JP2009074947A - 標的物質を検出するための分析装置、又は分析方法、若しくはこれら分析装置及び分析方法に用いるデバイス - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、標的物質を高いコントラストで検出することに関する。
【解決手段】
本発明は、光透過性の基板と、プラズモン共鳴を誘発する金属と、を用いた標的物質の分析において、基板と界面を形成し、基板よりも屈折率が低く、開口部が存在する低屈折率層を設けたことに関する。界面において全反射するように、かつ、開口部に配置された金属にエバネッセント光が照射されるように、基材側から光を照射する。そして、エバネッセント光のプラズモン共鳴により標的物質から生じた光を検出する。本発明により、標的物質以外へのエバネッセント光の照射を低減でき、標的物質以外の物質、例えば、標的物質の周囲を浮遊する分子からの発光を低減できる。
【選択図】図1
Description
本実施例で使用した標的物質を検出するためのデバイスの作製手順について、図6を参照しながら説明する。基材601としては、厚さ0.5mmの3インチのサファイアウェハーを用いた。基材の上に、ポジ型の電子線レジスト(ZEP520)602をスピンコーターでコーティングした。その後、電子線描画装置を用いて、1mm角の領域に電子線を露光した後、現像を行い多数の開口部(φ:100nm)603を1μmピッチで設けた。さらに、スパッタリング装置を用いて金(厚さ:100nm)をスパッタリングした後、リフトオフプロセスにより金構造体604を作製した。その後、二酸化ケイ素(厚さ:200nm)をスパッタリングした後、SF6ガスを用いたRIE(Reactive Ion Etching)により二酸化ケイ素を異方的にエッチングして低屈折率層605を有するデバイスを作製した。最後に、得られたデバイスに対して、アセトン,イソプロピルアルコール、及び超純水による超音波洗浄を行った。得られたデバイスを6−アミノ−1−ヘキサンチオール溶液及びビオチン化スクシイミドエステル溶液で処理して、金構造体604の表面上にプローブ(ビオチン)606を導入した。
また、図7を参照して、デバイスを用いた分析装置、及び分析方法を説明する。
102,202,302,402,502,605 低屈折率層
103,207,303,403,503,603 開口部
104,204,304,404,504,604 金属構造体
105,205,305,405,505,606 プローブ
106,206,306,406,506 標的物質
203,507 接着層
307,408 保護層
407 遮蔽層
602 電子線レジスト
701 カバープレート
702,911 検出窓
703 注入口
704 排出口
705 デバイス
706 反応層
707,708,901,903 YAGレーザ光源
709,710 レーザ光
711,905 λ/4板
712,906,907,908 ダイクロイックミラー
713,909 レンズ
714,910,916 プリズム
715,912 対物レンズ
716 光学フィルタ
717,917 結像レンズ
718 2次元CCDカメラ
801 ストレプトアビジン
802 一本鎖鋳型DNA
803 プライマ
804 ビオチン
805 dATP(3′−O−allyl−dATP−PC−R6G)
806 Thermo Sequenaseポリメラーゼ
807 蛍光体
808 パラジウムを含んだ溶液
902 Ar−ionレーザ光源
904 He−Neレーザ光源
913 バンドパスフィルタ
914,915 ノッチフィルタ
918 2次元CCD
Claims (16)
- 標的物質を分析する分析装置であって、
光透過性の基板と、
前記基板と界面を形成し、前記基板よりも屈折率が低く、開口部が存在する低屈折率層と、前記開口部に配置された、プラズモン共鳴を誘発する金属と、
標的物質を含む溶液を低屈折率層側に保持できるチャンバーと、
前記界面において全反射するように、かつ、前記金属にエバネッセント光が照射されるように、基材側から光を照射する光源と、
前記エバネッセント光のプラズモン共鳴により前記標的物質から生じた光を検出する検出器と、を含む分析装置。 - 請求項1記載の分析装置であって、
プラズモン共鳴を誘発する金属を含む複数の材料からなる構造体が前記開口部内に配置されていることを特徴とする分析装置。 - 請求項1記載の分析装置であって、
前記低屈折率層上に低屈折率層を形成する材料よりも屈折率が高い高屈折率層が存在することを特徴とする分析装置。 - 請求項2記載の分析装置であって、
前記構造体上に標的物質を検出するためのプローブが固定化されていることを特徴とする分析装置。 - 請求項1記載の分析装置であって、
前記開口部における最大開口距離が、検出に用いる光の波長よりも小さいことを特徴とする分析装置。 - 請求項1記載の分析装置であって、
複数の開口部が、グリッド状に整列していることを特徴とする分析装置。 - 請求項1記載の分析装置であって、
前記標的物質に蛍光標識が施され、前記標的物質を蛍光検出することを特徴とする分析装置。 - 標的物質を分析する分析方法であって、
光透過性の基板と、前記基板と界面を形成し、前記基板よりも屈折率が低く、開口部が存在する低屈折率層と、前記開口部に配置された、プラズモン共鳴を誘発する金属と、を含む検出デバイスを準備し、
標的物質を含む液体を前記検出デバイスに保持し、
前記界面において全反射するように、かつ、前記金属にエバネッセント光が照射されるように、基材側から光を照射し、
前記エバネッセント光のプラズモン共鳴により前記標的物質から生じた光を検出する分析方法。 - 請求項8記載の分析方法であって、
プラズモン共鳴を誘発する金属を含む複数の材料からなる構造体が前記開口部内に配置されていることを特徴とする分析方法。 - 請求項8記載の分析方法であって、
前記低屈折率層上に低屈折率層を形成する材料よりも屈折率が高い高屈折率層が存在することを特徴とする分析方法。 - 請求項9記載の分析方法であって、
前記構造体上に標的物質を検出するためのプローブが固定化されていることを特徴とする分析方法。 - 請求項8記載の分析方法であって、
前記開口部における最大開口距離が、検出に用いる光の波長よりも小さいことを特徴とする分析方法。 - 請求項8記載の分析方法であって、
複数の開口部が、グリッド状に整列していることを特徴とする分析方法。 - 請求項8記載の分析方法であって、
前記標的物質に蛍光標識が施され、前記標的物質を蛍光検出することを特徴とする分析方法。 - 請求項1〜7記載の分析装置に用いるデバイスであって、
光透過性の基板と、
前記基板と界面を形成し、前記基板よりも屈折率が低く、開口部が存在する低屈折率層と、前記開口部に配置された、プラズモン共鳴を誘発する金属と、を含むデバイス。 - 請求項8〜14記載の分析方法に用いるデバイスであって、
光透過性の基板と、
前記基板と界面を形成し、前記基板よりも屈折率が低く、開口部が存在する低屈折率層
と、前記開口部に配置された、プラズモン共鳴を誘発する金属と、を含むデバイス。
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