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JP2010014475A - 指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法 - Google Patents

指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】機能低下を招き難い指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法を実現する。
【解決手段】指針盤用発光パネル1の製造過程において、透明基板2の一方の面側に成膜される第一カソード層12および第二カソード層14を、駆動軸領域R2に形成した逆テーパ隔壁9によって、その逆テーパ隔壁9の内外に分断することによって、逆テーパ隔壁9の外側に成膜されてEL素子の発光に寄与する第一カソード層12及び第二カソード層14と、逆テーパ隔壁9の内側に成膜されてEL素子の発光に寄与しない第一カソード層12a及び第二カソード層14aと、を形成するようにした。
【選択図】図13

Description

本発明は、指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法に関する。
針式腕時計、針式壁掛け時計、針式置き時計、針式計測器等において、針の位置によって時刻や計測値などが表される。針の背面側には指針盤が設けられており、指針盤には目盛り等が設けられている。その指針盤の裏面に指針駆動部が取り付けられており、指針盤の中央側に形成された貫通孔に指針駆動部の駆動軸が通されて、指針盤の表面側において駆動軸に針が取り付けられている。
また、各種の表示機能付きの指針盤も用いられている。例えば、指針盤の前面側に液晶パネルが設けられ、その液晶パネルで各種データ等の表示が行われるものがある。
特開平11−202059号公報
ところで、液晶パネルだけでなく、有機EL(Electro Luminescence)素子を利用したELパネルも指針盤に利用したいという要望がある。ところが、ELパネルの有機EL素子に外気が接触することで劣化しやすくなるという問題があるため、そのような有機EL素子の劣化を防止するべく、有機EL素子を封止する必要がある。その封止の方法としては、基板に形成された有機EL素子アレイの周辺部に枠状のシールを形成し、そのシールの上からカバーを被せて、基板とカバーの間を密封して、有機EL素子の表面を保護するという方法がある。
しかしながら、ELパネルを指針盤に用いる場合、針の駆動軸を通すための貫通孔をELパネルの中央側に形成する必要がある。そして、図17に示すように、ELパネル1bに穿孔を施した際に、その貫通孔18の内壁面に有機EL素子を構成する電極(例えば、対向電極を構成する第一カソード層12、第二カソード層14)などの断面が露出してしまうことがある。
その露出した部分が劣化しやすい素材であると、露出部分からパネルの内部に向かって劣化が進行してしまうことがあり、そのパネルの主要部にまで劣化が伝播して損傷が生じてしまうと、ELパネルの発光などの機能が低下する不具合が生じてしまうことがある。
そこで、本発明の課題は、機能低下を招き難い指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法を提供することである。
以上の課題を解決するため、本発明の一の態様は、指針盤用発光パネルの製造方法であって、
基板の一方の面側における、指針駆動軸が配される駆動軸領域を除く範囲に、第一電極が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
前記基板の前記一方の面側における、前記駆動軸領域の中央側と前記第一電極の間を隔て、前記基板から離間する上面側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を呈する逆テーパ隔壁を形成する工程と、
前記基板の前記一方の面側における前記第一電極上に有機層を形成する工程と、
前記逆テーパ隔壁の上面をマスクとして、その逆テーパ隔壁の上面側から前記基板の前記一方の面側に第二電極を成膜する際、前記第二電極を前記逆テーパ隔壁によって前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断する工程と、
を備えることを特徴としている。
好ましくは、前記逆テーパ隔壁の内側となる前記駆動軸領域にセンターシールを形成する工程と、前記センターシールと重なる部分において、前記基板に穿孔を施す工程と、を備える。
また、好ましくは、前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せる工程と、前記センターシールと重なる部分において前記カバーにも穿孔を施す工程と、を備える。
また、好ましくは、前記第二電極は、第1族元素および第2族元素に属する金属のうち少なくとも1つを含む金属層を有する。
また、好ましくは、前記基板に前記カバーを被せる工程の前に、前記基板の一方の面側における周囲端部の枠状領域に枠状シールを形成する工程を備え、前記センターシールおよび前記枠状シールの上から、前記基板にカバーを被せる。
また、本発明の指針盤用発光パネルは、
前記逆テーパ隔壁によって、前記第二電極が、前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断されていることを特徴としている。
また、前記逆テーパ隔壁の内側に穿孔が形成されている。
本発明によれば、機能低下を招き難い指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法を実現することができる。
以下に、本発明を実施するための好ましい形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
マトリクスディスプレイ機能を有する指針盤用発光パネル1を製造するに際して、まず、図1、図2に示すように、ガラス、プラスチック製等の透明な基材である透明基板2を準備する。なお、透明基板2は、透明な可撓性シートであってもよい。
この透明基板2の一方の面に対し、透明な導電性膜を気相成長法(例えば、スパッタリング法、蒸着法等)によって成膜し、その導電性膜をフォトリソグラフィー法及びエッチング法によって複数の第一電極としての画素電極3に形状加工する。
この画素電極3を形成するに際して、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う枠状の枠状領域R1と、透明基板2の一方の面側における中心側であり指針駆動軸が配される矩形状の駆動軸領域R2とを除く範囲に、これら画素電極3を二次元アレイ状に配列するように形成する。
画素電極3は、透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム(In23)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)又はカドミウム−錫酸化物(CTO)からなる。なお、画素電極3が、EL素子のアノード電極になる。
次いで、透明基板2の一方の面に対して、気相成長法、フォトリソグラフィー法、エッチング法、レジスト除去工程を適宜行うことによって、透明基板2にトランジスタ層4を形成する。
トランジスタ層4は、アクティブマトリクス駆動回路を構成するものであって、アクティブマトリクス駆動回路は複数の走査線、走査線に交差する複数の信号線、走査線に沿う複数の電圧供給線、信号線と走査線の各交差部に配置された複数の薄膜トランジスタ5等を有するものである。このアクティブマトリクス駆動回路の回路構成はどのようなものであってもよく、1画素につき設けられる薄膜トランジスタ5の数は本発明を限定するものでない。
このトランジスタ層4を形成するに際しては、例えば、シリコン窒化物又はシリコン酸化物からなるオーバーコート層6を成膜し、そのオーバーコート層6によって薄膜トランジスタ5を被覆する。そして、そのオーバーコート層6をパターニングすることにより、それぞれの画素電極3に対応する箇所に開口7を形成し、各画素電極3を露出させる。
このトランジスタ層4、オーバーコート層6も、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う枠状領域R1と、指針駆動軸が配される矩形状の駆動軸領域R2とを除く範囲に形成する。
なお、トランジスタ層4を形成した後に、複数の画素電極3をオーバーコート層6の上に形成してもよい。
次いで、図3に示すように、オーバーコート層6の上面に、画素電極3を区画するバンク8を形成する。バンク8は、後述する有機層10を湿式法により形成するに際して、有機層となる材料が溶媒に溶解または分散された液状体が隣接する画素に滲み出ないようにする隔壁として機能する。なお、バンク8は、各画素電極3を1つずつ区画する格子状の隔壁であってもよく、また、列方向に同色画素が配列される場合には各画素電極3を列毎に区画するストライプ状の隔壁であってもよい。
このバンク8は、例えば、ポジ型の感光性樹脂であるポリイミド系樹脂材料からなり、東レ株式会社製「フォトニースPW−1030」や「フォトニースDL−1000」を用いて形成することができる。
なお、ポジ型の感光性樹脂は、所定の光が照射された部分が現像液に溶け、未露光部分のパターンが残るので、透明電極2の一方の面側にポジ型の感光性樹脂材料を堆積した後に、バンク相当部分以外を露光することで、画素電極3や枠状領域R1や駆動軸領域R2が露出するバンク8を形成することができる。
次いで、図4、図5に示すように、透明基板2の一方の面側における駆動軸領域R2のオーバーコート層6の上面に、その駆動軸領域R2の中央側と画素電極3の間を隔てる逆テーパ隔壁9を形成する。
この逆テーパ隔壁9は、図4に示すように、平面視した際に、駆動軸領域R2の中心部を囲う円環形状を呈し、また、図5に示すように、断面視した際に、透明基板2から離間する上面9a側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を有している。
この逆テーパ隔壁9は、例えば、ネガ型の感光性樹脂材料からなり、日本ゼオン株式会社製「ZPN2000」を用いて形成することができる。
なお、ネガ型の感光性樹脂は、所定の光が照射された部分のパターンが残り、未露光部分のパターンが現像液に溶けるので、透明電極2の一方の面側にネガ型の感光性樹脂材料を堆積した後に、逆テーパ隔壁に相当する円形環状部分を露光することで、平面視円環形状を呈する逆テーパ隔壁9を形成することができる。
特に、ネガ型の感光性樹脂の場合、露光面側ほど光硬化が進行し易く、底面側の硬化は比較的進行し難いため、その露光面である上面側ほど幅が広くなり易く、逆テーパ形状になりやすい。
そして、バンク8と逆テーパ隔壁9が形成された透明基板2を純水にて洗浄した後、画素電極3及びオーバーコート層6の表面の親液化処理として、酸素プラズマ処理を行う。
また、バンク8及び逆テーパ隔壁9の撥液処理として、フッ化炭素ガスプラズマ処理を行う。
次いで、図6に示すように、逆テーパ隔壁9の外側となる画素電極3上に有機層10を形成する。
この有機層10を成膜するに際して、発光層だけを成膜してその発光層を有機層10としてもよいし、正孔輸送層及び発光層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよい。また、有機層10は、正孔注入層や電子注入層が含まれる積層物であってもよい。
なお、有機層10は、インクジェット方式等の塗布法によって成膜される。
次いで、図7、図8に示すように、透明基板2の一方の面側における有機層10が形成された面の上方に、マスク部材30を設置する。
このマスク部材30は、透明基板2の枠状領域R1に対応し、平面視ロ字形状を呈する枠状のマスクである。
そして、マスク部材30を設置するに際して、透明基板2における枠状領域R1にマスク部材30を重ねるように配置する。
次いで、図9に示すように、マスク部材30を介して透明基板2の一方の面側に、蒸着法やスパッタリング法により、例えば、バリウム(Ba)を成膜し、第二電極としての対向電極)の一部を成す第一カソード層12を形成する。第一カソード層材料としては、Baの他にも、Ca、Li、Mg等、第1族元素および第2族元素に属する金属のうち少なくとも1つを含む金属を用いることができる。
更に、マスク部材30を介して透明基板2透明基板2の一方の面側に、蒸着法やスパッタリング法により、例えば、アルミニウム(Al)を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成す第二カソード層14を形成する。
この第一カソード層12と第二カソード層14とが積層された金属層が対向電極となって、EL素子のカソード電極になる。
なお、マスク部材30が重なっている枠状領域R1には、第一カソード層12及び第二カソード層14は形成されず、そのマスク部材30の上面に、第一カソード層12と同材料の層11と、第二カソード層14と同材料の層13が形成される。
特に、透明基板2の一方の面側に対向電極をなす第一カソード層12と第二カソード層14を形成する際に、図9に示すように、逆テーパ隔壁9の上面9aがマスクとなって、その逆テーパ隔壁9の底面側周囲のオーバーコート層6上には、第一カソード層12及び第二カソード層14は形成されない。
つまり、逆テーパ隔壁9の底面より幅が広いオーバーハング状の上面9aがマスクとして機能し、その上面9aが庇(ひさし)となって覆う逆テーパ隔壁9の底面側の周囲におけるオーバーコート層6上には、第一カソード層12及び第二カソード層14が形成されないようになっている。
なお、逆テーパ隔壁9の上面9aには、第一カソード層12と同材料の層11と、第二カソード層14と同材料の層13が形成される。
そして、図9に示すように、逆テーパ隔壁9によって、対向電極となる第一カソード層12及び第二カソード層14が、逆テーパ隔壁9の内側と外側とに分断されるようになっている。
この逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12と第二カソード層14は、有機層10に積層されて、EL素子の発光に寄与するカソード電極として機能する。そして、画素電極3と、有機層10と、逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12及び第二カソード層14の対向電極とによって、EL素子が構成される。
また、逆テーパ隔壁9の内側に形成されたカソード層は、EL素子の発光に寄与しない内側第一カソード層12a、内側第二カソード層14aとなる。
なお、第一カソード層12をなすバリウムは、比較的仕事関数の低い材料であって、電子注入性がよい材料であるので、この第一カソード層12は、安定したカソード電極(対向電極)を構成するうえで有効に機能する。
次いで、図10、図11に示すように、マスク部材30を外した後、逆テーパ隔壁9の内側となる駆動軸領域R2にセンターシール15を形成し、透明基板2の枠状領域R1に、矩形状の枠状シール16を形成する。
このセンターシール15と枠状シール16は、例えば、粘着性を有するシール材であって、基板などの平坦面に密着し、対向する基板や基材同士を接合させる接着性を有している。
次いで、図12に示すように、センターシール15および枠状シール16の上からカバー17を被せて、センターシール15および枠状シール16にカバー17を接合し、透明基板2とカバー17の間を密封する。
なお、透明基板2とカバー17の間の空間は窒素置換されて、封止されていることが好ましい。
次いで、図13に示すように、ドリルによって透明基板2とセンターシール15とカバー17に穿孔を施して、センターシール15の直径よりも小さい直径のセンターホール18を形成する。ここで、穿孔する箇所は、逆テーパ隔壁9の内側であって、センターシール15の中央部と重なる部分である。このセンターホール18の内壁面には、透明基板2とオーバーコート層6とセンターシール15とカバー17の断面と、逆テーパ隔壁9の内側に分断された第一カソード層12a及び第二カソード層14aの断面が現れ、それら断面が露出した状態となる。
なお、センターシール15がリング状であって、予めセンターホール18に相当するリング穴が形成されている場合には、そのリング穴と重なる部分において、透明基板2やカバー17に穿孔を施す。
また、カバー17において指針駆動軸が配される領域に予め孔が形成されていてもよく、その場合、透明基板2やセンターシール15に形成されたセンターホール18にカバー17の孔を位置合わせして取り付ければよい。
以上により、指針盤用発光パネル1が完成する。
そして、図14、図15に示すように、指針駆動部21の駆動軸22をセンターホール18に通して、指針駆動部21をカバー17に取り付ける。さらに、駆動軸22の先端側に指針23を取り付ける。指針駆動部21は指針23を回転させるものである。
このように、指針盤用発光パネル1に、駆動軸22を備える指針駆動部21や指針23を取り付けることによって、この指針盤用発光パネル1をマトリクスディスプレイ機能を有する指針盤として、時計や計測器などの機器100に用いることができる。
なお、指針23の数、指針駆動部21の動作等は、指針盤用発光パネル1の用途(例えば、時計、計測器など)に応じたものである。また、その用途に応じて、指針23の背面側となる透明基板2などに、指針23が指す値を示す時字指標や目盛などを設けることが好ましい。
以上のように、指針盤用発光パネル1の製造過程において、透明基板2の一方の面側に成膜される第一カソード層12および第二カソード層14を、駆動軸領域R2に形成した逆テーパ隔壁9によって、その逆テーパ隔壁9の内外に分断することができ、逆テーパ隔壁9の外側に成膜されてEL素子の発光に寄与する第一カソード層12及び第二カソード層14と、逆テーパ隔壁9の内側に成膜されてEL素子の発光に寄与しない第一カソード層12a及び第二カソード層14aと、を形成することができる。
また、指針盤用発光パネル1における透明基板2とカバー17を、枠状シール16とセンターシール15によって貼付し、その透明基板2とカバー17の間を密封することで、逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12及び第二カソード層14と、画素電極3と、有機層10とが、外気と接触してしまわないようにすることができる。
そして、逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12及び第二カソード層14は、画素電極3と有機層10とともに、指針盤用発光パネル1におけるEL素子を構成することとなって、指針盤用発光パネル1がマトリクスディスプレイ機能を有する指針盤となる。
ここで、逆テーパ隔壁9の内側に形成された第一カソード層12a及び第二カソード層14aは、指針盤用発光パネル1に設けられたセンターホール18の内壁面にその断面を露出してしまうので、外気と接触してしまうこととなる。
そして、バリウムからなる第一カソード層12aは、酸化しやすく、比較的劣化し易いものであるので、その断面からパネル1の内部に向かって劣化が進行してしまうことがある。
ただし、この指針盤用発光パネル1において、センターホール18の内壁面に露出してしまっている内側第一カソード層12aは、逆テーパ隔壁9によって、EL素子を構成する逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12と分断されているので、内側第一カソード層12aに劣化が生じた場合でも、その劣化の伝播は内側第一カソード層12aのみで終わり、逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12には伝わらないようになっている。
つまり、逆テーパ隔壁9の外側に配されている第一カソード層12及び第二カソード層14や、画素電極3や有機層10は、外気に接触することがないうえに、センターホール18の内壁面からの劣化の進行があった場合でもその劣化は伝播されないので、指針盤用発光パネル1のEL素子(例えば、第一カソード層12及び第二カソード層14、画素電極3、有機層10から構成されるEL素子)は損傷せず、EL素子の発光機能や指針盤用発光パネル1の表示機能が低下してしまうことはない。
従って、本発明に係る指針盤用発光パネルの製造方法によれば、機能低下を招き難い指針盤用発光パネル1を製造することができる。
なお、以上の実施の形態においては、指針盤用発光パネル1における透明基板2とカバー17を、枠状シール16とセンターシール15によって貼付して、指針盤用発光パネル1のEL素子(例えば、第一カソード層12及び第二カソード層14、画素電極3、有機層10から構成されるEL素子)が、外気と接触しないようにしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図16に示す指針盤用発光パネル1aように、透明基板2の一方の面側に形成された第一カソード層12及び第二カソード層14を被覆するように、その透明基板2の一方の面の全域を薄膜19で覆う加工を施して、薄膜封止した後にセンターホール18を形成するようにしてもよい。
また、以上の実施の形態においては、センターホール18の形成前にカバー17を重ねて接合したが、カバー17を重ねずに透明基板2やセンターシール15にセンターホール18をドリルにより形成してもよい。そして、センターホール18の形成後にカバー17を重ねるようにすればよい。その場合、センターホール18の形成後に重ねるカバー17の中央部に予め孔を形成しておき、そのカバー17を重ねて接合する際には、カバー17の孔をセンターホール18に位置合わせするようにする。
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
指針盤用発光パネルの製造方法において、透明基板に画素電極を形成した状態を示す平面図である。 図1のII−II線に沿った断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、透明基板にバンクを形成した状態を示す断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、透明基板に逆テーパ隔壁を形成した状態を示す平面図である。 図4のV−V線に沿った断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、透明基板に有機層を形成した状態を示す断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、マスクを設置した状態を示す平面図である。 図7のVIII−VIII線に沿った断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、カソード層を形成した状態を示す断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、シール材を形成した状態を示す平面図である。 図10のXI−XI線に沿った断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、カバーを配設した状態を示す断面図である。 指針盤用発光パネルの製造方法において、センターホールを形成した状態を示す断面図であり、本発明に係る指針盤用発光パネルを示している。 指針盤用発光パネルに指針等を取り付けた状態を示す平面図である。 図14のXV−XV線に沿った断面図である。 指針盤用ELパネルの変形例を示す断面図である。 従来の指針盤用ELパネルを示す断面図である。
符号の説明
1、1a 指針盤用発光パネル
2 透明基板(基板)
3 画素電極(第一電極)
9 逆テーパ隔壁
9a 上面(マスク)
10 有機層
12 第一カソード層(対向電極、第二電極)
14 第二カソード層(対向電極、第二電極)
15 センターシール
16 枠状シール
17 カバー
18 センターホール
19 薄膜
21 指針駆動部
22 駆動軸(指針駆動軸)
23 指針
30 マスク部材
100 機器
R1 枠状領域
R2 駆動軸領域

Claims (6)

  1. 基板の一方の面側における、指針駆動軸が配される駆動軸領域を除く範囲に、第一電極が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
    前記基板の前記一方の面側における、前記駆動軸領域の中央側と前記第一電極の間を隔て、前記基板から離間する上面側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を呈する逆テーパ隔壁を形成する工程と、
    前記基板の前記一方の面側の前記第一電極上に有機層を形成する工程と、
    前記逆テーパ隔壁の上面をマスクとして、その逆テーパ隔壁の上面側から前記基板の前記一方の面側に第二電極を成膜する際、前記第二電極を前記逆テーパ隔壁によって前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断する工程と、
    を備えることを特徴とする指針盤用発光パネルの製造方法。
  2. 前記逆テーパ隔壁の内側となる前記駆動軸領域にセンターシールを形成する工程と、
    前記センターシールと重なる部分において、前記基板に穿孔を施す工程と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
  3. 前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せる工程と、
    前記センターシールと重なる部分において前記カバーにも穿孔を施す工程と、を備えることを特徴とする請求項2に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
  4. 前記第二電極は、第1族元素および第2族元素に属する金属のうち少なくとも1つを含む金属層を有することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
  5. 前記基板に前記カバーを被せる工程の前に、前記基板の一方の面側における周囲端部の枠状領域に枠状シールを形成する工程を備え、
    前記センターシールおよび前記枠状シールの上から、前記基板にカバーを被せることを特徴とする請求項3又は4に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
  6. 請求項1〜5の何れかに記載の指針盤用発光パネルの製造方法によって製造されることを特徴とする指針盤用発光パネル。
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