JP2010158759A - ワーク搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 装置全体の小型化を図り、製造設備のダウンサイジングに貢献することができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 ワーク搬送装置Ａ１は、ワークを水平方向に往復移動させるハンド機構８と、ハンド機構８を鉛直方向に昇降させるシザースリフト機構４と、シザースリフト機構４を搭載する台座２と、台座２を鉛直軸周りに回転させる回転機構とを備えている。第１のシザースリンク４１の下端部から中間部にかけては、下部配管が付設されているとともに、第２のシザースリンク４２の上端部から中間部にかけては、上部配管５が付設されており、かつ、第１および第２のシザースリンクの中間部同士の間には、下部配管７および上部配管５に連通するように中間配管６が接続されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、たとえば真空空間において板状のワークを搬送するためのワーク搬送装置に関する。

真空空間において板状のワークを搬送する装置としては、たとえば特許文献１に開示されたものがある。同文献に開示されたワーク搬送装置は、固定ベースに対して旋回可能に保持された旋回ベース、旋回ベースが搭載された昇降ベースを鉛直方向に移動させるボールネジスライド機構、旋回ベースに対して揺動可能に支持されたリンクアーム機構、およびリンクアーム機構に支持されたハンドを備えている。

上記ハンドやリンクアーム機構は、真空空間に配置される一方、固定ベースは、筐体の上部が真空空間との隔壁をなし、その筐体の大部分が真空空間より下方の大気圧空間に配置される。このような固定ベースの内部には、旋回ベースを旋回させたりリンクアーム機構を駆動するための駆動モータや、さらにはボールネジスライド機構とその駆動モータが収容されている。

このようなワーク搬送装置では、高温状態のワークを取り扱うために周辺部品に対して輻射熱による影響がある。そのため、最も輻射熱の影響を受けやすいリンクアーム機構には、固定ベースの内部から旋回ベースを通って周辺部品を冷却するように冷媒循環路が形成されている。

特開２００７−１１８１７１号公報

しかしながら、上記従来のワーク搬送装置では、駆動モータなどに対する接続ケーブルを真空空間まで引き込む必要がない反面、大気圧空間に配置される固定ベースが各種の駆動モータなどを収容しなければならないので、大きな固定ベース用の配置スペースを大気圧空間に確保する必要があった。このような固定ベースの大型化とともに装置全体も大型化される傾向にあり、製造設備の特に高さ方向のダウンサイジングを図りにくいといった面も生じる。

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、装置全体の小型化を図り、製造設備の高さ方向のダウンサイジングに貢献することができるワーク搬送装置を提供することをその課題としている。

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用している。

本発明により提供されるワーク搬送装置は、ワークを保持するためのハンドを往復動作させるハンド機構と、上記ハンド機構を搭載した状態でこれを鉛直方向に昇降させるシザースリフト機構と、上記シザースリフト機構を搭載する台座と、上記台座を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、を備えていることを特徴としている。

好ましい実施の形態においては、上記ハンド機構は、上記ワークを保持するハンドと、上記ハンドを支持するとともに、このハンドを所定方向に往復直線運動させるスライドリンク機構と、上記スライドリンク機構を動作させるスライド用駆動手段と、を有しており、上記シザースリフト機構は、上記スライドリンク機構およびスライド用駆動手段を搭載するステージと、互いに交差部で交差しつつ水平軸周りに回動可能に連結され、一方の上端部が上記ステージに対して水平方向に滑り移動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平軸周りに回動可能に連結されているとともに、他方の上端部が上記ステージに対して水平軸周りに回動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平方向に滑り移動可能に連結された一対の交差アームからなる一または複数のシザースリンクと、上記台座に搭載され、この台座に対して滑り移動可能に連結された上記シザースリンクにおける上記交差アームの下端部を滑り移動させるリフト用駆動手段と、を有している。

好ましい実施の形態においては、上記ハンド機構と上記台座との間には、互いに連通して水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続された複数の配管が接続されている。

好ましい実施の形態においては、上記複数の配管には、上記ハンド機構に接続されるケーブルが収容されている。

好ましい実施の形態においては、上記シザースリンクは、上記台座上において互いに平行に位置する第１および第２のシザースリンクを備えて形成され、上記複数の配管は、上記水平軸に沿う方向に離間した下部配管および上部配管を含んで形成され、上記下部配管と上記上部配管との間には、さらに中間配管が設けられており、上記下部配管は、上記台座に対して第１水平軸周りに回動可能に連結された上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部からその交差部にかけて付設されているとともに、上記上部配管は、上記ステージに対して第２水平軸周りに回動可能に連結された上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの上端部からその交差部にかけて付設されており、かつ、上記中間配管は、上記第１および第２のシザースリンクにおける上記交差部同士の間において、上記下部配管および上部配管に連通するように接続されている。

好ましい実施の形態においては、上記下部配管と上記中間配管との連通接続部、および上記上部配管と上記中間配管との連通接続部の少なくともいずれか一方には、第３水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられている。

好ましい実施の形態においては、上記台座には、貫通配管が設けられており、この貫通配管は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を経由して上記下部配管に連通している。

好ましい実施の形態においては、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部および交差部には、それぞれ上記第１水平軸および上記第３水平軸に沿って貫通する第１継手および第２継手が設けられているとともに、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部および上端部には、それぞれ上記第３水平軸および上記第２水平軸に沿って貫通する第３継手および第４継手が設けられており、上記下部配管の下端は、上記第１継手を介して直接または間接に上記貫通配管に連通接続されているとともに、上記下部配管の上端は、上記第２継手を介して上記中間配管の一端に連通接続され、かつ、上記上部配管の下端は、上記第３継手を介して上記中間配管の他端に連通接続されているとともに、上記上部配管の上端は、上記第４継手を介して直接または間接に上記ハンド機構に連通接続されている。

好ましい実施の形態においては、上記第２継手および第３継手の少なくともいずれか一方は、上記第３水平軸周りに回動可能な回転継手である。

好ましい実施の形態においては、上記台座には、貫通配管が設けられており、上記下部配管の下端は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を経由して直接または間接に上記貫通配管に連通接続され、上記第１水平軸周りに回動可能であるとともに、上記下部配管の上端は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部を経由して上記中間配管の一端に連通接続され、上記第３水平軸周りに回動可能であり、かつ、上記上部配管の下端は、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部を経由して上記中間配管の他端に連通接続され、上記第３水平軸周りに回動可能であるとともに、上記上部配管の上端は、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの上端部を経由して直接または間接に上記ハンド機構に連通接続され、上記第２水平軸周りに回動可能である。

好ましい実施の形態においては、上記貫通配管の内部には、上記ハンド機構に接続されるケーブル、および上記リフト用駆動手段に接続されるケーブルが収容されている。

好ましい実施の形態においては、上記下部配管、中間配管、および上部配管は、気密封止されている。

好ましい実施の形態においては、上記下部配管、中間配管、および上部配管のそれぞれは、その一部に弾性部材が用いられている。

好ましい実施の形態においては、上記複数の配管は、上部配管および下部配管を備えて形成されており、上記下部配管は、上記台座に対して第１水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されているとともに、上記上部配管は、上記ハンド機構に対して第２水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されており、これらの上部配管と下部配管とは、互いに連通して第３水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されている。

好ましい実施の形態においては、上記台座に対する上記下部配管の接続部には、上記第１水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられているとともに、上記ハンド機構に対する上記上部配管の接続部には、上記第２水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられており、さらに上記下部配管と上記上部配管との連通接続部には、上記第３水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられている。

好ましい実施の形態においては、上記第１水平軸、上記第２水平軸、および上記第３水平軸は、互いに平行であり、これらの水平軸方向視において、上記第３水平軸は、上記第１水平軸と上記第２水平軸とを結ぶ直線に対して常にその側方に位置するように配置されている。

好ましい実施の形態においては、上記第１水平軸から上記第３水平軸までの軸間距離は、上記第２水平軸から上記第３水平軸までの軸間距離と等しく、かつ、上記第１水平軸と上記第２水平軸とを結ぶ直線は、鉛直線である。

好ましい実施の形態においては、上記上部配管および上記下部配管は、屈曲状に形成されている。

好ましい実施の形態においては、上記台座には、貫通配管が設けられており、上記下部配管は、上記貫通配管に連通して上記第１水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されている。

好ましい実施の形態においては、上記貫通配管には、上記ハンド機構に接続されるケーブルが収容されている。

このような構成によれば、ハンド機構、シザースリフト機構、および回転機構が備えられ、これらのうち特に回転機構を台座の下方に設けるだけでよいので、台座より下方に必要な寸法をできる限り小さくすることができる。これにより、台座の高さを低くして装置全体を容易に小型化することができ、ひいては製造設備の特に高さ方向のダウンサイジングに貢献することができる。シザースリフト機構によって鉛直方向下方にハンド機構を降下させることにより、台座からのハンドの高さ位置をできる限り低く抑えることができる。

本発明のその他の特徴および利点は、図面を参照して以下に行う詳細な説明から、より明らかとなろう。

本発明に係るワーク搬送装置の一実施形態を示す分解斜視図である。 図１に示すワーク搬送装置の要部側面図である。 図１に示すワーク搬送装置の要部正面図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す分解斜視図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す要部正面図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す斜視図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す斜視図である。 図７に示すワーク搬送装置の要部側面図である。 図７に示すワーク搬送装置の要部正面図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す要部側面図である。 図１０に示すワーク搬送装置の要部正面図である。 本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示す斜視図である。

以下、本発明の好ましい実施形態を、添付の図面を参照して具体的に説明する。

図１〜図３は、本発明に係るワーク搬送装置の一実施形態を示している。このワーク搬送装置Ａ１は、たとえば液晶パネルといった薄板状のワークを搬送するためのものである。ワーク搬送装置Ａ１は、回転機構（図示略）を収容する下部ユニット１、台座２、シザースリフト機構４、上部配管５、中間配管６、下部配管７、およびハンド機構８を主たる構成要素として備えている。下部ユニット１は、床面より下方の大気圧空間に配置される一方、台座２、シザースリフト機構４、上部配管５、中間配管６、下部配管７、およびハンド機構８は、たとえばチャンバー内部の真空空間に配置される。このワーク搬送装置Ａ１では、たとえば２００℃前後に熱せられたワークが真空空間において搬送される。なお、図１においては、シザースリフト機構４とハンド機構８とを切り離した形態で示している。なお、チャンバー内部は、完全な真空空間でなくてもよく、ある程度減圧された空間であってもよい。また、逆にある程度昇圧された空間であってもよい。さらに、チャンバー内部は、空気以外（たとえば窒素）が充填された空間としてもよい。

下部ユニット１は、台座２を鉛直軸周りに回転させる回転機構を収容している。回転機構は、たとえば回転用駆動モータを含む遊星歯車機構からなる。回転機構の回転軸１０は、中空状に形成されており、シール軸受け１１を介して台座２の下部に結合されている（図１参照）。回転軸１０が回転すると、台座２が鉛直軸周りに回転させられる。下部ユニット１の内部は、大気圧に保たれている。このような下部ユニット１は、鉛直軸周りに台座２を回転させるだけの回転機構を収容するため、従来に比べて特に高さ方向においてコンパクトである。すなわち、下部ユニット１の高さは、従来のものよりも相当小さくなっており、この下部ユニット１をできる限り浅い床下スペースに設置することができる。

台座２は、シザースリフト機構４を搭載するものである。台座２の上面には、貫通配管３が設けられている。この貫通配管３の一端は、回転軸１０の中空部を通って下部ユニット１の内部まで引き込まれている。貫通配管３の他端は、下部中継配管３０を介して下部配管７に接続されている（図２参照）。その他、台座２の上面に設けられる構成要素については後述する。

シザースリフト機構４は、ハンド機構８を搭載した状態でこのハンド機構８全体を鉛直方向に昇降させるものである。このシザースリフト機構４は、ハンド機構８を搭載するステージ４０、第１および第２のシザースリンク４１，４２、およびリフト用駆動モータ４３を有している。第１のシザースリンク４１は、互いに中間の交差部で交差して第３水平軸Ｓ３周りに回転可能な一対の交差アーム４１０，４１１を有しており、第２のシザースリンク４２も、同じ形状寸法をもち、互いに中間の交差部で交差して第３水平軸Ｓ３周りに回転可能な一対の交差アーム４２０，４２１を有している。このような第１および第２のシザースリンク４１，４２は、ステージ４０の両側に分かれて平行に配置されている。こうして平行に並ぶ２つの交差アーム４１１，４２１の下端部は、台座２に対して固定位置の第１水平軸Ｓ１周りに回動可能になっており、他の２つの交差アーム４１０，４２０の上端部は、ステージ４０に対して固定位置の第２水平軸Ｓ２周りに回動可能になっている。これらの第１水平軸Ｓ１、第２水平軸Ｓ２、および第３水平軸Ｓ３は、互いに平行に位置し、シザースリフト機構４の動作時には、第２水平軸Ｓ２および第３水平軸Ｓ３が鉛直方向に沿って上下移動する。

台座２の上面後端部には、交差アーム４１１，４２１の下端部を第１水平軸Ｓ１周りに回動可能に連結するための一対のブラケット２１およびベアリング（図示略）が設けられている。ブラケット２１とブラケット２１との間には、リフト用駆動モータ４３を気密封止した状態で収容するためのモータボックス２２が設けられている。台座２の上面前端部には、交差アーム４１０，４２０の下端部を前後水平方向にスライド移動可能に連結するための一対のボールネジ軸２３およびナットブロック２４ならびに一対のスライドレール２５およびリニアブロック２６が設けられている。ボールネジ軸２３は、リフト用駆動モータ４３によって回転させられ、これによりボールネジ軸２３に螺結されたナットブロック２４が前後にスライド移動する。ナットブロック２４の両端部には、交差アーム４１０，４２０の下端部が回動自在に連結されている。交差アーム４１０，４２０の下端部は、リニアブロック２６を介してスライドレール２５に支持されている。

図３に示すように、貫通配管３は、気密封止されたモータボックス２２に一旦引き込まれ、このモータボックス２２の内部から外部へと突き出た下部中継配管３０に連通接続されている。交差アーム４１１の下端部およびブラケット２１には、第１継手としてスイベルジョイントＪ１が貫通するように設けられており、下部中継配管３０は、このスイベルジョイントＪ１を介して下部配管７の下端に連通接続されている。スイベルジョイントＪ１は、第１水平軸Ｓ１周りに回動可能である。なお、図３は、中間配管６よりやや前方位置からシザースリフト機構４を正面視しているため、交差アーム４１０，４１１，４２０，４２１の一部を破断状に示している。

上部配管５は、交差アーム４２０の上端部から交差部にかけてその外側に沿うように設けられている。中間配管６は、交差アーム４１０，４１１の交差部と交差アーム４２０，４２１の交差部との間を繋ぐように設けられている。下部配管７は、図３に示すように、交差アーム４１１の交差部から下端部にかけてその外側に沿うように設けられている。交差アーム４１０，４１１が互いに交差する交差部には、第２継手としてＬ型ジョイントＪ２が貫通するように設けられており、下部配管７の上端は、このＬ型ジョイントＪ２を介して中間配管６の一端に連通接続されている。中間配管６の他端は、交差アーム４２０，４２１が互いに交差する交差部を貫通して設けられたスイベルジョイントＪ３を介して上部配管５の下端に連通接続されている。スイベルジョイントＪ３は、第３継手として第３水平軸Ｓ３周りに回動可能である。

ステージ４０の上面には、ハンド機構８が固定される。ステージ４０の下面後端部には、交差アーム４１０，４２０の上端部を第２水平軸Ｓ２周りに回動可能に連結するための一対のブラケット４０Ａおよびベアリング（図示略）が設けられている。ステージ４０の下面前端部には、交差アーム４１１，４２１の上端部を前後水平方向にスライド移動可能に連結するための一対のスライドレール４０Ｂおよびリニアガイド４０Ｃが設けられている。ステージ４０の下面後端部から中央部にかけては、接続配管４０Ｅ，４０Ｆ，４０Ｇおよび貫通接続配管４０Ｈが設けられている。接続配管４０Ｅの一端は、交差アーム４２０の上端部およびブラケット４０Ａを貫通して設けられたスイベルジョイントＪ４を介して上部配管５の上端に連通接続されている。スイベルジョイントＪ４は、第４継手として第２水平軸Ｓ２周りに回動可能である。接続配管４０Ｅの他端は、交差アーム４１０の上端部およびブラケット４０Ａを貫通して設けられたＬ型ジョイントＪ５を介して接続配管４０Ｆの一端に連通接続されている。接続配管４０Ｆの他端は、Ｌ型ジョイントＪ６を介して接続配管４０Ｇの一端に連通接続されている。接続配管４０Ｇの他端は、ステージ４０の中央部を貫通する貫通接続配管４０Ｈの下端にＬ型ジョイントＪ７を介して連通接続されている。貫通接続配管４０Ｈの上端は、ハンド機構８の適部（たとえば、後述する上部ボックス８２）に接続される。

すなわち、貫通配管３、下部中継配管３０、上部配管５、中間配管６、下部配管７、接続配管４０Ｅ，４０Ｆ，４０Ｇ、および貫通接続配管４０Ｈは、下部ユニット１の内部からハンド機構８まで連通した管路を形成している。この管路は、気密封止されることで大気圧に保たれている。このような管路には、後述するハンド機構８のスライド用駆動モータやリフト用駆動モータ４３に電力を供給するための電源ケーブルが収容され、さらにはハンド機構８の適部を冷却するための冷媒循環パイプが収容される。これにより、電源ケーブルや冷媒循環パイプは、真空空間に露出することなく下部ユニット１の内部からモータボックス２２やハンド機構８へと引き回される。なお、冷媒としては、ドライエア（乾燥した空気）、あるいは水等の液体を適用するのが熱効率の観点から望ましい。本実施形態において、上部配管５からハンド機構８までの管路は、接続配管４０Ｅ，４０Ｆ，４０Ｇ、および貫通接続配管４０Ｈによって形成されるが、これに限定されるものではない。上部配管５の上端とハンド機構８との相対的な位置関係は、シザースリフト機構４が動作しても変化しないため、上部配管５の上端とハンド機構８とは、適宜に配管を介して連通接続することができる。

ハンド機構８は、ワークを保持する２つのハンド８０、これらのハンド８０を独立して前後水平方向に往復直線運動させる２組のスライドリンク機構８１、スライドリンク機構８１を動作させるスライド用駆動モータ、およびスライド用駆動モータを収容して気密封止された上部ボックス８２を有している。このようなハンド機構８の主な構成および動作については、従来のものと同様である。上部ボックス８２には、２組のスライドリンク機構８１をそれぞれ独立して動作させるために２つのスライド用駆動モータが収容されている。上部ボックス８２は、ステージ４０の上面中央部に固定されており、上部ボックス８２の底部には、気密封止された状態で貫通接続配管４０Ｈが接続されている。上部ボックス８２の内部やスライドリンク機構８１の周辺部には、図示しない冷媒循環路が設けられている。この冷媒循環路には、貫通接続配管４０Ｈから導かれてきた冷媒循環パイプが接続されている。このような冷媒循環路によれば、高温のワークを搬送する際、そのワークからの輻射熱によって熱せられるスライドリンク機構８１や上部ボックス８２の内部が冷媒循環路を流れる冷媒によって効率よく冷却される。そのため、熱膨張による変形や搬送精度の低下を防ぐことができる。

次に、ワーク搬送装置Ａ１の動作について説明する。

真空空間においてワークを受け渡しする際には、ハンド機構８がワークを保持しながら水平方向に移動させ、このハンド機構８全体を鉛直方向に昇降させるようにシザースリフト機構４が動作する。下部ユニット１に収容された回転機構は、シザースリフト機構４およびハンド機構８を一体的に回転させる。これにより、ワークは、３次元空間内の所定位置から所望とする位置へと搬送させる。

図２に示すように、シザースリフト機構４が動作する際には、ボールネジ軸２３が回転させられ、それに伴いナットブロック２４がボールネジ軸２３に沿って前後水平方向にスライド移動させられる。ナットブロック２４の両端部には、交差アーム４１０，４２０の下端部が連結されているため、これら交差アーム４１０，４２０の下端部がスライドレール２５に沿ってスライド移動する。

交差アーム４１０，４２０の下端部がスライド移動するのに伴い、これらの交差アーム４１０，４２０の上端部が第２水平軸Ｓ２周りに回動する。また、他方の交差アーム４１１，４２１の下端部が第１水平軸Ｓ１周りに回動し、これらの交差アーム４１１，４２１の上端部がスライドレール４０Ｂに沿って従動的にスライド移動する。これにより、ステージ４０は、水平姿勢を保ちつつ鉛直方向に昇降動作する。

たとえば図２に示すように、シザースリフト機構４の動作によってステージ４０が仮想線で示す高さ位置まで鉛直方向下方に降下させられると、このステージ４０に搭載された図示しないハンド機構８全体も台座２を基準にして最も低い高さ位置まで引き下げられることにより、ハンド８０の高さ位置ができる限り低く抑えられる。

なお、シザースリフト機構４の動作によってステージ４０を最も低い位置に降下させても、シザースリフト機構４の特性上、台座２とステージ４０との間には高さ方向に隙間が生じる。この高さ方向の隙間に収まるようにモータボックス２２を設けると、シザースリフト機構４の高さ方向のダウンサイジングができるだけでなく、台座２上のスペースを有効活用することができる。

モータボックス２２の高さ方向寸法は、リフト用駆動モータ４３の大きさなどによって決まるため、ステージ４０を最も低い位置に降下させたときに生じる隙間にモータボックス２２が収まらない場合が考えられる。すなわち、シザースリフト機構４の動作によってステージ４０を最も低い位置に降下させると、モータボックス２２とステージ４０あるいは接続配管４０Ｅ，４０Ｇが当接するおそれがある。この問題の回避方法としては、たとえば、モータボックス２２とステージ４０や接続配管４０Ｅ，４０Ｇが当接しないようにシザースリフト機構４の高さ方向の動作を制御すればよい。さらには、当接防止用の機構を設けるのが好ましい。すなわち、ステージ４０は、本来可能な最も低い位置よりも幾分高い所定の位置までしか降下させることができないが、その高低差は僅かであるため、高さ方向のダウンサイジングができるという効果にほとんど影響を及ぼさない。

上記とは別の回避方法としては、たとえば、ステージ４０や接続配管４０Ｅ，４０Ｇと当接しない位置にモータボックス２２を設けてもよい。そのために必要であれば、台座２の面積を広げればよい。この際、リフト用駆動モータ４３とボールネジ軸２３との間に必要に応じてギアボックスを介在させれば、モータボックス２２の設置位置の自由度が高まる。

このようなシザースリフト機構４の動作時においては、交差アーム４１０，４１１，４２０，４２１に付設された上部配管５、中間配管６、下部配管７、および接続配管４０Ｅが相対的な位置関係を変化させる。これらの上部配管５、中間配管６、下部配管７、および接続配管４０Ｅは、気密封止されたスイベルジョイントＪ１，Ｊ３，Ｊ４およびＬ型ジョイントＪ２を介して互いに回動可能に連通接続されているため、内部に引き込まれた電源ケーブルや冷媒循環パイプの配線・配管が乱れることはない。回転機構の動作時においても、電源ケーブルや冷媒循環パイプが複雑に絡まったり、あるいは大きくねじ曲がるといったことはなく、交差アーム４１０，４１１，４２０，４２１に沿って安定した配線・配管姿勢が保たれる。

したがって、本実施形態のワーク搬送装置Ａ１によれば、ワークを搬送するための機構として、ハンド機構８、シザースリフト機構４、および回転機構が備えられ、これらのうち特に回転機構を台座２の下方に設けるだけでよいので、回転機構を収容する下部ユニット１の高さ寸法を抑えることできる。これにより、台座２の高さを低くしてワーク搬送装置Ａ１全体を容易に小型化することができ、ひいては製造設備の特に高さ方向のダウンサイジングに貢献することができる。具体的には、下部ユニット１をできる限り浅い床下スペースに設置することができる。

電源ケーブルおよび冷媒循環パイプについては、下部ユニット１からハンド機構８まで管路を介して導くことができるので、シザースリフト機構４や回転機構の動作に支障なく安定した配線・配管姿勢で引き回すことができる。

また、シザースリフト機構４によって鉛直方向下方にハンド機構８を降下させることにより、台座２からのハンド８０の高さ位置をできる限り低く抑えることができる。

図４〜１２は、本発明に係るワーク搬送装置の他の実施形態を示している。なお、先述した実施形態と同一または類似の構成要素については、同一符号を付してその説明を省略する。

図４に示すワーク搬送装置Ａ２は、先述した実施形態によるものとハンド機構８が異なる。ハンド機構８には、ハンド８０を水平に安定した姿勢でスライド移動させるためのガイドレール８３が設けられている。上部ボックス８２は、ガイドレール８３の下方に設けられている。このようなハンド機構８の主な構成および動作も従来のものと同様であり、上部ボックス８２の内部やガイドレール８３の周辺部には、図示しない冷媒循環路が設けられている。冷媒循環路には、貫通接続配管４０Ｈから導かれてきた冷媒循環パイプが接続されている。したがって、このようなワーク搬送装置Ａ２によっても、装置全体を容易に小型化することができるとともに、電源ケーブルや冷媒循環パイプを安定した配線・配管姿勢で引き回すことができる。

図５に示すワーク搬送装置Ａ３においては、交差アーム４１０，４２０の上端部よりもやや下方位置には、これらを結束するように補強シャフト５０が設けられている。一方、交差アーム４１１，４２１の交差部よりもやや上方位置には、これらを結束するとともに中間配管６を支持するように補強シャフト５１が設けられている。このような補強シャフト５０，５１を設けることにより、堅牢なシザースリフト機構４を実現することできる。

シザースリフト機構４においては、その上部と下部で極端な温度差が生じ、それによって交差アーム４１０，４１１，４２０，４２１が熱変形して滑らかに動作しないおそれもある。これに対する対処策として、たとえば図５に示すように、上部配管５、中間配管６、および下部配管７の一部には、弾性部材９０を用いるようにしてもよい。この弾性部材９０としては、ベローズ状に形成されたもので、気密を保ちつつ伸縮変形可能なものが適用される。これによれば、第１および第２のシザースリンク４１，４２における上部と下部との間隔にある程度の差異が生じてもよく、許容レベルの熱変形であれば、シザースリフト機構４をスムーズに動作させることができる。

シザースリフト機構に搭載されるハンド機構としては、図６に示すように、２つのハンド８０を独立して動作させるベルト駆動機構（図示略）をガイド部材８２’に組み込み、このガイド部材８２’上において各ハンド８０を前後水平方向にスライド移動させるような構成のものでもよい。ガイド部材８２’の内部には、ベルト駆動機構とともにスライド用駆動モータを収容して気密封止されたケース（図示略）が内蔵されている。このようなガイド部材８２’の内部や周辺部に冷媒循環路を設けた場合、ガイド部材８２’内のケースに気密封止した状態で貫通接続配管（４０Ｈ）を接続すればよい。このような貫通接続配管を介して冷媒循環パイプやスライド用駆動モータの電源ケーブルをガイド部材８２’内のケースに引き込むことができる。

図７〜９は、先述した実施形態によるものとは配管の配置が異なるワーク搬送装置Ａ４を示している。このワーク搬送装置Ａ４は、配管として、貫通配管３（図８および図９に図示）、下部中継配管３０、上部配管５、および下部配管７を備える。上部配管５および下部配管７は、シザースリフト機構４を迂回して下部ユニット１と上部ボックス８２とを連通させるように設けられている。図７および図９に示す中間軸６’および上部回転軸４０Ｅ’は、先述した中間配管６や接続配管４０Ｅと同様に、第１および第２のシザースリンク４１，４２間を繋ぐように設けられたものであるが、配管としての機能をもたず、シザースリフト機構４を堅牢化してスムーズに動作させるための補強シャフトとして機能する。その他の構成要素は、先述したワーク搬送装置Ａ１におけるものと同様である。たとえば、シザースリフト機構４自体の動作は、先述したワーク搬送装置Ａ１によるものの動作と同様である。なお、図７〜９においては、ハンド機構８から上部ボックス８２を切り離してステージ４０上に固定した形態を示す。

図８に示すように、貫通配管３は、台座２を貫通して下部ユニット１とモータボックス２２とを連通させるように設けられている。この貫通配管３は、図９に示すように、モータボックス２２から水平横方向に突き出た下部中継配管３０に連通接続される。下部中継配管３０は、図７に示すように、第２のシザースリンク４２における一対の交差アーム４２０，４２１の下方隙間を通って外方へと延びる。これにより、シザースリフト機構４は、交差アーム４２０，４２１が下部中継配管３０に当接しない程度の高さ位置まで降下可能である（図８の仮想線を参照）。

上部配管５は、シザースリフト機構４の外側方に位置し、その上端がスイベルジョイントＪ４を介してステージ４０上の上部ボックス８２に連通接続されている。このような上部配管５の上端は、スイベルジョイントＪ４によって第２水平軸Ｓ２’周りに回動可能である。上部配管５の下端は、さらにシザースリフト機構４の外側方に位置するスイベルジョイントＪ３を介して下部配管７の上端に連通接続されている。これにより、上部配管５の下端も、スイベルジョイントＪ３によって第３水平軸Ｓ３’周りに回動可能である。

下部配管７は、上部配管５よりもシザースリフト機構４の外側方に位置し、その下端がスイベルジョイントＪ１を介して下部中継配管３０に連通接続されている。このような下部配管７の下端は、スイベルジョイントＪ１によって第１水平軸Ｓ１’周りに回動可能である。下部配管７の上端は、スイベルジョイントＪ３を介して上部配管５の下端に接続されている。そのため上述したように、上部配管５と下部配管７とは、これらの連通接続部におけるスイベルジョイントＪ３によって互いに第３水平軸Ｓ３’周りに回動可能である。このような第１水平軸Ｓ１’、第２水平軸Ｓ２’、および第３水平軸Ｓ３’は、互いに平行に位置し、シザースリフト機構４の動作時には、台座２に対して第１水平軸Ｓ１’が固定位置にあるのに対し、第２水平軸Ｓ２’および第３水平軸Ｓ３’が鉛直方向に沿って上下移動する。

図８において紙面を垂直に貫く方向にシザースリフト機構４を見た場合、第１水平軸Ｓ１’と第２水平軸Ｓ２’とは、常に所定の鉛直線Ｌ上に位置する。また、第１水平軸Ｓ１’から第３水平軸Ｓ３’までの上部配管５に沿う軸間距離は、第２水平軸Ｓ２’から第３水平軸Ｓ３’までの下部配管７に沿う軸間距離と等しい。シザースリフト機構４が最上位の高さ位置まで上昇した状態において、第１水平軸Ｓ１’から第２水平軸Ｓ２’までの鉛直線Ｌに沿う長さは、上記２つの軸間距離を合わせた長さよりも短くなっている。これにより、第３水平軸Ｓ３’は、常に鉛直線Ｌの側方に位置し、上部配管５と下部配管７とは、その第３水平軸Ｓ３’が所在する連通接続部で屈折した姿勢をなす。

上記のような幾何学的関係から、シザースリフト機構４が最上位の高さ位置から最下位の高さ位置まで昇降動作する際、第３水平軸Ｓ３’は、常に鉛直線Ｌの側方を移動し、鉛直線Ｌ上の思案点を通ることはない。これにより、上部配管５および下部配管７は、シザースリフト機構４の昇降動作に連動し、第３水平軸Ｓ３’を中心として互いに逆方向にスムーズに回動する。また、シザースリフト機構４が最上位や最下位の高さ位置まで昇降動作しても、第３水平軸Ｓ３’がステージ４０の上方や台座２の下方にまで移動することはなく、上部配管５および下部配管７も、ステージ４０の上方や台座２の下方まで延び出ることはない。そのため、シザースリフト機構４の昇降動作に際しては、それに追従して上部配管５や下部配管７ができる限り小さな可動域で何ら支障なく回動させられる。

このような貫通配管３、下部中継配管３０、上部配管５、および下部配管７は、下部ユニット１の内部からハンド機構８の上部ボックス８２まで連通した管路を形成している。この管路は、気密封止されることで大気圧に保たれている。このような管路には、先述した実施形態と同様に、ハンド機構８のスライド用駆動モータに電力を供給するための電源ケーブルが収容され、さらにはハンド機構８の適部を冷却するための冷媒循環パイプが収容される。

上記ワーク搬送装置Ａ４において、シザースリフト機構４が鉛直方向に昇降動作する際には、ステージ４０の上下運動に追従して上部配管５および下部配管７が回動する。これらの上部配管５および下部配管７は、気密封止されたスイベルジョイントＪ３を介して互いに回動可能に連通接続されている。そのため、内部に引き込まれた電源ケーブルや冷媒循環パイプの配線・配管が大きく捻れるようなことはない。

したがって、本実施形態のワーク搬送装置Ａ４によっても、電源ケーブルや冷媒循環パイプを下部ユニット１からハンド機構８まで適切に導くことができ、シザースリフト機構４や回転機構の動作に支障なく安定した配線・配管姿勢とすることができる。

図１０および図１１は、配管の位置および形状をより最適なものとしたワーク搬送装置Ａ５を示している。このワーク搬送装置Ａ５も、配管として、貫通配管３、上部配管５、および下部配管７を備えるが、これらの配置や形状が先述したワーク搬送装置Ａ４とは異なる。これらの貫通配管３、上部配管５、および下部配管７は、第１および第２のシザースリンク４１，４２間に配置される。上部ボックス８２の下部には、ステージ４０を貫通するように貫通接続配管４０Ｈが連通接続されている。この貫通接続配管４０Ｈには、スイベルジョイントＪ４を介して上部配管５の上端が連通接続されている。これにより、上部配管５の上端は、第２水平軸Ｓ２’周りに回動可能である。

図１０に示すように、貫通配管３は、台座２の中央部付近を貫通し、モータボックス２２外となる一対のボールネジ軸２３の間を通るように設けられている。貫通配管３の先端部は、水平横方向に延びており、この先端部にスイベルジョイントＪ１を介して下部配管７の下端が連通接続されている。これにより、下部配管７の下端は、第１水平軸Ｓ１’周りに回動可能である。

図１１に示すように、上部配管５および下部配管７は、第１および第２のシザースリンク４１，４２間にあって、ステージ４０と台座２との間に形成される空間において回動するように設けられている。図１０に示すように、上部配管５および下部配管７は、くの字状に屈曲した形状を呈し、互いに中間のスイベルジョイントＪ３を介して連通接続されている。このような上部配管５および下部配管７は、第１水平軸Ｓ１’と第２水平軸Ｓ２’とを結ぶ鉛直線Ｌよりも、第１および第２のシザースリンク４１，４２がスライド移動する前方側へと屈曲するように配置されている。そのため、シザースリフト機構４が昇降動作する際、第３水平軸Ｓ３’は、常に鉛直線Ｌの側方に位置し、シザースリフト機構４が最下位の高さ位置まで降下しても、上部配管５および下部配管７がステージ４０と台座２との間で互いに折り重なり、ナットブロック２４などを避けた姿勢となる。これにより、シザースリフト機構４は、ステージ４０がモータボックス２２に当接しない程度の高さ位置、すなわち最も低位となる高さ位置まで降下可能である（図１０の仮想線を参照）。

上記のような上部配管５および下部配管７の配置ならびに形状により、シザースリフト機構４が最上位の高さ位置から最下位の高さ位置まで昇降動作する際、上部配管５および下部配管７は、ステージ４０と台座２との間において中間のスイベルジョイントＪ３を中心として互いに逆方向にスムーズに回動する。その際、第３水平軸Ｓ３’を回転軸としてもつスイベルジョイントＪ３ならびに上部配管５および下部配管７は、台座２上の部材に当接することなく、できる限り小さな可動域で何ら支障なく動作させられる。

このような貫通配管３、上部配管５、下部配管７、および貫通接続配管４０Ｈは、下部ユニット１の内部からハンド機構８の上部ボックス８２まで連通した管路を形成している。この管路は、気密封止されることで大気圧に保たれている。このような管路には、先述した実施形態と同様に、ハンド機構８のスライド用駆動モータに電力を供給するための電源ケーブルが収容され、さらにはハンド機構８の適部を冷却するための冷媒循環パイプが収容される。

上記ワーク搬送装置Ａ５において、シザースリフト機構４が鉛直方向に昇降動作する際には、ステージ４０の上下運動に追従して上部配管５および下部配管７が回動する。これらの上部配管５および下部配管７は、気密封止されたスイベルジョイントＪ３を介して第３水平軸Ｓ３’周りに回動可能に連通接続されている。そのため、内部に引き込まれた電源ケーブルや冷媒循環パイプの配線・配管が大きく捻れるようなことはない。

したがって、本実施形態のワーク搬送装置Ａ５によれば、電源ケーブルや冷媒循環パイプの取り回しを適切に行うことができるのに加え、ステージ４０と台座２との間の空隙に配管を通すことにより、装置全体をよりコンパクト化することができる。

図１２は、図７〜９に示したものとはシザースリフト機構４の構成が異なるワーク搬送装置Ａ６を示している。このワーク搬送装置Ａ６におけるシザースリフト機構４は、単に一つのシザースリンク４２によってステージ４０を昇降させるように構成されている。シザースリンク４２を構成する２つの交差アーム４２０，４２１は、比較的太い長手状の部材からなる。これにより、一つのシザースリンク４２でも、ステージ４０やこれに搭載されるハンド機構８の重量を十分支えることができる。シザースリフト機構４自体の動作は、先述したワーク搬送装置Ａ１による動作と同様である。また、貫通配管（図示略）、下部中継配管３０、上部配管５、および下部配管７の接続形態も、先述したワーク搬送装置Ａ４によるものと同様である。

したがって、本実施形態のワーク搬送装置Ａ６によれば、電源ケーブルや冷媒循環パイプの取り回しを適切に行うことができる。

本発明は、上述した実施形態の態様に限定されるものではない。

上記の実施形態では、符号Ｊ１，Ｊ３，Ｊ４で示すものをスイベルジョイントとし、符号Ｊ２，Ｊ５で示すものを非回転継手としてのＬ型ジョイントとしたが、これに限定されるものではなく、たとえば図１に示すワーク搬送装置Ａ１においては、符号Ｊ１，Ｊ２，Ｊ５で示すものをスイベルジョイントとし、符号Ｊ３，Ｊ４で示すものをＬ型ジョイントとしてもよい。いずれにしても、シザースリフト機構４が動作する際に生じる中間配管６および接続配管４０Ｅの回転をスイベルジョイントで許容できるような構成にすればよい。すなわち、たとえばジョイントＪ２〜Ｊ５の全てをＬ型ジョイントにしてしまうと、中間配管６および接続配管４０Ｅそれぞれの両端部が回転不可能な接続形態になってしまうため、シザースリフト機構４は動作することができなくなる。このような観点から、シザースリフト機構４において、ジョイントＪ１に加えて中間配管６および接続配管４０Ｅの各一方の片側に配置されるジョイントについては、スイベルジョイントとすることにより、シザースリフト機構４を何ら規制することなく昇降動作させることができる。もちろん、全てのジョイントＪ１〜Ｊ５をスイベルジョイントとしてもよいが、上記のように一部のジョイントをＬ型ジョイントにすることによりコストを抑えることができる。

図１２に示すワーク搬送装置Ａ６においては、図１０および図１１に示すような配管を採用してもよい。これにより、装置全体の重量低減とともにコンパクト化を図ることができる。

図７〜１２に示すワーク搬送装置Ａ４〜Ａ６においても、図１や図４あるいは図６に示すようなハンド機構８を採用してもよい。

第１のシザースリンク４１における交差アーム４１０，４１１や第２のシザースリンク４２における交差アーム４２０，４２１は、互いにちょうど長手方向の中間位置となる交差部において交差しているが、そのような中間位置よりも長手方向上端側あるいは下端側にある程度偏った位置に交差部を設定し、２つの交差アームを交差させてもよい。すなわち、一対の交差アームが互いに交差して連結される交差部とは、交差アームのちょうど中間となる位置だけでなく、その上端と下端との間の適当な位置をも含む。

図７〜１２に示すワーク搬送装置Ａ４〜Ａ６においては、上部配管５や下部配管７が他の部材に当接せずに何ら支障なく動作することができるのであれば、これら上部配管５および下部配管７に沿う軸間距離を互いに異なる長さとしたり、あるいは第１水平軸Ｓ１’と第２水平軸Ｓ２’とを結ぶ直線を鉛直線Ｌに対して傾くように設定してもよい。

図７〜１２に示すワーク搬送装置Ａ４〜Ａ６の変形例としては、上部配管５と下部配管７との間に、これらに連通して水平軸周りに回動可能な中間配管をさらに接続するようにしてもよい。ステージ４０が昇降動作する際には、このような３つの配管も折り畳むように動作させられるので、先述した実施形態と同様の効果が得られる。

図８、図１０、図１２に示す第３水平軸Ｓ３’は、たとえば第１水平軸Ｓ１’と第２水平軸Ｓ２’とを結ぶ直線が鉛直線Ｌに対して傾いている場合であっても、その直線に対して常にその側方に位置するように配置されていればよい。

第１水平軸Ｓ１’および第２水平軸Ｓ２’の位置は、図８、図１０、図１２に示した位置に限定されるものではなく、別の位置でもよい。たとえば、第１水平軸Ｓ１’および第２水平軸Ｓ２’の位置は、図２に示す第１水平軸Ｓ１および第２水平軸Ｓ２の位置に一致させてもよい。

たとえば、上部配管５の上端および下端、ならびに下部配管７の下端および上端は、スイベルジョイントと同様の構造を有する部分としてもよい。この場合、たとえば中間配管６の両端には、スイベルジョイントを用いることなく上部配管５の下端と下部配管７の上端とを第３水平軸Ｓ３周りに回動可能に接続することができる。

本発明に係るワーク搬送装置Ａ１〜Ａ６は、もちろん冷却が不要な環境にも対応することができる。この場合、配管の内部には、冷媒循環用のパイプを通す必要はない。

Ａ１，Ａ２ ワーク搬送装置
Ｓ１，Ｓ１’ 第１水平軸
Ｓ２，Ｓ２’ 第２水平軸
Ｓ３，Ｓ３’ 第３水平軸
Ｊ１ スイベルジョイント（第１継手）
Ｊ２ Ｌ型ジョイント（第２継手）
Ｊ３ スイベルジョイント（第３継手）
Ｊ４ スイベルジョイント（第４継手）
２ 台座
３ 貫通配管
４ シザースリフト機構
４０ ステージ
４０Ｈ 貫通接続配管
４１ 第１のシザースリンク
４１０，４１１ 交差アーム
４２ 第２のシザースリンク（シザースリンク）
４２０，４２１ 交差アーム
４３ リフト用駆動モータ（リフト用駆動手段）
５ 上部配管
６ 中間配管
７ 下部配管
８ ハンド機構
８０ ハンド
８１ スライドリンク機構
８２ 上部ボックス
８２’ ガイド部材

Claims (20)

1. ワークを保持するためのハンドを往復動作させるハンド機構と、
   上記ハンド機構を搭載した状態でこれを鉛直方向に昇降させるシザースリフト機構と、
   上記シザースリフト機構を搭載する台座と、
   上記台座を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、
   を備えていることを特徴とする、ワーク搬送装置。
2. 上記ハンド機構は、
   上記ワークを保持するハンドと、
   上記ハンドを支持するとともに、このハンドを所定方向に往復直線運動させるスライドリンク機構と、
   上記スライドリンク機構を動作させるスライド用駆動手段と、
   を有しており、
   上記シザースリフト機構は、
   上記スライドリンク機構およびスライド用駆動手段を搭載するステージと、
   互いに交差部で交差しつつ水平軸周りに回動可能に連結され、一方の上端部が上記ステージに対して水平方向に滑り移動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平軸周りに回動可能に連結されているとともに、他方の上端部が上記ステージに対して水平軸周りに回動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平方向に滑り移動可能に連結された一対の交差アームからなる一または複数のシザースリンクと、
   上記台座に搭載され、この台座に対して滑り移動可能に連結された上記シザースリンクにおける上記交差アームの下端部を滑り移動させるリフト用駆動手段と、
   を有している、請求項１に記載のワーク搬送装置。
3. 上記ハンド機構と上記台座との間には、互いに連通して水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続された複数の配管が接続されている、請求項２に記載のワーク搬送装置。
4. 上記複数の配管には、上記ハンド機構に接続されるケーブルが収容されている、請求項３に記載のワーク搬送装置。
5. 上記シザースリンクは、上記台座上において互いに平行に位置する第１および第２のシザースリンクを備えて形成され、
   上記複数の配管は、上記水平軸に沿う方向に離間した下部配管および上部配管を含んで形成され、
   上記下部配管と上記上部配管との間には、さらに中間配管が設けられており、
   上記下部配管は、上記台座に対して第１水平軸周りに回動可能に連結された上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部からその交差部にかけて付設されているとともに、上記上部配管は、上記ステージに対して第２水平軸周りに回動可能に連結された上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの上端部からその交差部にかけて付設されており、かつ、上記中間配管は、上記第１および第２のシザースリンクにおける上記交差部同士の間において、上記下部配管および上部配管に連通するように接続されている、請求項３または４に記載のワーク搬送装置。
6. 上記下部配管と上記中間配管との連通接続部、および上記上部配管と上記中間配管との連通接続部の少なくともいずれか一方には、第３水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられている、請求項５に記載のワーク搬送装置。
7. 上記台座には、貫通配管が設けられており、この貫通配管は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を経由して上記下部配管に連通している、請求項６に記載のワーク搬送装置。
8. 上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部および交差部には、それぞれ上記第１水平軸および上記第３水平軸に沿って貫通する第１継手および第２継手が設けられているとともに、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部および上端部には、それぞれ上記第３水平軸および上記第２水平軸に沿って貫通する第３継手および第４継手が設けられており、
   上記下部配管の下端は、上記第１継手を介して直接または間接に上記貫通配管に連通接続されているとともに、上記下部配管の上端は、上記第２継手を介して上記中間配管の一端に連通接続され、かつ、
   上記上部配管の下端は、上記第３継手を介して上記中間配管の他端に連通接続されているとともに、上記上部配管の上端は、上記第４継手を介して直接または間接に上記ハンド機構に連通接続されている、請求項７に記載のワーク搬送装置。
9. 上記第２継手および第３継手の少なくともいずれか一方は、上記第３水平軸周りに回動可能な回転継手である、請求項８に記載のワーク搬送装置。
10. 上記台座には、貫通配管が設けられており、
    上記下部配管の下端は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を経由して直接または間接に上記貫通配管に連通接続され、上記第１水平軸周りに回動可能であるとともに、上記下部配管の上端は、上記第１のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部を経由して上記中間配管の一端に連通接続され、第３水平軸周りに回動可能であり、かつ、
    上記上部配管の下端は、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの交差部を経由して上記中間配管の他端に連通接続され、上記第３水平軸周りに回動可能であるとともに、上記上部配管の上端は、上記第２のシザースリンクにおける上記交差アームの上端部を経由して直接または間接に上記ハンド機構に連通接続され、上記第２水平軸周りに回動可能である、請求項５に記載のワーク搬送装置。
11. 上記貫通配管の内部には、上記ハンド機構に接続されるケーブル、および上記リフト用駆動手段に接続されるケーブルが収容されている、請求項７ないし１０のいずれかに記載のワーク搬送装置。
12. 上記下部配管、中間配管、および上部配管は、気密封止されている、請求項５ないし１１のいずれかに記載のワーク搬送装置。
13. 上記下部配管、中間配管、および上部配管のそれぞれは、その一部に弾性部材が用いられている、請求項５ないし１２のいずれかに記載のワーク搬送装置。
14. 上記複数の配管は、上部配管および下部配管を備えて形成されており、
    上記下部配管は、上記台座に対して第１水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されているとともに、上記上部配管は、上記ハンド機構に対して第２水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されており、これらの上部配管と下部配管とは、互いに連通して第３水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されている、請求項３または４に記載のワーク搬送装置。
15. 上記台座に対する上記下部配管の接続部には、上記第１水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられているとともに、上記ハンド機構に対する上記上部配管の接続部には、上記第２水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられており、さらに上記下部配管と上記上部配管との連通接続部には、上記第３水平軸周りに回動可能な回転継手が設けられている、請求項１４に記載のワーク搬送装置。
16. 上記第１水平軸、上記第２水平軸、および上記第３水平軸は、互いに平行であり、これらの水平軸方向視において、上記第３水平軸は、上記第１水平軸と上記第２水平軸とを結ぶ直線に対して常にその側方に位置するように配置されている、請求項１５に記載のワーク搬送装置。
17. 上記第１水平軸から上記第３水平軸までの軸間距離は、上記第２水平軸から上記第３水平軸までの軸間距離と等しく、かつ、上記第１水平軸と上記第２水平軸とを結ぶ直線は、鉛直線である、請求項１６に記載のワーク搬送装置。
18. 上記上部配管および上記下部配管は、屈曲状に形成されている、請求項１７に記載のワーク搬送装置。
19. 上記台座には、貫通配管が設けられており、上記下部配管は、上記貫通配管に連通して上記第１水平軸周りに回動可能に直接または間接に接続されている、請求項１１ないし１８のいずれかに記載のワーク搬送装置。
20. 上記貫通配管には、上記ハンド機構に接続されるケーブルが収容されている、請求項１９に記載のワーク搬送装置。

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