JP2010052255A - 樹脂成型品のバリ検出装置 - Google Patents
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- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 69
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 72
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 63
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 45
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 2
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】着色樹脂で形成される樹脂成型品20に生じたバリを検出する樹脂成型品のバリ検出装置において、前記バリは、樹脂成型品20に対して突出方向が推定可能な薄膜状バリであって、該突出方向に対して略直交する方向に設置され、樹脂成型品20を撮像する撮像装置5、6と、樹脂成型品20を挟んで撮像装置5、6とは反対側に位置され、且つ撮像装置5、6の光軸から僅かにずらした位置に設置され、薄膜状バリの推定位置に対して少なくとも短波長を含む照明光を照射する照明装置7、8と、を備え、照明装置7、8から照射された照明光が樹脂成型品20で反射し、撮像装置5、6に入射した散乱光による画像を撮像し、該画像に基づいて画像処理装置10にて薄膜状バリの有無を検出する。
【選択図】図1
Description
従って、本発明は上記従来の技術の問題点に鑑み、検出が困難である薄膜状バリを精度良く検出することを可能とした樹脂成型品のバリ検出装置を提供することを目的とする。
前記バリは、前記樹脂成型品に対して突出方向が推定可能な薄膜状バリであって、
前記突出方向に対して略直交する方向に設置され、前記樹脂成型品を撮像する撮像装置と、
前記樹脂成型品を挟んで前記撮像装置とは反対側に位置され、且つ前記撮像装置の光軸から僅かにずらした位置に設置され、前記薄膜状バリの推定位置に対して少なくとも短波長を含む照明光を照射する照明装置と、を備え、
前記照明装置から照射された照明光が、前記樹脂成型品にバリがある場合そのバリで散乱され、前記撮像装置に入射した散乱光による画像を撮像し、該画像に基づいて前記薄膜状バリの有無を検出することを特徴とする。このとき、好適には、前記照明装置からの照明光が前記撮像装置に直接入射しない範囲内で、前記撮像装置と前記薄膜状バリの推定位置と前記照明装置とが略一直線上に位置するように、前記照明装置と前記撮像装置が配置する。
そこで本発明では、薄膜状バリの肉厚が薄いことを利用し、少なくとも短波長を含む照明光で照射しながら撮像装置にてバリ推定部位を撮像することによって、薄膜状バリが存在する場合にはバリの部分のみが明るく光るため、画像処理によって精度良く薄膜状バリを検出することが可能となる。
また、少なくとも短波長を含む照明光とすることで、照明光の散乱性が強くなり、撮像画像における薄膜状バリ部分の輝度が高くなり、量子化された輝度値での閾値を高く設定しても2値化で抽出し易くなる。反対に、透過性の高い赤色光では樹脂成型品が全体的に明るく撮像されるが、薄膜状バリ部分の輝度が下がり抽出し難くなるため、上記したように少なくとも短波長を含む照明光を用いることで、薄膜状バリの検出精度を向上させることが可能となる。
このように、撮像装置が焦点距離の長い光学系を有することにより視野角(画角)が狭くなり、照明装置の直接光を受光しないため撮像画像のコントラストが明瞭となり、薄膜状バリの検出精度が向上する。
さらにまた、前記照明装置から照射される照明光が、予め設定された所定範囲内を照射する角度に調整されたスポット光若しくは平行光であることを特徴とする。好適には、前記照明装置に集光レンズを取り付け、照明光が広がらないようにするとよい。
これにより、上記と同様に薄膜状バリの検出精度を向上させることが可能となる。
前記画像処理装置は、前記撮像画像を2値化処理し、処理した画像の高輝度領域が、予め設定された面積値又は面積割合又は樹脂成型品の端面から垂直方向の幅以上である時に、前記薄膜状バリが存在していると判定する薄膜状バリ検出部を備えることを特徴とする。
このように、画像処理装置にて、撮像画像を2値化処理し、高輝度領域の面積値又は面積割合又は樹脂成型品の端面から垂直方向の幅に基づいて薄膜状バリの有無を判定することにより、上記した照明光により明るく光らせた薄膜状バリのみを確実に検出することが可能となる。
前記撮像装置にて撮像された撮像画像が入力される画像処理装置を備え、
前記画像処理装置は、前記欠けの存在しない樹脂成型品の形状データを予め記憶しておき、前記撮像画像と前記形状データとのパターンマッチングにより前記欠けの検出を行う欠け検出部を備えることを特徴とする。
このように、画像処理装置にて、撮像画像を形状データとパターンマッチングすることにより、薄膜状バリに加えて樹脂成型品の欠けも同時に検出することが可能となる。
また、撮像装置が焦点距離の長い光学系を有することにより薄膜状バリの検出精度が向上する。同様に、前記照明装置の照明光を、予め設定された所定範囲内を照射する角度に調整されたスポット光若しくは平行光とすることにより薄膜状バリの検出精度が向上する。
さらにまた、画像処理装置にて、撮像画像を形状データとパターンマッチングすることにより、薄膜状バリに加えて樹脂成型品の欠けも同時に検出することが可能となる。
図1は本発明の一実施形態を示すバリ検出装置の全体構成図、図2は図1に示したバリ検出装置の要部拡大図、図3は図2(b)のB部拡大図、図4は検査対象であるリング状成型品を示す図、図5は本実施形態のバリ検出装置における処理フローを示す図である。
本実施形態に示す樹脂成型品は、着色樹脂で形成されたものに限定し、透明の樹脂成型品を除く。尚、半透明(例えば乳白色)の樹脂成型品は含む。本実施形態では、特に、射出成型で形成された樹脂成型品に好適に適用される。検出対象であるバリは、樹脂成型品における発生部位、及び樹脂成型品に対して突出方向が推定可能な薄膜状バリとする。
図1に示すように、バリ検出装置1は、検査対象であるリング状成型品20を保持し、必要に応じて移動させる保持機構と、該リング状成型品20を撮像する撮像装置5、6と、リング状成型品20を挟んで撮像装置5、6とは反対側に設置された照明装置7、8と、前記撮像装置5、6に電気的に接続された画像処理装置10と、前記照明装置6、7に接続された照明用アンプ12と、該照明用アンプ12に接続されるとともに前記画像処理装置10に接続されたコントローラ11と、を備える。
尚、本実施形態では検出対象として着色樹脂製のリング状成型品20を一例として示しているが、形状等はこれに限定されるものではない。図4にリング状成型品を示す。図4(a)は平面図、(b)は側面図である。リング状成型品20は円筒形の樹脂成型品であり、円周面には外側から内側に向けて貫通した穴部21が所定ピッチで複数設けられた形状を有している。薄膜状バリ22は、この穴部21の内面に生じる。
即ち、バリ突出方向と撮像装置5の撮像方向との角度θ1が略90°となるようにする。また、該撮像装置5、6は、焦点距離が長い光学系を有することが好ましく、さらに好適には、焦点距離が35〜80mmであるとよい。
リング状成型品20のように、形状が複雑で薄膜状バリが生じる方向が複数ある場合には、撮像装置と照明装置からなる撮像ユニットを複数設けるとよい。
前記コントローラ11は、照明用アンプ12を制御して照明装置7、8の点灯等を調整するものである。
まず、リング状成型品20の形状及び成型方法に基づいて、バリ突出方向を推定する(S1)。推定されたバリ突出方向に対して略直交する撮像方向となるように撮像装置5、6を配置するとともに、該撮像装置5、6の光軸から僅かにずれた位置に照明装置7、8を配置する。装置類のセッティングが終了したらリング状成型品20を保持部4に保持させ、検査位置までレール2上を移動させ、撮像装置5、6及び照明装置7、8に対応した位置にバリの推定位置がくるように、リング状成型品20をサーボモータ3で回動させた後、これを停止して撮像装置5、6により撮像を行う(S2)。このとき、照明装置7、8により少なくとも短波長を含む照明光をバリ推定位置に照射する。撮像後、サーボモータ3で回動させて次の撮像部位を撮像し、全ての撮像部位が終了したらレール2上をリリース位置まで移動させ、リング状成型品20を放す。
即ち、薄膜状バリの無い樹脂成型品は、照明装置7、8により照明光を照射した場合、端部を構成する面によって光は反射するが、光と反対方向から見ると影になり、撮像装置5、6により画像を取り込んだ場合暗くなる。尚、端面のエッジも光の波長レベルでは丸みを帯びた形状となっている場合が多く、エッジによる回折光は殆ど無い。薄膜状バリがあると、照明光を照射した場合、屈折率の揺らぎ或いは表面の微小な凹凸を持った薄膜によって光が散乱され、撮像装置5、6で画像を取り込むと薄膜状バリの部分だけ明るく光って見える。
高輝度領域≧設定面積である場合には(S5)、薄膜状バリが存在する(バリ有り)と判定する(S8)。高輝度領域<設定面積である場合には、次いで画像処理装置10の欠け判定部(不図示)にてリング状成型品20の欠けの有無を判定する。これは、欠けの存在しない樹脂成型品の形状データを画像処理装置20に予め記憶しておき、撮像画像と形状データとをパターンマッチング処理する(S6)。そして撮像画像が形状データと一致するか否かを判定し(S7)、一致しない場合には欠けが存在すると判定する(S8)。一致する場合には薄膜状バリ及び欠けが存在しない(バリ/欠け無し)と判定する(S9)。尚、ここではバリ検出した後に欠け検出を行うフローにつき説明したが、欠け検出した後にバリ検出するフロー、或いはバリと欠けを同時に検出するフローとしてもよい。
薄膜状バリ若しくは欠けが存在する場合には、コントローラ11等を介してNG信号として出力し、このNG信号を、バリ検出装置1の後段に設けられた排除装置(不図示)での判断用信号とするとよい。排除装置とは、薄膜状バリ若しくは欠けが存在するリング状成型品20を製造過程から取り除く装置である。
また、少なくとも短波長を含む照明光とすることで、照明光の散乱性が強くなり、撮像画像における薄膜状バリ部分の輝度が高くなり、量子化された輝度値での閾値を高く設定しても2値化で抽出し易くなる。反対に、透過性の高い赤色光では樹脂成型品が全体的に明るく撮像されるが、薄膜状バリ部分の輝度が下がり抽出し難くなるため、上記したように少なくとも短波長を含む照明光を用いることで、薄膜状バリの検出精度を向上させることが可能となる。
さらに、撮像装置が焦点距離の長い光学系を有することにより視野角(画角)が狭くなり、照明装置の直接光を受光しないため撮像画像のコントラストが明瞭となり、薄膜状バリの検出精度が向上する。
同様に、前記照明装置の照明光を、予め設定された所定範囲内を照射する角度に調整されたスポット光若しくは平行光とすることにより薄膜状バリの検出精度が向上する。
さらにまた、画像処理装置にて、撮像画像を形状データとパターンマッチングすることにより、薄膜状バリに加えて樹脂成型品の欠けも同時に検出することが可能となる。
2 レール
3 サーボモータ
4 保持部
5、6 撮像装置
7、8 照明装置
10 画像処理装置
11 コントローラ
12 照明用アンプ
20 リング状成型品
21 穴部
22 薄膜状バリ
Claims (6)
- 着色樹脂で形成される樹脂成型品に生じたバリを検出する樹脂成型品のバリ検出装置において、
前記バリは、前記樹脂成型品に対して突出方向が推定可能な薄膜状バリであって、
前記突出方向に対して略直交する方向に設置され、前記樹脂成型品を撮像する撮像装置と、
前記樹脂成型品を挟んで前記撮像装置とは反対側に位置され、且つ前記撮像装置の光軸から僅かにずらした位置に設置され、前記薄膜状バリの推定位置に対して少なくとも短波長を含む照明光を照射する照明装置と、を備え、
前記照明装置から照射された照明光が、前記樹脂成型品にバリがある場合そのバリで散乱され、前記撮像装置に入射した散乱光による画像を撮像し、該画像に基づいて前記薄膜状バリの有無を検出することを特徴とする樹脂成型品のバリ検出装置。 - 前記撮像装置は、焦点距離が長い光学系を有することを特徴とする請求項1記載の樹脂成型品のバリ検出装置。
- 前記撮像装置は、焦点距離が35〜80mmであることを特徴とする請求項1記載の樹脂成型品のバリ検出装置。
- 前記照明装置から照射される照明光が、予め設定された所定範囲内を照射する角度に調整されたスポット光若しくは平行光であることを特徴とする請求項1記載の樹脂成型品のバリ検出装置。
- 前記撮像装置にて撮像された撮像画像が入力される画像処理装置を備え、
前記画像処理装置は、前記撮像画像を2値化処理し、処理した画像の高輝度領域が、予め設定された面積値又は面積割合又は樹脂成型品の端面から垂直方向の幅以上であるときに、前記薄膜状バリが存在していると判定する薄膜状バリ検出部を備えることを特徴とする請求項1記載の樹脂成型品のバリ検出装置。 - 前記薄膜状バリとともに前記樹脂成型品に生じた欠けを検出する樹脂成型品のバリ検出装置であって、
前記撮像装置にて撮像された撮像画像が入力される画像処理装置を備え、
前記画像処理装置は、前記欠けの存在しない樹脂成型品の形状データを予め記憶しておき、前記撮像画像と前記形状データとのパターンマッチングにより前記欠けの検出を行う欠け検出部を備えることを特徴とする請求項1若しくは請求項5記載の樹脂成型品のバリ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008219222A JP5302600B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | 樹脂成型品のバリ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008219222A JP5302600B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | 樹脂成型品のバリ検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010052255A true JP2010052255A (ja) | 2010-03-11 |
JP5302600B2 JP5302600B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42068692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008219222A Active JP5302600B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | 樹脂成型品のバリ検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5302600B2 (ja) |
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