JP2009052762A

JP2009052762A - 乾燥装置

Info

Publication number: JP2009052762A
Application number: JP2007217396A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Naruoka; 正昭成岡; Toshihiro Yamashita; 智弘山下; Kiyoshi Kurosawa; 清黒澤; Hiroyuki Aoshima; 博行青島; Kazuo Hatake; 一男畠; Tetsuo Suzuki; 徹夫鈴木; Setsuo Shibuya; 節男渋谷; Kiyoshi Shimada; 清嶋田
Original assignee: SPC Electronics Corp
Current assignee: SPC Electronics Corp
Priority date: 2007-08-23
Filing date: 2007-08-23
Publication date: 2009-03-12

Abstract

【課題】乾燥処理部内において異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置を提供することにある。
【解決手段】被乾燥物４０を搬入する搬入部１０と、被乾燥物４０を搬出する搬出部２０と、被乾燥物４０を乾燥する乾燥処理部３０とを有する乾燥装置１００であって、搬送バー１１が、乾燥処理部３０を貫通して、搬入部１０及び搬出部２０の滑動支持台１２上に配置され、搬送バー１１は、搬入部１０及び搬出部２０の滑動支持台１２上を滑動することにより、搬入部１０で載置された被乾燥物４０を、乾燥処理部３０に搬入し、且つ、搬出部２０に搬出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、被乾燥物の乾燥処理を行う乾燥装置に係り、詳しくは、乾燥処理部内において異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置に関する。

図３は、従来のローラー型コンベアーを有する乾燥装置を示す模式図である。図３において、ローラー型コンベアー１は、駆動ローラー２とフリーローラー３とを有している。フリーローラー３は、乾燥処理部３０内にも設置されているため、被乾燥物４０が乾燥処理部３０内に搬入されるとき、フリーローラー３が回転し、接触回転部分から汚染の原因となる異物が発生する。

またローラー型コンベアー１がベルト型コンベアーである場合には、同様に乾燥処理部３０内の滑動部が接触摩擦による異物を発生し、被乾燥物を汚染する原因となる。特許文献１には、ガラス基板を載置して搬送する搬送装置を筐体内に設置し、搬送装置の上下にガラス基板に向かうエアーノズルを対向して設け、エアーノズルのエアー導入口にクリーンエアー供給パイプを接続すると共に、筐体に壁面にあけられた筐体内エアー抽出口に接続し、筐体内から抽出された使用済みエアーを除湿、過熱、濾過してクリーンエアー供給パイプの管路途中でクリーンエアーと混合させるエアー乾留パイプを設け、その混合エアーを、エアーノズルからガラス基板表面に向かって噴射し、表面の水切りと乾燥とを同時に行うガラス板表面乾燥装置の記載がある。
特開２００４−２９３８４３号公報

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、乾燥処理部内において汚染源となる異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置を提供することにある。

本発明の乾燥装置は、被乾燥物を搬入する搬入部と、被乾燥物を搬出する搬出部と、被乾燥物を乾燥する乾燥処理部とを有する乾燥装置であって、搬送バーが、乾燥処理部を貫通して、搬入部及び搬出部の滑動支持台上に配置され、搬送バーは、搬入部及び搬出部の滑動支持台上を滑動することにより、搬入部で載置された被乾燥物を、乾燥処理部に搬入し、且つ、搬出部に搬出することを特徴とする。

本発明の乾燥装置の搬入部は、サーボモータにより回転するボールネジを有し、搬送バーは、ボールネジに接続されて、並進運動をすることを特徴とする。

本発明の乾燥装置の搬送バーは、搬入部の搬入部ステージ部位及び搬出部の搬出部ステージ部位に上下移動用偏心カムを有し、それぞれの上下移動用偏心カムは同期して動作することを特徴とする。

本発明の乾燥装置の搬入部及び搬出部は、それぞれリニアガイドが滑動する滑動支持台を有し、被乾燥物は、搬入部のリニアガイドを介して搬送バーに載置されて乾燥処理部に搬入され、且つ、搬送バーから搬出部のリニアガイドを介して搬出されることを特徴とする。

本発明の乾燥装置のリニアガイドは、搬入部及び搬出部に上下移動用偏心カムを有し、それぞれの上下移動用偏心カムは同期して動作することを特徴とする。

本発明の乾燥装置の搬送バーは、台形または円形であることを特徴とする。

本発明の乾燥処理部は、窒素供給口を有することを特徴とする。

本発明によれば、乾燥処理部内に、搬送ローラーによる接触回転部分、又は滑動部による接触摩擦部分が無い搬送手段を提供することができる。このためこの搬送手段を設置することにより、乾燥処理部内において汚染源となる異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置を提供することが可能となる。

本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による乾燥装置を示す装置構成図である。図１において、乾燥装置１００は、被乾燥物４０を搬入する搬入部１０と、被乾燥物４０を搬出する搬出部２０と、被乾燥物４０を乾燥する乾燥処理部３０とを有している。乾燥処理部３０は、窒素供給口３１を有している。

搬入部１０の搬入部ステージ１７と搬出部２０の搬出部ステージ１８の上部には、滑動支持台１２が設置され、さらにその上に、搬送バー１１が乾燥処理部３０を貫通して配置されている。搬入部１０の側部には、サーボモータ１４により回転するボールネジ１５が設置され、ボールネジ接続具１３により、搬送バー１１とボールネジ１５とが接続されている。また搬入部１０の搬入部ステージ１７と搬出部２０の搬出部ステージ１８の下部には、偏心カム受け具１９と上下移動用偏心カム１６が設置されている。

乾燥プロセスが開始すると、搬送バー１１は、ボールネジ１５の回転に伴って、搬入部１０及び搬出部２０の滑動支持台１２上を滑動して並進運動をする。これにより、搬入部１０の搬送バー１１上に載置された被乾燥物４０は、乾燥処理部に搬入される。被乾燥物４０が乾燥処理部３０の所定の位置に搬入されると、搬入部１０及び搬出部２０の搬出部ステージ１７、１８の下部に設置された上下移動用偏心カム１６は、同期して回転動作をし、搬送バー１１の高さを下げて、被乾燥物４０を所定の位置に載置する。

被乾燥物４０が所定の位置に載置されると、搬送バー１１は元の位置に戻り、窒素ガスが窒素供給口３１を介して乾燥処理部３０に供給され、被乾燥物４０の乾燥が開始される。被乾燥物４０の乾燥が終了すると、上下移動用偏心カム１６は、再び同期して回転動作をし、搬送バー１１の高さを上げて、被乾燥物４０を搬送可能な位置に載置する。このとき、搬入部１０の搬送バー１１上には次に乾燥される被乾燥物４０が載置されている。

再び搬送バー１１が並進運動を開始して、次に乾燥される被乾燥物４０は乾燥処理部３０に搬入され、乾燥が終了した被乾燥物４０は乾燥処理部３０から搬出される。この操作を繰り返すことにより乾燥プロセスが連続して行われる。乾燥処理部３０内には、搬送ローラーによる接触回転部分、又は滑動部による接触摩擦部分が無いため、汚染源となる汚染物の発生がなく、収率の良い乾燥プロセスを維持することができる。また搬送バー１１は、台形または円形であってもよい。これにより、窒素ガスのダウンフローが乱されることがないため、効率のよい乾燥が可能となる。

さらに、搬入部１０及び搬出部２０に、それぞれ搬送バー１１と同種のリニアガイドが滑動する滑動支持台を設けることにより、被乾燥物４０が搬入部１０のリニアガイドを介して搬送バー１１に載置されて乾燥処理部３０に搬入され、且つ、搬送バー１１から搬出部２０のリニアガイドを介して搬出されてもよい。このとき、リニアガイドは、搬入部１０及び搬出部２０に同期して動作する上下移動用偏心カムを有し、被乾燥物４０の載置を行っても良い。これにより、洗浄工程を終了して搬出された被乾燥物４０を、乾燥工程において、搬入部１０の搬送バー１１上に載置し、且つ、搬出部２０の搬送バー１１から被乾燥物４０を搬出するためのタクトタイムの調整が容易となる。

図２は、本発明による乾燥装置の上下移動用偏心カムの構成図である。搬入部１０及び搬出部２０の搬出部ステージ１７、１８には、偏心カム受け具１９が設置されている。これに接して上下移動用偏心カム１６がそれぞれ取り付けられ、モーターに接続されて回転トルクを得ている。これにより、搬入部１０及び搬出部２０の上下移動用偏心カム１６が同期して回転すると、搬出部ステージ１７、１８は上下運動をし、被乾燥物４０の載置動作が可能となる。

以上説明したように本発明によると、乾燥処理部内に、搬送ローラーによる接触回転部分、又は滑動部による接触摩擦部分が無い搬送手段を提供することができる。このためこの搬送手段を設置することにより、乾燥処理部内において異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置を提供することが可能となる。

本発明による乾燥装置を示す装置構成図。本発明による乾燥装置の上下移動用偏心カムの構成図。従来のローラー型コンベアーを有する乾燥装置を示す模式図。

符号の説明

１０搬入部
１１搬送バー
１２滑動支持台
１３ボールネジ接続具
１４サーボモータ
１５ボールネジ
１６上下動偏心カム
１７搬入部ステージ
１８搬出部ステージ
１９偏心カム受け具
２０搬出部
３０乾燥処理部
３１窒素供給口
４０被乾燥物
１００乾燥装置

Claims

被乾燥物を搬入する搬入部と、前記被乾燥物を搬出する搬出部と、前記被乾燥物を乾燥する乾燥処理部とを有する乾燥装置であって、
搬送バーが、前記乾燥処理部を貫通して、前記搬入部及び前記搬出部の滑動支持台上に配置され、
前記搬送バーは、前記搬入部及び前記搬出部の前記滑動支持台上を滑動することにより、前記搬入部で載置された前記被乾燥物を、前記乾燥処理部に搬入し、且つ、前記搬出部に搬出することを特徴とする乾燥装置。
前記搬入部は、サーボモータにより回転するボールネジを有し、前記搬送バーは、前記ボールネジに接続されて、並進運動をすることを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
前記搬送バーは、前記搬入部の搬入部ステージ部位及び前記搬出部の搬出部ステージ部位に上下移動用偏心カムを有し、それぞれの前記上下移動用偏心カムは同期して動作することを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
前記搬入部及び前記搬出部は、それぞれリニアガイドが滑動する滑動支持台を有し、前記被乾燥物は、前記搬入部の前記リニアガイドを介して前記搬送バーに載置されて前記乾燥処理部に搬入され、且つ、前記搬送バーから前記搬出部のリニアガイドを介して搬出されることを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
前記リニアガイドは、前記搬入部及び前記搬出部に上下移動用偏心カムを有し、それぞれの前記上下移動用偏心カムは同期して動作することを特徴とする請求項４に記載の乾燥装置。
前記搬送バーは、台形または円形であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の乾燥装置。
前記乾燥処理部は、窒素供給口を有することを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。