JP2011171724A - 基板の配線修正方法、基板の配線修正装置及び基板の配線形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10上に描画済の既設配線を修正する基板10の配線修正装置100であって、第1の既設配線11を設定された切断位置においてレーザにより切断するレーザ切断装置140と、第1の既設配線11における接続予定部と第2の既設配線12における接続予定部とをつなぐ再配線30を描画する配線用インクジェット塗布装置150を有するもの。
【選択図】 図8
Description
(1)カメラ130により、基板載置ステージ113の上面に保持された基板10の表面の2点に付された位置決めマーク(不図示)を順次撮像し、この撮像情報を制御部180に転送する(図1)。
(2)レーザ切断装置140により、第1の既設配線11を、記憶部170に記憶された切断位置の情報を頼りに、その切断位置においてレーザにより切断して切断部11aを形成する(図2)。
(3)第1と第2の既設配線11、12の接続予定部11A、12Aが既設の絶縁性表面膜21で被覆されているとき、後述(5)の配線用インクジェット塗布装置150による再配線30の配線描画の前に、レーザ切断装置140により、その既設の絶縁性表面膜21をレーザにより除去する(図3)。即ち、制御部180は、記憶部170に記憶された接続予定部11A、12Aの位置情報に基づいてレーザ切断装置140を接続予定部11A、12Aの対向位置に順次位置づけ、その位置で絶縁性表面膜21を除去するに要するレーザ出力に対応する指令をレーザ発振器141に対して出力する。41、42はそれらの絶縁性表面膜21の膜除去部を示す。
(4)再配線30が基板10の表面に露出した他の既設配線13を跨ぐとき、後述(5)の配線用インクジェット塗布装置150による再配線30の配線描画の前に、再配線30が跨ぐことが予定される他の既設配線13の上面に、膜形成用インクジェット塗布装置160から吐出される膜形成用インクにより、再配線30と既設配線13との間に電気的絶縁状態を確保する厚さの絶縁膜22を形成する(図4)。既設配線13が既設の絶縁性表面膜21で被覆されているときであって絶縁性表面膜21では再配線30と既設配線13との間に電気的絶縁状態を充分に確保できない場合は、上述の絶縁膜22は上述の絶縁性表面膜21の上に形成される。このとき、制御部180は、記憶部170に記憶された配線パターンの位置情報と再配線30の再配線パターンの位置情報とから、再配線30と既設配線11、12、13との交差の有無を判別する。そして、交差がある場合にはその位置を求め、再配線30の幅とその再配線30が交差する既設配線の幅をカバーする範囲に上述の如くの絶縁膜22を形成する。
(5)第1の既設配線11の接続予定部11Aと第2の既設配線12の続予定部12Aとを、配線用インクジェット塗布装置150から吐出される配線用インクにより配線描画される再配線30によりつなぐ(図5)。再配線30は基板10上の既設の絶縁性表面膜21、上述(4)で形成した絶縁膜22の上に描画され、再配線30の両端部は上述(3)で第1と第2の既設配線11、12の接続予定部11A、12Aに形成された膜除去部41、42に描画される。
(6)基板10上の再配線30(再配線30の周辺の絶縁膜22、膜除去部41、42を含む)の上面に、膜形成用インクジェット塗布装置160から吐出される膜形成用インクにより絶縁性表面膜21を形成する(図6)。即ち、制御部180は、記憶部170に記憶された再配線パターンの位置情報に基づいて膜形成用インクジェット塗布装置160と基板10とを相対移動させ、再配線30の上面に絶縁性表面膜21を形成する。
(a)第1の既設配線11をその接続予定部11Aの近傍の切断位置でレーザにより切断して切断部11aを形成し、第1の既設配線11の接続予定部11Aと第2の既設配線12の接続予定部12Aとを、配線用インクジェット塗布装置150から吐出される配線用インクにより配線描画される再配線30によりつなぐことにより、基板10上に描画済の既設配線11、12、13等について、配線パターンの変更部分だけを修正するものになる。新たな配線パターンの形成に際し、新たなマスクの作製、新たな基板の用意、当該基板の全体に渡る銅箔、レジスト等の材料の調達、新たな配線パターンの全体を当初の工程から形成する多大な時間等が不要になり、生産性を向上することができる。
(b)第1と第2の既設配線11、12の接続予定部11A、12Aが既設の絶縁性表面膜21で被覆されているとき、配線用インクジェット塗布装置150による配線描画の前に、その既設の絶縁性表面膜21をレーザにより除去することにより、前述(a)の再配線30を確実に行うことができる。
(c)再配線30が他の既設配線13を跨ぐとき、配線用インクジェット塗布装置150による配線描画の前に、膜形成用インクジェット塗布装置160から吐出される膜形成用インクにより既設配線13における再配線30が跨ぐ部位に絶縁膜22を形成することにより、前述(a)の再配線30とこの再配線30が跨ぐ既設配線13との間の絶縁を確実に行うことができる。
(d)再配線30の上面に、膜形成用インクジェット塗布装置160から吐出される膜形成用インクにより絶縁性表面膜21を形成することにより、前述(a)で形成した再配線30を感電、漏電、電気部品とのショートから保護できる。
(e)基板10上を撮像するカメラ130と、第1と第2の既設配線11、12の接続予定部11A、12Aを含む基板10上の配線位置情報が記憶される記憶部170と、カメラ130の撮像情報と、記憶部170の記憶情報を得て、前記レーザ切断装置140と配線用インクジェット塗布装置150を制御する制御部180とを有する。これにより、レーザ切断装置140により前述(a)の第1の配線11をその接続予定部11Aの近傍の切断位置で切断する作業、又は前述(b)の既設の絶縁性表面膜21を除去する作業を自動制御できる。また、配線用インクジェット塗布装置160により前述(a)の第1の既設配線11の接続予定部11Aと第2の既設配線12の接続予定部12Aとを再配線30によりつなぐ配線描画作業を自動制御できる。
(f)制御部180が膜形成用インクジェット塗布装置160を制御する。これにより、膜形成用インクジェット塗布装置160により前述(c)の再配線30が跨ぐ他の既設配線13の上面に絶縁膜22を形成する作業、又は前述(d)の再配線30の上面に絶縁性表面膜21を形成する作業を自動制御できる。
11、12、13 既設配線
11A、12A 接続予定部
21 絶縁性表面膜
22 絶縁膜
30 再配線
100 配線修正装置
130 カメラ
140 レーザ切断装置
150 配線用インクジェット塗布装置
160 膜形成用インクジェット塗布装置
170 記憶部
180 制御部
Claims (11)
- 基板上に描画済の既設配線を修正する基板の配線修正方法であって、
第1の既設配線を設定された切断位置において切断し、
第1の既設配線における接続予定部と第2の既設配線における接続予定部とを、配線用インクジェット塗布装置から吐出される配線用インクにより描画される再配線によりつなぐ基板の配線修正方法。 - 前記第1と第2の既設配線の接続予定部の少なくとも一方が絶縁性表面膜で被覆されているとき、前記配線用インクジェット塗布装置による配線描画の前に、その絶縁性表面膜を除去する請求項1に記載の基板の配線修正方法。
- 前記再配線が他の既設配線を跨ぐとき、前記配線用インクジェット塗布装置による配線描画の前に、該再配線が跨ぐことが予定される他の既設配線の上面に、膜形成用インクジェット塗布装置から吐出される膜形成用インクにより絶縁膜を形成する請求項1又は2に記載の基板の配線修正方法。
- 前記再配線の描画後、前記再配線の上面に、膜形成用インクジェット塗布装置から吐出される膜形成用インクにより絶縁性表面膜を形成する請求項1〜3のいずれかに記載の基板の配線修正方法。
- 基板上に描画済の既設配線を修正する基板の配線修正装置であって、
第1の既設配線を設定された切断位置において切断する切断装置と、
第1の既設配線における接続予定部と第2の既設配線における接続予定部とをつなぐ再配線を描画する配線用インクジェット塗布装置とを有する基板の配線修正装置。 - 前記切断装置は、レーザを用いたレーザ切断装置であって、
前記レーザ切断装置が、前記既設配線を切断可能なレーザ出力と、前記既設配線を被覆する絶縁性表面膜を除去可能なレーザ出力とに、出力を切換え可能である請求項5に記載の基板の配線修正装置。 - 前記再配線が他の既設配線を跨ぐとき、該再配線が跨ぐことが予定される他の既設配線の上面に絶縁膜を形成する膜形成用インクジェット塗布装置を有する請求項5又は6に記載の基板の配線修正装置。
- 描画された前記再配線の上面に絶縁性表面膜を形成する膜形成用インクジェット塗布装置を有する請求項5〜7のいずれかに記載の基板の配線修正装置。
- 前記基板上に設けられた位置決めマークを撮像する撮像装置と、
第1と第2の既設配線の接続予定部を含む基板上の配線位置情報が記憶される記憶部と、
撮像装置の撮像情報と、記憶部の記憶情報を得て、前記切断装置と前記配線用インクジェット塗布装置を制御する制御部とを有してなる請求項5〜8のいずれかに記載の基板の配線修正装置。 - 前記制御部が前記膜形成用インクジェット塗布装置を制御する請求項9に記載の基板の配線修正装置。
- 請求項5〜10のいずれかに記載の基板の配線修正装置を用いて基板上に新規に配線を描画可能にする基板の配線形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (3)
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JP2010009493 | 2010-01-19 | ||
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JP2011008819A JP2011171724A (ja) | 2010-01-19 | 2011-01-19 | 基板の配線修正方法、基板の配線修正装置及び基板の配線形成装置 |
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