしくは光学ガラス、またはガラスもしくはレンズの母型を作製する光学分野、あるいはアクチュエータ、センサまたはスイッチを作製するＭＥＭＳもしくはＮＥＭＳ（マイクロまたはナノシステム、エレクトロメカニカルシステム用ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ）などの分野、生物医学分野におけるマイクロ流体デバイスにも適用することができる。

本発明は特に、そのような筐体を閉鎖する方法に関する。

特定の用途、特に光学用途では、数μｍから数百μｍ程度の臨界寸法を有する筐体または空洞において、いわゆる「機能性液体」である液体を密閉封止することが求められる。

これらの微細空洞は様々な方法によって得られ、特に基板のマイクロマシニング、ならびに１つ以上の層を堆積して、エッチング及びフォトリソグラフィによって構造化する方法がある。

「機能性液体」とは、例えば光学特性など、特定の性質のために選択された１つ以上の物質から生成された液体を意味する。

特許文献１では、基板上に堆積された液体を弾性膜で被覆することによって、液体で充填され且つ閉鎖された可撓性筐体を作製することが提案されている。

この方法では、一般的にパリレン（登録商標）と称される弾性材料ポリパラキシリレンの低圧堆積によって液体上に弾性膜が直接形成される。この材料は、室温で重合して堆積される表面に従って均一な層を形成する。

このような閉鎖方法が実施される圧力が原因で、この方法は、膜を形成する間に液体が蒸発する傾向にあるという大きな欠点を有する。

さらに、堆積された材料の液体への混合または化学反応が生じ易いという別の著しい問題がある。

欧州特許第１，６７２３９４号明細書

本発明の目的は、前述の欠点を有さず、液体が充填された空洞の閉鎖を効果的且つ工業的な方法で行うことを可能にする方法を提供することである。

本発明は、少なくとも１種の液体で充填され且つ少なくとも１つの膜で閉鎖された少なくとも１つの閉鎖筐体が設けられたデバイスを作製する方法であって、
ａ）液体状態の少なくとも１つの所定の材料を支持体上に堆積する段階と、
ｂ）前記所定の材料を少なくとも部分的に凝固させるかまたはゲル状態にする段階と、
ｃ）膜及び支持体が、前記所定の材料で充填された少なくとも１つの閉鎖筐体を形成するように、前記凝固した材料上に膜を作製する段階と、
ｄ）閉鎖筐体中で前記所定の材料が再度液化するように、前記所定の材料を融解させる段階と、
を含む方法に関する。

膜は、弾性材料を堆積することによって形成され得る。

実施形態によると、弾性材料は、ポリパラキシリレン及び／またはその誘導体をベースとするものであってよく、この材料の群はパリレンとして知られている。

膜を形成するために使用される材料は、低圧で堆積されなければならないかまたは堆積され得る。「低圧」で堆積するとは、堆積が１から５００ｍＴｏｒｒの間の圧力または１０から５０ｍＴｏｒｒの間に含まれる圧力で行われることを意味する。

凝固した液体材料上またはゲル上に膜を堆積することによって、液体が蒸発するという問題を防ぐことができる。

膜の堆積は、−１９６℃から８０℃の間、または−３０℃から４０℃の間に含まれる温度で実施され得る。

その温度以下で空洞中に存在する材料がゲル化可能であるか、または部分的にもしくは完全に凝固可能となる温度、及びその温度以上で作製されたデバイスが劣化する恐れがある温度に応じて堆積温度を調節することができる。

所定の材料が固体状態を維持する温度でパリレンを堆積することによって、従来の液体上で行われていた堆積と比較して高い堆積速度を得ることが可能となる。

所定の材料は、例えばペンチルチアノビフェニル（５ＣＢ）などの液晶、例えばイミダゾリウム、ピロリジニウム、ピリジニウム塩などのイオン性液体、例えばＥｘｘｏｎＣｈｅｍｉｃａｌ社製造のＩｓｏｐａｒ（登録商標）などの鉱物油、印刷インク（インクジェットタイプまたはいわゆる「オフセット」タイプ）に使用される油、シリコーン油、例えばオルガノゲル系などの液体及びゲル化剤ベースの熱可逆性ゲルから選択され得る。

所定の材料を融解または液体状態へと変換する段階は、室温または−２０℃から８０℃の間に含まれる温度で実施され得る。

この段階は、空洞中に存在する材料の融解温度より高い数℃から１０℃の温度で実施してもよい。

所定の材料を再度融解または液体状態へと変換する温度は、作製されたデバイス全体を分解しない温度に選択される。

実施形態によると、支持体は複数の分離された空洞を含み得る。

この場合、段階ａ）は、少なくとも１つの空洞を前記所定の材料で充填する段階を含むことができ、段階ｃ）において形成された膜と空洞とが前記所定の材料で充填された複数の分離された閉鎖筐体を形成する。

別の可能性によると、段階ａ）は、少なくとも１つの空洞を前記所定の材料で充填し、少なくとも１つの空洞を別の所定の液体材料で充填する段階を含み、段階ｂ）が前記別の所定の材料を少なくとも部分的に凝固する段階をさらに含むことがで、段階ｃ）において形成された膜と空洞とが異なる液体で充填された複数の閉鎖筐体を形成する。

本発明のその他の特徴及び利点は、例示の目的で与えられ、限定することのない添付の図面を参照して以下の発明の詳細な説明を読むことでより明らかとなるであろう。

本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。本発明による例示的方法を図示する。別の実施形態を図示する。別の実施形態を図示する。

１つの図面から別の図面へと容易に移動できるように、異なる図面の同一、類似または等価の部分には同一の参照符号を付す。

図面をより分かりやすくするために、図面に図示された異なる部分が同一の縮尺で示されているとは限らない。

ここで、少なくとも１つの液体で充填され、少なくとも１つの膜で閉鎖された１つ以上の筐体を含むデバイスを作製するための本発明による例示的方法について、図１Ａ〜１Ｈとあわせて説明する。

初めに、１つ以上の空洞１２０または容器１２０または筐体１２０を平面支持体１１０上に設ける。空洞１２０の各々は、１つ以上の薄層に形成された壁部によって横方向に画定され、底部は支持体の層によって画定される。空洞１２０の壁部１１０は、基板の面において空洞に、例えば円形、楕円、正方形、長方形、多角形または星形などの形状を与えるように分布され得る。空洞１２０を分離する壁部１１０は、密封を確実なものとする。

支持体１００は透明であってよく、例えばガラス平板、またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などのプラスチック材料層の形態であってよい。

１つの可能性によると（図１Ａ）、支持体１００は、その上に１つ以上の薄層１０４が形成された、例えばガラスのような基板１０２で形成することができる。薄層１０４は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）のような可撓性材料の少なくとも１つの層である。層１０４を基板１０２と接着するために、例えばアクリレートのような中間接着層を任意で設けてもよい。

空洞１２０は、支持体１００上に層１０６を堆積し、次いで壁部１１０の位置を定めるように該層１０６をエッチングすることによって作製することができる。空洞１２０が画定される層１０６は、例えば感光性樹脂とすることができる。空洞１２０の作製には、１つのフォトリソグラフィ段階を少なくとも含み得る。

別の可能性によると、空洞１２０は、支持体上に層１０６を形成し、次いで層１０６上にプレスされる突出パターンを備えた型でスタンピングすることによって空洞１２０の位置を決める方法で形成することができる。

別の方法では、基板１０２上にポリマー材料の層１０６を堆積し、次いでマスクを介して例えばＯ_２、ＳＦ_６及び／またはＣＨＦ_３タイプのフッ化ガスの混合ガスによる高濃度プラズマエッチングまたはＲＩＥによって該層１０６を局部的にエッチングすることができる。

別の可能性によると、層１０６は、例えばエッチングによって空洞１２０が事前に作成されたポリマー材料層を基板１０２上に積層することによって形成することもできる。

壁部１１０の寸法及び位置は、目的とするデバイスの用途によって変更される。光学用途、特にレンズの作製の場合、壁部１１０は、支持体１００を横切る光線の経路上に、いかなる摂動ももたらさないかまたは無視できる程度もしくは目に見えない程度の摂動しかもたらさないことを意図された形状に形成され得る。壁部１１０は、透明樹脂を基に形成することができ、そのパターンはフォトリソグラフィによって、例えば文献「ＯＲＭＯＣＥＲ（登録商標）ｆｏｒＯｐｔｉｃａｌＩｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ」，Ｒ．Ｂｕｅｓｔｒｉｃｈ，Ｆ．Ｋａｈｌｅｎｂｅｒｇ，Ｍ．Ｐｏｐａｌｌｅｔａｌ．，ＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｏｌ−ＧｅｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ２０，１８１−１８６，２００１に記載されたＯＲＭＯＣＥＲ系樹脂で形成することができる。

空洞１２０を分離する壁部１１０は、基板または支持体の主面に平行な方向に定義された厚さｅを有し、例えば０．１μｍから５μｍの間、または１から３μｍの間の厚さを有し得る。
主面は、図１Ａで定義された直交座標系

の面

に平行な面である。

壁部１１０は、高さＨを有し、例えば５から５０μｍの間、または１０から３０μｍの間の高さを有し得る。
高さＨは、図１Ａにおいて定義された直交座標系

のベクトル

に平行な方向である。

空洞１２０は、直径または辺または長さＤを有し、例えば５μｍから５００μｍの間、または５０μｍから３００μｍの間の長さを有し得る。
直径または辺または長さＤは、直交座標系

の面

に平行な方向である。

次に図１Ｂを参照すると、所定の液体材料または複数の所定の液体で空洞１２０を充填する段階が行われる。光学デバイスの用途の場合、所定の材料は「機能性液体」と呼ばれる液体、すなわち特定の性質、例えば屈折率、吸光度、偏光性、電気または光刺激に対する反応などによって選択される液体とすることができる。

所定の液体材料は、例えば−２０℃程度の温度で凝固可能な酢酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムとすることができる。

別の実施例によると、所定の材料は、−４０℃程度の温度で凝固可能なＰｌｏｕｇｈ社製造のＮｕｊｏｌ（登録商標）タイプのパラフィンオイルとすることができる。

さらに別の実施例によると、所定の材料は、２０℃から４０℃の間に含まれる温度でゲル化またはゲルの形態に変形可能である、１−オクタノール中に２，３−ビス−ｎ−デシルオキシアントラセン（ＤＤＯＡ）を混合したものとすることができる。

ゲルとは、コロイド物質の凝固から生じる物体または連続液体層を取り囲む連続固体格子を意味する。

充填段階は、空洞１２０の内部に向けられ、液体材料１３０を数ピコリットル程度であり得る量の液滴１３２またはジェットとして発射する装置Ｅによって行うことができる。液体は、数ピコリットルから数百ピコリットル程度の少量の局在化に適合する技術で供給することができる。空洞を充填するために、使用される装置Ｅは、インクジェットで分配する技術と同様の液体を分配する技術を適用することができる。液体材料１３０は、空洞を部分的にまたは完全に充填し得る。空洞の完全な充填は、壁部１１０の頂部１１２に達するまで、または壁部１１０の頂部１１２をわずかに超えるように行うことができる。

実施形態によると、１つ以上の空洞１２０は、目的の用途に応じて調節された割合の複数の液体の混合物で充填され得る。例えば、光学用途では、異なる染料を含む２つ以上の液体を提供することによって、充填する液体の各々の量を変化させて空洞内の光学濃度または吸光度を調節することができる。

デバイスの例示的応用によると、少なくとも１つの活性成分を供給するように提供され得る。この場合、空洞の充填は、活性分子及び溶媒を含む液体で行われ得る。活性分子の濃度または量は、空洞１２０に応じて変化し得る。その結果、デバイスの空洞間で活性成分濃度に変化がもたらされ得る。活性成分は、薬剤の組成に入り、薬力学または治療特性に関与する物質とすることができる。

別の実施形態（図２Ａ）によると、複数の空洞１２０は、空洞毎に異なる液体１３０、１３４、１３６で充填され得る。これは、空洞に互いに異なる光学特性を与える場合に、デバイスの光学用途にも適用することができる。

別の実施形態（図２Ｂ）によると、ある空洞から別の空洞まで異なる量の液体が適用され得る。

液体材料１３０は、有機溶媒を含み得る。１実施例によると、使用される溶媒は、グリコールエーテルＤｏｗａｎｏｌＴＰＭ（トリプロピレングリコールメチルエーテル）とすることができる。

次に、空洞１２０中に存在する液体材料１３０の凝固（図１Ｃ）が実施される。

凝固は、空洞中に存在する液体または液体材料１３０の少なくとも上部が固体状態へと変換されるような部分的、または完全なものとすることができる。

空洞１２０中に存在する液体または液体材料１３０を凝固させるために、液体の冷却が行われる。この場合、空洞１２０中に存在する液体材料１３０の飽和圧力が得られる温度、または複数の液体が存在する場合には空洞１２０中に存在する液体の最小の飽和圧力値が得られる温度より少なくとも低いかまたは同等の温度まで液体を冷却する。

例えば空洞を充填する液体材料１３０が酢酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムであるような場合、凝固を実施するために液体は−２０℃未満の温度まで冷却され得る。

例えば凝固材料１３０が潤滑タイプの鉱物油であるような場合、凝固を実施するために液体は−４０℃未満の温度まで冷却され得る。

別の方法によると、凝固段階は所定の充填材料をゲルへと変換する段階と置き換えられ得る。この場合、空洞を充填する所定の材料は、ゲルへと変換可能な材料またはゲル化成分を含む混合物を形成可能な材料である。例示的混合物は、１−オクタノール中で２，３−ビス−ｎ−デシルオキシアントラセン（ＤＤＯＡ）と形成され得る。例えば、生物有機体における活性成分の塩析では、使用された混合物に応じて、２０から４０℃の間でゲルの出現が起こり得る。その結果、後続の空洞を閉鎖するための膜の堆積は、室温でもたらされ得る。この場合、空洞１２０を充填するゲルは、該温度４０℃を超える温度で液体状態へと戻り得る。

１つの可能性によると、冷却段階は、続いて閉鎖層が膜状に形成される堆積チャンバ内で実施することができ、該膜は弾性または可撓性とすることができる。

この場合、デバイスの冷却システムは堆積チャンバ内に提供される。このようなシステムは、例えば白金及びペルチェ効果モジュールまたは液体窒素循環システムを備えたサンプルホルダを含み得る。

ヘリウムまたは伝熱ガスで支持体１００の背面を冷却する技術を適用することもできる。

冷却は、伝熱流体が循環される筐体によってもたらされることができ、堆積チャンバは液体１３０方向への中性ガスで加圧される。

凝縮現象を防ぐために、堆積チャンバ内に真空ポンプシステムを設けることもできる。

支持体１００を堆積チャンバ内に室温で配置し、まず初めに液体方向に乾燥中性ガスを大気圧に近い圧力で導入する。凝固を実施するために、次いで所望の凝固を得るための冷却を実施する。凝固は部分的、表面部、または完全なものとすることができる。

このため、堆積チャンバは−２０℃または−３０℃程度の温度まで冷却され得る。このような範囲内の温度により、例えば酢酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム、メチル硫酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム、またはチオシアン酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムのような標準イオン性液体は凝固される。これらの温度の値は目安として与えられるものであり、チャンバまたは基板ホルダの温度は空洞中に存在する液体が部分的にまたは完全に凝固するように適応させる。

凝固段階の最後には、空洞中に配置された所定の材料は固体１４０の形態かまたは表面が固体である。

次に、壁部１１０の頂部１１２上及び凝固されたかまたはゲルへと変換された所定の材料１４０の表面上への閉鎖層１５０の堆積（図１Ｄ及び１Ｅ）が実施される。閉鎖層１５０は、弾性材料をベースとし得る可撓性膜として提供され、液体で充填された閉鎖空洞または閉鎖筐体を形成する。該閉鎖層または膜により、空洞の密封がもたらされ得る。膜は特に、湿気、酸及び溶媒へのバリアであり、任意で電気絶縁層を形成するように設けられる。

閉鎖層１５０の材料１５２は、パリレンとしても知られているポリパラキシリレンとすることができる。このような材料は、室温で重合し、堆積される表面の形状と一致するように適当に形成され得る。

堆積される材料の厚さは均一であり、用途に応じて数ナノメートルから数マイクロメートルの間、例えば約１００ナノメートルから数十マイクロメートル、例えば０．２μｍから５μｍの間に含まれる厚さを有し得る。

閉鎖することを目的としたパリレンの堆積には、連続、柔軟、無色、且つ透明で薄く、優れた保護特性を有する膜が得られる可能性を与えるという利点があり、パリレンは不浸透性であり、浸食環境、溶媒及び気体に対して耐性を有する。

堆積は、例えばＣＶＤ（化学気相成長）堆積法などのように気相で実施することができる。

閉鎖層１５０の材料１５２の堆積は、１から５００ｍｂａｒの間に含まれる圧力または一次真空（ｐｒｉｍａｒｙｖａｃｕｕｍ）の下で実施され得る。そのような圧力では、充填液体は通常蒸発する傾向にある。本発明の場合、空洞１２０を充填する液体１３０は少なくとも部分的に凝固しているかまたはゲルへと変換されているため、蒸発現象は発生しない。

パリレン層の形成は標準の条件下で達成することができ、ジパラキシリレンの熱分解が事前に６８０℃で行われ、次いで所定の材料が固体状態を維持する温度でサンプルの表面においてパラキシリレンモノマーの重合が行われる。所定の凝固材料が、例えば酢酸ブチル−３−メチルイミダゾリウム、メチル硫酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム、またはチオシアン酸１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムである場合、所定の凝固材料が固体状態を維持し得る場合に堆積は−３０℃から−２０℃の間に含まれる温度で実施され得る。

パリレン堆積がなされるべき部分の温度が得られるとすぐに堆積チャンバ内に真空を供給してよい。

次に、パリレン堆積が行われることによって膜が形成されると、凝固材料１４０を液体状態１３０へと戻すために堆積チャンバの温度を再度上昇させる。デバイス周囲の温度は例えば室温まで戻され得る。材料１３０が融解すると、液体で充填された閉鎖空洞１２０が形成される。その結果、弾性材料膜及び支持体１００の壁部１１０によってそれぞれ部分的に閉鎖された複数の液体筐体を含むデバイスが作製される。

閉鎖層１５０の上部に１つ以上の追加の層１６０を形成してもよい（図１Ｈ）。１つ以上の追加の層１６０が作製される。このような追加の層を作製するために、例えば積層によって堆積または転写が実施され得る。追加の層は、弾性材料の膜とすることができ、例えば層１０４と同一の材料であってよく、例えばＰＥＴ系材料であってよい。

次いで、１つ以上の機能層（参照符号１７０のブロックで図示）、例えば反射防止特性、または固いワニス、防汚性または耐磨耗性または耐衝撃性を有する層で層１６０を被覆することができる。

基板１０２に関しては、維持するかまたは別の方法では可撓性材料層１０４から分離され得る。

特定の応用では、例えば個別の光学レンズを作製し、閉鎖された空洞１２０を互いに分離することができる。その結果、液体で充填された閉鎖筐体は、分離されるかまたは区別される。

このような分離は、例えばレーザーで行うことができ、超音波または少なくとも１つの切断器具によって行うこともできる。

前述の方法は、パリレン以外の材料の堆積にも適用することができ、例えばポリ（１，３，５−トリビニルトリメチルシクロトリシロキサン）（ポリ（Ｖ３Ｄ３））などの透明材料があり、ｉＣＶＤ（ｉｎｉｔｉａｔｅｄＣＶＤ）によって堆積することができる。これは、文献「Ｂｉｏｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ」，２００７，８，２５６４−２５７０に開示されている。堆積圧力が３５０から４５０ｍＴｏｒｒに含まれる場合、堆積温度は３５℃程度とすることができる。このような圧力及び温度では、空洞１２０を充填するための材料として、広範囲の液体を使用することができる。

ポリ（１，３，５−トリビニルトリメチルシクロトリシロキサン）（ポリ（Ｖ３Ｄ３））は、当初液体である所定の材料１３０が固体状態を維持し得る圧力及び温度で堆積され、大気圧及び外気温で液体状態へと戻ることが可能である。

本発明による方法は、光学レンズ、またはレンズの母型の作製に使用することができる。この場合、前記閉鎖層は、先に説明したように事前に凝固されたかまたはゲルへと変換され、堆積後に液体状態へと戻り前記筐体の前記液体を形成する材料の上に堆積することによって形成されたパリレン層とすることができる。

１００支持体
１０２基板
１０４層
１０６層
１１０壁部
１１２頂部
１２０空洞
１３０、１３４、１３６液体材料
１４０凝固した液体材料
１５０閉鎖層
１５２閉鎖層の材料
１６０追加の層
１７０機能層

Claims

少なくとも１種の液体で充填され且つ少なくとも１つの膜で閉鎖された少なくとも１つの閉鎖筐体が設けられたデバイスを作製する方法であって、
ａ）液体状態の少なくとも１つの所定の材料を支持体（１００）上に堆積する段階と、
ｂ）前記所定の材料（１３０）を少なくとも部分的に凝固させる段階と、
ｃ）前記膜及び前記支持体が、前記所定の材料で充填された少なくとも１つの閉鎖筐体を形成するように、低圧堆積によって前記凝固した材料上に膜を作製する段階と、
ｄ）前記閉鎖筐体中で前記所定の材料が再度液化するように、前記所定の材料（１３０）を融解させる段階と、
を含む方法。
前記膜を形成する前記材料が弾性材料である、請求項１に記載の方法。
前記膜を形成する前記材料がポリパラキシリレン及び／またはその少なくとも１つの誘導体をベースとする材料である、請求項１または２に記載の方法。
１から５００ｍＴｏｒｒの間の圧力または工業的真空で前記堆積を実施する、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
−１９６℃から８０℃の間に含まれる温度で前記堆積を実施する、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
前記支持体が複数の分離された空洞を含み、段階ａ）が少なくとも１つの空洞を前記所定の材料（１３０）で充填する段階を含み、段階ｃ）において形成された前記膜と前記空洞とが前記所定の材料で充填された複数の分離された閉鎖筐体を形成する、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
前記支持体が複数の分離された空洞を含み、段階ａ）が少なくとも１つの空洞を前記所定の材料で充填し、少なくとも１つの空洞を別の所定の液体材料で充填する段階を含み、段階ｂ）が前記所定の材料（１３０、２３０）を少なくとも部分的に凝固する段階をさらに含み、段階ｃ）において形成された前記膜と前記空洞とが異なる液体で充填された複数の閉鎖筐体を形成する、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
前記所定の材料が、液晶、イオン性液体、鉱物油、印刷インク油、シリコーン油、液体及びゲル化剤ベースの熱可逆性ゲルの中から選択される、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。