JP2010117330A - エアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】 エアオペレートバルブの動作状態を確認すること。
【解決手段】
エアオペレートバルブ１０の動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブ１０の初期状態において、エアオペレートバルブ１０にＡＥセンサ２を当接させて、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したとき、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する事前工程と、エアオペレートバルブ１０が繰返し動作後に、エアオペレートバルブ１０にＡＥセンサ２を当接させて、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したときに、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する第１工程と、第１工程で計測した値と、事前工程で計測した値とを比較して、エアオペレートバルブ１０の動作状態の変化を確認する確認工程と、を有する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、エアオペレートバルブの動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブに関する。

半導体の製造ラインでは液弁の故障が発生すると、ラインを停止して液弁を交換しなければならない。液弁交換によるライン停止で発生する損害を防ぐため、定期的に液弁の交換を行う必要があった。液弁は、電磁弁ではなく多くの場合、エアオペレートバルブが使われている。
従来、液弁のメンテナンスにおける寿命診断として、特許文献１のような、ＡＥ(アコースティック・エミッション、以下ＡＥと記す)センサによりＡＥ波形及びＡＥスペクトルパターンを観察記録することによる診断方法があった。ここで、ＡＥとは、材料が変形又は、亀裂が発生する際に材料が内部に蓄えていた歪みエネルギーを弾性波として放出する現象をいう。この弾性波を材料の表面に設置した変換子すなわちＡＥセンサで検出し、信号処理を行うことにより材料の破壊過程を評価する手法がＡＥ法である。
具体的には、特許文献１の発明の構成は、エアオペレートバルブのシート部に発振体を設け、弁シート部近辺に設けられたＡＥセンサと、このＡＥセンサからの出力を計測するＡＥ計測装置から構成されている。
特許文献１の作用は、発振体は振動を発生する。この振動をＡＥセンサで検出して、信号解析装置で解析し、その結果をＡＥ計測装置に記録する。続いて、一定期間を経過した時に同様の手段で振動をＡＥセンサで検出し、ＡＥ計測装置がこれを記録する。そして、ＡＥ記録装置において、前回の振動と今回の振動とを比較して、著しく振動が異なる時は、液弁は寿命であるとして交換を行っていた。

特開平１−１２４７３９

しかしながら、特許文献１に記載された発明では、エアオペレートバルブに発振体を設けなければ振動を検出することができなかった。発振体を、エアオペレートバルブに設置することは、通常のエアオペレートバルブではなく、特注扱いとなるため、その製造には、費用が掛かる問題があった。
また、特許文献１に記載された発明では、ＡＥセンサを全てのエアオペレートバルブに設置しているため、配線が多数必要となり、製造ラインが込み合い、簡素化できない問題があった。さらに、ＡＥセンサの分の多くの費用が掛かる問題があった。
また、特許文献１に記載された発明を利用した場合、具体的な判定基準が不明であるため、判定結果についてメンテナンス担当者により個人差が出ていた。

以上の問題から、発振体を必要とせず、液弁であるエアオペレートバルブの動作状況を把握し、交換時期を判断できる診断方法、及び持ち運び可能な診断装置が望まれている。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、エアオペレートバルブのメンテナンスにおける診断方法、診断装置、及びエアオペレートバルブを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係るエアオペレートバルブの動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブは、以下の構成を有する。
（１）エアオペレートバルブの動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブの初期状態において、エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、エアオペレートバルブの操作ポートに操作流体を供給したとき、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する事前工程と、エアオペレートバルブが繰返し動作後に、エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、エアオペレートバルブの操作ポートに操作流体を供給したときに、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する第１工程と、第１工程で計測した値と、事前工程で計測した値とを比較して、エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認する確認工程と、を有することを特徴とする。
（２）（１）に記載するエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブは液弁であること、第１工程は、音の変化を比較してエアオペレートバルブの動作状態の変化によりエアオペレートバルブの故障を予測して交換の要否を判断すること、を特徴とする。
（３）（１）又は（２）に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、第１工程で計測、記録した値は、操作ポートが操作流体を供給もしくは、操作流体を排気した時の弁開閉時に発する音の最大値の平均値であること、確認工程で計測、記録した値を最大値の平均値と比較すること、を特徴とする。ここで操作ポートが操作流体を供給もしくは、操作流体を排気した時の弁開閉時に発する音とは、エアオペレートバルブのピストンがストッパに衝突した時に発生する衝突音、エアの給排気音、スプリングの伸縮音、Ｏリングの摩擦音等が含まれる。
（４）（１）又は（２）に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、第１工程で計測、記録した値は、エオペレートバルブの音が発生してからエアオペレートバルブの音が終了するまでの時間の平均値である発生時間平均値であること、確認工程で計測、記録した値を発生時間平均値と比較すること、を特徴とする。

（５）エアオペレートバルブの動作状態を監視して、エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認するための診断装置であって、エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、エアオペレートバルブが開閉時に発する音を計測する計測手段と、計測手段で計測した計測結果を記録する記録手段と、エアオペレートバルブを前記製造装置に設置して計測した記録手段に記録している値と、その後に計測した値とを比較して、エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認する手段と、を有することを特徴とする。
（６）（５）に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、エアオペレートバルブ診断装置は持ち運びが可能であること、を特徴とする。
（７）に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、記録手段が、エアオペレートバルブの交換の要否を判断した対象のエアオペレートバルブを特定でき、特定したエアオペレートバルブに関し記録手段に記録している計測結果を外部へ送信する通信手段を備えること、を特徴とする。
（８）（１）乃至（４）に用いられるエアオペレートバルブ診断方法のいずれか１つに用いられるエアオペレートバルブにおいて、エアオペレートバルブの側面に、ＡＥセンサを当接させるための当接部が形成されていること、を特徴とする。

エアオペレートバルブの故障は生産の停止に直結しやすい。従来、エアオペレートバルブの診断は、製造ラインのメンテナンス担当者が行っていた。しかし、製造ラインのメンテナンス担当者はエアオペレートバルブの専門家ではないため、適確なエアオペレートバルブの診断を行うことが困難である。そのため、メンテナンス担当者がエアオペレートバルブの故障を判断できず、生産を止める場合があり、多大な損害を受ける場合があった。
そこで、エアオペレートバルブの専門家である本出願人らは、定期的なメンテナンスを行うことを検討している。エアオペレートバルブに関する専門家であるため、その状態を的確に診断することができるので、独自性及び信頼性を確保する本出願のエアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置を開発、発明したのである。

次に、エアオペレートバルブの動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブの作用及び効果について説明する。
エアオペレートバルブを製造装置に取り付けた後に、ＡＥセンサをエアオペレートバルブの当接部に取り付けテストを行う。テストのために、エアオペレートバルブの操作ポートに操作流体を送り込む。操作流体が送り込まれると、減圧弁により調整された操作流体は、操作ポートに入る前に電磁弁にて止められる。電磁弁は、所定のタイミングで操作流体を操作ポートへ送り込む。操作ポートから入った操作流体は、操作室内に入りエアオペレートバルブ内にあるピストンを上昇させる。ピストンが上昇すると、ピストンはストッパにぶつかり上昇がストップする。ピストンがストッパにぶつかる時、衝突音を含んだ動作音（以下、「動作音」という。）が発せられる。動作音をＡＥセンサが計測する。ＡＥセンサが動作音を計測するまでがテストである。
計測された動作音を制御部のメモリが記録し、動作音の最大値である最大音の平均値を計算し記録する。同様に、エアオペレートバルブが発生する音が終了するまでの時間の平均値を計算し記録する。平均値は、上記テストを複数回行うことにより求める。
次に、エアオペレートバルブが繰返し使用された時点、例えば数万回連続して使用された場合に、上記テストを行う。
計測された動作音を制御部のメモリが記録する。また、エアオペレートバルブが発生する音が終了するまでの時間を制御部のメモリが記録する。

エアオペレートバルブを製造装置に取り付けた後に計測した動作音の最大値の平均値と、エアオペレートバルブが繰返し使用された時点で計測した動作音とをＣＰＵが比較してエアオペレートバルブに異常が起きていないかを確認する。
また、エアオペレートバルブを製造装置に取り付けた後に計測したエアオペレートバルブから発生する音が終了するまでの時間の平均値と、エアオペレートバルブが繰返し使用された時点で計測したエアオペレートバルブから発生する音が終了するまでの時間とを比較してエアオペレートバルブに異常が起きていないかを確認する。そして、エアオペレートバルブに異常が認められる時は、エアオペレートバルブを交換する。
例えば、ＡＥ測定により、エアオペレートバルブを製造装置に取り付けた後に計測した動作音の最大値の平均値と、エアオペレートバルブが繰返し使用された時点で計測した動作音の最大値とを比較して、動作音が小さくなっている時には、ピストンがフルストローク開閉しない症状が生じていると判断される。そこから、エアオペレートバルブについてのスプリングの腐食、ピストンのかじり、Ｏリングの変形等の不具合が想定される。
以上のように、エアオペレートバルブの専門家である本出願人らによれば、故障したエアオペレートバルブの診断及びエアオペレートバルブの故障の予測を行うことができる。それにより、故障したエアオペレートバルブを発見して交換することができるため、エアオペレートバルブの故障を発見できるので、製造ラインの停止を未然に防止できる。また、エアオペレートバルブの故障を予測することができるため、交換の必要のないエアオペレートバルブについては、交換せずに継続して使用することができるため、無駄にエアオペレートバルブを交換することがない。
以上より、エアオペレートバルブの作動不良の前兆を把握することにより、エアオペレートバルブの故障による製造装置停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。
発明の作用及び効果について、エアオペレートバルブの弁開時の動作音を基に比較を行ったが、弁閉時におけるピストンが弁体に当たる動作音の場合でも同様の作用及び効果を得ることができる。
故障の予測は、多数のエアオペーレートバルブを数百万回耐久試験することにより、ＡＥ測定値と故障との関係をデータとして得ることにより、行われる。さらに、客先での定期点検により、故障との関係データを蓄積することにより、故障の予測の精度を高めることができる。
また、本発明では、判定に際して判断基準の数値化が行われている。そのため、メンテナンス担当者により個人差が出ていた判定結果の誤差を解消することができる。

次に、本発明に係るエアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブの一実施の形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
＜エアオペレートバルブ診断装置の全体構成＞
図１は、エアオペレートバルブ診断装置の構成を示すブロック図である。図２は、エアオペレートバルブ診断装置の制御部を示すブロック図である。図６は、エアオペレートバルブ診断で使用するエアオペレートバルブ診断計測装置４０の外観図である。
図１に示すように、制御部１は、ＡＥセンサ２、電磁弁５、及び、ＡＣコンセント９と接続されている。電源としては、ＡＣコンセント９のほか、電池又はバッテリーでもよい。ＡＥセンサ２は、ＡＥを検出する変換子である。ここで、ＡＥとは、材料が変形、又は亀裂が発生する際に材料が内部に蓄えていた歪みエネルギーを弾性波として放出する現象をいう。この弾性波を材料の表面に設置した変換子すなわちＡＥセンサで検出し、信号処理を行うことにより材料の破壊過程を評価する手法がＡＥ法である。
減圧弁６は電磁弁５と操作ポート側エア配管１１Ｂを介して連結している。電磁弁５から伸びる操作ポート側エア配管１１Ａは、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に連結している。
図２に示すように、制御部１にはＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、及びメモリ３３が含まれている。制御部１には、ＡＥセンサ２、電磁弁５、及びＡＣコンセント９が接続している。
図６に示すように、エアオペレートバルブ診断計測装置４０の上部分には、液晶画面４１があり、下部分にはテンキー４２がある。エアオペレートバルブ診断計測装置４０の上端には、ＡＥセンサ２と接続される接続端子４３がある。液晶画面４１の右下部分には、エアオペレートバルブの識別番号４５と日時４６が表示される。中央部分には、ＡＥセンサ２の出力データ４７が表示される。エアオペレートバルブ診断計測装置４０は、コンパクトであるため、持ち運びが可能である。そのため、使いたい時にエアオペレートバルブ１０に設置すればよいため、従来のようにエアオペレートバルブ診断計測装置４０を常時つけている状態と比べ、電力を消耗することはない。したがって、省エネルギーを実現することができる。

＜エアオペレートバルブの構成＞
図３は、エアオペレートバルブ１０の外観正面図である。図４は、エアオペレートバルブ１０の外観側面図である。図５は、診断の対象であるエアオペレートバルブ１０の構造を示す断面図である。
図５に示すように、エアオペレートバルブ１０は、アクチュエータ部２３と本体ボディ２４とにより構成されている。本体ボディ２４には、入力ポート１７及び出力ポート１８が形成されている。
アクチュエータ部２３には、操作ポート７と排気ポート８が形成されている。操作ポート７の左端部は操作室２２に連通している。また、排気ポート８の左端部は排気室２１に連通している。アクチュエータ部２３内部には、略円柱形状をなすピストン１３が上下方向へ摺動可能に保持されている。ピストン１３には、インジケータ２７が係合している。インジケータ２７は、カバー２８を貫通している。ピストン１３により操作室２２と排気室２１とに分けられている。ピストン１３の最大外周の部分には、第１Ｏリング２０が取付けられている。ピストン１３の下部の中央部には第２Ｏリング２５が取付けられている。排気室２１内の排気ポート８側には、ピストン１３が上方へ摺動したときに当接するストッパ２６が形成されている。ピストン１３の排気ポート８側には、アクチュエータ部２３とピストン１３に当接したスプリング１４がある。
ピストン１３のインジケータ２７と係合している反対側には、ダイアフラム弁体１５が係合している。ダイアフラム弁体１５は、図５に示す弁閉時には、弁座１６に当接している。
図３及び図４にあるように、アクチュエータ部２３の側面にはＡＥセンサ２と当接する当接部２３ａが、ＡＥセンサ２の形に合わせた形で形成されている。

＜エアオペレートバルブの診断方法＞
エアオペレートバルブ診断装置により寿命診断を行うのは、エアオペレートバルブの定期診断を請け負った企業の担当者（以下、単に「担当者」という。）がその作業にて行う。
事前工程は、エアオペレートバルブ１０が工場に据付けられた後に行う。事前工程においては、エアオペレートバルブ１０のＭ_０、Ｔ_０を計測し、最大値の平均値Ｍ_０及び発生時間平均値Ｔ_０を計算し、記録する。エアオペレートバルブ１０のピストン１３がストッパ２６に衝突した時に発生する動作音の波形の最大値をＭ_０とする。エアオペレートバルブ１０が発生する音が終了するまでの時間をＴ_０とする。
事前工程において、エアオペレートバルブ１０のＭ_０、Ｔ_０を計測するため、エアオペレートバルブ１０の本体ボディ２４を取付けた後に、担当者は、図６のエアオペレートバルブ診断計測装置４０の接続端子４３と接続されたＡＥセンサ２をエアオペレートバルブ１０の当接部２３ａに取り付ける。
ＡＥセンサ２は、エアオペレートバルブ１０が開閉動作する際に、ピストン１３がストッパ２６に衝突する時の音、ダイアフラム弁体１５が弁座１６に当接するときの音、エアの吸排気の音、スプリング１４の伸縮の音、第１Ｏリング２０の摩擦音などの音を検出し、発生する音の信号を処理する装置である。第１実施形態においては、ピストン１３がストッパ２６に衝突する時の音、及びダイアフラム弁体１５が弁座１６に当接するときの音を検出し、音の信号を処理している。
エアオペレートバルブ１０の当接部２３ａがあるため、ＡＥセンサ２を常に同じ箇所に設置することができる。そのため、エアオペレートバルブ１０に何らかの故障原因があったときにも、音の変化によりエアオペレートバルブ１０の故障原因を把握することができる。常に同じ箇所で当接することができれば、音を安定して検出することができ、音の変化を容易に把握することができるからである。
また、当接部２３ａは、内側に切削されており、ピストン１３とストッパ２６が衝突する部分に近いため、ピストン１３とストッパ２６が衝突するまでに発生する音を、認識することができる。そのため、エアオペレートバルブ１０に従来から用いられていた発振体を設置しなくとも、ＡＥセンサ２により音を認識することができる。

操作流体を供給するために、適宜電磁弁５を弁開する。電磁弁５は、手動ボタンを操作することにより弁開することができる。電磁弁５が開き、操作流体が操作ポート側エア配管１１Ａを通って操作ポート７に供給される。操作ポート７から入った操作流体は、操作室２２に入る。操作室２２に入った操作流体はピストン１３を上方向へと押し上げる。ピストン１３が上方向へ押し上げられると排気室２１内にあった空気が圧縮される。排気室２１内で圧縮された空気は排気ポート８より押し出される。
この時の、エアオペレートバルブ１０の弁開時のピストン１３がストッパ２６に衝突した動作音等の波形状態をＭ_０、Ｔ_０として記録する。最大値の平均値Ｍ_０、発生時間平均値Ｔ_０の計算、記録方法については、後述するＭ_０、Ｔ_０の計算方法で説明する。
Ｍ_０、Ｔ_０は、エアオペレートバルブ診断計測装置４０の液晶画面４１にグラフとして表示される。また、操作流体を流したエアオペレートバルブ１０の識別番号４５と日時４６が液晶画面４１に表示される。エアオペレートバルブ診断装置４０にＰＣ等を接続することにより、メモリ３３から上記Ｍ_０、Ｔ_０等の記録を通信することができる。Ｍ_０、Ｔ_０の大量の統計値をＰＣ等に移すことで、Ｍ_０、Ｔ_０の情報を蓄積し、さらに解析、研究を行い、より精度の高い判定を行うことができる。

弁閉の際の音についても、弁開の際の音と同様に、ＡＥセンサ２により、計測、記録する。弁閉の際の音は、ダイアフラム弁体１５が弁座１６に当接するまでに発生する音である。弁閉の際のＡＥセンサ２による計測、記録の動作は、弁開時と弁閉時で変わるところはないため、ここでは説明を割愛する。
Ｍ_０、Ｔ_０を解析、記録し、最大値の平均値Ｍ_０、発生時間平均値Ｔ_０を算出するため、上記開閉の動作を５回から１０数回繰り返す。
上記事前工程は、エアオペレートバルブ１０が工場に据付けられた後に担当者が行うこととなっているが、エアオペレートバルブ１０の製造者等が、出荷前に事前に上記方法により行うこともできる。

＜Ｍ_０、Ｔ_０の解析、計算方法＞
Ｍ_０、Ｔ_０の解析、記録方法について、図１３のフローチャートで示す。図１３で行う解析、記録方法は事前工程で行う。
エアオペレートバルブ１０のピストン１３がストッパ２６まで動作した時に発生する動作音の波形の最大値をＭ_０とする。エアオペレートバルブ１０が発生する音が終了するまでの時間をＴ_０とする。
機種Ａのエアオペレートバルブ１０についてのＭ_０、Ｔ_０の具体例を図７に表す。
図１３に示すように、事前工程において、Ｍ_０の解析を行い、その後、最大値の平均値Ｍ_０を計算により求め、最大値の平均値Ｍ_０を記録する(Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ６)。
最大値の平均値Ｍ_０の値は最も低いＭ_０と、最も高いＭ_０を省いて計算する。最も低いＭ_０と、最も高いＭ_０は、ノイズが大きいため、平均値を出すのに適していないからである。図７においては、最も低い（４）のＭ_０である３．４９×１０^６と、最も高い（６）のＭ_０である４．５８×１０^６を省いて計算する。そうして、出された最大値の平均値Ｍ_０は、３．９１×１０^６となる。最大値の平均値Ｍ_０はメモリ３３に記録される。

図１３に示すように、Ｔ_０の解析を行い、その後、発生時間平均値Ｔ_０を計算により求め、発生時間平均値Ｔ_０を記録する(Ｓ１、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６)。
実測値としてのＴ_０は短く、波形の測定時間は数ミリ秒から数秒になる。そのため、図７のＭ_０の（１）の波形を、拡大したものを図８に示す。波形が開始する時間をＴ_０（ａ）とする。波形が終了する時間をＴ_０（ｂ）とする。エアオペレートバルブ１０が発生する動作音が終了するまでの時間のＴ_０を、Ｔ_０＝Ｔ_０（ａ）−Ｔ_０（ｂ）の式により求めることができる。
次に、Ｔ_０の平均値である発生時間平均値Ｔ_０を求める。発生時間平均値Ｔ_０の値は最も短いＴ_０及び最も長いＴ_０を省いて計算する。最も短いＴ_０及び最も長いＴ_０は、ノイズが大きいため、平均値を出すのに適していないからである。図７においては、最も短い（９）のＴ_０である０．３８５と、最も長い（１）のＴ_０である０．３６２を省いて計算する。そうして、出された発生時間平均値Ｔ_０は、０．３６７となる。発生時間平均値Ｔ_０はメモリ３３に記録される。

＜第１実施形態に係るエアオペレートバルブの診断装置及び方法の作用効果＞
図１４に、第１実施形態に係るエアオペレートバルブ１０の診断方法のフローチャートを示す。
エアオペレートバルブ１０の診断方法は、ＡＥ測定による判定方法を行い、その結果を踏まえて総合的に判定Ａ〜Ｃの判断を行う方法である。

ＡＥ測定による判定方法について説明する。
第１工程でＭ_１及びＴ_１の解析を行い、その後、確認工程でメモリ３３に記録されている最大値の平均値Ｍ_０及び発生時間平均値Ｔ_０を＜式１＞〜＜式６＞に入力してＭ_１及びＴ_１の判定を行う(Ｓ１０、Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４、Ｓ１５、Ｓ１６)。
第１工程は、製造装置にエアオペレートバルブ１０を取り付けた後、例えば数万回稼動した後に行う。第１工程においても、上述したＭ_０、Ｔ_０の解析、計算方法と同様の方法によりＭ_０、Ｔ_０の解析を行う（Ｓ１０、Ｓ１１、Ｓ１４）。

Ｍ_１の判定方法は、以下に示す方法を確認工程で行う。
まず解析、計算で求めたＭ_１及び最大値の平均値Ｍ_０でＭ_１／最大値の平均値Ｍ_０を計算する。
次に、下記に示す＜式１＞〜＜式３＞にＭ_１／最大値の平均値Ｍ_０をあてはめて、判定Ａ，Ｂ，Ｃを決定する（Ｓ１３）。判定Ａは、Ｍ_１の判定した結果が全て判定Ａの場合である。判定Ｂは、Ｍ_１の判定した結果、判定Ｃがなく判定Ｂが１つでもある場合である。判定ＣはＭ_１の判定した結果、判定Ｃが１つでもある場合である。

＜式１＞

ａ_１ ＜ Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０ ＜ ａ_２

Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０の値が＜式１＞の範囲内であれば判定Ａとする。

＜式２＞

ａ_３ ＜ Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０ ≦ ａ_１、
ａ_２ ≦ Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０ ＜ ａ_４

Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０の値が＜式２＞の範囲内であれば判定Ｂとする。

＜式３＞

Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０ ≦ ａ_３、 ａ_４ ≦ Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０

Ｍ_１／最大値の平均値Ｍ_０の値が＜式３＞の範囲内であれば判定Ｃとする。

ａ_３＜ａ_１＜ａ_２＜ａ_４である。ａｘ（ｘ＝１〜４）はさまざまな要因で変化する数値である。その要因としては、例えば、エアオペレートバルブの機種の違い、操作エア圧力の違い、エアオペレートバルブが設置されている場合等の要因がある。
ａｘの目安としては、例えば、ａ_１＝０．２０〜１．００、ａ_２＝１．００〜５．００、ａ_３＝０〜０．５０、ａ_４＝２．００以上となる。但し、あくまで目安であり、さまざまな要因により数値は変化する。

Ｔ_１の判定方法は、以下に示す方法を確認工程で行う。
まず解析、計算で求めたＴ_１及びＴ_０でＴ_１／発生時間平均値Ｔ_０を計算する。
次に、下記に示す＜式４＞〜＜式６＞にＴ_１／発生時間平均値Ｔ_０をあてはめて、判定Ａ，Ｂ，Ｃを決定する（Ｓ１６）。判定Ａは、Ｔ_１の判定した結果が全て判定Ａの場合である。判定Ｂは、Ｔ_１の判定した結果、判定Ｃがなく判定Ｂが１つでもある場合である。判定ＣはＴ_１の判定した結果、判定Ｃが１つでもある場合である。

＜式４＞

ｂ_１ ＜ Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０ ＜ ｂ_２

Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０の値が＜式４＞の範囲内であれば判定Ａとする。

＜式５＞

ｂ_３ ＜ Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０ ≦ ｂ_１、
ｂ_２ ≦ Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０ ＜ ｂ_４

Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０の値が＜式５＞の範囲内であれば判定Ｂとする。

＜式６＞

Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０ ≦ ｂ_３、 ｂ_４ ≦ Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０

Ｔ_１／発生時間平均値Ｔ_０の値が＜式６＞の範囲内であれば判定Ｃとする。

ｂ_３＜ｂ_１＜ｂ_２＜ｂ_４である。ｂｘ（ｘ＝１〜４）はさまざまな要因で変化する数値である。その要因としては、例えば、エアオペレートバルブの機種の違い、操作エア圧力の違い、エアオペレートバルブが設置されている場合等の要因がある。

確認工程でＡＥ測定を行い、その結果を総合的に考察し総合判定をする（Ｓ２０）。
総合判定の判定基準は、ＡＥ測定の結果、全てが判定Ａであるときは、異常がないものであるため、総合判定Ａとして記録する（Ｓ２１、Ｓ２４）。ＡＥ測定の結果、判定Ｃがなく判定Ｂが１つでもある場合には、経過を観察する必要があるものとして、以降の診断時において要チェック、又は１，２月後に再度チェックを行う必要がある、総合判定Ｂとして記録する（Ｓ２２、Ｓ２５）。ＡＥ測定の結果、判定Ｃが１つでもある場合には異常がありとしてエアオペレートバルブ１０の交換が必要であるとする、総合判定Ｃとして記録する（Ｓ２３、Ｓ２６）。

第１工程で行ったＭ_０、Ｔ_０のＡＥ測定に基づき、最大値の平均値Ｍ_０を計算により求め、最大値の平均値Ｍ_０を記録、また、発生時間平均値Ｔ_０を計算により求め、発生時間平均値Ｔ_０を記録する(Ｓ２７、Ｓ２８、Ｓ２９)。Ｓ２７、Ｓ２８、Ｓ２９の工程は、上記Ｍ_０、Ｔ_０の解析、計算方法で述べたＳ３、Ｓ５、Ｓ６と同様であるため説明を割愛する。

図１４の外観観察による判定方法について説明する（Ｓ３０、Ｓ３１）。外観観察による判定方法は、エアオペレートバルブ１０の診断方法に必ず必要な方法ではないが、ＡＥ測定の判定方法と一緒に行うこともできる。
製造装置にエアオペレートバルブ１０を取付けた後、例えば数万回稼動した後のエアオペレートバルブ１０の診断時に、エアオペレートバルブ１０の外観を観察することにより判定Ａ，Ｂ，Ｃを決定する。
外観観察は、エアオペレートバルブ１０の全体が見える場所において、全体を観察し判断する。
外観観察により、エアオペレートバルブ１０の変化がほぼないと考えられるときは、判定Ａとなる。エアオペレートバルブ１０の銘板の文字、背景色が消えた時、又はエアオペレートバルブ表面に結晶などの異物が少量付着している時は、判定Ａ又は判定Ｂとなる。エアオペレートバルブ１０のカバーが変色した時、シリンダが変色した時、取付板が変色した時、外観から分かる金属部品に錆びの発生が確認できた時、弁開閉の動作時に耳で聞き取れる異常音が発生している時、バルブ表面に結晶が大量に付着している時、その他異常が発生した時は、判定Ｂ又は判定Ｃとなる。エアオペレートバルブ１０のカバーに亀裂が発生した時、シリンダに亀裂が発生した時、インジケータが円滑に動かない時は、判定Ｃとなる。
判定基準としては、確認項目で判定Ａしかない場合には、判定Ａとなる。確認項目で判定Ｃがなく判定Ｂがある場合は、判定Ｂとなる。確認項目で判定Ｃが１つでもある場合は、判定Ｃとなる。

（システム検定）
エアオペレートバルブ１０がどのように故障するのか、主だった故障の原因を再現するため故障サンプルを作成して、上記判定方法による判断が実用的であることを検定した。
当該システム検定により、Ｏリングの摩耗、ピストンロッドの傾き、かじり等が原因で故障しているエアオペレートバルブ１０を、上記判定方法による判断で診断できることが確認できた。
第１実施形態においては、具体的に以下のような、故障を判断できる。
例えば、図９では、エアオペレートバルブ１０のスプリング１４の腐食、ピストン１３のかじり、Ｏリング２０の変形を判断できる。なぜならば、ピストン１３がストッパ２６に当たり発する動作音の時間であるＴ_１が、図７のＴ_１の平均値と比べて短いからである。Ｔ_１が短いのは、ピストン１３がフルストローク開閉していないからであり、ピストン１３がフルストローク開閉しない原因としては、エアオペレートバルブ１０のスプリング１４の腐食、ピストン１３のかじり、Ｏリング２０の変形の不具合が想定されるからである。
図９におけるエアオペレートバルブ１０では、ピストン１３がフルストローク開閉しない症状を生じさせるために、ピストン１３のインジケータ２７を上から押さえ、ピストン１３が動かない状態とした。
図９のＭ_１について、上記判定方法により判定をすると、全て判定Ｂとなるため、判定Ｂである。計測したＭ_１の中で最も高い値である（７）、及び最も低い値である（１０）は、計測にはぶれがあることから計算や判定には含めない。
図９の結果として、エアオペレートバルブ１０は、ピストン１３がフルストローク開閉しないため、ピストン１３がストッパ２６に強打することはない。そのため、ピストン１３がストッパ２６に当たり発する動作音であるＭ_１が小さくなる。したがって、図７のＭ_０と比較して、Ｍ_１が小さくなる。

図９のＴ_１について、上記判定方法により判定をすると、全て判定Ｃとなり、判定Ｃが１つ以上あるため、判定Ｃとなる。判定Ｃが一つ以上あれば、総合的には判定Ｃとなるため、判定Ｃが出た時に、計測を終了してもいいとも考えられる。しかし、計測にはぶれがあるため、一度判定Ｃが出たことにより計測を終了するのではなく、複数回行うことにより判定の信頼性を高める。
図９の結果として、エアオペレートバルブ１０は、ピストン１３がフルストローク開閉しないため、ピストン１３がストッパ２６にまで完全に届かない。そのため、ピストン１３がストッパ２６に当たり発する動作音が終了するまでの時間であるＴ_１が短くなる。そのため、図７のＴ_０と比較して、Ｔ_１が短くなるからである。

例えば、図１０では、Ｏリング２０の摩耗、Ｏリング２０の傷を判断できる。なぜならば、ピストン１３がストッパに当たり発する動作音のＭ_１が、図７と変わらないのに対して、ピストン１３がストッパに当たり発する動作音が終了するまでの時間であるＴ_１が図７のＴ_１の平均値と比べて短いからである。Ｍ_１が変わらないのに、Ｔ_１が長いのは、操作ポートエアが排気ポート８に漏れているからであり、エアの漏れ音を測定しているためと考えられる。操作ポートエアが排気ポート８に漏れる原因としては、Ｏリング２０の摩耗、Ｏリング２０の傷の不具合が想定されるからである。
図１０におけるエアオペレートバルブ１０では、操作ポートエアが排気ポート８に漏れる症状を生じさせるために、Ｏリング２０に傷をつけ、操作ポートエアが排気ポート８に漏れる状態とした。
図１０のＭ_１について、上記判定方法により判定をすると、全て判定Ａとなるため、判定Ａである。計測したＭ_１の中で最も高い値である（３）、及び最も低い値である（９）は、計測にはぶれがあることから計算や判定には含めない。操作ポートエアが排気ポート８に漏れていたとしても、ピストン１３がストッパ２６に当たる際には影響を与えない。

図１０のＴ_１について、上記判定方法により判定をすると、全て判定Ｃとなり、判定Ｃが１つ以上あるため、判定Ｃとなる。判定Ｃが一つ以上あれば、総合的には判定Ｃとなるため、判定Ｃが出た時に、計測を終了しても問題はないとも考えられる。しかし、計測にはぶれがあるため、一度判定Ｃが出たことにより計測を終了するのではなく、複数回の計測を行うことにより判定の信頼性を高める。
図９の結果として、エアオペレートバルブ１０は、操作ポートエアが排気ポート８に漏れているため、ピストン１３がストッパ２６に当たった後にも、操作ポートエアが排気ポート８から漏れている漏れ音をＡＥセンサ２が計測する。そのため、図７のＴ_１と比較して、Ｔ_１が長くなるからである。

（第２実施形態）
第２実施形態におけるエアオペレートバルブ１０は、図７に示す機種Ａと異なる機種Ｂである。図７及び図１１で用いられたエアオペレートバルブ１０の機種が異なるため、Ｍ_０、Ｔ_０も異なってくる。そこで、第２実施形態においても、第１実施形態と同様のＭ_０、Ｔ_０の解析、計算方法を用いてＭ_０、Ｔ_０を求める。
図１２は、図１１に示す機種Ａについて操作ポートエアが排気ポート８に漏れる状態が生じたエアオペレートバルブ１０の解析結果を示す。
なお、エアオペレートバルブ１０の全体構成及びエアオペレートバルブ１０の診断方法については、第１実施形態と同じであるため、説明を割愛する。
第１実施形態と同様のＭ_０、Ｔ_０の解析、計算方法を用いて出された結果を図１１に示す。
図１１においては、最も低い（６）のＭ_０と、最も高い（９）のＭ_０を省いて計算する。そうして、出された最大値の平均値Ｍ_０は、３．７３×１０^５となる。
図１１においては、最も短い（４）のＴ_０である０．９３２９と、最も長い（９）のＴ_０である２．１９８を省いて計算する。そうして、出された発生時間平均値Ｔ_０は、１．０４７となる。

図１１のエアオペレートバルブ１０は、図７のエアオペレートバルブ１０とは機種が異なるため、実験を行った。
例えば、図１２では、ピストン１３のかじりを判断できる。なぜならば、ピストン１３がストッパ２６に当たり発する動作音が終了するまでの時間のＴ_１が図１１と変わらないのに対して、ピストン１３がストッパ２６に当たり発する動作音であるＭ_１が図７のＴ_１の平均値と比べて短いからである。Ｔ_１が変わらないのに、Ｍ_１が短いのは、ピストン１３が円滑に動作していないからであり、ピストン１３が円滑に動作しない原因としては、ピストン１３のかじりの不具合が想定されるからである。
図１２におけるエアオペレートバルブ１０では、操作ポートエアが排気ポート８に漏れる症状を生じさせるために、Ｏリング２０に傷をつけ、操作ポートエアが排気ポート８に漏れる状態とした。
図１２のＭ_１について、上記判定方法により判定をすると、全て判定Ｃとなるため、判定Ｃが１つ以上あるため、判定Ｃとなる。計測したＭ_１の中で最も高い値である（５）、及び最も低い値である（７）は、計測にはばらつきがあることから計算や判定には含めない。

図１２のＴ_１について、上記判定方法により判定をすると、判定Ａ及び判定Ｂとなり、判定Ｂが１つでもあるため、判定Ｂとなる。
図１２の結果として、エアオペレートバルブ１０は、ピストン１３が円滑に動作していないため、ピストン１３がストッパ２６に当たったときに発する動作音も小さいため、動作音が終了するまでの時間であるＴ_１も短い。そのため、図７のＴ_１と比較して、Ｔ_１が短くなるからである。

（第３実施形態）
第１実施形態及び第２実施形態では、エアオペレートバルブ１０の使用初期に測定可能な場合には有効な方法であるが、既設の設備などで初期データがない場合に以下のような、事前工程を行わない第３実施形態の方法をとる。
図１５は、エアオペレートバルブ１０が既に設備された状態にある場合の総合判定を行なう際のフローチャートを示す。
図１５に示すように、第３実施形態において、図１４の第１実施形態と異なる点は、既設の設備などで計測した最大値の平均値Ｍ_０及び発生時間平均値Ｔ_０の初期データがないことである。第３実施形態においては、実験により求められる最大値の平均値Ｍ_０及び発生時間平均値Ｔ_０を、最大値の平均値Ｍ_０及び発生時間平均値Ｔ_０として入力する（Ｓ４０、Ｓ４１）。
それにより、既設の設備などで初期データがない場合においても、ＡＥ測定Ｓ１０により総合判定Ｓ２０を行うことができる。

（１）以上詳細に説明したように、本実施例のエアオペレートバルブ１０の動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法によれば、エアオペレートバルブ１０の動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブ１０の初期状態において、エアオペレートバルブ１０にＡＥセンサ２を当接させて、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したとき、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する事前工程と、エアオペレートバルブ１０が繰返し動作後に、エアオペレートバルブ１０にＡＥセンサ２を当接させて、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したときに、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する第１工程と、第１工程で計測した値と、事前工程で計測した値とを比較して、エアオペレートバルブ１０の動作状態の変化を確認する確認工程と、を有するので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握することにより、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。
（２）（１）に記載するエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブは液弁であること、第１工程は、音の変化を比較してエアオペレートバルブ１０の動作状態の変化によりエアオペレートバルブ１０の故障を予測して交換の要否を判断するので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握することにより、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止・ラインストップという事態を未然に防止することができる。
また、エアオペレートバルブ１０の専門家である本出願人等は、定期的なメンテナンスを行うことを実践することができる。
（３）（１）又は（２）に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、第１工程で計測、記録した値は、操作ポート７が操作流体を供給もしくは、操作流体を排気した時の弁開閉時に発する音の最大値の平均値であること、確認工程で計測、記録した値を最大値の平均値と比較するので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握することにより、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。
（４）（１）又は（２）に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、第１工程で計測、記録した値は、エオペレートバルブ１０の音が発生してからエアオペレートバルブ１０の音が終了するまでの時間の平均値である発生時間平均値であること、確認工程で計測、記録した値を発生時間平均値と比較するので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握することにより、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。

（５）エアオペレートバルブ１０の動作状態を監視して、エアオペレートバルブ１０の動作状態の変化を確認するための診断装置であって、エアオペレートバルブ１０にＡＥセンサ２を当接させて開閉時に発する音を計測する計測手段と、計測手段で計測した計測結果を記録する記録手段と、エアオペレートバルブ１０を前記製造装置に設置して計測した記録手段に記録している値と、その後に計測した値とを比較して、エアオペレートバルブ１０の動作状態の変化を確認する手段と、を有するので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握し、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。
（６）（５）に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、エアオペレートバルブ診断装置は持ち運びが可能であるため、使いたい時にセンサをエアオペレートバルブに設置すればよいため、従来のようにセンサを常時つけている状態と比べ、電力を消耗することはない。したがって、省エネルギーを実現することができる。
（７）（５）に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、記録手段が、エアオペレートバルブ１０の交換の要否を判断した対象のエアオペレートバルブ１０を特定でき、特定したエアオペレートバルブ１０に関し記録手段に記録している計測結果を外部へ送信する通信手段を備えるので、エアオペレートバルブ１０の作動不良の前兆を把握し、エアオペレートバルブ１０の故障による製造装置の停止やラインストップという事態を未然に防止することができる。
また、Ｍ_０、Ｔ_０の大量の統計値をＰＣ等に移すことで、Ｍ_０、Ｔ_０の情報を蓄積し、さらに解析、研究を行い、より精度の高い判定を行うことができる。
（８）（１）乃至（４）に用いられるエアオペレートバルブ診断方法のいずれか１つに用いられるエアオペレートバルブ１０において、エアオペレートバルブ１０の側面に、ＡＥセンサ２を当接させるための当接部２３ａが形成されているので、ＡＥセンサ２を常に同じ箇所に当接することができる。そのため、エアオペレートバルブ１０に何らかの故障原因があったときにも、音の変化によりエアオペレートバルブ１０の故障原因を把握することができる。常に同じ状態で設置することができれば、音を安定して検出することができ、音の変化を容易に把握することができるからである。
また、当接部２３ａは、内側に切削されており、ピストン１３とストッパ２６が衝突する部分に近いため、ピストン１３とストッパ２６が動作したときに発生する音を、認識することができる。そのため、エアオペレートバルブ１０に従来用いられていた発振体を設置しなくとも、ＡＥセンサ２により音を認識することができる。

尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、操作流体は、空気に限らず窒素ガスでも可能である。
また、第１実施形態乃至第３実施形態においては、「操作ポートが操作流体を供給もしくは、操作流体を排気した時の弁開閉時に発する音」を具体的に、エアオペレートバルブのピストンがストッパに衝突した時に発生する動作音を用いて説明したが、他に、エアの給排気音、スプリングの伸縮音、Ｏリングの摩擦音等によっても、エアオペレートバルブ１０の診断を行うことができる。
また、 弁閉の際の音についても、弁開の際の音と同様に、ＡＥセンサ２により、計測、記録することにより、エアオペレートバルブ１０の診断を行うことができる。
また、第１実施形態乃至第３実施形態においては、ＡＥセンサ２をエアオペレートバルブ１０の当接部２３ａに当接し音を検出しているが、音を測定できるならば、ＡＥセンサ２を当接する箇所はどこでもよい。
また、第１実施形態乃至第３実施形態においては、エアオペレートバルブ１０が製造装置に取り付けられた状態においてだけで診断を行っているが、診断後にエアオペレートバルブ１０を取外した状態であっても診断を行うことができる。すなわち、診断後にエアオペレートバルブ１０を取り外して診断することにより、故障原因の細かな解析を行うことができる。故障原因の細かな解析を行うことで、ＡＥセンサによる診断の精度を上げていくことができる。

エアオペレートバルブ診断装置の構成を示すブロック図である。 エアオペレートバルブ診断装置の制御部を示すブロック図である。 診断の対象であるエアオペレートバルブ１０の正面図である。 診断の対象であるエアオペレートバルブ１０の右側面図である。 診断の対象であるエアオペレートバルブ１０の構造を示す断面図である。 エアオペレートバルブ診断で使用するエアオペレートバルブ診断計測装置４０の外観図である。 機種Ａの正常な状態のＡＥ波形を示した図である。 図７の（１）のＭ_０の拡大図である。 機種Ａのピストン１３がフルストロークしない症状のＡＥ波形を示した図である。 機種Ａの操作ポートエアが排気ポート８に漏れる症状のＡＥ波形を示した図である。 機種Ｂの正常な状態のＡＥ波形を示した図である。 機種Ｂのエアオペレートバルブ１０が円滑に動作しない症状のＡＥ波形を示した図である。 エアオペレートバルブ１０の製造装置に取付けする時にＡＥ測定可能な場合のフローチャートを示す。 エアオペレートバルブ１０を繰返し使用した後の総合判定を行う際のフローチャートを示す。 エアオペレートバルブ１０が既に設備された状態にある場合の総合判定を行なう際のフローチャートを示す。

符号の説明

１ 制御部
２ ＡＥセンサ
５ 電磁弁
６ 減圧弁
７ 操作ポート
８ 排気ポート
１０ エアオペレートバルブ
２３ａ 当接部

Claims (8)

1. エアオペレートバルブの動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法であって、
   前記エアオペレートバルブの初期状態において、前記エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、前記エアオペレートバルブの操作ポートに操作流体を供給したとき、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する事前工程と、
   前記エアオペレートバルブが繰返し動作後に、前記エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、前記エアオペレートバルブの操作ポートに操作流体を供給したときに、もしくは操作流体を排気したときに、開閉時に発する音を計測し、記録する第１工程と、
   前記第１工程で計測した値と、前記事前工程で計測した値とを比較して、前記エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認する確認工程と、
   を有することを特徴とするエアオペレートバルブ診断方法。
2. 請求項１に記載するエアオペレートバルブ診断方法であって、
   前記エアオペレートバルブは液弁であること、
   前記第１工程は、音の変化を比較して前記エアオペレートバルブの動作状態の変化により前記エアオペレートバルブの故障を予測して交換の要否を判断すること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ診断方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、
   前記第１工程で計測、記録した値は、操作ポートが操作流体を供給もしくは、操作流体を排気した時の弁開閉時に発する音の最大値の平均値であること、
   前記確認工程で計測、記録した値を前記最大値の平均値と比較すること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ診断方法。
4. 請求項１又は請求項２に記載するエアオペレートバルブ診断方法において、
   前記第１工程で計測、記録した値は、前記エオペレートバルブの音が発生してから前記エアオペレートバルブの音が終了するまでの時間の平均値である発生時間平均値であること、
   前記確認工程で計測、記録した値を前記発生時間平均値と比較すること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ診断方法。
5. エアオペレートバルブの動作状態を監視して、前記エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認するための診断装置であって、
   前記エアオペレートバルブにＡＥセンサを当接させて、前記エアオペレートバルブが開閉時に発する音を計測する計測手段と、
   前記計測手段で計測した計測結果を記録する記録手段と、
   前記エアオペレートバルブを前記製造装置に設置して計測した前記記録手段に記録している値と、その後に計測した値とを比較して、前記エアオペレートバルブの動作状態の変化を確認する手段と、
   を有することを特徴とするエアオペレートバルブ診断装置。
6. 請求項５に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、
   前記エアオペレートバルブ診断装置は持ち運びが可能であること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ診断装置。
7. 請求項５に記載するエアオペレートバルブ診断装置であって、
   前記記録手段が、前記エアオペレートバルブの交換の要否を判断した対象のエアオペレートバルブを特定でき、前記特定したエアオペレートバルブに関し前記記録手段に記録している計測結果を外部へ送信する通信手段を備えること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ診断装置。
8. 請求項１乃至請求項４に用いられるエアオペレートバルブ診断方法のいずれか１つに用いられるエアオペレートバルブにおいて、
   前記エアオペレートバルブの側面に、前記ＡＥセンサを当接させるための当接部が形成されていること、
   を特徴とするエアオペレートバルブ。

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