JP2009290159A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】入力装置からの画面操作を行うことなく、表示装置に所定の閲覧画面を自動的に表示させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】入力装置１２０からの入力を受け付けると共に表示装置１３０に表示させる画面の内容を制御する画面制御モジュール１００と、画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された未操作待ち時間が経過したらその旨を画面制御モジュールに通知する未操作検出タイマ１４０ａと、を備え、画面制御モジュールは、未操作検出タイマを開始させた後にイベント待ち状態となり、イベント待ち状態にて入力装置からの入力がないまま、未操作検出タイマから通知があった場合、所定の閲覧画面を表示装置に表示させてイベント待ち状態に戻る。
【選択図】図４

Description

本発明は、入力装置及び表示装置に接続される基板処理装置に関する。

基板処理装置は、例えば、基板を処理する処理室、処理室内外に基板を搬送する搬送手段、処理室内に各種ガスを供給するガス供給ライン、処理室内を排気する排気ライン、処理室内の基板を加熱するヒータ、コンピュータとして構成された制御手段等を備えている。制御手段は、予め登録された基板処理のレシピに従って基板処理装置の各構成部材の動作を制御する制御モジュールと、画面制御モジュールとを備えている。画面制御モジュールは、キーボードやマウス等の入力装置と、ＣＲＴやＦＰＤ等の表示装置とにそれぞれ接続され、入力装置からの入力（例えば操作指示の入力等）を受け付けると共に表示装置に表示させる画面の内容を制御するように構成されている。

上述の画面制御モジュールは、基板処理装置に各種設定を行う設定画面及び基板処理装置の状態や基板処理の状況を表示する閲覧画面を表示装置に表示させるように構成されている。基板処理装置の運用前（基板処理の実施前）は、設定画面を表示装置に表示させる場合が多く、基板処理装置の運用開始後（基板処理の実施中）は、閲覧画面を表示装置に表示させる場合が多い。しかしながら、従来の基板処理装置においては、閲覧画面を表示装置に表示させるには入力装置から所定の画面操作を行う必要があった。従って、基板処理の実施中において操作員が基板処理装置から離れている場合には、操作員が基板処理装置の入力装置の設置場所まで移動して操作を行わなければならず、利便性が低下してしまう場合があった。

そこで本発明は、基板処理の実施中において、入力装置からの画面操作を行うことなく、表示装置に所定の閲覧画面を自動的に表示させることが可能な基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、入力装置及び表示装置に接続される基板処理装置であって、前記入力装置からの入力を受け付けると共に前記表示装置に表示させる画面の内容を制御する画面制御モジュールと、前記画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された未操作待ち時間が経過したらその旨を前記画面制御モジュールに通知する未操作検出タイマと、を備え、前記画面制御モジュールは、前記未操作検出タイマを開始させた後にイベント待ち状態となり、前記イベント待ち状態にて前記入力装置からの入力がないまま、前記未操作検出タイマから通知があった場合、所定の閲覧画面を前記表示装置に表示させて前記イベント待ち状態に戻る基板処理装置が提供される。

本発明にかかる基板処理装置によれば、基板処理の実施中において、入力装置からの画面操作を行うことなく、表示装置に所定の閲覧画面を自動的に表示させることが可能となる。

まず、参考までに、従来の基板処理装置における画面制御モジュールの動作を、図面を参照しながら説明する。図１は、従来の基板処理装置の制御手段が備える画面制御モジュ
ール、及び制御モジュールのブロック構成図である。図２は、従来の画面制御モジュールが表示装置に表示させる各種画面の種別を例示する概略図である。図３は、従来の画面制御モジュールの動作を例示するフロー図である。

図１に示すように、画面制御モジュール１０は、キーボード１２ａやマウス１２ｂ等の入力装置１２とＣＲＴ等の表示装置１３とにそれぞれ接続されていると共に、基板処理装置を制御する制御モジュール１１とデータ交換可能なように接続されている。画面制御モジュール１０は、入力装置１２から操作指示等の入力を受け付けて制御モジュール１１に送信すると共に、基板処理装置の状態を示す各種情報を制御モジュール１１から受信して表示装置１３に表示させるように構成されている。なお、制御モジュール１１は、画面制御モジュール１０から受信した操作指示、及び予め制御手段の外部記憶装置に格納されているレシピ情報等に基づいて、基板処理装置の各構成部材の動作を制御するように構成されている。

図２に示すように、画面制御モジュール１０は、基板処理装置に対して例えば温度設定や流量設定などの各種設定を行うための設定画面群１３ａと、基板処理装置の状態や基板処理工程の進行状態を監視するための閲覧画面群１３ｂとを表示装置１３に表示させるように構成されている。

設定画面１３ａは、例えば、基板処理のレシピ条件（基板の搬送順序、基板処理工程の順序、各基板処理工程の処理時間等）を設定する「レシピ設定画面」、ガス供給ラインや排気ラインに設けられたバルブの開閉シーケンスを設定する「バルブ制御設定画面」、ガス供給ラインに設けられた流量制御手段としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）の動作（開度）を設定する「ＭＦＣ制御設定画面」、ヒータの温度を設定する「温度制御設定画面」等の各種画面から構成されている。

また、閲覧画面群１３ｂは、例えば、基板処理装置の状態や基板の搬送位置や基板処理工程の進行状況等を表示する「運転状態閲覧画面」、処理室内やヒータの温度を表示する「温度閲覧画面」、処理室内の圧力や処理室内に供給されるガス種別毎の流量などを表示する「圧力・ガス閲覧画面」等の各種画面から構成されている。

これらの各種画面は、入力装置１２からの画面操作に基づいて、表示装置１３に切り替えて表示可能なように構成されている。

図３に示すように、従来の画面制御モジュール１０は、所定の初期画面を表示装置１３に表示する初期処理を実行した後（Ｓ１）、所定のイベントの発生を待つ「イベント待ち状態」となる（Ｓ２）。そして、入力装置１２からの入力があった場合には、かかる入力内容に応じた画面更新処理（例えば、設定画面１３ａの表示、閲覧画面１３ｂの表示等）を行って「イベント待ち状態」に戻る（Ｓ３）。また、制御モジュール１１からの通知（例えば、基板処理の終了やヒータの温度変化等を通知するアラーム通知）があった場合には、通知内容に応じた画面更新処理（例えば閲覧画面１３ｂの表示内容の更新）を行って「イベント待ち状態」に戻る（Ｓ４）。また、終了イベント（画面制御モジュール１０に対する終了命令など）があった場合には動作を終了させる。

上述したように、基板処理装置の運用前（基板処理の実施前）は、設定画面１３ａを表示装置１３に表示させる場合が多く、基板処理装置の運用開始後（基板処理の実施後）は、閲覧画面１３ｂを表示装置１３に表示させる場合が多い。しかしながら、上述したように、従来の基板処理装置においては、閲覧画面１３ｂを表示させるには入力装置１２から所定の画面操作を行う必要があった。従って、操作員が基板処理装置から離れている場合には操作員が基板処理装置の入力装置１２の設置場所まで移動して操作を行わなければな
らず、利便性が低下してしまう場合があった。

そこで発明者等は、基板処理の実施中において、入力装置１２からの画面操作を行うことなく、表示装置１３に閲覧画面１３ｂを自動的に表示させる方法について鋭意研究を行った。その結果、画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された所定の時間が経過したらその旨を画面制御モジュールに通知するタイマを備えることにより、上述の課題を解決可能であるとの知見を得た。本発明は、発明者等が得たかかる知見を基になされた発明である。

以下に、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。

図４は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置が備える画面制御モジュール及び制御モジュールのブロック構成図である。図５は、本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールが表示装置に表示させる設定画面及び閲覧画面の種別を例示する概略図である。図６は、本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールが表示装置に表示させる閲覧設定画面を例示する概略図である。図７は、本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールの動作を例示するフロー図である。図８は、本発明の一実施形態にかかる「閲覧画面表示の開始処理」の動作を例示するフロー図である。図９は、本発明の一実施形態にかかる「閲覧画面の切替処理」の動作を例示するフロー図である。図１０は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成を例示する概略図である。

（１）基板処理装置の構成
まず、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成例を説明する。

本実施形態にかかる基板処理装置は、図１０に示すように、複数のチャンバが搬送室の回りに星状に配列されたクラスタ型基板処理装置として構成されている。本実施形態にかかる基板処理装置は、真空側と大気側とに分れている。

（真空側の構成）
本実施形態にかかる基板処理装置の真空側には、真空気密可能な真空搬送室ＴＭと、予備室としてのバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２と、処理炉としてのプロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２とが設けられている。

真空搬送室ＴＭ内には、真空搬送手段としての真空ロボットＶＲが設けられている。真空ロボットＶＲは、基板としてのウエハＷを基板載置部であるアームに載せ、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２とプロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２との間で相互に搬送するように構成されている。また、真空ロボットＶＲは、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２内やバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内のウエハＷの取り出し動作を行った後、それぞれ所定の位置にアームを戻すように構成されている。

真空ロボットＶＲのアームが戻る前記所定の位置の周辺には、アーム上におけるウエハＷの有無を検知する基板検知手段としてのウエハ有無センサＳＡが設けられている。なお、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２内からウエハＷの取り出し動作を行った後に真空ロボットＶＲのアームが戻る所定の位置と、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内からウエハＷの取り出し動作を行った後に真空ロボットＶＲのアームが戻る所定の位置とは異なる。そのため、ウエハ有無センサＳＡは、それぞれの所定の位置に対応して少なくとも２個設けられている。

さらに、真空搬送室ＴＭ内におけるプロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２の前の任意の位置（ゲートバルブ近傍）には、ウエハＷの有無を検知する基板検知手段としてのウエハ飛び
出しセンサＳＢがそれぞれ設けられている。ウエハ飛び出しセンサＳＢは、真空ロボットＶＲによってプロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２内に搬入されたウエハＷの位置ズレを検知するように構成されている。ウエハ飛び出しセンサＳＢによる検知は、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２に設けられたゲートバルブを閉じる前に行われ、ウエハＷは基板処理装置の損傷を抑制するように、ウエハＷの位置ズレがない場合にのみゲートバルブを閉めるように構成されている。

プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２の内部は、例えばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等の化学反応による成膜や、酸化膜、窒化膜の形成など、ウエハＷに付加価値を与える処理室として構成されている。プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２は、図示しないが、処理室内に各種ガスを供給するガス供給ライン、処理室内を排気する排気ライン、プラズマ放電機構、処理室内の基板を加熱するヒータ等を備えている。

バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２は、真空搬送室ＴＭ内へウエハＷを搬送するための予備室として、あるいは真空搬送室ＴＭ内からウエハＷを搬送するための予備室として機能する。バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内部には、ウエハＷが載置される載置部がそれぞれ設けられている。かかる載置部には、必要に応じて載置するウエハＷの枚数を調整可能なように構成されている。また、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の内部には、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内におけるウエハＷの有無を検知する基板検知手段としてのウエハ有無センサＳＣがそれぞれ設けられている。ウエハ有無センサＳＣは、例えば、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の載置部にウエハＷが１枚でも存在していればウエハＷが存在する旨の検知を行うように構成されている。ウエハ有無センサＳＣによるウエハＷの検知は、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２内のウエハＷや真空ロボットＶＲ上のウエハＷをバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内に搬入する前に行われる。すなわち、後述する制御手段ＣＮＴは、ウエハ有無センサＳＣを用いてバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内にウエハＷを搬入させることができるかどうか（すなわち空の載置部が存在するか否か）を検知し、ウエハＷが存在する旨の検知がなされたバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内にはウエハＷを搬入させないように構成されている。

バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２は、それぞれゲートバルブを介して真空搬送室ＴＭと連通している。かかるゲートバルブの開閉制御を行うことにより、真空搬送室ＴＭ内の真空気密を保持したまま、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２と後述する大気ロボットＡＲとのウエハＷの搬送を行うことが出来る。

（大気側の構成）
一方、本実施形態にかかる基板処理装置の大気側には、大気搬送ユニットとしての大気ロボットＡＲと、基板収容部としてのロードポートＬＰ１，ＬＰ２と、が設けられる。

ロードポートＬＰ１，ＬＰ２上には、複数枚のウエハＷを収納することが可能なように構成された基板収納容器としてのポッドＰＤ１、ＰＤ２がそれぞれ載置される。基板収納容器としてのポッドＰＤ１，ＰＤ２内には、ウエハＷをそれぞれ収納する収納部としてのスロットが複数設けられている。

大気ロボットＡＲは、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２とポッドＰＤ１，ＰＤ２との間で、基板としてのウエハＷの搬送を相互に行う。大気ロボットＡＲも、真空ロボットＶＲと同様に基板載置部であるアームを有する。このアームは、例えば、複数枚のウエハＷを一度に保持して搬送可能なように構成されている。

バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２とロードポートＬＰ１，ＬＰ２との間であっ
て、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の前の任意の位置（ゲートバルブ近傍）や、ロードポートＬＰ１，ＬＰ２の前の任意の位置には、ウエハＷの有無を検知する基板検知手段としてウエハ有無センサＳＤがそれぞれ設けられている。ウエハ有無センサＳＤは、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２、ロードポートＬＰ１，ＬＰ２に対応してそれぞれ設けられている。ウエハ有無センサＳＤは、例えば、ロードポートＬＰ１からバキュームロックチャンバＶＬ１までの間でウエハＷを搬送する際に、大気ロボットＡＲのアーム上におけるウエハＷの有無を検知するよう構成されている。

（制御手段の構成）
上述の基板処理装置の各構成部は、制御手段ＣＮＴにより制御される。図１１に、制御手段ＣＮＴの構成例を示す。制御手段ＣＮＴは、統括制御コントローラ９０と、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２と、画面制御モジュール１００と、タイマ制御モジュール１４０と、未操作検出タイマ１４０ａと、閲覧表示切替タイマ１４０ｂとを備えている。統括制御コントローラ９０及びプロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２によって、基板処理装置の各構成部材の動作を制御する制御モジュール１１０が構成される。

統括制御コントローラ９０は、真空ロボットＶＲ、大気ロボットＡＲ、ゲートバルブＧ１〜Ｇ４、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２にそれぞれ接続され、真空ロボットＶＲ及び大気ロボットＡＲの動作、ゲートバルブＧ１〜Ｇ４の開閉動作、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内部の排気動作を制御するように構成されている。また、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２は、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２が備えるＭＦＣ５１、ＡＰＣ５２、温度調整器５３、バルブＩ／Ｏ５４等にそれぞれ接続され、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２へのガス供給ライン・排気ライン、温度制御（ヒータ）、プラズマ放電機構、冷却チャンバＣＳ１，ＣＳ２の冷却機構等の各動作を制御するように構成されている。なお、統括制御コントローラ９０と、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２とは、例えば内部バスやＬＡＮ回線等により相互にデータ交換可能なように接続されている。

図１１及び図４に示すように、画面制御モジュール１００は、キーボード１２０ａやマウス１２０ｂ等の入力装置１２０と、ＣＲＴやＦＰＤ等の表示装置１３０とにそれぞれ接続されていると共に、内部バスやＬＡＮ回線等により基板処理装置を制御する制御モジュール１１０（すなわち統括制御コントローラ９０及びプロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２）とデータ交換可能なように接続されている。画面制御モジュール１００は、入力装置１２０から操作指示等の入力を受け付けて制御モジュール１１０に送信すると共に、基板処理装置の状態を示す各種情報を制御モジュール１１０から受信して表示装置１３０に表示させるように構成されている。

具体的には、画面制御モジュール１０は、図５に示すように、基板処理装置に対して例えば温度設定や流量設定などの各種設定を行うための設定画面群１５０と、基板処理装置の状態や基板処理工程の進行状態を監視するための閲覧画面群１６０とを表示装置１３０に表示させるように構成されている。

設定画面群１５０は、例えば、基板処理のレシピ条件（基板の搬送順序、基板処理工程の順序、各基板処理工程の処理時間等）を設定するレシピ設定画面１５１、ガス供給ラインや排気ラインに設けられたバルブの開閉シーケンスを設定するバルブ制御設定画面１５２、ガス供給ラインに設けられた流量制御手段としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）の動作（開度）を設定するＭＦＣ制御設定画面１５３、ヒータの温度を設定する温度制御設定画面１５４、及び閲覧設定画面１５５等の各種画面群から構成されている。なお、閲覧設定画面１５５については後述する。

閲覧画面群１６０は、例えば、基板処理装置の状態や基板の搬送位置や基板処理工程の進行状況等を表示する運転状態閲覧画面１６１、処理室内やヒータの温度を表示する温度閲覧画面１６２、処理室内の圧力や処理室内に供給されるガス種別毎の流量などを表示する圧力・ガス閲覧画面１６３等の各種画面群から構成されている。

設定画面群１５０の各構成画面１５１〜１５５、及び閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３には、それぞれユニークなＩＤ（画面ＩＤ）が割り当てられている。すなわち、画面ＩＤを特定することにより、設定画面群１５０の各構成画面１５１〜１５５、あるいは閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３を特定することが可能なように構成されている。

上述の閲覧設定画面１５５は、入力装置１２０からの入力がないまま所定の時間が経過した場合に実施する閲覧表示動作に関する各種設定を行う画面である。閲覧設定画面１５５には、表示画面選択表１５５ａ、マニュアル実行ボタン１５５ｂ、未操作待ち時間設定欄１５５ｃ、保存ボタン１５５ｄ、キャンセルボタン１５５ｅが設けられている。未操作待ち時間設定欄１５５ｃには、後述する未操作検出タイマ１４０ａによって参照される「未操作待ち時間」を入力可能なように構成されている。また、表示画面選択表１５５ａの画面ＩＤ欄には、閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３の「画面ＩＤ」を入力可能なように構成されている。また、表示画面選択表１５５ａの閲覧画面表示時間欄には、後述する閲覧表示切替タイマ１４０ｂによって参照される「閲覧画面表示時間」を入力可能なように構成されている。なお、表示画面選択表１５５ａの画面ＩＤ欄には、構成画面１６１〜１６３の全ての「画面ＩＤ」を入力する必要はなく、一部の「画面ＩＤ」のみを入力することが可能なように構成されている。また、閲覧画面表示時間欄に入力する「閲覧画面表示時間」は、画面ＩＤ欄に入力する「画面ＩＤ」毎に（各構成画面１６１〜１６３毎に）異なる時間とすることが可能なように構成されている。

上述の入力を行って保存ボタン１５５ｄを押すことにより、かかる入力が確定されるように構成されている。入力が確定すると、画面制御モジュール１００は、入力装置１２０からの入力がないまま「未操作待ち時間」が経過した場合に、入力した「画面ＩＤ」により特定される閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させるように構成されている。そして、画面制御モジュール１００は、「閲覧画面表示時間」が経過するたびに、各構成画面１６１〜１６３の表示を巡回するように切り替えるように構成されている。これらの閲覧表示動作については後述する。なお、上述の入力を行っても、キャンセルボタン１５５ｅを押した場合には上述の入力は確定しないように構成されている。また、マニュアル実行ボタン１５５ｂを押すことにより、「未操作待ち時間」の経過を待たずに、上述の閲覧表示動作が開始されるように構成されている。

なお、画面制御モジュール１００は、ＨＤＤやＦｌａｓｈメモリ等の不揮発性の記憶装置（あるいは記憶領域）１００ａを備えている。そして、画面制御モジュール１００は、上述の「画面ＩＤ」、「閲覧画面表示時間」、「未操作待ち時間」に加え、「閲覧表示インデックス」、「閲覧表示中フラグ」、「戻り画面ＩＤ」の各変数を、かかる記憶装置１００ａ内に読み書き可能に格納するように構成されている。なお、画面制御モジュール１００による「閲覧表示インデックス」、「閲覧表示中フラグ」、「戻り画面ＩＤ」の値の操作については後述する。

また、図１１及び図４に示すように、画面制御モジュール１００は、タイマ制御モジュール１４０を介して未操作検出タイマ１４０ａ及び閲覧表示切替タイマ１４０ｂにそれぞれ接続されている。画面制御モジュール１００は、タイマ制御モジュール１４０を介して未操作検出タイマ１４０ａ及び閲覧表示切替タイマ１４０ｂをそれぞれ開始、停止、リセ
ットさせる（すなわち時間計測の途中であってもかかる計測を放棄させて計測を最初から開始させる）ことが可能なように構成されている。

未操作検出タイマ１４０ａは、画面制御モジュール１００からの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された上述の「未操作待ち時間」が経過したら、その旨を示す「未操作検出メッセージ」を画面制御モジュール１００に通知するように構成されている。また、閲覧表示切替タイマ１４０ｂは、画面制御モジュール１００からの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された上述の「閲覧画面表示時間」が経過したら、その旨を示す「閲覧表示切替メッセージ」を画面制御モジュール１００に通知するように構成されている。

（２）画面制御モジュールの動作
次に、画面制御モジュール１００の閲覧表示動作を、図７，８，９を参照しながら説明する。

図７に示すように、画面制御モジュール１００は、所定の初期画面を表示装置１３０に表示すると共に、記憶装置１００ａ内の「閲覧表示中フラグ」変数に“ＯＦＦ”を代入する初期処理を実行する（Ｓ１００）。この際、未操作検出タイマ１４０ａ及び閲覧表示切替タイマ１４０ｂは共に停止した状態となっている。そして、タイマ制御モジュール１４０を介して未操作検出タイマ１４０ａを開始させた後（Ｓ１１０）、所定のイベントの発生を待つ「イベント待ち状態」となる（Ｓ１２０）。

画面制御モジュール１００は、イベント待ち状態にて、未操作検出タイマ１４０ａから「未操作検出メッセージ」の通知がある前（すなわち未操作検出タイムアウトが発生する前）に入力装置１２０からの入力があった場合には、入力内容に応じた画面更新処理（例えば、設定画面群１５０の各構成画面１５１〜１５５の表示、設定画面群１５０への情報入力の受付とその結果表示、閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３の表示等）を行った後（Ｓ１７０）、未操作検出タイマ１４０ａをリセットさせて（Ｓ１１０）、イベント待ち状態に戻る（Ｓ１２０）。

また、画面制御モジュール１００は、イベント待ち状態にて、入力装置１２０からの入力がないまま未操作検出タイマ１４０ａから「未操作検出メッセージ」の通知があった（未操作検出タイムアウトが発生した）場合には、後述する閲覧画面の表示処理（Ｓ１３０）を実行した後、未操作検出タイマ１４０ａを開始させることなくイベント待ち状態に戻る（Ｓ１２０）。

図８に示すように、閲覧画面の表示処理（Ｓ１３０）においては、画面制御モジュール１００は、タイマ制御モジュール１４０を介して未操作検出タイマ１４０ａを停止させる（Ｓ１３１）。そして、「未操作検出メッセージ」の通知があった時点で表示装置１３０に表示させていた画面の「画面ＩＤ」を記憶装置１００ａ内の「戻り画面ＩＤ」変数に代入することにより、表示装置１３０に表示させていた該画面を復帰可能な戻り画面として記憶する。そして、閲覧設定画面１５５の表示画面選択表１５５ａの画面ＩＤ欄に入力された「画面ＩＤ」のうち最初の「画面ＩＤ」（例えば表示画面選択表１５５ａの最上位に代入されたが「画面ＩＤ」）を記憶装置１００ａ内の「閲覧表示インデックス」に代入することにより、「閲覧表示インデックス」を初期化する。そして、記憶装置１００ａ内の「閲覧表示中フラグ」変数に“ＯＮ”を代入して閲覧画面表示の初期処理を行う（Ｓ１３２）。そして、「閲覧表示インデックス」に代入された「画面ＩＤ」により特定される閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させる（Ｓ１３３）。すなわち、未操作検出タイムアウトが発生した場合には、入力装置１２０からの画面操作を行うことなく、表示装置１３０に閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜
１６３のいずれかを自動的に表示させる。そして、タイマ制御モジュール１４０を介して閲覧表示切替タイマ１４０ｂを開始させる（Ｓ１３４）。

また、図７に示すように、画面制御モジュール１００は、閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させている状態にて、入力装置１２０からの入力がないまま閲覧表示切替タイマ１４０ｂから「閲覧表示切替メッセージ」の通知があった（閲覧表示切替タイムアウトが発生した）場合には、後述する閲覧画面の切り替え処理（Ｓ１４０）を実行した後、未操作検出タイマ１４０ａを開始させることなくイベント待ち状態に戻る（Ｓ１２０）。

図９に示すように、閲覧画面の切り替え処理（Ｓ１４０）においては、画面制御モジュール１００は、次の「画面ＩＤ」（例えば、表示画面選択表１５５ａの画面ＩＤ欄に入力された「画面ＩＤ」のうち、前回「閲覧表示インデックス」に代入された「画面ＩＤ」よりも次に値の大きな「画面ＩＤ」）を記憶装置１００ａ内の「閲覧表示インデックス」に代入することにより、「閲覧表示インデックス」を更新する（Ｓ１４１）。そして、更新後の「閲覧表示インデックス」に代入された「画面ＩＤ」により特定される閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させる（Ｓ１４２）。すなわち、入力装置１２０からの画面操作を行うことなく、表示装置１３０に表示されている閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを、他の各構成画面１６１〜１６３のいずれかに自動的に切り替えて表示させる。そして、閲覧表示切替タイマ１４０ｂを開始する（Ｓ１４３）。

また、図７に示すように、画面制御モジュール１００は、未操作検出タイムアウトが発生して閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させている状態にて入力装置１２０からの入力があった場合に、記憶装置１００ａ内の「戻り画面ＩＤ」を読み出し、該「戻り画面ＩＤ」により特定される画面を表示装置１３０に表示させる（すなわち、「未操作検出メッセージ」の通知があった時点の画面の復帰を自動化させる）と共に、記憶装置１００ａ内の「閲覧表示中フラグ」を“ＯＮ”とする（Ｓ１５０）。そして、画面制御モジュール１００は、タイマ制御モジュール１４０を介して閲覧表示切替タイマ１４０ｂを停止させ（Ｓ１６０）、未操作検出タイマ１４０ａをリセットし（Ｓ１１０）、イベント待ち状態に戻る（Ｓ１２０）。

また、図７に示すように、画面制御モジュール１００は、イベント待ち状態にて、制御モジュール１１０からの通知（例えば、基板処理の終了やヒータの温度変化等を通知するアラーム通知）があった場合には、通知内容に応じた画面更新処理（例えば閲覧画面１６０の表示内容の更新）（Ｓ１８０）を行って、未操作検出タイマ１４０ａをリセットすることなく「イベント待ち状態」に戻る（Ｓ１２０）。また、終了イベント（画面制御モジュール１０に対する終了命令など）があった場合には画面制御モジュール１００の動作を終了させる。

（３）本実施形態にかかる効果
本実施形態にかかる基板処理装置によれば、以下に示す１または複数の効果を奏する。

本実施形態にかかる画面制御モジュール１００は、イベント待ち状態にて、入力装置１２からの入力がないまま未操作検出タイマ１１ａから「未操作検出メッセージ」の通知があった場合には、閲覧画面の表示処理（Ｓ１３０）を実行する。すなわち、未操作検出タイムアウトが発生した場合には、入力装置１２０からの画面操作を行うことなく、表示装置１３０に閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを自動的に表示させることが可能となる。その結果、操作員が基板処理装置から離れている場合でも、操作員が基板処理装置の入力装置１２０の設置場所まで移動する必要がなくなり、監視作業の利
便性が向上される。

また、本実施形態にかかる画面制御モジュール１００は、閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させている状態にて、入力装置１２０からの入力がないまま閲覧表示切替タイマ１４０ｂから「閲覧表示切替メッセージ」の通知があった場合には、閲覧画面の切り替え処理（Ｓ１４０）を実行する。すなわち、閲覧表示切替タイムアウトが発生した場合には、入力装置１２０からの画面操作を行うことなく、表示装置１３０に閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを自動的に表示させることが可能となる。その結果、操作員が基板処理装置から離れている場合でも、操作員が基板処理装置の入力装置１２０の設置場所まで移動する必要がなくなり、監視作業の利便性が向上される。

また、本実施形態にかかる画面制御モジュール１００は、未操作検出タイムアウトが発生して閲覧画面群１６０の各構成画面１６１〜１６３のいずれかを表示装置１３０に表示させている状態にて、入力装置１２０からの入力があった場合に、記憶装置１００ａ内の「戻り画面ＩＤ」を読み出し、該「戻り画面ＩＤ」により特定される画面を表示装置１３０に表示させる。すなわち、「未操作検出メッセージ」の通知があった時点の画面の復帰を自動化させることが可能となり、監視作業の利便性が向上される。

また、本実施形態にかかる閲覧設定画面１５５の表示画面選択表１５５ａの画面ＩＤ欄には、構成画面１６１〜１６３の全ての「画面ＩＤ」を入力する必要はなく、一部の「画面ＩＤ」のみを入力することが可能である。また、閲覧画面表示時間欄に入力する「閲覧画面表示時間」は、画面ＩＤ欄に入力する「画面ＩＤ」毎に（各構成画面１６１〜１６３毎に）異なる時間とすることが可能である。その結果、必要な情報のみを重点的に監視することが可能となり、監視作業の利便性が向上される。

＜本発明の好ましい態様＞
以下に本発明の望ましい態様について付記する。

本発明の他の態様によれば、
入力装置及び表示装置に接続される基板処理装置であって、
前記入力装置からの入力を受け付けると共に前記表示装置に表示させる画面の内容を制御する画面制御モジュールと、
前記画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された未操作待ち時間が経過したらその旨を前記画面制御モジュールに通知する未操作検出タイマと、を備え、
前記画面制御モジュールは、
前記未操作検出タイマを開始させた後にイベント待ち状態となり、
前記イベント待ち状態にて前記未操作検出タイマから通知がある前に前記入力装置からの入力があった場合に、前記未操作検出タイマをリセットして前記イベント待ち状態に戻り、
前記イベント待ち状態にて前記入力装置からの入力がないまま前記未操作検出タイマから前記通知があった場合に、所定の閲覧画面を前記表示装置に表示させて前記イベント待ち状態に戻る
基板処理装置が提供される。

好ましくは、
前記閲覧画面は、前記基板処理装置による基板処理の進捗状況、前記基板処理装置内における基板の位置、前記基板処理装置の備える処理室内の圧力、前記処理室内の温度、前記処理室内に供給されるガス流の流量のうち少なくともいずれか１を示す画面である。

好ましくは、
前記画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された閲覧画面表示時間が経過したらその旨を前記画面制御モジュールに通知する閲覧表示切替タイマを更に備え、
前記画面制御モジュールは、
前記イベント待ち状態にて前記入力装置からの入力がないまま前記未操作検出タイマから前記通知があった場合に、前記閲覧画面を前記表示装置に表示させるとともに前記閲覧表示切替タイマを開始させて前記イベント待ち状態となり、
前記閲覧画面を前記表示装置に表示させている状態にて前記入力装置からの入力がないまま前記閲覧表示切替タイマから通知があった場合に、前記閲覧画面を他の閲覧画面に切り替えて前記表示装置に表示させるとともに前記閲覧表示切替タイマを開始して前記イベント待ち状態に戻る。

好ましくは、
前記画面制御モジュールは、
前記イベント待ち状態にて前記入力装置からの入力がないまま前記未操作検出タイマから前記通知があった場合に、前記未操作検出タイマを停止し、前記通知があった時点で前記表示装置に表示していた画面を戻り画面として記憶し、前記閲覧画面を前記表示装置に表示させて前記イベント待ち状態に戻り、
前記閲覧画面を前記表示装置に表示させている状態にて前記入力装置からの入力があった場合に、前記記憶した戻り画面を前記表示装置に表示させ、前記未操作検出タイマをリセットして前記イベント待ち状態に戻る。

好ましくは、
前記画面制御モジュールによって前記表示装置に表示させる前記閲覧画面、前記未操作検出タイマが参照する未操作待ち時間、前記閲覧表示切替タイマが参照する閲覧画面表示時間のそれぞれの登録を受け付ける閲覧設定手段を更に備える。

本発明の他の態様によれば、
第１の入力装置及び第１の表示装置に接続される基板処理装置と、前記管理装置は第２の入力装置及び第２の表示装置に接続され前記基板処理装置を管理する管理装置と、を備えた基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記第２の入力装置からの入力がないまま所定の時間が経過した場合に、所定の閲覧画面を前記第１の表示装置及び前記第２の表示装置に同時に表示させる
基板処理システムである。

＜他の実施の形態＞
なお、上記では基板処理装置の一例として基板処理装置を示しているが、基板処理装置に限らず、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。

従来の基板処理装置が備える画面制御モジュール及び制御モジュールのブロック構成図である。 従来の画面制御モジュールが表示装置に表示させる各種画面を例示する概略図である。 従来の画面制御モジュールの動作を例示するフロー図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理装置が備える画面制御モジュール及び制御モジュールのブロック構成図である。 本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールが表示装置に表示させる設定画面及び閲覧画面の種別を例示する概略図である。 本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールが表示装置に表示させる閲覧設定画面を例示する概略図である。 本発明の一実施形態にかかる画面制御モジュールの動作を例示するフロー図である。 本発明の一実施形態にかかる「閲覧画面表示の開始処理」の動作を例示するフロー図である。 本発明の一実施形態にかかる「閲覧画面の切替処理」の動作を例示するフロー図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成を例示する概略図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の制御手段のブロック構成図である。

符号の説明

１００ 画面制御モジュール
１１０ 制御モジュール
１２０ 入力装置
１３０ 表示装置
１４０ タイマ制御モジュール
１４０ａ 未操作検出タイマ
１４０ｂ 閲覧表示切替タイマ
１５１ レシピ設定画面
１５２ バルブ制御設定画面
１５３ ＭＦＣ制御設定画面
１５４ 温度制御設定画面
１５５ 閲覧設定画面
１６１ 運転状態閲覧画面
１６２ 温度閲覧画面
１６３ 圧力・ガス閲覧画面

Claims (1)

1. 入力装置及び表示装置に接続される基板処理装置であって、
   前記入力装置からの入力を受け付けると共に前記表示装置に表示させる画面の内容を制御する画面制御モジュールと、
   前記画面制御モジュールからの要求に応じて時間測定を開始し、予め設定された未操作待ち時間が経過したらその旨を前記画面制御モジュールに通知する未操作検出タイマと、を備え、
   前記画面制御モジュールは、
   前記未操作検出タイマを開始させた後にイベント待ち状態となり、
   前記イベント待ち状態にて前記入力装置からの入力がないまま、前記未操作検出タイマから通知があった場合、所定の閲覧画面を前記表示装置に表示させて前記イベント待ち状態に戻る
   ことを特徴とする基板処理装置。
   

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