JP2011181298A - 擬似太陽光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線を含む光源と、前記光源を第1焦点に配置し、前記光源の放射光を第2焦点に集光する楕円反射鏡からなる光源部と、前記光源部からの照射光を透過光と反射光に分岐するスプリット面を有するビームスプリッターと、長軸方向端の一方が入射面で他方が照射面となっており、該入射面が前記楕円反射鏡の第2焦点に位置するように配置される単一のロッドレンズおよび前記ロッドレンズの後方に配置されたコリメーターレンズからなる照射レンズユニットと、前記照射レンズユニットからの照射光の光軸変更手段としての平面反射鏡と、波長選択フィルターと、をこの順に配置したことを特徴とする擬似太陽光照射装置。
【選択図】図1
Description
また、ランプ光源であるキセノン短アークランプ(以下、「キセノンランプ」という)は、地磁場によるアーク光の広がりを防ぐため、光源ランプは縦点灯ランプが用いられている。
このように、擬似太陽光照射装置は、多くの光学構成部品を必要とするため、装置が大型化し、実質光路長が長く、光量ロスが発生する。所定の照射量を得るために、光源ランプ寿命が短くなり、光源ランプ交換頻度が増す。という問題がある。
紫外線を含む光源と、前記光源を第1焦点に配置し、前記光源の放射光を第2焦点に集光する楕円反射鏡からなる光源部と、前記光源部からの照射光を透過光と反射光に分岐するスプリット面を有するビームスプリッターと、長軸方向端の一方が入射面で他方が照射面となっており、該入射面が前記楕円反射鏡の第2焦点に位置するように配置される単一のロッドレンズおよび前記ロッドレンズの後方に配置されたコリメーターレンズからなる照射レンズユニットと、前記照射レンズユニットからの照射光の光軸変更手段としての平面反射鏡と、波長選択フィルターと、をこの順に配置したことを特徴とする擬似太陽光照射装置である。かかる構成とすることにより、平面反射鏡を1枚とすることができるため、光路長を短縮でき、装置の小型化を図ることができる。また、光量ロスも低減できる。さらに、インテグレーターレンズ(積分光学系)に変えて単一のロッドレンズとすることで、インテグレーターレンズ(積分光学系)では光混成が出口のみであるのに対して、単一ロッドレンズではレンズ内部で光混成が行われるため、照度分布がより均一化される。
(態様1) 前記光源部、前記ビームスプリッター、前記照射レンズユニットを同一光軸上に配置することを特徴とする擬似太陽光照射装置である。光源部、ビームスプリッター、照射レンズユニットを同一光軸に配置することで平面反射鏡を1枚に低減することができるからである。光軸は被検査試料照射面に対して水平でも垂直でもよい。被照射面に対して水平である方が光源ランプの点灯用電源部及び制御回路部を装置内(具体的には、遮熱遮光板を介して光源部の下部)に設置することができ、設置スペースを削減できる。
本発明では、光源側に光散乱構造を設けた遮蔽板を用いることにより、上述した光源ランプの寿命短縮を防ぐことができる。ここで、光散乱構造としては、遮光シャッター板の形状を一辺で折り曲げた屋根形状または角錐形状がある。また、耐熱性繊維を被覆した形状であってもよい。
光量フィードバック回路を構成する光電変換素子を光源ランプ光束中に配置する場合、配置位置により照射面に光学的な影響を及ぼし、あるいは光電変換素子の加熱による素子破壊や性能劣化の原因となっていた。
本発明の擬似太陽光照射装置では、光源ランプと照射レンズユニットとの間に、ビームスプリッターを配置し、その反射光束を光電変換素子に導くことにより、光源ランプから照射面に至る光束を遮ることなく、光源ランプ光量を常時制御できる。また、光拡散板及び光量減衰フィルターを介することにより光電変換素子の熱的劣化を防ぐことができる。
ここで、反射防止層の反射率は5%以下が好ましく、3%以下がさらに好ましく、2%以下が特に好ましい。
紫外線を含む光源としては、ハロゲンランプ、キセノンランプを用いることができ、疑似太陽光の照射に際しては、一定照度に連続点灯させて照射する方式、または、パルス状に発光させて照射する方式のいずれかの方法が用いられる。また、点灯用の専用電源装置も組み合わせて用いられる。
ロッドレンズ7は、角柱形状のレンズであり、長軸方向の一方が入射面で他方が照射面となる。光源ランプ2から不定な角度で入射した光束14がロッドレンズ内で全反射を繰り返しながら長軸方向に進み、他端面に到達すると均一な光束となる。入射面での乱反射の発生を抑制し、照射領域の外郭を明瞭にするために、ロッドレンズの長軸方向端のエッジは角張っていることが好ましい。従来技術において採用されていたインテグレーターレンズでは、レンズ他端面から照射された集光点が複数あるため、焦点範囲が広く単位面積当たりの光量が少なくなるが、本発明で採用したロッドレンズではレンズ他端面から照射された集光点は単一で、焦点範囲も狭く単位面積当たりの光量が多くなるという特徴がある。
また、ビームスプリッター5は、低反射率の反射層からなるため、透過光束14の減衰は抑えられる。
21…光源ランプ、22…楕円集光鏡、23…第1平面反射鏡、24…波長選択フィルター、25…インテグレーターレンズ、26…第2平面反射鏡、27…コリメータ−レンズ、28…照射面。
31…遮光板。
41…ガラスバルブ部、42…楕円集光鏡、43…電極口金部、44…遮光シャッター板、45…放射光束、46…反射光束。
51…ガラスバルブ部、52…楕円集光鏡、53…電極口金部、54…遮光シャッター板、55…放射光束、56…反射光束。
Claims (9)
- 紫外線を含む光源と、前記光源を第1焦点に配置し、前記光源の放射光を第2焦点に集光する楕円反射鏡からなる光源部と、
前記光源部からの照射光を透過光と反射光に分岐するスプリット面を有するビームスプリッターと、
長軸方向端の一方が入射面で他方が照射面となっており、前記入射面が前記楕円反射鏡の第2焦点に位置するように配置される単一のロッドレンズと、前記ロッドレンズの後方に配置されたコリメーターレンズからなる照射レンズユニットと、
前記照射レンズユニットからの照射光の光軸変更手段としての平面反射鏡と、
波長選択フィルターと、
をこの順に配置したことを特徴とする擬似太陽光照射装置。 - 前記光源部、前記ビームスプリター、前記照射レンズユニットを同一光軸上に配置することを特徴とする請求項1記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記光源部と前記照射レンズユニットの間に、光遮蔽手段を設けることを特徴とする請求項1または2記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記光遮蔽手段として、光源側に光散乱構造を設けた遮蔽板を用いることを特徴とする請求項1乃至3記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記光源部に、集光位置調整手段として磁性体を用いることを特徴とする請求項1乃至4記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記単一のロッドレンズの照射面形状が試料面(被検査面)と相似形状であることを特徴とする請求項1乃至5記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記ロッドレンズと前記コリメーターレンズの距離を可変とする手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至6記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記ビームスプリッターからの反射光を受光することにより光源光量を制御することを特徴とする請求項1乃至7記載の擬似太陽光照射装置。
- 前記ビームスプリッターがスプリット面に反射防止層を積層した平面型ビームスプリッターであることを特徴とする請求項1乃至8記載の擬似太陽光照射装置。
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