JP2009192307A - フィルム検査装置 - Google Patents
フィルム検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009192307A JP2009192307A JP2008031878A JP2008031878A JP2009192307A JP 2009192307 A JP2009192307 A JP 2009192307A JP 2008031878 A JP2008031878 A JP 2008031878A JP 2008031878 A JP2008031878 A JP 2008031878A JP 2009192307 A JP2009192307 A JP 2009192307A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- light
- coating layer
- sensor
- pinhole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- WNHVGQQCXWXANA-UHFFFAOYSA-N CCC1C(CC)(CC)CCCC1 Chemical compound CCC1C(CC)(CC)CCCC1 WNHVGQQCXWXANA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】本発明の目的は、フィルムが走行する際に発生するばたつきなどの影響を回避しながら微少なピンホールを検査するフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】検査装置10は、コーティング層16を上にしながらフィルム12を密着させ、フィルム12の移動速度に同期しながら回転する検査ローラ20と、検査ローラ20に密着されたフィルム12に光L1を照射し、フィルム12の幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源22と、フィルム12からの正反射光L2を受光するセンサ24とを備える。センサ24の受光した光量に応じてディジタルデータに変換され、コンピュータ40で演算処理される。
【選択図】図1
【解決手段】検査装置10は、コーティング層16を上にしながらフィルム12を密着させ、フィルム12の移動速度に同期しながら回転する検査ローラ20と、検査ローラ20に密着されたフィルム12に光L1を照射し、フィルム12の幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源22と、フィルム12からの正反射光L2を受光するセンサ24とを備える。センサ24の受光した光量に応じてディジタルデータに変換され、コンピュータ40で演算処理される。
【選択図】図1
Description
本発明は、フィルムを走行させながら欠陥、特にコーティング層の欠陥を検査するフィルム検査装置に関するものである。
図7に示すようなベースフィルム14の上にコーティング層16を形成したフィルム12が種々使用されている。製造時の種々の要因でコーティング層16が欠ける場合がある。この欠けた欠陥をピンホール18と呼ぶことがある。ピンホール18は、フィルム12の使用目的に応じて許容される大きさや単位面積当たりの数が決定されており、検査で確認する必要がある。
下記の特許文献1〜3には、ライン状照明装置からの照射光が対象物にて反射して得られる正反射光を受光して検査する装置が開示されている。しかし、特許文献1〜3の装置は、常に安定して正反射光を得られる剛体を対象としたものであり、フィルムなどの薄く軟らかい軟体物、特にコーティング層を有するフィルムに関しては、走行する際に発生するフィルムのばたつきなどの影響により常に安定して正反射光を得ることができない。
そこで、下記の特許文献4、5には、表面が無光沢な黒色ローラ上でフィルムなどの薄くて軟らかい軟体物を検査する装置が開示されている。
特許文献4は、光源としてドットパターンが印刷された透明なシートを備えた平面状光源を用いて、光を略吸収する検査面上でフイルムを走行させ、検査面上のフイルムを反射面としてドットパターンを撮影する。この撮影した画像データに基づき、ドットパターンの各ドットの長さを数値化する。この数値化したドット長さを各ドット位置に対応させて配列してドット長さ配列パターンを形成し、このドット長さ配列パターンにおいてドット長さが異なるドット位置に基づき、フイルムの表面欠陥を検出することを特徴としている。しかし、平滑な面上に存在する微小凹凸すなわち、内部の異物混入或いは異物付着、コーティング層のピンホール、ドットパターンの歪みが発生しない微小点欠点は安定して検査できないおそれがある。
特許文献5は、ラミネートフィルムに2箇所の光源から光を照射している。ラミネートフィルムに照射された光の明視野における反射光(光の散乱反射光、正反射光の合成光)を撮像し、積層樹脂欠陥を検出する(段落番号0037)。しかし、光の散乱反射光が存在する状態では、正反射光によって得られる微小点欠点の微弱な信号変化が減衰し、微小点欠点を安定して検査できないおそれがある。
本発明の目的は、薄くて柔らかいフィルムが走行する際に発生するばたつきなどの影響を回避しながら微少な欠陥、特にピンホールを検査するフィルム検査装置を提供することにある。
本発明のフィルム検査装置は、表面に光吸収処理が施されており、コーティング層を上にしながらフィルムを密着させ、フィルムの移動速度に同期しながら回転するローラと、ローラに密着されたフィルムに光を照射し、フィルムの幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源と、フィルムからの正反射光を受光するセンサとを備える。
フィルムがローラで密着されて送られながら搬送される。光源からローラに密着されているフィルムに光の帯ができるように光を照射する。フィルムに生じた欠陥が光の帯の中を通過するときに正反射光が変化し、センサで受光する光量が変化する。
欠陥はコーティング層のピンホールが含まれる。そのピンホールで光が散乱し、センサで受光する光量が減少する。センサは、フィルムの幅方向に受光素子を並べたラインセンサを含む。コンピュータなどの信号処理手段で、センサが受光した光の光量の値をフィルムの幅方向に沿って微分し、微分によって得られた値が、予め記憶しておいた閾値よりも高い場合に欠陥と判定する。
ベースフィルムの両面にコーティング層を有する場合のために、上記のフィルム検査装置を2台備えた構成であっても良い。一方のフィルム検査装置で一面のコーティング層を検査し、他方のフィルム検査装置で他面のコーティング層を検査する。
本発明によれば、フィルムをローラに密着させることにより、走行するフイルムなどの薄く軟らかいフィルムが走行する際に発生するフィルムのばたつきなどの影響を回避している。ローラの表面が光吸収面になっているため、フィルムでの正反射光を際だたせるとともに、ローラでの不必要な反射を無くしてノイズを低減させることができる。特許文献とは異なり散乱反射光を利用せずに正反射光で欠陥を判断しており、微少なピンホールによる微弱な受光量の変化を検出できる。
本発明のフィルム検査装置について図面を用いて説明する。検査されるフィルム12は、従来技術の図7で説明したように、ベースフィルム14にコーティング層16を形成したものである。一例としては、ベースフィルム14の厚みが約50〜200μmであり、コーティング層16の厚みが約2〜10μmである。検出するピンホール18の大きさは、約0.01〜0.2mm2である。コーティング層16は1層で説明するが、層数が増えても本発明が適用できる。
図1に示す検査装置10は、コーティング層16の面を上にしてフィルム12を密着させ、フィルム12の移動速度に同期して回転する検査ローラ20と、検査ローラ20に密着されたフィルム12に光L1を照射し、フィルム12の幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源22と、フィルム12からの正反射光L2を受光するセンサ24とを備える。なお、図中ではフィルム12のコーティング層16を省略している。
検査ローラ20の表面には光吸収処理が施されている。光吸収率は90%以上、好ましくは95〜98%のものを使用する。光吸収処理の一例として、黒色つや消し処理が挙げられるが、その他にフォスブラックII、黒クロム、酸化銅黒、黒ニッケル、黒アルマイトなどの表面処理や材料が挙げられる。また、黒色つや消し処理のために、表面粗さを例えば2s以上、好ましくは4s〜10sにする。光吸収処理によって正反射光L2を受光する際のノイズを低減させることもできる。また、フィルム12を透過した光が吸収されるため、フィルム12で生じた正反射光L2の光の帯を際だたせることができる。
検査ローラ20の直径は約50〜180mmである。余り小さな直径とすると、検査ローラ20の表面のカーブによって光の帯が上手くできなかったりするため、一定以上の大きさが必要である。
検査ローラ20にフィルム12を密着させるためにガイドローラ21を設ける。ガイドローラ21、検査ローラ20、ガイドローラ21の順番で配置してフィルム12を通す。各ローラ20,21がフィルム12の移動速度に同期して回転し、フィルム12を移動させる。フィルム12を検査ローラ20に密着させることによって、フィルム12のばたつきを抑えている。
光源22は多数のLEDを1本のライン状に並べたものである。LEDはレンズ形状の樹脂でパッケージされているため光の指向性や光量の点で好ましい。LEDの代わりに高周波蛍光管であれば、レンズなどで光の指向性を持たせて使用する。図2に示すように、暗色(検査ローラ20)を背景としてフィルム12の幅方向にフィルム12で生じる正反射光の帯26ができる。なお、図2ではフィルム12を省略している。正反射光の帯26の幅としては、1mm以下であり、好ましくは0.3〜0.8mmである。正反射光の帯26の幅がフィルム12の幅よりも長くすることにより、確実にフィルム12に光を当てる。検査するピンホール18の大きさによって正反射光の帯26の幅を変更する。帯26の幅が大きくなりすぎると、受光の際のノイズが多くなるので好ましくない。帯26の幅は、センサ24で正反射光L2が受光できる幅である。
光源22はケース28に収納されてスリット状の出射口30から光L1が出射する(図3)。光源22をケース28に収納することによって、不必要な方向に光が出射することを防ぐ。後述するように、本発明はセンサ24が散乱光を受光しないように構成している。ケース28が不必要な光の出射を防ぐことによって、フィルム12に不必要な光の照射が生じ、散乱光がセンサ24で受光されるのを防止する。ケース28以外に、検査ローラ20やそこを通過するフィルム12には、不必要な光が照射されないように遮光することが好ましい。
出射口30を広くすることによって光量が大きくなり、フィルム12と光源22との距離が長くなることによって上記の光の帯26がセンサ24で受光できる程度に狭くなる。構成の一例として、出射口30の幅は約2〜20mm、フィルム12と光源22との距離は約100〜600mmであり、それらの範囲の中でできるだけ大きな値をとるようにする。
また、光L1と正反射光L2のなす角度を狭くすることによって上記の光の帯26がセンサ24で受光できる程度に狭くなる。構成の一例として、光L1と正反射光L2のなす角度は約10〜90度であり、それらの範囲の中でできるだけ小さな値をとるようにする。
センサ24は、フォトダイオードなどの受光素子をフィルム12の幅方向に並べたラインセンサである。フィルム12の幅が広くなれば、複数のラインセンサをフィルム12の幅方向に並べても良い。センサ24が一定の周期で受光し、受光した光量に応じてディジタルデータに変換され、コンピュータ40で演算処理される。
フィルム12が移動するときにフィルム12のピンホール18にも光L1が照射される。そのとき、ピンホール8で光L1が散乱し、センサ24で受光する光量が減少する。このことについて、図4、図5を使用して説明する。図4(a)、(b)は、上が全体を示し、下がフィルム12の光L1が照射される部分を拡大している。図5のフィルム12の位置はセンサ24の受光素子の位置と一致する。
図4(a)に示すように、光源22からフィルム12の検査ローラ20に密着した箇所に光L1を照射する。投光軸はフィルム12に対して斜めになるようになっており、正反射光L2は投光軸とは異なる方向に向く。センサ24の受光軸xと正反射光L2とを一致させる。フィルム12のコーティング層16の正常部であれば、全ての位置で光量がほぼ同一となる(図5(a))。このとき、フィルム12に生じる光の帯26には暗点が生じない。
図4(b)のように、ピンホール18に光L1が照射されると、正反射光L2とは異なる方向に進行する散乱光L3が生じる。散乱光L3によって、センサ24で受光される光量が減少して暗点32となる(図5(b))。実際に図3の光の帯26を目視すると、ピンホール18の部分が暗点となる。
本発明は、上記のように1箇所の光源22から光L1をフィルム12に照射し、センサ24は正反射光L2のみを受光している。特許文献5のように2箇所の光源を有していないため、正反射光L2を受光しながら散乱光L3を受光することはない。したがって、コーティング層16の微少なピンホール18であっても検出することができる。
センサ24が検出した光量の値はディジタルデータに変換し、コンピュータ40でピンホール18を判定する。そのために、光量の値をディジタルデータに変換する手段、センサ24が受光した光の光量の値をフィルム12の幅方向に沿って微分する手段、微分によって得られた値が、予め記憶しておいた閾値よりも高い場合にピンホール18と判定する手段として、コンピュータ40を動作させる。これらの手段は、ハードウェア、ソフトウェア、またはその両方によって実現される。光量の絶対的な値ではなく、微分による相対的な値を使用してピンホール18を判定している。フィルム12が変更されたりしても、本発明を容易に適用できる。
また、ピンホール18が検出されたら、警告灯に信号を送り、警告灯を点灯させるようにしても良い。コンピュータ40は、フィルム12の移送速度やセンサ24の受光周期などからピンホール18の位置を特定し、モニタ42にその位置を表示するようにしても良い。
一般的にコーティング層16の欠陥は欠けてしまうこと(ピンホール18)が多いので、上記の実施形態でコーティング層16の欠陥を検出することが可能である。コーティング層16が多層になっており、複雑な形状のピンホール18ができたとしても、散乱光L3が生じるのでピンホール18を検出することができる。
図6のようにガイドローラ21の間に2本の検査ローラ20a、20bを設けた検査装置11であってもよい。フィルム12を通すことによって一方の検査ローラ20aをフィルム12が通過するときにフィルム12の一面を検査し、他方の検査ローラ20bをフィルム12が通過するときにフィルム12の他面を検査する。すなわち、ベースフィルム14の両面にコーティング層16が形成されたフィルム12に対応することができる。コンピュータ40とモニタ42は1台にまとめ、両方のセンサ24からの受光値を1台のコンピュータ40で受信し、上述した処理をおこなっても良い。
上記説明はコーティング層16が欠けた欠陥であるピンホール18で説明したが、光L1をフィルム12に照射したときに、散乱光L3が生じてセンサ24での受光量が減少する欠陥に対して、本願は適宜適用が可能である。例えば、ベースフィルム14やコーティング層16の内部に生じた材料の偏りなどで光L1が散乱される場合である。
図面などの上下左右を変更した構成であっても本願と同じ効果が得られるものである。その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。
10、11:フィルム検査装置
12:フィルム
14:ベースフィルム
16:コーティング層
18:ピンホール
20:検査ローラ
21:ガイドローラ
22:光源
24:センサ
26:光の帯
28:ケース
30:出射口
32:暗点
40:コンピュータ
42:モニタ
L1:照射光
L2:正反射光
L3:散乱光
12:フィルム
14:ベースフィルム
16:コーティング層
18:ピンホール
20:検査ローラ
21:ガイドローラ
22:光源
24:センサ
26:光の帯
28:ケース
30:出射口
32:暗点
40:コンピュータ
42:モニタ
L1:照射光
L2:正反射光
L3:散乱光
Claims (4)
- ベースフィルムにコーティング層を形成したフィルムを移動させながら、コーティング層の欠陥を検査するフィルム検査装置であって、
前記コーティング層を上にしてフィルムを密着させ、フィルムの移動速度に同期して回転する表面に光吸収処理が施されたローラと、
前記ローラに密着されたフィルムに光を照射し、フィルムの幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源と、
前記フィルムからの正反射光を受光するセンサと、
を備え、
前記フィルムに生じたコーティング層の欠陥に光が照射されると、該欠陥によって光が散乱され、センサで受光する光量が変化することによりコーティング層の欠陥を検出するフィルム検査装置。 - 前記欠陥がコーティング層のピンホールであり、該ピンホールで光が散乱し、センサで受光する光量が減少する請求項1のフィルム検査装置。
- 前記センサがフィルムの幅方向に受光素子を並べたラインセンサであり、センサが受光した光の光量の値をフィルムの幅方向に沿って微分する手段と、
前記微分によって得られた値が、予め記憶しておいた閾値よりも高い場合に欠陥と判定する手段と、
を含む請求項1または2のフィルム検査装置。 - 請求項1乃至3のいずれかのフィルム検査装置を2台備え、前記ベースフィルムの一面と他面の両面にコーティング層を有し、一方のフィルム検査装置で一面のコーティング層を検査し、他方のフィルム検査装置で他面のコーティング層を検査するフィルム検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008031878A JP2009192307A (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | フィルム検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008031878A JP2009192307A (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | フィルム検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009192307A true JP2009192307A (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=41074465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008031878A Pending JP2009192307A (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | フィルム検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009192307A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016161469A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | レンゴー株式会社 | ニス検査装置およびニス検査方法 |
CN106353333A (zh) * | 2015-07-17 | 2017-01-25 | 住友化学株式会社 | 膜检查装置、膜检查方法及膜制造方法 |
CN113466256A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-01 | 深圳市楠轩光电科技有限公司 | 一种光学薄膜缺陷批量式检测设备 |
JP2021189016A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 王子ホールディングス株式会社 | シート状物の欠陥検査装置及び製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01197639A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Dainippon Ink & Chem Inc | 塗膜のピンホール検査装置 |
JPH05340743A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Asahi Eng Co Ltd | 表面検査方法 |
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JPH09210658A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | カバーレイフィルムの欠陥検出法 |
JPH11264801A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Gunze Ltd | シート表面の欠点検出方法及び装置 |
JP2001066260A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Tsutsumi Yotaro | フィルムの欠陥検査装置 |
JP2003344302A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの検査法および検査装置 |
JP2006003226A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Toray Ind Inc | 積層フィルムの欠点検査装置 |
-
2008
- 2008-02-13 JP JP2008031878A patent/JP2009192307A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01197639A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Dainippon Ink & Chem Inc | 塗膜のピンホール検査装置 |
JPH05340743A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Asahi Eng Co Ltd | 表面検査方法 |
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JPH09210658A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | カバーレイフィルムの欠陥検出法 |
JPH11264801A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Gunze Ltd | シート表面の欠点検出方法及び装置 |
JP2001066260A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Tsutsumi Yotaro | フィルムの欠陥検査装置 |
JP2003344302A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの検査法および検査装置 |
JP2006003226A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Toray Ind Inc | 積層フィルムの欠点検査装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016161469A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | レンゴー株式会社 | ニス検査装置およびニス検査方法 |
CN106353333A (zh) * | 2015-07-17 | 2017-01-25 | 住友化学株式会社 | 膜检查装置、膜检查方法及膜制造方法 |
JP2017026390A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 住友化学株式会社 | フィルム検査装置、フィルム検査方法、およびフィルム製造方法 |
US10379059B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-08-13 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Film inspection device, film inspection method, and film production method |
JP2021189016A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 王子ホールディングス株式会社 | シート状物の欠陥検査装置及び製造方法 |
JP7327278B2 (ja) | 2020-05-29 | 2023-08-16 | 王子ホールディングス株式会社 | シート状物の欠陥検査装置及び製造方法 |
CN113466256A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-01 | 深圳市楠轩光电科技有限公司 | 一种光学薄膜缺陷批量式检测设备 |
CN113466256B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-04-15 | 深圳市楠轩光电科技有限公司 | 一种光学薄膜缺陷批量式检测设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013108058A5 (ja) | ||
JP2010223613A (ja) | 光学検査装置 | |
JP4615532B2 (ja) | 欠陥検査装置、照明装置 | |
JP2009192307A (ja) | フィルム検査装置 | |
JP2008275424A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2010008170A (ja) | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 | |
JP6822494B2 (ja) | 鋼板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2008286791A (ja) | 表面欠陥検査方法及び装置 | |
TWM355371U (en) | Detection device for inner thread of nut | |
JP2010085209A (ja) | フィルム検査装置 | |
JP5826578B2 (ja) | 画像取得装置 | |
JP2008145428A (ja) | ロッドレンズアレイ検査装置及び方法 | |
JP2016161469A (ja) | ニス検査装置およびニス検査方法 | |
WO2022044677A1 (ja) | シート状部材の製造方法 | |
JP2001215197A (ja) | 透明シートの検査方法および装置 | |
JP2011169782A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2017125805A (ja) | シートのキズ欠点検査装置 | |
JP5201014B2 (ja) | 酸洗鋼板のスケール残り検査装置 | |
JP2010127909A (ja) | フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法 | |
JP2009229173A (ja) | 薄膜コート未塗工部検査装置及び方法 | |
JP5563388B2 (ja) | チップled検査装置 | |
JP2017150992A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2002250695A (ja) | 多層フィルム欠陥検出装置 | |
JP6409606B2 (ja) | キズ欠点検査装置およびキズ欠点検査方法 | |
US11906446B2 (en) | Method of inspecting surface and surface inspection apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120528 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121002 |