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JP2011176238A - Chip-type electronic component - Google Patents

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JP2011176238A
JP2011176238A JP2010040786A JP2010040786A JP2011176238A JP 2011176238 A JP2011176238 A JP 2011176238A JP 2010040786 A JP2010040786 A JP 2010040786A JP 2010040786 A JP2010040786 A JP 2010040786A JP 2011176238 A JP2011176238 A JP 2011176238A
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chip
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plating
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chip-type electronic component that facilitates a plating film to be coated on a surface of a base electrode, and also facilitates a protective film such as glass coating to be coated on a surface of an element body. <P>SOLUTION: The chip-type electronic component includes the element body formed with internal electrodes inside, and terminal electrodes covering edges of the element body where the internal electrodes are exposed. The terminal electrode includes an edge part positioned at an edge of the element body and a side part formed to continue to the edge part and extending to four sides near the edges of the element body. If roughness of the surface of the element body which is not covered with the terminal electrode is expressed by αRa, and roughness of a surface of the side part is expressed by βRa, a ratio of βRa to αRa is expressed in a formula of 0.33≤βRa/αRa≤10. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、端子電極が形成されたチップ型電子部品に関する。   The present invention relates to a chip-type electronic component in which terminal electrodes are formed.

セラミックコンデンサやバリスタなどのチップ型電子部品では、端子電極をセラミック製の素子本体の外面に形成する必要がある。そのため、まず、素子本体の表面に、ペースト膜を焼き付けることで下地電極層を形成し、その後に、その下地電極層の表面にメッキ膜を施すことにより、端子電極が形成される。   In chip-type electronic components such as ceramic capacitors and varistors, it is necessary to form terminal electrodes on the outer surface of a ceramic element body. Therefore, first, a base electrode layer is formed by baking a paste film on the surface of the element body, and then a terminal electrode is formed by applying a plating film to the surface of the base electrode layer.

通常、ペースト膜は、素子本体と下地電極との密着性を向上させるためにガラス成分を含んでいる。特に、素子本体が半導体セラミックで構成される時には、めっき液が下地電極から内部電極、素子本体へと浸透して特性に影響することを抑制するために、下地電極層に含まれるガラス成分を多くすることがある。しかし、下地電極層にガラス成分が多く含まれると、下地電極層の表面で導電性粒子がガラス成分の中に埋没しやすく、そのペースト膜の表面には、メッキ膜がつきにくい。そこで、ペースト膜の表面をバレル研磨することがある。   Usually, the paste film contains a glass component in order to improve the adhesion between the element body and the base electrode. In particular, when the element body is composed of semiconductor ceramic, in order to prevent the plating solution from penetrating from the base electrode to the internal electrode and the element body and affecting the characteristics, a large amount of glass component is contained in the base electrode layer. There are things to do. However, if the base electrode layer contains a lot of glass component, the conductive particles are likely to be buried in the glass component on the surface of the base electrode layer, and the surface of the paste film is difficult to have a plating film. Therefore, the surface of the paste film may be barrel-polished.

たとえば、ペースト膜で構成された下地電極を有する電子部品を、メディアおよび水とともにバレル装置内に投入し、そのバレル装置を回転させる(バレル研磨)。それにより、下地電極の表面におけるガラス成分を研磨して、導電性粒子を下地電極の表面に露出させ、ペースト膜の表面にメッキをつきやすくすることがある。   For example, an electronic component having a base electrode composed of a paste film is put into a barrel device together with media and water, and the barrel device is rotated (barrel polishing). As a result, the glass component on the surface of the base electrode may be polished to expose the conductive particles on the surface of the base electrode, thereby facilitating plating on the surface of the paste film.

また、外部電極の平滑性を高めるために、外部電極を有する電子部品を、ジルコニアからなる玉石(メディア)および水とともに回転ポット内に投入し、その回転ポットを回転させる技術(回転ポット研磨)が知られている(特許文献1参照)。   In addition, in order to improve the smoothness of the external electrode, there is a technique (rotary pot polishing) in which an electronic component having an external electrode is put into a rotating pot together with cobblestone (media) and water made of zirconia and the rotating pot is rotated. It is known (see Patent Document 1).

しかしながら、バレル研磨(または回転ポット研磨)を行うと、下地電極以外の素子本体の表面にメディアがランダムに当たるために、表面粗さの不均一が生じ、素子本体の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着のおそれがある。さらに、メディアによる衝撃で素子本体にダメージを与え、素子本体の表面に微小クラックが発生したり、素子本体やメディアの欠けによる破片が素子本体の表面に付着し、めっき膜が不均一に付着し、外観不良の一因となる場合もある。また、メディアによる通電が均一にはなりにくく、素子本体の表面にガラス膜などの保護膜が形成してある場合には、ガラス膜までも研磨されて、素子本体の表面が露出してしまい、表面粗さによっては、素子本体の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着が発生するおそれがある。   However, when barrel polishing (or rotating pot polishing) is performed, the media randomly hits the surface of the element body other than the base electrode, resulting in uneven surface roughness, and due to plating elongation and peeling of the surface of the element body. There is a risk of reattachment. In addition, the element body is damaged by the impact of the media, micro cracks are generated on the surface of the element body, debris due to chipping of the element body or media adheres to the surface of the element body, and the plating film adheres unevenly. In some cases, it may contribute to poor appearance. In addition, it is difficult to uniformly energize the media, and when a protective film such as a glass film is formed on the surface of the element body, the glass film is also polished, and the surface of the element body is exposed. Depending on the surface roughness, the surface of the element body may be reattached due to plating elongation or plating peeling.

特に小型のチップ型電子部品では、端子電極間の距離が短いので、その間に位置する素子本体の表面に保護膜を形成したいという要請が高い。保護膜を形成することで、その後に行うメッキ工程で、素子本体の表面にメッキが施されてしまうことを防止している。   In particular, in a small chip-type electronic component, since the distance between the terminal electrodes is short, there is a high demand for forming a protective film on the surface of the element main body positioned therebetween. By forming the protective film, the surface of the element body is prevented from being plated in the subsequent plating step.

特開平7−22268号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-22268

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、下地電極の表面にはメッキ膜が付き易く、素子本体の表面にはメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着が発生し難いチップ型電子部品を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a chip-type electronic device in which the surface of the base electrode is likely to have a plating film and the surface of the element body is less likely to be reattached due to plating elongation or peeling. The purpose is to provide parts.

上記目的を達成するために、本発明に係るチップ型電子部品は、
内部電極が内部に形成された素子本体と、
前記内部電極が露出する前記素子本体の端面を覆う端子電極とを有するチップ型電子部品であって、
前記端子電極が、前記素子本体の端面に位置する端面部分と、前記端面部分に連続して形成され、前記素子本体の端面近傍の四側面にまで延びる側面部分とを有し、
前記端子電極で覆われていない前記素子本体の表面の粗さをα・Raと表し、前記側面部分の表面の粗さをβ・Raと表した場合に、α・Raに対するβ・Raの比率は、0.33≦β・Ra/α・Ra≦10であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a chip-type electronic component according to the present invention includes:
An element body having an internal electrode formed therein;
A chip-type electronic component having a terminal electrode covering an end surface of the element body from which the internal electrode is exposed,
The terminal electrode has an end surface portion located on the end surface of the element body, and a side surface portion formed continuously to the end surface portion and extending to four side surfaces in the vicinity of the end surface of the element body,
The ratio of β · Ra to α · Ra when the roughness of the surface of the element body not covered with the terminal electrode is expressed as α · Ra and the roughness of the surface of the side surface portion is expressed as β · Ra. Is characterized by 0.33 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10.

本発明に係るチップ型電子部品では、α・Raとβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が上述した範囲にあることで、端子電極の側面部分の表面の研磨が十分に行われる。端子電極の側面部分の研磨が十分であれば、端面部分も十分に研磨されていると考えられる。このため、端子電極の表面で、ガラス成分の中に埋没していた導電性粒子が露出し、メッキ膜が端子電極に付き易くなる。また、本発明では、α・Raとβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が上述した範囲にあることで、素子本体の表面にはメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着を有効に防止することができる。   In the chip-type electronic component according to the present invention, the ratio of α · Ra to β · Ra (β · Ra / α · Ra) is in the above-described range, so that the surface of the side surface portion of the terminal electrode is sufficiently polished. Is called. If the side surface portion of the terminal electrode is sufficiently polished, it is considered that the end surface portion is also sufficiently polished. For this reason, the conductive particles embedded in the glass component are exposed on the surface of the terminal electrode, and the plating film is easily attached to the terminal electrode. In the present invention, the ratio of α · Ra to β · Ra (β · Ra / α · Ra) is in the above-described range, so that the surface of the element body is effectively reattached due to plating elongation or plating peeling. Can be prevented.

α・Raに対するβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が0.33より小さい場合とは、β・Raが小さく、α・Raが大きい場合である。β・Raが小さい場合には、側面部分の表面の研磨が過剰であると考えられ、端面部分も過剰に研磨され、素子本体の角部が端子電極から露出するおそれがある。さらに、α・Raが大きい場合には、素子本体の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着が生じ易い傾向にあることが本発明者等の実験により確認された。   The case where the ratio of β · Ra to α · Ra (β · Ra / α · Ra) is smaller than 0.33 is a case where β · Ra is small and α · Ra is large. When β · Ra is small, it is considered that the polishing of the surface of the side surface portion is excessive, the end surface portion is also excessively polished, and the corner portion of the element body may be exposed from the terminal electrode. Furthermore, when α · Ra is large, it has been confirmed by experiments of the present inventors that the surface of the element body tends to be reattached due to plating elongation or peeling.

また、α・Raに対するβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が10より大きい場合とは、β・Raが大きく、α・Raが小さい場合である。α・Raが小さい場合には、素子本体の表面が平滑になるが、その場合においても、素子本体の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれが生じ易い傾向にあることが本発明者等の実験により確認された。さらに、β・Raが大きい場合には、側面部分の表面が粗すぎて、側面部分の表面にメッキ層が均一に形成されず、半田付け性が良好でなくなる。   The case where the ratio of β · Ra to α · Ra (β · Ra / α · Ra) is larger than 10 is when β · Ra is large and α · Ra is small. When α · Ra is small, the surface of the element body becomes smooth, but even in that case, it has been confirmed by experiments by the present inventors that the surface of the element body tends to cause plating elongation and peeling. It was done. Further, when β · Ra is large, the surface of the side surface portion is too rough, and the plating layer is not uniformly formed on the surface of the side surface portion, so that the solderability is not good.

好ましくは、前記素子本体の表面の粗さα・Raは0.05〜0.3μmの範囲である。   Preferably, the surface roughness α · Ra of the element body is in the range of 0.05 to 0.3 μm.

素子本体の表面の粗さα・Raを上記範囲にすることで、メッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着を有効に防止することができる。   By adjusting the roughness α · Ra of the surface of the element body to the above range, it is possible to effectively prevent reattachment due to plating elongation or plating peeling.

好ましくは、前記側面部分の表面の粗さβ・Raは、0.1〜0.5μmの範囲である。   Preferably, the surface roughness β · Ra of the side surface portion is in the range of 0.1 to 0.5 μm.

側面部分の表面の粗さβ・Raを上記範囲にすることで、端子電極の表面に、よりメッキ膜が付き易くなる。β・Raが大きすぎると、側面部分の表面が粗すぎて、側面部分の表面にメッキ層が均一に形成されず、素子本体へのメッキ伸びやメッキ剥がれが起きやすい。   By setting the surface roughness β · Ra of the side surface portion within the above range, the surface of the terminal electrode is more likely to have a plating film. If β · Ra is too large, the surface of the side surface portion is too rough, and the plating layer is not uniformly formed on the surface of the side surface portion, so that the plating on the element main body and the plating peeling off easily occur.

好ましくは、前記側面部分の表面の粗さβ・Raの値は、前記端面部分の表面の粗さγ・Raの値に比較して小さい。   Preferably, the value of the surface roughness β · Ra of the side surface portion is smaller than the value of the surface roughness γ · Ra of the end surface portion.

端子電極の端面部分の表面の粗さγ・Raがβ・Raに比較して大きいことにより、端面部分では、くさび効果によりメッキ膜が強固に形成される。さらに、β・Raが所定範囲内であるため、側面部分の表面にメッキ層が均一に形成され、素子本体の表面へのメッキ伸びやメッキ剥がれが生じにくい。   Since the surface roughness γ · Ra of the end face portion of the terminal electrode is larger than β · Ra, the plating film is firmly formed on the end face portion due to the wedge effect. Furthermore, since β · Ra is within a predetermined range, a plating layer is uniformly formed on the surface of the side surface portion, and plating elongation and plating peeling on the surface of the element body are unlikely to occur.

好ましくは、前記端子電極で覆われていない前記素子本体の表面がガラスコートで覆われている。素子本体の表面に、ガラスコートを形成することで、特に小サイズのチップ型電子部品において、メッキの伸びやメッキ剥がれによる再付着を有効に防止することができる。   Preferably, the surface of the element body not covered with the terminal electrode is covered with a glass coat. By forming a glass coat on the surface of the element body, it is possible to effectively prevent reattachment due to plating elongation or plating peeling, particularly in small-sized chip-type electronic components.

本発明では、前記端子電極が、電極ペーストの焼付け処理で形成され、前記端子電極の表面が、メッキ膜で覆われている場合に、特に効果が大きい。   The present invention is particularly effective when the terminal electrode is formed by an electrode paste baking process and the surface of the terminal electrode is covered with a plating film.

図1は、本発明の一実施形態に係るチップ型電子部品の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a chip-type electronic component according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示すチップ型電子部品の研磨装置の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the polishing apparatus for the chip-type electronic component shown in FIG. 図3(A)〜(C)は、研磨工程を示す概略断面説明図である。3A to 3C are schematic cross-sectional explanatory views showing a polishing process. 図4は、ドラムの回転速度の制御パターンを示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a control pattern of the rotational speed of the drum. 図5は、図3(C)のV部拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of a portion V in FIG. 図6(A)は、端子電極を研磨する前の導電性粒子の分布を示す断面模式図、図6(B)は、研磨後の導電性粒子の分布を示す断面模式図である。6A is a schematic cross-sectional view showing the distribution of conductive particles before polishing the terminal electrode, and FIG. 6B is a schematic cross-sectional view showing the distribution of conductive particles after polishing. 図7は、端子電極の表面粗さRaを比較するグラフである。FIG. 7 is a graph comparing the surface roughness Ra of the terminal electrodes. 図8は、めっき不良を示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing a plating defect.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
まず、本発明の一実施形態に係るチップ型電子部品としての図1に示す積層チップバリスタ2について説明する。積層チップバリスタ2は、内部電極層4,6と抵抗体層8とが積層された構成の素子本体10を有する。この素子本体10の両端部11,13には、素子本体10の内部に配置された内部電極層4,6と各々導通する一対の外部端子電極12,14が形成してある。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
First, a multilayer chip varistor 2 shown in FIG. 1 as a chip-type electronic component according to an embodiment of the present invention will be described. The multilayer chip varistor 2 has an element body 10 having a configuration in which internal electrode layers 4 and 6 and a resistor layer 8 are laminated. A pair of external terminal electrodes 12 and 14 are formed on both end portions 11 and 13 of the element body 10 to be electrically connected to the internal electrode layers 4 and 6 disposed inside the element body 10.

内部電極層4,6は、各端面が素子本体10の対向する両端部11,13の表面に露出するように積層してある。一対の外部端子電極12,14は、素子本体10の両端部に形成され、内部電極層4,6の露出端面にそれぞれ接続されて、バリスタ回路を構成している。   The internal electrode layers 4 and 6 are laminated such that each end face is exposed on the surface of the opposite end portions 11 and 13 of the element body 10. The pair of external terminal electrodes 12 and 14 are formed at both ends of the element body 10 and connected to the exposed end surfaces of the internal electrode layers 4 and 6 to constitute a varistor circuit.

抵抗体層8は、バリスタ特性を有する材料であれば特に限定されないが、たとえば酸化亜鉛系バリスタ材料層で構成される。この酸化亜鉛系バリスタ材料層は、例えばZnOを主成分とし、副成分として希土類元素、Co、IIIb族元素(B、Al、Ga及びIn)、Si、Cr、アルカリ金属元素(K、Rb及びCs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr及びBa)等を含む材料で構成される。または、ZnOを主成分とし、副成分としてBi、Co、Mn、Sb、Al等を含む材料で構成されていても良い。   The resistor layer 8 is not particularly limited as long as it is a material having varistor characteristics. For example, the resistor layer 8 is composed of a zinc oxide varistor material layer. This zinc oxide-based varistor material layer has, for example, ZnO as a main component and rare earth elements, Co, IIIb group elements (B, Al, Ga and In), Si, Cr, alkali metal elements (K, Rb and Cs) as subcomponents. ) And alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr and Ba) and the like. Alternatively, it may be made of a material containing ZnO as a main component and Bi, Co, Mn, Sb, Al, etc. as subcomponents.

抵抗体層8としては、酸化亜鉛系バリスタ材料層以外に、コンデンサ材料層、NTCサーミスタ材料層などで構成されてもよい。   The resistor layer 8 may be composed of a capacitor material layer, an NTC thermistor material layer, etc. in addition to the zinc oxide varistor material layer.

内部電極層4,6は、導電材を含んで構成される。内部電極層4,6に含まれる導電材としては、特に限定されないが、PdまたはAg−Pd合金からなることが好ましい。内部電極層4,6の厚さは、用途に応じて適宜決定すればよいが、通常0.5〜5μm程度である。   The internal electrode layers 4 and 6 are configured to include a conductive material. The conductive material contained in the internal electrode layers 4 and 6 is not particularly limited, but is preferably made of Pd or an Ag—Pd alloy. The thickness of the internal electrode layers 4 and 6 may be appropriately determined according to the use, but is usually about 0.5 to 5 μm.

外部端子電極12,14も導電材を含んで構成される。外部端子電極12,14に含まれる導電材としては、特に限定されないが、通常、AgやAg−Pd合金などを用いる。さらに、必要に応じ、AgやAg−Pd合金などのペースト電極膜から成る下地電極層12p,14pの表面に、電気メッキ等により、Ni及びSn膜などで構成されるメッキ膜12c,14cが形成してある。下地電極層12p,14pの厚みは、用途に応じて適宜決定すればよいが、好ましくは5〜50μm程度である。また、メッキ膜12c,14cの厚みは、用途に応じて適宜決定すればよいが、好ましくは3〜10μm程度である。   The external terminal electrodes 12 and 14 are also configured to include a conductive material. Although it does not specifically limit as a electrically conductive material contained in the external terminal electrodes 12 and 14, Usually, Ag, an Ag-Pd alloy, etc. are used. Furthermore, if necessary, plated films 12c and 14c made of Ni and Sn films are formed on the surface of the base electrode layers 12p and 14p made of a paste electrode film such as Ag or Ag-Pd alloy by electroplating or the like. It is. The thickness of the base electrode layers 12p and 14p may be appropriately determined according to the use, but is preferably about 5 to 50 μm. Further, the thickness of the plating films 12c and 14c may be appropriately determined according to the use, but is preferably about 3 to 10 μm.

素子本体10の形状は、特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて決定され、特に、1005形状(縦1.0mm×横0.5mm×厚み0.5mm)サイズ以下、たとえば、小さく軽い上に電極間距離が短い0603形状(縦0.6mm×横0.3mm×厚み0.3mm)サイズ以下である場合に本実施形態の構造の効果が大きい。   The shape of the element body 10 is not particularly limited, but is usually a rectangular parallelepiped shape. Also, there is no particular limitation on the dimensions, and it is determined according to the application. In particular, the size is 1005 (length 1.0 mm × width 0.5 mm × thickness 0.5 mm) or less, for example, small and light, and the distance between electrodes Is less than the short 0603 shape (length 0.6 mm × width 0.3 mm × thickness 0.3 mm), the effect of the structure of this embodiment is great.

素子本体10において、内部電極層4,6および抵抗体層8の積層方向の両外側端部には、外側抵抗体層18が配置してあり、素子本体10の内部を保護している。外側抵抗体層18の材質は、抵抗体層8の材質と同じであっても異なっていても良いが、通常、抵抗体層8の材質とほぼ同じであり、半導体材料で構成されている。   In the element body 10, outer resistor layers 18 are disposed at both outer ends of the internal electrode layers 4 and 6 and the resistor layer 8 in the stacking direction, and protect the inside of the element body 10. The material of the outer resistor layer 18 may be the same as or different from the material of the resistor layer 8, but is usually substantially the same as the material of the resistor layer 8, and is made of a semiconductor material.

そのため、一対の下地電極層12p,14pの外側にメッキ膜12c,14cを形成する際には、そのメッキ処理時に、半導体である外側抵抗体層18の外表面(素子本体10の表面10α)には、メッキ膜が形成されてショート不良となりやすい。そのため、その表面10αには、ガラスコートなどの保護膜16が形成してあることが好ましいが、本発明では、必ずしも保護膜16は形成されていなくとも良い。保護膜16を形成する場合には、保護膜16の厚さは、好ましくは0.05〜0.2μm程度に薄い。保護膜16が厚すぎると、保護膜16を形成した後に、下地電極層12p,14pを形成する際に、内部電極層4および6と下地電極層12p,14pとのコンタクトが困難になる傾向にある。   Therefore, when the plating films 12c and 14c are formed outside the pair of base electrode layers 12p and 14p, the outer surface of the outer resistor layer 18 which is a semiconductor (the surface 10α of the element body 10) is formed during the plating process. Is likely to cause a short circuit due to the formation of a plating film. Therefore, a protective film 16 such as a glass coat is preferably formed on the surface 10α. However, in the present invention, the protective film 16 is not necessarily formed. When the protective film 16 is formed, the thickness of the protective film 16 is preferably as thin as about 0.05 to 0.2 μm. If the protective film 16 is too thick, the contact between the internal electrode layers 4 and 6 and the base electrode layers 12p and 14p tends to be difficult when the base electrode layers 12p and 14p are formed after the protective film 16 is formed. is there.

下地電極層12p,14pは、電極ペーストの焼付け処理により形成されている。下地電極層12p,14pは、素子本体10の端面に位置する端面部分12γ,14γと、端面部分12γ,14γに連続して形成され、素子本体10の端面近傍の四側面にまで延びる側面部分12β,14βとを有している。   The base electrode layers 12p and 14p are formed by an electrode paste baking process. The base electrode layers 12p and 14p are formed continuously with the end surface portions 12γ and 14γ located on the end surface of the element body 10 and the end surface portions 12γ and 14γ, and extend to the four side surfaces in the vicinity of the end surface of the element body 10. , 14β.

本実施形態では、外部端子電極12,14で覆われていない素子本体10の表面10αの粗さをα・Raと表し、外部端子電極12,14における側面部分12β,14βの表面の粗さをβ・Raと表した場合に、α・Raは、好ましくは0.02〜0.4μm、さらに好ましくは0.05〜0.3μmであり、β・Raは、好ましくは0.05〜0.7μm、さらに好ましくは0.1〜0.5μmである。また、α・Raに対するβ・Raの比率は、0.33≦β・Ra/α・Ra≦10、好ましくは5≦β・Ra/α・Ra≦10である。なお、粗さは、算術平均粗さである。   In the present embodiment, the roughness of the surface 10α of the element body 10 that is not covered with the external terminal electrodes 12 and 14 is represented by α · Ra, and the roughness of the surface portions 12β and 14β of the external terminal electrodes 12 and 14 is defined as When expressed as β · Ra, α · Ra is preferably 0.02 to 0.4 μm, more preferably 0.05 to 0.3 μm, and β · Ra is preferably 0.05 to 0.3 μm. It is 7 μm, more preferably 0.1 to 0.5 μm. The ratio of β · Ra to α · Ra is 0.33 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10, preferably 5 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10. The roughness is an arithmetic average roughness.

本実施形態では、外部端子電極12,14における側面部分12β,14βの表面粗さβ・Raの値は、端面部分12γ,14γの表面粗さγ・Raの値に比較して小さい。端面部分12γ,14γの表面の粗さγ・Raは、好ましくは、0.05〜0.8μm、さらに好ましくは0.1〜0.5μmである。γ・Raとβ・Raの差(γ・Ra−β・Ra)は、好ましくは、0.1〜0.2μmである。   In the present embodiment, the value of the surface roughness β · Ra of the side surface portions 12β and 14β of the external terminal electrodes 12 and 14 is smaller than the value of the surface roughness γ · Ra of the end surface portions 12γ and 14γ. The surface roughness γ · Ra of the end face portions 12γ and 14γ is preferably 0.05 to 0.8 μm, more preferably 0.1 to 0.5 μm. The difference between γ · Ra and β · Ra (γ · Ra−β · Ra) is preferably 0.1 to 0.2 μm.

表面粗さα・Raは、後述する研磨処理後の素子本体10の表面10αにおける表面粗さであるが、ガラスコートから成る保護膜をスパッタリングなどの薄膜法で形成する場合には、保護膜16の表面粗さと同じになる。また、表面粗さβ・RaおよびγRaに関しては、研磨処理後の下地電極層12p,14pの表面粗さであるが、メッキ処理の特性上、メッキ膜12c,14cの表面も同様な表面粗さとなる。   The surface roughness α · Ra is the surface roughness on the surface 10α of the element body 10 after polishing, which will be described later. When the protective film made of glass coat is formed by a thin film method such as sputtering, the protective film 16 The surface roughness is the same. The surface roughness β · Ra and γRa is the surface roughness of the ground electrode layers 12p and 14p after the polishing process. However, the surface of the plating films 12c and 14c has the same surface roughness due to the characteristics of the plating process. Become.

次に、図1に示す積層チップバリスタ2の製造方法について説明する。
まず素子本体10を製造する。素子本体10を製造するために、印刷工法またはシート工法等により、内部電極層4,6が互い違いに両端部に露出するように、抵抗体層8(バリスタ層)と内部電極層4,6を交互に積層し、その積層方向の両端に外側抵抗体層18を積層し、積層体を形成する。
Next, a method for manufacturing the multilayer chip varistor 2 shown in FIG. 1 will be described.
First, the element body 10 is manufactured. In order to manufacture the element body 10, the resistor layer 8 (varistor layer) and the internal electrode layers 4 and 6 are formed by a printing method or a sheet method so that the internal electrode layers 4 and 6 are alternately exposed at both ends. They are alternately stacked, and the outer resistor layers 18 are stacked at both ends in the stacking direction to form a stacked body.

次に、この積層体を切断し、グリーンチップを得る。次に、必要に応じて脱バインダー処理を行い、グリーンチップを焼成し、素子本体10を得る。次に、必要に応じて、素子本体10の研磨(たとえば一般的なバレル研磨)を行い、内部電極の端部を素子本体の両端面に露出させる。その後に、素子本体10の両端部に外部端子電極12,14を形成するための電極ペーストを塗布、焼き付けして下地電極層12p,14pを形成する。   Next, this laminate is cut to obtain a green chip. Next, a binder removal process is performed as necessary, and the green chip is fired to obtain the element body 10. Next, if necessary, the element body 10 is polished (for example, general barrel polishing) to expose the end portions of the internal electrodes on both end surfaces of the element body. Thereafter, electrode paste for forming the external terminal electrodes 12 and 14 is applied and baked on both ends of the element body 10 to form the base electrode layers 12p and 14p.

次に、後述する研磨処理を行った後に、メッキ膜12c,14cを各下地電極層12p,14pの表面に電気メッキ法により形成する。このようにして図1に示す積層チップバリスタ2が製造される。   Next, after performing a polishing process to be described later, plated films 12c and 14c are formed on the surfaces of the base electrode layers 12p and 14p by electroplating. In this way, the multilayer chip varistor 2 shown in FIG. 1 is manufactured.

なお、ガラスコートなどの保護膜16の形成は、メッキ処理の前に行うことが好ましく、下地電極層12p,14pの形成前に行っても良い。保護膜16は、十分に薄いので、素子本体10の端面に下地電極層12p,14pを形成する際に、内部電極層4,6との接続を確保することが可能である。   The formation of the protective film 16 such as a glass coat is preferably performed before the plating process, and may be performed before the formation of the base electrode layers 12p and 14p. Since the protective film 16 is sufficiently thin, it is possible to ensure the connection with the internal electrode layers 4 and 6 when forming the base electrode layers 12p and 14p on the end face of the element body 10.

次に、メッキ処理前に行う研磨処理について説明する。その前に、まず、研磨処理に用いる研磨装置について説明する。   Next, the polishing process performed before the plating process will be described. Before that, a polishing apparatus used for the polishing process will be described first.

図2に示すように、研磨装置20は、回転盤21と、底板22と、側面リング23と、スリット形成部材24と、カバー25と、取出し用蓋26と、供給パイプ27と、排出受け28と、排出パイプ29とを有している。   As shown in FIG. 2, the polishing apparatus 20 includes a turntable 21, a bottom plate 22, a side ring 23, a slit forming member 24, a cover 25, a take-out lid 26, a supply pipe 27, and a discharge receptacle 28. And a discharge pipe 29.

回転盤21には、軸部21aが下面に形成してあり、その軸部21aが不図示のベルトおよびベルト駆動モータからの駆動力を受けることによって、回転軸20Tを中心に時計回りおよび反時計回りの双方に回転可能になっている。回転盤21には、底板22が固定され、底板22の上には、側面リング23が固定してある。   A shaft portion 21a is formed on the lower surface of the rotating disk 21, and the shaft portion 21a receives a driving force from a belt and a belt drive motor (not shown), thereby rotating clockwise and counterclockwise around the rotating shaft 20T. It can be rotated in both directions. A bottom plate 22 is fixed to the turntable 21, and a side ring 23 is fixed on the bottom plate 22.

側面リング23の上面には、スリット形成部材24が配置してある。スリット形成部材24の上面には、カバー25の固定部25aが固定され、カバー25の上面には、取出し用蓋26が開閉可能に固定されている。これにより、後述する研磨液の飛散を防止している。   A slit forming member 24 is arranged on the upper surface of the side ring 23. A fixing portion 25a of the cover 25 is fixed to the upper surface of the slit forming member 24, and an extraction lid 26 is fixed to the upper surface of the cover 25 so as to be opened and closed. Thereby, scattering of the polishing liquid described later is prevented.

本実施形態では、スリット形成部材24と、側面リング23と、底板22と、回転盤21とを、カバー25に対して着脱自在に固定してあり、回転盤21と共に回転可能になっている。取出し用蓋26は、カバー25に着脱自在に装着され、カバー25と共に回転可能に構成してある。供給パイプ27は、取り出し用蓋26には固定されず、回転盤21とは共に回転しないようになっていることが好ましい。なお、本実施形態では、回転盤21と共に、回転する部分は、少なくとも側面リング23であればよく、スリット形成部材24、カバー25、取り出し用蓋26および供給パイプ27は、必ずしも回転しなくとも良い。   In the present embodiment, the slit forming member 24, the side ring 23, the bottom plate 22, and the turntable 21 are detachably fixed to the cover 25, and can be rotated together with the turntable 21. The take-out lid 26 is detachably attached to the cover 25 and is configured to be rotatable together with the cover 25. It is preferable that the supply pipe 27 is not fixed to the take-out lid 26 and does not rotate together with the turntable 21. In the present embodiment, the part that rotates together with the turntable 21 may be at least the side ring 23, and the slit forming member 24, the cover 25, the take-out lid 26, and the supply pipe 27 may not necessarily rotate. .

側面リング23は、底板22と共に、凹状容器20aを構成する部材であり、内周に沿って内側壁面23aが形成してある。内側壁面23aは、底板22の上面、すなわち凹状容器20aの底面22aに対して、所定角度θで傾斜してある。所定角度θは、90度よりも大きく180度よりも小さな傾斜角度、さらに好ましくは100〜120度である。なお、内側壁面23aは、必ずしも直線状の傾斜面である必要はなく、凸状あるいは凹状の曲面状の傾斜面でも良い。ただし、好ましくは、内側壁面23aは、直線状の傾斜面である。   The side ring 23 is a member that constitutes the concave container 20a together with the bottom plate 22, and an inner wall surface 23a is formed along the inner periphery. The inner wall surface 23a is inclined at a predetermined angle θ with respect to the upper surface of the bottom plate 22, that is, the bottom surface 22a of the concave container 20a. The predetermined angle θ is an inclination angle larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees, more preferably 100 to 120 degrees. The inner wall surface 23a is not necessarily a linear inclined surface, and may be a convex or concave curved inclined surface. However, the inner wall surface 23a is preferably a linear inclined surface.

側面リング23の軸方向の高さは、特に限定されないが、好ましくは5〜35mmである。側面リング23とスリット形成部材24との間、あるいはスリット形成部材24とカバー25の固定部25aとの間には、凹状容器20aの内部と外部とを連通させるスリット24aが形成してある。凹状容器20aの内部には、供給パイプ27から研磨液30が供給され、余分な研磨液30は、スリット24aから容器の外部に排出され、排出受け28および排出パイプ29を通して外部に排出される。   The height of the side ring 23 in the axial direction is not particularly limited, but is preferably 5 to 35 mm. Between the side ring 23 and the slit forming member 24, or between the slit forming member 24 and the fixing portion 25 a of the cover 25, a slit 24 a that connects the inside and the outside of the concave container 20 a is formed. The polishing liquid 30 is supplied from the supply pipe 27 to the inside of the concave container 20 a, and the excess polishing liquid 30 is discharged from the slit 24 a to the outside of the container, and is discharged to the outside through the discharge receiver 28 and the discharge pipe 29.

本実施形態では、研磨液として、メディアを含まない水が用いられるが、溶剤などを用いても良い。   In this embodiment, water containing no media is used as the polishing liquid, but a solvent or the like may be used.

本実施形態では、図2に示す研磨装置20の回転盤21を、図4に示すように回転制御する。まず、図1に示す下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を、図3(A)に示すように、凹状容器20aの内部に多数投入する。投入される素子本体10の個数は、特に限定されず、たとえば1000〜2000000個投入される。これらの素子本体10は、研磨液30が供給している凹状容器20aの内部で、底面22aの中央部に集まり、素子本体群10aを形成している。   In the present embodiment, the rotation of the turntable 21 of the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2 is controlled as shown in FIG. First, as shown in FIG. 3A, a large number of element bodies 10 on which the base electrode layers 12p and 14p shown in FIG. 1 are formed are put into the concave container 20a. The number of element bodies 10 to be input is not particularly limited, and for example 1000 to 2000000 elements are input. These element bodies 10 are gathered at the center of the bottom surface 22a inside the concave container 20a supplied with the polishing liquid 30 to form an element body group 10a.

凹状容器20aを一定方向にゆっくりと回転させながら、徐々に回転速度を上げていく(図4に示す第1工程T01/第1可変速度領域)と、素子本体群10aが、凹状容器20aの底面22aに沿って外周方向にゆっくり移動する。その後に、図4に示す第2工程T02では、凹状容器20aが一定の回転速度(第1定速度領域)で回転し、素子本体群10aは、図3(B)に示すように、凹状容器20aの底面22aにおいて、内側壁面23近くに移動する(底面移動工程)。   When the rotational speed is gradually increased while slowly rotating the concave container 20a in a certain direction (first step T01 / first variable speed region shown in FIG. 4), the element body group 10a is moved to the bottom surface of the concave container 20a. It moves slowly along the outer peripheral direction along 22a. After that, in the second step T02 shown in FIG. 4, the concave container 20a rotates at a constant rotational speed (first constant speed region), and the element body group 10a has a concave container as shown in FIG. In the bottom face 22a of 20a, it moves near the inner wall surface 23 (bottom face moving step).

次に、図4に示す第3工程T03において、第1工程T01および第2工程T02よりも速い回転速度で凹状容器20aを回転させる。第3工程T03の間に、回転速度が急激に上昇する(第2可変速度領域)。この時、図3(C)に示すように、遠心力により、素子本体群10aは、内側壁面23aに沿って上方に移動する(壁面移動工程)。その後に、図4に示すように、第4工程T04において、最も研磨効率の良い回転速度(第2定速度領域)が維持される。   Next, in the third step T03 shown in FIG. 4, the concave container 20a is rotated at a higher rotational speed than in the first step T01 and the second step T02. During the third step T03, the rotational speed increases rapidly (second variable speed region). At this time, as shown in FIG. 3C, the element body group 10a moves upward along the inner wall surface 23a by a centrifugal force (wall surface moving step). Thereafter, as shown in FIG. 4, in the fourth step T04, the rotational speed (second constant speed region) with the highest polishing efficiency is maintained.

図4に示す第3工程T03および第4工程T04では、図3(C)に示す素子本体群10aが内側壁面23aを登り上がる際の摩擦熱や、遠心力による素子本体群10aに作用する内側壁面23aへの押し付け力により、メディアを用いることなく、研磨液30のみで図5に示す下地電極層12p,14pの表面が研磨される。   In the third step T03 and the fourth step T04 shown in FIG. 4, the inner side acting on the element main body group 10a due to frictional heat generated when the element main body group 10a shown in FIG. The surface of the base electrode layers 12p and 14p shown in FIG. 5 is polished only by the polishing liquid 30 without using a medium by the pressing force against the wall surface 23a.

下地電極層12p,14pの表面が研磨されることで、図6(A)および図6(B)に示すように、下地電極層12p,14pの表面に存在するガラス成分12rが研磨され、下地電極層12p,14pの表面に導電性粒子12qが多数露出する。その結果、その下地電極層12p,14pの表面にメッキ膜12c,14c(図1参照)を均一に形成しやすくなる。なお、図6(A)および図6(B)では、分かりやすくするために、ガラス成分12rに対して導電性粒子12qが少ないが、実際には、導電性粒子12qはもっと多く存在する。   By polishing the surfaces of the base electrode layers 12p and 14p, the glass component 12r existing on the surfaces of the base electrode layers 12p and 14p is polished as shown in FIGS. Many conductive particles 12q are exposed on the surfaces of the electrode layers 12p and 14p. As a result, the plating films 12c and 14c (see FIG. 1) are easily formed uniformly on the surfaces of the base electrode layers 12p and 14p. In FIGS. 6A and 6B, for the sake of clarity, the conductive particles 12q are less than the glass component 12r, but actually there are more conductive particles 12q.

本実施形態では、素子本体群10aが内側壁面23aを登り上がる際に、遠心力により、図3(C)および図5に示すように、内側壁面23aに沿って素子本体10が層状にばらけて押し付けられる。そのため、研磨に際して、素子本体10相互が衝突する確率も比較的に少なくなる。したがって、下地電極層12p,14pよりも窪んだ位置に存在する素子本体10の表面10α(図1参照)には、メディアや他の素子本体10あるいは内側壁面23aが衝突するおそれが少なく、素子本体10の表面10αに対するダメージも少ない。   In the present embodiment, when the element body group 10a climbs up the inner wall surface 23a, the element body 10 is separated into layers along the inner wall surface 23a by centrifugal force as shown in FIGS. 3 (C) and 5. Pressed. Therefore, the probability that the element bodies 10 collide with each other during polishing is relatively reduced. Therefore, there is little possibility that a medium or another element body 10 or the inner wall surface 23a collides with the surface 10α (see FIG. 1) of the element body 10 present at a position recessed from the base electrode layers 12p and 14p. The damage to the surface 10α of 10 is small.

その後に、図4に示す第5工程T05では、凹状容器20aの回転速度を急激に低下させ、第6工程T06において、凹状容器20aの回転速度をゼロにする。凹状容器20aの回転を停止させても、凹状容器20aの内部に存在する液体は、慣性力により回転し続ける。そのため、内側壁面23aに沿って押し付けられていた素子本体10は、その液体の回転流により、内側壁面23aから離れ、渦を巻きながら、ゆっくりと、内側容器23aの底面22aの略中央に攪拌されながら落下する(底面戻し工程)。その状態を図3(A)に示す。   Thereafter, in the fifth step T05 shown in FIG. 4, the rotational speed of the concave container 20a is rapidly reduced, and in the sixth step T06, the rotational speed of the concave container 20a is made zero. Even if the rotation of the concave container 20a is stopped, the liquid present in the concave container 20a continues to rotate due to the inertial force. Therefore, the element body 10 that has been pressed along the inner wall surface 23a is separated from the inner wall surface 23a by the rotational flow of the liquid, and is slowly stirred to the approximate center of the bottom surface 22a of the inner container 23a while swirling. While falling (bottom return process). The state is shown in FIG.

その後に、図4に示すように、第1工程T01〜第6工程T06とは回転方向が異なる以外は同様な第1工程T11〜第6工程T16を行い、その後に、第1工程T01〜第6工程T06と、第1工程T11〜第6工程T16とを交互に繰り返し行う。このようなサイクルを繰り返し行うことで、多数の素子本体10にそれぞれ形成してある下地電極層12p,14pが均一に研磨され、メッキ工程において、メッキ不良になる不良品の発生率を抑制することができる。   Thereafter, as shown in FIG. 4, the same first step T11 to sixth step T16 are performed except that the rotation direction is different from that of the first step T01 to sixth step T06, and then the first step T01 to the sixth step T16. Six steps T06 and the first step T11 to the sixth step T16 are alternately repeated. By repeating such a cycle, the base electrode layers 12p and 14p respectively formed on a large number of element bodies 10 are uniformly polished, and the occurrence rate of defective products that cause plating defects in the plating process is suppressed. Can do.

本実施形態に係る積層チップバリスタ2では、α・Raとβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が上述した範囲にあることで、端子電極の側面部分12β,14βの表面の研磨が十分に行われる。端子電極の側面部分12β,14βの研磨が十分であれば、端面部分12γ,14γも十分に研磨されていると考えられる。このため、図6(B)に示すように、端子電極12,14の表面で、ガラス成分の中に埋没していた導電性粒子が露出し、メッキ膜12p,14pが端子電極に付き易くなる。また、本実施形態では、α・Raとβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が上述した範囲にあることで、素子本体10の表面10αにはメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着を有効に防止することができる。   In the multilayer chip varistor 2 according to this embodiment, the ratio of α · Ra to β · Ra (β · Ra / α · Ra) is in the above-described range, so that the surface of the side surface portions 12β and 14β of the terminal electrode is polished. Is well done. If the side surface portions 12β and 14β of the terminal electrode are sufficiently polished, it is considered that the end surface portions 12γ and 14γ are also sufficiently polished. For this reason, as shown in FIG. 6B, the conductive particles embedded in the glass component are exposed on the surfaces of the terminal electrodes 12 and 14, and the plating films 12p and 14p are easily attached to the terminal electrodes. . In this embodiment, the ratio of α · Ra to β · Ra (β · Ra / α · Ra) is in the above-described range, so that the surface 10α of the element body 10 is reattached due to plating elongation or peeling. Can be effectively prevented.

α・Raに対するβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が0.33より小さい場合とは、β・Raが小さく、α・Raが大きい場合である。β・Raが小さい場合には、側面部分12β,14βの表面の研磨が過剰であると考えられ、端面部分12γ,14γも過剰に研磨され、素子本体10の角部が端子電極12,14から露出するおそれがある。さらに、α・Raが大きい場合には、素子本体10の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着が生じ易い傾向にある。   The case where the ratio of β · Ra to α · Ra (β · Ra / α · Ra) is smaller than 0.33 is a case where β · Ra is small and α · Ra is large. When β · Ra is small, it is considered that the surfaces of the side surface portions 12β and 14β are excessively polished, the end surface portions 12γ and 14γ are also excessively polished, and the corners of the element body 10 are separated from the terminal electrodes 12 and 14. There is a risk of exposure. Further, when α · Ra is large, the surface of the element body 10 tends to be reattached due to plating elongation or peeling of the plating.

また、α・Raに対するβ・Raの比率(β・Ra/α・Ra)が10より大きい場合とは、β・Raが大きく、α・Raが小さい場合である。α・Raが小さい場合には、素子本体10の表面が平滑になるが、その場合においても、素子本体10の表面にメッキ伸びやメッキ剥がれが生じ易い傾向にある。さらに、β・Raが大きい場合には、側面部分12β,14βの表面が粗すぎて、側面部分12β,14βの表面にメッキ層12c,14cが均一に形成されず、半田付け性が良好でなくなる。   The case where the ratio of β · Ra to α · Ra (β · Ra / α · Ra) is larger than 10 is when β · Ra is large and α · Ra is small. When α · Ra is small, the surface of the element body 10 is smooth, but even in that case, the surface of the element body 10 tends to be subject to plating elongation or peeling. Further, when β · Ra is large, the surfaces of the side surface portions 12β and 14β are too rough, and the plating layers 12c and 14c are not uniformly formed on the surface of the side surface portions 12β and 14β, so that the solderability is not good. .

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。たとえば、上述した実施形態では、積層チップバリスタを例に説明を行ったが、これに限定されず、本発明の方法が適用されるチップ型電子部品としては、積層コンデンサ、チップバリスタ、チップインダクタ、チップNTCサーミスタなどであってもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the multilayer chip varistor has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and chip-type electronic components to which the method of the present invention is applied include multilayer capacitors, chip varistors, chip inductors, A chip NTC thermistor or the like may be used.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
実施例1
抵抗体層8および外側抵抗体層18を構成する抵抗体磁器組成物の材料を作製するために、主成分原料としてZnO、副成分原料としてPr、Co、Ca、Alを用意した。また、内部電極層4,6を形成するためのペーストとして、Pdを含む導電性ペーストを用意した。次に、内部電極層、抵抗体層8および外側抵抗体層18を積層して積層体を形成した。その後、積層体を切断し、グリーンチップを得た。その後、脱バインダー処理を行い、グリーンチップを焼成し、素子本体10を多数準備した。
Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.
Example 1
In order to produce the material of the resistor ceramic composition constituting the resistor layer 8 and the outer resistor layer 18, ZnO was prepared as a main component material, and Pr, Co, Ca, and Al were prepared as subcomponent materials. In addition, a conductive paste containing Pd was prepared as a paste for forming the internal electrode layers 4 and 6. Next, the internal electrode layer, the resistor layer 8 and the outer resistor layer 18 were laminated to form a laminate. Thereafter, the laminate was cut to obtain a green chip. Thereafter, binder removal processing was performed, the green chip was fired, and a large number of element bodies 10 were prepared.

次に、素子本体10の両端面11,13にAgを含む電極ペーストを塗布し、焼き付けして、下地電極層12p,14pを形成した。   Next, an electrode paste containing Ag was applied to both end faces 11 and 13 of the element body 10 and baked to form the base electrode layers 12p and 14p.

次に、上述した素子本体10を多数、図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで研磨処理を行った。具体的な研磨条件は、図4に示すパターンで300サイクルの研磨処理を行った。研磨後の多数の素子本体10のうち、20個をサンプリングし、レーザー顕微鏡(KEYENCE製 VK−8550)により、下地電極層12p,14pの側面部分12β,14βの表面の粗さβ・Ra、および素子本体10の表面10αの粗さα・Raの測定を行った。表面粗さの平均値は、α・Ra=0.4μm、β・Ra=0.05μmであった。β・Ra/α・Ra=0.125であった。結果を表1に示す。   Next, a large number of the element bodies 10 described above were put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and the polishing process was performed with the pattern shown in FIG. As specific polishing conditions, 300 cycles of polishing treatment were performed in the pattern shown in FIG. Of the numerous element bodies 10 after polishing, 20 were sampled, and the surface roughness β · Ra of the side surface portions 12β and 14β of the base electrode layers 12p and 14p was measured with a laser microscope (VK-8550 manufactured by KEYENCE), and The roughness α · Ra of the surface 10α of the element body 10 was measured. The average values of the surface roughness were α · Ra = 0.4 μm and β · Ra = 0.05 μm. β · Ra / α · Ra = 0.125. The results are shown in Table 1.

Figure 2011176238
Figure 2011176238

次に、上述した素子本体10を多数、電気メッキにより下地電極層12p,14pの表面にNiメッキ層およびSnメッキ層を形成し、図1に示す積層チップバリスタ2を製造した。積層チップバリスタ2の素子本体10のサイズは、縦0.4mm、横0.2mm、厚み0.2mmであった。   Next, a large number of the element bodies 10 described above were formed, and Ni plating layers and Sn plating layers were formed on the surface of the base electrode layers 12p and 14p by electroplating, and the multilayer chip varistor 2 shown in FIG. 1 was manufactured. The size of the element body 10 of the multilayer chip varistor 2 was 0.4 mm in length, 0.2 mm in width, and 0.2 mm in thickness.

この多数の積層チップバリスタ2の中から、1000個サンプリングし、実体顕微鏡を用いて外観検査を行った。図8に示すように、積層チップバリスタ2は、通常は外部端子電極12,14の長さL1が所定距離で決められており、外部端子電極12,14間の距離L2も所定範囲の基準を有している。外観検査において、図8に示すように、素子本体10における距離L2の範囲内に、外部端子電極12,14のメッキ伸びやメッキ剥離による再付着がある場合には、NGと判定した。また、メッキ伸びやメッキ剥離による再付着がない場合にはOKと判定した。そして、外観検査試験でOKとした積層チップバリスタ2の個数を求めた。その結果を表1に示す。   1000 samples were sampled from the multi-layer chip varistors 2 and the appearance was inspected using a stereo microscope. As shown in FIG. 8, in the multilayer chip varistor 2, the length L1 of the external terminal electrodes 12 and 14 is usually determined by a predetermined distance, and the distance L2 between the external terminal electrodes 12 and 14 also has a reference within a predetermined range. Have. In the appearance inspection, as shown in FIG. 8, when the external terminal electrodes 12 and 14 were reattached due to plating elongation or plating peeling within the range of the distance L2 in the element body 10, it was determined as NG. Moreover, when there was no reattachment by plating elongation or plating peeling, it was determined to be OK. Then, the number of multilayer chip varistors 2 determined as OK in the appearance inspection test was obtained. The results are shown in Table 1.

次に、上述した外観検査にてサンプリングした1000個の積層チップバリスタ2から、50個をサンプリングし、半田付け性の合格試験を行った。外部端子電極12,14を、基板に対し、半田付けを行った。そして、半田付け性の合否を判定した。なお、外部端子電極が95%以上半田で覆われている場合に半田付け性を合格とし、外部端子電極が95%未満の半田で覆われている場合に半田付け性を不合格と判定した。そして、半田付け性試験に合格した積層チップバリスタ2の個数を求めた。その結果を表1に示す。   Next, 50 samples were sampled from the 1000 laminated chip varistors 2 sampled in the above-described appearance inspection, and a passability test for solderability was performed. The external terminal electrodes 12 and 14 were soldered to the substrate. And the pass / fail of solderability was determined. The solderability was determined to be acceptable when the external terminal electrode was covered with 95% or more solder, and the solderability was determined to be unacceptable when the external terminal electrode was covered with less than 95% solder. Then, the number of multilayer chip varistors 2 that passed the solderability test was determined. The results are shown in Table 1.

実施例2
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで300サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで250サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.3μmであった。また、β・Ra=0.1μmであった。β・Ra/α・Ra=0.33であった。結果を表1に示す。
Example 2
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 300 cycles of polishing treatment are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1, except that when polishing the element body 10, 250 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.3 μm. Further, β · Ra = 0.1 μm. β · Ra / α · Ra = 0.33. The results are shown in Table 1.

実施例3
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで400サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで250サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.2μmであった。また、β・Ra=0.1μmであった。β・Ra/α・Ra=0.5であった。結果を表1に示す。
Example 3
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 400 cycles of polishing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1, except that when polishing the element body 10, 250 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.2 μm. Further, β · Ra = 0.1 μm. β · Ra / α · Ra = 0.5. The results are shown in Table 1.

実施例4
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで400サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで180サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。なお、焼き付けして下地電極層12p,14pを形成した後で、多数の素子本体10のうち、20個をサンプリングし、研磨前の下地電極層12p,14pの表面粗さ(γ・Ra’、β・Ra’)の測定を行った。測定値を図7に示す。研磨前の下地電極層12p,14pの端面部分である焼付け端面の表面粗さγ・Ra’=0.61μmであった、研磨前の下地電極層12p,14pの側面部分である焼付け側面の表面粗さβ・Ra’=0.52μmであった。また、研磨後にも同様の方法で表面粗さを測定した。研磨後の端面12γ,14γの表面の粗さγ・Ra=0.39μmであった。研磨後の側面12β,14βの表面の粗さβ・Ra=0.3μmであった。なお、研磨後の素子本体10の表面10αの粗さα・Ra=0.2μmであった。β・Ra/α・Ra=1.5であった。結果を表1に示す。
Example 4
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 400 cycles of polishing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that when the element body 10 was polished, 180 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. In addition, after baking and forming the base electrode layers 12p and 14p, 20 of the many element bodies 10 are sampled, and the surface roughness (γ · Ra ′, β · Ra ′) was measured. The measured values are shown in FIG. The surface roughness of the baked side surface, which is the side surface portion of the base electrode layers 12p, 14p before polishing, was the surface roughness γ · Ra ′ = 0.61 μm of the baked end surface, which is the end surface portion of the base electrode layers 12p, 14p before polishing. The roughness β · Ra ′ = 0.52 μm. Further, the surface roughness was measured by the same method after polishing. The surface roughness of the end faces 12γ and 14γ after polishing was γ · Ra = 0.39 μm. The surface roughness of the side surfaces 12β and 14β after polishing was β · Ra = 0.3 μm. The roughness 10 · Ra of the surface 10α of the element body 10 after polishing was 0.2 μm. β · Ra / α · Ra = 1.5. The results are shown in Table 1.

実施例5
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで400サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで110サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.2μmであった。また、β・Ra=0.5μmであった。β・Ra/α・Ra=2.5であった。結果を表1に示す。
Example 5
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 400 cycles of polishing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that, when the element body 10 was polished, 110 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.2 μm. Β · Ra = 0.5 μm. β · Ra / α · Ra = 2.5. The results are shown in Table 1.

実施例6
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで500サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで110サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.1μmであった。また、β・Ra=0.5μmであった。β・Ra/α・Ra=5であった。結果を表1に示す。
Example 6
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 500 cycles of polishing processing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that, when the element body 10 was polished, 110 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.1 μm. Β · Ra = 0.5 μm. β · Ra / α · Ra = 5. The results are shown in Table 1.

実施例7
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで600サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで110サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.05μmであった。また、β・Ra=0.5μmであった。β・Ra/α・Ra=10であった。結果を表1に示す。
Example 7
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2 and 600 cycles of polishing treatment is performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body and to form the base electrode layers 12p and 14p. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that, when the element body 10 was polished, 110 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.05 μm. Β · Ra = 0.5 μm. β · Ra / α · Ra = 10. The results are shown in Table 1.

実施例8
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで1000サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで110サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.02μmであった。また、β・Ra=0.5μmであった。β・Ra/α・Ra=25であった。結果を表1に示す。
Example 8
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 1000 cycles of polishing treatment is performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that, when the element body 10 was polished, 110 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.02 μm. Β · Ra = 0.5 μm. β · Ra / α · Ra = 25. The results are shown in Table 1.

実施例9
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで1000サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで40サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。α・Ra=0.02μmであった。また、β・Ra=0.7μmであった。β・Ra/α・Ra=35であった。結果を表1に示す。
Example 9
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 1000 cycles of polishing treatment is performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip in the same manner as in Example 1 except that when the element body 10 was polished, polishing was performed for 40 cycles with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured and the same experiment and measurement were performed. α · Ra = 0.02 μm. Further, β · Ra = 0.7 μm. β · Ra / α · Ra = 35. The results are shown in Table 1.

次に、表1に示すデータのうち、α・Raの値に着目して並べ替えを行った。その結果を表2に示す。また、表1に示すデータのうち、β・Raの値に着目して並べ替えを行った。その結果を表3に示す。   Next, of the data shown in Table 1, the rearrangement was performed focusing on the value of α · Ra. The results are shown in Table 2. Of the data shown in Table 1, the rearrangement was performed focusing on the value of β · Ra. The results are shown in Table 3.

Figure 2011176238
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Figure 2011176238
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比較例1
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで100サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで110サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、α・Raの値の測定および外観検査合格率の検査を行った。結果を表2に示す。
Comparative Example 1
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 100 cycles of polishing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that, when the element body 10 was polished, 110 cycles of polishing treatment were performed with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured, and the value of α · Ra was measured and the appearance inspection pass rate was inspected. The results are shown in Table 2.

比較例2
素子本体10を図2に示す研磨装置20に投入し、図4に示すパターンで500サイクルの研磨処理を行い、素子本体の初期の表面粗さを調整すると共に、下地電極層12p,14pが形成された素子本体10を研磨する際に、図4に示すパターンで5サイクルの研磨処理を行い、α・Raおよびβ・Raとの関係を調整した以外は、実施例1と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、β・Raの値の測定および半田付け性合格率の検査を行った。結果を表3に示す。
Comparative Example 2
The element body 10 is put into the polishing apparatus 20 shown in FIG. 2, and 500 cycles of polishing processing are performed with the pattern shown in FIG. 4 to adjust the initial surface roughness of the element body, and the base electrode layers 12p and 14p are formed. A laminated chip was obtained in the same manner as in Example 1 except that when the element body 10 was polished, polishing was performed for 5 cycles with the pattern shown in FIG. 4 and the relationship between α · Ra and β · Ra was adjusted. The varistor 2 was manufactured, and the β · Ra value was measured and the solderability pass rate was inspected. The results are shown in Table 3.

比較例3
下地電極層12p,14pを形成した後に素子本体10の研磨を行う際に、バレル研磨を行った以外は、実施例4と同様にして積層チップバリスタ2を製造し、同様の実験および測定を行った。バレル研磨においては、メディアをZrO製とし、直径0.3mm径の球状のものを、素子本体10と共にバレル研磨装置内に投入し、1時間、バレル研磨を行った。結果を図7に示す。
Comparative Example 3
The laminated chip varistor 2 is manufactured in the same manner as in Example 4 except that barrel polishing is performed when the element body 10 is polished after the base electrode layers 12p and 14p are formed, and the same experiment and measurement are performed. It was. In barrel polishing, the medium was made of ZrO 2 and a spherical material having a diameter of 0.3 mm was put into the barrel polishing apparatus together with the element body 10 and barrel polishing was performed for 1 hour. The results are shown in FIG.

評価1
表2に示す実験結果から、素子本体10の表面10αの粗さα・Raが0.1〜0.3μmの範囲にあることで、メッキ伸びやメッキ剥がれによる再付着を有効に防止することができることが判明した。また、表3に示す実験結果から、側面部分12,14βの表面の粗さβ・Raが0.1〜0.5μmの範囲にあることで、半田付け性の合格率が高まり、下地電極層12p,14pの表面に、よりメッキ膜が付き易くなることが判明した。さらに、表1に示す実験結果から、α・Raとβ・Raの比率が0.5≦β・Ra/α・Ra≦10、とくに5≦β・Ra/α・Ra≦10の場合に、半田付け性が良好で、外観検査合格率も高いことが判明した。
Evaluation 1
From the experimental results shown in Table 2, when the roughness α · Ra of the surface 10α of the element body 10 is in the range of 0.1 to 0.3 μm, it is possible to effectively prevent reattachment due to plating elongation or plating peeling. It turns out that you can. In addition, from the experimental results shown in Table 3, when the surface roughness β · Ra of the side surface portions 12 and 14β is in the range of 0.1 to 0.5 μm, the acceptance rate of solderability increases, and the base electrode layer It has been found that a plating film is more easily attached to the surfaces of 12p and 14p. Furthermore, from the experimental results shown in Table 1, when the ratio of α · Ra and β · Ra is 0.5 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10, particularly 5 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10, It was found that the solderability was good and the appearance inspection pass rate was high.

評価2
図7に示す実験データから、実施例4において、側面部分12β,14βの表面が十分に研磨され、端面部分12γ,14γの表面も十分に研磨されていることが確認された。図7に示す実験データから、研磨を分析すると、研磨後の端面部分12γ,14γの表面の粗さγ・Raは、研磨前に比較して約36%研磨されていた。研磨後の側面12β,14βの表面の粗さβ・Raの値は、研磨前に比較して約42%研磨されており、側面部分の研磨効率が、より高かった。一方で、比較例3において、研磨後の粗さγ・Raと、研磨後の粗さβ・Raの値は、研磨前に比較して、共に約25%であった。もし、比較例3において、実施例4で得られたβ・Ra(0.30μm)の値を得ようと、研磨時間を長くすると、γ・Raの値は実施例4で得られたγ・Ra(0.39μm)を下回ってしまうことになり、研磨が過剰になり、端子電極から素子本体10の角部が露出するおそれがあり、実施例4(他の実施例も同様と考えられる)の有効性が確認された。
Evaluation 2
From the experimental data shown in FIG. 7, it was confirmed in Example 4 that the surfaces of the side surface portions 12β and 14β were sufficiently polished and the surfaces of the end surface portions 12γ and 14γ were also sufficiently polished. When the polishing was analyzed from the experimental data shown in FIG. 7, the surface roughness γ · Ra of the end face portions 12γ and 14γ after polishing was polished by about 36% compared to before polishing. The surface roughness β · Ra of the side surfaces 12β and 14β after polishing was polished by about 42% as compared with that before polishing, and the polishing efficiency of the side surface portion was higher. On the other hand, in Comparative Example 3, the value of the roughness γ · Ra after polishing and the value of the roughness β · Ra after polishing were both about 25% as compared with those before the polishing. If the polishing time is lengthened to obtain the value of β · Ra (0.30 μm) obtained in Example 4 in Comparative Example 3, the value of γ · Ra becomes γ · Ra obtained in Example 4. Ra (0.39 μm) would be exceeded, polishing would be excessive, and the corners of the element body 10 might be exposed from the terminal electrode, and Example 4 (considered in other examples) The effectiveness of was confirmed.

2…積層チップバリスタ
6,8…内部電極
10…素子本体
12,14…外部端子電極
12p,14p…下地電極層
12c,14c…メッキ膜
12β,14β…側面部分
12γ,14γ…端面部分
16…保護膜
2 ... Laminated chip varistors 6, 8 ... Internal electrodes 10 ... Element main bodies 12, 14 ... External terminal electrodes 12p, 14p ... Base electrode layers 12c, 14c ... Plating films 12β, 14β ... Side portions 12γ, 14γ ... End face portions 16 ... Protection film

Claims (7)

内部電極が内部に形成された素子本体と、
前記内部電極が露出する前記素子本体の端面を覆う端子電極とを有するチップ型電子部品であって、
前記端子電極が、前記素子本体の端面に位置する端面部分と、前記端面部分に連続して形成され、前記素子本体の端面近傍の四側面にまで延びる側面部分とを有し、
前記端子電極で覆われていない前記素子本体の表面の粗さをα・Raと表し、前記側面部分の表面の粗さをβ・Raと表した場合に、α・Raに対するβ・Raの比率は、0.33≦β・Ra/α・Ra≦10であることを特徴とするチップ型電子部品。
An element body having an internal electrode formed therein;
A chip-type electronic component having a terminal electrode covering an end surface of the element body from which the internal electrode is exposed,
The terminal electrode has an end surface portion located on the end surface of the element body, and a side surface portion formed continuously to the end surface portion and extending to four side surfaces in the vicinity of the end surface of the element body,
The ratio of β · Ra to α · Ra when the roughness of the surface of the element body not covered with the terminal electrode is expressed as α · Ra and the roughness of the surface of the side surface portion is expressed as β · Ra. Is 0.33 ≦ β · Ra / α · Ra ≦ 10.
前記素子本体の表面の粗さα・Raは0.05〜0.3μmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のチップ型電子部品。   2. The chip-type electronic component according to claim 1, wherein the surface roughness α · Ra of the element body is in a range of 0.05 to 0.3 μm. 前記側面部分の表面の粗さβ・Raは、0.1〜0.5μmの範囲であることを特徴とする請求項1または2に記載のチップ型電子部品。   3. The chip-type electronic component according to claim 1, wherein a surface roughness β · Ra of the side surface portion is in a range of 0.1 to 0.5 μm. 前記側面部分の表面の粗さβ・Raの値は、前記端面部分の表面の粗さγ・Raの値に比較して小さいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のチップ型電子部品。   4. The chip according to claim 1, wherein the value of the surface roughness β · Ra of the side surface portion is smaller than the value of the surface roughness γ · Ra of the end surface portion. Type electronic components. 前記端子電極で覆われていない前記素子本体の表面がガラスコートで覆われていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のチップ型電子部品。   The chip-type electronic component according to claim 1, wherein a surface of the element main body not covered with the terminal electrode is covered with a glass coat. 前記端子電極が、電極ペーストの焼付け処理で形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のチップ型電子部品。   The chip-type electronic component according to claim 1, wherein the terminal electrode is formed by an electrode paste baking process. 前記端子電極の表面は、メッキで覆われていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のチップ型電子部品。
The chip-type electronic component according to claim 1, wherein a surface of the terminal electrode is covered with plating.
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