JP2010014475A - 指針盤用発光パネル及び指針盤用発光パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】指針盤用発光パネル1の製造過程において、透明基板2の一方の面側に成膜される第一カソード層12および第二カソード層14を、駆動軸領域R2に形成した逆テーパ隔壁9によって、その逆テーパ隔壁9の内外に分断することによって、逆テーパ隔壁9の外側に成膜されてEL素子の発光に寄与する第一カソード層12及び第二カソード層14と、逆テーパ隔壁9の内側に成膜されてEL素子の発光に寄与しない第一カソード層12a及び第二カソード層14aと、を形成するようにした。
【選択図】図13
Description
その露出した部分が劣化しやすい素材であると、露出部分からパネルの内部に向かって劣化が進行してしまうことがあり、そのパネルの主要部にまで劣化が伝播して損傷が生じてしまうと、ELパネルの発光などの機能が低下する不具合が生じてしまうことがある。
基板の一方の面側における、指針駆動軸が配される駆動軸領域を除く範囲に、第一電極が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
前記基板の前記一方の面側における、前記駆動軸領域の中央側と前記第一電極の間を隔て、前記基板から離間する上面側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を呈する逆テーパ隔壁を形成する工程と、
前記基板の前記一方の面側における前記第一電極上に有機層を形成する工程と、
前記逆テーパ隔壁の上面をマスクとして、その逆テーパ隔壁の上面側から前記基板の前記一方の面側に第二電極を成膜する際、前記第二電極を前記逆テーパ隔壁によって前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断する工程と、
を備えることを特徴としている。
また、好ましくは、前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せる工程と、前記センターシールと重なる部分において前記カバーにも穿孔を施す工程と、を備える。
また、好ましくは、前記第二電極は、第1族元素および第2族元素に属する金属のうち少なくとも1つを含む金属層を有する。
また、好ましくは、前記基板に前記カバーを被せる工程の前に、前記基板の一方の面側における周囲端部の枠状領域に枠状シールを形成する工程を備え、前記センターシールおよび前記枠状シールの上から、前記基板にカバーを被せる。
前記逆テーパ隔壁によって、前記第二電極が、前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断されていることを特徴としている。
また、前記逆テーパ隔壁の内側に穿孔が形成されている。
この画素電極3を形成するに際して、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う枠状の枠状領域R1と、透明基板2の一方の面側における中心側であり指針駆動軸が配される矩形状の駆動軸領域R2とを除く範囲に、これら画素電極3を二次元アレイ状に配列するように形成する。
画素電極3は、透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)又はカドミウム−錫酸化物(CTO)からなる。なお、画素電極3が、EL素子のアノード電極になる。
トランジスタ層4は、アクティブマトリクス駆動回路を構成するものであって、アクティブマトリクス駆動回路は複数の走査線、走査線に交差する複数の信号線、走査線に沿う複数の電圧供給線、信号線と走査線の各交差部に配置された複数の薄膜トランジスタ5等を有するものである。このアクティブマトリクス駆動回路の回路構成はどのようなものであってもよく、1画素につき設けられる薄膜トランジスタ5の数は本発明を限定するものでない。
このトランジスタ層4、オーバーコート層6も、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う枠状領域R1と、指針駆動軸が配される矩形状の駆動軸領域R2とを除く範囲に形成する。
なお、トランジスタ層4を形成した後に、複数の画素電極3をオーバーコート層6の上に形成してもよい。
なお、ポジ型の感光性樹脂は、所定の光が照射された部分が現像液に溶け、未露光部分のパターンが残るので、透明電極2の一方の面側にポジ型の感光性樹脂材料を堆積した後に、バンク相当部分以外を露光することで、画素電極3や枠状領域R1や駆動軸領域R2が露出するバンク8を形成することができる。
この逆テーパ隔壁9は、図4に示すように、平面視した際に、駆動軸領域R2の中心部を囲う円環形状を呈し、また、図5に示すように、断面視した際に、透明基板2から離間する上面9a側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を有している。
なお、ネガ型の感光性樹脂は、所定の光が照射された部分のパターンが残り、未露光部分のパターンが現像液に溶けるので、透明電極2の一方の面側にネガ型の感光性樹脂材料を堆積した後に、逆テーパ隔壁に相当する円形環状部分を露光することで、平面視円環形状を呈する逆テーパ隔壁9を形成することができる。
特に、ネガ型の感光性樹脂の場合、露光面側ほど光硬化が進行し易く、底面側の硬化は比較的進行し難いため、その露光面である上面側ほど幅が広くなり易く、逆テーパ形状になりやすい。
また、バンク8及び逆テーパ隔壁9の撥液処理として、フッ化炭素ガスプラズマ処理を行う。
この有機層10を成膜するに際して、発光層だけを成膜してその発光層を有機層10としてもよいし、正孔輸送層及び発光層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよい。また、有機層10は、正孔注入層や電子注入層が含まれる積層物であってもよい。
なお、有機層10は、インクジェット方式等の塗布法によって成膜される。
このマスク部材30は、透明基板2の枠状領域R1に対応し、平面視ロ字形状を呈する枠状のマスクである。
そして、マスク部材30を設置するに際して、透明基板2における枠状領域R1にマスク部材30を重ねるように配置する。
更に、マスク部材30を介して透明基板2透明基板2の一方の面側に、蒸着法やスパッタリング法により、例えば、アルミニウム(Al)を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成す第二カソード層14を形成する。
この第一カソード層12と第二カソード層14とが積層された金属層が対向電極となって、EL素子のカソード電極になる。
なお、マスク部材30が重なっている枠状領域R1には、第一カソード層12及び第二カソード層14は形成されず、そのマスク部材30の上面に、第一カソード層12と同材料の層11と、第二カソード層14と同材料の層13が形成される。
つまり、逆テーパ隔壁9の底面より幅が広いオーバーハング状の上面9aがマスクとして機能し、その上面9aが庇(ひさし)となって覆う逆テーパ隔壁9の底面側の周囲におけるオーバーコート層6上には、第一カソード層12及び第二カソード層14が形成されないようになっている。
なお、逆テーパ隔壁9の上面9aには、第一カソード層12と同材料の層11と、第二カソード層14と同材料の層13が形成される。
この逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12と第二カソード層14は、有機層10に積層されて、EL素子の発光に寄与するカソード電極として機能する。そして、画素電極3と、有機層10と、逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12及び第二カソード層14の対向電極とによって、EL素子が構成される。
また、逆テーパ隔壁9の内側に形成されたカソード層は、EL素子の発光に寄与しない内側第一カソード層12a、内側第二カソード層14aとなる。
なお、第一カソード層12をなすバリウムは、比較的仕事関数の低い材料であって、電子注入性がよい材料であるので、この第一カソード層12は、安定したカソード電極(対向電極)を構成するうえで有効に機能する。
このセンターシール15と枠状シール16は、例えば、粘着性を有するシール材であって、基板などの平坦面に密着し、対向する基板や基材同士を接合させる接着性を有している。
なお、透明基板2とカバー17の間の空間は窒素置換されて、封止されていることが好ましい。
なお、センターシール15がリング状であって、予めセンターホール18に相当するリング穴が形成されている場合には、そのリング穴と重なる部分において、透明基板2やカバー17に穿孔を施す。
また、カバー17において指針駆動軸が配される領域に予め孔が形成されていてもよく、その場合、透明基板2やセンターシール15に形成されたセンターホール18にカバー17の孔を位置合わせして取り付ければよい。
以上により、指針盤用発光パネル1が完成する。
このように、指針盤用発光パネル1に、駆動軸22を備える指針駆動部21や指針23を取り付けることによって、この指針盤用発光パネル1をマトリクスディスプレイ機能を有する指針盤として、時計や計測器などの機器100に用いることができる。
また、指針盤用発光パネル1における透明基板2とカバー17を、枠状シール16とセンターシール15によって貼付し、その透明基板2とカバー17の間を密封することで、逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12及び第二カソード層14と、画素電極3と、有機層10とが、外気と接触してしまわないようにすることができる。
そして、逆テーパ隔壁9の外側に形成された第一カソード層12及び第二カソード層14は、画素電極3と有機層10とともに、指針盤用発光パネル1におけるEL素子を構成することとなって、指針盤用発光パネル1がマトリクスディスプレイ機能を有する指針盤となる。
そして、バリウムからなる第一カソード層12aは、酸化しやすく、比較的劣化し易いものであるので、その断面からパネル1の内部に向かって劣化が進行してしまうことがある。
ただし、この指針盤用発光パネル1において、センターホール18の内壁面に露出してしまっている内側第一カソード層12aは、逆テーパ隔壁9によって、EL素子を構成する逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12と分断されているので、内側第一カソード層12aに劣化が生じた場合でも、その劣化の伝播は内側第一カソード層12aのみで終わり、逆テーパ隔壁9の外側の第一カソード層12には伝わらないようになっている。
つまり、逆テーパ隔壁9の外側に配されている第一カソード層12及び第二カソード層14や、画素電極3や有機層10は、外気に接触することがないうえに、センターホール18の内壁面からの劣化の進行があった場合でもその劣化は伝播されないので、指針盤用発光パネル1のEL素子(例えば、第一カソード層12及び第二カソード層14、画素電極3、有機層10から構成されるEL素子)は損傷せず、EL素子の発光機能や指針盤用発光パネル1の表示機能が低下してしまうことはない。
2 透明基板(基板)
3 画素電極(第一電極)
9 逆テーパ隔壁
9a 上面(マスク)
10 有機層
12 第一カソード層(対向電極、第二電極)
14 第二カソード層(対向電極、第二電極)
15 センターシール
16 枠状シール
17 カバー
18 センターホール
19 薄膜
21 指針駆動部
22 駆動軸(指針駆動軸)
23 指針
30 マスク部材
100 機器
R1 枠状領域
R2 駆動軸領域
Claims (6)
- 基板の一方の面側における、指針駆動軸が配される駆動軸領域を除く範囲に、第一電極が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
前記基板の前記一方の面側における、前記駆動軸領域の中央側と前記第一電極の間を隔て、前記基板から離間する上面側ほど幅が広くなる逆テーパ形状を呈する逆テーパ隔壁を形成する工程と、
前記基板の前記一方の面側の前記第一電極上に有機層を形成する工程と、
前記逆テーパ隔壁の上面をマスクとして、その逆テーパ隔壁の上面側から前記基板の前記一方の面側に第二電極を成膜する際、前記第二電極を前記逆テーパ隔壁によって前記逆テーパ隔壁の内側と外側とに分断する工程と、
を備えることを特徴とする指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記逆テーパ隔壁の内側となる前記駆動軸領域にセンターシールを形成する工程と、
前記センターシールと重なる部分において、前記基板に穿孔を施す工程と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せる工程と、
前記センターシールと重なる部分において前記カバーにも穿孔を施す工程と、を備えることを特徴とする請求項2に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記第二電極は、第1族元素および第2族元素に属する金属のうち少なくとも1つを含む金属層を有することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
- 前記基板に前記カバーを被せる工程の前に、前記基板の一方の面側における周囲端部の枠状領域に枠状シールを形成する工程を備え、
前記センターシールおよび前記枠状シールの上から、前記基板にカバーを被せることを特徴とする請求項3又は4に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。 - 請求項1〜5の何れかに記載の指針盤用発光パネルの製造方法によって製造されることを特徴とする指針盤用発光パネル。
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