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JP2009053019A - Chart, system and method for testing resolution - Google Patents

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JP2009053019A
JP2009053019A JP2007219626A JP2007219626A JP2009053019A JP 2009053019 A JP2009053019 A JP 2009053019A JP 2007219626 A JP2007219626 A JP 2007219626A JP 2007219626 A JP2007219626 A JP 2007219626A JP 2009053019 A JP2009053019 A JP 2009053019A
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JP
Japan
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pattern
resolution inspection
resolution
imaging
black
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Application number
JP2007219626A
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Japanese (ja)
Inventor
Koichi Kawamura
孝一 川村
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Konica Minolta Opto Inc
Original Assignee
Konica Minolta Opto Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Konica Minolta Opto Inc filed Critical Konica Minolta Opto Inc
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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chart for testing the resolution, with reduced effects due to illumination and improves the testing accuracy. <P>SOLUTION: The chart for testing resolution has a pattern for checking, where a stripe pattern, having a plurality of black lines and white lines disposed alternately, a reference pattern consisting of a black thick line, adjoining one side of the stripe pattern and a reference pattern consisting of a white thick line adjoining the other side of the stripe pattern are disposed in a plurality of sets that adjoins the direction of the widths of the lines. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、少なくとも撮像レンズと撮像素子とを備えた撮像装置により撮像した画像の解像度を検査するための解像度検査用チャート、及び該解像度チャートを用いて検査する解像度検査装置、及び解像度検査方法に関する。   The present invention relates to a resolution inspection chart for inspecting the resolution of an image captured by an imaging apparatus including at least an imaging lens and an imaging element, a resolution inspection apparatus for inspecting using the resolution chart, and a resolution inspection method. .

従来より、小型で薄型の撮像装置が携帯電話機やPDA(Personal Digital Assistant)等の小型、薄型の電子機器である携帯端末に搭載されるようになり、これにより遠隔地へ音声情報だけでなく画像情報も相互に伝送することが可能となっている。   Conventionally, a small and thin imaging device has been mounted on a portable terminal which is a small and thin electronic device such as a mobile phone or a PDA (Personal Digital Assistant), thereby enabling not only audio information but also images to a remote place. Information can also be transmitted between each other.

このような撮像装置の一例について図1を参照して説明する。   An example of such an imaging apparatus will be described with reference to FIG.

撮像素子12はCCD(Charge Coupled Device)型イメージセンサやCMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)型イメージセンサ等である。そして、撮像素子12は基板13に実装されている。また、被写体を撮像素子12に結像させる撮像レンズ11は鏡枠15により保持されている。更に、鏡枠15は接着剤Sにて基板13に接合されている。また、撮像レンズ11の被写体側には赤外カットフィルタ16及び絞り板14が配置されている。更に、基板13には撮像素子12以外にコンデンサ等の複数の電子部品19も実装されている。   The image sensor 12 is a CCD (Charge Coupled Device) type image sensor, a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) type image sensor, or the like. The image sensor 12 is mounted on the substrate 13. The imaging lens 11 that forms an image of the subject on the imaging device 12 is held by a lens frame 15. Further, the lens frame 15 is bonded to the substrate 13 with an adhesive S. An infrared cut filter 16 and a diaphragm plate 14 are disposed on the subject side of the imaging lens 11. In addition to the image sensor 12, a plurality of electronic components 19 such as capacitors are also mounted on the substrate 13.

このような撮像装置は一つのユニットとして構成されており、携帯端末に搭載する前に、撮像装置の検査を行う。この中で重要な検査は解像度の検査である。   Such an imaging apparatus is configured as a single unit, and inspects the imaging apparatus before being mounted on a portable terminal. An important inspection among them is a resolution inspection.

解像度の検査に関しては各種の発明が特許公報に開示されており、一例として、解像度検査チャートと色検査用チャートを同じベース部材に配置し、手間と時間を軽減して検査作業性を向上させた撮像装置の検査シートが知られている(特許文献1参照)。   Various inventions related to resolution inspection are disclosed in the patent publication. As an example, the resolution inspection chart and the color inspection chart are arranged on the same base member, which reduces labor and time and improves inspection workability. An inspection sheet for an imaging apparatus is known (see Patent Document 1).

特許文献1における解像度検査用チャートは線幅やピッチが異なる複数の白黒の線からなり、隣り合う線がどこまで互いに分離しているかを判別して検査するものである。   The resolution inspection chart in Patent Document 1 includes a plurality of black and white lines having different line widths and pitches, and determines how far adjacent lines are separated from each other for inspection.

一方、線幅とピッチが同一の白黒の線を多数設け、これを撮像して画像のコントラスト比を判別し検査する方法もある。具体的には、黒色の線と白色の線とが複数本交互に配置された縞パターンを設ける。この縞パターンを解像度検査用チャートの中心と周辺4カ所などの検査を行いたい像高に配置し、更に線の方向が互いに90度異なる縞パターンを各々配置することによって、異なる方向の解像度特性を検査することができる。但し、この場合は、縞パターンのコントラストを判別するときに基準となる階調レベルが必要であり、このために所定の面積を有する真っ黒な基準パターンと真っ白な基準パターンを縞パターンの近傍に配置し、撮像した画像の黒基準パターンと白基準パターンの輝度データを基準値とする。
特開2006−74556号公報
On the other hand, there is also a method in which a number of black and white lines having the same line width and pitch are provided, and these are imaged to determine and inspect the contrast ratio of the image. Specifically, a stripe pattern in which a plurality of black lines and white lines are alternately arranged is provided. This stripe pattern is placed at the image height to be inspected at the center and the four surroundings of the resolution inspection chart, and furthermore, by arranging stripe patterns whose line directions are different from each other by 90 degrees, resolution characteristics in different directions can be obtained. Can be inspected. However, in this case, a reference gradation level is required when determining the contrast of the stripe pattern, and for this purpose, a black reference pattern having a predetermined area and a white reference pattern are arranged in the vicinity of the stripe pattern. The luminance data of the black reference pattern and the white reference pattern of the captured image is used as the reference value.
Japanese Patent Laid-Open No. 2006-74556

ここで、撮像装置は製造誤差や組立誤差によって撮像素子に対して撮像レンズが個々にずれていて、ばらつきが生ずる。解像度検査は撮像された画像の定められた位置(像高)で検査を行うため、上述の如きコントラストを判別する解像度検査用チャートを撮像した場合に、撮像した画像上で解像度検査用チャートの位置がずれて撮像される。従って、画像上で所定の周辺の位置に撮像された縞パターンのコントラストを判別するとしても、これに対応する解像度検査用チャートの縞パターン上の位置が個々に異なることになる。   Here, in the imaging apparatus, the imaging lens is individually shifted with respect to the imaging element due to a manufacturing error or an assembly error, and variations occur. Since the resolution inspection is performed at a predetermined position (image height) of the captured image, when the resolution inspection chart for determining the contrast as described above is captured, the position of the resolution inspection chart on the captured image. The images are taken out of position. Therefore, even if the contrast of the fringe pattern imaged at a predetermined peripheral position on the image is determined, the corresponding position on the fringe pattern of the resolution inspection chart is different.

一方、解像度検査用チャートを照明して撮像するが、実際には均一に照明するのは困難であって、縞パターンの中でも部分的に明るさが異なって照明される。このために、縞パターンにおける照明が暗い部分では白の階調レベルが低下する。一方、白黒の二つの基準パターンについては縞パターンほど大きく形成することができず、撮像装置のバラツキによっては検査する部分が基準パターンからずれて検出できない場合があるので、ずれ量を検出して位置の補正を行う。   On the other hand, although the resolution inspection chart is illuminated and imaged, it is actually difficult to illuminate uniformly, and even in the stripe pattern, illumination is partially different. For this reason, the gradation level of white is lowered in a dark portion of the stripe pattern. On the other hand, the two black and white reference patterns cannot be formed as large as the fringe pattern, and depending on the variation of the imaging device, the part to be inspected may not be detected by being shifted from the reference pattern. Perform the correction.

従って、基準パターンの階調レベルは一定であっても、縞パターンに関しては個々の撮像装置のバラツキにより検出する位置が異なってきて、照明の明るい部分と暗い部分とでコントラスト比が異なってくる。このため、縞パターンのどこの部分を検出したかによって、良品の撮像装置であっても不良品と判別される虞がある。   Therefore, even if the gradation level of the reference pattern is constant, the detection position of the fringe pattern differs depending on the variation of the individual imaging devices, and the contrast ratio differs between the bright part and the dark part of the illumination. For this reason, even if it is a good imaging device, there exists a possibility that it may be discriminate | determined as inferior goods depending on which part of the stripe pattern was detected.

更に、一度に複数の撮像装置を検査する装置では、撮像装置とチャートとの位置関係が各々の撮像装置で異なるため、シェーディングの影響により基準パターンのデータが異なることになる。   Furthermore, in an apparatus that inspects a plurality of image pickup apparatuses at a time, the positional relationship between the image pickup apparatus and the chart differs among the image pickup apparatuses, so that the reference pattern data differs due to the influence of shading.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、照明の影響を少なくし、検査精度を向上させた解像度検査用チャート、解像度検査装置及び解像度検査方法を提案することを発明の目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to propose a resolution inspection chart, a resolution inspection apparatus, and a resolution inspection method in which the influence of illumination is reduced and the inspection accuracy is improved.

前記目的は、下記に記載した発明により達成される。
1.複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有することを特徴とする解像度検査用チャート。
2.前記検査用パターンは中央及び四隅に配置されていることを特徴とする1に記載の解像度検査用チャート。
3.各線の方向が互いに90度異なる二つの前記検査用パターンが中央及び四隅に配置されていることを特徴とする1又は2に記載の解像度検査用チャート。
4.前記縞パターンは各々4本乃至10本の黒色の線と白色の線とが交互に配置されていることを特徴とする1〜3の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。
5.前記黒色の基準パターン及び前記白色の基準パターンの線幅は、前記縞パターンの黒色の線幅若しくは白色の線幅の2倍乃至6倍であることを特徴とする1〜4の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。
6.一つの検査用パターンの中に前記縞パターンが2組以上配置されていることを特徴とする1〜5の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。
7.1〜6の何れか1項に記載の解像度検査用チャートと、
前記解像度検査用チャートを照明する照明装置と、
少なくとも撮像レンズ及び撮像素子を備えた撮像装置を用いて前記解像度検査用チャートを撮像した画像を形成する画像形成装置と、
前記画像形成装置により形成された画像における前記黒色の基準パターンの階調レベルと前記白色の基準パターンの階調レベルとを基準として、前記縞パターンのコントラスト比を判別する画像判別装置と、
を備えたことを特徴とする解像度検査装置。
8.1〜6の何れか1項に記載の解像度検査用チャートを照明する工程と、
少なくとも撮像レンズ及び撮像素子を備えた撮像装置を用いて前記解像度検査用チャートを撮像する工程と、
撮像した画像を形成する工程と、
形成された画像における前記黒色の基準パターンの階調レベルと前記白色の基準パターンの階調レベルとを基準として前記縞パターンのコントラスト比を判別する工程と、
を有することを特徴とする解像度検査方法。
The object is achieved by the invention described below.
1. A stripe pattern in which a plurality of black lines and white lines are alternately arranged, a reference pattern consisting of a black thick line adjacent to one side of the stripe pattern, and a white adjacent to the other side of the stripe pattern A resolution inspection chart, comprising a plurality of sets of reference patterns that are arranged adjacent to each other in the width direction of each line.
2. 2. The resolution inspection chart according to 1, wherein the inspection patterns are arranged at a center and four corners.
3. 3. The resolution inspection chart according to 1 or 2, wherein two inspection patterns whose directions of each line are different from each other by 90 degrees are arranged at a center and four corners.
4). 4. The resolution inspection chart according to claim 1, wherein each of the stripe patterns has four to ten black lines and white lines alternately arranged.
5). 5. The line width of the black reference pattern and the white reference pattern is 2 to 6 times the black line width or the white line width of the stripe pattern. The chart for resolution inspection described in 1.
6). The resolution inspection chart according to any one of 1 to 5, wherein two or more sets of the stripe patterns are arranged in one inspection pattern.
7.1 to 6 chart for resolution inspection according to any one of
An illumination device for illuminating the resolution inspection chart;
An image forming apparatus that forms an image obtained by imaging the resolution inspection chart using an imaging apparatus including at least an imaging lens and an imaging element;
An image discriminating apparatus that discriminates a contrast ratio of the fringe pattern on the basis of a gradation level of the black reference pattern and a gradation level of the white reference pattern in an image formed by the image forming apparatus;
A resolution inspection apparatus comprising:
Illuminating the resolution inspection chart according to any one of 8.1 to 6,
Imaging the resolution inspection chart using an imaging device including at least an imaging lens and an imaging element;
Forming a captured image; and
Determining the contrast ratio of the fringe pattern on the basis of the gradation level of the black reference pattern and the gradation level of the white reference pattern in the formed image;
A resolution inspection method characterized by comprising:

本発明の解像度検査用チャート、解像度検査装置及び解像度検査方法によれば、縞パターンに基準パターンが隣接した検査用パターンを用いて撮像装置の検査を行うので、撮像素子に対して撮像レンズが個々にずれていたり、解像度検査用チャートへの照明ムラがあってもその影響が少なく、撮像装置の良否の判別を正確に行うことができる。   According to the resolution inspection chart, the resolution inspection device, and the resolution inspection method of the present invention, the imaging device is inspected using the inspection pattern in which the reference pattern is adjacent to the fringe pattern. Even if there is a difference in illumination or uneven illumination on the resolution inspection chart, the effect is small, and the quality of the imaging apparatus can be accurately determined.

本発明における解像度検査用チャート、解像度検査装置及び解像度検査方法に関する実施の形態を説明する。   Embodiments relating to a resolution inspection chart, a resolution inspection apparatus, and a resolution inspection method according to the present invention will be described.

図2は解像度検査装置の模式図である。   FIG. 2 is a schematic diagram of the resolution inspection apparatus.

本装置においては、「背景技術」で説明した撮像装置と同様であり、少なくとも撮像レンズ及び撮像素子を備えた撮像装置の解像度を検査するものである。解像度は撮像レンズ自体の光学特性に加えて、撮像素子に対する撮像レンズの焦点調節の適正度によっても影響される。   This apparatus is similar to the imaging apparatus described in “Background Art”, and inspects the resolution of an imaging apparatus including at least an imaging lens and an imaging element. In addition to the optical characteristics of the imaging lens itself, the resolution is affected by the appropriateness of focus adjustment of the imaging lens with respect to the imaging element.

先ず、撮像装置の検査の概要を説明する。   First, an outline of the inspection of the imaging apparatus will be described.

検査する撮像装置1を撮像レンズ11が解像度検査用チャート2と対向するように不図示の検査台にセットする。そして、解像度検査用チャート2を複数の照明装置3で可能な限り均一に照明し、撮像装置1により解像度検査用チャート2を撮像する。   The imaging device 1 to be inspected is set on an inspection table (not shown) so that the imaging lens 11 faces the resolution inspection chart 2. The resolution inspection chart 2 is illuminated as uniformly as possible by the plurality of illumination devices 3, and the resolution inspection chart 2 is imaged by the imaging device 1.

解像度検査用チャート2の光像は撮像装置1の撮像素子によって光電変換され、画像信号として画像形成装置4に出力される。   The optical image of the resolution inspection chart 2 is photoelectrically converted by the imaging device of the imaging device 1 and output to the image forming device 4 as an image signal.

画像形成装置4においては、画像信号に所定の画像処理を施して画像信号を生成する。   In the image forming apparatus 4, predetermined image processing is performed on the image signal to generate an image signal.

この解像度検査用チャート2の画像信号を画像判別装置5にて良否の判別を行う。   The image determination device 5 determines whether the image signal of the resolution inspection chart 2 is acceptable.

図3は解像度検査用チャート2の図である。   FIG. 3 is a diagram of the resolution inspection chart 2.

解像度検査用チャート2には解像度を検査するための検査用パターン20が中央及び4隅に配置されている。検査用パターン20は後述する如く黒色の線と白色の線からなる。そして、撮像画面の横方向の解像度を検査するために黒白の線が縦方向に配置された検査用パターン20と、撮像画面の縦方向の解像度を検査するために黒白の線が横方向に配置された検査用パターン20とが各々配置されている。   In the resolution inspection chart 2, inspection patterns 20 for inspecting the resolution are arranged at the center and at the four corners. The inspection pattern 20 is composed of a black line and a white line as will be described later. Then, an inspection pattern 20 in which black and white lines are arranged in the vertical direction to inspect the horizontal resolution of the imaging screen, and a black and white line in the horizontal direction to inspect the vertical resolution of the imaging screen. The inspection patterns 20 thus arranged are respectively arranged.

図4は検査用パターンの拡大図である。   FIG. 4 is an enlarged view of the inspection pattern.

検査用パターン20には複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン21が設けられ、その隣には黒色の太線からなる基準パターン22が設けられ、その隣りに縞パターン21が設けられ、その隣には白色の太線からなる基準パターン23が設けられ、その隣りに縞パターン21が設けられているといった状態で続いている。言い換えれば、縞パターン21の一方の側に基準パターン22が隣接し、縞パターン21の他方の側に基準パターン23が隣接している。   The inspection pattern 20 is provided with a stripe pattern 21 in which a plurality of black lines and white lines are alternately arranged, and a reference pattern 22 made of a black thick line is provided next to the stripe pattern 21, and a stripe is provided next to the reference pattern 22. A pattern 21 is provided, a reference pattern 23 made of a white thick line is provided next to the pattern 21, and a stripe pattern 21 is provided next to the reference pattern 23. In other words, the reference pattern 22 is adjacent to one side of the stripe pattern 21 and the reference pattern 23 is adjacent to the other side of the stripe pattern 21.

なお、縞パターン21は各々4本乃至10本の黒色の線と白色の線とが交互に配置されていることが望ましい。即ち、黒色と白色の線の本数が3本以下であると、撮像装置1の後述する検査の精度が低下し、特に、撮像素子に対する撮像レンズの焦点調節が適正でないときには、その影響を受けやすい。一方、黒色と白色の線の本数が11本以上であると、縞パターン21が大きすぎ、照明ムラの影響が大きくなる。   In addition, as for the striped pattern 21, it is desirable that 4 to 10 black lines and white lines are alternately arranged. That is, if the number of black and white lines is 3 or less, the accuracy of inspection to be described later of the image pickup apparatus 1 is lowered, and particularly when the focus adjustment of the image pickup lens with respect to the image pickup element is not appropriate, it is easily affected. . On the other hand, when the number of black and white lines is 11 or more, the stripe pattern 21 is too large, and the influence of illumination unevenness is increased.

また、基準パターン22の黒色の太線の線幅及び基準パターン23の白色の太線の線幅は縞パターン21の黒色若しくは白色の線幅の2倍乃至6倍であることが望ましい。即ち、基準パターン22,23の線幅が細すぎると、撮像素子に対する撮像レンズの焦点調節が適正でないときに白線及び黒線が灰色に近くなり、判別の基準になり難い。一方、基準パターン22,23の線幅が太すぎると、検査用パターン20が大きくなり、その結果、解像度検査用チャート2も大きくなり、好ましくない。   Further, it is desirable that the black thick line width of the reference pattern 22 and the white thick line width of the reference pattern 23 be 2 to 6 times the black or white line width of the stripe pattern 21. That is, if the line widths of the reference patterns 22 and 23 are too narrow, the white line and the black line are close to gray when the focus adjustment of the image pickup lens with respect to the image pickup element is not appropriate, and it is difficult to be a reference for discrimination. On the other hand, when the line widths of the reference patterns 22 and 23 are too large, the inspection pattern 20 becomes large, and as a result, the resolution inspection chart 2 also becomes large, which is not preferable.

また、撮像素子に対する撮像レンズの位置ずれがあっても、撮像画面上の所定の位置で検査ができるように、縞パターン21は2組以上設けられていることが望ましい。   In addition, it is desirable that two or more stripe patterns 21 are provided so that the inspection can be performed at a predetermined position on the imaging screen even if the imaging lens is displaced with respect to the imaging element.

このような検査用パターン20を有する解像度検査用チャート2を撮像装置1により撮像し、画像形成装置4により画像信号を生成すると、図5に示す波形が得られる。   When a resolution inspection chart 2 having such an inspection pattern 20 is imaged by the imaging apparatus 1 and an image signal is generated by the image forming apparatus 4, a waveform shown in FIG. 5 is obtained.

図5(A)は撮像レンズの解像度が良好であり、且つ、撮像素子に対する撮像レンズの焦点調節が適正に行われている撮像装置を撮像した波形であり、図5(B)は撮像レンズの解像度が良好でないか、または撮像素子に対する撮像レンズの焦点調節が適正に行われていない撮像装置を撮像した波形である。   FIG. 5A shows a waveform obtained by imaging an imaging apparatus in which the resolution of the imaging lens is good and the focus adjustment of the imaging lens with respect to the imaging element is appropriately performed, and FIG. It is the waveform which imaged the imaging device in which the resolution is not favorable or the focus adjustment of the imaging lens with respect to the imaging device is not properly performed.

図5(A)において、黒色の太線である基準パターン22の信号は最も低い階調レベルになり、白色の太線である基準パターン23の信号は最も高い階調レベルになるが、この二つの階調レベルを基準とし、このコントラスト比をC11する。この場合は、縞パターン21の黒線も充分に低い階調レベルになり、白線も充分に高い階調レベルになり、このコントラスト比をL12とする。すると、L11に対するL12の比率は充分に大きい値になる。   In FIG. 5A, the signal of the reference pattern 22 that is a black thick line has the lowest gradation level, and the signal of the reference pattern 23 that is a white thick line has the highest gradation level. The contrast ratio is set to C11 with the tone level as a reference. In this case, the black line of the stripe pattern 21 also has a sufficiently low gradation level, the white line also has a sufficiently high gradation level, and this contrast ratio is L12. Then, the ratio of L12 to L11 becomes a sufficiently large value.

一方、図5(B)において、基準パターン22と基準パターン23とのコントラスト比をC21とすると、C21はC11と大差ない。しかし、縞パターン21の黒線は高めの階調レベルになり、白線は低めの階調レベルになり、このコントラスト比をL22とする。すると、L21に対するL22の比率は小さな値になる。   On the other hand, in FIG. 5B, if the contrast ratio between the reference pattern 22 and the reference pattern 23 is C21, C21 is not much different from C11. However, the black line of the stripe pattern 21 has a higher gradation level and the white line has a lower gradation level, and this contrast ratio is L22. Then, the ratio of L22 to L21 becomes a small value.

このようにして、画像判別装置5は黒色の基準パターン22の階調レベルと白色の基準パターン23の階調レベルとを基準として、縞パターン21のコントラスト比を演算し、良否の判別を行う。   In this way, the image determination device 5 calculates the contrast ratio of the stripe pattern 21 based on the gradation level of the black reference pattern 22 and the gradation level of the white reference pattern 23, and determines pass / fail.

そして、検査用パターン20においては縞パターン21に基準パターン22,23が隣接しているので、撮像素子に対して撮像レンズが個々にずれていたり、解像度検査用チャート2への照明ムラがあっても、撮像装置1の良否の判別を正確に行うことができる。   In the inspection pattern 20, since the reference patterns 22 and 23 are adjacent to the fringe pattern 21, the imaging lens is individually displaced with respect to the imaging element, or there is uneven illumination on the resolution inspection chart 2. In addition, it is possible to accurately determine whether the imaging apparatus 1 is good or bad.

また、一度に複数の撮像装置を検査する場合であっても、撮像装置の位置によって良否の判別に影響を受けることがない。   Further, even when a plurality of imaging devices are inspected at a time, the quality determination is not affected by the position of the imaging device.

撮像装置の断面図である。It is sectional drawing of an imaging device. 解像度検査装置の模式図である。It is a schematic diagram of a resolution inspection apparatus. 解像度検査用チャートの図である。It is a figure of the chart for resolution inspection. 検査用パターンの図である。It is a figure of the pattern for a test | inspection. 検査用パターンを撮像して生成される波形の図である。It is a figure of the waveform produced | generated by imaging an inspection pattern.

符号の説明Explanation of symbols

1 撮像装置
11 撮像レンズ
12 撮像素子
2 解像度検査用チャート
21 縞パターン
22,23 基準パターン
3 照明装置
4 画像形成装置
5 画像判別装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Imaging device 11 Imaging lens 12 Imaging element 2 Resolution inspection chart 21 Stripe pattern 22, 23 Reference pattern 3 Illumination device 4 Image forming device 5 Image discrimination device

Claims (8)

複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有することを特徴とする解像度検査用チャート。 A stripe pattern in which a plurality of black lines and white lines are alternately arranged, a reference pattern consisting of a black thick line adjacent to one side of the stripe pattern, and a white adjacent to the other side of the stripe pattern A resolution inspection chart, comprising a plurality of sets of reference patterns that are arranged adjacent to each other in the width direction of each line. 前記検査用パターンは中央及び四隅に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の解像度検査用チャート。 The resolution inspection chart according to claim 1, wherein the inspection patterns are arranged at a center and four corners. 各線の方向が互いに90度異なる二つの前記検査用パターンが中央及び四隅に配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の解像度検査用チャート。 The resolution inspection chart according to claim 1 or 2, wherein two inspection patterns whose directions of each line are different from each other by 90 degrees are arranged at a center and four corners. 前記縞パターンは各々4本乃至10本の黒色の線と白色の線とが交互に配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。 4. The resolution inspection chart according to claim 1, wherein four to ten black lines and white lines are alternately arranged in each of the fringe patterns. 5. 前記黒色の基準パターン及び前記白色の基準パターンの線幅は、前記縞パターンの黒色の線幅若しくは白色の線幅の2倍乃至6倍であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。 The line width of the black reference pattern and the white reference pattern is 2 to 6 times the black line width or the white line width of the stripe pattern. The chart for resolution inspection according to item 1. 一つの検査用パターンの中に前記縞パターンが2組以上配置されていることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の解像度検査用チャート。 The resolution inspection chart according to any one of claims 1 to 5, wherein two or more sets of the stripe patterns are arranged in one inspection pattern. 請求項1〜6の何れか1項に記載の解像度検査用チャートと、
前記解像度検査用チャートを照明する照明装置と、
少なくとも撮像レンズ及び撮像素子を備えた撮像装置を用いて前記解像度検査用チャートを撮像した画像を形成する画像形成装置と、
前記画像形成装置により形成された画像における前記黒色の基準パターンの階調レベルと前記白色の基準パターンの階調レベルとを基準として、前記縞パターンのコントラスト比を判別する画像判別装置と、
を備えたことを特徴とする解像度検査装置。
The resolution inspection chart according to any one of claims 1 to 6,
An illumination device for illuminating the resolution inspection chart;
An image forming apparatus that forms an image obtained by imaging the resolution inspection chart using an imaging apparatus including at least an imaging lens and an imaging element;
An image discriminating apparatus that discriminates a contrast ratio of the fringe pattern on the basis of a gradation level of the black reference pattern and a gradation level of the white reference pattern in an image formed by the image forming apparatus;
A resolution inspection apparatus comprising:
請求項1〜6の何れか1項に記載の解像度検査用チャートを照明する工程と、
少なくとも撮像レンズ及び撮像素子を備えた撮像装置を用いて前記解像度検査用チャートを撮像する工程と、
撮像した画像を形成する工程と、
形成された画像における前記黒色の基準パターンの階調レベルと前記白色の基準パターンの階調レベルとを基準として前記縞パターンのコントラスト比を判別する工程と、
を有することを特徴とする解像度検査方法。
Illuminating the resolution inspection chart according to any one of claims 1 to 6;
Imaging the resolution inspection chart using an imaging device including at least an imaging lens and an imaging element;
Forming a captured image; and
Determining the contrast ratio of the fringe pattern on the basis of the gradation level of the black reference pattern and the gradation level of the white reference pattern in the formed image;
A resolution inspection method characterized by comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010237029A (en) * 2009-03-31 2010-10-21 Seiko Npc Corp Apparatus and method of evaluating infrared optical system
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