JP2011191422A - 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】偏向ミラーの共振周波数を切り替え可能とし、かつ小形化も図ることができる光偏向器を提供する。
【解決手段】各第1のねじり梁部材3a,3bを往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラー4を有するミラー基板2と、ミラー基板2を保持する外枠部材5と、両外側がフレーム部材7に固定保持されるとともに両内側が外枠部材5の両側に接合された各第2のねじり梁部材6a,6bを備え、外力発生手段8からの可振による偏向ミラー4の往復振動時に、外枠部材5の慣性と第2のねじり梁部材6a,6bのねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、偏向ミラー4の慣性と第1のねじり梁部材3a,3bのねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、偏向ミラー4と第1、第2の各ねじり梁部材3a,3b、6a,6bの各形状寸法を設定した。
【選択図】図1
【解決手段】各第1のねじり梁部材3a,3bを往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラー4を有するミラー基板2と、ミラー基板2を保持する外枠部材5と、両外側がフレーム部材7に固定保持されるとともに両内側が外枠部材5の両側に接合された各第2のねじり梁部材6a,6bを備え、外力発生手段8からの可振による偏向ミラー4の往復振動時に、外枠部材5の慣性と第2のねじり梁部材6a,6bのねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、偏向ミラー4の慣性と第1のねじり梁部材3a,3bのねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、偏向ミラー4と第1、第2の各ねじり梁部材3a,3b、6a,6bの各形状寸法を設定した。
【選択図】図1
Description
本発明は、両側に設けた一対の梁部材をねじり回転軸として往復振動させることで光源から出射される光ビームを偏向するミラーを有する光偏向器、該光偏向器を備えた光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置に関する。
従来より、レーザ光源などから出射される光ビームを光偏向器によって偏向し、この偏向光束を感光体など被走査面上で走査させることによって被走査面上に画像を書き込む光走査装置が知られている。このような光走査装置においては、光ビームを走査する光偏向器としてポリゴンミラーが一般に用いられている。ポリゴンミラーは高速で回転して光ビームを走査するが、ポリゴンミラーを用いた画像形成では、より高い解像度の画像及高速の画像形成を達成するには、ポリゴンミラーをさらに高速に回転させて走査する必要がある。
しかしながら、ポリゴンミラーをさらに高速回転させるには、軸受の耐久性や発熱、騒音等の課題を解決する必要があるので、ポリゴンミラーの高速回転化には限界があった。
このような課題を解決するために、近年、両側に設けた一対の梁部材をねじり回転軸として往復振動させることで光源から出射される光ビームを偏向するミラーを有する光偏向器が提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
特許文献1の光偏向器(ねじれヒンジ型ミラー・デバイス)は、図23(a),(b)に示すように構成されている。
図23(a)に示すように、この光偏向器(ねじれヒンジ型ミラー・デバイス)は、反射部101、支持部102、及びヒンジ゛層103は、旋回軸104の周りの回転を提供する一対の捻れヒンジ゛103a及び103bを画定する。さらに図示するように、旋回軸105を中心とする永久磁石106がある。このため、反射部101、支持部102、及びヒンジ層103は対称に配置されている。また永久磁石106が旋回軸104を中心としているため、これらが組み合わされたミラー構造107の質量中心は旋回軸105を中心とする。
図23(b)に示すように、このミラー構造107に回転トルクを生じさせるために、永久磁石106と相互作用する磁気的駆動機構108を有している。更に、ミラー構造107は、その垂直軸109が磁気コア・アーム110aと110b間の中間に位置するようにして配置されている。このため、コア・アーム110a及び110bが、N極及びN極の提供間で交互に継続的に切り替えられると、永久磁石106との磁気的相互作用が、旋回軸105の周りでミラー構造107を振動させるような磁力を提供する。
また、特許文献2の光偏向器は、複数の捻りバネと複数の振動子が交互に連結され、前記複数の捻りバネの捻れ軸が同一直線上に存在し、複数の振動子のうち少なくとも1つにねじれ振動を与える加振手段と、該加振手段の加振周波数を少なくとも2つ以上の段階で切り替えることができる周波数切り替え手段を有し、2つの振動モードを持っている。この共振型光偏向器は、ラスター走査型デイスプレー用におけるSVGA(800×600画素、20kHz)とXGA(1024×768画素、25.6kHz)の2つの表示モード゛に対応する共振周波数を有する。
ところで、特許文献1の光偏向器(ねじれヒンジ型ミラー・デバイス)では、磁力によって旋回軸105の周りでミラー構造107を振動させる場合のミラーねじれ角(揺れ角)の周波数特性は、図24に示すように、一つの共振点ピーク(共振周波数)を有する。
このため、この光偏向器(ねじれヒンジ型ミラー・デバイス)をプリンタや複写機などの画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いた場合、画像形成速度(プロセス速度)が一つの所定速度に固定されている通常の画像形成装置では問題がないが、用紙などの記録媒体の種類によって画像形成速度(プロセス速度)を切り替可能な画像形成装置では対応できない。
また、特許文献2の光偏向器では、ミラーの共振周波数は20kHz〜25kHz程度であるが、プリンタや複写機などの画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いられるミラーの共振周波数は3kHz〜6kHz程度と低い。
このため、特許文献2の光偏向器を画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いる場合には、ミラーの共振周波数を下げるためにミラーを両側に結合されるねじりバネの長さを長くする必要があるため、光偏向器全体が大きくなる不具合が生じる。
そこで、本発明は、ミラーの共振周波数を切り替え可能とし、かつ小形化も図ることができる光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために請求項1に記載の光偏向器は、両側に接合された一対の第1のねじり梁部材をねじり回転軸として往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラーを有するミラー基板と、前記ミラー基板を保持する外枠部材と、前記第1のねじり梁部材と同一直線上に設けられ、両外側が固定保持されるとともに両内側が前記外枠部材の両側に接合された一対の第2のねじり梁部材と、前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材を可振するための外力発生手段とを備え、前記外力発生手段から前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材に可振力を付与することで、前記一対の第2のねじり梁部材及び前記第1のねじり梁部材をねじり回転軸として前記偏向ミラーを往復振動させる光偏向器であって、前記偏向ミラーの往復振動時に、前記外枠部材の慣性と前記一対の第2のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、前記偏向ミラーの慣性と前記第1のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、前記偏向ミラーと前記第1、第2の各ねじり梁部材の各形状寸法を設定したことを特徴としている。
請求項2に記載の光偏向器は、前記ミラー基板はSi基板により構成されるとともに、前記外枠部材と前記第2のねじり梁部材は金属材料により構成されており、前記ミラー基板は前記外枠部材に接合されていることを特徴としている。
請求項3に記載の光偏向器は、前記外枠部材と前記一対の第2のねじり梁部材は、金属板材料を積層して構成されていることを特徴としている。
請求項4に記載の光偏向器は、前記外枠部材と前記一対の第2のねじり梁部材は、拡散接合により金属板材料を積層・接合して構成されていることを特徴としている。
請求項5に記載の光偏向器は、前記一対の第1のねじり梁部材は、複数個の直線部と屈曲部を有する折り畳みバネ形状に形成されていることを特徴としている。
請求項6に記載の光偏向器は、前記一対の第2のねじり梁部材の固定保持される両外側近傍に、前記第2のねじり梁部材と直交する方向に延びる一対の腕部材を設け、前記一対の腕部材に前記外力発生手段を設けていることを特徴としている。
請求項7に記載の光偏向器は、前記外力発生手段は、印加される電圧に対応して厚さ方向に伸縮する圧電素子であり、前記圧電素子を前記一対の腕部材の両端部にそれぞれ設けることを特徴としている。
請求項8に記載の光偏向器は、前記一方側の腕部材の両端部に設けられる各圧電素子と、前記他方側の腕部材の両端部に設けられる各圧電素子には、それぞれ位相が180度ずれた駆動信号が印加されることを特徴としている。
請求項9に記載の光偏向器は、前記外力発生手段は、前記外枠部材に配置したコイルと、前記一対の第1のねじり梁部材と直交する方向で前記外枠部材の両側に配置した一対の永久磁石とで構成されており、前記コイルに正弦波の電流を印加したときに、前記一対の永久磁石間に形成される磁界との交互作用によって発生するローレンツ力で前記外枠部材を可振させることを特徴としている。
請求項10に記載の光偏向器は、前記コイルは、前記外枠部材の背面に固着されたフレキシブル基板に一体に形成されていることを特徴としている。
請求項11に記載の光走査装置は、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光偏向器を有することを特徴としている。
請求項12に記載の画像形成装置は、請求項11に記載の光走査装置を有することを特徴としている。
請求項13に記載の画像投影装置は、請求項11に記載の光走査装置を有することを特徴としている。
本発明に係る光偏向器によれば、外枠部材の慣性と一対の第2のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数が、偏向ミラーの慣性と第1のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数の略1/2となるように、偏向ミラーと第1、第2の各ねじり梁部材の各形状寸法を設定したことにより、例えば、このような形状寸法に設定された光偏向器をプリンタや複写機などの画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いた場合、用紙などの記録媒体の種類によって画像形成速度(プロセス速度)を通常の1/2速に切り替可能な画像形成装置であっても、通常の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラーを第2の共振周波数で往復振動するように設定し、厚紙等が給紙される通常の1/2速の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラーを第1の共振周波数で往復振動するように設定することで対応することが可能となる。
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。
〈実施形態1〉
図1は、本発明の実施形態1に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
〈実施形態1〉
図1は、本発明の実施形態1に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
図1に示す本実施形態に係る光偏向器1において、2はミラー基板であり、一対の第1のねじり梁部材3a,3bをねじり回転軸として往復振動させて光を偏向させる偏向ミラー4を有している。第1のねじり梁部材3a,3bの両端側は、外枠部材5に接続されている。外枠部材5は、第1のねじり梁部材3a,3bと同一直線上に設けた第2のねじり梁部材6a,6bを介して枠状のフレーム部材7に接続されている。これにより、ミラー基板2は、その第1のねじり梁部材3a,3bによって外枠部材5に保持され、外枠部材5は、第2のねじり梁部材6a,6bによってフレーム部材7に保持されている。
ミラー基板(偏向ミラー4と第1のねじり梁部材3a,3b)2は、Si基板により構成されており、外枠部材5、第2のねじり梁部材6a,6b、フレーム部材7は、金属部材により構成されている。また、外枠材5には、該外枠部材5を往復振動させるための可振力を付与する圧電素子などの外力発生手段8が接続されている。
本実施形態に係る光偏向器1は上記のように構成されており、圧電素子などの外力発生手段8を駆動して外枠部材5に振動を発生させる。発生した振動によって第2のねじり梁部材6a,6bに可振力Mを作用させて、外枠部材5に往復振動(往復揺動)を発生させる。この往復振動により偏向ミラー4は、第1のねじり梁部材3a,3bをねじり回転軸として往復振動(往復揺動)する。
図1の光偏向器1において、偏向ミラー4の共振周波数が2つの共振点を持ち、各共振点の共振周波数をf1、f2とした場合に、f1が約1.5kHz、f2が約3kHzとなるように設定すると、ミラー基板(偏向ミラー4と第1のねじり梁部材3a,3b)2、外枠部材5の形状寸法は、a1=7.5mm、a2=5.5mm、a3=4.5mm、b1=10mm、b2=8mm、b3=1mmに設定される。
また、偏向ミラー4、第1のねじり梁部材3a,3b、第2のねじり梁部材6a,6bの長さ、幅、厚さ、材質は、下記の表1のように設定した。
図1に示した光偏向器1において、偏向ミラー4の振れ角周波数特性を以下のように計算した。
図2は、図1に示した光偏向器1を2自由度系としてモデル化して近似した図である。
図2において、K1は、フレーム部材7に接続された一対の第2のねじり梁部材6a,6bのねじり剛性、I1は、外枠部材5の慣性モーメント、C1は、外枠部材5に作用する粘性抵抗抵抗係数、K2は、第1のねじり梁部材3a,3bのねじり剛性、I2は、可動ミラー4の慣性モーメント、C2は、偏向ミラー4に作用する粘性抵抗係数を示している。
図2に示したモデルにおいて、外枠部材5、偏向ミラー4の角度変位(振れ角)をそれぞれθ1、θ2とて運動方程式を求める。力の釣り合いより、以下の式(1)、(2)が得られる。ただし、加振力として第2のねじり梁部材6a,6bの固定端に作用するねじりモーメントMxを考慮した。
I1*θ1+C1*(θ1−θ2)+K1*(θ1)=Mx(t) …式(1)
I2*θ2+C2*(θ2−θ1)+K2*(θ2−θ1)=0 …式(2)
I2*θ2+C2*(θ2−θ1)+K2*(θ2−θ1)=0 …式(2)
式(1)、(2)を解くことにより、偏向ミラー4の各共振周波数(f1、f2)が求まる。共振周波数f1、f2に対する粘性抵抗係数C1、C2の影響は少ないので無視して、式(1)、(2)より変位角(振れ角)θ1、θ2を求める。
なお、式(1)、(2)を解析的に解くことはできないので、数値計算ソフトなどにより、数値計算によって解を求める。
そして、上記のような寸法に設定された光偏向器1に対して、外力発生手段8から外枠部材5に、正弦波状に変化する加振力Mを作用させた場合について,式(1)、(2)より変位角(振れ角)θ1、θ2を求めた。
図3(a)は、求めた偏向ミラー4の変位角(振れ角)θ1、θ2の周波数特性の測定結果を示した図である。なお、図3(b)は、求めた偏向ミラー4の変位角(振れ角)θ1、θ2の振れ角位相特性の測定結果を示した図である。
図3(a),(b)に示した測定結果から明らかなように、図1に示した光偏向器1の偏向ミラー4は2つの共振点を持ち、偏向ミラー4の第1の共振周波数f1は約1.86kHz、第2の共振周波数f2は2.92kHzであった。
このように、上記のように構成された本実施形態の光偏向器1は、ミラー基板(偏向ミラー4と第1のねじり梁部材3a,3b)2、外枠部材5、第2のねじり梁部材6a,6bの形状寸法を適切に設定することにより、偏向ミラー4の2つの共振周波数が2つの共振点を持ち、各共振周波数f1、f2に対して、f1が略f2/2となるように設定することができる。
よって、この光偏向器1をプリンタや複写機などの画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いた場合、用紙などの記録媒体の種類によって画像形成速度(プロセス速度)を通常の1/2速に切り替可能な画像形成装置であっても、通常の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラー4を第2の共振周波数f2で往復振動するように設定し、厚紙等が給紙される通常の1/2速の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラー4を第1の共振周波数f1で往復振動するように設定することで対応することが可能となる。
また、本実施形態の光偏向器1は、ミラー基板(偏向ミラー4と第1のねじり梁部材3a,3b)2は、Si基板により構成され、外枠部材5、第2のねじり梁部材6a,6b、フレーム部材7は、金属部材により構成されている。これにより、ミラー基板2と第2のねじり梁部材6a,6bを有する外枠部材5とを分離することができるので、Si基板により構成されるミラー基板2の形状を小さくすることができる。よって、光偏向器1全体の小形化を図ることができる。
更に、Si基板からなるミラー基板2は、半導体製造プロセスによって1枚のウェハから複数切り出すことができ、また外枠部材5、第2のねじり梁部材6a,6b、フレーム部材7を、安価な金属部材で形成することにより、低コスト化を図ることができる。
〈実施形態2〉
図4は、本発明の実施形態2に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
図4は、本発明の実施形態2に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
図4に示すように、本実施形態に係る光偏向器1aは、ミラー基板10が設けられた外枠部材11と、外力発生手段13a,13bを有し、こららの部材はベース基板14上に設置されている。
ミラー基板10は、図5に示すように、偏向ミラー15と、偏向ミラー15の両側に一体的に接続された一対の第1のねじり梁部材16a,16bと、該第1のねじり梁部材16a,16bの両側に一体的に接続された一対の保持部材17a,17bを有している。
フレーム部材12は、外枠部材11の両側を保持するように接続された一対の第2のねじり梁部材18a,18bと、該第2のねじり梁部材18a,18bの各両端側に一体的に接続され、この第2のねじり梁部材18a,18bに対して直交両方向に延びる一対の腕部材19a,19bと、第2のねじり梁部材18a,18bの両端に形成された一対の固定部材20a,20bを有している。
各固定部材20a,20bは、ベース基板14上に固定されている。各腕部材19a,19bの下面に後述する外力発生手段13a,13bがそれぞれ固着されている。
なお、図6に示すように、第2のねじり梁部材18a,18bに対して直交方向の一方向側に延びるようして一対の腕部材19a,19bを接続してもよい。
一体的に形成されている外枠部材11、第2のねじり梁部材18a,18b、腕部材19a,19b、固定部材20a,20bは、図7に示すように構成されている。
図7に示すように、本実施形態では、これらの一体部材は第1〜第4の各フレーム部材12a,12b,12c,12dの4層構造からなり、第1〜第4の各フレーム部材12a〜12dは、SUS304からなる厚さ0.05mmの金属板で構成されている。
第1〜第4の各フレーム部材12a〜12dには、前記した外枠部材11、第2のねじり梁部材18a,18b、腕部材19a,19b、固定部材20a,20bがそれぞれ一体的に接合されている。なお、最下部の第1のフレーム部材12aが1層目であり、最上部の第4のフレーム部材12dが4層目である。1層〜4層に位置する各外枠部材11には、往復揺動する偏向ミラー15の揺動空間を確保するための開口部11a,11b,11c,11dが形成されている。
なお、3層目の外枠部材11には、ミラー基板10の保持部材17a,17bを位置決めするための凹状の溝部11e,11fが形成されている。また、4層目の外枠部材11は、軽量化のために大きな開口部11dを有している。
第1〜第4の各フレーム部材12a〜12dと各外枠部材11は、例えば、図8に示すように、最初に各層(図では、4層目の第1のフレーム部材12dと外枠部材11)を金属シート部材21上に連結部材22でそれぞれ繋がった形状にエッチング加工で順次形成した後に、各層の前記金属シート部材21を積層して接合させることで、上記した4層構造のフレーム部材12と外枠部材11を得ることができる。
なお、第2のねじり梁部材18a,18bの幅と厚さの寸法を、例えば幅0.3mm、厚さ0.2mmに設定した場合、この場合のアスペスト比(幅/厚さ)は1.5となる。このような高アスペスト比を有する形状を厚さ0.2mmの1枚の金属板で実現することは難しいが、本実施形態のように、薄い金属板を積層構造とすることで実現することができる。
各層の前記金属シート部材21を積層して接合させるには、例えば、図9に示すように拡散接合装置を用いることができる。
図9に示すように、内部を真空にした(或いは、内部に不活性ガスを満たした)拡散接合装置23内に、第1層〜第4層を構成する前記金属シート部材21(第1〜4のフレーム部材12a〜12d)を位置決めして積層する。そして、この雰囲気中で加熱・加圧し、各層の接合面に生じる電子の拡散を利用することで、各層の金属シート部材21が接合される。
この拡散接合は、接合の進行とともに接合面の空隙が消失する。なお、拡散接合は固相接合の一種であり、接合時に接合面の被覆を取り除きながら同時に接合面を密着させていく。これにより、接合部材間が密着し、空隙が存在しない。そのため、疲労強度などの材料特性は、母材強度とほぼ同じ強度を示す。よって、拡散接合により作製された4層構造からなる第2のねじり梁部材18a,18bは、振動に対する疲労強度特性に優れている。
図10に示すように、本実施形態の外力発生手段13a,13bは、各圧電素子保持部材24a,24bの上面一端側にそれぞれ配置された第1の圧電素子25a,25bと、その上面他端側にそれぞれ配置された第2の圧電素子25c,25dとで構成されている。第1の圧電素子25a,25bと第2の圧電素子25c,25dが、各腕部材19a,19bの下面両側にそれぞれ固着される。
第1、第2の各圧電素子25a,25b,25c,25dは、例えば、10〜20層のバルクPZTが積層されて構成されており、印加される電圧に対応してその厚さ方向に収縮する。
一方側の各第1の圧電素子25a,25bには、共通のリード端子26aからA相の駆動パルス信号が印加され、他方側の各第2の圧電素子25c,25dには、共通のリード端子26bから前記B相の駆動パルス信号が印加される。なお、A相とB相の各駆動パルス信号は互いに位相が180度ずれている。これにより、A相の駆動パルス信号で駆動される一方側の各第1の圧電素子25a,25bとB相の駆動パルス信号で駆動される他方側の各第2の圧電素子25c,25dは、振動の位相が180度ずれる。
このように、一方側の各第1の圧電素子25a,25bと他方側の各第2の圧電素子25c,25dが、位相が180度ずれて振動することにより、一方側の各第1の圧電素子25a,25bが伸びると、他方側の各第2の圧電素子25c,25dは縮む方向に変位が発生する。これにより、一方側の各第1の圧電素子25a,25bと他方側の各第2の圧電素子25c,25dが交互に伸縮動作を繰り返すことによって、固着されている各腕部材19a,19bが第2のねじり梁部材18a,18bを揺動中心として往復振動(往復揺動)する。
そして、第2のねじり梁部材18a,18bの往復振動(往復揺動)により、外枠部材17a,17bに往復振動を発生させる。この往復振動により偏向ミラー15は、第1のねじり梁部材16a,16bをねじり回転軸として往復振動(往復揺動)する。
また、上記した本実施形態の光偏向器1aにおいても、実施形態1と同様にミラー基板(偏向ミラー15と第1のねじり梁部材16a,16b)10、外枠部材11、第2のねじり梁部材18a,18bの形状寸法を適切に設定することにより、偏向ミラー15の2つの共振周波数が2つの共振点を持ち、各共振周波数f1、f2に対して、f1が略f2/2となるように設定することができる。
よって、この光偏向器1aをプリンタや複写機などの画像形成装置の光走査装置(光書き込み装置)に用いた場合、用紙などの記録媒体の種類によって画像形成速度(プロセス速度)を通常の1/2速に切り替可能な画像形成装置であっても、通常の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラー15を第2の共振周波数f2で往復振動するように設定し、厚紙等が給紙される通常の1/2速の画像形成速度(プロセス速度)の場合は、偏向ミラー15を第1の共振周波数f1で往復振動するように設定することで対応することが可能となる。
また、本実施形態の光偏向器1aは、ミラー基板(偏向ミラー15と第1のねじり梁部材16a,16b)10は、Si基板により構成され、外枠部材11、第2のねじり梁部材18a,18b、腕部材19a,19b、固定部材20a,20bは薄い金属板を積層して構成されている。これにより、ミラー基板10と第2のねじり梁部材18a,18bを有する外枠部材11とを分離することができるので、Si基板により構成されるミラー基板10の形状を小さくすることができる。よって、光偏向器1a全体の小形化を図ることができる。
〈実施形態3〉
実施形態2では、図5に示したように、直線状の一対の第1のねじり梁部材16a,16bを偏向ミラー15の両側に接続した構成であったが、本実施形態では、例えば、図11に示すように、複数の直線部と屈曲部を有する一対の第1のねじり梁部材27a,27bで偏向ミラー15の両側を保持するようにしてもよい。他の構成は、図4に示した実施形態2の光偏向器と同様である。
実施形態2では、図5に示したように、直線状の一対の第1のねじり梁部材16a,16bを偏向ミラー15の両側に接続した構成であったが、本実施形態では、例えば、図11に示すように、複数の直線部と屈曲部を有する一対の第1のねじり梁部材27a,27bで偏向ミラー15の両側を保持するようにしてもよい。他の構成は、図4に示した実施形態2の光偏向器と同様である。
この第1のねじり梁部材27a,27bは、図11、図12(a)に示すように、複数の直線部と屈曲部により折り畳みバネ状に形成されており、中心軸Aに対して対称形状となっている。この第1のねじり梁部材27a,27bは、図12(b)に示すように、中心軸A方向に沿って3つの長梁部27a1,27a2,27a3と2つの短梁部27a4,27a5を有し、更に、中心軸A方向と直交する方向に4つの中梁部27a6,27a7,27a8,27a9を有している。一方の短梁部27a4がミラー保持部材17aに接続され、他方の短梁部27a5が偏向ミラー15に接続される。なお、、図12(b)は、第1のねじり梁部材23aを示しているが、他方の第1のねじり梁部材23bも同様に構成されている。
図12(b)に示した第1のねじり梁部材27aを、例えば、両外側の2つの長梁部27a1,27a3の長さaを1mm、中央の長梁部27a2の長さbを0.8mm、2つの短梁部27a4,27a5の長さc,dを0.2mmに設定した場合、中心軸A方向に沿って長さ3mm程度の直線状のねじり梁部材と略等価とみなすことができる。このように、第1のねじり梁部材27a,27bを複数の直線部と屈曲部を有するように形成することにより、直線状に形成する場合に比べて長さが短縮され、光偏向器全体の小形化を図ることができる。
〈実施形態4〉
図13は、本発明の実施形態4に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
図13は、本発明の実施形態4に係る光偏向器の構成を示す概略図である。
実施形態2の光偏向器では、外力発生手段として圧電素子を用いた構成であったが、図13に示すように、本実施形態の光偏向器1bでは、一対の永久磁石と電流が印加されるコイルとで外力発生手段を構成している。他の構成は実施形態2の光偏向器と同様であり、重複説明は省略する。
図13に示すように、本実施形態の光偏向器1bは、ミラー枠部材11の第2のねじり梁部材18a,18bと直交する方向の両端側(外枠部材11の長手方向両端側)には、外力発生手段を構成する一対の永久磁石30a,30bが配置されている。各永久磁石30a,30bは、S極とN極が向かい合うようにしてベース基板14上に固定されている。これにより、永久磁石30aから永久磁石30b方向への磁界が形成される。
また、図14に示すように、外枠部材11の背面側には、偏向ミラー15の揺動空間を形成するための開口縁部11gの周囲に沿って、外力発生手段を構成するコイル31が複数回周回するようにして配置されている。コイル31には、第2のねじり梁部材18a,18bの長手方向に沿って引き出し線32a,32bが接続されている。引き出し線32a,32bのターミナル33a,33bの一方側には、駆動回路40(図16参照)が接続されている。
そして、図15に示すように、コイル31に正弦波の駆動電流Iを印加することにより、発生する磁界とコイル31に流れる正弦波の駆動電流Iとの交互作用により、ローレンツ力F1,F2がそれぞれ矢印方向に作用する。そして、駆動電流Iの向きが反転するとローレンツ力F1,F2の向きが反転することにより、第2のねじり梁部材18a,18bを揺動中心とし外枠部材11に往復振動を発生させる。この往復振動により偏向ミラー15は、第1のねじり梁部材16a,16bをねじり回転軸として往復振動(往復揺動)する。
図16に示すように、コイル31へ駆動電流Iを印加する駆動回路40は、制御部41、D/Aコンバータ42、OAアンプ43等で構成されている。
なお、本実施形態において、図17に示すように、外枠部材11の背面側の開口縁部11gの周囲に接合されるフレキシブル配線基板44に、複数回周回するようにしてコイル31を一体に設けてもよい。フレキシブル配線基板44には、コイル31からの引き出し線32a,32bとターミナル33a,33bが設けられている。
このように、コイル31を一体に設けたフレキシブル配線基板44を用いることにより、外枠部材11の背面への取り付けが容易になり、取り付け作業の効率化を図ることができる。
〈実施形態5〉
図18は、本発明の実施形態5に係る光走査装置の構成を示す概略図である。本実施形態の光走査装置50は、例えば実施形態4の光偏向器1bを備えている。なお、この光偏向器1bは、図4に示した実施形態4の光偏向器と同様の構成であり、重複する説明は省略する。
図18は、本発明の実施形態5に係る光走査装置の構成を示す概略図である。本実施形態の光走査装置50は、例えば実施形態4の光偏向器1bを備えている。なお、この光偏向器1bは、図4に示した実施形態4の光偏向器と同様の構成であり、重複する説明は省略する。
図18に示すように、本実施形態の光走査装置50では、光源としての半導体レーザ11より出射したレーザ光ビームは、カップリングレンズ52、シリンダレンズ53及び入射ミラー54からなる光学系を経由して、光偏向器1bの可動ミラー15表面に入射する。入射したレーザ光ビームは、可動ミラー15表面で反射しfθレンズなどからなる結像光学系(補正光学系)55によって、被走査面56に走査スポットとしてスポット状に結像される。
そして、この走査スポットは、上記したように向きが反転するローレンツ力F1,F2による偏向ミラー15の往復振動(往復揺動)に応じて主走査方向Xに移動する。そして、図16に示した駆動回路40の制御部41に周波数切り替え信号が入力されにより、コイル31に流れる正弦波の駆動電流Iの周波数を切り替えることができる。これにより、光走査装置40は予め設定されている2つの走査周波数f1、f2の選択した一方の走査周波数に切り替えることができる。
〈実施形態6〉
図19は、本発明の実施形態6に係る光走査装置を備えた画像形成装置(本実施形態では、カラーレーザプリンタ)の構成を示す概略図である。
図19は、本発明の実施形態6に係る光走査装置を備えた画像形成装置(本実施形態では、カラーレーザプリンタ)の構成を示す概略図である。
図19に示すように、本実施形態に係る画像形成装置(レーザプリンタ)60は、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの4色の各画像形成部61、62、63、64を有している。そして、各画像形成部61〜64において、例えば、実施形態5で示した各光走査装置40によって、対応した各画像形成部61〜64の感光体ドラム65に記録信号により変調されたレーザ光ビームによる光書き込み走査を行って静電潜像を形成し、それぞれの感光体ドラム65に形成された静電潜像を異なった色のトナー像に現像し、そのトナー像を転写ベルト66に重ねて転写するタンデム方式のものである。
光走査装置40は、図18に示した実施形態5の光走査装置と同様の構成であり、重複する説明は省略する。
転写ベルト66は、駆動ローラ67と2本の従動ローラ68,69とで支持され移動するもので、その移動方向に沿って均等間隔で各画像形成部61〜64の感光体ドラム65が配列されている。
各感光体ドラム65の周囲には、感光体ドラム65の表面を帯電させる帯電器70と、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色に対応したトナーを補給する現像装置71と、感光体ドラム65上の転写後の残留トナーをブレードで掻き取り備蓄するクリーニング装置72が設けられている。
画像形成動作時には、転写ベルト66の端に形成されたレジストマーク(不図示)を検出するセンサ73の信号をトリガとして、副走査方向の書出しタイミングをずらして、書き込み装置としての各光走査装置40によって各色の静電潜像が書き込まれ、現像装置71にてトナーをのせて転写ベルト66上で順次画像を重ねていく。
給紙トレイ74から用紙Pが給紙コロ75により供給され、4色目の画像形成のタイミングに合わせてレジストローラ76により送り出され、転写部77にて転写ベルト66から4色同時に転写される。トナー像が転写された用紙は搬送ベルト78により定着ローラ79と加圧ローラ80間の定着ニップに送られ、トナー像を定着した後に排紙ローラ81によって排紙トレイ82に排出される。
なお、本実施形態の画像形成装置60は、レジストローラ76に隣接して、給紙される用紙の紙種を検出する記録媒体検出センサ83が配置されており、記録媒体検出センサ83によって検出された用紙の紙種に応じたプロセス速度に切り替えることができる。本実施形態の画像形成装置60は、通常のプロセス速度と、通常の1/2速のプロセス速度を選択することができる。
以下、プロセス速度の切り替え選択動作について、図20に示したフローチャートを参照して説明する。
初期状態では、画像形成装置60のプロセス速度は標準速(1/1速)に設定されており、この標準速に合わせて定着ローラ79の加熱による定着温度が180℃に設定されている(ステップS1、S2)。
そして、上記した画像形成動作時において、記録媒体検出センサ83により給紙される紙種が判定される。この際、給紙されている記録媒体が厚紙であると判定した場合(ステップS3:YES)、画像形成装置60の制御部(不図示)からの制御信号に基づいて、定着ローラ79の加熱ヒータ(不図示)への通電をオフにし、同時に、同時に各光走査装置40への通電をオフにする(ステップS4、S5)。なお、ステップS3で、給紙されている記録媒体が通常の用紙であると判定した場合(ステップS3:NO)、ステップS1、S2で設定されている標準速のプロセス速度、180℃の定着温度で画像形成動作を行なう。
図21(a)に示すように、時刻T1で光走査装置40と定着ローラ79の加熱ヒータ(不図示)への通電がオフされると、光走査装置40の偏向ミラー15(図18参照)の振動振幅は時間とともに減衰していく。また、図21(b)に示すように、定着ローラ79の温度(定着温度)もa2(180℃)から低下していく。
そして、図21(a),(b)に示すように、定着温度がa1(150℃)に近づいた時刻T0において、画像形成装置60の制御部(不図示)からプロセス速度を標準速の1/2にする命令と、光走査装置40の走査速度(偏向ミラー15(図18参照)の往復振動)を標準速の1/2にする命令が出される(ステップS6、S7)。この命令により、感光体ドラム65、転写ベルト66、搬送ベルト78等の移動速度は、標準速の1/2速に設定される。なお、感光体ドラム65、転写ベルト66、搬送ベルト78等の駆動系の慣性が大きいため、標準速の1/2になるまで所定の時間を要する。
そして、所定時間経過後に、時刻T0でプロセス速度が標準速の1/2速に切り替えられると(ステップS8:YES)、定着温度がa1(150℃)に設定されるように制御され(ステップS9)、プロセス速度と光走査装置40の走査速度(偏向ミラー15(図18参照)の往復振動)が標準速の1/2に切り替えられた状態で画像形成動作が行なわれる。
なお、光走査装置の偏向ミラー15(図18参照)の時定数は概略0.1(秒))程度であり、感光体ドラム65、転写ベルト66、搬送ベルト78等の駆動系の時定数に比較して十分に小さい。そのため、時刻T1において、光走査装置40の偏向ミラー15(図18参照)の振動は定常振動になっている。
このように、本実施形態の画像形成装置60は、例えば実施形態5で示した光走査装置40を備えているので、プロセス速度を標準速の1/2に切り替えた場合に、それに応じて光走査装置40の偏向ミラー15(図18参照)の往復振動(往復揺動)も標準速の1/2に切り替えて画像形成動作を行なうことができる。
また、上記した実施形態で述べたように光偏向器全体の小形化を図ることができるので、それによって、画像形成装置60全体の小形化も図ることができる。
〈実施形態7〉
図22は、本発明の実施形態7に係る光走査装置を備えた画像投影装置の構成を示す概略図である。
図22は、本発明の実施形態7に係る光走査装置を備えた画像投影装置の構成を示す概略図である。
図22に示すように、本実施形態に係る画像投影装置90は、赤色半導体レーザからなる光源91aと、青色半導体レーザからなる光源91bと、緑色半導体レーザからなる光源91cからそれぞれ放射される異なる波長の光を、色合成素子92異なる面から入射させ、一つの光路上へ集約させる。
色合成素子92の多重干渉膜面は、それぞれ各光源91a〜91cの発振波長のみが透過もしくは反射する面となっていて、合成が行われる。そして、色合成素子92から出射した光ビームのビームウエストがコリメータレンズ93を通して、光走査装置94、95により被投射面96付近に来るように平行化する。光走査装置94、95としては、例えば、図18に示した実施形態5の光走査装置を用いることができる
即ち、水平方向の光走査を行う光走査装置94に光を当てた後、垂直走査を担当する光走査装置95に光りビームを当て2次元走査する。これにより、被投射面96に3色の光パルスが重なった画素97が並んだカラー画像が表示される。
1,1a,1b 光偏向器
2、10 ミラー基板
3a,3b、16a,16b、27a,27b 第1のねじり梁部材
4、15 偏向ミラー
5、11 外枠部材
6a,6b、18a,18b 第2のねじり梁部材
7 フレーム部材
25a,25b 第1の圧電素子
25c,25d 第2の圧電素子
30a,30b 永久磁石
31 コイル
40 駆動回路
50 光走査装置
60 画像形成装置(レーザプリンタ)
90 画像投影装置
2、10 ミラー基板
3a,3b、16a,16b、27a,27b 第1のねじり梁部材
4、15 偏向ミラー
5、11 外枠部材
6a,6b、18a,18b 第2のねじり梁部材
7 フレーム部材
25a,25b 第1の圧電素子
25c,25d 第2の圧電素子
30a,30b 永久磁石
31 コイル
40 駆動回路
50 光走査装置
60 画像形成装置(レーザプリンタ)
90 画像投影装置
Claims (13)
- 両側に接合された一対の第1のねじり梁部材をねじり回転軸として往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラーを有するミラー基板と、前記ミラー基板を保持する外枠部材と、前記第1のねじり梁部材と同一直線上に設けられ、両外側が固定保持されるとともに両内側が前記外枠部材の両側に接合された一対の第2のねじり梁部材と、前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材を可振するための外力発生手段とを備え、
前記外力発生手段から前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材に可振力を付与することで、前記一対の第2のねじり梁部材及び前記第1のねじり梁部材をねじり回転軸として前記偏向ミラーを往復振動させる光偏向器であって、
前記偏向ミラーの往復振動時に、前記外枠部材の慣性と前記一対の第2のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、前記偏向ミラーの慣性と前記第1のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、前記偏向ミラーと前記第1、第2の各ねじり梁部材の各形状寸法を設定したことを特徴とする光偏向器。 - 前記ミラー基板はSi基板により構成されるとともに、前記外枠部材と前記第2のねじり梁部材は金属材料により構成されており、前記ミラー基板は前記外枠部材に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 前記外枠部材と前記一対の第2のねじり梁部材は、金属板材料を積層して構成されていることを特徴とする請求項2に記載の光偏向器。
- 前記外枠部材と前記一対の第2のねじり梁部材は、拡散接合により金属板材料を積層・接合して構成されていることを特徴とする請求項3に記載の光偏向器。
- 前記一対の第1のねじり梁部材は、複数個の直線部と屈曲部を有する折り畳みバネ形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 前記一対の第2のねじり梁部材の固定保持される両外側近傍に、前記第2のねじり梁部材と直交する方向に延びる一対の腕部材を設け、前記一対の腕部材に前記外力発生手段を設けていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光偏向器。
- 前記外力発生手段は、印加される電圧に対応して厚さ方向に伸縮する圧電素子であり、前記圧電素子を前記一対の腕部材の両端部にそれぞれ設けることを特徴とする請求項6に記載の光偏向器。
- 前記一方側の腕部材の両端部に設けられる各圧電素子と、前記他方側の腕部材の両端部に設けられる各圧電素子には、それぞれ位相が180度ずれた駆動信号が印加されることを特徴とする請求項7に記載の光偏向器。
- 前記外力発生手段は、前記外枠部材に配置したコイルと、前記一対の第1のねじり梁部材と直交する方向で前記外枠部材の両側に配置した一対の永久磁石とで構成されており、前記コイルに正弦波の電流を印加したときに、前記一対の永久磁石間に形成される磁界との交互作用によって発生するローレンツ力で前記外枠部材を可振させることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 前記コイルは、前記外枠部材の背面に固着されたフレキシブル基板に一体に形成されていることを特徴とする請求項9に記載の光偏向器。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光偏向器を有することを特徴とする光走査装置。
- 請求項11に記載の光走査装置を有することを特徴とする画像形成装置。
- 請求項11に記載の光走査装置を有することを特徴とする画像投影装置。
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-
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